JP2013157541A5

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Info

Publication number: JP2013157541A5
Application number: JP2012018538A
Authority: JP
Filing date: 2012-01-31
Publication date: 2015-03-05
Anticipated expiration: 2032-01-31

Description

図１４（ａ）乃至図１４（ｃ）は、インナーリテーナリング２０とアウターリテーナリング３０の下面に設けられたそれぞれラジアル溝２０ｃ，３０ｂのさらに他の例を示す図である。図１４（ａ）は、ラジアル溝３０ｂの本数がラジアル溝２０ｃの本数と同じ例を示し、図１４（ｂ）は、ラジアル溝３０ｂの本数がラジアル溝２０ｃの本数よりも少ない例を示し、図１４（ｃ）は、ラジアル溝２０ｃの本数がラジアル溝３０ｂの本数よりも少ない例を示している。この例においても、ラジアル溝２０ｃ，３０ｂは、インナーリテーナリング２０およびアウターリテーナリング３０の半径方向に対して傾斜しているが、傾斜の方向が図１３（ａ）乃至図１３（ｃ）に示す例と反対となっている。すなわち、インナーリテーナリング２０およびアウターリテーナリング３０が回転するに従って研磨液がアウターリテーナリング３０およびインナーリテーナリング２０の内側から外側に流出するように、ラジアル溝２０ｃ，３０ｂは、インナーリテーナリング２０およびアウターリテーナリング３０の回転方向（矢印で示す）に対して後方に傾斜している。 14 (a) to 14 (c) are diagrams showing still other examples of the radial grooves 20c and 30b provided on the lower surfaces of the inner retainer ring 20 and the outer retainer ring 30, respectively. 14A shows an example in which the number of radial grooves 30b is the same as the number of radial grooves 20c, and FIG. 14B shows an example in which the number of radial grooves 30b is smaller than the number of radial grooves 20c. 14 (c) shows an example in which the number of radial grooves 20c is smaller than the number of radial grooves 30b. Also in this example, the radial grooves 20c and 30b are inclined with respect to the radial direction of the inner retainer ring 20 and the outer retainer ring 30, but the inclination directions are shown in FIGS. 13 (a) to 13 (c). It is the opposite of the example. That is, the radial grooves 20c and 30b are formed in the inner retainer ring 20 and the outer retainer ring 20 so that the polishing liquid flows out from the inner side of the outer retainer ring 30 and the inner retainer ring 20 as the inner retainer ring 20 and the outer retainer ring 30 rotate. The retainer ring 30 is inclined backward with respect to the rotation direction (indicated by an arrow).