JP2013136147A - 多軸位置決め装置 - Google Patents
多軸位置決め装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013136147A JP2013136147A JP2013006944A JP2013006944A JP2013136147A JP 2013136147 A JP2013136147 A JP 2013136147A JP 2013006944 A JP2013006944 A JP 2013006944A JP 2013006944 A JP2013006944 A JP 2013006944A JP 2013136147 A JP2013136147 A JP 2013136147A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- support table
- linear motion
- positioning device
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
【解決手段】処理対象物を支持するテーブル(5)と、処理対象物に対して所定の処理を施す処理機構とを、互いに相対的に移動させる多軸駆動機構を有し、該多軸駆動機構は、少なくとも1つの直動機構(2)(3)を有し、該直動機構(2)(3)の移動範囲と前記支持テーブル(5)の移動範囲とを分離する隔壁(22)(23)を備えている。
【選択図】図1
Description
また、X軸部材が下部に位置し、Y軸部材が上部に位置する構成も提案されていた。
しかし、支持テーブル105などを洗浄すると、例えば、図2に示す構成では、X軸部材101、Y軸部材102の駆動機構部分が支持テーブル105の下方に位置する関係上、上記した洗浄のための液体の飛沫が駆動部や摺動案内部などの異種部材の当接部位に付着するなどによって金属表面に腐食などを引き起こし摩擦が増加するなどして、これらの駆動機構に故障を生じさせてしまうという不都合がある。
しかし、この場合には、洗浄自体に時間を要するとともに、高精度の位置決めを必要とされることから再度の取り付けに際し、多大なる労力と時間が必要となる。また、再度の取り付けに際し、パーティクル(例えば、主に金属摩擦により部材から剥離し移動或いは浮遊するなどの金属粉や、装置の設置環境にもよるが、空気中にある浮遊する繊維や無機物、或いは金属などの浮遊塵)が発生し、十分な洗浄効果を達成することができない。さらに、そのときに発生したパーティクルが食品、医薬品等の製造時において製品に混入してしまう不都合がある。
したがって、食品や医薬品等の製造装置などのように洗浄を行うことが必須とされる用途には、特許文献1に記載されたような多軸位置決め装置を適用することができない。
前記多軸駆動機構は、少なくとも1つの直動機構を有し、該直動機構の移動範囲と前記支持テーブルの移動範囲とが、隔壁により分離され、少なくとも前記直動機構と前記支持テーブルとを動作させて前記所定の処理を行う間は、前記隔壁で分離された領域のうち、前記直動機構の移動範囲を有する側の気圧は、前記支持テーブルの移動範囲を有する側の気圧に対して負圧になっていることを特徴とするものである。
ここで、前記直動機構の少なくとも1つは、前記支持テーブルよりも上方に配置されていることが好ましく、簡単に、かつコンパクトに直動機構を配置することが可能となる。
実施形態1
図1は本発明の多軸位置決め装置の一実施形態を示す概略斜視図である。
前記アライメントユニット32は、前記支持テーブル5に支持されている処理対象物のアライメントを達成するためのカメラ(図示せず)を有している。もちろん、このカメラからの画像信号を受け取ってアライメントのための所定の画像処理を行う第1画像処理装置(図示せず)を設けている。
前記第1画像処理装置と第2画像処理装置は、それぞれ別個に設けられていてもよいが、1つの画像処理装置により対応する処理を行うように構成されていてもよい。
前記支持テーブル5は、処理対象物を吸着保持するための多数の吸着用孔を有しているものであることが好ましい。
また、図示していないが、処理対象物の位置決めを達成するために前記X軸直動機構2、前記Y軸直動機構3および前記回転軸機構4を制御する駆動機構制御装置を設けている。
上記の構成の多軸位置決め装置の作用は次のとおりである。
次いで、駆動機構制御装置によって前記X軸直動機構2、前記Y軸直動機構3および前記回転軸機構4を制御し、前記アライメントユニット32によって、前記支持テーブル5に支持されている処理対象物のアライメントを達成する。
その後、駆動機構制御装置によって前記X軸直動機構2および前記Y軸直動機構3を制御し、処理対象物の位置決めを達成する。
そして、処理対象物の位置決め、前記3つの塗布ユニット34、35、36の制御、前記検査ユニット33による検査を反復することによって、処理対象物上に、積層状態の第1液滴層、第2液滴層、第3液滴層を複数個形成することができる。
処理対象物に対する処理の種類によっては、このようなパーティクルの発生はさほど問題にならないかもしれないが、処理対象物に対する処理が医療用途、食品用途などの処理である場合には、このようなパーティクルの発生が致命的な問題になってしまう。
したがって、洗浄後は、パーティクルが存在しない状態で処理対象物に対する処理を達成することができる。
さらに、駆動摺動部を前記開口部より上部に配置する方が洗浄液のつたいを防止できるので、なお好ましい。
また、本多軸位置決め装置において負圧設定部材を省略することが可能であり、この場合には、簡単に洗浄できることの利点を最大限に享受することができる。
実施形態2
図5は本発明の多軸位置決め装置の他の実施形態の主要部のみを示す概略斜視図である。なお、図5は、軸構成を分かり易く説明するものであるため、各軸直動機構を覆うためのカバー部材、および領域カバー部材の図示を省略している。
実施形態3
図6は本発明の多軸位置決め装置のさらに他の実施形態の主要部のみを示す概略斜視図である。なお、図6は、軸構成を分かり易く説明するものであるため、各軸直動機構を覆うためのカバー部材、および領域カバー部材の図示を省略している。
なお、この場合は、X軸直動機構2、Y軸直動機構3の駆動摺動部の移動範囲と前記支持テーブル5の移動範囲とがX軸隔壁22により分離されおり、かつ、Z軸直動機構7上に構成されているX軸直動機構2に連結されている。
実施形態4
図7は本発明の多軸位置決め装置のさらに他の実施形態を示す概略斜視図である。
この多軸位置決め装置は、基台1の奥部の上方においてX軸方向(図中において左右方向)に延びるX軸直動機構(図示せず)と、該X軸直動機構によりX軸方向に移動される片持ち式のX軸支持部材21と、該X軸支持部材21の先端部上部に設けられた回転軸機構4と、該回転軸機構4を覆うようにその上部に設けられた支持テーブル5と、基台1の所定位置の上方においてY軸方向(X軸と直交する水平方向)に延びる複数のY軸直動機構3と、前記各Y軸直動機構3によりY軸方向に移動されるY軸支持部材31と、該Y軸支持部材31に設けられたアライメントユニット32、検査ユニット33、および3つの塗布ユニット34、35、36を有している。なお、図7においては、アライメントユニット32、および検査ユニット33が一体化した状態で示されている。
2 X軸直動機構
3 Y軸直動機構
4 回転軸機構
5 支持テーブル
6 領域カバー部材
7 Z軸直動機構
8 X軸用カバー部材
9 Y軸用カバー部材
21、31、71 支持部材
22 X軸隔壁
23 Y軸隔壁
28 X軸開口部
29 Y軸開口部
32 アライメントユニット
33 検査ユニット
34、35、36 塗布ユニット
38 ユニット位置決めピン
39 ユニット固定フック
40 コネクタ
41 開口部を塞ぐ機構
70 固定部位
Claims (4)
- 処理対象物を支持する支持テーブル(5)と、処理対象物に対して所定の処理を施す処理機構とを、互いに相対的に移動させる多軸駆動機構を有するものであって、
前記多軸駆動機構は、少なくとも1つの直動機構(2)(3)を有し、該直動機構(2)(3)の移動範囲と前記支持テーブル(5)の移動範囲とを分離する隔壁(22)(23)を備え、
少なくとも前記直動機構(2)(3)と前記支持テーブル(5)とを動作させて前記所定の処理を行う間は、前記隔壁(22)(23)で分離された領域のうち、前記直動機構(2)(3)の移動範囲を有する側の気圧は、前記支持テーブル(5)の移動範囲を有する側の気圧に対して負圧になっていることを特徴とする多軸位置決め装置。 - 前記直動機構(2)(3)の少なくとも1つは、前記支持テーブル(5)よりも上方に配置されている請求項1に記載の多軸位置決め装置。
- 前記多軸駆動機構は、少なくとも1つの回転軸機構(4)を有し、該回転軸機構(4)の上部は前記支持テーブル(5)により覆われている請求項1または2のいずれかに記載の多軸位置決め装置。
- 前記処理機構は、平面を主体としたカバーを有し、前記直動機構(2)(3)により移動される移動部材に対して、カバーと共に一体として取り外し可能に装着されている請求項1から3のいずれかに記載の多軸位置決め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013006944A JP5525071B2 (ja) | 2013-01-18 | 2013-01-18 | 多軸位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013006944A JP5525071B2 (ja) | 2013-01-18 | 2013-01-18 | 多軸位置決め装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008073413A Division JP2009226519A (ja) | 2008-03-21 | 2008-03-21 | 多軸位置決め装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013136147A true JP2013136147A (ja) | 2013-07-11 |
JP5525071B2 JP5525071B2 (ja) | 2014-06-18 |
Family
ID=48912338
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013006944A Expired - Fee Related JP5525071B2 (ja) | 2013-01-18 | 2013-01-18 | 多軸位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5525071B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1058252A (ja) * | 1996-06-26 | 1998-03-03 | Starrfraesmas Ag | 工作機械 |
JP2002341076A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-27 | Nippon Thompson Co Ltd | 角度調整テーブル装置 |
JP2003298298A (ja) * | 2002-04-04 | 2003-10-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品実装方法と実装設備及び実装装置 |
WO2007138671A1 (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-06 | Hirata Corporation | ワーク自動作業装置 |
-
2013
- 2013-01-18 JP JP2013006944A patent/JP5525071B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1058252A (ja) * | 1996-06-26 | 1998-03-03 | Starrfraesmas Ag | 工作機械 |
JP2002341076A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-27 | Nippon Thompson Co Ltd | 角度調整テーブル装置 |
JP2003298298A (ja) * | 2002-04-04 | 2003-10-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品実装方法と実装設備及び実装装置 |
WO2007138671A1 (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-06 | Hirata Corporation | ワーク自動作業装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5525071B2 (ja) | 2014-06-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11237478B2 (en) | Cleaning module, cleaning apparatus and method of cleaning photomask | |
US10258212B2 (en) | Cleaner | |
TWI811294B (zh) | 多層培養容器觀察系統、台車裝置及多層培養容器觀察裝置 | |
TW200927309A (en) | High-pressure water cleaning system | |
JP5679424B2 (ja) | ノズル洗浄装置および電子部品実装機 | |
BR122012032692B1 (pt) | sistema e método para moldar produtos tridimensionais, a partir de uma massa de materiais de partida alimentícios para consumo usando um elemento de molde construído em material poroso, e para limpeza do elemento de molde | |
CN104028488A (zh) | 吸嘴清洗装置 | |
JP2015202471A (ja) | 薄形状物体用クリーニング装置 | |
US9409214B2 (en) | Apparatus for cleaning substrate | |
EP3310696A1 (en) | Liquid ejecting apparatus, and cleaning method of transport belt of liquid ejecting apparatus | |
JP2012223737A (ja) | スチーム器具洗浄装置 | |
JP2015066522A5 (ja) | ||
TWI823893B (zh) | 多層培養容器操作系統、多層培養容器操作裝置及多層培養容器操作方法 | |
JP5525071B2 (ja) | 多軸位置決め装置 | |
US9919532B2 (en) | Inkjet-head cleaning device and method | |
JP2009226519A (ja) | 多軸位置決め装置 | |
CN206146168U (zh) | 一种用于干燥箱内的摄像头自动擦拭装置 | |
CN203737632U (zh) | 一种医疗器械清洗机 | |
US20170096758A1 (en) | Stain removing device and stain removing unit | |
EP2832461A1 (en) | Work cabinet and sheet | |
JP2008211253A (ja) | 基板の処理装置、ブラシ洗浄装置 | |
CN108787553A (zh) | 一种刮片清洁装置、推片装置及涂片制备设备 | |
CN207126921U (zh) | 一种多层印制线路板超声波清洗装置 | |
CN108417515B (zh) | 一种硅片清洗设备 | |
JP6058678B2 (ja) | 押出機 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131219 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140205 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140404 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140410 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5525071 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |