JP2013183134A - 太陽電池の製造方法及び太陽電池の製造装置。 - Google Patents
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Abstract
【課題】太陽電池の表面に酸化膜を形成する化学溶液に浸漬した後に必須である乾燥処理とあわせて、形成された酸化膜の表面を改質することで、安価な設備でパッシベーション膜の表面を長期的に安定させること。
【解決手段】太陽電池の製造方法において、表面がシリコンからなる太陽電池を硝酸溶液に浸漬し、太陽電池の表面に酸化膜を形成し、硝酸溶液から表面に酸化膜を形成した太陽電池を引き上げ、引き上げたあとも形成した酸化膜の表面に硝酸溶液を残留させたまま、表面に酸化膜を形成した太陽電池を加熱する。
【選択図】 図1
【解決手段】太陽電池の製造方法において、表面がシリコンからなる太陽電池を硝酸溶液に浸漬し、太陽電池の表面に酸化膜を形成し、硝酸溶液から表面に酸化膜を形成した太陽電池を引き上げ、引き上げたあとも形成した酸化膜の表面に硝酸溶液を残留させたまま、表面に酸化膜を形成した太陽電池を加熱する。
【選択図】 図1
Description
太陽電池の製造方法及び太陽電池の製造装置に関する。
太陽電池には、年々拡大する市場から変換効率の向上に対する要求に応じるべく日々変換効率性能の向上が求められている。
太陽電池の変換効率を向上させるために、パッシベーション膜を形成することが一般的に提案されている。
パッシベーション膜で太陽電池の変換効率を上げる技術に関しては以下のような技術が開示されている。
太陽電池の変換効率を向上させるために、パッシベーション膜を形成することが一般的に提案されている。
パッシベーション膜で太陽電池の変換効率を上げる技術に関しては以下のような技術が開示されている。
先行文献1には、太陽電池効率を向上するために、結晶性シリコン基板の正面上および裏面上の少なくとも一方に酸化シリコン薄膜を形成するために、化学溶液に150℃未満の温度で浸す技術が開示されている。
太陽電池のパッシベーション膜は変換効率の改善に貢献している。しかしながら膜厚の増加といったパッシベーション膜の表面が時間の経過にともなって変化した場合には太陽電池の変換効率性能も不安定となる。すなわちパッシベーション膜の表面を安定させることは太陽電池の製造にとっては大変重要であるが特許文献1にはパッシベーション膜の表面を長期的に安定させる技術に関しては何ら開示も示唆もされていない。
本願発明は、太陽電池の表面に酸化膜を形成する化学溶液に浸漬した後に必須である乾燥処理とあわせて、形成された酸化膜の表面を改質することで、安価な設備でパッシベーション膜の表面を長期的に安定させることができる仕組みを提供することを目的とする。
本願発明は、表面がシリコンからなる太陽電池を硝酸溶液に浸漬し、前記太陽電池の表面に酸化膜を形成する形成工程と、前記硝酸溶液から前記表面に酸化膜を形成した太陽電池を引き上げる引上工程と、前記引き上げたあとも前記形成した酸化膜の表面に前記硝酸溶液を残留させたまま、前記表面に酸化膜を形成した太陽電池を加熱する加熱工程と、を含むことを特徴とする。
また、前記表面に酸化膜を形成した太陽電池を加熱する温度は前記硝酸溶液の共沸温度以上乃至400℃以下であることを特徴とする。
また、前記表面に酸化膜を形成した太陽電池を加熱する時間は10分以下であることを特徴とする。
また、前記硝酸溶液の温度は前記硝酸溶液の共沸温度以下であることを特徴とする。
また、前記表面に酸化膜を形成した太陽電池を加熱する温度は前記硝酸溶液の共沸温度以上乃至400℃以下であることを特徴とする。
また、前記表面に酸化膜を形成した太陽電池を加熱する時間は10分以下であることを特徴とする。
また、前記硝酸溶液の温度は前記硝酸溶液の共沸温度以下であることを特徴とする。
本願発明により、太陽電池の表面に酸化膜を形成する化学溶液に浸漬した後に必須である乾燥処理と同時に、形成された酸化膜の表面の改質もあわせてできる仕組みを提供することが可能となる。
図1を説明する。
図1は、太陽電池の製造装置100の装置構成の概略図を示す図である。太陽電池製造装置を側面から見た図を示す。
100は太陽電池製造装置である。
図1は、太陽電池の製造装置100の装置構成の概略図を示す図である。太陽電池製造装置を側面から見た図を示す。
100は太陽電池製造装置である。
101は太陽電池の結晶性(単結晶または多結晶)シリコンウエハである。例えはシリコンウエハの大きさは156mm×156mmであるが限定されない。厚みが0.3mm程度であるが限定されない。
102は太陽電池のシリコンウエハである複数の(例えば50枚程度)ウエハを収容し、太陽電池製造装置にてウエハとともに処理されるウエハキャリアである。
104はウエハキャリアを水平方向に搬送する搬送ロボットである。
104はウエハキャリアを水平方向に搬送する搬送ロボットである。
103はウエハキャリアを垂直方向(重力方向)に搬送する搬送ロボットである。ウエハキャリアをグリップするキャリアグリップを具備している。ウエハキャリアを太陽電池製造装置の各処理部からリフトアップ(引き上げ)したり、ウエハキャリアを各処理部に下す(各処理部の中に配置する)ことができる。
106は酸化膜形成処理部であり、化学溶液槽である。
105は化学溶液である。
107はエアブロー処理部であり、エアブロー室である。
110は加熱処理部であり、加熱室である。
<第1の実施例>
太陽電池の製造装置100にて太陽電池のウエハ(基板)が処理される流れ(太陽電池製造方法)は以下の通りである。
106は酸化膜形成処理部であり、化学溶液槽である。
105は化学溶液である。
107はエアブロー処理部であり、エアブロー室である。
110は加熱処理部であり、加熱室である。
<第1の実施例>
太陽電池の製造装置100にて太陽電池のウエハ(基板)が処理される流れ(太陽電池製造方法)は以下の通りである。
(1)酸化膜形成処理部である化学溶液槽106の中にウエハキャリアを浸漬し、ウエハ表面にSiO2(パッシベーション膜)を形成する(酸化膜形成工程)。
(2)加熱処理部である加熱室110の中にウエハキャリアを配置し、ウエハの表面に残留する硝酸溶液を加熱する。
(2)加熱処理部である加熱室110の中にウエハキャリアを配置し、ウエハの表面に残留する硝酸溶液を加熱する。
ここでは、室温にて形成された酸化膜を、化学溶液槽の化学溶液を蒸発させずに酸化膜に改善するために、化学溶液槽から引き上げたあとに太陽電池の表面に残留する化学(硝酸)溶液を加熱する。
<第2の実施例>
太陽電池製造装置100にて太陽電池のウエハ(基板)が処理される流れ(太陽電池製造方法)は以下の通りである。
(1)酸化膜形成処理部である化学溶液槽106の中にウエハキャリアを浸漬し、ウエハ表面にSiO2(パッシベーション膜)を形成する。
(2)エアブロー処理部であるエアブロー室107の中にウエハキャリアを配置し、ウエハキャリア及びウエハに残留する化学溶液を吹き飛ばす。
<第3の実施例>
太陽電池の製造装置100にて太陽電池のウエハ(基板)が処理される流れ(太陽電池製造方法)は以下の通りである。
(1)酸化膜形成処理部である化学溶液槽106の中にウエハキャリアを浸漬し、ウエハ表面にSiO2(パッシベーション膜)を形成する。
(2)エアブロー処理部であるエアブロー室107の中にウエハキャリアを配置し、ウエハキャリア及びウエハに残留する化学溶液を吹き飛ばす。
(3)加熱処理部である加熱室110の中にウエハキャリアを配置し、ウエハの表面に残留する化学溶液を加熱する
<第2の実施例>
太陽電池製造装置100にて太陽電池のウエハ(基板)が処理される流れ(太陽電池製造方法)は以下の通りである。
(1)酸化膜形成処理部である化学溶液槽106の中にウエハキャリアを浸漬し、ウエハ表面にSiO2(パッシベーション膜)を形成する。
(2)エアブロー処理部であるエアブロー室107の中にウエハキャリアを配置し、ウエハキャリア及びウエハに残留する化学溶液を吹き飛ばす。
<第3の実施例>
太陽電池の製造装置100にて太陽電池のウエハ(基板)が処理される流れ(太陽電池製造方法)は以下の通りである。
(1)酸化膜形成処理部である化学溶液槽106の中にウエハキャリアを浸漬し、ウエハ表面にSiO2(パッシベーション膜)を形成する。
(2)エアブロー処理部であるエアブロー室107の中にウエハキャリアを配置し、ウエハキャリア及びウエハに残留する化学溶液を吹き飛ばす。
(3)加熱処理部である加熱室110の中にウエハキャリアを配置し、ウエハの表面に残留する化学溶液を加熱する
ここでは、室温(25℃)にて形成されたSiO2を、化学溶液槽の化学溶液を蒸発させずにSiO2に改善するために、化学溶液槽から引き上げたあとに太陽電池の表面に残留する硝酸溶液を加熱する。
図2を説明する。
図2は、酸化膜形成処理部を構成する概略図を示す図である。酸化膜形成処理部を正面から見た図を示す。
ウエハキャリア及びウエハを化学溶液槽に浸漬する。
図2を説明する。
図2は、酸化膜形成処理部を構成する概略図を示す図である。酸化膜形成処理部を正面から見た図を示す。
ウエハキャリア及びウエハを化学溶液槽に浸漬する。
化学溶液の種類は硝酸と水との混合溶液である。なおウエハの表面に酸化膜を形成する化学溶液の種類としては、硝酸と水との混合溶液には限定されない。過酸化水素と水との混合溶液等の酸化性溶液であってもよい。
化学溶液が硝酸と水との混合溶液である化学溶液の硝酸の濃度は60wt%以上であり、望ましくはほぼ共沸濃度(68wt%)である。
化学溶液が硝酸と水との混合溶液である化学溶液の硝酸の濃度は60wt%以上であり、望ましくはほぼ共沸濃度(68wt%)である。
化学溶液が硝酸と水との混合溶液である化学溶液の温度(化学溶液槽の液温)は、望ましくは室温(25℃)であり、すなわち共沸温度(120.7℃)以下である硝酸溶液の自然蒸発が少ない温度であればよい。
室温(25℃)であるほぼ共沸濃度(68wt%)である硝酸と水との混合溶液(硝酸溶液)を酸化膜(パッシベーション膜)の形成に使用することで、化学溶液槽から自然蒸発する硝酸溶液の自然蒸発量を抑えることができる。逆に共沸温度(120.7℃)以上のほぼ共沸濃度(68wt%)である硝酸と水との混合溶液(硝酸溶液)を酸化膜(パッシベーション膜)の形成に使用すると、化学溶液槽から硝酸溶液が気化してしまうため、化学溶液槽から硝酸溶液が減っていき、さらに気化したほぼ共沸濃度(68wt%)である有害な蒸気を、排気(回収)する高額な設備が必要となる。
本願発明者は、このような問題も考慮し、化学溶液槽から自然蒸発する硝酸溶液の自然蒸発量を抑えることができる室温(25℃)であるほぼ共沸濃度(68wt%)である硝酸と水との混合溶液(硝酸溶液)にて、太陽電池のパッシベーション膜として使用するSiO2を形成している。
酸化膜形成処理部においては、ウエハを化学溶液が硝酸と水との混合溶液である化学溶液槽に1分から10分程度浸漬することで、シリコンが露出するウエハの表面(または裏面)には、ウエハの表面を被覆するように膜厚が1.5nm程度のウエハの表面が親水性になるSiO2(パッシベーション膜)が形成される。
ウエハの表面が親水性になるSiO2が形成されたあとに、ウエハキャリア及びウエハを化学溶液槽から引き上げる。その際にウエハの表面に形成されたSiO2の表面は親水性であるため、共沸温度(120.7℃)以下の硝酸溶液が残留している。
図3を説明する。
図3は、エアブロー処理部を構成する概略図を示す図である。エアブロー処理部を正面から見た図を示す。
401は、エアブロー部である。ノズルによりエアーを吹き付ける。
加熱とともに、SiO2の表面に残留している共沸温度以下である硝酸溶液にエアーを吹き付けてもよい(。
ノズルから吹き付けられるエアーはほぼ共沸温度(120.7℃)になるように予めヒータにより加熱されている、
また、引き上げたウエハキャリア(保持具)やウエハの表面に形成されたSiO2の表面に残留する共沸温度(120.7℃)未満の硝酸溶液を飛散させる。
402は、化学溶液回収部である。エアーによりウエハキャリアやウエハから吹き飛ばした化学溶液を回収する。ブローにより飛散した硝酸溶液を回収する。
図4を説明する。
図4は、加熱処理部を構成する概略図を示す図である。加熱処理部を正面から見た図を示す。
図3を説明する。
図3は、エアブロー処理部を構成する概略図を示す図である。エアブロー処理部を正面から見た図を示す。
401は、エアブロー部である。ノズルによりエアーを吹き付ける。
加熱とともに、SiO2の表面に残留している共沸温度以下である硝酸溶液にエアーを吹き付けてもよい(。
ノズルから吹き付けられるエアーはほぼ共沸温度(120.7℃)になるように予めヒータにより加熱されている、
また、引き上げたウエハキャリア(保持具)やウエハの表面に形成されたSiO2の表面に残留する共沸温度(120.7℃)未満の硝酸溶液を飛散させる。
402は、化学溶液回収部である。エアーによりウエハキャリアやウエハから吹き飛ばした化学溶液を回収する。ブローにより飛散した硝酸溶液を回収する。
図4を説明する。
図4は、加熱処理部を構成する概略図を示す図である。加熱処理部を正面から見た図を示す。
加熱室110は、硝酸溶液に浸漬されていたSiO2の表面に残留している共沸温度以下(25℃)であった硝酸溶液が、ほぼ共沸温度(120.7℃)になるように、5分から10分程度、SiO2の表面に残留している硝酸溶液を加熱するためのものである。
また601は、加熱部(加熱ヒータ)である。
また601は、加熱部(加熱ヒータ)である。
加熱部601は、加熱室110の内部の雰囲気がほぼ硝酸溶液の共沸温度(120.7℃)になるように温風を循環させる温風循環器により加熱室110を加熱してもよい。
また、加熱部601は、加熱室110の内部の雰囲気がほぼ共沸温度(120.7℃)になるようにハロゲンランプにより加熱室110を加熱してもよい。
また、加熱部601は、加熱室110の内部の雰囲気がほぼ共沸温度(120.7℃)になるようにハロゲンランプにより加熱室110を加熱してもよい。
また加熱室110の雰囲気を共沸温度(120.7℃)以上にすることにより、硝酸溶液から引き上げられたあとにSiO2の表面に残留している硝酸溶液が全て気化し、残留している硝酸溶液を完全に乾燥(除去)させることもできる。
図6〜図9に示すようにSiO2の表面に残留している共沸温度以下(25℃)である硝酸溶液を5分から10分程度加熱した後に、膜厚が1.5nm(15Å)程度のSiO2の表面状態を確認したところ、加熱しない場合に親水性であるSiO2の表面が疎水性に改質していることが本願発明者により確認された。
太陽電池に形成されたSiO2の表面にOH基が存在していると、放置時間にともなって膜厚が増加するといった経時変化を引き起こしてしまうという問題が生じる。
尚、加熱室110の内部の雰囲気は、ほぼ共沸温度(120.7℃)よりもさらに高い温度である150℃〜300℃であっても同様の効果が得られ、比較的低温(25℃)の温度で形成したパッシベーション膜の表面を、比較的低温(120℃程度)で変質することができることが本願発明者により確認されている。
図5を説明する。
図5の左図は従来のリンス乾燥方式による太陽電池の製造方法としてのシリコンウエハの処理手順を示すフローチャートである。
ステップS101では、太陽電池にパッシベーション膜を形成する前に、シリコン表面の自然酸化膜を除去するために弗酸(HF)溶液に太陽電池を浸漬する。
図5を説明する。
図5の左図は従来のリンス乾燥方式による太陽電池の製造方法としてのシリコンウエハの処理手順を示すフローチャートである。
ステップS101では、太陽電池にパッシベーション膜を形成する前に、シリコン表面の自然酸化膜を除去するために弗酸(HF)溶液に太陽電池を浸漬する。
ステップS102では、太陽電池にパッシベーション膜を形成するために、自然酸化膜を除去され、表面にシリコンが露出する太陽電池を硝酸(HNO3)溶液に浸漬する。
ステップS103では、形成されたパッシベーション膜の表面に残留する硝酸溶液を希釈除去するために、パッシベーション膜の表面に硝酸溶液が残留する太陽電池を純水に浸漬させ、リンス洗浄する。
ステップS104では、リンス洗浄によりパッシベーション膜の表面に残留する純水を除するため、N2エアーでパッシベーション膜の表面に純水が残留する太陽電池をブロー乾燥する。
図5の右図は本願発明の加熱乾燥方式による太陽電池の製造方法としてのシリコンウエハの処理手順を示すフローチャートである。
ステップS201では、太陽電池にパッシベーション膜を形成する前に、シリコン表面の自然酸化膜を除去するために弗酸(HF)溶液に太陽電池を浸漬する。
図5の右図は本願発明の加熱乾燥方式による太陽電池の製造方法としてのシリコンウエハの処理手順を示すフローチャートである。
ステップS201では、太陽電池にパッシベーション膜を形成する前に、シリコン表面の自然酸化膜を除去するために弗酸(HF)溶液に太陽電池を浸漬する。
ステップS202では、太陽電池にパッシベーション膜を形成するために、自然酸化膜を除去され、表面にシリコンが露出する太陽電池を硝酸(HNO3)溶液に浸漬する。(形成工程)
ステップS202では、形成されたパッシベーション膜を乾燥及び改質するために、パッシベーション膜の表面に硝酸溶液が残留する太陽電池を150℃(または300℃)にて加熱する。(加熱工程)
図6を説明する。
図6を説明する。
図6は、図5に示した<リンス乾燥方式>と<加熱乾燥方式>の処理を太陽電池に施した後に、硝酸溶液により太陽電池の表面に形成されたSiO2(シリコン酸化膜)の表面に水滴を滴下して、SiO2表面上の水滴の接触角(Contact Angle)の違いを測定し比較した結果である。
まず<加熱乾燥方式>の結果では表面がシリコンからなる太陽電池を硝酸溶液に浸漬し引き上げたあとに、硝酸溶液がSiO2の表面に残留したまま5分間加熱乾燥した後はSiO2の表面状態が疎水性であるという結果がSiO2表面上の水滴の接触角により示されている。さらに加熱乾燥の設定温度が150℃及び300℃においてもそれぞれ接触角は40°程度であり、5分間加熱乾燥した後のSiO2の表面状態は疎水性であるといえる。
逆に<リンス乾燥方式>の結果ではSiO2表面上の水滴の接触角がほぼ0°であり、SiO2の表面状態が親水性であるといえる。
逆に<リンス乾燥方式>の結果ではSiO2表面上の水滴の接触角がほぼ0°であり、SiO2の表面状態が親水性であるといえる。
また参考までに表面がシリコンからなる太陽電池をHF(弗酸溶液)に浸漬して、太陽電池の表面の自然酸化膜を除去したあとに、ほぼSiが露出する太陽電池の表面に水滴を滴下した場合の接触角の測定結果は75°程度であり、表面状態は当然ながら疎水性である。
このように、従来のリンス乾燥方式と比較して、本願発明の加熱乾燥方式においては、明らかにSiO2の表面状態が疎水性に変化している事が確認され、表面がシリコンからなる太陽電池を硝酸溶液に浸漬し引き上げたあとのSiO2膜の表面乾燥とともに、形成したSiO2の表面状態の改質も同時にすることができた。
図7を説明する。
図7を説明する。
図7は、図5に示した<リンス乾燥方式>と<加熱乾燥方式>の処理を太陽電池に施した後に、硝酸溶液により太陽電池の表面に形成されたSiO2の表面のFT−IR ATRスペクトルの違いを測定し比較した結果である。
まず<加熱乾燥方式>の結果では150℃で加熱乾燥処理したSiO2中のSiO−H濃度が、通常のリンス乾燥方式のSiO2と比べて減少している事が確認された。この結果はSiO2表面のOH基が減少し、図6の結果に示したように<加熱乾燥方式>ではSiO2の表面状態が疎水性に変化した事を裏付けている。
図8を説明する。
図8を説明する。
図8は、図5に示した<リンス乾燥方式>と<加熱乾燥方式>の処理を太陽電池に施した後に、硝酸溶液により太陽電池の表面に形成されたSiO2の表面のキャリアライフタイムの違いを測定し比較した結果である。
まず<加熱乾燥方式>の結果では150℃で加熱乾燥処理したSiO2のキャリアライフタイムは通常のリンス乾燥方式と比較して約10%程度の向上が確認された。キャリアライフタイムの改善は、太陽電池の変換効率アップに密接に関連し、加熱乾燥方式のSiO2はキャリア再結合を低減する効果が向上したパッシベーション膜になっていると言える。
また従来から400℃以上の高温のアニール炉でSiO2の表面を高温処理することにより、SiO2の表面を改質する技術はあるが、SiO2の形成装置と高温のアニール炉の両方の設備が必要となるため、太陽電池の製造コストの増加といった問題が生じる。
100 太陽電池製造装置。
101 太陽電池(シリコンウエハ)
102 ウエハキャリア
105 硝酸溶液(化学溶液)
106 硝酸溶液槽(形成手段)
110 加熱室(加熱手段)
101 太陽電池(シリコンウエハ)
102 ウエハキャリア
105 硝酸溶液(化学溶液)
106 硝酸溶液槽(形成手段)
110 加熱室(加熱手段)
Claims (5)
- 表面がシリコンからなる太陽電池を硝酸溶液に浸漬し、前記太陽電池の表面に酸化膜を形成する形成工程と、
前記硝酸溶液から前記表面に酸化膜を形成した太陽電池を引き上げる引上工程と、
前記引き上げたあとも前記形成した酸化膜の表面に前記硝酸溶液を残留させたまま、前記表面に酸化膜を形成した太陽電池を加熱する加熱工程と、
を含むことを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 前記表面に酸化膜を形成した太陽電池を加熱する温度は前記硝酸溶液の共沸温度以上乃至400℃以下であることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記表面に酸化膜を形成した太陽電池を加熱する時間は10分以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記硝酸溶液の温度は前記硝酸溶液の共沸温度以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 表面がシリコンからなる太陽電池を硝酸溶液に浸漬し、前記太陽電池の表面に酸化膜を形成する形成手段と、
前記硝酸溶液から前記表面に酸化膜を形成した太陽電池を引き上げる引上手段と、
前記引き上げたあとも前記形成した酸化膜の表面に前記硝酸溶液を残留させたまま、前記表面に酸化膜を形成した太陽電池を加熱する加熱手段と、
を備えることを特徴とする太陽電池の製造装置。
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