JP2013149700A - フィルム状配線基板 - Google Patents
フィルム状配線基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013149700A JP2013149700A JP2012007692A JP2012007692A JP2013149700A JP 2013149700 A JP2013149700 A JP 2013149700A JP 2012007692 A JP2012007692 A JP 2012007692A JP 2012007692 A JP2012007692 A JP 2012007692A JP 2013149700 A JP2013149700 A JP 2013149700A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- wiring board
- insulating film
- wiring pattern
- wiring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Structure Of Printed Boards (AREA)
Abstract
【課題】高温雰囲気下であっても高い密着強度を有する高密度配線パターンを有するフィルム状配線基板を提供する。
【解決手段】ポリイミドなどからなる絶縁フィルム1の一方の面上に、配線パターン3が形成されており、前記絶縁フィルム1の他方の面上に、酸素の透過を防止する酸素透過防止膜5として金属テープの貼り付け、またはスパッタ法や蒸着法による薄膜が備えられている。
【選択図】図1
【解決手段】ポリイミドなどからなる絶縁フィルム1の一方の面上に、配線パターン3が形成されており、前記絶縁フィルム1の他方の面上に、酸素の透過を防止する酸素透過防止膜5として金属テープの貼り付け、またはスパッタ法や蒸着法による薄膜が備えられている。
【選択図】図1
Description
本発明は、ポリイミドフィルム等からなるフィルム状配線基板及びその製造方法に関する。
現在、液晶ディスプレイや、携帯電話、デジタルカメラ等の様々な電子機器は、高性能化、薄型化、軽量化、低コスト化等が要求されている。そのため、それらの電子機器を構成する電子部品にも、同様に、高性能化等が要求されている。
そのような要求を満足させるためには、電子部品に用いられるフィルム状配線基板において絶縁フィルム上に形成される配線パターンを高密度化する必要がある。具体的には、配線パターンの配線幅と隣接配線同士の間隔、すなわち、配線ピッチを25μm以下にすることが望ましい。
そして、従来より、サブトラクティブ法やセミアディティブ法を用いることにより、25μm以下の配線ピッチを有するフィルム状配線基板を製造することができることが知られている(特許文献1参照。)。
しかし、そのような高密度化された配線パターンは、必然的に配線ピッチが狭くなっているため、配線幅は狭くなり、絶縁フィルムに接する面積が減少することになる。その結果、電子部品の発熱による高温雰囲気下で1000〜2000時間おかれたような場合には、配線パターンと絶縁フィルムとの密着強度が極端に低下してしまったり、絶縁フィルムから配線パターンの一部が剥れてしまったりしてしまうという問題があった。
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、高温雰囲気下であっても高い密着強度を有する高密度配線パターンを有するフィルム状配線基板及びその製造方法を提供することである。
上記の目的を達成するために、本発明のフィルム状配線基板は、絶縁フィルムの一方の面上に、配線パターンが形成されており、前記絶縁フィルムの他方の面上に、酸素の透過を防止する酸素透過防止薄膜が備えられていることを特徴とする。
また、本発明のフィルム状配線基板は、前記酸素透過防止膜が、金属テープを貼り付けることにより形成されていることが好ましい。
また、本発明のフィルム状配線基板は、前記酸素透過防止薄膜が、スパッタ法により形成されていることが好ましい。
また、本発明のフィルム状配線基板は、前記酸素透過防止薄膜が、蒸着法により形成されていることが好ましい。
また、本発明のフィルム状配線基板は、前記酸素透過防止薄膜の厚さが、1μm以下であることが好ましい。
また、上記の目的を達成するために、本発明のフィルム状配線基板の製造方法は、絶縁フィルムの一方の面上に、配線パターンを形成し、前記絶縁フィルムの他方の面上に、酸素の透過を防止する金属テープを貼り付けることを特徴とする。
また、上記の目的を達成するために、本発明のフィルム状配線基板の製造方法は、絶縁フィルムの一方の面上に、配線パターンを形成し、前記絶縁フィルムの他方の面上に、酸素の透過を防止する酸素透過防止薄膜をスパッタ法により形成することを特徴とする。
また、上記の目的を達成するために、本発明のフィルム状配線基板の製造方法は、絶縁フィルムの一方の面上に、配線パターンを形成し、前記絶縁フィルムの他方の面上に、酸素の透過を防止する酸素透過防止薄膜を蒸着法により形成することを特徴とする。
本発明によれば、高温雰囲気下であっても高い密着強度を有する高密度配線パターンを有するフィルム状配線基板及びその製造方法を提供することができる。
以下に、図1を用いて、実施例1に係るフィルム状配線基板について詳細に説明する。
図1は、本実施例に係るフィルム状配線基板の概略断面図である。
また、図中、1は絶縁フィルム、2はシード層、3は導電層、4は電気めっき層、5は銅等の金属材料により形成された金属テープである。
図1に示すように、このフィルム状配線基板は、ポリイミド等からなる絶縁フィルム1を基材としている。
そして、その絶縁フィルム1の一方の面上には、銅等の金属材料により形成されたシード層2、導電層3、電気めっき層4からなる配線パターンが形成されている。なお、この配線パターンは、サブトラクティブ法やセミアディティブ法により形成されたものである。
このフィルム状配線基板では、絶縁フィルム1の配線パターンが形成されている面とは反対側の面上に、金属テープ5(例えば、3M社製:銅箔エンボス No.1245)が接着剤により貼り付けられており、その金属テープ5により酸素透過防止薄膜が形成されている。
このようにして製造されたフィルム状配線基板は、一方の面に金属テープ5が貼り付けられているため、その面側からの絶縁フィルムへの酸素の透過を抑えることができ、シード層2の酸化を防止することができる。
そのため、このフィルム状配線基板では、高温雰囲気下で長時間おかれた場合であっても、配線パターンの密着強度の低下や、配線パターンの剥離といった不具合が生じにくい。
具体的には、絶縁フィルム1の一方の面に配線の幅が13μm、隣接配線同士の間隔が10μmの高密度の配線パターンを形成し、他方の面に金属テープ5を貼り付けていないフィルム状配線基板を、150℃雰囲気下に2000時間投入して、投入前と2000時間経過後の配線パターンと絶縁フィルム1との密着強度を測定すると、490N/mであった平均密着強度は170N/mまで低下していた。
これに対し、絶縁フィルム1の一方の面に同様の高密度の配線パターンを形成し、他方の面に金属テープ5を貼り付けたフィルム状配線基板を、同様の条件である150℃雰囲気下に2000時間投入し、投入前と2000時間経過後の配線パターンと絶縁フィルム1との密着強度を測定すると、490N/mであった平均密着強度は250N/mまでしか低下していなかった。
すなわち、本発明のフィルム状配線基板では、従来のフィルム状配線基板に比べて、大きく密着強度の低下を抑制できることが明らかになった。
以下に、図2を用いて、実施例2に係るフィルム状配線基板について詳細に説明する。なお、本実施例のフィルム状配線基板は、酸化防止薄膜を除き、実施例1のフィルム状配線基板とほぼ同様の構成であるため、同様の部材については同一の符号を付すとともに、それらについての詳細な説明は省略する。
図2は、本実施例に係るフィルム状配線基板の概略断面図である。
また、図中、1は絶縁フィルム、2はシード層、3は導電層、4は電気めっき層、6は酸素透過防止層である。
このフィルム状配線基板では、絶縁フィルム1の配線パターンが形成されている面とは反対側の面上に、銅等の金属材料により形成された酸素透過防止層5(例えば、0.3μmの厚さのNi−Cr層)が薄膜として形成されている。なお、この酸素透過防止層5は、スパッタ法により形成されているが、蒸着法により形成しても良い。
このように構成されたフィルム状配線基板は、実施例1のフィルム状配線基板と同様に、高温雰囲気下で長時間おかれたとしても、配線パターンの平均密着強度は300N/mまでしか低下せず、配線パターンの剥離といった不具合が生じにくい結果が得られた。
1 絶縁フィルム
2、2’ シード層
3、3’ 導電層
4 電気めっき層
5 金属テープ
6 酸素透過防止層
2、2’ シード層
3、3’ 導電層
4 電気めっき層
5 金属テープ
6 酸素透過防止層
本発明は、ポリイミドフィルム等からなるフィルム状配線基板に関する。
現在、液晶ディスプレイや、携帯電話、デジタルカメラ等の様々な電子機器は、高性能化、薄型化、軽量化、低コスト化等が要求されている。そのため、それらの電子機器を構成する電子部品にも、同様に、高性能化等が要求されている。
そのような要求を満足させるためには、電子部品に用いられるフィルム状配線基板において絶縁フィルム上に形成される配線パターンを高密度化する必要がある。具体的には、配線パターンの配線幅と隣接配線同士の間隔、すなわち、配線ピッチを25μm以下にすることが望ましい。
そして、従来より、サブトラクティブ法やセミアディティブ法を用いることにより、25μm以下の配線ピッチを有するフィルム状配線基板を製造することができることが知られている(特許文献1参照。)。
しかし、そのような高密度化された配線パターンは、必然的に配線ピッチが狭くなっているため、配線幅は狭くなり、絶縁フィルムに接する面積が減少することになる。その結果、電子部品の発熱による高温雰囲気下で1000〜2000時間おかれたような場合には、配線パターンと絶縁フィルムとの密着強度が極端に低下してしまったり、絶縁フィルムから配線パターンの一部が剥れてしまったりしてしまうという問題があった。
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、高温雰囲気下であっても高い密着強度を有する高密度配線パターンを有するフィルム状配線基板及びその製造方法を提供することである。
上記の目的を達成するために、本発明のフィルム状配線基板は、絶縁フィルムの一方の面上に、配線パターンが形成されており、前記絶縁フィルムの他方の面上に、酸素の透過を防止する酸素透過防止薄膜が備えられ、前記酸素透過防止薄膜が、銅箔エンボステープを貼り付けることにより形成されていることを特徴とする。
また、本発明のフィルム状配線基板は、前記酸素透過防止膜が、金属テープを貼り付けることにより形成されていることが好ましい。
また、他の態様としてはフィルム状配線基板は、前記酸素透過防止薄膜が、スパッタ法により形成されていることが好ましい。
また、他の態様としてはフィルム状配線基板は、前記酸素透過防止薄膜が、蒸着法により形成されていることが好ましい。
また、他の態様としてはフィルム状配線基板は、前記酸素透過防止薄膜の厚さが、1μm以下であることが好ましい。
また、上記の目的を達成するために、本発明のフィルム状配線基板を製造する方法としては、絶縁フィルムの一方の面上に、配線パターンを形成し、前記絶縁フィルムの他方の面上に、酸素の透過を防止する金属テープを貼り付けることが好ましい。
また、上記の目的を達成するために、他の態様としてはフィルム状配線基板を製造する方法としては、絶縁フィルムの一方の面上に、配線パターンを形成し、前記絶縁フィルムの他方の面上に、酸素の透過を防止する酸素透過防止薄膜をスパッタ法により形成することが好ましい。
また、上記の目的を達成するために、他の態様としてはフィルム状配線基板を製造する方法としては、絶縁フィルムの一方の面上に、配線パターンを形成し、前記絶縁フィルムの他方の面上に、酸素の透過を防止する酸素透過防止薄膜を蒸着法により形成することが好ましい。
本発明によれば、高温雰囲気下であっても高い密着強度を有する高密度配線パターンを有するフィルム状配線基板及びその製造方法を提供することができる。
以下に、図1を用いて、実施例1に係るフィルム状配線基板について詳細に説明する。
図1は、本実施例に係るフィルム状配線基板の概略断面図である。
また、図中、1は絶縁フィルム、2はシード層、3は導電層、4は電気めっき層、5は銅等の金属材料により形成された金属テープである。
図1に示すように、このフィルム状配線基板は、ポリイミド等からなる絶縁フィルム1を基材としている。
そして、その絶縁フィルム1の一方の面上には、銅等の金属材料により形成されたシード層2、導電層3、電気めっき層4からなる配線パターンが形成されている。なお、この配線パターンは、サブトラクティブ法やセミアディティブ法により形成されたものである。
このフィルム状配線基板では、絶縁フィルム1の配線パターンが形成されている面とは反対側の面上に、金属テープ5(例えば、3M社製:銅箔エンボス No.1245)が接着剤により貼り付けられており、その金属テープ5により酸素透過防止薄膜が形成されている。
このようにして製造されたフィルム状配線基板は、一方の面に金属テープ5が貼り付けられているため、その面側からの絶縁フィルムへの酸素の透過を抑えることができ、シード層2の酸化を防止することができる。
そのため、このフィルム状配線基板では、高温雰囲気下で長時間おかれた場合であっても、配線パターンの密着強度の低下や、配線パターンの剥離といった不具合が生じにくい。
具体的には、絶縁フィルム1の一方の面に配線の幅が13μm、隣接配線同士の間隔が10μmの高密度の配線パターンを形成し、他方の面に金属テープ5を貼り付けていないフィルム状配線基板を、150℃雰囲気下に2000時間投入して、投入前と2000時間経過後の配線パターンと絶縁フィルム1との密着強度を測定すると、490N/mであった平均密着強度は170N/mまで低下していた。
これに対し、絶縁フィルム1の一方の面に同様の高密度の配線パターンを形成し、他方の面に金属テープ5を貼り付けたフィルム状配線基板を、同様の条件である150℃雰囲気下に2000時間投入し、投入前と2000時間経過後の配線パターンと絶縁フィルム1との密着強度を測定すると、490N/mであった平均密着強度は250N/mまでしか低下していなかった。
すなわち、本発明のフィルム状配線基板では、従来のフィルム状配線基板に比べて、大きく密着強度の低下を抑制できることが明らかになった。
以下に、図2を用いて、実施例2に係るフィルム状配線基板について詳細に説明する。なお、本実施例のフィルム状配線基板は、酸化防止薄膜を除き、実施例1のフィルム状配線基板とほぼ同様の構成であるため、同様の部材については同一の符号を付すとともに、それらについての詳細な説明は省略する。なお、本実施例は参考例として示すものである。
図2は、本実施例に係るフィルム状配線基板の概略断面図である。
また、図中、1は絶縁フィルム、2はシード層、3は導電層、4は電気めっき層、6は酸素透過防止層である。
このフィルム状配線基板では、絶縁フィルム1の配線パターンが形成されている面とは反対側の面上に、銅等の金属材料により形成された酸素透過防止層6(例えば、0.3μmの厚さのNi−Cr層)が薄膜として形成されている。なお、この酸素透過防止層5は、スパッタ法により形成されているが、蒸着法により形成しても良い。
このように構成されたフィルム状配線基板は、実施例1のフィルム状配線基板と同様に、高温雰囲気下で長時間おかれたとしても、配線パターンの平均密着強度は300N/mまでしか低下せず、配線パターンの剥離といった不具合が生じにくい結果が得られた。
1 絶縁フィルム
2、2’ シード層
3、3’ 導電層
4 電気めっき層
5 金属テープ
6 酸素透過防止層
2、2’ シード層
3、3’ 導電層
4 電気めっき層
5 金属テープ
6 酸素透過防止層
Claims (8)
- 絶縁フィルムの一方の面上に、配線パターンが形成されており、
前記絶縁フィルムの他方の面上に、酸素の透過を防止する酸素透過防止薄膜が備えられていることを特徴とするフィルム状配線基板。 - 前記酸素透過防止膜が、金属テープを貼り付けることにより形成されていることを特徴とする請求項1に記載のフィルム状配線基板。
- 前記酸素透過防止薄膜が、スパッタ法により形成されていることを特徴とする請求項1に記載のフィルム状配線基板。
- 前記酸素透過防止薄膜が、蒸着法により形成されていることを特徴とする請求項1に記載のフィルム状配線基板。
- 前記酸素透過防止薄膜の厚さが、1μm以下であることを特徴とする請求項3又は4に記載のフィルム状配線基板。
- 絶縁フィルムの一方の面上に、配線パターンを形成し、
前記絶縁フィルムの他方の面上に、酸素の透過を防止する金属テープを貼り付けることを特徴とするフィルム状配線基板の製造方法。 - 絶縁フィルムの一方の面上に、配線パターンを形成し、
前記絶縁フィルムの他方の面上に、酸素の透過を防止する酸素透過防止薄膜をスパッタ法により形成することを特徴とするフィルム状配線基板の製造方法。 - 絶縁フィルムの一方の面上に、配線パターンを形成し、
前記絶縁フィルムの他方の面上に、酸素の透過を防止する酸素透過防止薄膜を蒸着法により形成することを特徴とするフィルム状配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012007692A JP2013149700A (ja) | 2012-01-18 | 2012-01-18 | フィルム状配線基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012007692A JP2013149700A (ja) | 2012-01-18 | 2012-01-18 | フィルム状配線基板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013149700A true JP2013149700A (ja) | 2013-08-01 |
Family
ID=49046943
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012007692A Pending JP2013149700A (ja) | 2012-01-18 | 2012-01-18 | フィルム状配線基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013149700A (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005219259A (ja) * | 2004-02-04 | 2005-08-18 | Mitsubishi Shindoh Co Ltd | 金属化ポリイミドフィルム |
JP2005302620A (ja) * | 2004-04-15 | 2005-10-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | シールド電線 |
-
2012
- 2012-01-18 JP JP2012007692A patent/JP2013149700A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005219259A (ja) * | 2004-02-04 | 2005-08-18 | Mitsubishi Shindoh Co Ltd | 金属化ポリイミドフィルム |
JP2005302620A (ja) * | 2004-04-15 | 2005-10-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | シールド電線 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100939550B1 (ko) | 연성 필름 | |
WO2019201145A1 (zh) | 一种易剥离载体箔及其制备方法和应用 | |
JP5164465B2 (ja) | 樹脂基板 | |
JP5497911B2 (ja) | フレキシブルラミネート基板への回路形成方法 | |
KR20060124505A (ko) | 연성금속 적층판 및 그 제조방법 | |
JP2013149700A (ja) | フィルム状配線基板 | |
JP5223325B2 (ja) | 金属被覆ポリエチレンナフタレート基板とその製造方法 | |
JP2007208251A (ja) | フレキシブル基板用基材およびそれを用いたフレキシブル基板ならびにそれらの製造方法 | |
KR101012919B1 (ko) | 접착제가 없는 연성금속 적층판 및 그 제조방법 | |
JP2006130747A (ja) | Cof用銅張積層板及びcof用キャリアテープ | |
TWI640424B (zh) | Nano metal substrate for FPC and COF materials | |
JP2009241597A (ja) | 基板材料及び基板 | |
JP6705094B2 (ja) | 離型フィルム付銅箔および離型フィルム付銅箔の製造方法 | |
JP5358785B2 (ja) | 両面導通粘着金属フィルムの製造方法 | |
JP2010274546A (ja) | 粘着剤付き金属フィルム及びその製造方法 | |
KR101151845B1 (ko) | 연성 동장 적층판 및 그 제조 방법 | |
JP2010269509A (ja) | 2層フレキシブル基板およびフレキシブル配線基板 | |
TWI616123B (zh) | 安裝基板用放熱積層材之製造方法 | |
KR102644252B1 (ko) | 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법 및 이에 의해 제조된 전자기판 | |
JP2018085465A (ja) | 配線基板 | |
JP5164464B2 (ja) | 樹脂基板 | |
JP2006179827A (ja) | フレキシブル基板用基材およびそれを用いたフレキシブル基板ならびそれらの製造方法 | |
JP2017041630A (ja) | 金属化フィルムおよび金属化フィルムの製造方法 | |
KR100652158B1 (ko) | 압연 동박 및 그 제조방법 | |
JP2008302696A (ja) | フレキシブル金属箔積層板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131210 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140408 |