JP2013164420A - Measuring instrument - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は温度管理をして被検物の３次元形状を測定する計測装置に関する。 The present invention relates to a measuring apparatus that performs temperature management and measures a three-dimensional shape of a test object.
被検物の３次元形状を測定する計測装置として、例えば基盤上に水平一方向に移動するＸステージとこれと直交する水平他方向に移動するＹステージからなる移動テーブルを設け、また基盤上に垂直方向に移動するＺステージにセンサヘッドを設けて、このセンサヘッドに移動テーブル上に載置された被検物に向けて測定光を発する光源と被検物から反射した測定光の反射光画像を取得するテレビカメラを内蔵した装置が提案されている（特許文献１）。 As a measuring device for measuring the three-dimensional shape of a test object, for example, a moving table comprising an X stage that moves in one horizontal direction on the base and a Y stage that moves in the other horizontal direction perpendicular thereto is provided. A sensor head is provided on the Z stage that moves in the vertical direction, and a reflected light image of the measurement light reflected from the light source and the light source that emits measurement light toward the test object placed on the moving table on the sensor head. An apparatus incorporating a TV camera that acquires the above has been proposed (Patent Document 1).
上記装置では、被検物に対して光源から測定光を照射し、被検物から反射する測定光の反射光画像を、測定光が照射される方向とは異なる方向からテレビカメラで観察し、反射光画像中の測定光の形状と、光源の位置と、テレビカメラの位置とから、被検物の３次元形状を非接触で測定する。
上述したような計測装置によって被検物の３次元形状の測定を行う際には、通常、被検物の熱膨張による測定誤差を回避するために被検物の温度管理を行っている。この温度管理では、例えば、被検物の機械加工後、この機械加工時の熱などにより高温になった被検物を常温（室温）になるまで放置している。 When measuring the three-dimensional shape of the test object with the measuring apparatus as described above, the temperature of the test object is usually controlled in order to avoid measurement errors due to thermal expansion of the test object. In this temperature management, for example, after machining of the test object, the test object that has become high temperature due to heat during the machining is left to stand at room temperature (room temperature).
比較的熱容量が小さい被検物の場合、放置時間は比較的短時間で済むものの、熱容量が大きい被検物となると放置時間は１日あるいは数日に及ぶこともあるが、これは被検物の温度を測定してその測定結果に基づいて放置時間を決めている訳ではなく、経験的に決められているのが実情である。 In the case of a specimen having a relatively small heat capacity, the standing time may be relatively short. However, if the specimen has a large heat capacity, the standing time may be one day or several days. It is not the case that the standing time is determined based on the measurement result, but the actual situation is that it is determined empirically.
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、被検物の温度管理を行って高精度の形状測定が行える計測装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a measuring apparatus that can perform temperature management of a test object and perform highly accurate shape measurement.
上記目的を達成する本発明の請求項１に記載の計測装置は、被検物の形状を測定する計測装置であって、前記被検物の形状を測定する形状測定手段と、前記被検物の温度を計測する温度計測部を備えてなることを特徴とする。 The measuring device according to claim 1 of the present invention that achieves the above object is a measuring device for measuring the shape of a test object, the shape measuring means for measuring the shape of the test object, and the test object It is characterized by comprising a temperature measuring unit for measuring the temperature.
本発明の請求項２に記載の計測装置は、更に、前記形状測定手段による測定の実行の有無又は前記形状測定手段により得られた測定情報と共に出力する内容を変更する制御部を備えてなることを特徴とする。 The measuring apparatus according to claim 2 of the present invention further includes a control unit that changes the content to be output together with the measurement information obtained by the shape measuring means or the presence or absence of execution of the measurement by the shape measuring means. It is characterized by.
本発明の請求項３に記載の計測装置は、前記温度計測部が、前記被検物の領域毎に温度を計測することが可能であることを特徴とする。 The measuring apparatus according to claim 3 of the present invention is characterized in that the temperature measuring unit can measure a temperature for each region of the test object.
本発明の請求項４に記載の計測装置は、前記温度計測部が、赤外線カメラであることを特徴とする。 The measuring apparatus according to claim 4 of the present invention is characterized in that the temperature measuring unit is an infrared camera.
本発明の請求項５に記載の計測装置は、更に温度範囲を指定する温度指定部を有し、前記制御部は、前記温度計測部で計測した前記被検物の温度が、前記温度指定部が指定する温度範囲にあるか否かに応じて前記測定実行の有無又は出力内容の変更を制御することを特徴とする。 The measuring apparatus according to claim 5 of the present invention further includes a temperature specifying unit that specifies a temperature range, and the control unit is configured such that the temperature of the test object measured by the temperature measuring unit is the temperature specifying unit. Whether to perform the measurement or to change the output content is controlled according to whether or not the temperature is within a specified temperature range.
本発明の請求項６に記載の計測装置は、前記被検物の温度を計測する位置を指定する位置指定部を有し、前記温度計測部は前記位置指定部で指定された位置の温度を計測し、前記制御部は、前記位置指定部で指定する前記被検物の位置の温度が、前記温度指定部が指定する温度範囲内にあるか否かに応じて、前記測定実行の有無又は出力内容の変更を制御することを特徴とする。 The measuring apparatus according to claim 6 of the present invention has a position specifying unit that specifies a position at which the temperature of the test object is measured, and the temperature measuring unit calculates the temperature at the position specified by the position specifying unit. The control unit measures whether or not the measurement is performed depending on whether or not the temperature of the position of the test object specified by the position specifying unit is within a temperature range specified by the temperature specifying unit or It is characterized by controlling change of output contents.
本発明の請求項７に記載の計測装置は、前記制御部が、前記温度計測部で計測した、前記位置指定部で指定する前記被検物の位置での温度が、前記温度指定部で指定する温度範囲から外れるか否かに応じて警報の出力を制御することを特徴とする。 In the measuring device according to claim 7 of the present invention, the temperature at the position of the test object specified by the position specifying unit, which is measured by the temperature measuring unit by the control unit, is specified by the temperature specifying unit. The output of the alarm is controlled depending on whether or not the temperature range falls outside.
本発明の請求項８に記載の計測装置は、更に前記被検物を保持する保持部の温度を計測する周囲温度計測部を備え、前記制御部は、前記周囲温度計測部で計測された温度と、前記温度計測部で計測された前記被検物の温度との差が所定の温度範囲にあるか否かに応じて前記形状測定手段による測定の実行の有無又は前記形状測定手段により得られた測定情報と共に出力する内容を変更することを特徴とする。 The measurement apparatus according to claim 8 of the present invention further includes an ambient temperature measurement unit that measures the temperature of the holding unit that holds the test object, and the control unit is a temperature measured by the ambient temperature measurement unit. Depending on whether or not the difference between the temperature measured by the temperature measuring unit and the temperature of the test object is within a predetermined temperature range, whether or not the measurement by the shape measuring means is performed or obtained by the shape measuring means The content to be output together with the measured information is changed.
本発明の請求項９に記載の計測装置は、前記形状測定手段が、前記被検物に光線を投影する投影ユニットと、前記被検物の画像を撮像する撮像ユニットと、前記撮像ユニットから出力された画像データを基に前記被検物の形状を求め、出力する形状データ出力部を有することを特徴とする。 In the measurement apparatus according to claim 9 of the present invention, the shape measuring means outputs a projection unit that projects a light beam onto the test object, an imaging unit that captures an image of the test object, and an output from the imaging unit. A shape data output unit for obtaining and outputting the shape of the test object based on the obtained image data;
本発明の請求項１０に記載の計測装置は、更に、前記被検物と前記形状測定手段を覆い、かつ前記温度計測部で感受可能なエネルギー線を減衰する減衰部材を備えたことを特徴とする。 The measuring apparatus according to claim 10 of the present invention further includes an attenuation member that covers the test object and the shape measuring means and attenuates an energy ray that can be sensed by the temperature measuring unit. To do.
本発明の請求項１１に記載の計測装置は、前記温度計測部が、前記被検物から離れた位置に配置されていることを特徴とする。 The measuring device according to claim 11 of the present invention is characterized in that the temperature measuring unit is arranged at a position away from the test object.
本発明によれば、被検物の温度管理を行って高精度の形状測定が行える。 According to the present invention, it is possible to perform highly accurate shape measurement by controlling the temperature of the test object.
以下本発明の計測装置の一実施形態について図１乃至図５を参照して説明する。 Hereinafter, an embodiment of a measuring apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS.
本発明の計測装置は、被検物の３次元形状を計測する装置で、空気温度が変化する雰囲気中に設置される。 The measuring device of the present invention is a device that measures the three-dimensional shape of a test object, and is installed in an atmosphere in which the air temperature changes.
図１は本発明の計測装置の一実施形態を示す概略図である。 FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of the measuring apparatus of the present invention.
本実施形態の計測装置には、被検物Ｍの形状情報を採取する検出部としての形状センサ２０と、この形状センサ２０が形状情報を採取する被検物Ｍの温度を計測する温度計測部としての赤外線カメラ３０と、これら形状センサ２０及び赤外線カメラ３０を備えた計測装置本体１０とが設けられている。また、計測装置には、計測装置本体１０全体を制御し且つ赤外線カメラ３０からの温度情報と形状センサ２０から出力する内容に基づき計測結果を出力する制御手段としてのＣＰＵ４０（図３参照）と、操作卓５０が設けられている。 The measuring device of this embodiment includes a shape sensor 20 as a detection unit that collects shape information of the test object M, and a temperature measurement unit that measures the temperature of the test object M from which the shape sensor 20 collects shape information. And the measuring apparatus body 10 including the shape sensor 20 and the infrared camera 30 are provided. The measurement device includes a CPU 40 (see FIG. 3) as a control unit that controls the entire measurement device main body 10 and outputs measurement results based on temperature information from the infrared camera 30 and content output from the shape sensor 20. A console 50 is provided.
計測装置本体１０は、床１１にベース１２を配置し、このベース１２上に、Ｘステージ１４、Ｙステージ１５及びＺステージ１６を配置している。 In the measuring apparatus main body 10, a base 12 is disposed on a floor 11, and an X stage 14, a Y stage 15, and a Z stage 16 are disposed on the base 12.
Ｘステージ１４は、被検物Ｍを載置する機構で、載置した被検物Ｍをベース１２上で水平一方向（図１の矢印Ｘ方向参照）に平行移動させる。 The X stage 14 is a mechanism for placing the specimen M, and translates the placed specimen M in the horizontal direction on the base 12 (see the arrow X direction in FIG. 1).
Ｙステージ１５は、ベース１２上でＸステージ１４と直交する水平方向（図１の矢印Ｙ方向参照）に移動する水平部分１５ａと、この水平部分１５ａ上に垂直に起立して設けられた垂直部分１５ｂとを有している。この垂直部分１５ｂにはＺステージ１６が移動可能に支持されて、Ｚステージ１６を矢印Ｙ方向に移動させる。 The Y stage 15 includes a horizontal portion 15a that moves in a horizontal direction (see the arrow Y direction in FIG. 1) orthogonal to the X stage 14 on the base 12, and a vertical portion that is provided upright on the horizontal portion 15a. 15b. The Z stage 16 is movably supported by the vertical portion 15b, and moves the Z stage 16 in the arrow Y direction.
Ｚステージ１６は、Ｙステージ１５の垂直部分１５ｂに沿いベース１３に対して垂直方向（図１の矢印Ｚ方向参照）に移動可能な基部１６ａと、この基部１６ａからベース１３に対して平行に延びるアーム部１６ｂとを有している。アーム部１６ｂにはその先端部に被検物Ｍと対向するようにして上述した形状センサ２０が取り付けられ、また形状センサ２０から離れて同じく被検物Ｍと対向するようにして上述した赤外線カメラ３０が取り付けられていて、アーム部１６ｂはこれら形状センサ２０と赤外線カメラ３０とを矢印Ｚ方向に移動させる。 The Z stage 16 extends along the vertical portion 15b of the Y stage 15 in a direction perpendicular to the base 13 (see the arrow Z direction in FIG. 1), and extends parallel to the base 13 from the base 16a. Arm portion 16b. The shape sensor 20 is attached to the arm portion 16b at the tip thereof so as to face the test object M, and the infrared camera described above so as to face the test object M apart from the shape sensor 20 as well. 30 is attached, and the arm portion 16b moves the shape sensor 20 and the infrared camera 30 in the arrow Z direction.
形状センサ２０は、Ｙステージ１５とＺステージ１６によってベース１３に対して水平方向（矢印Ｙ方向）及び垂直方向（矢印Ｚ方向）に移動可能である。形状センサ２０は、被検物Ｍの形状を光切断法によって計測する装置で、測定光を被検物Ｍに投影する投影ユニット２１と、測定光が照射された被検物Ｍを撮像する撮像ユニット２２とを有する。形状センサ２０の位置は、Ｘステージ１４、Ｙステージ１５、Ｚステージ１６それぞれの位置の合成された位置である。 The shape sensor 20 is movable in the horizontal direction (arrow Y direction) and the vertical direction (arrow Z direction) with respect to the base 13 by the Y stage 15 and the Z stage 16. The shape sensor 20 is a device that measures the shape of the test object M by a light cutting method. The shape sensor 20 projects a measurement unit 21 that projects the measurement light onto the test object M, and an image that captures the test object M irradiated with the measurement light. Unit 22. The position of the shape sensor 20 is a combined position of the positions of the X stage 14, the Y stage 15, and the Z stage 16.
赤外線カメラ３０は、被検物Ｍが放射する赤外線を赤外線に感度を持つ２次元撮像素子によって検出し、その赤外線の量に応じて被検物Ｍの表面温度を計測する温度計である。 The infrared camera 30 is a thermometer that detects an infrared ray emitted from the test object M with a two-dimensional image sensor having sensitivity to the infrared ray, and measures the surface temperature of the test object M according to the amount of the infrared ray.
操作卓５０には、赤外線カメラ３０の出力（撮像画像）などを表示する液晶表示装置などからなるモニター５１と、測定開始指令や測定を開始する温度（指定温度）などを入力する温度指定部としてのキーボード５２が設けられている。なお、この指定温度は、何度から何度までという温度範囲であってもよい。 The console 50 includes a monitor 51 including a liquid crystal display device that displays the output (captured image) of the infrared camera 30 and the like, and a temperature designation unit for inputting a measurement start command, a temperature at which measurement is started (designated temperature), and the like. Keyboard 52 is provided. The designated temperature may be a temperature range from several times to many times.
図２はモニター５１の表示内容（モニター画面５１ａ）の一例を示している。図２に示すように、赤外線カメラ３０の出力は、モニター５２上に画像で表示される。温度は色に変換されてモニター５２上に表示される。また、操作卓５０には被検物Ｍの温度を計測する位置を指定する位置指定部としてのジョイスティック５３（図３参照）が設けられており、このジョイスティック５３によりモニター画面５１ａに表示されるカーソル５１ｂの位置を変更できる。カーソル５１ｂが示す位置が温度を計測する位置で、その温度が、色と温度の対応を表示する温度指標５１ｃに数値で表示される。図２では、Ｘステージ１４上に載置された被検物Ｍの画像５１ｄがＸステージ１４の画像５１ｅと共に表示され、この被検物Ｍの上面Ｍａに相当する画像５１ｄ中の部位５１ｆの温度が１８℃であることが図示されている。Ｘステージ１４は被検物Ｍの保持部として機能し、このＸステージ１４の赤外線画像を撮影する赤外線カメラ３０は被検物Ｍの温度を計測する温度計測部として機能する他にＸステージ１４等の被検物Ｍの設置場所の周囲の温度を計測する周囲温度計測部としても機能する。 FIG. 2 shows an example of the display content of the monitor 51 (monitor screen 51a). As shown in FIG. 2, the output of the infrared camera 30 is displayed as an image on the monitor 52. The temperature is converted into a color and displayed on the monitor 52. Further, the console 50 is provided with a joystick 53 (see FIG. 3) as a position designating unit for designating the position at which the temperature of the object M is measured, and a cursor displayed on the monitor screen 51a by the joystick 53. The position of 51b can be changed. The position indicated by the cursor 51b is a position at which the temperature is measured, and the temperature is displayed numerically on a temperature index 51c that displays the correspondence between color and temperature. In FIG. 2, the image 51d of the test object M placed on the X stage 14 is displayed together with the image 51e of the X stage 14, and the temperature of the part 51f in the image 51d corresponding to the upper surface Ma of the test object M is displayed. Is shown to be 18 ° C. The X stage 14 functions as a holding unit for the test object M, and the infrared camera 30 that captures an infrared image of the X stage 14 functions as a temperature measurement unit that measures the temperature of the test object M. It also functions as an ambient temperature measurement unit that measures the ambient temperature of the place where the test object M is installed.
計測装置本体１０には、図３に示すように、Ｘステージ１４の動作と、Ｙステージ１５の動作と、Ｚステージ１６の動作とをそれぞれ制御するステージ駆動回路４１が設けられている。このステージ駆動回路４１は、ＣＰＵ４０から移動信号を入力してＸ、Ｙ、Ｚステージ１４、１５、１６にそれぞれ駆動信号を出力する他に、Ｘ、Ｙ、Ｚステージ１４、１５、１６の位置情報を形状測定回路４２に出力する。 As shown in FIG. 3, the measurement apparatus body 10 is provided with a stage drive circuit 41 that controls the operation of the X stage 14, the operation of the Y stage 15, and the operation of the Z stage 16. This stage drive circuit 41 receives movement signals from the CPU 40 and outputs drive signals to the X, Y, and Z stages 14, 15, and 16, as well as positional information for the X, Y, and Z stages 14, 15, and 16. Is output to the shape measuring circuit 42.
形状測定回路４２は、投影ユニット２１のレーザー光源２１ａに制御信号を出力して該レーザー光源２１ａをＯＮ／ＯＦＦ制御する一方、撮像ユニット２２のビデオカメラ２２ａから画像データが入力される。形状測定回路４２は、ビデオカメラ２２ａから入力した画像データと、ステージ駆動回路４１から入力したＸ、Ｙ、Ｚステージ１４、１５、１６の位置情報とに基づいて被検物Ｍの形状を求めて、形状データをＣＰＵ４０に出力する。 The shape measurement circuit 42 outputs a control signal to the laser light source 21 a of the projection unit 21 to control the laser light source 21 a on / off, while image data is input from the video camera 22 a of the imaging unit 22. The shape measuring circuit 42 obtains the shape of the test object M based on the image data input from the video camera 22 a and the positional information of the X, Y, Z stages 14, 15, 16 input from the stage drive circuit 41. The shape data is output to the CPU 40.
赤外線カメラ３０が撮影した被検物ＭとＸステージ１４の温度を表す赤外線画像データは温度測定回路４３に出力され、ここで赤外線画像データが温度データに変換される。温度測定回路４３が出力する温度データは、赤外線画像データの画面全体の温度である。 Infrared image data representing the temperatures of the object M and the X stage 14 taken by the infrared camera 30 is output to the temperature measurement circuit 43, where the infrared image data is converted into temperature data. The temperature data output from the temperature measurement circuit 43 is the temperature of the entire screen of infrared image data.
ＣＰＵ４０は、温度測定回路４３から温度データを入力してモニター５１に温度画像を出力する。ＣＰＵ４０には、キーボード５２から指定温度信号が入力し、ジョイスティック５３から温度の測定位置信号が入力する。 The CPU 40 inputs temperature data from the temperature measurement circuit 43 and outputs a temperature image to the monitor 51. The CPU 40 receives a specified temperature signal from the keyboard 52 and a temperature measurement position signal from the joystick 53.
ＣＰＵ４０は、ジョイスティック５３で指定した被検物Ｍ上の箇所の温度がキーボード５２から入力した指定温度の範囲内にあるとき、形状センサ２０を駆動して被検物Ｍの形状測定を開始する。すなわち、上述したように、ＣＰＵ４０は、駆動信号をステージ駆動回路４１に出力してステージ駆動回路４１を駆動する。これにより、ステージ駆動回路４１は、Ｘ、Ｙ、Ｚステージ１４、１５，１６に駆動信号を送る一方、駆動されたＸ、Ｙ、Ｚステージ１４、１５，１６の各位置情報を形状測定回路４２に送る。形状測定回路４２は、投影ユニット２１のレーザー２１ａに制御信号を出力して該レーザー２１ａをＯＮ／ＯＦＦ制御する一方、撮像ユニット２２のビデオカメラ２２ａから画像データを入力し、この画像データと、Ｘ、Ｙ、Ｚステージ１４、１５、１６の位置情報とに基づいて被検物Ｍの形状を求める。 When the temperature of the location on the test object M specified by the joystick 53 is within the range of the specified temperature input from the keyboard 52, the CPU 40 drives the shape sensor 20 to start measuring the shape of the test object M. That is, as described above, the CPU 40 outputs a drive signal to the stage drive circuit 41 to drive the stage drive circuit 41. Thereby, the stage drive circuit 41 sends drive signals to the X, Y, and Z stages 14, 15, and 16, while the position measurement information of each of the driven X, Y, and Z stages 14, 15, and 16 is given to the shape measurement circuit 42. Send to. The shape measurement circuit 42 outputs a control signal to the laser 21a of the projection unit 21 to control ON / OFF of the laser 21a, while inputting image data from the video camera 22a of the imaging unit 22, and this image data and X , The shape of the test object M is obtained based on the position information of the Y, Z stages 14, 15, and 16.
ＣＰＵ４０は、形状センサ２０による形状測定の実行中、ジョイスティック５３で指定した被検物Ｍ上の箇所の温度がキーボード５２から入力した指定温度の範囲から外れたとき、モニター５１に警報を表示する一方、形状センサ２０による被検物Ｍの形状測定を中止させる。モニター５１は、赤外線カメラ３０の撮影画像を表示する他に、被検物Ｍの温度が指定温度の範囲から外れたことを表示する警報部としても機能する。 While the shape measurement by the shape sensor 20 is being executed, the CPU 40 displays an alarm on the monitor 51 when the temperature of the location on the object M specified by the joystick 53 is out of the specified temperature range input from the keyboard 52. Then, the shape measurement of the object M by the shape sensor 20 is stopped. In addition to displaying the image captured by the infrared camera 30, the monitor 51 also functions as an alarm unit for displaying that the temperature of the test object M is out of the specified temperature range.
上述したように、ＣＰＵ４０は、温度測定回路４３から入力する温度データに基づいてその出力内容を変更している。変更内容としては、例えば、形状測定結果の有無（形状データの出力の有無 形状測定の続行、中止など）であり、又は形状測定結果に対する警告（温度変化による熱膨張・収縮での形状変化を有する被検物Ｍの形状測定結果に対する警告）である。 As described above, the CPU 40 changes the output content based on the temperature data input from the temperature measurement circuit 43. Changes include, for example, the presence or absence of shape measurement results (whether or not shape data is output, continuation or cancellation of shape measurement, etc.), or warnings for shape measurement results (shape changes due to thermal expansion / contraction due to temperature changes) Warning for the shape measurement result of the test object M).
ＣＰＵ４０によって形状測定結果を出力しない方法としては、例えば、Ａ：形状センサ２０を駆動して形状データを取得するが、この形状データの移行処理を中断する、Ｂ：形状センサ２０そのものを駆動せず、形状データに関する出力を一切しない、Ｃ：形状センサ２０によって画像データを取得し、この画像データに基づいて被検物Ｍの形状データを作成するが、それを表示部（ディスプレイ）、印刷出力部（プリンタ）、ＣＡＤなどの装置に出力しない、などの方法がある。 As a method of not outputting the shape measurement result by the CPU 40, for example, A: the shape sensor 20 is driven to acquire shape data, but the shape data transfer process is interrupted, and B: the shape sensor 20 itself is not driven. C: No output related to shape data, C: Image data is acquired by the shape sensor 20, and shape data of the test object M is created based on the image data. The display unit (display), print output unit (Printer), and a method of not outputting to a device such as CAD.
次に、上記計測装置のＣＰＵ４０の動作を図４のフローチャートに従って説明する。 Next, the operation of the CPU 40 of the measuring apparatus will be described with reference to the flowchart of FIG.
操作者が被検物をＸステージ１４に載せて、操作卓５０で計測開始の操作をすると、図４フローチャートに示された内容がスタートする。 When the operator places the test object on the X stage 14 and performs an operation to start measurement on the console 50, the contents shown in the flowchart of FIG. 4 start.
Step１では、ＣＰＵ４０は温度測定回路４３から赤外線カメラ３０が撮影している被検物Ｍの温度データを入力する。 In Step 1, the CPU 40 inputs temperature data of the object M captured by the infrared camera 30 from the temperature measurement circuit 43.
Step２では、ＣＰＵ４０は、ジョイスティック５３からカーソル５１ｂの位置を、キーボード５２から指定温度をそれぞれ入力する。 In Step 2, the CPU 40 inputs the position of the cursor 51 b from the joystick 53 and the specified temperature from the keyboard 52.
Step３では、ＣＰＵ４０は、温度データが表すカーソル５１ｂの位置の温度が、指定温度にあるかどうかを判断する。 In Step 3, the CPU 40 determines whether or not the temperature at the position of the cursor 51b represented by the temperature data is at the specified temperature.
Step４では、カーソル５１ｂが表す位置の温度が指定温度ではない場合には、指定温度になるまで温度を計測し続ける。 In Step 4, when the temperature at the position represented by the cursor 51b is not the designated temperature, the temperature is continuously measured until the designated temperature is reached.
Step５では指定温度である場合には、ＣＰＵ４０は温度データが表すカーソル５１ｂの位置の温度を監視しながら、形状センサ２０を制御して、被検物Ｍの形状を計測する。 In Step 5, when the temperature is the designated temperature, the CPU 40 controls the shape sensor 20 while monitoring the temperature at the position of the cursor 51b represented by the temperature data, and measures the shape of the test object M.
このように、被検物Ｍの形状を測定する部位の温度が、所定の温度である場合に、被検物Ｍの形状を測定するので、被検物Ｍの熱膨張の量が常に一定の大きさの形状を測定できる。従って、被検物Ｍの形状を高精度に計測することができる。 Thus, since the shape of the test object M is measured when the temperature of the part for measuring the shape of the test object M is a predetermined temperature, the amount of thermal expansion of the test object M is always constant. The shape of the size can be measured. Therefore, the shape of the test object M can be measured with high accuracy.
Step６では、ＣＰＵ４０は、カーソル５１ｂが表す位置の温度が指定温度から外れたかどうかを判断する。 In Step 6, the CPU 40 determines whether or not the temperature at the position represented by the cursor 51b has deviated from the specified temperature.
Step７では、指定温度から外れた場合には、ＣＰＵ４０はモニター５１上に警報を表示して、計測を中止する。 In Step 7, when it deviates from the specified temperature, the CPU 40 displays an alarm on the monitor 51 and stops the measurement.
このように、被検物Ｍの形状の計測中に被検物Ｍの温度が指定温度から外れた場合には計測を中止するので、被検物Ｍの熱膨張の量が一定の大きさからはずれた形状を測定しない。すなわち、測定誤差になるような形状データを取得しないようにしている。 Thus, since the measurement is stopped when the temperature of the test object M deviates from the specified temperature during the measurement of the shape of the test object M, the amount of thermal expansion of the test object M is from a certain level. Do not measure out of shape. That is, shape data that causes measurement errors is not acquired.
Step８では、指定温度にある場合は、被検物Ｍの全体の形状の計測が終了したかどうかを判断する。終了していなければ、Step５に戻って、形状計測を続ける。 In Step 8, if it is at the specified temperature, it is determined whether or not the measurement of the entire shape of the object M has been completed. If not completed, the process returns to Step 5 to continue shape measurement.
図５は上記計測装置の別の動作を示すフローチャートである。 FIG. 5 is a flowchart showing another operation of the measuring apparatus.
操作者が被検物ＭをＸステージ１４に載せて、操作卓５０で計測開始の操作をすると、図５のフローチャートがスタートする。 When the operator places the test object M on the X stage 14 and performs an operation for starting measurement on the console 50, the flowchart of FIG. 5 starts.
Step１１では、ＣＰＵ４０は温度測定回路４３から赤外線カメラ３０が撮影している被検物Ｍの温度データと、被検物Ｍが置かれているＸステージ１４の温度データとを入力して、被検物Ｍの温度分布とＸステージ１４の温度分布とを作成する。 In Step 11, the CPU 40 inputs the temperature data of the test object M taken by the infrared camera 30 from the temperature measurement circuit 43 and the temperature data of the X stage 14 on which the test object M is placed. The temperature distribution of the object M and the temperature distribution of the X stage 14 are created.
Step１２では、ＣＰＵ４０は、Ｘステージ１４の温度分布の平均値と、被検物Ｍの温度分布の温度分布幅とを比較し、被検物Ｍの温度分布幅がＸステージ１４の温度の平均値の±１℃の範囲に収まっているかどうかを判断する。 In Step 12, the CPU 40 compares the average value of the temperature distribution of the X stage 14 with the temperature distribution width of the temperature distribution of the test object M, and the temperature distribution width of the test object M is the average value of the temperature of the X stage 14. It is judged whether it is within the range of ± 1 ° C.
なお、必ずしも被検物Ｍの温度分布幅がＸステージ１４の温度の平均値の±１℃の範囲に収まっているかどうかを判断する必要はなく、Ｘステージ１４の温度分布と被検物Ｍの温度分布との差が所定の範囲に収まっていればよく、例えば、被検物Ｍが置かれている周辺のＸステージ１４の温度がＸステージ１４近くの被検物Ｍの温度と所定の温度差に収まっているかどうかを判断しても良い。 It is not always necessary to determine whether or not the temperature distribution width of the test object M is within a range of ± 1 ° C. of the average value of the temperature of the X stage 14. It is sufficient that the difference from the temperature distribution is within a predetermined range. For example, the temperature of the X stage 14 around which the test object M is placed is equal to the temperature of the test object M near the X stage 14 and the predetermined temperature. You may judge whether it is in the difference.
Step１３では、ＣＰＵ４０は、被検物Ｍの温度分布幅がＸステージ１４の温度の平均値の±１℃の範囲に収まっていなければ、収まるまで被検物Ｍの温度データと被検物Ｍが置かれているＸステージ１４の温度データとを入力し続ける。 In Step 13, if the temperature distribution width of the test object M is not within the range of ± 1 ° C. of the average value of the temperature of the X stage 14, the CPU 40 keeps the temperature data of the test object M and the test object M until they are within the range. The temperature data of the placed X stage 14 is continuously input.
Step１４では、被検物Ｍの温度分布幅がＸステージ１４の温度の平均値の±１℃の範囲に収まった場合には、ＣＰＵ４０は被検物Ｍの所定の領域の形状を計測する。 In Step 14, when the temperature distribution width of the test object M falls within the range of ± 1 ° C. of the average value of the temperature of the X stage 14, the CPU 40 measures the shape of a predetermined region of the test object M.
なお、形状を計測する領域は、ジョイスティック５３などから指定しても良い。 The region for measuring the shape may be designated from the joystick 53 or the like.
このように、Ｘステージ１４の温度と被検物Ｍの温度とが所定の範囲に収まってから形状の測定を開始するので、形状の計測中に被検物Ｍの温度がＸステージ１４の温度に近づくという被検物Ｍの温度変動がない状態で、被検物Ｍの形状を計測する。 As described above, since the measurement of the shape is started after the temperature of the X stage 14 and the temperature of the test object M are within a predetermined range, the temperature of the test object M is the temperature of the X stage 14 during the measurement of the shape. The shape of the test object M is measured in a state in which there is no temperature fluctuation of the test object M that approaches.
従って、この場合も上述した場合（図４参照）と同様に被検物Ｍの熱膨張の量が常に一定の大きさの形状を測定できるので、高精度に被検物の形状を計測することができる。 Accordingly, in this case as well, as in the case described above (see FIG. 4), the shape of the specimen M can be measured with a constant amount of thermal expansion, so the shape of the specimen can be measured with high accuracy. Can do.
本発明の異なる実施の形態として、例えば図６に示すような計測装置がある。これは、赤外線カメラ３０の受光波長域に相当する波長の光を減衰する減衰部材としての減衰カバー１７（図６中の点線で囲んだ部分参照）が被検物Ｍや赤外線カメラ３０の周囲を覆うように配置された例である。 As another embodiment of the present invention, for example, there is a measuring apparatus as shown in FIG. This is because the attenuation cover 17 (see the portion surrounded by a dotted line in FIG. 6) as an attenuation member that attenuates light having a wavelength corresponding to the light receiving wavelength region of the infrared camera 30 surrounds the object M and the infrared camera 30. It is an example arrange | positioned so that it may cover.
なお、図６中、図１に示す部材と同一部材には同一番号を付してその説明を省略する。 In FIG. 6, the same members as those shown in FIG.
本計測装置の使用環境によっては、被検物Ｍから輻射された赤外線以外のエネルギー線が赤外線カメラ３０に入射することがある。金属の場合、赤外線の反射高率が高い。そのため、被検物Ｍやその被検物Ｍを載置するＸステージ１４が金属製で光沢表面を持っている場合、これらに直接太陽光や白熱灯火が照射されていると、被検物Ｍやその周囲そのものの温度が正確に測れず、より高い温度を示すデータが赤外線カメラ３０から得られてしまう。 Depending on the usage environment of this measuring apparatus, energy rays other than infrared rays radiated from the test object M may enter the infrared camera 30. In the case of metal, the reflection high rate of infrared rays is high. Therefore, when the test object M or the X stage 14 on which the test object M is placed has a glossy surface made of metal, the test object M is directly irradiated with sunlight or incandescent light. And the temperature of the surrounding itself cannot be measured accurately, and data indicating a higher temperature is obtained from the infrared camera 30.
そのために、本実施の形態では、Ｙステージ１５を構成する垂直部分１５ｂの上方で複数本（図６では２本）の減衰カバー支持梁１８を、図６の紙面に対して垂直方向に延在させて、この減衰カバー支持梁１８により、減衰カバー１７を被検物Ｍおよび赤外線カメラ３０の上方と側方４方向で覆うように支持してある。この減衰カバー１７は、例えば、近赤外吸収用のポリカーボネート樹脂（例えば、住友ダウ株式会社製 ガリバー（ＴＭ）３０２−４）などのシート状パネルを用いることで、赤外線カメラ３０の受光波長範囲である４〜１３マイクロメートルの波長域を効率よく減衰することが可能となる。この波長範囲のエネルギー線を減衰することにより、外光からの影響が少ない状態で、赤外線カメラ３０による温度測定が可能となる。 Therefore, in the present embodiment, a plurality of (two in FIG. 6) damping cover support beams 18 extend in a direction perpendicular to the paper surface of FIG. 6 above the vertical portion 15b constituting the Y stage 15. Thus, the attenuation cover support beam 18 supports the attenuation cover 17 so as to cover the object M and the infrared camera 30 above and in the four lateral directions. The attenuation cover 17 uses a sheet-like panel such as polycarbonate resin for near-infrared absorption (for example, Gulliver (TM) 302-4 manufactured by Sumitomo Dow Co., Ltd.). A certain wavelength range of 4 to 13 micrometers can be efficiently attenuated. By attenuating energy rays in this wavelength range, temperature measurement by the infrared camera 30 is possible with little influence from outside light.
この減衰カバー１７は、Ｘステージ１４、Ｙステージ１５などの被検物Ｍの載置位置に近く、赤外線カメラ３０の画像取得範囲になる部分と、赤外線カメラ３０自身を覆うように設置して、温度計測部で感受するエネルギー線のほとんどが被検物Ｍとその周辺部からの輻射となるようにしている。 The attenuation cover 17 is installed so as to cover the portion of the image acquisition range of the infrared camera 30 and the infrared camera 30 itself, close to the mounting position of the test object M such as the X stage 14 and the Y stage 15. Most of the energy rays sensed by the temperature measuring unit are radiated from the test object M and its surroundings.
本発明は上記実施形態に示したものに限定されるものではない。例えば、形状データと温度データの他に、被検物Ｍの比熱、熱伝導率、温度分布（熱勾配）などの熱特性データをＣＰＵ４０に入力し、ＣＰＵ４０で形状測定値に温度補償を行うようにしてもよい。 The present invention is not limited to that shown in the above embodiment. For example, in addition to the shape data and the temperature data, thermal characteristic data such as specific heat, thermal conductivity, temperature distribution (thermal gradient) of the specimen M is input to the CPU 40, and the CPU 40 performs temperature compensation on the shape measurement value. It may be.
また、計測装置が設置された雰囲気中に含まれる塵やオイルミストが形状センサ２０や赤外線カメラ３０のレンズ面など付着して測定誤差が生じないようするために、これら形状センサ２０や赤外線カメラ３０にクリーンエアーを流して塵やオイルミストが付着しないようにしてもよい。 Further, in order to prevent dust and oil mist contained in the atmosphere in which the measuring apparatus is installed from adhering to the lens surface of the shape sensor 20 and the infrared camera 30 to cause measurement errors, the shape sensor 20 and the infrared camera 30 are prevented. Clean air may be flown to prevent dust and oil mist from adhering.
１０ 計測装置本体
１１ 床
１２ ベース
１４ Ｘステージ
１５ Ｙステージ
１６ Ｚステージ
１７ 減衰カバー（減衰部材）
２０ 形状センサ（検出手段）
２１ 投影ユニット
２２ 撮像ユニット
３０ 赤外線カメラ（温度計測部）
４０ ＣＰＵ（出力部）
４１ ステージ駆動回路
４２ 形状測定回路
４３ 温度測定回路（温度計測部）
５０ 操作卓
５１ モニター
５２ キーボード（温度指定部）
５３ ジョイスティック（位置指定部）
10 Measurement Device Body 11 Floor 12 Base 14 X Stage 15 Y Stage 16 Z Stage 17 Attenuation Cover (Attenuation Member)
20 Shape sensor (detection means)
21 Projection unit 22 Imaging unit 30 Infrared camera (temperature measurement unit)
40 CPU (output unit)
41 Stage Drive Circuit 42 Shape Measurement Circuit 43 Temperature Measurement Circuit (Temperature Measurement Unit)
50 Console 51 Monitor 52 Keyboard (temperature specification part)
53 Joystick (position designation part)
上記目的を達成する本発明の請求項１に記載の計測装置は、被検物の形状を測定する計測装置であって、前記被検物の形状を測定する形状測定手段と、前記形状測定手段による前記被検物の形状を測定する部位の温度を計測する温度計測部と、前記温度計測部からの温度情報が、所定の温度又は所定の温度範囲にある温度か否かを検出する検出部を備えることを特徴とする。 The measuring device according to claim 1 of the present invention that achieves the above object is a measuring device that measures the shape of a test object, the shape measuring means for measuring the shape of the test object, and the shape measuring means. A temperature measurement unit for measuring the temperature of a part for measuring the shape of the test object according to the above, and a detection unit for detecting whether the temperature information from the temperature measurement unit is a predetermined temperature or a temperature within a predetermined temperature range It is characterized by providing.
本発明の請求項２に記載の計測装置は、前記温度計測部が、前記形状測定手段による形状測定中に前記部位の温度を計測することを特徴とする。 The measuring apparatus according to claim 2 of the present invention is characterized in that the temperature measuring unit measures the temperature of the part during shape measurement by the shape measuring means .
本発明の請求項３に記載の計測装置は、前記形状測定手段が、前記被検物の形状情報を採取するための形状センサと、前記被検物に対して前記形状センサを移動可能に支持する支持部とを有し、前記温度計測部が、前記支持部に支持されていることを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, the shape measuring means supports the shape sensor for collecting shape information of the test object and the shape sensor so as to be movable with respect to the test object. And the temperature measurement unit is supported by the support unit .
本発明の請求項４に記載の計測装置は、前記温度計測部が、赤外線カメラであり、更に前記赤外線カメラの撮影画像を表示する表示部を備えることを特徴とする。 Measurement device according to claim 4 of the present invention, the temperature measuring unit is an infrared camera der is, and further comprising a display unit for displaying the captured image of the infrared camera.
本発明の請求項５に記載の計測装置は、前記表示部が、前記検出部からの検出結果に基づき、前記被検物の温度が前記温度範囲から外れたことを示す表示を行うことを特徴とする。 The measuring apparatus according to claim 5 of the present invention is characterized in that the display unit displays based on a detection result from the detection unit that the temperature of the test object is out of the temperature range. And
本発明のある態様における計測装置は、被検物の形状を測定する計測装置であって、前記被検物の形状を測定する形状測定手段と、前記被検物の温度を計測する温度計測部を備える。A measuring apparatus according to an aspect of the present invention is a measuring apparatus that measures the shape of a test object, and includes a shape measuring unit that measures the shape of the test object, and a temperature measuring unit that measures the temperature of the test object. Is provided.
また、本発明のある態様における計測装置は、更に前記形状測定手段による測定の実行の有無又は前記形状測定手段により得られた測定情報と共に出力する内容を変更する制御部を備える。The measuring apparatus according to an aspect of the present invention further includes a control unit that changes the content output together with the measurement information obtained by the shape measuring unit or the presence / absence of execution of the measurement by the shape measuring unit.
また、本発明のある態様における計測装置は、前記温度計測部が、前記被検物の領域毎に温度を計測することが可能である。In the measuring device according to an aspect of the present invention, the temperature measuring unit can measure the temperature for each region of the test object.
また、本発明のある態様における計測装置は、前記温度計測部が、赤外線カメラである。In the measuring device according to an aspect of the present invention, the temperature measuring unit is an infrared camera.
また、本発明のある態様における計測装置は、更に温度範囲を指定する温度指定部を有し、前記制御部は、前記温度計測部で計測した前記被検物の温度が、前記温度指定部が指定する温度範囲にあるか否かに応じて前記測定実行の有無又は出力内容の変更を制御する。The measuring device according to an aspect of the present invention further includes a temperature specifying unit that specifies a temperature range, and the control unit is configured such that the temperature of the test object measured by the temperature measuring unit is the temperature specifying unit. The presence / absence of the measurement or the change of the output content is controlled according to whether or not the temperature is within a specified temperature range.
また、本発明のある態様における計測装置は、前記被検物の温度を計測する位置を指定する位置指定部を有し、前記温度計測部は前記位置指定部で指定された位置の温度を計測し、前記制御部は、前記位置指定部で指定する前記被検物の位置の温度が、前記温度指定部が指定する温度範囲内にあるか否かに応じて、前記測定実行の有無又は出力内容の変更を制御する。The measuring device according to an aspect of the present invention includes a position specifying unit that specifies a position at which the temperature of the test object is measured, and the temperature measuring unit measures the temperature at the position specified by the position specifying unit. Then, the control unit determines whether or not to execute the measurement according to whether or not the temperature of the position of the test object specified by the position specifying unit is within a temperature range specified by the temperature specifying unit. Control content changes.
また、本発明のある態様における計測装置は、前記制御部が、前記温度計測部で計測した、前記位置指定部で指定する前記被検物の位置での温度が、前記温度指定部で指定する温度範囲から外れるか否かに応じて警報の出力を制御する。 In the measuring device according to an aspect of the present invention , the temperature at the position of the test object specified by the position specifying unit, which is measured by the temperature measuring unit by the control unit, is specified by the temperature specifying unit. that controls the output of the alarm according to whether or not out of the temperature range.
また、本発明のある態様における計測装置は、更に前記被検物を保持する保持部の温度を計測する周囲温度計測部を備え、前記制御部は、前記周囲温度計測部で計測された温度と、前記温度計測部で計測された前記被検物の温度との差が所定の温度範囲にあるか否かに応じて前記形状測定手段による測定の実行の有無又は前記形状測定手段により得られた測定情報と共に出力する内容を変更する。 Further, the measuring device according to an aspect of the present invention further includes an ambient temperature measuring unit that measures the temperature of the holding unit that holds the test object, and the control unit includes the temperature measured by the ambient temperature measuring unit and The measurement by the shape measuring means is obtained or obtained by the shape measuring means depending on whether or not the difference between the temperature of the test object measured by the temperature measuring unit is within a predetermined temperature range. to change the content to be output together with the measurement information.
また、本発明のある態様における計測装置は、前記形状測定手段が、前記被検物に光線を投影する投影ユニットと、前記被検物の画像を撮像する撮像ユニットと、前記撮像ユニットから出力された画像データを基に前記被検物の形状を求め、出力する形状データ出力部を有する。 In the measuring device according to an aspect of the present invention, the shape measuring unit outputs the projection unit that projects a light beam onto the test object, the imaging unit that captures an image of the test object, and the imaging unit. It determined the shape of the test object based on the image data, that have a shape data output unit for outputting.
また、本発明のある態様における計測装置は、更に、前記被検物と前記形状測定手段を覆い、かつ前記温度計測部で感受可能なエネルギー線を減衰する減衰部材を備える。 Further, the measuring apparatus in one aspect of the present invention further covers the shape measuring means and the test object, and Ru comprising a damping member for attenuating the sensitive possible energy beam at said temperature measuring portion.
また、本発明のある態様における計測装置は、前記温度計測部が、前記被検物から離れた位置に配置されている。 Further, the measuring apparatus in one aspect of the present invention, the temperature measuring unit, the that is positioned away from the test object.
本発明によれば、被検物の温度測定を行いながら高精度の形状測定が行える。 According to the present invention, highly accurate shape measurement can be performed while measuring the temperature of the test object.
図２はモニター５１の表示内容（モニター画面５１ａ）の一例を示している。図２に示すように、赤外線カメラ３０の出力は、モニター５１上に画像で表示される。温度は色に変換されてモニター５１上に表示される。また、操作卓５０には被検物Ｍの温度を計測する位置を指定する位置指定部としてのジョイスティック５３（図３参照）が設けられており、このジョイスティック５３によりモニター画面５１ａに表示されるカーソル５１ｂの位置を変更できる。カーソル５１ｂが示す位置が温度を計測する位置で、その温度が、色と温度の対応を表示する温度指標５１ｃに数値で表示される。図２では、Ｘステージ１４上に載置された被検物Ｍの画像５１ｄがＸステージ１４の画像５１ｅと共に表示され、この被検物Ｍの上面Ｍａに相当する画像５１ｄ中の部位５１ｆの温度が１８℃であることが図示されている。Ｘステージ１４は被検物Ｍの保持部として機能し、このＸステージ１４の赤外線画像を撮影する赤外線カメラ３０は被検物Ｍの温度を計測する温度計測部として機能する他にＸステージ１４等の被検物Ｍの設置場所の周囲の温度を計測する周囲温度計測部としても機能する。 FIG. 2 shows an example of the display content of the monitor 51 (monitor screen 51a). As shown in FIG. 2, the output of the infrared camera 30 is displayed as an image on the monitor 51 . The temperature is converted into a color and displayed on the monitor 51 . Further, the console 50 is provided with a joystick 53 (see FIG. 3) as a position designating unit for designating the position at which the temperature of the object M is measured, and a cursor displayed on the monitor screen 51a by the joystick 53. The position of 51b can be changed. The position indicated by the cursor 51b is a position at which the temperature is measured, and the temperature is displayed numerically on a temperature index 51c that displays the correspondence between color and temperature. In FIG. 2, the image 51d of the test object M placed on the X stage 14 is displayed together with the image 51e of the X stage 14, and the temperature of the part 51f in the image 51d corresponding to the upper surface Ma of the test object M is displayed. Is shown to be 18 ° C. The X stage 14 functions as a holding unit for the test object M, and the infrared camera 30 that captures an infrared image of the X stage 14 functions as a temperature measurement unit that measures the temperature of the test object M. It also functions as an ambient temperature measurement unit that measures the ambient temperature of the place where the test object M is installed.
操作者が被検物をＸステージ１４に載せて、操作卓５０で計測開始の操作をすると、図４のフローチャートに示された内容がスタートする。 When the operator places the test object on the X stage 14 and performs an operation for starting measurement on the console 50, the contents shown in the flowchart of FIG. 4 are started.
Claims (11)
前記被検物の形状を測定する形状測定手段と、
前記被検物の温度を計測する温度計測部を備えてなることを特徴とする計測装置。 A measuring device for measuring the shape of a test object,
Shape measuring means for measuring the shape of the test object;
A measuring apparatus comprising a temperature measuring unit for measuring the temperature of the test object.
前記制御部は、前記温度計測部で計測した前記被検物の温度が、前記温度指定部が指定する温度範囲にあるか否かに応じて前記測定実行の有無又は出力内容の変更を制御することを特徴とする請求項３に記載の計測装置。 Furthermore, it has a temperature specification part that specifies the temperature range,
The control unit controls presence or absence of the measurement execution or change of output contents depending on whether or not the temperature of the test object measured by the temperature measurement unit is within a temperature range designated by the temperature designation unit. The measuring device according to claim 3.
前記温度計測部は前記位置指定部で指定された位置の温度を計測し、
前記制御部は、前記位置指定部で指定する前記被検物の位置の温度が、前記温度指定部が指定する温度範囲内にあるか否かに応じて、前記測定実行の有無又は出力内容の変更を制御することを特徴とする請求項５に記載の計測装置。 A position designating unit for designating a position for measuring the temperature of the test object;
The temperature measuring unit measures the temperature at the position specified by the position specifying unit,
The control unit determines whether or not to execute the measurement or whether the output content is in accordance with whether or not the temperature of the position of the test object specified by the position specifying unit is within a temperature range specified by the temperature specifying unit. 6. The measuring apparatus according to claim 5, wherein the change is controlled.
前記制御部は、前記周囲温度計測部で計測された温度と、前記温度計測部で計測された前記被検物の温度との差が所定の温度範囲にあるか否かに応じて前記形状測定手段による測定の実行の有無又は前記形状測定手段により得られた測定情報と共に出力する内容を変更することを特徴とする、請求項１から７のうち、何れか一項に記載の計測装置。 Furthermore, an ambient temperature measuring unit that measures the temperature of the holding unit that holds the test object is provided,
The control unit measures the shape according to whether or not a difference between the temperature measured by the ambient temperature measurement unit and the temperature of the test object measured by the temperature measurement unit is within a predetermined temperature range. The measurement apparatus according to claim 1, wherein presence or absence of execution of measurement by the means or contents to be output together with measurement information obtained by the shape measurement means are changed.
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