JP2013171909A

JP2013171909A - Magnetic shield device

Info

Publication number: JP2013171909A
Application number: JP2012033817A
Authority: JP
Inventors: Masahiko Nakajima; 雅彦中島
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2012-02-20
Filing date: 2012-02-20
Publication date: 2013-09-02
Anticipated expiration: 2032-02-20
Also published as: JP5987343B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To inhibit magnetic flux from entering between layers of magnetic shield having a multilayer structure.SOLUTION: A magnetic shield device 10 includes a shield part 1 and cover parts 2. The shield part 1 includes a first cylinder constructed of a magnetic material and a second cylinder which is disposed in a hollow of the first cylinder and constructed of the magnetic material. The cover parts 2 covers at least a part of a space between the first cylinder and the second cylinder out of one opening of the shield part 1.

Description

本発明は、外部磁場を遮蔽する多層構造の磁気シールド装置に関する。 The present invention relates to a magnetic shield device having a multilayer structure that shields an external magnetic field.

脳や心臓などから発せられる微弱な磁場を測定する際に、地磁気等の外部磁場を遮蔽する手段として磁気シールドが知られている。例えば、特許文献１では、強磁性体で形成された複数層の外壁を有する磁気シールド容器が開示されている。この磁気シールド容器は、複数層の外壁を有することから、外部の磁場をより遮蔽することができる。また、開口部が外部に開放されているため、容器内に人が容易に入り込むことができる。 A magnetic shield is known as a means for shielding an external magnetic field such as geomagnetism when measuring a weak magnetic field emitted from a brain or a heart. For example, Patent Document 1 discloses a magnetic shield container having a plurality of outer walls formed of a ferromagnetic material. Since this magnetic shield container has a plurality of outer walls, it can further shield an external magnetic field. Further, since the opening is opened to the outside, a person can easily enter the container.

特開平５−１１４７９６号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-114796

しかし、特許文献１に開示の磁気シールド容器では、その開口部が外部に晒されているため、磁束が複数層の外壁の層間に入り込んでしまい、外部磁場の遮蔽率が低下してしまうという問題がある。 However, in the magnetic shield container disclosed in Patent Document 1, since the opening is exposed to the outside, the magnetic flux enters the layers of the outer walls of the plurality of layers, and the shielding rate of the external magnetic field is reduced. There is.

本発明は、多層構造を有する磁気シールドにおいて、その層間に磁束が入り込むのを抑制することを目的とする。 An object of the present invention is to prevent magnetic flux from entering between layers of a magnetic shield having a multilayer structure.

本発明は、磁性体で構成された第１の筒体と、前記第１の筒体の中空に配置され、磁性体で構成された第２の筒体とを少なくとも有するシールド部と、前記シールド部の一の開口部のうち、前記第１の筒体と前記第２の筒体との間の空間の少なくとも一部を覆う蓋部とを有することを特徴とする磁気シールド装置を提供する。この構成によれば、前記第１の筒体と前記第２の筒体の間（層間）に磁束が入り込むのを抑制することができるので遮蔽率を向上させることができる。 The present invention provides a shield portion having at least a first cylindrical body made of a magnetic material, and a second cylindrical body arranged in the hollow of the first cylindrical body and made of a magnetic material, and the shield A magnetic shield device comprising a lid portion covering at least a part of a space between the first cylindrical body and the second cylindrical body in one opening of the first portion is provided. According to this configuration, since the magnetic flux can be suppressed from entering between the first cylinder and the second cylinder (interlayer), the shielding rate can be improved.

上記の磁気シールド装置において、前記蓋部は、前記シールド部の一の開口部のうち、前記第１の筒体と前記第２の筒体との間の空間全体を覆ってもよい。この構成によれば、前記第１の筒体と前記第２の筒体の間（層間）に磁束が入り込むのをより抑制することができるので遮蔽率を向上させることができる。 In the above magnetic shield device, the lid portion may cover the entire space between the first cylinder and the second cylinder in one opening of the shield. According to this configuration, since the magnetic flux can be further prevented from entering between the first cylinder and the second cylinder (interlayer), the shielding rate can be improved.

また、上記の磁気シールド装置において、前記蓋部は、前記第１の筒体の外側面に沿って延びる筒部と、前記筒部の一端から前記シールド部の軸に向かって延びるフランジ部とを有し、前記フランジ部は、前記シールド部の一の開口部のうち、前記第１の筒体と前記第２の筒体との間の空間全体を覆ってもよい。この構成によれば、蓋部は、第１の筒体の外側面に沿って延びる筒部を有するため、蓋部のシールド部への取り付けが容易になる。 Further, in the above magnetic shield device, the lid portion includes a cylindrical portion extending along the outer surface of the first cylindrical body, and a flange portion extending from one end of the cylindrical portion toward the axis of the shield portion. The flange portion may cover the entire space between the first cylinder and the second cylinder in one opening of the shield portion. According to this configuration, since the lid portion has the cylindrical portion extending along the outer surface of the first cylindrical body, it is easy to attach the lid portion to the shield portion.

上記の磁気シールド装置において、前記蓋部を消磁する消磁部をさらに有するようにしてもよい。この構成によれば、前記遮蔽壁を消磁することができる。 The magnetic shield device may further include a demagnetizing unit that demagnetizes the lid. According to this configuration, the shielding wall can be demagnetized.

本発明の一実施形態に係る磁気シールド装置の斜視図である。1 is a perspective view of a magnetic shield device according to an embodiment of the present invention. シールド部の斜視図である。It is a perspective view of a shield part. シールド部の正面図である。It is a front view of a shield part. 図１に示されるＩ−Ｉ線に沿った、磁気シールド装置の断面図である。It is sectional drawing of the magnetic shielding apparatus along the II line | wire shown by FIG. 装置外部からシールド部の層間に向かう磁束の通路の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the path | route of the magnetic flux which goes to the interlayer of a shield part from the apparatus exterior. 一変形例に係るシールド部の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the shield part which concerns on one modification. 一変形例に係るシールド部の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the shield part which concerns on one modification. 一変形例に係る蓋部の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the cover part which concerns on one modification. 一変形例に係る蓋部の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the cover part which concerns on one modification. 一変形例に係る蓋部の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the cover part which concerns on one modification. 一変形例に係る蓋部の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the cover part which concerns on one modification. 一変形例に係る蓋部の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the cover part which concerns on one modification. 消磁部の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of a demagnetizing part.

（１）実施形態
図１は、本発明の一実施形態に係る磁気シールド装置１０の斜視図である。同図に示されるように、磁気シールド装置１０は、シールド部１と、蓋部２とを有する。シールド部１は、強磁性体により構成された磁気シールドであって、主にｘ軸及びｚ軸方向（軸方向に対して垂直な方向）の磁場を遮蔽する。蓋部２もまた、強磁性体により構成された磁気シールドであって、こちらは主にｙ軸方向（軸方向）の磁場を遮蔽する。 (1) Embodiment FIG. 1 is a perspective view of a magnetic shield device 10 according to an embodiment of the present invention. As shown in the figure, the magnetic shield device 10 includes a shield part 1 and a lid part 2. The shield unit 1 is a magnetic shield made of a ferromagnetic material, and mainly shields magnetic fields in the x-axis and z-axis directions (perpendicular to the axial direction). The lid 2 is also a magnetic shield made of a ferromagnetic material, which mainly shields a magnetic field in the y-axis direction (axial direction).

図２は、シールド部１の斜視図である。図３は、シールド部１の正面図（＋ｙ方向に見た図）である。同図に示されるように、シールド部１は、外筒１１（本発明に係る「第１の筒体」の一例）と、内筒１２（本発明に係る「第２の筒体」の一例）とを有する。外筒１１は、強磁性体により構成された円筒形状の部材である。内筒１２は、外筒１１の中空に設置される、強磁性体により構成された円筒形状の部材である。内筒１２は、外筒１１と同心となるように配置される。なお、図３に示される、白い円の中に交差する２本の線分を描いた記号は、紙面手前側から奥側に向かう矢印を示している。 FIG. 2 is a perspective view of the shield part 1. FIG. 3 is a front view of the shield unit 1 (viewed in the + y direction). As shown in the figure, the shield part 1 includes an outer cylinder 11 (an example of a “first cylinder” according to the invention) and an inner cylinder 12 (an example of a “second cylinder” according to the invention). ). The outer cylinder 11 is a cylindrical member made of a ferromagnetic material. The inner cylinder 12 is a cylindrical member that is installed in the hollow of the outer cylinder 11 and is made of a ferromagnetic material. The inner cylinder 12 is disposed so as to be concentric with the outer cylinder 11. In addition, the symbol which drawn the two line segments which cross | intersect in a white circle shown in FIG. 3 has shown the arrow which goes to a back | inner side from a paper surface front side.

外筒１１は、軸方向に所定の長さＬを有し、内筒１２は、軸方向に所定の長さＬまたはそれよりも短い長さを有し、外筒１１の外径は、内筒１２の外径よりも大きい。外筒１１と内筒１２の間の空間には、図示せぬスペーサーが配置され、このスペーサーによって内筒１２は支持される。このスペーサーとは、例えば発泡スチロールである。外筒１１及び内筒１２の材料は、例えば、パーマロイや、鉄、クロム又はコバルト系のアモルファスや、フェライト焼結体である。 The outer cylinder 11 has a predetermined length L in the axial direction, the inner cylinder 12 has a predetermined length L in the axial direction or a shorter length, and the outer diameter of the outer cylinder 11 is It is larger than the outer diameter of the cylinder 12. A spacer (not shown) is arranged in the space between the outer cylinder 11 and the inner cylinder 12, and the inner cylinder 12 is supported by this spacer. This spacer is, for example, polystyrene foam. The material of the outer cylinder 11 and the inner cylinder 12 is, for example, permalloy, iron, chromium, cobalt-based amorphous, or a ferrite sintered body.

図４は、図１に示されるＩ−Ｉ線に沿った、磁気シールド装置１０の断面図である。同図に示されるように、蓋部２は、円筒部２１（本発明に係る「筒部」の一例）と、円筒部２１の一端から中心軸に向かって垂直に延びるフランジ部２２とを有する。円筒部２１は、所定の長さＬ２を有し、その内径は、外筒１１の外径よりも大きい。また、円筒部２１は、外筒１１の外側面に沿って延びる。 FIG. 4 is a cross-sectional view of the magnetic shield device 10 taken along the line I-I shown in FIG. As shown in the figure, the lid portion 2 includes a cylindrical portion 21 (an example of a “tubular portion” according to the present invention) and a flange portion 22 that extends vertically from one end of the cylindrical portion 21 toward the central axis. . The cylindrical portion 21 has a predetermined length L2, and the inner diameter thereof is larger than the outer diameter of the outer cylinder 11. The cylindrical portion 21 extends along the outer surface of the outer cylinder 11.

フランジ部２２の径方向の長さＬ３は、外筒１１の外径と内筒１２の内径の差ｄ（図３参照）と同じかそれよりも長くなるように設定される。蓋部２の材料は、例えば、パーマロイや、鉄、クロム又はコバルト系のアモルファスや、フェライト焼結体である。蓋部２は、溶接やネジ止めによりシールド部１に固定してもよいが、固定せず取り外し可能にしてもよい。なお、図４に示される、白い円の中に黒い円を描いた記号は、紙面奥側から手前側に向かう矢印を示している。 The radial length L3 of the flange portion 22 is set to be equal to or longer than the difference d (see FIG. 3) between the outer diameter of the outer cylinder 11 and the inner diameter of the inner cylinder 12. The material of the lid 2 is, for example, permalloy, iron, chromium or cobalt-based amorphous, or a ferrite sintered body. The lid portion 2 may be fixed to the shield portion 1 by welding or screwing, but may be removable without being fixed. In addition, the symbol which drew the black circle in the white circle shown by FIG. 4 has shown the arrow which goes to the near side from the paper surface back side.

図５は、上記の構成を有する磁気シールド装置１０において、装置外部からシールド部１の層間に向かう磁束の通路（磁路）の一例を示す図である。図５に示される磁気シールド装置１０は、図１に示されるＩ−Ｉ線に沿った断面図により表されている。また、図５の矢印は、装置外部からシールド部１の層間（外筒１１と内筒１２の間の空間）に向かう磁束の通路を示している。 FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a magnetic flux path (magnetic path) from the outside of the apparatus to the interlayer of the shield unit 1 in the magnetic shield apparatus 10 having the above-described configuration. The magnetic shield device 10 shown in FIG. 5 is represented by a cross-sectional view along the line II shown in FIG. Moreover, the arrow of FIG. 5 has shown the path | route of the magnetic flux which goes to the interlayer (space between the outer cylinder 11 and the inner cylinder 12) of the shield part 1 from the apparatus exterior.

図５に示されるように、装置外部からシールド部１の層間に向かう磁束は、上記のように蓋部２が強磁性体により構成されているため、一旦蓋部２内に入ると、フランジ部２２と円筒部２１とを経由し、次に外筒１１内に入り、当該外筒内を軸方向に進む磁路を形成する。従って、図５に示される例では、シールド部１の層間に磁束が入り込むのが回避されている。 As shown in FIG. 5, the magnetic flux directed from the outside of the apparatus to the interlayer of the shield part 1 has the lid part 2 made of a ferromagnetic material as described above. A magnetic path is formed that passes through the outer cylinder 11 through the cylinder 22 and the cylindrical portion 21 and proceeds in the outer cylinder 11 in the axial direction. Therefore, in the example shown in FIG. 5, the magnetic flux is prevented from entering between the layers of the shield part 1.

以上説明したように、本実施形態に係る磁気シールド装置１０によれば、強磁性体により構成される蓋部２が、シールド部１の軸方向に配置されるため、蓋部２を有しない構成と比較して、シールド部１の層間に磁束が入り込むのを抑制することができる。その結果、外部磁場の遮蔽率を向上させることができる。また、蓋部２は、シールド部１の層間のみを覆い、層間以外の開口部については覆わないため、蓋部２を取り付けた状態であっても、シールド部１内に測定対象を格納することができる。 As described above, according to the magnetic shield device 10 according to the present embodiment, the lid portion 2 made of a ferromagnetic material is arranged in the axial direction of the shield portion 1, and thus has no lid portion 2. Compared with, it can suppress that a magnetic flux enters between the layers of the shield part 1. As a result, the shielding rate of the external magnetic field can be improved. Moreover, since the cover part 2 covers only the interlayer of the shield part 1 and does not cover the openings other than the interlayer, the object to be measured is stored in the shield part 1 even when the cover part 2 is attached. Can do.

（２）変形例
上記の実施形態は、以下のように変形してもよい。また、下記の変形例は、互いに組み合わせてもよい。 (2) Modifications The above embodiment may be modified as follows. The following modifications may be combined with each other.

（２−１）変形例１
上記の実施形態では、シールド部１はｙ軸方向に２つの開口部を有しているが、この開口部の数は１つであってもよい。すなわち、シールド部１の開口部の一方が、例えば強磁性体により構成される蓋体により全体的に塞がれるようにしてもよい。この場合、蓋部２は、蓋体により塞がれていない開口部に対してのみ配置するようにしてもよい。 (2-1) Modification 1
In the above embodiment, the shield part 1 has two openings in the y-axis direction, but the number of openings may be one. In other words, one of the openings of the shield part 1 may be entirely covered with a lid made of a ferromagnetic material, for example. In this case, you may make it arrange | position the cover part 2 only with respect to the opening part which is not obstruct | occluded by the cover body.

また、上記の実施形態では、シールド部１を構成する各筒体の径方向の断面が円形となっているが、この形状は、楕円や多角形であってもよい。また、上記の実施形態において、シールド部１は、３層以上の構造を有してもよい。具体的には、例えば、上記の外筒１１の外側に、さらに筒体を有する構造を有するようにしてもよい。 Moreover, in said embodiment, although the cross section of the radial direction of each cylinder which comprises the shield part 1 is circular, an ellipse or a polygon may be sufficient as this shape. Moreover, in said embodiment, the shield part 1 may have a structure of three or more layers. Specifically, for example, a structure having a cylindrical body on the outer side of the outer cylinder 11 may be provided.

図６は、外筒１１の外側にさらに最外筒１３を有するシールド部１Ａを備えた磁気シールド装置１０Ａの断面図である。当該断面図は、シールド部１Ａの中心線に沿った断面図である。同図に示されるように、当該装置のシールド部１Ａは、外筒１１と、内筒１２と、最外筒１３とを有する。最外筒１３は、強磁性体により構成された円筒形状の部材である。外筒１１は、最外筒１３の中空に設置される。また、外筒１１は、最外筒１３と同心となるように配置される。 FIG. 6 is a cross-sectional view of a magnetic shield device 10 A including a shield portion 1 A having an outermost cylinder 13 on the outer side of the outer cylinder 11. The cross-sectional view is a cross-sectional view taken along the center line of the shield portion 1A. As shown in the figure, the shield portion 1 A of the apparatus has an outer cylinder 11, an inner cylinder 12, and an outermost cylinder 13. The outermost cylinder 13 is a cylindrical member made of a ferromagnetic material. The outer cylinder 11 is installed in the hollow of the outermost cylinder 13. Further, the outer cylinder 11 is disposed so as to be concentric with the outermost cylinder 13.

最外筒１３の軸方向の長さは、外筒１１及び内筒１２の軸方向の長さよりも長い。また、最外筒１３の外径は、外筒１１の外径よりも大きい。最外筒１３と外筒１１の間の空間には、図示せぬスペーサーが配置され、このスペーサーによって外筒１１は支持される。このスペーサーとは、例えば発泡スチロールである。最外筒１３の材料は、例えば、パーマロイや、鉄、クロム又はコバルト系のアモルファスや、フェライト焼結体である。 The axial length of the outermost cylinder 13 is longer than the axial lengths of the outer cylinder 11 and the inner cylinder 12. Further, the outer diameter of the outermost cylinder 13 is larger than the outer diameter of the outer cylinder 11. A spacer (not shown) is disposed in the space between the outermost cylinder 13 and the outer cylinder 11, and the outer cylinder 11 is supported by this spacer. This spacer is, for example, polystyrene foam. The material of the outermost cylinder 13 is, for example, permalloy, iron, chromium, or cobalt-based amorphous, or a ferrite sintered body.

蓋部２Ａは、円筒部２１Ａと、円筒部２１Ａの一端から中心軸に向かって垂直に延びるフランジ部２２Ａとを有する。円筒部２１Ａは、円筒部２１と同様に、所定の長さＬ２を有し、その内径は、最外筒１３の外径よりも大きい。 The lid portion 2A includes a cylindrical portion 21A and a flange portion 22A that extends vertically from one end of the cylindrical portion 21A toward the central axis. Similarly to the cylindrical portion 21, the cylindrical portion 21 A has a predetermined length L 2, and the inner diameter thereof is larger than the outer diameter of the outermost cylinder 13.

フランジ部２２Ａの径方向の長さは、最外筒１３の外径と外筒１１の内径の差と同じかそれよりも長くなるように設定される。蓋部２Ａの材料は、例えば、パーマロイや、鉄、クロム又はコバルト系のアモルファスや、フェライト焼結体である。蓋部２Ａは、溶接やネジ止めによりシールド部１Ａに固定してもよいが固定せず取り外し可能にしてもよい。 The length of the flange portion 22A in the radial direction is set to be equal to or longer than the difference between the outer diameter of the outermost cylinder 13 and the inner diameter of the outer cylinder 11. The material of the lid 2A is, for example, permalloy, iron, chromium or cobalt-based amorphous, or a ferrite sintered body. The lid portion 2A may be fixed to the shield portion 1A by welding or screwing, but may be detachable without being fixed.

図６に示される例においては、最外筒１３と外筒１１の関係は、本発明に係る「第１の筒体」と「第２の筒体」の関係の一例である。また、外筒１１と内筒１２の関係は、本発明に係る「第１の筒体」と「第２の筒体」の関係の一例である。なお、図６の例では、外筒１２の外側に１層の筒体を有する構造について示しているが、２層以上の筒体を有する構成としてもよい。 In the example shown in FIG. 6, the relationship between the outermost cylinder 13 and the outer cylinder 11 is an example of the relationship between the “first cylinder” and the “second cylinder” according to the present invention. The relationship between the outer cylinder 11 and the inner cylinder 12 is an example of the relationship between the “first cylinder” and the “second cylinder” according to the present invention. In addition, in the example of FIG. 6, although it has shown about the structure which has a cylinder of 1 layer on the outer side of the outer cylinder 12, it is good also as a structure which has a cylinder of 2 layers or more.

図７は、外筒１１の外側にさらに筒体を有する場合の他の例を示す図である。具体的には、外筒１１の外側にさらに最外筒１３Ａを有するシールド部１Ｂを備えた磁気シールド装置１０Ｂの断面図である。当該断面図は、シールド部１Ｂの中心線に沿った断面図である。当該図に示される磁気シールド装置１０Ｂでは、蓋部２が設置されず、蓋部２Ｂのみが設置される。 FIG. 7 is a view showing another example in the case where a cylinder is further provided outside the outer cylinder 11. Specifically, it is a cross-sectional view of a magnetic shield device 10B provided with a shield part 1B having an outermost cylinder 13A on the outside of the outer cylinder 11. The cross-sectional view is a cross-sectional view taken along the center line of the shield portion 1B. In the magnetic shield device 10B shown in the figure, the lid 2 is not installed, but only the lid 2B is installed.

蓋部２Ｂは、そのフランジ部２２Ｂの径方向の長さが、フランジ部２２Ａのそれと異なっている点においてのみ、蓋部２Ａと相違している。蓋部２Ｂでは、フランジ部２２Ｂの径方向の長さが、最外筒１３Ａの外径と内筒１２の内径の差と同じかそれよりも長くなるように設定される。最外筒１３Ａは、その軸方向の長さが異なる点においてのみ、最外筒１３と相違している。最外筒１３Ａでは、その軸方向の長さが、外筒１１及び内筒１２のそれと等しくなっている。 The lid portion 2B is different from the lid portion 2A only in that the length of the flange portion 22B in the radial direction is different from that of the flange portion 22A. In the lid portion 2B, the length of the flange portion 22B in the radial direction is set to be equal to or longer than the difference between the outer diameter of the outermost cylinder 13A and the inner diameter of the inner cylinder 12. The outermost cylinder 13A is different from the outermost cylinder 13 only in that the length in the axial direction is different. In the outermost cylinder 13A, the length in the axial direction is equal to that of the outer cylinder 11 and the inner cylinder 12.

図７に示される例においては、最外筒１３Ａと外筒１１の関係は、本発明に係る「第１の筒体」と「第２の筒体」の関係の一例である。また、外筒１１と内筒１２の関係は、本発明に係る「第１の筒体」と「第２の筒体」の関係の一例である。なお、図７の例では、外筒１２の外側に１層の筒体を有する構造について示しているが、２層以上の筒体を有する構成としてもよい。 In the example shown in FIG. 7, the relationship between the outermost cylinder 13A and the outer cylinder 11 is an example of the relationship between the “first cylinder” and the “second cylinder” according to the present invention. The relationship between the outer cylinder 11 and the inner cylinder 12 is an example of the relationship between the “first cylinder” and the “second cylinder” according to the present invention. In addition, in the example of FIG. 7, although it has shown about the structure which has a cylinder of 1 layer on the outer side of the outer cylinder 12, it is good also as a structure which has a cylinder of 2 layers or more.

（２−２）変形例２
上記の実施形態では、蓋部２のフランジ部２２は、円筒部２１の一旦から中心軸に向かって垂直に延びている。しかし、図８に示されるように、円筒部２１に対して鋭角を成すように延びるフランジ部２２Ｃを採用してもよい。なお、図８は、シールド部１の中心線に沿った断面図である。 (2-2) Modification 2
In the above-described embodiment, the flange portion 22 of the lid portion 2 extends vertically from the cylindrical portion 21 once toward the central axis. However, as shown in FIG. 8, a flange portion 22 C that extends at an acute angle with respect to the cylindrical portion 21 may be employed. FIG. 8 is a cross-sectional view taken along the center line of the shield part 1.

また、上記の実施形態では、蓋部２の円筒部２１は、その内径が外筒１１の外径よりも大きくなるように設定されている。また、フランジ部２２は、円筒部２１の一旦から中心軸に向かって垂直に延びている。しかし、図９に示されるように、その外径が内筒１２の内径よりも小さくなるように設定された円筒部２１Ｂを採用してもよい。また、図９に示されるように、中心軸に向かう方向とは逆方向に垂直に延びるフランジ部２２Ｄを採用してもよい。なお、図９は、シールド部１の中心線に沿った断面図である。 In the above embodiment, the cylindrical portion 21 of the lid portion 2 is set so that the inner diameter thereof is larger than the outer diameter of the outer cylinder 11. The flange portion 22 extends vertically from the cylindrical portion 21 once toward the central axis. However, as shown in FIG. 9, a cylindrical portion 21 B that is set so that its outer diameter is smaller than the inner diameter of the inner cylinder 12 may be adopted. Further, as shown in FIG. 9, a flange portion 22 D that extends perpendicular to the direction opposite to the direction toward the central axis may be employed. FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the center line of the shield part 1.

また、上記の実施形態では、フランジ部２２の径方向の長さは、外筒１１の外径と内筒１２の内径の差と同じかそれよりも長くなるように設定されている。しかし、図１０に示されるように、その径方向の長さが、外筒１１の外径と内筒１２の内径の差よりも短いフランジ部２２Ｅを採用してもよい。すなわち、蓋部２１は、シールド部１の開口部のうち、外筒１１と内筒１２との間の空間全体を覆うのではなく、その一部だけを覆うようにしてもよい。なお、図１０は、シールド部１の中心線に沿った断面図である。 In the above embodiment, the length of the flange portion 22 in the radial direction is set to be equal to or longer than the difference between the outer diameter of the outer cylinder 11 and the inner diameter of the inner cylinder 12. However, as shown in FIG. 10, a flange portion 22 E whose length in the radial direction is shorter than the difference between the outer diameter of the outer cylinder 11 and the inner diameter of the inner cylinder 12 may be adopted. That is, the lid portion 21 may cover only a part of the opening of the shield portion 1 instead of covering the entire space between the outer tube 11 and the inner tube 12. FIG. 10 is a cross-sectional view taken along the center line of the shield part 1.

また、上記の実施形態において、蓋部２に代えて、図１１に示されるように、蓋部２におけるフランジ部２２のみから構成される蓋部２Ｃを採用するようにしてもよい。この蓋部２Ｃは、例えば溶接により外筒１１及び内筒１２の端面に固定される。なお、図１１は、シールド部１の中心線に沿った断面図である。 Moreover, in said embodiment, it may replace with the cover part 2 and may be made to employ | adopt the cover part 2C comprised only from the flange part 22 in the cover part 2, as FIG. The lid 2C is fixed to the end surfaces of the outer cylinder 11 and the inner cylinder 12 by welding, for example. FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the center line of the shield part 1.

また、上記の実施形態において、蓋部２に代えて、図１２に示されるように、そのフランジ部２２Ｆにスリット部２２１を有する蓋部２Ｄを採用するようにしてもよい。図１２は、蓋部２Ｄの正面図である。 Moreover, in said embodiment, it may replace with the cover part 2, and as shown in FIG. 12, you may make it employ | adopt cover part 2D which has the slit part 221 in the flange part 22F. FIG. 12 is a front view of the lid 2D.

（２−３）変形例３
上記の実施形態において、蓋部２は、消磁部３を有していてもよい。消磁部３は、図１３に示されるように、消磁コイル３１と、駆動回路３２とを有する。消磁コイル３１は、蓋部２に巻きつけられ、交流磁界を発生させて蓋部２を消磁する。駆動回路３２は、消磁コイル３１に交流磁界を発生させるための電源を有し、所定の周波数の交流電流を消磁コイル３１に流す。 (2-3) Modification 3
In the above embodiment, the lid portion 2 may have the demagnetizing portion 3. As shown in FIG. 13, the demagnetizing unit 3 includes a demagnetizing coil 31 and a drive circuit 32. The degaussing coil 31 is wound around the lid 2 and generates an alternating magnetic field to demagnetize the lid 2. The drive circuit 32 has a power source for generating an alternating magnetic field in the degaussing coil 31 and causes an alternating current having a predetermined frequency to flow through the degaussing coil 31.

１，１Ａ，１Ｂ…シールド部、１１…外筒、１２…内筒、１３，１３Ａ…最外筒、２，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ…蓋部、２１，２１Ａ，２１Ｂ…円筒部、２２，２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄ，２２Ｅ，２２Ｆ…フランジ部、２２１…スリット部、３…消磁部、３１…消磁コイル、３２…駆動回路、１０，１０Ａ…磁気シールド装置。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,1A, 1B ... Shield part, 11 ... Outer cylinder, 12 ... Inner cylinder, 13, 13A ... Outermost cylinder, 2, 2A, 2B, 2C ... Lid part, 21, 21A, 21B ... Cylindrical part, 22, 22A , 22B, 22C, 22D, 22E, 22F ... flange portion, 221 ... slit portion, 3 ... demagnetizing portion, 31 ... degaussing coil, 32 ... drive circuit, 10, 10A ... magnetic shield device.

Claims

A shield portion having at least a first cylindrical body made of a magnetic material and a second cylindrical body arranged in the hollow of the first cylindrical body and made of a magnetic material;
A magnetic shield device comprising: a lid that covers at least a part of a space between the first cylinder and the second cylinder among the one opening of the shield.

2. The magnetic shield according to claim 1, wherein the lid covers the entire space between the first cylinder and the second cylinder in one opening of the shield. apparatus.

The lid portion includes a cylindrical portion extending along the outer surface of the first cylindrical body, and a flange portion extending from one end of the cylindrical portion toward the axis of the shield portion,
The magnetic shield according to claim 2, wherein the flange portion covers the entire space between the first cylinder and the second cylinder in one opening of the shield. apparatus.

The magnetic shield device according to claim 3, further comprising a demagnetizing unit that demagnetizes the lid.