JP2013181968A - Optical instrument - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光学装置に関する。 The present invention relates to an optical device.
光を照射することによって、測定対象物までの距離を計測する装置が知られている。例えば、光波、ミリ波等の送信波を照射し、その反射波を検出することにより、反射物体の存在やその位置を検出するレーダ装置が知られている(例えば、特許文献1及び特許文献2参照)。特許文献1及び特許文献2には、レーザ光を反射物体に照射し、その反射光の受光強度に対応する電圧信号が基準電圧以上となるまでの時間と、光伝播速度に基づいて、反射物体までの距離を算出することが開示されている。 Devices that measure the distance to a measurement object by irradiating light are known. For example, radar devices that detect the presence and position of a reflecting object by irradiating a transmission wave such as a light wave and a millimeter wave and detecting the reflected wave are known (for example, Patent Document 1 and Patent Document 2). reference). In Patent Document 1 and Patent Document 2, a reflecting object is irradiated with a laser beam based on the time until the voltage signal corresponding to the received light intensity of the reflected light becomes equal to or higher than a reference voltage and the light propagation speed. It is disclosed that the distance to is calculated.
また、反射光のスペクトル解析を行うことによって物体識別を行う技術も知られている(例えば、特許文献3〜特許文献6参照)。特許文献3〜特許文献6には、反射光を画像信号として取得し、画像解析処理を用いて物体識別を行う方法が開示されている。 In addition, a technique for performing object identification by performing spectrum analysis of reflected light is also known (see, for example, Patent Documents 3 to 6). Patent Documents 3 to 6 disclose a method of acquiring reflected light as an image signal and performing object identification using image analysis processing.
ここで、近年、距離計測を行う光学装置において、物体識別も併せて行うことが要求されている。物体識別方法としては、上記特許文献3〜特許文献6に画像解析処理を用いる方法が開示されているが、画像解析処理には比較的高い解像度の画像を用いる必要があり、光学装置の用途に適した撮像システムを個別に用意する必要があった。また、画像解析処理には処理時間がかかり、高速応答の要求される光学装置に適用することは困難であった。 Here, in recent years, it has been required that an optical device that performs distance measurement also performs object identification. As an object identification method, methods using image analysis processing are disclosed in Patent Documents 3 to 6 described above. However, it is necessary to use an image with a relatively high resolution for image analysis processing, which is useful for optical device applications. It was necessary to prepare a suitable imaging system individually. In addition, the image analysis process takes a long time and is difficult to apply to an optical apparatus that requires a high-speed response.
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、距離計測及び物体識別を、高速応答性を損なわず且つ簡易な構成で実現可能な光学装置を提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide an optical device that can realize distance measurement and object identification with a simple configuration without impairing high-speed response.
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、光出射手段、受光手段、記憶手段、識別手段、及び距離算出手段を備える。光出射手段は、第1波長の光を出射する第1光源、及び前記第1波長とは異なる第2波長の光を出射する第2光源を有する。受光手段は、前記光出射手段から出射した前記第1波長の光及び前記第2波長の光を含む出射光の、測定対象物による反射光を受光する。記憶手段は、物体の反射スペクトルを予め記憶する。識別手段は、前記反射光に含まれる、前記第1波長の第1光強度及び前記第2波長の第2光強度に応じた分光反射率を示す前記反射スペクトルの物体を、前記測定対象物として識別する。距離算出手段は、前記出射光の光出射時刻と前記反射光の受光時刻との差分、及び光伝播速度に基づいて、当該光学装置と前記測定対象物との距離を算出する。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention includes a light emitting means, a light receiving means, a storage means, an identification means, and a distance calculation means. The light emitting means includes a first light source that emits light of a first wavelength, and a second light source that emits light of a second wavelength different from the first wavelength. The light receiving means receives the reflected light from the measurement object of the emitted light including the first wavelength light and the second wavelength light emitted from the light emitting means. The storage means stores in advance the reflection spectrum of the object. The identifying means uses, as the measurement object, an object having the reflection spectrum indicating the spectral reflectance according to the first light intensity of the first wavelength and the second light intensity of the second wavelength, which is included in the reflected light. Identify. The distance calculation means calculates the distance between the optical device and the measurement object based on the difference between the light emission time of the emitted light and the light reception time of the reflected light and the light propagation speed.
本発明によれば、距離計測及び物体識別を、高速応答性を損なわず且つ簡易な構成で実現可能な光学装置を提供することができる、という効果を奏する。 According to the present invention, there is an effect that it is possible to provide an optical apparatus capable of realizing distance measurement and object identification with a simple configuration without impairing high-speed response.
以下に添付図面を参照して、この発明にかかる光学装置の一の実施形態を詳細に説明する。 Hereinafter, an optical device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1は、本実施の形態の光学装置100を模式的に示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram schematically showing an
光学装置100は、光出射部10、受光部20、算出部30、表示部40、及び操作部50を備える。
The
光出射部10は、測定対象物に向かって光を出射する。光出射部10は、波長の異なる光を出射する複数の光源を備えている。このため、光出射部10は、波長の異なる複数種類の光を出射する。受光部20は、光出射部10から出射した出射光(以下、単に光と称する場合がある)の測定対象物による反射光を受光する。算出部30は、反射光の光強度を検出すると共に、光学装置100から測定対象物までの距離の算出や、測定対象物の識別を行う。
The
表示部40は、測定対象物までの距離や測定対象物Pの識別結果等の各種情報を表示する。表示部40としては、LCD(Liquid Crystal Display)等の公知の表示装置が挙げられる。
The
操作部50は、各種操作指示をユーザから受け付ける。操作部50としては、例えば、マウス、マイクによる音声認識、ボタン、リモコン、及びキーボード等が挙げられる。
The
次に、光学装置100の光出射部10、受光部20、及び算出部30について詳細を説明する。
Next, details of the
図2は、光出射部10を示す模式図である。光出射部10は、点灯制御器14、光学ユニット11、光学ユニット12、及び光偏向装置13を備える。
FIG. 2 is a schematic diagram showing the
光学ユニット11は、光源11A、コリメートレンズ11B、アパーチャ11C、及び偏向プリズム11Dを備える。具体的には、光学ユニット11は、光源11A側から順に、コリメートレンズ11B、アパーチャ11C、及び偏向プリズム11Dを備える。
The
光源11A(第1光源)は、予め定めた特定の波長(第1波長)の光L1を出射する光源である。光源11Aは、光出射部10に設けられた他の光源(本実施の形態では光源12A(第2光源))とは異なる波長の光を出射する。光源11Aには、例えば、レーザ光を出射する半導体レーザや、LED(Light Emitting Diode)素子等を用いる。
The
コリメートレンズ11Bは、光源11Aから出射した光L1をコリメート(平行に)して、平行光束に変換する。アパーチャ11Cは、通過する光の量を調整する絞りとして機能する。アパーチャ11Cは、具体的には、光学ユニット11から測定対象物Pに照射された光L1のスポット径が、光学ユニット12から出射された光のスポット径と一致するように、スポット径を調整する。なお、このアパーチャ11Cによる絞りの調整値は、上記条件を満たすように予め設定されている。偏向プリズム11Dは、光源11Aから出射し、コリメートレンズ11B及びアパーチャ11Cを通過した光L1が、光偏向装置13に結合するように偏向する。
The collimating
光学ユニット12は、光源12A、コリメートレンズ12B、及びアパーチャ12Cを備える。具体的には、光学ユニット12は、光源12A側から順に、コリメートレンズ12B、及びアパーチャ12Cを備える。
The
光源12A(第2光源)は、予め定めた特定の波長(第2波長)の光L2を出射する光源であり、光出射部10に設けられた他の光源(本実施の形態では光源11A)とは異なる波長の光を出射する。光源12Aには、例えば、レーザ光を出射する半導体レーザや、LED素子等が挙げられる。
The
コリメートレンズ12Bは、光源12Aから出射した光L2をコリメート(平行に)して、平行光束に変換する。アパーチャ12Cは、通過する光L2の量を調整する絞りとして機能する。アパーチャ12Cは、具体的には、光学ユニット12から測定対象物Pに照射された光L2のスポット径が光学ユニット11から出射された光L1のスポット径と一致するように、スポット径を調整する。なお、このアパーチャ12Cによる絞りの調整値は、上記条件を満たすように予め設定されている。
The
なお、光源11A及び光源12Aの各々の出射する光(光L1、光L2)の波長は、上述のように、互いに異なる波長であればよい。光源11A及び光源12Aの各々の出射する光(光L1、光L2)の波長としては、例えば、一方の光源(例えば光源11A)から出射する光L1の波長が1.3μmであり、他方の光源(例えば光源12A)から出射する光L2の波長が1.5μmであることが好ましい。
Note that the wavelengths of the light (light L1, light L2) emitted from each of the
光出射部10が、異なる波長の光を出射する光源として少なくとも2種類の光源(光源11A、光源12A)を備え、一方の光源11Aが波長1.3μmの光L1を出射し、他方の光源12Aが波長1.5μmの光を出射すると、後述する算出部30において、測定対象物Pの水分量に基づく識別を行うことができる。
The
なお、光源11A及び光源12Aの各々の出射する光(光L1、光L2)の波長は、上記値に限られない。具体的には、光出射部10が、2種類の光源を備える場合には、一方の光源(例えば、光源11A)から出射する光L1の波長が1000nm以上1350nm以下の範囲であり、他方の光源(例えば、光源12A)から出射する光L2の波長が1400nm以上1600nm以下の範囲であることが好ましい。
The wavelengths of the light (light L1, light L2) emitted from each of the
光出射部10が、異なる波長の光を出射する光源として少なくとも2種類の光源(光源11A、光源12A)を備え、一方の光源11Aが波長1000nm以上1350nm以下の範囲の光L1を出射し、他方の光源12Aが波長1400nm以上1600nm以下の範囲の光L2を出射すると、後述する算出部30において、測定対象物Pの水分量に基づく物体識別を行うことができる。
The
なお、上述のように、光出射部10が、異なる波長の光を出射する光源として少なくとも2種類の光源(光源11A、光源12A)を備え、光源11A及び光源12Aの出射する光の波長を上記範囲に調整すると、算出部30で用いる光強度に応じた電圧信号に対するノイズ量(S/N比)の低減を図る観点からも好ましい。
As described above, the
なお、より低コストでの実施という観点を重視する場合には、光出射部10が、異なる波長の光を出射する光源として少なくとも2種類の光源(光源11A、光源12A)を備え、一方の光源11Aが波長780nm以上900nm以下の範囲の光L1を出射し、他方の光源12Aが波長940nm以上990nm以下の範囲の光L2を出射することが好ましい。
In addition, when placing importance on the viewpoint of implementation at a lower cost, the
点灯制御器14は、光源11A及び光源12Aを制御する。具体的には、点灯制御器14は、光源11A及び光源12Aが一定時間間隔でのパルス駆動を行うように制御する。また、点灯制御器14は、光源11Aの光L1による走査領域と光源12Aの光L2による走査領域との重複領域において、各光L1及び光L2によるスポット位置が一致するように、光源11A及び光源12Aの点灯の位相差を予め調整する。なお、走査領域とは、光源11A及び光源12Aの各々から出射した光L1及びL2の各々が照射される領域を示す。また、重複領域とは、光源11Aから出射した光L1による走査領域と、光源12Aから出射した光L2による走査領域と、の重複する領域を示す。なお、これらの走査領域及び重複領域については詳細を後述する。
The
光偏向装置13は、光学ユニット11及び光学ユニット12から出射した光L1及び光L2を偏向する。本実施の形態では、光偏向装置13は、互いに直交する方向にチルト(光軸を傾ける)する反射面を備える2軸偏向ミラーである。すなわち、光偏向装置13は、X軸方向とY軸方向(垂直方向(Z軸方向)に直交する水平面内の互いに直交する2方向)の各々への偏向を行う。
The
光学ユニット11から出射した光L1、及び光学ユニット12から出射した光L2の各々は、光偏向装置13の反射面におけるミラーチルト中心位置に入射するよう。なお、光偏向装置13は、光L1及び光L2の入射位置が、上記反射面におけるミラーチルト中心位置となるように、予め位置調整されている。
Each of the light L1 emitted from the
光学ユニット11から出射した光L1及び光学ユニット12から出射した光L2は、光偏向装置13によって偏向されて、光出射部10及び光学装置100の外部へと出射し、測定対象物Pに到る。
The light L1 emitted from the
上述のように構成された光出射部10では、光源11Aから出射した光L1は、コリメートレンズ11Bを通過することによって平行光束に変換された後に、コリメートレンズ11Bによってスポット径が調整され、偏向プリズム11Dによって偏向されて光偏向装置13に到る。また、光源12Aから出射した光L2は、コリメートレンズ12Bを通過することによって平行光束に変換された後に、コリメートレンズ12Bによってスポット径が調整され、光偏向装置13に到る。そして、光偏向装置13によって偏向された光L1及び光L2は、光出射部10(光学装置100)の外部に向かって出射する。
In the
ここで、光偏向装置13は、上述したように、互いに直交する方向にチルト動作する。横軸に時間、縦軸にチルト角度(光軸の傾き)をとる。すると、光偏向装置13に入射した光L1及び光L2の各々は、θz方向(垂直方向)には三角波駆動し、水平方向(垂直方向に直交する方向)には鋸形波駆動する。また、上述のように、各光源11A及び光源12Aは、点灯制御器14によって、一定時間間隔でパルス駆動する。
Here, as described above, the
図3は、光出射部10が出射した光L1の走査パターンの一例を示す模式図である。光偏向装置13に2軸偏向ミラーを用い、光源11Aをパルス駆動する。すると、図3に示すように、光源11Aが出射した光L1による走査領域は、走査領域111に示す矩形状となる。そして、光源11Aから出射した光L1の走査スポット110は、光偏向装置13によって、一定距離間隔でS字状に走査する(図3中、走査スポット110A〜110C参照)。
FIG. 3 is a schematic diagram illustrating an example of a scanning pattern of the light L1 emitted from the
光出射部10が出射した光L2の走査パターンについても同様に、光源12Aが出射した光L2による走査領域は矩形状となり、光L2による走査スポットは一定距離間隔でS字状に走査する。
Similarly, with respect to the scanning pattern of the light L2 emitted from the
このため、各スポット110上に測定対象物Pが位置すると、光L1及び光L2の少なくとも一方による測定対象物Pからの反射光が発生し、受光部20が測定対象物Pによる該反射光を受光する。
For this reason, when the measurement object P is positioned on each
ここで、図2に示すように、光学ユニット11から出射した光L1と、光学ユニット12から出射した光L2と、には、光偏向装置13からの出射時における偏向角度差θA(図2参照)が存在する。このため、光L1による走査領域と、光L2による走査領域と、には、一部重複しない領域が生じる。
Here, as shown in FIG. 2, there is a deflection angle difference θA at the time of emission from the
図4は、光出射部10が出射した光L1及び光L2の走査パターンの一例を示す模式図である。図4に示すように、光源12Aが出射した光L2による走査領域は、走査領域112に示す矩形状となる。そして、光源12Aから出射した光L2の、測定対象物P上の走査スポット120は、光偏向装置13によって、一定距離間隔でS字状に走査する(図4中、走査スポット120A〜120B参照)。
FIG. 4 is a schematic diagram illustrating an example of a scanning pattern of the light L1 and the light L2 emitted from the
そして、光偏向装置13からの出射時における偏向角度差θAにより、光L1による走査領域111と、光L2による走査領域112とは、重複領域113で重複し、重複領域113以外は非重複となる。
Then, due to the deflection angle difference θA at the time of emission from the
上述ように、光源11A及び光源12Aは、点灯制御器14によって、同じ間隔で点灯する。また、点灯制御器14は、光L1及び光L2によるスポット位置が重複領域113において一致するように、光源11A及び光源12Aの点灯の位相差を予め調整している。
As described above, the
このため、受光部20では、光学ユニット11(光源11A)による光L1と、光学ユニット12(光源12A)による光L2と、の双方による、同じ測定対象物Pの同じ位置からの反射光を受光することができる。ただし、これらの光源11Aによる光L1と、光源12Aによる光L2と、による、同じ測定対象物Pの同じ位置(同じ走査スポット)からの反射光を受光部20が受光するタイミングには、僅かに時間差が生じる。このため、本実施の形態では、測定対象物Pの移動速度に対して、光学装置100の走査速度が十分に速いことを前提として説明する。
For this reason, the
次に、受光部20及び算出部30について詳細を説明する。図5は、受光部20の構成及び算出部30の機能的構成を示すブロック図である。
Next, details of the
受光部20は、光出射部10から出射した光(光L1及び光L2)の、測定対象物Pによる反射光L3を受光する。図5に示すように、受光部20は、受光ユニット22を備える。受光ユニット22は、光入射側から順に、波長フィルタ22A、集光レンズ22B、及び受光器22Cを備える。
The
波長フィルタ22Aは、受光した反射光L3の内、光源11Aから出射した光L1の波長成分、及び光源12Aから出射した光L2の波長成分を、選択的に透過する。集光レンズ22Bは、波長フィルタ22Aを透過した反射光L3を集光し、受光器22Cの受光面に光結合させる。
The
受光器22Cは、波長フィルタ22A及び集光レンズ22Bを透過した反射光L3を受光する。受光器22Cは、受光した反射光L3を光電変換し、受光した反射光L3の光強度に応じた電圧信号を算出部30へ出力する。受光器22Cとしては、公知の光電変換装置が挙げられる。なお、受光器22Cには、受光する反射光L3の強度範囲において、十分な強度リニアリティが確保されたものを用いる。
The
図6は、受光器22Cが出力する、受光した反射光L3の光強度に応じた電圧信号を示す波形の一例を示す模式図である。図6に示すように、受光器22Cは、受光した反射光L3の光強度に応じた、波形42に示す電圧信号を算出部30へ出力する。
FIG. 6 is a schematic diagram illustrating an example of a waveform indicating a voltage signal output from the
なお、光L1の走査領域111と光L2の走査領域112との重複領域113から反射光L3を受光した場合には、受光器22Cは、光L1の波長成分の光強度に応じた電圧信号、及び光L2の波長成分の光強度に応じた電圧信号、の双方を含む電圧信号を算出部30へ出力する。
When the reflected light L3 is received from the overlapping
図7は、受光器22Cが出力する、重複領域113からの反射光L3から得た、光L1の波長成分に対応する電圧信号を示す波形、及び光L2の波長成分に対応する電圧信号を示す波形の一例を示す模式図である。図7に示すように、受光した反射光L3に、光L1の波長成分及び光L2の波長成分の双方が含まれる場合には、受光器22Cは、該反射光L3に含まれる光L1の波長成分の光強度に応じた電圧信号(波形44参照)と、該反射光L3に含まれる光L2の波長成分の光強度に応じた電圧信号(波形46参照)と、を算出部30へ出力する。
FIG. 7 shows a waveform indicating the voltage signal corresponding to the wavelength component of the light L1 and the voltage signal corresponding to the wavelength component of the light L2 obtained from the reflected light L3 from the overlapping
図5に戻り、算出部30は、受光信号処理部32、距離算出部34、及び物体識別部36を備える。
Returning to FIG. 5, the
受光信号処理部32は、受光器22Cから、反射光L3の光強度に応じた電圧信号を受け付ける。受光信号処理部32は、受け付けた電圧信号を距離算出部34へ出力する。
The received light
また、受光信号処理部32は、受光器22Cから受け付けた反射光L3の光強度に応じた電圧信号によって示される波形から、光L1の波長成分の光強度に応じた電圧信号によって示される波形44のピーク強度(最も大きい光強度)PL1(図7参照)を抽出する。また、受光信号処理部32は、受光器22Cから受け付けた反射光L3の光強度に応じた電圧信号によって示される波形から、光L2の波長成分の光強度に応じた電圧信号によって示される波形46のピーク強度(最も大きい光強度)PL2(図7参照)を抽出する。そして、受光信号処理部32は、抽出したピーク強度PL1及びピーク強度PL2を、物体識別部36へ出力する。
The received light
距離算出部34は、受光信号処理部32から、反射光L3の光強度に応じた電圧信号を受け付ける。そして、距離算出部34は、受光信号処理部32から受け付けた電圧信号に基づいて、光学装置100と測定対象物Pとの距離を算出する。
The
具体的には、距離算出部34は、メモリ34A及びタイマ34Bを備える。メモリ34Aは、受光強度の閾値E1を予め記憶している。この受光強度の閾値E1は、時刻算出を開始するタイミングを計るための閾値であり、予め任意の値を設定する。また、メモリ34Aは、光学装置100に設けられた光源(光源11A及び光源12A)から光照射の開始された時刻(以下、光源発振時刻と称する)を記憶する。タイマ部34Bは、現在時刻を計測する公知の時計機能部である。
Specifically, the
距離算出部34では、受光信号処理部32から受け付けた電圧信号によって示される波形から、該電圧信号によって示される光強度が閾値E1に達した時刻をメモリ部34Aに記憶する。そして、距離算出部34では、この閾値E1に達した時刻と光源発振時刻との差分時間、及び光伝播速度(≒3×108m/s)から、光出射部10(すなわち光学装置100)と測定対象物Pとの距離を算出する。すなわち、距離算出部34は、閾値E1に達した時刻と光源発振時刻との差分時間と、光伝播速度と、を乗算することで、光学装置100と測定対象物Pとの距離を算出する。
The
なお、距離算出部34では、閾値E1に達した時刻と光源発振時刻との差分時間に代えて、位相差を用いてもよい。具体的には、光源から出射する光を、正弦波状の強度変調信号としておき、光源から出射直後の光信号の位相と、物体からの反射光の位相の差分から、差分時間を求めてもよい。光源からの出射直後の信号は、例えば、機器筺体のカバーガラスからの反射光を受光器で受光することによって得ることができる。なお、これらの位相差は、例えば、上記2種の信号を一般的に知られたヘテロダイン検波などの方法によって測定し、得ればよい。
The
そして、距離算出部34は、算出した距離を表示部40へ出力する。以上の過程を各走査スポットで繰り返すことで、光L1の走査領域111及び光L2の走査領域112の各々の走査領域で、3次元的な距離データを得ることができる。
Then, the
物体識別部36は、測定対象物Pを識別する機能部である。物体識別部36は、受光信号処理部32で抽出された、光L1の波長成分の光強度に応じた電圧信号によって示される波形44のピーク強度PL1、及び光L2の波長成分の光強度に応じた電圧信号によって示される波形46のピーク強度PL2に応じた分光反射率を示す、予め記憶した反射スペクトルの物体を、測定対象物Pとして識別する。
The
詳細には、物体識別部36は、測定対象物Pの反射率指標を算出する反射率指標算出部36A、物体識別部36B、及び記憶部36Cを備える。
Specifically, the
記憶部36Cは、光学ユニット11から出射したときの光L1の光強度PL1iniを予め記憶する。また、記憶部36Cは、光学ユニット12から出射したときの光L2の光強度PL2iniを予め記憶する。なお、これらの光強度PL1ini及び光強度PL2iniは、予め測定して記憶すればよい。
The
また、記憶部36Cは、識別対象の測定対象物Pをその特性毎に予め複数の種類に分類したときの、各種類の反射スペクトル(以下、基準反射スペクトルと称する)を予め記憶している。
In addition, the
例えば、光学装置100を車両に搭載するセンサとして適用した場合を想定する。この場合、記憶部36Cには、人物に上記光L1の波長(第1波長)及び光L2の波長(第2波長)を含む波長領域の光を照射したときの分光反射率を示す基準反射スペクトル、及び路面に上記光L1の波長及び光L2の波長を含む波長領域の光を照射したときの分光反射率を示す基準反射スペクトルを予め記憶する。
For example, the case where the
図8は、基準反射スペクトルの一例を示す模式図である。なお、線図48は、人物(人肌)に上記光L1及び光L2の波長を含む波長領域の光を照射したときの基準反射スペクトルを示す線図である。また、線図52は、潤滑路面に上記光L1及び光L2の波長を含む波長領域の光を照射したときの基準反射スペクトルを示す線図である。 FIG. 8 is a schematic diagram illustrating an example of a reference reflection spectrum. The diagram 48 is a diagram showing a reference reflection spectrum when a person (human skin) is irradiated with light in a wavelength region including the wavelengths of the light L1 and the light L2. Further, the diagram 52 is a diagram showing a reference reflection spectrum when the lubrication road surface is irradiated with light in a wavelength region including the wavelengths of the light L1 and the light L2.
なお、記憶部36Cに予め格納する基準反射スペクトルは、上記2種類に限られず、光学装置100の用途に応じて適宜調整する。すなわち、記憶部36Cに予め格納する基準反射スペクトルの数は、2種類の物体の基準反射スペクトルに限られず、3種類以上の物体の各々の基準反射スペクトルであってもよい。
The reference reflection spectrum stored in advance in the
反射率指標算出部36Aは、受光信号処理部32で抽出された、光L1の波長成分の光強度に応じた電圧信号によって示される波形44のピーク強度PL1、及び光L2の波長成分の光強度に応じた電圧信号によって示される波形46のピーク強度PL2を受け付ける。
The reflectance
そして、反射率指標算出部36Aは、基準反射スペクトルの基準反射率指標を算出する。基準反射率指標とは、基準反射スペクトルを特定する指標となる値である。本実施の形態では、反射率指標算出部36Aは、基準反射スペクトルにおける、上記光L1の波長の光強度と上記光L2の波長の光強度とに基づいて、記憶部36Cに記憶されている基準反射スペクトルの各々の基準反射率指標を算出する。なお、この基準反射率指標の算出は、予め実行し、対応する基準反射スペクトルに対応づけて予め記憶部36Cに記憶してもよい。
Then, the reflectance
反射率指標算出部36Aは、以下のようにして、基準反射率指標を算出する。
The reflectance
例えば、反射率指標算出部36Aは、基準反射スペクトルから、光源11Aから出射する光L1の波長(例えば、1.3μm)に対応する光強度、及び光源12Aから出射する光L2の波長(例えば、1.5μm)に対応する光強度を抽出する。そして、反射率指標算出部36Aは、短波長側の光(ここでは光L1)の光強度から長波長側の光(ここでは光L2)の光強度を減算した減算値を、短波長側の光(ここでは光L1)の光強度と長波長側の光(ここでは光L2)の光強度とを加算した加算値で除算した除算値を、基準反射率指標として算出する。
For example, the reflectance
具体的には、基準反射スペクトルとして、記憶部36Cに、図8に示す線図48(人物)によって示される基準反射スペクトル、及び線図52(潤滑路面)によって示される基準反射スペクトルが記憶されていたとする。
Specifically, as the reference reflection spectrum, the reference reflection spectrum shown by the diagram 48 (person) shown in FIG. 8 and the reference reflection spectrum shown by the diagram 52 (lubricated road surface) are stored in the
この場合、反射率指標算出部36Aは、下記式(1)を用いて、潤滑路面の基準反射スペクトルから、潤滑路面を示す基準反射率指標を算出する。また、反射率指標算出部36Aは、下記式(2)を用いて、人物の基準反射スペクトルから、人物を示す基準反射率指標を算出する。
In this case, the reflectance
なお、式(1)中、I1は、図8に示す線図52(潤滑路面)によって示される基準反射スペクトルから求めた、潤滑路面の基準反射率指標を示す。また、式(1)中、R1LOWは、該潤滑路面の基準反射スペクトルにおける、光L1の波長(1.3μm)に対応する反射率を示す。また、式(1)中、R1Hiは、該潤滑路面の基準反射スペクトルにおける、光L2の波長(1.5μm)に対応する反射率を示す。 In the equation (1), I 1 represents a reference reflectance index of the lubricated road surface obtained from the reference reflection spectrum shown by the diagram 52 (lubricated road surface) shown in FIG. Moreover, in Formula (1), R1 LOW shows the reflectance corresponding to the wavelength (1.3 micrometers) of the light L1 in the reference | standard reflection spectrum of this lubrication road surface. In the formula (1), R1 Hi represents the reference reflectance spectra of該潤smooth road surface, the reflectance corresponding to the wavelength of the light L2 (1.5μm).
また、式(2)中、I2は、図8に示す線図48(人物)によって示される基準反射スペクトルから求めた、人物の基準反射率指標を示す。また、式(2)中、R2LOWは、該人物の基準反射スペクトルにおける、光L1の波長(1.3μm)に対応する反射率を示す。また、式(2)中、R2Hiは、該人物の基準反射スペクトルにおおける、光L2の波長(1.5μm)に対応する反射率)を示す。 In the formula (2), I 2 represents a reference reflectance index of a person obtained from a reference reflection spectrum indicated by a diagram 48 (person) shown in FIG. Moreover, in Formula (2), R2 LOW shows the reflectance corresponding to the wavelength (1.3 micrometers) of the light L1 in the reference | standard reflection spectrum of this person. In the formula (2), R2 Hi is definitive Contact to the reference reflectance spectra of the person thereof shows the wavelength of the light L2 reflectance corresponding to (1.5 [mu] m)).
そして、反射率指標算出部36Aは、記憶部36Cに格納されている各基準反射スペクトルの各々に対応する基準反射率指標(本実施の形態では、潤滑路面を示す基準反射率指標、及び人物を示す基準反射率指標)を予め算出し、予め記憶部36Cに記憶する。
Then, the reflectance
また、反射率指標算出部36Aは、光L1の波長成分の光強度に応じた電圧信号によって示される波形44のピーク強度PL1、及び、光L2の波長成分の光強度に応じた電圧信号によって示される波形46のピーク強度PL2を、受光信号処理部32から受け付ける。そして、反射率指標算出部36Aは、反射光L3の反射率指標を算出する。
Further, the reflectance
詳細には、まず、反射率指標算出部36Aは、光学ユニット11から出射したときの光L1の光強度PL1ini、及び光学ユニット12から出射したときの光L2の光強度PL2iniを、記憶部36Cから読み取る。
More specifically, first, the reflectance
そして、反射率指標算出部36Aは、受光信号処理部32から受け付けた、光L1の波長成分の光強度に応じた電圧信号によって示される波形44のピーク強度PL1を、光学ユニット11から出射したときの光L1の光強度PL1iniで除算した除算値を、光L1の反射率RL1として算出する(式(3)参照)。また、反射率指標算出部36Aは、受光信号処理部32から受け付けた、光L2の波長成分の光強度に応じた電圧信号によって示される波形46のピーク強度PL2を、光学ユニット12から出射したときの光L2の光強度PL2iniで除算した除算値を、光L2の反射率RL2として算出する(式(4)参照)。
Then, the reflectance
そして、反射率指標算出部36Aは、光L1の反射率RL1から光L2の反射率RL2を減算した減算値を、光L1の反射率RL1と光L2の反射率RL2の加算値で除算した除算値を、反射光L3の反射率指標Imdとして算出する(式(5)参照)。
Then, the reflectivity
なお、上記式(1)、式(2)、式(5)では、基準反射率指標及び反射率指標の算出に反射率を用いたが、反射率に代えて、光強度を用いてもよい。 In the above formulas (1), (2), and (5), the reflectance is used to calculate the reference reflectance index and the reflectance index, but the light intensity may be used instead of the reflectance. .
物体識別部36Bは、測定対象物Pの識別を行う。詳細には、物体識別部36Bは、反射率指標算出部36Aで算出した反射光L3の反射率指標Imdと、記憶部36Cに格納されている基準反射率指標(本実施の形態では、基準反射率指標I1〜I2)と、を比較する。そして、記憶部36Cに格納されている基準反射率指標の内、反射率指標算出部36Aで算出した反射光L3の反射率指標Imdの±10%以内の値を示す基準反射率指標によって特定される物体を、測定対象物Pの物体として識別する。
The
なお、物体識別部36Bは、記憶部36Cに格納されている基準反射率指標の内、反射率指標算出部36Aで算出した反射光L3の反射率指標Imdの±10%以内の値を示す基準反射率指標が複数存在する場合には、最も反射率指標Imdに近い基準反射率指標によって特定される物体を、測定対象物Pの物体として識別する。
The
そして、物体識別部36Bは、識別した物体を示す情報を表示部40へ出力する。以上の過程を各走査スポットで繰り返すことで、記憶部36Cに格納した複数種類の基準反射率指標によって特定される物体と同一の物体が、重複領域113内に存在しているかどうかを算出することができる。
Then, the
次に、光学装置100の算出部30が実行する距離算出処理の手順を説明する。図9は、算出部30が実行する距離算出処理の手順を示すフローチャートである。
Next, a procedure of distance calculation processing executed by the
まず、算出部30の受光信号処理部32が、受光器22Cから、反射光L3の光強度に応じた電圧信号を受け付ける(ステップS200)。
First, the light reception
次に、距離算出部34が、受光信号処理部32から受け付けた電圧信号に基づいて、光学装置100と測定対象物Pとの距離を算出する(ステップS202)。
Next, the
次に、距離算出部34が、算出した距離を示す情報を、表示部40へ出力し(ステップS204)、本ルーチンを終了する。
Next, the
次に、光学装置100の算出部30が実行する、物体識別処理の手順を説明する。図10は、算出部30が実行する物体識別処理の手順を示すフローチャートである。
Next, the procedure of the object identification process performed by the
まず、算出部30の受光信号処理部32が、受光器22Cから、反射光L3の光強度に応じた電圧信号を受け付ける(ステップS300)。
First, the light reception
次に、受光信号処理部32が、受光器22Cから受け付けた反射光L3の光強度に応じた電圧信号によって示される波形から、光L1の波長成分の光強度に応じた電圧信号によって示される波形44のピーク強度PL1と、光L2の波長成分の光強度に応じた電圧信号によって示される波形46のピーク強度PL2と、を抽出する(ステップS302)。
Next, the waveform indicated by the voltage signal according to the light intensity of the wavelength component of the light L1 from the waveform indicated by the voltage signal according to the light intensity of the reflected light L3 received from the
次に、物体識別部36の反射率指標算出部36Aが、反射光L3の反射率指標を算出する(ステップS304)。そして、物体識別部36Bが、算出された反射率指標と、記憶部36Cに記憶されている基準反射率指標と、に基づいて、測定対象物Pを識別する物体識別処理を行う(ステップS306)。
Next, the reflectance
そして、物体識別部36Bが、識別した物体を示す情報を表示部40に出力し(ステップS308)、本ルーチンを終了する。
Then, the
以上説明したように、本実施の形態の光学装置100は、互いに異なる波長の光を出力する光源(光源12A及び光源11A)を備えた光出射部10と、光出射部10から出射した光(光L1、光L2)の反射光L3を受光する受光部20と、算出部30と、を備える。そして、算出部30では、反射光L3に含まれる光L1の波長成分の光強度及び反射光L3に含まれる光L2の波長成分の光強度と、予め記憶した複数種類の物体の各々の反射スペクトルと、に基づいて測定対象物Pを識別する。
As described above, the
また、光学装置100では、光出射部10から出射した光(L1及びL2)と反射光L3との位相差または時間差と、光伝播速度から、光出射部10(すなわち光学装置100)と測定対象物Pとの距離を算出する。
Further, in the
このため、本実施の形態の光学装置100では、距離計測及び物体識別を、高速応答性を損なわず且つ簡易な構成で実現することができる。
For this reason, in the
詳細には、距離計測を行う光学装置に、僅かな部品の付加と、簡便な解析機構の付加により、距離情報と共に、物体識別情報を容易に得ることができる。 Specifically, the object identification information can be easily obtained together with the distance information by adding a few components and a simple analysis mechanism to the optical device for measuring the distance.
(変形例)
なお、上記実施の形態では、光出射部10では、光学ユニット11から出射した光L1、及び光学ユニット12から出射した光L2を、光偏向装置13で偏向させて測定対象物Pに照射する場合を説明した。この光L1及び光L2を、合波部材によって合波した後に、光偏向装置13で偏向して測定対象物Pへ照射してもよい。
(Modification)
In the above embodiment, the
図11は、合波部材を備えた光出射部10Aの構成の一例を示す模式図である。
FIG. 11 is a schematic diagram illustrating an example of the configuration of the
光出射部10Aは、点灯制御器14、光学ユニット11、光学ユニット12、光偏向装置13、及び合波部材15を備える。なお、点灯制御器14、光学ユニット11、光学ユニット12、及び点灯制御器14は、実施の形態1と同様であるため詳細な説明を省略する。なお、図11に示す光出射部10Aにおける光学ユニット11は、偏向プリズム11Dを備えない構成である。
The
合波部材15は、光学ユニット11から出射した光L1と、光学ユニット12から出射した光L2と、を合波する合波器である。合波部材15には、例えば、ダイクロイックミラーが挙げられる。光L1と光L2とを合波した光L4は、光偏向装置13を介して測定対象物Pに到る。ここで、光偏向装置13で偏向された光L4は、各光学ユニット11及び光学ユニット12からの光(光L1、光L2)について、偏向角度差の生じない状態で、測定対象物Pに到る。
The multiplexing
このため、光出射部10Aに合波部材15を設けた構成とすることによって、光L1による光走査領域(図4中、光走査領域111参照)と、光L2による光走査領域(図4中、光走査領域112)と、の重複領域113を、合波部材15を設けない場合に比べて拡大することができる。
Therefore, by adopting a configuration in which the multiplexing
このため、測定対象物Pへ照射する光L1及び光L2の偏光を揃えることができ、偏光の影響による反射光L3の光強度の変動を抑制することができる。その結果、受光信号処理部32及び物体識別部36における受光信号の解析過程での誤差を低減し、より精度よく物体識別を行うことができる。
For this reason, the polarization of the light L1 and the light L2 irradiated to the measuring object P can be made uniform, and the fluctuation | variation of the light intensity of the reflected light L3 by the influence of polarization can be suppressed. As a result, errors in the light reception signal analysis process in the light reception
また、合波部材15には、ダイクロイックミラーに代えて、ホログラム素子を用いてもよい。図12は、合波部材15として、ホログラム素子16を用いた光出射部の一例を示す模式図である。
Further, the multiplexing
図12に示すように、光出射部10Bは、点灯制御器14、光学ユニット11、光学ユニット12、光学ユニット17、光偏向装置13、及びホログラム素子16を備える。点灯制御器14、光学ユニット11、光学ユニット12、及び光偏向装置13は、第1の実施の形態と同様である。なお、図12に示す光出射部10Aにおける光学ユニット11は、偏向プリズム11Dを備えない構成である。
As illustrated in FIG. 12, the
光学ユニット17は、光源17A、コリメートレンズ17B、及びアパーチャ17C、を備える。具体的には、光学ユニット17は、光源17A側から順に、コリメートレンズ17B、及びアパーチャ17Cを備える。
The optical unit 17 includes a
光源17Aは、予め定めた特定の波長の光を出射する光源である。光源17Aは、光出射部10Bに設けられた他の光源(本実施の形態では光源11Aと光源12A)とは異なる波長の光を出射する。光源17Aには、例えば、レーザ光を出射する半導体レーザや、LED素子等が挙げられる。
The
コリメートレンズ17Bは、光源17Aから出射したレーザ光をコリメート(平行に)して、平行光束に変換する。アパーチャ17Cは、通過する光の量を調整する絞りとして機能する。アパーチャ17Cは、具体的には、光学ユニット17から測定対象物Pに照射された光のスポット径が、光学ユニット12及び光学ユニット11から出射された光のスポット径と一致するように、スポット径を調整する。
The collimating lens 17B collimates (in parallel) the laser light emitted from the
合波部材15としてのホログラム素子16は、光学ユニット11、光学ユニット12、及び光学ユニット17から出射した光L1、光L2、及び光L5を合波する。合波された光L6は、光偏向装置13によって偏向され、測定対象物Pに到る。
The
このように、合波部材15として、ホログラム素子16を用いた場合には、3種類以上の光源から出射した光を合波することができる。また、測定対象物Pへ照射する光L1、光L2、及び光L5の偏光を揃えることができ、偏光の影響による反射光L3の光強度の変動を抑制することができる。
Thus, when the
このため、光出射部10Bにホログラム素子16を設けた構成とすることによって、光L1による光走査領域と、光L2による光走査領域と、光L3による光走査領域と、の重複領域を、ホログラム素子16を設けない場合に比べて拡大することができる。そして、より広い測定領域、及び物体識別領域を実現することができる。
For this reason, by adopting a configuration in which the
また、図2に示す光出射部10の構成に加えて更に、光偏向装置13の光入射側に、偏光素子18を設けることが好ましい。図13は、偏光素子18を備えた光出射部の構成の一例を示す模式図である。
In addition to the configuration of the
図13に示すように、光出射部10Cを、点灯制御器14、光学ユニット11、光学ユニット12、光偏向装置13、及び偏光素子18を備えた構成とすればよい。そして、光偏向装置13を、光学ユニット11及び光学ユニット12の光出射側で、且つ光偏向装置13の光入射側に設ければよい。
As illustrated in FIG. 13, the
偏光素子18は、偏光素子18に入射する光の偏光を揃える機能を有する素子であればよい。偏光素子18には、例えば、光損失に対して入射角度依存性の低いワイヤグリッド偏光子を用いる。偏光素子18として、ワイヤグリッド偏光子を用いることで、偏光素子18への入射角度の異なる2光線(光線L1、光線L2)に対して、1つの素子で偏光を揃えることができる。
The
ここで、受光部20で受光する反射光L3(図5参照)は、測定対象物Pに照射する光の偏光の影響を受けて光強度が変動する。これは、特に、測定対象物P等の物体に光が入射する際に、測定対象物Pの物体面が入射光に対して垂直でない場合が多いためである。そこで、図13に示すように、光出射部10Cに偏光素子18を備えた構成とする。このように、偏光素子18を備えた構成とし、各光学ユニット11及び光学ユニット12から出射した光L1及び光L2の偏光を揃えることで、受光部20で受光する反射光L2の光強度の変動を抑制することができる。
Here, the light intensity of the reflected light L3 (see FIG. 5) received by the
なお、「偏光が揃う」とは、光L1の偏光度(即ち全強度成分に対する、偏光している成分の比)と、光L2の偏光度と、の差が、±10%の範囲内であることを示す。 Note that “polarized light is aligned” means that the difference between the polarization degree of the light L1 (that is, the ratio of the polarized component to the total intensity component) and the polarization degree of the light L2 is within a range of ± 10%. Indicates that there is.
なお、図13には、図5に示す構成の光出射部10に更に偏光素子13を備えた構成の光出射部10Cを示したが、図11に示す構成の光出射部10A及び図12に示す構成の光出射部10Bに、更に、偏光素子18を備えた構成としてもよい。この場合には、偏光素子18は、光偏向装置13の光入射側で且つ合波部材15(またはホログラム素子16)の光出射側に設ければよい。
13 shows the
100 光学装置
10、10A、10B、10C 光出射部
11A、12A 光源
15 合波部材
16 ホログラム素子
20 受光部
30 算出部
32 受光信号処理部
34 距離算出部
36、36B 物体識別部
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記光出射手段から出射した、前記第1波長の光及び前記第2波長の光を含む出射光の、測定対象物による反射光を受光する受光手段と、
物体の反射スペクトルを予め記憶した記憶手段と、
前記反射光に含まれる、前記第1波長の第1光強度及び前記第2波長の第2光強度に応じた分光反射率を示す前記反射スペクトルの物体を、前記測定対象物として識別する識別手段と、
前記出射光の光出射時刻と前記反射光の受光時刻との差分、及び光伝播速度に基づいて、当該光学装置と前記測定対象物との距離を算出する距離算出手段と、
を備えた光学装置。 A light emitting means having a first light source that emits light of a first wavelength and a second light source that emits light of a second wavelength different from the first wavelength;
A light receiving means for receiving the reflected light from the measurement object of the emitted light including the light of the first wavelength and the light of the second wavelength emitted from the light emitting means;
Storage means for storing in advance the reflection spectrum of the object;
Identification means for identifying, as the measurement object, an object having the reflection spectrum indicating the spectral reflectance according to the first light intensity of the first wavelength and the second light intensity of the second wavelength, which is included in the reflected light. When,
Distance calculating means for calculating the distance between the optical device and the measurement object based on the difference between the light emission time of the emitted light and the light reception time of the reflected light, and the light propagation speed;
An optical device.
物体の反射スペクトルにおける前記第1波長の第3光強度と前記第2波長の第4光強度との差分を、前記第3光強度と前記第4光強度との加算値で除算した除算値を、物体の特徴を示す基準反射率指標として算出する、反射率指標算出手段を更に備え、
前記識別手段は、前記反射率指標に応じた基準反射率指標の物体を識別することによって、前記第1光強度及び前記第2光強度に応じた分光反射率を示す前記反射スペクトルの物体を前記測定対象物として識別する、請求項1に記載の光学装置。 A division value obtained by dividing the difference between the first light intensity and the second light intensity by the addition value of the first light intensity and the second light intensity is calculated as a reflectance index indicating the characteristic of the reflected light. And
A divided value obtained by dividing the difference between the third light intensity of the first wavelength and the fourth light intensity of the second wavelength in the reflection spectrum of the object by the added value of the third light intensity and the fourth light intensity. A reflectance index calculating means for calculating as a reference reflectance index indicating the characteristics of the object,
The identifying means identifies the object of the reflection spectrum indicating the spectral reflectance according to the first light intensity and the second light intensity by identifying the object of the reference reflectance index according to the reflectance index. The optical apparatus according to claim 1, wherein the optical apparatus is identified as a measurement object.
前記第2光源は、1400nm以上1600nm以下の前記第2波長の光を出射する、請求項1〜請求項5の何れか1項に記載の光学装置。 The first light source emits light having the first wavelength of 1000 nm to 1350 nm,
The optical device according to claim 1, wherein the second light source emits light having the second wavelength of 1400 nm to 1600 nm.
前記第2光源は、940nm以上990nm以下の前記第2波長の光を出射する、請求項1〜請求項5の何れか1項に記載の光学装置。 The first light source emits light having the first wavelength of 780 nm to 900 nm,
The optical device according to claim 1, wherein the second light source emits light having the second wavelength of 940 nm to 990 nm.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013181968A true JP2013181968A (en) | 2013-09-12 |
Family
ID=49272692
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012048301A Pending JP2013181968A (en) | 2012-03-05 | 2012-03-05 | Optical instrument |
Country Status (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020504827A (en) * | 2016-12-29 | 2020-02-13 | 華為技術有限公司Huawei Technologies Co.,Ltd. | Ground environment detection method and equipment |
JP2022516493A (en) * | 2018-12-29 | 2022-02-28 | 華為技術有限公司 | Laser measurement module and laser radar |
US11960031B2 (en) | 2018-12-29 | 2024-04-16 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Laser measurement module and laser radar |
-
2012
- 2012-03-05 JP JP2012048301A patent/JP2013181968A/en active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020504827A (en) * | 2016-12-29 | 2020-02-13 | 華為技術有限公司Huawei Technologies Co.,Ltd. | Ground environment detection method and equipment |
US11455511B2 (en) | 2016-12-29 | 2022-09-27 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Ground environment detection method and apparatus |
JP2022516493A (en) * | 2018-12-29 | 2022-02-28 | 華為技術有限公司 | Laser measurement module and laser radar |
JP7271677B2 (en) | 2018-12-29 | 2023-05-11 | 華為技術有限公司 | Laser measurement modules and laser radar |
US11960031B2 (en) | 2018-12-29 | 2024-04-16 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Laser measurement module and laser radar |
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