JP2013156150A - Icp emission spectrophotometric analyser and analytical method of sample containing organic solvent - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ICP(Inductively Coupled Plasma)発光分光分析装置に係わり、特にはエアロゾル搬送経路の一部に冷却機構を設けたICP発光分光分析装置及びそれを用いた有機溶媒を含む試料の分析方法に関する。 The present invention relates to an ICP (Inductively Coupled Plasma) emission spectroscopic analysis apparatus, and more particularly to an ICP emission spectroscopic analysis apparatus provided with a cooling mechanism in a part of an aerosol transport path and a method for analyzing a sample containing an organic solvent using the same. .
高周波誘導結合プラズマ発光分光分析装置は、一般に図2に示すような構成になっている。即ち、図2において、プラズマト−チ1の外室1bと最外室1cにはガス調節器2を介してアルゴンガス供給源3からアルゴンガスが供給される。一方、試料槽5内の溶液試料は、スプレーチャンバ4内で霧化されキャリアガスとともにトーチ内室1aにエアロゾルとして搬入されるようになっている。搬入されたエアロゾルはプラズマ炎内で元素単位にイオン化され、分光器8内で分光・検出される。
A high-frequency inductively coupled plasma atomic emission spectrometer is generally configured as shown in FIG. That is, in FIG. 2, argon gas is supplied from an argon gas supply source 3 to the
このような装置を用いて有機溶剤中の微量元素を測定する場合は、有機溶剤のまま装置内に導入するとプラズマが不安定になったり、失火してしまうことがある。そのため、試料の水溶液化が必須であるため煩雑な前処理が必要とされていた。しかし、前処理によるコンタミの混入や高希釈率による感度低下が発生するため、有機溶剤中の微量成分を水溶液で測定することは困難であった。このため、有機溶剤を直接試料溶液として安定に測定する方法が近年注目されており、様々な検討がされてきた。 When measuring trace elements in an organic solvent using such an apparatus, if the organic solvent is introduced into the apparatus as it is, the plasma may become unstable or misfire may occur. Therefore, since it is essential to make the sample into an aqueous solution, complicated pretreatment is required. However, it is difficult to measure a trace component in an organic solvent with an aqueous solution because of contamination due to pretreatment and a decrease in sensitivity due to a high dilution rate. For this reason, a method for stably measuring an organic solvent directly as a sample solution has attracted attention in recent years, and various studies have been made.
一般的に有機溶剤を測定する際に用いられる改良された方法を説明する。図3はスプレーチャンバからトーチまでの装置の簡略図である。Arガスと試料溶液が導入され試料溶液を霧化するネブライザ9とチャンバ本体10と冷却ブロック11aと冷却機構12aとドレイン搬出口13とプラズマ室14と導出口15で構成している。この構成は、冷却ブロック11aを冷却してチャンバ本体10を一定温度に保つ方法が開示されている。
An improved method generally used in measuring organic solvents is described. FIG. 3 is a simplified diagram of the apparatus from the spray chamber to the torch. A nebulizer 9 that introduces Ar gas and a sample solution and atomizes the sample solution, a
更に、ICP発光分光装置ではないがその類似の技術の中で図4に示すように工夫をしたものがある。特許文献1では冷却ブロック11aを備えたチャンバ本体10とチャンバ導出口15の近傍の搬送経路16bに冷却ブロック11cを具備し、冷却ブロック11cをチャンバ本体10よりも低温に冷却することによって有機溶剤の測定を可能にする、と報告している。しかし、高揮発性の有機溶剤に対する効果の検証や測定精度に対する検証はされていない。
Further, although not an ICP emission spectroscopic apparatus, there is a similar technique as shown in FIG. In
このような構成からなる従来のチャンバによれば、チャンバ本体10内の水蒸気はドレイン搬出口13から落ちるが、霧化により発生した微小径のエアロゾルは導出口15から導出され、搬送経路16を通過しプラズマトーチ内1aに到達する。このとき、プラズマトーチ近傍の搬送経路16aは、プラズマ室14内を通過する。このプラズマ室14内部の雰囲気はプラズマ熱の影響を受けて室温よりも上昇しているため、プラズマトーチ近傍の搬送経路16aはプラズマ室14内の温度に達しているため搬送経路16aを流れるキャリアガスとエアロゾルは搬送経路16aの温度に加熱されていることになる。
According to the conventional chamber having such a configuration, the water vapor in the
図3の従来例では、試料が揮発性の高い有機溶剤の場合、トーチ近傍の搬送経路16aを通過する際にエアロゾル内の溶剤が気体となり体積が温度に比例して膨張する。本来プラズマ内に導入するガス流量はキャリアガスによって制御しているが、エアロゾルから発生した制御不可能である大量のガスがプラズマ炎に到達することになる。そのため、炎が不安定になることで測定精度が悪化したり、失火して測定ができなくなる現象が発生する。したがって、揮発性の高い有機溶剤を測定する場合に、測定精度を向上する手段として、プラズマ室14内の温度上昇の影響で搬送経路16a内を通るエアロゾルの加熱現象を抑制する必要がある。しかしながら、従来のようにチャンバ本体10及び導出口15近傍の搬送経路16bの冷却ブロック11cによる構成では、プラズマを安定な状態で維持することが難しく、発光強度や分析値の変動が大きかった。このため、安定に、しかも精度良く測定できる装置の開発、及び測定方法が求められていた。
In the conventional example of FIG. 3, when the sample is a highly volatile organic solvent, the solvent in the aerosol becomes a gas when passing through the
本発明は、この様な背景技術に鑑みてなされたものであり、有機溶剤中の微量成分の分析を測定精度を向上して行うことができるICP発光分光分析装置および分析方法を提供するものである。 The present invention has been made in view of the background art as described above, and provides an ICP emission spectroscopic analysis apparatus and analysis method capable of analyzing trace components in organic solvents with improved measurement accuracy. is there.
上記の課題を解決するICP発光分光分析装置は、高周波誘導結合放電によって励起発光等を行うICP発光分光分析装置において、有機溶媒を含む試料を霧化するためのチャンバ本体10と、前記チャンバ本体10で霧化した試料をプラズマ化するプラズマトーチ1と、前記霧化した試料を前記プラズマトーチ1に搬送するための搬送経路16とを有し、さらに、チャンバ本体10を冷却する冷却ブロック11aと、搬送経路16であってプラズマトーチ近傍の搬送経路16aを冷却する冷却ブロック11bと、冷却ブロック11aの温度制御のための冷却機構12aと、冷却ブロック11bの温度制御のための冷却機構12bとを有することを特徴とする。
An ICP emission spectroscopic analysis apparatus that solves the above problems is an ICP emission spectroscopic analysis apparatus that performs excitation light emission or the like by high-frequency inductively coupled discharge. The chamber
また、上記の課題を解決するICP発光分光分析装置は、高周波誘導結合放電によって励起発光等を行うICP発光分光分析装置において、有機溶媒を含む試料を霧化するためのチャンバ本体10と、前記チャンバ本体10で霧化した試料をプラズマ化するプラズマトーチ1と、前記霧化した試料を前記プラズマトーチ1に搬送するための搬送経路16とを有し、さらに、チャンバ本体10を冷却する冷却ブロック11aと、搬送経路16の一部であってプラズマ室14内にある搬送経路16aを冷却する冷却ブロック11bと、冷却ブロック11aの温度制御のための冷却機構12aと、冷却ブロック11bの温度制御のための冷却機構12bとを有することを特徴とする。
In addition, an ICP emission spectroscopic analysis apparatus that solves the above-described problems is an ICP emission spectroscopic analysis apparatus that performs excitation light emission or the like by high-frequency inductively coupled discharge. The chamber
上記の課題を解決する分析方法は、高周波誘導結合放電によって励起発光等を行うICP発光分光分析方法により有機溶媒を含む試料を分析する方法であって、前記有機溶媒を含む試料を室温以下に冷却されたチャンバ本体10内に導入して前記有機溶媒を含む試料を霧化する工程と、前記霧化した有機溶媒を含む試料を搬送経路16によりプラズマトーチ1に搬送する工程とを有し、前記搬送する工程において、プラズマ室14内部を通過する前記搬送経路16aを冷却することを特徴とする有機溶媒を含む試料の分析方法である。
An analysis method for solving the above-described problem is a method of analyzing a sample containing an organic solvent by an ICP emission spectroscopic analysis method that performs excitation light emission by high frequency inductively coupled discharge, and the sample containing the organic solvent is cooled to room temperature or lower The step of introducing the sample containing the organic solvent into the chamber
本発明によれば、有機溶剤中の微量成分の分析を測定精度を向上して行うことができるICP発光分光分析装置および分析方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the ICP emission-spectral-analysis apparatus and analysis method which can perform the analysis of the trace component in an organic solvent can improve a measurement precision can be provided.
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
本発明に係るICP発光分光分析装置は、高周波誘導結合放電によって励起発光等を行うICP発光分光分析装置において、有機溶媒を含む試料を霧化するためのチャンバ本体10と、前記チャンバ本体10で霧化した試料をプラズマ化するプラズマトーチ1と、前記霧化した試料を前記プラズマトーチ1に搬送するための搬送経路16とを有し、さらに、チャンバ本体10を冷却する冷却ブロック11aと、搬送経路16であってプラズマトーチ近傍の搬送経路16aを冷却する冷却ブロック11bと、冷却ブロック11aの温度制御のための冷却機構12aと、冷却ブロック11bの温度制御のための冷却機構12bとを有することを特徴とする。
An ICP emission spectroscopic analysis apparatus according to the present invention is an ICP emission spectroscopic analysis apparatus that performs excitation light emission or the like by high-frequency inductively coupled discharge. A chamber
また、本発明に係るICP発光分光分析装置は、高周波誘導結合放電によって励起発光等を行うICP発光分光分析装置において、有機溶媒を含む試料を霧化するためのチャンバ本体10と、前記チャンバ本体10で霧化した試料をプラズマ化するプラズマトーチ1と、前記霧化した試料を前記プラズマトーチ1に搬送するための搬送経路16とを有し、さらに、チャンバ本体10を冷却する冷却ブロック11aと、搬送経路16の一部であってプラズマ室14内にある搬送経路16aを冷却する冷却ブロック11bと、冷却ブロック11aの温度制御のための冷却機構12aと、冷却ブロック11bの温度制御のための冷却機構12bとを有することを特徴とする。
Further, an ICP emission spectroscopic analysis apparatus according to the present invention is an ICP emission spectroscopic analysis apparatus that performs excitation light emission or the like by high frequency inductively coupled discharge. A chamber
本発明に係る分析方法は、高周波誘導結合放電によって励起発光等を行うICP発光分光分析方法により有機溶媒を含む試料を分析する方法であって、前記有機溶媒を含む試料を室温以下に冷却されたチャンバ本体10内に導入して前記有機溶媒を含む試料を霧化する工程と、前記霧化した有機溶媒を含む試料を搬送経路16によりプラズマトーチ1に搬送する工程とを有し、前記搬送する工程において、プラズマ室14内部を通過する前記搬送経路16aを冷却することを特徴とする有機溶媒を含む試料の分析方法である。
An analysis method according to the present invention is a method of analyzing a sample containing an organic solvent by an ICP emission spectroscopic analysis method that performs excitation light emission or the like by high frequency inductively coupled discharge, and the sample containing the organic solvent is cooled to room temperature or lower. Introducing into the
具体的に実施するための形態を図1を用いて説明する。図1は、本発明のICP発光分光分析装置に一実施態様を示す概略図である。図1において、冷却機構12aは水アルコール混合液による水冷式冷却機構を用いて、冷却ブロック11aを冷却する。プラズマ室14内部を通過するエアロゾル搬入経路16a部を冷却する冷却ブロック12bは、水アルコール混合液による水冷式冷却機構12bを用いる。冷却温度は、チャンバ温度より過冷却する必要はない。また、チャンバ近傍の搬送経路16bは室温であるため冷却ブロック12bが室温以下になるように、冷却機構12bで調整するのが望ましい。従って、プラズマ室14内の搬送経路16bの冷却温度範囲は、チャンバ冷却温度以上であり室温以下であることが望ましい。冷却機構12aおよび12bは水冷であってもガス冷であっても目的の温度に調整することができれば特に手段は限定されない。
A specific embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of the ICP emission spectroscopic analyzer of the present invention. In FIG. 1, the
本発明により、高揮発性の有機溶剤のエアロゾルが気化することによる体積膨張を抑制することができる。有機溶剤のエアロゾルの状態を保ったままプラズマトーチ内に導入できる。プラズマトーチ内には、トーチ最外室1cとトーチ外室1bにアルゴンガスが流れているためトーチ内室1aを流れるエアロゾルは空冷されながらプラズマに投入される。一方向に整流されながらプラズマへ入るため、プラズマ炎の不安定な要因を抑制し、長時間安定な炎を保つことができる。そのため、測定精度が向上し有機溶剤中の微量成分の分析ができるようになる。
According to the present invention, volume expansion due to vaporization of an aerosol of a highly volatile organic solvent can be suppressed. It can be introduced into the plasma torch while maintaining the aerosol state of the organic solvent. In the plasma torch, argon gas flows through the torch
(実施例1)
図1は、本発明の基本的なICP発光分光分折装置の略図である。水冷による冷却機構12bを用いてチャンバ本体10を−10℃に冷却した。更に0度に調整した冷却水を用いてプラズマトーチ近傍部の搬送経路16aを冷却した。ICP装置はスペクトロ社製CIROSCCD型を使用した。
Example 1
FIG. 1 is a schematic diagram of a basic ICP emission spectroscopic analyzer of the present invention. The
(比較例1)
比較例1の構成を図4を用いて説明する。チャンバ本体10を水冷による冷却機構12bを用いて−10℃に調整した冷却水により冷却した。更に0度に調整した冷却水を用いてチャンバーの導出口の搬送経路16bを冷却した。
(Comparative Example 1)
The configuration of Comparative Example 1 will be described with reference to FIG. The
(比較例2)
比較例2の構成を図3を用いて説明する。チャンバ本体10を水冷による冷却機構12bを用いて−10℃に調整した冷却水により冷却した。
(Comparative Example 2)
The configuration of Comparative Example 2 will be described with reference to FIG. The
有機溶剤試料は、関東化学製混合標準液IVをTHFに溶解し、10ppmとしたものを使用した。測定対象元素は、Na、Mg、Ca、Zn、Cu、Arとし、測定対象発光波長を元素記号の後に示した(単位nm)。標準液を溶解した有機溶媒試料を実施例及び比較例のICP装置に導入して、繰り返し10回測定を行い得られた定量値から平均相対標準偏差(RSD値)を算出した。 As the organic solvent sample, a mixed standard solution IV manufactured by Kanto Chemical Co., dissolved in THF to 10 ppm was used. The measurement target elements were Na, Mg, Ca, Zn, Cu, and Ar, and the measurement target emission wavelength was shown after the element symbol (unit: nm). The organic solvent sample in which the standard solution was dissolved was introduced into the ICP devices of Examples and Comparative Examples, and the measurement was repeated 10 times, and the average relative standard deviation (RSD value) was calculated from the quantitative values obtained.
実施例及び比較例の各元素の平均相対標準偏差値の測定結果を、下記の表1に示した。 The measurement results of the average relative standard deviation values of the respective elements of the examples and comparative examples are shown in Table 1 below.
表1に示すように、実施例1の相対標準偏差値は全ての元素において4以下であった。本発明の構成により高揮発性の有機溶剤を測定精度を向上させることができた。更に、測定後引き続きTHFを導入していた場合でも長時間にわたってプラズマが安定であることを確認した。 As shown in Table 1, the relative standard deviation value of Example 1 was 4 or less for all elements. With the configuration of the present invention, the measurement accuracy of a highly volatile organic solvent could be improved. Furthermore, it was confirmed that the plasma was stable for a long time even when THF was continuously introduced after the measurement.
表1に示すように、比較例1、2の相対標準偏差値は同程度の精度であった。更に測定後引き続きTHFを導入していたが、炎が不安定になり失火してしまい長時間の安定性を確保できなかった。 As shown in Table 1, the relative standard deviation values of Comparative Examples 1 and 2 were of the same accuracy. Further, THF was continuously introduced after the measurement, but the flame became unstable and misfired, and long-term stability could not be secured.
本発明は、有機溶剤中の微量成分の分析に利用することができる。 The present invention can be used for analysis of trace components in organic solvents.
1 プラズマトーチ
1a トーチ内室
1b トーチ外室
1c トーチ最外室
2 ガス調整器
3 アルゴンガス供給源
4 スプレーチャンバ
5 試料槽
6 高周波誘導コイル
7 プラズマ電源
8 分光器・検出器・演算処理
9 ネブライザ
10 チャンバ本体
11a 冷却ブロック
11b 冷却ブロック
11c 冷却ブロック
12a 冷却機構
12b 冷却機構
13 ドレイン搬出口
14 プラズマ室
15 導出口
16 搬送経路
16a プラズマトーチ近傍の搬送経路
16b 導出口近傍の搬送経路
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105116045A (en) * | 2015-08-31 | 2015-12-02 | 刘向磊 | Method for simultaneously determining trace gold, silver and palladium in geochemical sample |
WO2019187408A1 (en) * | 2018-03-27 | 2019-10-03 | 信越半導体株式会社 | Sample analysis method and sample introduction device |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4293220A (en) * | 1979-07-02 | 1981-10-06 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Application of inductively coupled plasma emission spectrometry to the elemental analysis of organic compounds and to the determination of the empirical formulas for these and other compounds |
JPH0587779A (en) * | 1991-09-30 | 1993-04-06 | Yokogawa Electric Corp | Spray chamber |
JPH09318538A (en) * | 1996-05-31 | 1997-12-12 | Shimadzu Corp | Icp analyzer |
JP2002039944A (en) * | 2000-07-25 | 2002-02-06 | Shimadzu Corp | Icp light source apparatus |
JP2007024787A (en) * | 2005-07-20 | 2007-02-01 | Ajinomoto Co Inc | Method and system for inductively coupled plasma analysis |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4293220A (en) * | 1979-07-02 | 1981-10-06 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Application of inductively coupled plasma emission spectrometry to the elemental analysis of organic compounds and to the determination of the empirical formulas for these and other compounds |
JPH0587779A (en) * | 1991-09-30 | 1993-04-06 | Yokogawa Electric Corp | Spray chamber |
JPH09318538A (en) * | 1996-05-31 | 1997-12-12 | Shimadzu Corp | Icp analyzer |
JP2002039944A (en) * | 2000-07-25 | 2002-02-06 | Shimadzu Corp | Icp light source apparatus |
JP2007024787A (en) * | 2005-07-20 | 2007-02-01 | Ajinomoto Co Inc | Method and system for inductively coupled plasma analysis |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105116045A (en) * | 2015-08-31 | 2015-12-02 | 刘向磊 | Method for simultaneously determining trace gold, silver and palladium in geochemical sample |
WO2019187408A1 (en) * | 2018-03-27 | 2019-10-03 | 信越半導体株式会社 | Sample analysis method and sample introduction device |
JP2019174136A (en) * | 2018-03-27 | 2019-10-10 | 信越半導体株式会社 | Sample analysis method and sample introduction device |
US11189475B2 (en) | 2018-03-27 | 2021-11-30 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Sample analysis method and sample introduction device |
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