JP2013161774A - Method of manufacturing plasma display panel - Google Patents

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Risa Taniguchi
里紗 谷口
Koshiro Mizuno
孝志郎 水野
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma display panel that has an electrode hardly broken and is high in quality and yield by suppressing formation of a sea-island structure consisting of a silver component and a glass component.SOLUTION: A method of manufacturing a plasma display panel is a method of manufacturing a plasma display panel in which a front plate and a back plate having an address electrode, an insulator layer, and a partition wall are arranged opposite each other and the front plate and back plate are sealed, and includes a process of burning the address electrode, insulator layer, and partition wall in one process, a displacement of a kiln per unit area of the back plate for burning per unit time in the burning process being 21,000-28,000 [(NL/min)/(m/min)].

Description

本発明は表示デバイスとして知られるプラズマディスプレイパネルの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a plasma display panel known as a display device.

近年、双方向情報端末として大画面、壁掛けテレビへの期待が高まっており、そのための表示デバイスとして、液晶表示パネル、フィールドエミッションディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイなどの数多くのものがある。これらの表示デバイスの中でもプラズマディスプレイパネル(以下、PDPとする)は、自発光型で美しい画像表示ができ、大画面化が容易であるなどの理由から、視認性に優れた薄型表示デバイスとして注目されており、高精細化および大画面化に向けた開発が進められている。   In recent years, expectations for large screens and wall-mounted televisions are increasing as interactive information terminals, and there are many display devices such as liquid crystal display panels, field emission displays, and electroluminescence displays. Among these display devices, the plasma display panel (hereinafter referred to as “PDP”) is a self-luminous and beautiful image display, and is easy to enlarge. Development for higher definition and larger screen is underway.

PDPは表示電極、誘電体層、MgOによる保護層などの構成物を形成した前面板と、電極、隔壁、絶縁体層、蛍光体層などの構成物を形成した背面板とを、内部にR・G・Bそれぞれの微小な放電セル(以下、単にセルとする)を形成するように対向配置されるとともに、周囲を封着層により封止されている。そして、そのセルにネオン(Ne)およびキセノン(Xe)などを混合してなる放電ガスを所定の圧力で封入している。   The PDP has a front plate on which components such as a display electrode, a dielectric layer, and a protective layer made of MgO are formed, and a back plate on which components such as electrodes, partition walls, an insulator layer, and a phosphor layer are formed. -G and B are arranged facing each other so as to form minute discharge cells (hereinafter simply referred to as cells), and the periphery is sealed with a sealing layer. A discharge gas obtained by mixing neon (Ne), xenon (Xe), or the like is sealed in the cell at a predetermined pressure.

従来、背面板のセル形成方法としては、スクリーン印刷法やコート塗布法により形成した膜を露光・現像を行うことでパターンを形成後、アドレス電極、絶縁体層、隔壁層を同時に焼成する方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, as a cell forming method of a back plate, there is a method of simultaneously baking an address electrode, an insulator layer and a partition layer after forming a pattern by exposing and developing a film formed by a screen printing method or a coat coating method. It has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

特開2001−236896号公報JP 2001-236896 A

しかしながら、電極膜厚が減少した場合は、焼成後に電極に含まれる銀成分とガラス成分が海島構造を形成し(海構造:ガラス成分、島構造:銀成分)、銀成分の焼結がガラス成分に阻害されることによる(例えば、電極の幅方向の一方からもう一方までガラス成分のみでつながる)電極断線が発生するという問題があった。   However, when the electrode film thickness decreases, the silver component and the glass component contained in the electrode after firing form a sea-island structure (sea structure: glass component, island structure: silver component), and the sintering of the silver component is the glass component There is a problem that an electrode disconnection occurs due to being obstructed (for example, only one glass component is connected from one to the other in the width direction of the electrode).

本発明は、上述した従来技術における問題点の解決を課題として検討した結果、達成されたものである。したがって、本発明の目的は、銀成分とガラス成分からなる海島構造の形成を抑制し、電極断線が発生しにくく、高品質で高歩留まりなPDPを提供することである。   The present invention has been achieved as a result of examining the solution of the problems in the above-described prior art as an object. Accordingly, an object of the present invention is to provide a high quality, high yield PDP that suppresses formation of a sea-island structure composed of a silver component and a glass component, is less likely to cause electrode disconnection.

上記目的を達成するために本発明におけるPDPの製造方法は、前面板と、アドレス電極、絶縁体層、および隔壁を有した背面板とを対向配置し、前記前面板と前記背面板とを封着したPDPの製造方法であって、前記アドレス電極、前記絶縁体層、および前記隔壁を同一工程により焼成する工程を有し、前記焼成する工程では、単位時間当たりに焼成する前記背面板の単位面積当たりの焼成炉の排気量を21000[(NL/min)/(m2/min)]以上、28000[(NL/min)/(m2/min)]以下であることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a method for manufacturing a PDP according to the present invention includes a front plate and an address electrode, an insulator layer, and a back plate having a partition wall arranged opposite to each other, and the front plate and the back plate are sealed. A method of manufacturing a worn PDP, comprising the step of firing the address electrode, the insulator layer, and the partition wall in the same step, wherein the unit of the back plate is fired per unit time in the firing step. The exhaust amount of the firing furnace per area is 21000 [(NL / min) / (m 2 / min)] or more and 28000 [(NL / min) / (m 2 / min)] or less.

本発明によれば、銀成分とガラス成分からなる海島構造の形成を抑制し、電極断線が発生しにくく、高品質で高歩留まりなPDPを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, formation of the sea-island structure which consists of a silver component and a glass component can be suppressed, electrode disconnection cannot generate | occur | produce easily, and high quality and high yield PDP can be provided.

本発明の実施形態におけるPDPの概略構成を示す断面斜視図Sectional perspective view which shows schematic structure of PDP in embodiment of this invention 同PDPの平面図Plan view of the PDP

以下、本発明の実施の形態におけるPDPについて、図面を用いて説明する。まず、PDPの構造について図1および図2を用いて説明する。図1に示すように、PDPは、前面板1と背面板2とを、その間に放電空間を形成するように対向配置することにより構成されている。前面板1上には表示電極を構成する走査電極3と維持電極4とが互いに平行に対をなして複数形成されている。そして、走査電極3および維持電極4を覆うように誘電体層5が形成され、誘電体層5上には保護層6が形成されている。   Hereinafter, a PDP according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. First, the structure of the PDP will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, the PDP is configured by disposing a front plate 1 and a back plate 2 so as to form a discharge space therebetween. On the front plate 1, a plurality of scanning electrodes 3 and sustaining electrodes 4 constituting display electrodes are formed in parallel with each other. A dielectric layer 5 is formed so as to cover the scan electrode 3 and the sustain electrode 4, and a protective layer 6 is formed on the dielectric layer 5.

また、背面板2上には絶縁体層7で覆われた複数のアドレス電極8が設けられ、その絶縁体層7上には井桁状の隔壁9が設けられている。また、絶縁体層7の表面および隔壁9の側面に蛍光体層10が設けられている。そして、走査電極3および維持電極4とアドレス電極8とが交差するように前面板1と背面板2とが対向配置されており、その間に形成される放電空間には、放電ガスとして、例えばネオンとキセノンの混合ガスが封入されている。なお、PDPの構造は上述したものに限られるわけではなく、例えばストライプ状の隔壁を備えたものであってもよい。   A plurality of address electrodes 8 covered with an insulator layer 7 are provided on the back plate 2, and a grid-like partition wall 9 is provided on the insulator layer 7. A phosphor layer 10 is provided on the surface of the insulator layer 7 and on the side surfaces of the partition walls 9. The front plate 1 and the back plate 2 are arranged to face each other so that the scan electrodes 3 and the sustain electrodes 4 and the address electrodes 8 cross each other. In the discharge space formed therebetween, for example, neon And a mixed gas of xenon. Note that the structure of the PDP is not limited to that described above, and for example, a structure having stripe-shaped partition walls may be used.

上記、PDPの作製方法について以下に述べる。まず前面板1上に電極形成用の感光性ペーストをスクリーン印刷法等により形成する。その後、露光・現像を行うことで表示電極のパターン形成を行う。表示電極のパターン形成の後、それを覆うように誘電体層5をスクリーン印刷法あるいはコート塗布を用いて形成、焼成を行う。さらにその上に蒸着法等によってMgOなどの保護層6を形成する。   A method for manufacturing the above PDP will be described below. First, a photosensitive paste for electrode formation is formed on the front plate 1 by a screen printing method or the like. Thereafter, patterning of the display electrode is performed by performing exposure and development. After forming the pattern of the display electrode, the dielectric layer 5 is formed and baked by using a screen printing method or a coating method so as to cover it. Further, a protective layer 6 such as MgO is formed thereon by vapor deposition.

背面板2上にアドレス電極8用の感光性ペーストをスクリーン印刷法により形成し、その後露光、現像によりアドレス電極8のパターン形成をする。これをアドレス電極8の前駆体とする。そしてアドレス電極8上に絶縁体層7をスクリーン印刷法やコート塗布法によって形成する。これを絶縁体層7の前駆体とする。その上に井桁状あるいはストライプ状の隔壁9を形成するために感光性のペーストを数回に分けてコート塗布法によって形成し、露光を行う。   A photosensitive paste for the address electrode 8 is formed on the back plate 2 by a screen printing method, and then the pattern of the address electrode 8 is formed by exposure and development. This is the precursor of the address electrode 8. Then, the insulator layer 7 is formed on the address electrode 8 by screen printing or coating. This is the precursor of the insulator layer 7. In order to form a grid-like or striped partition wall 9 thereon, a photosensitive paste is formed several times by a coat coating method and exposed.

この際に、ペーストの塗布回数と露光パターンによって少なくとも2段以上の段差を持った構造を形成することができる。これを隔壁9の前駆体とする。   At this time, it is possible to form a structure having at least two steps depending on the number of times the paste is applied and the exposure pattern. This is the precursor of the partition wall 9.

現像によるパターン形成後、焼成を行う。本発明の実施の形態では、上記アドレス電極8の前駆体、絶縁体層7の前駆体、および隔壁9の前駆体を同一工程によって焼成し、それぞれの部位を形成する。焼成工程については後述する。   After pattern formation by development, baking is performed. In the embodiment of the present invention, the precursor of the address electrode 8, the precursor of the insulator layer 7, and the precursor of the partition wall 9 are baked in the same process to form respective portions. The firing process will be described later.

焼成後に隔壁9内部にRGBの蛍光体層10をディスペンサー法などで配置し、高温雰囲気下で乾燥を行う。   After firing, the RGB phosphor layer 10 is disposed inside the partition wall 9 by a dispenser method or the like, and is dried in a high temperature atmosphere.

上記方法で作製された前面板1および背面板2をそれぞれの膜面が向き合うように配置し、封着を実施する。この際に前面板1または背面板2の周辺に塗布した封着材により封止する。   The front plate 1 and the back plate 2 produced by the above method are arranged so that the film surfaces face each other, and sealing is performed. At this time, sealing is performed with a sealing material applied around the front plate 1 or the back plate 2.

その後、背面板2側に配置された排気孔より基板を加熱しながら排気を行い、ある一定の真空度に到達後、PDP内部にキセノンやネオンなどの希ガスを封入する。ガス封入後に排気管を封止し、PDPを完成させる。   Thereafter, the substrate is evacuated while being heated from the exhaust hole arranged on the back plate 2 side, and after reaching a certain degree of vacuum, a rare gas such as xenon or neon is sealed inside the PDP. After gas filling, the exhaust pipe is sealed to complete the PDP.

次に本発明の実施の形態における、背面板の焼成工程について説明する。   Next, the baking process of the back plate in the embodiment of the present invention will be described.

当該焼成工程では、上記アドレス電極8の前駆体、絶縁体層7の前駆体、および隔壁9の前駆体を配置した背面板を、バッチ炉式の焼成炉やベルト式またはローラー式の連続型焼成炉によって焼成する。焼成雰囲気や温度は、ペーストや基板の特性によって異なるが、通常は空気中で焼成させる。   In the firing step, the back plate on which the precursor of the address electrode 8, the precursor of the insulator layer 7, and the precursor of the partition wall 9 are arranged is subjected to a batch furnace type firing furnace or a belt type or roller type continuous type firing. Baking in a furnace. The firing atmosphere and temperature vary depending on the characteristics of the paste and the substrate, but are usually fired in air.

ローラー式の連続型焼成炉の場合、アドレス電極上に形成された絶縁体層を形成し、さらに絶縁体層上に隔壁パターンが形成されたガラス基板を室温からトップキープ温度に至るまでに複数の昇温速度の昇温ステップを有する温度プロファイルで焼成する。具体的には、室温から350℃〜430℃程度まで加熱する第1昇温ステップ、該第1昇温工程終了後に該基板を恒温温度まで加熱する第2昇温ステップ、および該基板を450℃以上の一定温度に維持する恒温ステップをこの順に連続して行い、第1昇温ステップにおける昇温速度が20℃/分〜40℃/分、かつ第2昇温ステップにおける昇温速度が5℃/分〜14℃/分、かつ恒温ステップにおける保持時間が5〜20分であることが好ましい。   In the case of a roller-type continuous firing furnace, an insulating layer formed on the address electrode is formed, and a glass substrate having a partition pattern formed on the insulating layer is divided into a plurality of layers from room temperature to the top keeping temperature. Firing is performed with a temperature profile having a temperature raising step at a temperature raising rate. Specifically, a first temperature raising step for heating from room temperature to about 350 ° C. to 430 ° C., a second temperature raising step for heating the substrate to a constant temperature after completion of the first temperature raising step, and the substrate at 450 ° C. The constant temperature step for maintaining the above constant temperature is continuously performed in this order, the temperature increase rate in the first temperature increase step is 20 ° C./min to 40 ° C./min, and the temperature increase rate in the second temperature increase step is 5 ° C. It is preferable that the holding time in the constant temperature step is 5 to 20 minutes.

焼成での昇温の際、バインダ成分は250℃程度から熱分解が開始され、400℃以上で熱分解が急激に促進される。第2昇温ステップの昇温速度が14℃/分を超える場合は膨れ(ブリスター)による電極の剥がれや絶縁体層に亀裂が生じることがあるため好ましくなく、5℃/分未満の場合は焼成時間の増大により、生産性が悪化するため好ましくない。   When the temperature is raised during firing, thermal decomposition of the binder component starts from about 250 ° C., and thermal decomposition is rapidly accelerated at 400 ° C. or higher. If the rate of temperature rise in the second temperature raising step exceeds 14 ° C./min, it is not preferable because peeling of the electrode due to blistering or cracking of the insulator layer may occur, and if it is less than 5 ° C./min. It is not preferable because productivity is deteriorated due to an increase in time.

また、第1昇温ステップの昇温速度が20℃/分未満の場合は焼成時間の増大につながり好ましくなく、40℃/分を超える場合はガラス基板が割れることがあるため好ましくない。また、第1昇温ステップ、第2昇温ステップの昇温時間の合計は15〜30分であることが好ましい。30分を超える場合は生産性が悪化するため好ましくなく、15分未満の場合は第2昇温ステップの昇温速度増大につながり好ましくない。恒温ステップにおける保持時間は5分未満であると膨れ(ブリスター)による電極の剥がれや絶縁体層に亀裂が生じることがあるため好ましくなく、20分を超える場合は生産性が悪化するため好ましくない。   Moreover, when the temperature increase rate of a 1st temperature rising step is less than 20 degree-C / min, it will lead to the increase in baking time, and when it exceeds 40 degreeC / min, since a glass substrate may be broken, it is unpreferable. Moreover, it is preferable that the sum total of the temperature rising time of a 1st temperature rising step and a 2nd temperature rising step is 15 to 30 minutes. When it exceeds 30 minutes, productivity is deteriorated, which is not preferable. When it is less than 15 minutes, the temperature increase rate of the second temperature increase step is increased, which is not preferable. If the holding time in the constant temperature step is less than 5 minutes, it is not preferable because peeling of the electrode due to blistering or cracking of the insulator layer may occur, and if it exceeds 20 minutes, productivity is deteriorated.

恒温ステップは450℃〜520℃程度に設定されることが好ましく、恒温ステップから焼成温度520℃〜600℃まで昇温する第3昇温ステップまでの昇温速度は5℃/分〜20℃/分で上昇させ、7分〜20分保持して焼成することが好ましい。520℃未満の場合は焼結不足となり、隔壁の欠け等が生じるため好ましくなく、600℃を超える場合は、隔壁の形状がダレなどにより変化することがあり好ましくない。   The constant temperature step is preferably set to about 450 ° C. to 520 ° C., and the temperature increase rate from the constant temperature step to the third temperature increase step for increasing the firing temperature to 520 ° C. to 600 ° C. is 5 ° C./min to 20 ° C. / It is preferable that the temperature is raised in minutes and held for 7 to 20 minutes for firing. When the temperature is lower than 520 ° C., the sintering is insufficient, and the partition wall is chipped. The temperature exceeding 600 ° C. is not preferable because the shape of the partition wall may change due to sagging.

さらに、上記焼成方法を用いてPDPを製造する場合、電極層、絶縁体層、隔壁層に含まれるバインダ成分の熱分解に必要とする酸素量を計算して、排気量を決定することにより電極の膨れや絶縁体層に亀裂のない良好な膜を得ることができる。   Furthermore, when manufacturing a PDP using the above firing method, the amount of oxygen required for the thermal decomposition of the binder component contained in the electrode layer, the insulator layer, and the partition wall layer is calculated, and the displacement is determined by determining the displacement It is possible to obtain a good film without any blistering or cracks in the insulator layer.

しかしながら従来技術では、電極膜厚が減少した場合、焼成後に電極に含まれる銀成分とガラス成分が海島構造を形成し(海構造:ガラス成分、島構造:銀成分)、銀成分の焼結がガラス成分に阻害されることによる(例えば、電極の幅方向の一方からもう一方までガラス成分のみでつながる)電極断線が発生するという問題があった。   However, in the prior art, when the electrode film thickness decreases, the silver component and glass component contained in the electrode after firing form a sea-island structure (sea structure: glass component, island structure: silver component), and the silver component is sintered. There has been a problem that an electrode disconnection occurs due to being obstructed by the glass component (for example, only one glass component is connected from one to the other in the width direction of the electrode).

これに対し、発明者等による検討の結果、単位時間当たりに焼成する背面板の単位面積当たりの焼成炉の排気量を21000[(NL/min)/(m2/min)]以上、28000[(NL/min)/(m2/min)]以下とすることにより、電極の海島構造の形成を抑制し、電極断線の発生を抑制できることが判明した。 On the other hand, as a result of studies by the inventors, the exhaust amount of the firing furnace per unit area of the back plate that is fired per unit time is 21000 [(NL / min) / (m 2 / min)] or more and 28000 [ (NL / min) / (m 2 / min)] It was found that the formation of the sea-island structure of the electrode can be suppressed, and the occurrence of electrode disconnection can be suppressed by setting it to (NL / min) / (m 2 / min)] or less.

21000[(NL/min)/(m2/min)]未満の場合は、電極の海島構造が形成され、電極断線が発生することがあるため好ましくなく、28000[(NL/min)/(m2/min)]を超える場合は、排気量の増大により焼成炉内の温度が低下し、目的とする温度条件を維持できないことがあるため好ましくない。より好ましくは23000[(NL/min)/(m2/min)]以上、27500[(NL/min)/(m2/min)]以下である。 If it is less than 21000 [(NL / min) / (m 2 / min)], the sea-island structure of the electrode is formed and electrode disconnection may occur, which is not preferable, and 28000 [(NL / min) / (m 2 / min)] is not preferable because the temperature in the firing furnace decreases due to an increase in the displacement and the target temperature condition may not be maintained. More preferably, it is 23000 [(NL / min) / (m 2 / min)] or more and 27500 [(NL / min) / (m 2 / min)] or less.

次に、本発明の実施形態における各構成部位の材料について説明する。まずアドレス電極8について説明する。アドレス電極8を形成するための電極ペーストは、重量で表される成分比で、少なくとも銀(Ag)粒子50%〜85%と、ガラス成分が1%〜15%と、感光性ポリマー、感光性モノマー、光重合開始剤、溶剤などを含む感光性有機バインダ成分8%〜40%とよりなる感光性ペーストである。ここで本発明の実施形態では、アドレス電極8を形成した状態で、ガラス成分の体積比率が5%〜40%となるように上位の配合を行う。   Next, the material of each component in the embodiment of the present invention will be described. First, the address electrode 8 will be described. The electrode paste for forming the address electrode 8 is at least 50% to 85% silver (Ag) particles and 1% to 15% glass component in a component ratio expressed by weight. It is a photosensitive paste comprising 8% to 40% of a photosensitive organic binder component containing a monomer, a photopolymerization initiator, a solvent and the like. Here, in the embodiment of the present invention, in a state where the address electrode 8 is formed, the upper composition is performed so that the volume ratio of the glass component is 5% to 40%.

ガラス成分は、実質的に鉛成分を含んでおらず、各成分のモル表記での含有量で、酸化ビスマス(Bi23)が0.1%〜20%、酸化亜鉛(ZnO)が10%〜40%、酸化珪素(SiO2)が10%〜40%、酸化硼素(B23)が10%〜30%、Ba、Caが1%以下としている。 The glass component does not substantially contain a lead component, and the content of each component in terms of moles, bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) is 0.1% to 20%, and zinc oxide (ZnO) is 10%. % To 40%, silicon oxide (SiO 2 ) is 10% to 40%, boron oxide (B 2 O 3 ) is 10% to 30%, and Ba and Ca are 1% or less.

そして上記感光性ペーストを、背面板2上に印刷法などによって塗布し、電極ペースト層を形成する。そして電極ペースト層をフォトリソグラフィ法などにより幅50μm〜250μmの銀(Ag)電極パターンを形成する。その膜厚は焼成工程後で1μm〜4μmとしている。   Then, the photosensitive paste is applied onto the back plate 2 by a printing method or the like to form an electrode paste layer. Then, a silver (Ag) electrode pattern having a width of 50 μm to 250 μm is formed on the electrode paste layer by a photolithography method or the like. The film thickness is 1 μm to 4 μm after the firing step.

次に、絶縁体層7について説明する。絶縁体層を形成するための絶縁体ペーストは、重量で表される成分比で、ガラス成分25%〜35%、フィラー25%〜35%、バインダ10%〜20%、溶剤20%〜30%の配合比のものを用いている。さらに望ましくは、ガラス成分30%〜35%、フィラー25%〜30%、バインダ10%〜20%、溶剤20%〜30%の配合比である。   Next, the insulator layer 7 will be described. The insulator paste for forming the insulator layer is composed of 25% to 35% glass component, 25% to 35% filler, 10% to 20% binder, and 20% to 30% solvent in a component ratio expressed by weight. The compounding ratio is used. More desirably, the blending ratio is 30% to 35% glass component, 25% to 30% filler, 10% to 20% binder, and 20% to 30% solvent.

そして、絶縁体層7のガラス成分は実質的に鉛成分を含んでおらず、各成分のモル表記での含有量を次のようにしている。酸化ビスマス(Bi23)が0.1%〜25%、酸化亜鉛(ZnO)が10%〜30%、酸化チタン(TiO2)が0.1%〜25%であって、さらに酸化タングステン(WO3)、Mn、Sb、Baを0.1%以下としている。 And the glass component of the insulator layer 7 does not substantially contain a lead component, and the content of each component in molar notation is as follows. Bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) is 0.1% to 25%, zinc oxide (ZnO) is 10% to 30%, titanium oxide (TiO 2 ) is 0.1% to 25%, and tungsten oxide (WO 3 ), Mn, Sb and Ba are 0.1% or less.

このような絶縁体層ペーストを、背面板2とアドレス電極8の上にダイコート法などにより塗布し、乾燥工程を経て形成される。その膜厚は焼成工程後で8μm〜15μmとしている。   Such an insulator layer paste is applied on the back plate 2 and the address electrode 8 by a die coating method or the like, and is formed through a drying process. The film thickness is 8 μm to 15 μm after the firing step.

次に隔壁9について説明する。隔壁9を形成する隔壁ペーストは次のようになる。先に述べたように、隔壁9は隔壁上層と隔壁下層とで構成される。隔壁下層に用いる隔壁ペーストは、重量で表される配合比が、ガラス成分30%〜70%、バインダ成分2%〜30%、溶剤成分20%〜50%となっている。   Next, the partition wall 9 will be described. The barrier rib paste for forming the barrier rib 9 is as follows. As described above, the partition wall 9 is composed of a partition upper layer and a partition lower layer. In the partition paste used for the partition lower layer, the blending ratio expressed by weight is 30% to 70% glass component, 2% to 30% binder component, and 20% to 50% solvent component.

そして、隔壁上層を形成する隔壁ペーストは、重量で表される配合比が、ガラス成分15%〜35%、フィラー成分20%〜30%、バインダ成分2%〜30%、溶剤成分20%〜50%となっている。さらに望ましくは、ガラス成分25%〜40%、フィラー10%〜20%、バインダ成分2%〜30%、溶剤成分20%〜50%であった。   The partition paste forming the partition upper layer has a glass component ratio of 15% to 35%, a filler component of 20% to 30%, a binder component of 2% to 30%, and a solvent component of 20% to 50%. %. More desirably, the glass component was 25% to 40%, the filler was 10% to 20%, the binder component was 2% to 30%, and the solvent component was 20% to 50%.

このような隔壁ペーストを用い、スクリーン印刷法またはコート法等により隔壁層を形成する。その後、フォトリソグラフィ法等により隔壁9の前駆体を形成し、焼成工程で焼結を行い、隔壁9を形成する。   Using such a partition paste, a partition layer is formed by a screen printing method or a coating method. Thereafter, a precursor of the partition wall 9 is formed by a photolithography method or the like, and sintering is performed in a firing process to form the partition wall 9.

前述したアドレス電極、絶縁体層、隔壁層を配置した背面板を本発明の製造方法で電極層、絶縁体層、隔壁層をまとめて1回で焼成することにより、電極層において銀成分とガラス成分からなる海島構造の形成を抑制し、電極断線が発生しにくく、高品質で高歩留まりなPDPを提供することができる。   By baking the electrode layer, the insulator layer, and the partition layer together in one time by the manufacturing method of the present invention, the back plate on which the address electrode, the insulator layer, and the partition layer are arranged as described above is used. The formation of a sea-island structure composed of components can be suppressed, and electrode disconnection hardly occurs, and a high-quality and high-yield PDP can be provided.

次に、封着層11について説明する。封着層11は図2に示すように前面板1および背面板2の周囲に形成されている。封着層11を形成するための封着材ペーストは、少なくとも酸化ビスマス(Bi23)と酸化モリブデン(MoO3)あるいは酸化タングステン(WO3)を含有したガラス成分と、耐熱性フィラーと、有機バインダ成分と、ビーズ材を含む。 Next, the sealing layer 11 will be described. The sealing layer 11 is formed around the front plate 1 and the back plate 2 as shown in FIG. The sealing material paste for forming the sealing layer 11 includes a glass component containing at least bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) and molybdenum oxide (MoO 3 ) or tungsten oxide (WO 3 ), a heat-resistant filler, Contains an organic binder component and bead material.

ガラス成分としては各成分のモル表記での含有量で少なくとも酸化ビスマス(Bi23)が20%〜50%、酸化亜鉛(ZnO)が20%〜40%、酸化硼素(B23)が10%〜30%、酸化アルミニウム(Al23)が0.5%〜2.5%、としている。 As the glass component, at least 20% to 50% bismuth oxide (Bi 2 O 3 ), 20% to 40% zinc oxide (ZnO), and boron oxide (B 2 O 3 ) in terms of the content of each component in terms of moles. Is 10% to 30%, and aluminum oxide (Al 2 O 3 ) is 0.5% to 2.5%.

また、耐熱性フィラーは、封着材の熱膨張係数を調整するとともに、ガラスの流動状態をコントロールするのに使用されるが、コージライト、フォルステライト、β−ユークリプタイト、ジルコン、ムライト、チタン酸バリウム、チタン酸アルミニウム、酸化チタン、酸化モリブデン、酸化スズ、酸化アルミニウム、石英ガラスなどが特に好ましい。   In addition, the heat-resistant filler is used to adjust the thermal expansion coefficient of the sealing material and control the flow state of the glass, but cordierite, forsterite, β-eucryptite, zircon, mullite, titanium. Barium acid, aluminum titanate, titanium oxide, molybdenum oxide, tin oxide, aluminum oxide, quartz glass and the like are particularly preferable.

そしてビーズ材は、酸化硼素(B23)、酸化アルミニウム(Al23)などからなる球形のガラスビーズ材を用いる。ビーズ材の粒径としては、前記隔壁9の高さと絶縁体層7の厚みの和よりも大きいものを用いる。このようなビーズ径とすることで、封着部での前面板と背面板との間隔がパネルの中央部における間隔よりも狭まってしまうことを防ぐことができる。 As the bead material, a spherical glass bead material made of boron oxide (B 2 O 3 ), aluminum oxide (Al 2 O 3 ) or the like is used. The particle diameter of the bead material is larger than the sum of the height of the partition wall 9 and the thickness of the insulator layer 7. By setting it as such bead diameter, it can prevent that the space | interval of the front plate and back plate in a sealing part becomes narrower than the space | interval in the center part of a panel.

このような封着材ペーストを、背面板2または前面板1のどちらか一方の周縁に、ディスペンサー法などにより塗布する。その後、一定時間乾燥後400℃付近で仮焼成を行い、バインダ成分を焼失除去する。そして、前面板1の走査電極3および維持電極4群と背面板2のアドレス電極8とが直交するように対向して両基板を配置し、450℃〜500℃で焼成して封着材を固化させ、封着層11とする。   Such a sealing material paste is applied to the peripheral edge of either the back plate 2 or the front plate 1 by a dispenser method or the like. Thereafter, after drying for a certain period of time, temporary baking is performed at around 400 ° C. to remove the binder component by burning. Then, both substrates are arranged so that the scanning electrode 3 and sustain electrode 4 group of the front plate 1 and the address electrode 8 of the back plate 2 are orthogonal to each other, and baked at 450 ° C. to 500 ° C. to seal the sealing material. Solidify to form the sealing layer 11.

以上のように、本発明のPDPの製造方法を用いることで、銀成分とガラス成分からなる海島構造の形成を抑制し、電極断線が発生しにくく、高品質で高歩留まりなPDPを提供することができる。   As described above, by using the method for producing a PDP of the present invention, it is possible to suppress formation of a sea-island structure composed of a silver component and a glass component, and to provide a high-quality, high-yield PDP that is less likely to cause electrode disconnection. Can do.

本発明によれば、銀成分とガラス成分からなる海島構造の形成を抑制し、電極断線が発生しにくく、高品質で高歩留まりなPDPを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, formation of the sea-island structure which consists of a silver component and a glass component can be suppressed, electrode disconnection cannot generate | occur | produce easily, and high quality and high yield PDP can be provided.

1 前面板
2 背面板
7 絶縁体層
8 アドレス電極
9 隔壁
10 蛍光体層
11 封着層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Front plate 2 Back plate 7 Insulator layer 8 Address electrode 9 Partition 10 Phosphor layer 11 Sealing layer

Claims (1)

前面板と、アドレス電極、絶縁体層、および隔壁を有した背面板とを対向配置し、前記前面板と前記背面板とを封着したプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記アドレス電極、前記絶縁体層、および前記隔壁を同一工程により焼成する工程を有し、前記焼成する工程では、単位時間当たりに焼成する前記背面板の単位面積当たりの焼成炉の排気量を21000[(NL/min)/(m2/min)]以上、28000[(NL/min)/(m2/min)]以下であることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
A method of manufacturing a plasma display panel in which a front plate and an address electrode, an insulator layer, and a back plate having a partition wall are arranged to face each other, and the front plate and the back plate are sealed.
The address electrode, the insulator layer, and the partition wall are baked in the same step, and in the baking step, the exhaust amount of the baking furnace per unit area of the back plate to be baked per unit time is 21000. [(NL / min) / ( m 2 / min)] or more, 28000 [(NL / min) / (m 2 / min)] method of manufacturing a plasma display panel, wherein less.
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