JP2013186145A - 光スキャナの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光スキャナを形成するウエハを所定の光スキャナ素子パターンに従って加工する際に、初めにウエハ11の裏面側の加工を行い、その裏面側に支持基板14を恒久的に接合し、該ウエハ11の表面側の加工のためのレジストパターン16を形成し、その表面側からフルダイシングしながら支持基板14にはハーフダイシングを行い、該ウエハ11の表面側の加工を行う。その後、リムに張られた粘着フィルム17の上に、支持基板14を該フィルム側に向けてウエハ11を接着し、該粘着フィルム17をエキスパンドさせながらウエハ11の裏面側から支持基板14に突き上げ力を加えてブレーキングカットすることにより、ウエハ11を個々の光スキャナ素子チップに分離する。
【選択図】 図1
Description
前記光スキャナを形成するウエハを所定の光スキャナ素子パターンに従って加工する際に、前記ウエハの表面側の加工に先行して裏面側の加工を行う第1工程と、
前記加工を行ったウエハの裏面側に支持基板を恒久的に接合する第2工程と、
該ウエハの表面側の加工のためのレジストパターンを形成する第3工程と、
該ウエハの表面側からフルダイシングしながら、前記支持基板にはハーフダイシングを行う第4工程と、
該ウエハの表面側の加工を行う第5工程と、
リムに張られた粘着フィルムの上に、前記支持基板を該フィルム側に向けて前記ウエハを接着する第6工程と、
該粘着フィルムをエキスパンドさせながら前記ウエハの裏面側から前記支持基板に突き上げ力を加えてブレーキングカットすることにより、前記ウエハを個々の光スキャナ素子チップに分離する第7工程と、
各チップをピックアップしてパッケージングする第8工程と
を備えることを特徴とする。
以下、図2に示すMEMS光スキャナ素子1を、図3に示す工程で作製する実施例について説明する。
・ ゲーム等の映像娯楽システム用レーザプロジェクタ
・ 車載用ヘッドアップディスプレイ
・ 車載インパネ用リアプロジェクションディスプレイ
・ 車載Aピラー用プロジェクションディスプレイ
Claims (4)
- 反射面を有するミラー部と、給電により該ミラー部を駆動するアクチュエータと、該アクチュエータに給電するための複数の電極とを備える光スキャナの製造方法であって、
前記光スキャナを形成するウエハを所定の光スキャナ素子パターンに従って加工する際に、前記ウエハの表面側の加工に先行して裏面側の加工を行う第1工程と、
前記加工を行ったウエハの裏面側に支持基板を恒久的に接合する第2工程と、
該ウエハの表面側の加工のためのレジストパターンを形成する第3工程と、
該ウエハの表面側からフルダイシングしながら、前記支持基板にはハーフダイシングを行う第4工程と、
該ウエハの表面側の加工を行う第5工程と、
リムに張られた粘着フィルムの上に、前記支持基板を該フィルム側に向けて前記ウエハを接着する第6工程と、
該粘着フィルムをエキスパンドさせながら前記ウエハの裏面側から前記支持基板に突き上げ力を加えてブレーキングカットすることにより、前記ウエハを個々の光スキャナ素子チップに分離する第7工程と、
各チップをピックアップしてパッケージングする第8工程と
を備えることを特徴とする光スキャナの製造方法。 - 請求項1記載の光スキャナの製造方法において、
前記第1工程では、光スキャナ素子の構造パターンに従って、前記ウエハの裏面に加工のためのレジストパターンを形成した後、該裏面をエッチング加工することで、前記光スキャナのミラーが搖動可能な空間を形成することを特徴とする光スキャナの製造方法。 - 前記支持基板がガラス又はシリコンウエハであることを特徴とする請求項1又は2に記載の光スキャナの製造方法。
- 前記ウエハに対する前記支持基板の接合は、接着剤、AuSn共晶、ハンダ、陽極接合、Au-Au固相接合のいずれかによって行われることを特徴とする請求項1、2又は3に記載の光スキャナの製造方法。
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