JP2013131979A - High-frequency semiconductor switch and terminal device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To shorten the wake-up time of a high-frequency semiconductor switch.SOLUTION: A high-frequency semiconductor switch includes a power-supply circuit, a drive circuit, and a switch circuit. The power-supply circuit has an oscillation circuit that receives a high-potential-side power source, generates a first oscillation signal by a control signal of an enable state, and generates a second oscillation signal with a lower frequency than the first oscillation signal by a control signal of a disable state; and generates a first voltage on the basis of the first oscillation signal or the second oscillation signal. The drive circuit includes a level shift circuit that receives the first voltage as a power source and generates a differential signal that is level-shifted. The switch circuit selectively connects between an RF common signal terminal and an RF signal terminal on the basis of the differential signal outputted from the drive circuit.

Description

本発明の実施形態は、高周波半導体スイッチ、端末装置に関する。   Embodiments described herein relate generally to a high-frequency semiconductor switch and a terminal device.

近年、通信の受信回路や送信回路に使用される高周波半導体スイッチでは、高性能化及び高機能化が急速に進展している。また、高周波半導体スイッチでは、低コスト化、小型化、高集積度化、及び低消費電力化が強く要求されている。この要求に対応するために、従来使用されてきたHEMT(High Electron Mobility Transistor)などの化合物半導体デバイスに代わって、シリコン基板上に形成されたMOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタよりも寄生容量が小さく、電力損失を小さくすることができるSOI(Silicon On Insulator)型MOSトランジスタを適用した高周波半導体スイッチが多数開発されている。   In recent years, high-frequency semiconductor switches used for communication reception circuits and transmission circuits have been rapidly improved in performance and functionality. In addition, high-frequency semiconductor switches are strongly required to be low in cost, downsized, highly integrated, and low in power consumption. In order to meet this requirement, the parasitic capacitance is smaller than a MOS (Metal Oxide Semiconductor) transistor formed on a silicon substrate in place of a compound semiconductor device such as HEMT (High Electron Mobility Transistor) that has been conventionally used. Many high frequency semiconductor switches using SOI (Silicon On Insulator) type MOS transistors that can reduce power loss have been developed.

高周波半導体スイッチでは、低消費電力化を図るために動作モード以外にスリープモードが設けられる。スリープモードを設けるとスリープモードから動作モードまでの時間であるウェークアップ時間が長くなるという問題点がある。   In the high frequency semiconductor switch, a sleep mode is provided in addition to the operation mode in order to reduce power consumption. When the sleep mode is provided, there is a problem that the wake-up time, which is the time from the sleep mode to the operation mode, becomes long.

特開2011−91674号公報JP 2011-91674 A

本発明は、ウェークアップ時間を短縮することができる高周波半導体スイッチ、端末装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a high-frequency semiconductor switch and a terminal device that can shorten the wake-up time.

一つの実施形態によれば、高周波半導体スイッチは、電源回路、ドライブ回路、及びスイッチ回路が設けられる。電源回路は、高電位側電源が供給され、イネーブル状態の制御信号により第一の発振信号を発生し、ディセーブル状態の制御信号により第一の発振信号よりも低周波数の第二の発振信号を発生する発振回路を有し、第一の発振信号或いは第二の発振信号に基づいて第一の電圧を生成する。ドライブ回路は、第一の電圧が電源として供給されるレベルシフト回路を含み、レベルシフトされた差動信号を生成する。スイッチ回路は、ドライブ回路から出力される差動信号に基づいて、RF共通信号端子とRF信号端子の間を選択接続する。   According to one embodiment, the high-frequency semiconductor switch is provided with a power supply circuit, a drive circuit, and a switch circuit. The power supply circuit is supplied with high-potential-side power, generates a first oscillation signal by an enable control signal, and generates a second oscillation signal having a lower frequency than the first oscillation signal by a disable control signal. An oscillation circuit is generated, and a first voltage is generated based on the first oscillation signal or the second oscillation signal. The drive circuit includes a level shift circuit to which a first voltage is supplied as a power source, and generates a level-shifted differential signal. The switch circuit selectively connects between the RF common signal terminal and the RF signal terminal based on the differential signal output from the drive circuit.

第一の実施形態に係る端末装置を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the terminal device which concerns on 1st embodiment. 第一の実施形態に係る高周波半導体スイッチの構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the high frequency semiconductor switch which concerns on 1st embodiment. 第一の実施形態に係る電源回路を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the power supply circuit which concerns on 1st embodiment. 第一の実施形態に係る発振回路を示す回路図である。1 is a circuit diagram illustrating an oscillation circuit according to a first embodiment. 第一の実施形態に係る比較例の発振回路を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the oscillation circuit of the comparative example which concerns on 1st embodiment. 第一の実施形態に係るレベルシフト回路を示す回路図である。It is a circuit diagram showing a level shift circuit according to the first embodiment. 第一の実施形態に係るスイッチ回路を示す回路図である。1 is a circuit diagram showing a switch circuit according to a first embodiment. 第一の実施形態に係る高周波半導体スイッチのウェークアップ動作を示す図である。It is a figure which shows the wake-up operation | movement of the high frequency semiconductor switch which concerns on 1st embodiment. 第一の実施形態に係る比較例の高周波半導体スイッチのウェークアップ動作を示す図である。It is a figure which shows the wake-up operation | movement of the high frequency semiconductor switch of the comparative example which concerns on 1st embodiment. 第二の実施形態に係わる高周波半導体スイッチの構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the high frequency semiconductor switch concerning 2nd embodiment. 第二の実施形態に係わる電源回路を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the power supply circuit concerning 2nd embodiment. 第三の実施形態に係わる高周波半導体スイッチの構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the high frequency semiconductor switch concerning 3rd embodiment. 第三の実施形態に係わる電源回路を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the power supply circuit concerning 3rd embodiment. 第三の実施形態に係わる反転昇圧回路を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the inverting booster circuit concerning 3rd embodiment. 第三の実施形態に係わる高周波半導体スイッチのスタートアップ動作を示す図である。It is a figure which shows the start-up operation | movement of the high frequency semiconductor switch concerning 3rd embodiment. 第三の実施形態に係わる比較例の高周波半導体スイッチのスタートアップ動作を示す図である。It is a figure which shows the start-up operation | movement of the high frequency semiconductor switch of the comparative example concerning 3rd embodiment.

以下本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

(第一の実施形態)
まず、本発明の第一の実施形態に係る高周波半導体スイッチ、端末装置について、図面を参照して説明する。図1は端末装置を示すブロック図である。図2は高周波半導体スイッチの構成を示すブロック図である。図3は電源回路を示す回路図である。図4は発振回路を示す回路図である。図5は比較例の発振回路を示す回路図である。図6はレベルシフト回路を示す回路図である。図7はスイッチ回路を示す回路図である。本実施形態では、電源回路に設けられる発振回路をスリープモード時に低周波で発振動作させて高周波半導体スイッチのウェークアップ時間を短縮している。
(First embodiment)
First, a high-frequency semiconductor switch and a terminal device according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a terminal device. FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the high-frequency semiconductor switch. FIG. 3 is a circuit diagram showing a power supply circuit. FIG. 4 is a circuit diagram showing the oscillation circuit. FIG. 5 is a circuit diagram showing an oscillation circuit of a comparative example. FIG. 6 is a circuit diagram showing a level shift circuit. FIG. 7 is a circuit diagram showing the switch circuit. In this embodiment, the wake-up time of the high-frequency semiconductor switch is shortened by causing the oscillation circuit provided in the power supply circuit to oscillate at a low frequency in the sleep mode.

図1に示すように、端末装置100には、高周波半導体スイッチ90及び制御部91が設けられる。端末装置100は、携帯電話端末や携帯型情報端末等として使用される。制御部91は、制御信号Sc1乃至3を高周波半導体スイッチ90に出力する。高周波半導体スイッチ90は、通信の送信回路及び受信回路に適用され、ここでは携帯電話端末の送受信回路に使用される。   As shown in FIG. 1, the terminal device 100 is provided with a high-frequency semiconductor switch 90 and a control unit 91. The terminal device 100 is used as a mobile phone terminal, a portable information terminal, or the like. The controller 91 outputs control signals Sc1 to Sc3 to the high frequency semiconductor switch 90. The high-frequency semiconductor switch 90 is applied to a communication transmission circuit and a reception circuit, and is used here in a transmission / reception circuit of a mobile phone terminal.

図2に示すように、高周波半導体スイッチ90には、デコーダ1、電源回路2、ドライブ回路3、及びスイッチ回路4が設けられる。デコーダ1、電源回路2、ドライブ回路3、及びスイッチ回路4は、同一基板(1チップ)上に形成され、SOI(Silicon On Insulator)基板上に形成されるSOI型MOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタから構成される。高周波半導体スイッチ90は、SP4T(single pole 4 throw)であるスイッチ回路4を有する高周波半導体スイッチである。   As shown in FIG. 2, the high-frequency semiconductor switch 90 is provided with a decoder 1, a power supply circuit 2, a drive circuit 3, and a switch circuit 4. The decoder 1, the power supply circuit 2, the drive circuit 3, and the switch circuit 4 are formed on the same substrate (one chip) and are formed from an SOI type MOS (Metal Oxide Semiconductor) transistor formed on an SOI (Silicon On Insulator) substrate. Composed. The high-frequency semiconductor switch 90 is a high-frequency semiconductor switch having the switch circuit 4 that is SP4T (single pole 4 throw).

デコーダ1は、制御部91から出力される制御信号Sc1及びSc2が入力され、デコード処理されたデコード信号Dec1乃至4(4bitの信号)を生成する。デコーダ1は、デコード信号Dec1乃至4をドライブ回路3に出力する。   The decoder 1 receives the control signals Sc1 and Sc2 output from the control unit 91, and generates decode signals Dec1 to Dec4 (4-bit signals) subjected to decoding processing. The decoder 1 outputs decode signals Dec1 to Dec4 to the drive circuit 3.

電源回路2は、高電位側電源Vddが供給され、制御部91から出力される制御信号Sc3が入力され、負電圧Vnを発生する負電圧発生回路である。電源回路2は、負電圧Vnを電源としてドライブ回路3に供給する。ここで、高電位側電源Vddは高周波半導体スイッチ90の外部から供給され、高電位側電源Vdd電圧が例えば3Vに設定される。負電圧Vnは高周波半導体スイッチ90の内部で生成され、負電圧Vnは例えば−1.4Vに設定される。   The power supply circuit 2 is a negative voltage generation circuit that is supplied with the high potential side power supply Vdd, receives the control signal Sc3 output from the control unit 91, and generates the negative voltage Vn. The power supply circuit 2 supplies the negative voltage Vn to the drive circuit 3 as a power supply. Here, the high-potential-side power supply Vdd is supplied from the outside of the high-frequency semiconductor switch 90, and the high-potential-side power supply Vdd voltage is set to 3 V, for example. The negative voltage Vn is generated inside the high-frequency semiconductor switch 90, and the negative voltage Vn is set to −1.4V, for example.

電源回路2には、図3に示すように、発振回路11、チャージポンプ回路12、LPF(low pass filter)13、及びクランプ回路14が設けられる。発振回路11は、電流レベルに応じて発振周波数が変化する。発振回路11の発振周波数は周波数が低いとチャージポンプ能力が低くなり、電源投入してから負電圧Vnが所望の電位に到達する時間が大きくなってしまうため、発振周波数は例えば数MHz程度の高い周波数に設定される。このため、発振回路11は、高周波半導体スイッチ90の消費電力の大半を占める。   As shown in FIG. 3, the power supply circuit 2 includes an oscillation circuit 11, a charge pump circuit 12, an LPF (low pass filter) 13, and a clamp circuit 14. The oscillation frequency of the oscillation circuit 11 changes according to the current level. If the oscillation frequency of the oscillation circuit 11 is low, the charge pump capability is low, and the time for the negative voltage Vn to reach a desired potential after the power is turned on increases, so the oscillation frequency is high, for example, about several MHz. Set to frequency. For this reason, the oscillation circuit 11 occupies most of the power consumption of the high-frequency semiconductor switch 90.

発振回路11は、高電位側電源Vddが供給され、制御部91から出力される制御信号Sc3が入力され、発振信号CKa及びCKbを生成する。発振信号CKbは、発振信号CKaの反転信号である。   The oscillation circuit 11 is supplied with the high-potential-side power supply Vdd, receives the control signal Sc3 output from the control unit 91, and generates the oscillation signals CKa and CKb. The oscillation signal CKb is an inverted signal of the oscillation signal CKa.

発振回路11は、動作モード時にイネーブル状態(例えば、ハイレベル)の制御信号Sc3が入力され、第一の周波数(高周波数)を有する発振信号CKa及びCKbを生成する。発振回路11は、スリープモード時にディセーブル状態(例えば、ローレベル)の制御信号Sc3が入力され、第一の周波数よりも低周波数の第二の周波数(例えば、第一の周波数の(1/20)の周波数)を有する発振信号CKa及びCKbを生成する。ここで、動作モードとは、高周波半導体スイッチ90が切り替え動作を行うモードである。   The oscillation circuit 11 receives an enable state (for example, high level) control signal Sc3 in the operation mode, and generates oscillation signals CKa and CKb having a first frequency (high frequency). The oscillation circuit 11 receives a control signal Sc3 in a disabled state (for example, low level) in the sleep mode, and receives a second frequency (for example, (1/20 of the first frequency) lower than the first frequency. Oscillating signals CKa and CKb having a frequency of Here, the operation mode is a mode in which the high-frequency semiconductor switch 90 performs a switching operation.

発振回路11は、制御信号Sc3の信号レベルによらず、動作モード時及びスリープモード時に発振信号CKa及びCKbを生成する。しかも、発振回路11は、スリープモード時では低消費電力で動作する。   The oscillation circuit 11 generates the oscillation signals CKa and CKb in the operation mode and the sleep mode regardless of the signal level of the control signal Sc3. Moreover, the oscillation circuit 11 operates with low power consumption in the sleep mode.

発振回路11には、図4に示すように、バイアス回路21、発振回路コア22、及び出力バッファ23が設けられる。   As shown in FIG. 4, the oscillation circuit 11 includes a bias circuit 21, an oscillation circuit core 22, and an output buffer 23.

バイアス回路21には、Pch MOSトランジスタPMT11、Pch MOSトランジスタPMT12、Nch MOSトランジスタNMT11、Nch MOSトランジスタNMT12、抵抗R31、及び抵抗R32が設けられる。バイアス回路21は、カレントミラー型バイアス回路である。   The bias circuit 21 is provided with a Pch MOS transistor PMT11, a Pch MOS transistor PMT12, an Nch MOS transistor NMT11, an Nch MOS transistor NMT12, a resistor R31, and a resistor R32. The bias circuit 21 is a current mirror type bias circuit.

Pch MOSトランジスタPMT11は、ソース(第一の端子)が高電位側電源Vddに接続され、ゲート(制御端子)がドレイン(第二の端子)に接続され、ドレイン(第二の端子)がノードN11に接続される。   The Pch MOS transistor PMT11 has a source (first terminal) connected to the high potential side power supply Vdd, a gate (control terminal) connected to the drain (second terminal), and a drain (second terminal) connected to the node N11. Connected to.

Pch MOSトランジスタPMT12は、ソース(第一の端子)が高電位側電源Vddに接続され、ゲート(制御端子)がPch MOSトランジスタPMT11のゲート(制御端子)に接続され、ドレイン(第二の端子)がノードN12に接続される。Pch MOSトランジスタPMT11及びPMT12はカレントミラー回路を構成する。Pch MOSトランジスタPMT11及びPMT12から構成されるカレントミラー回路は、例えばミラー比が1:1に設定される。   The Pch MOS transistor PMT12 has a source (first terminal) connected to the high potential side power supply Vdd, a gate (control terminal) connected to the gate (control terminal) of the Pch MOS transistor PMT11, and a drain (second terminal). Is connected to the node N12. Pch MOS transistors PMT11 and PMT12 form a current mirror circuit. In the current mirror circuit composed of the Pch MOS transistors PMT11 and PMT12, for example, the mirror ratio is set to 1: 1.

抵抗R31は、一端がノードN11に接続される。Nch MOSトランジスタNMT11は、ドレイン(第一の端子)が抵抗R31の他端に接続され、ゲート(制御端子)に制御信号Sc3が入力され、ソース(第二の端子)が低電位側電源(接地電位)Vssに接続される。Nch MOSトランジスタNMT12は、ドレイン(第一の端子)がノードN12に接続され、ゲート(制御端子)がドレイン(第一の端子)に接続され、ソース(第二の端子)が低電位側電源(接地電位)Vssに接続される。   One end of the resistor R31 is connected to the node N11. In the Nch MOS transistor NMT11, the drain (first terminal) is connected to the other end of the resistor R31, the control signal Sc3 is input to the gate (control terminal), and the source (second terminal) is the low potential side power supply (ground) Potential) Vss. In the Nch MOS transistor NMT12, the drain (first terminal) is connected to the node N12, the gate (control terminal) is connected to the drain (first terminal), and the source (second terminal) is the low potential side power supply ( Ground potential) Vss.

バイアス回路21は、制御信号Sc3がイネーブル状態(例えばハイレベル)の時(高周波半導体スイッチ90の動作モード)にNch MOSトランジスタNMT11がオンして抵抗R31側から低電位側電源(接地電位)Vssへ電流I1が流れる。このとき、抵抗R32側から低電位側電源(接地電位)Vssへ電流I2が流れる(ノードN11では電流(I1+I2)が流れる)。ノードN12側から、低電位側電源(接地電位)Vssへ電流(I1+I2)が流れる。   In the bias circuit 21, when the control signal Sc3 is in an enabled state (for example, high level) (operation mode of the high-frequency semiconductor switch 90), the N-channel MOS transistor NMT11 is turned on to switch from the resistor R31 side to the low potential side power supply (ground potential) Vss. Current I1 flows. At this time, the current I2 flows from the resistor R32 side to the low potential side power supply (ground potential) Vss (current (I1 + I2) flows at the node N11). A current (I1 + I2) flows from the node N12 side to the low potential side power supply (ground potential) Vss.

バイアス回路21は、制御信号Sc3がディセーブル状態(例えばローレベル)のとき(高周波半導体スイッチ90のスリープモード時)にNch MOSトランジスタNMT11がオフして抵抗R32側から低電位側電源(接地電位)Vssへ電流I2が流れる(ノードN11では電流I2が流れる)。このとき、ノードN12側から低電位側電源(接地電位)Vssへ電流I2が流れる。   The bias circuit 21 is configured such that when the control signal Sc3 is in a disabled state (for example, low level) (during the sleep mode of the high-frequency semiconductor switch 90), the Nch MOS transistor NMT11 is turned off and the low-potential-side power supply (ground potential) from the resistor R32 side. Current I2 flows to Vss (current I2 flows at node N11). At this time, a current I2 flows from the node N12 side to the low potential side power supply (ground potential) Vss.

ここで、抵抗R31の抵抗値r31と抵抗R32の抵抗値r32の関係は、
r32>>r31・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・式(1)
に設定される。この設定により、電流I1と電流I2の関係を、
I1>>I2・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・式(2)
に設定することができる。例えば、電流I2を5μAとして電流I1(100μA)に対して(1/20)に設定することができる。
Here, the relationship between the resistance value r31 of the resistor R31 and the resistance value r32 of the resistor R32 is:
r32 >> r31 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ Formula (1)
Set to With this setting, the relationship between the current I1 and the current I2 is
I1 >> I2 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ Formula (2)
Can be set to For example, the current I2 can be set to 5 μA and set to (1/20) with respect to the current I1 (100 μA).

上述した抵抗R31及び抵抗R32の抵抗値の設定により、高周波半導体スイッチ90のスリープモード時での発振回路11の消費電力を大幅に低減することができる。   By setting the resistance values of the resistors R31 and R32 described above, the power consumption of the oscillation circuit 11 when the high-frequency semiconductor switch 90 is in the sleep mode can be significantly reduced.

発振回路コア22は、バイアス回路21と出力バッファ23の間に設けられる3段構成のリングオシレータである。発振回路コア22には、Pch MOSトランジスタPMT13乃至18、Nch MOSトランジスタNMT13乃至18、及びコンデンサC11乃至13が設けられる。   The oscillation circuit core 22 is a three-stage ring oscillator provided between the bias circuit 21 and the output buffer 23. The oscillation circuit core 22 is provided with Pch MOS transistors PMT13 to PMT18, Nch MOS transistors NMT13 to NMT18, and capacitors C11 to C13.

Pch MOSトランジスタPMT14とNch MOSトランジスタNMT14から構成される1段目のインバータは、高電位側電源Vdd側にPch MOSトランジスタPMT13が設けられ、低電位側電源(接地電位)Vss側にNch MOSトランジスタNMT13が設けられる。Pch MOSトランジスタPMT13のゲートは、Pch MOSトランジスタPMT11のドレイン(ノードN11)に接続される。Pch MOSトランジスタPMT11とPch MOSトランジスタPMT13はカレントミラー回路を構成する。Nch MOSトランジスタNMT13のゲートは、Nch MOSトランジスタNMT12のドレイン(ノードN12)に接続される。Nch MOSトランジスタNMT12とNch MOSトランジスタNMT13はカレントミラー回路を構成する。   In the first-stage inverter composed of the Pch MOS transistor PMT14 and the Nch MOS transistor NMT14, the Pch MOS transistor PMT13 is provided on the high potential side power supply Vdd side, and the Nch MOS transistor NMT13 on the low potential side power supply (ground potential) Vss side. Is provided. The gate of the Pch MOS transistor PMT13 is connected to the drain (node N11) of the Pch MOS transistor PMT11. Pch MOS transistor PMT11 and Pch MOS transistor PMT13 constitute a current mirror circuit. The gate of Nch MOS transistor NMT13 is connected to the drain (node N12) of Nch MOS transistor NMT12. Nch MOS transistor NMT12 and Nch MOS transistor NMT13 constitute a current mirror circuit.

Pch MOSトランジスタPMT16とNch MOSトランジスタNMT16から構成される2段目のインバータは、高電位側電源Vdd側にPch MOSトランジスタPMT15が設けられ、低電位側電源(接地電位)Vss側にNch MOSトランジスタNMT15が設けられる。Pch MOSトランジスタPMT15のゲートは、Pch MOSトランジスタPMT11のドレイン(ノードN11)に接続される。Pch MOSトランジスタPMT11とPch MOSトランジスタPMT15はカレントミラー回路を構成する。Nch MOSトランジスタNMT15のゲートは、Nch MOSトランジスタNMT12のドレイン(ノードN12)に接続される。Nch MOSトランジスタNMT12とNch MOSトランジスタNMT15はカレントミラー回路を構成する。   In the second-stage inverter composed of the Pch MOS transistor PMT16 and the Nch MOS transistor NMT16, the Pch MOS transistor PMT15 is provided on the high potential side power supply Vdd side, and the Nch MOS transistor NMT15 on the low potential side power supply (ground potential) Vss side. Is provided. The gate of Pch MOS transistor PMT15 is connected to the drain (node N11) of Pch MOS transistor PMT11. Pch MOS transistor PMT11 and Pch MOS transistor PMT15 form a current mirror circuit. The gate of Nch MOS transistor NMT15 is connected to the drain (node N12) of Nch MOS transistor NMT12. Nch MOS transistor NMT12 and Nch MOS transistor NMT15 form a current mirror circuit.

Pch MOSトランジスタPMT18とNch MOSトランジスタNMT18から構成される3段目のインバータは、高電位側電源Vdd側にPch MOSトランジスタPMT17が設けられ、低電位側電源(接地電位)Vss側にNch MOSトランジスタNMT17が設けられる。Pch MOSトランジスタPMT17のゲートは、Pch MOSトランジスタPMT11のドレイン(ノードN11)に接続される。Pch MOSトランジスタPMT11とPch MOSトランジスタPMT17はカレントミラー回路を構成する。Nch MOSトランジスタNMT17のゲートは、Nch MOSトランジスタNMT12のドレイン(ノードN12)に接続される。Nch MOSトランジスタNMT12とNch MOSトランジスタNMT17はカレントミラー回路を構成する。   In the third-stage inverter composed of the Pch MOS transistor PMT18 and the Nch MOS transistor NMT18, the Pch MOS transistor PMT17 is provided on the high potential side power supply Vdd side, and the Nch MOS transistor NMT17 on the low potential side power supply (ground potential) Vss side. Is provided. The gate of the Pch MOS transistor PMT17 is connected to the drain (node N11) of the Pch MOS transistor PMT11. Pch MOS transistor PMT11 and Pch MOS transistor PMT17 constitute a current mirror circuit. The gate of Nch MOS transistor NMT17 is connected to the drain (node N12) of Nch MOS transistor NMT12. Nch MOS transistor NMT12 and Nch MOS transistor NMT17 constitute a current mirror circuit.

3段目のインバータの出力側(ノードN16)が1段目のインバータの入力側(ノードN13)に接続される。1段目のインバータの出力側が2段目のインバータの入力側に接続される。コンデンサC11は、一端がノードN14(1段目のインバータの出力側と2段目のインバータの入力側)に接続され、他端が低電位側電源(接地電位)Vssに接続される。   The output side (node N16) of the third stage inverter is connected to the input side (node N13) of the first stage inverter. The output side of the first stage inverter is connected to the input side of the second stage inverter. One end of the capacitor C11 is connected to the node N14 (the output side of the first stage inverter and the input side of the second stage inverter), and the other end is connected to the low potential side power supply (ground potential) Vss.

2段目のインバータの出力側が3段目のインバータの入力側に接続される。コンデンサC12は、一端がノードN15(2段目のインバータの出力側と3段目のインバータの入力側)に接続され、他端が低電位側電源(接地電位)Vssに接続される。   The output side of the second stage inverter is connected to the input side of the third stage inverter. One end of the capacitor C12 is connected to the node N15 (the output side of the second stage inverter and the input side of the third stage inverter), and the other end is connected to the low potential side power supply (ground potential) Vss.

3段目のインバータの出力側が1段目のインバータの入力側及び出力バッファ23の入力側に接続される。コンデンサC13は、一端がノードN16(3段目のインバータの出力側と出力バッファ23の入力側)に接続され、他端が低電位側電源(接地電位)Vssに接続される。   The output side of the third stage inverter is connected to the input side of the first stage inverter and the input side of the output buffer 23. One end of the capacitor C13 is connected to the node N16 (the output side of the third-stage inverter and the input side of the output buffer 23), and the other end is connected to the low potential side power supply (ground potential) Vss.

出力バッファ23は、発振回路コア22で生成された発振信号をドライブして発振信号CKa及びCKbを出力する。出力バッファ23は、2段構成のインバータが設けられる。出力バッファ23には、Pch MOSトランジスタPMT19乃至22とNch MOSトランジスタNMT19乃至22が設けられる。   The output buffer 23 drives the oscillation signal generated by the oscillation circuit core 22 and outputs the oscillation signals CKa and CKb. The output buffer 23 is provided with a two-stage inverter. The output buffer 23 is provided with Pch MOS transistors PMT19 to 22 and Nch MOS transistors NMT19 to 22.

Pch MOSトランジスタPMT20とNch MOSトランジスタNMT20から構成される1段目のインバータは、高電位側電源Vdd側にPch MOSトランジスタPMT19が設けられ、低電位側電源(接地電位)Vss側にNch MOSトランジスタNMT19が設けられる。Pch MOSトランジスタPMT19のゲートは、Pch MOSトランジスタPMT11のドレイン(ノードN11)に接続される。Pch MOSトランジスタPMT11とPch MOSトランジスタPMT19はカレントミラー回路を構成する。Nch MOSトランジスタNMT19のゲートは、Nch MOSトランジスタNMT12のドレイン(ノードN12)に接続される。Nch MOSトランジスタNMT12とNch MOSトランジスタNMT19はカレントミラー回路を構成する。   In the first-stage inverter composed of the Pch MOS transistor PMT20 and the Nch MOS transistor NMT20, the Pch MOS transistor PMT19 is provided on the high potential side power supply Vdd side, and the Nch MOS transistor NMT19 on the low potential side power supply (ground potential) Vss side. Is provided. The gate of Pch MOS transistor PMT19 is connected to the drain (node N11) of Pch MOS transistor PMT11. Pch MOS transistor PMT11 and Pch MOS transistor PMT19 constitute a current mirror circuit. The gate of Nch MOS transistor NMT19 is connected to the drain (node N12) of Nch MOS transistor NMT12. Nch MOS transistor NMT12 and Nch MOS transistor NMT19 constitute a current mirror circuit.

Pch MOSトランジスタPMT22とNch MOSトランジスタNMT22から構成される2段目のインバータは、高電位側電源Vdd側にPch MOSトランジスタPMT21が設けられ、低電位側電源(接地電位)Vss側にNch MOSトランジスタNMT21が設けられる。Pch MOSトランジスタPMT21のゲートは、Pch MOSトランジスタPMT11のドレイン(ノードN11)に接続される。Pch MOSトランジスタPMT11とPch MOSトランジスタPMT21はカレントミラー回路を構成する。Nch MOSトランジスタNMT21のゲートは、Nch MOSトランジスタNMT12のドレイン(ノードN12)に接続される。Nch MOSトランジスタNMT12とNch MOSトランジスタNMT21はカレントミラー回路を構成する。   In the second-stage inverter composed of the Pch MOS transistor PMT22 and the Nch MOS transistor NMT22, the Pch MOS transistor PMT21 is provided on the high potential side power supply Vdd side, and the Nch MOS transistor NMT21 on the low potential side power supply (ground potential) Vss side. Is provided. The gate of Pch MOS transistor PMT21 is connected to the drain (node N11) of Pch MOS transistor PMT11. Pch MOS transistor PMT11 and Pch MOS transistor PMT21 constitute a current mirror circuit. The gate of Nch MOS transistor NMT21 is connected to the drain (node N12) of Nch MOS transistor NMT12. Nch MOS transistor NMT12 and Nch MOS transistor NMT21 constitute a current mirror circuit.

1段目のインバータの入力側は、発振回路コアのノードN16に接続される。ノードN17(1段目のインバータの出力側)から発振信号CKbが出力される。1段目のインバータの出力側が2段目のインバータの入力側に接続される。ノードN18(2段目のインバータの出力側)から発振信号CKaが出力される。   The input side of the first stage inverter is connected to node N16 of the oscillation circuit core. The oscillation signal CKb is output from the node N17 (the output side of the first stage inverter). The output side of the first stage inverter is connected to the input side of the second stage inverter. The oscillation signal CKa is output from the node N18 (the output side of the second stage inverter).

比較例の発振回路11aには、図5に示すように、バイアス回路21a、発振回路コア22、及び出力バッファ23が設けられる。比較例の発振回路11aは、本実施形態の発振回路11とはバイアス回路の構成が異なり、他の構成は同一である。比較例の発振回路11aのバイアス回路21aには抵抗R32が設けられていない。また、抵抗R31aは本実施形態のバイアス回路21の抵抗R31の代わりに設けられる。   The oscillation circuit 11a of the comparative example is provided with a bias circuit 21a, an oscillation circuit core 22, and an output buffer 23 as shown in FIG. The oscillation circuit 11a of the comparative example is different from the oscillation circuit 11 of the present embodiment in the configuration of the bias circuit, and the other configurations are the same. The bias circuit 21a of the oscillation circuit 11a of the comparative example is not provided with the resistor R32. The resistor R31a is provided instead of the resistor R31 of the bias circuit 21 of the present embodiment.

比較例の発振回路11aは、制御信号Sc3がイネーブル状態(例えばハイレベル)のとき(比較例の高周波半導体スイッチの動作モード)にNch MOSトランジスタNMT11がオンして、電流I1aが流れる。   In the oscillation circuit 11a of the comparative example, the Nch MOS transistor NMT11 is turned on and the current I1a flows when the control signal Sc3 is in an enable state (for example, high level) (operation mode of the high-frequency semiconductor switch of the comparative example).

比較例の発振回路11aは、制御信号Sc3がディセーブル状態(例えばローレベル)のとき(比較例の高周波半導体スイッチのスリープモード時)にNch MOSトランジスタNMT11がオフする。この結果、スリープモード時に電流I1aが発生しないので、比較例の発振回路11aは発振信号CKa及びCKbを生成しない。このため、比較例の高周波半導体スイッチがスリープモードになると、チャージポンプ回路が動作を停止するので負電圧Vnは時間の経過と共に低電位側電源(接地電位)Vssに漸近する。   In the oscillation circuit 11a of the comparative example, the Nch MOS transistor NMT11 is turned off when the control signal Sc3 is in a disabled state (for example, low level) (during the sleep mode of the high-frequency semiconductor switch of the comparative example). As a result, since the current I1a is not generated in the sleep mode, the oscillation circuit 11a of the comparative example does not generate the oscillation signals CKa and CKb. For this reason, when the high-frequency semiconductor switch of the comparative example enters the sleep mode, the operation of the charge pump circuit stops, so that the negative voltage Vn gradually approaches the low potential side power supply (ground potential) Vss as time passes.

比較例の発振回路11aの場合、スリープモード時に発振動作しないのでスリープモードから動作モードへの変更時間であるウェークアップ時間が長くなるという問題点がある。ウェークアップ時間を短縮するにはバイアス回路21aに流れる電流I1aを増大する必要がある。この場合、発振回路11aの消費電力が増大するという問題点が発生する。   The oscillation circuit 11a of the comparative example does not oscillate in the sleep mode, so that there is a problem that the wake-up time that is a change time from the sleep mode to the operation mode becomes long. In order to shorten the wake-up time, it is necessary to increase the current I1a flowing through the bias circuit 21a. In this case, there arises a problem that the power consumption of the oscillation circuit 11a increases.

チャージポンプ回路12には、コンデンサC1、コンデンサC2、ダイオードD1乃至D3が設けられる。チャージポンプ回路12は、発振回路11から出力される発振信号CKa及びCKbが入力され、発振信号CKa及びCKbに基づいて負電圧である出力電圧Vo1を発生する。   The charge pump circuit 12 is provided with a capacitor C1, a capacitor C2, and diodes D1 to D3. The charge pump circuit 12 receives the oscillation signals CKa and CKb output from the oscillation circuit 11, and generates an output voltage Vo1 that is a negative voltage based on the oscillation signals CKa and CKb.

ダイオードD1は、カソードが低電位側電源(接地電位)Vssに接続され、他端がノードN1に接続される。コンデンサC1は、一端に発振信号CKaが入力され、他端がノードN1に接続される。ダイオードD2は、カソードがノードN1に接続され、他端がノードN2に接続される。コンデンサC2は、一端に発振信号CKbが入力され、他端がノードN2に接続される。ダイオードD3は、カソードがノードN2に接続され、他端がノードN3に接続される。   The diode D1 has a cathode connected to the low potential side power supply (ground potential) Vss and the other end connected to the node N1. Capacitor C1 has one end receiving oscillation signal CKa and the other end connected to node N1. The diode D2 has a cathode connected to the node N1 and the other end connected to the node N2. Capacitor C2 has one end receiving oscillation signal CKb and the other end connected to node N2. The diode D3 has a cathode connected to the node N2 and the other end connected to the node N3.

LPF13には、コンデンサC3、コンデンサC4、及び抵抗R1が設けられる。コンデンサC3は、一端がノードN3に接続され、他端が低電位側電源(接地電位)Vssに接続される。抵抗R1は、一端がノードN3に接続され、他端がノードN4に接続される。コンデンサC4は、一端がノードN4に接続され、他端が低電位側電源(接地電位)Vssに接続される。   The LPF 13 is provided with a capacitor C3, a capacitor C4, and a resistor R1. The capacitor C3 has one end connected to the node N3 and the other end connected to the low potential side power supply (ground potential) Vss. The resistor R1 has one end connected to the node N3 and the other end connected to the node N4. The capacitor C4 has one end connected to the node N4 and the other end connected to the low potential side power supply (ground potential) Vss.

LPF13は、出力電圧Vo1の高周波成分をカットする働きを有する。また、LPF13は、スイッチ回路4の切り替え動作時にドライブ回路3側から電源回路2側に流れ込む瞬時電流によって発生する負電圧Vnの電圧変動を抑制する機能を有する。この機能を達成するために、出力側対地容量であるコンデンサC4を、例えば100pFと大きな値に設定している。   The LPF 13 has a function of cutting a high frequency component of the output voltage Vo1. The LPF 13 has a function of suppressing voltage fluctuation of the negative voltage Vn generated by an instantaneous current flowing from the drive circuit 3 side to the power supply circuit 2 side during the switching operation of the switch circuit 4. In order to achieve this function, the capacitor C4, which is the output side ground capacitance, is set to a large value, for example, 100 pF.

クランプ回路14は、LPF13とドライブ回路3の間に設けられ、LPF13から出力される信号をクランプして、一定な値(−1.4V)である負電圧Vnを生成してドライブ回路3に供給する。   The clamp circuit 14 is provided between the LPF 13 and the drive circuit 3, clamps a signal output from the LPF 13, generates a negative voltage Vn having a constant value (−1.4 V), and supplies the negative voltage Vn to the drive circuit 3. To do.

クランプ回路14には、Nch MOSトランジスタNMT1及びNMT2が設けられる。Nch MOSトランジスタNMT1は、ドレインが低電位側電源(接地電位)Vssに接続され、ゲートがドレインに接続され、ソースがノードN6に接続されるダイオード接続されたトランジスタである。Nch MOSトランジスタNMT2は、ドレインがノードN6に接続され、ゲートがドレインに接続され、ソースがノードN4に接続されるダイオード接続されたトランジスタである。   The clamp circuit 14 is provided with Nch MOS transistors NMT1 and NMT2. The Nch MOS transistor NMT1 is a diode-connected transistor whose drain is connected to the low potential side power supply (ground potential) Vss, whose gate is connected to the drain, and whose source is connected to the node N6. The Nch MOS transistor NMT2 is a diode-connected transistor having a drain connected to the node N6, a gate connected to the drain, and a source connected to the node N4.

縦続接続されるNch MOSトランジスタNMT1及びNMT2の閾値電圧(Vth)は、(−0.7V)に設定される。この結果、電源回路2から出力される負電圧Vnが一定な値(−1.4V)に設定される。   The threshold voltage (Vth) of the cascaded Nch MOS transistors NMT1 and NMT2 is set to (−0.7 V). As a result, the negative voltage Vn output from the power supply circuit 2 is set to a constant value (−1.4 V).

ドライブ回路3には、4つのレベルシフト回路31a、・・・、31dが設けられる。一番目のレベルシフト回路31aは、高電位側電源Vddが供給され、負電圧Vnが電源として供給され、デコード信号Dec1が入力され、差動出力con1a及びcon1bを生成する。四番目のレベルシフト回路31dは、高電位側電源Vddが供給され、負電圧Vnが電源として供給され、デコード信号Dec4が入力され、差動出力con4a及びcon4bを生成する。   The drive circuit 3 is provided with four level shift circuits 31a, ..., 31d. The first level shift circuit 31a is supplied with a high-potential-side power supply Vdd, supplied with a negative voltage Vn as a power supply, and supplied with a decode signal Dec1 to generate differential outputs con1a and con1b. The fourth level shift circuit 31d is supplied with the high-potential-side power supply Vdd, supplied with the negative voltage Vn as the power supply, and supplied with the decode signal Dec4 to generate the differential outputs con4a and con4b.

差動信号である差動出力con1a、con1b、・・・、con4a、及びcon4bは、ハイレベルが高電位側電源Vdd電圧レベル、ローレベルが負電圧Vnのレベルシフトされた信号である。差動出力con1bは差動出力con1aの反転信号であり、差動出力con4bは差動出力con4aの反転信号である。   The differential outputs con1a, con1b,..., Con4a, and con4b, which are differential signals, are signals obtained by shifting the high level to the high potential side power supply Vdd voltage level and the low level to the negative voltage Vn. The differential output con1b is an inverted signal of the differential output con1a, and the differential output con4b is an inverted signal of the differential output con4a.

レベルシフト回路31a、・・・、31dの内部構成について、図6を参照して説明する。ここでは、i番目のデコード信号Deciが入力されるレベルシフト回路31iを代表例として説明する。   The internal structure of the level shift circuits 31a, ..., 31d will be described with reference to FIG. Here, the level shift circuit 31i to which the i-th decode signal Deci is input will be described as a representative example.

図6に示すように、レベルシフト回路31iには、インバータ32とレベルシフタ33が設けられる。レベルシフト回路31iは、デコード信号Deciが入力され、同位相で且つ値が互いに異なる差動出力conia、conibを出力する。例えば、差動出力coniaがハイレベル(Vdd)のとき、差動出力conibがローレベル(負電圧Vn)となる。差動出力coniaがローレベル(負電圧Vn)のとき、差動出力conibがハイレベル(Vdd)となる。   As shown in FIG. 6, the level shift circuit 31i is provided with an inverter 32 and a level shifter 33. The level shift circuit 31i receives the decode signal Deci and outputs differential outputs conia and conib having the same phase and different values. For example, when the differential output conia is at a high level (Vdd), the differential output conib is at a low level (negative voltage Vn). When the differential output conia is at a low level (negative voltage Vn), the differential output conib is at a high level (Vdd).

インバータ32は、Pch MOSトランジスタPMT31とNch MOSトランジスタNMT31が設けられる。インバータ32は、デコード信号Deciが入力され、反転信号を出力側のノードN21から出力する。   The inverter 32 is provided with a Pch MOS transistor PMT31 and an Nch MOS transistor NMT31. The inverter 32 receives the decode signal Deci and outputs an inverted signal from the output-side node N21.

Pch MOSトランジスタPMT31は、ソースに高電位側電源Vddが供給され、ゲートにデコード信号Deciが入力され、ドレインがノードN21に接続される。Nch MOSトランジスタNMT31は、ドレインがノードN21に接続され、ゲートにデコード信号Deciが入力され、ソースが低電位側電源(接地電位)Vssに接続される。   In the Pch MOS transistor PMT31, the high potential side power supply Vdd is supplied to the source, the decode signal Deci is input to the gate, and the drain is connected to the node N21. N-channel MOS transistor NMT31 has a drain connected to node N21, a gate to which decode signal Deci is input, and a source connected to low potential side power supply (ground potential) Vss.

レベルシフタ33は、Pch MOSトランジスタPMT32、Pch MOSトランジスタPMT33、Nch MOSトランジスタNMT32、及びNch MOSトランジスタNMT33が設けられる。レベルシフタ33は、差動型レベルシフタであり、デコード信号Deci及びインバータ32の出力信号(デコード信号Deciの反転信号)が入力され、ノードN22及びノードN23から差動出力信号を出力する。ノードN22から出力される差動出力coniaがハイレベル(Vdd)のとき、ノードN23から出力される差動出力conibがローレベル(負電圧Vn)である。ノードN22から出力される差動出力coniaがローレベル(負電圧Vn)のとき、ノードN23から出力される差動出力conibがハイレベル(Vdd)である。   The level shifter 33 is provided with a Pch MOS transistor PMT32, a Pch MOS transistor PMT33, an Nch MOS transistor NMT32, and an Nch MOS transistor NMT33. The level shifter 33 is a differential level shifter, which receives the decode signal Deci and the output signal of the inverter 32 (inverted signal of the decode signal Deci), and outputs a differential output signal from the node N22 and the node N23. When the differential output conia output from the node N22 is at a high level (Vdd), the differential output conib output from the node N23 is at a low level (negative voltage Vn). When the differential output conia output from the node N22 is at a low level (negative voltage Vn), the differential output conib output from the node N23 is at a high level (Vdd).

Pch MOSトランジスタPMT32は、ソースに高電位側電源Vddが供給され、ゲートにノードN21から出力される信号が入力され、ドレインがノードN22に接続される。Pch MOSトランジスタPMT33は、ソースに高電位側電源Vddが供給され、ゲートにデコード信号Deciが入力され、ドレインがノードN23に接続される。   In the Pch MOS transistor PMT32, the high potential side power supply Vdd is supplied to the source, the signal output from the node N21 is input to the gate, and the drain is connected to the node N22. In the Pch MOS transistor PMT33, the high potential side power supply Vdd is supplied to the source, the decode signal Deci is input to the gate, and the drain is connected to the node N23.

Nch MOSトランジスタNMT32は、ドレインがノードN22に接続され、ゲートがノードN23に接続され、ソースに負電圧Vnが電源として供給される。Nch MOSトランジスタNMT33は、ドレインがノードN23に接続され、ゲートがノードN22に接続され、ソースに負電圧Vnが電源として供給される。Nch MOSトランジスタNMT32とNch MOSトランジスタNMT33は、クロスカップル回路を構成する。   The Nch MOS transistor NMT32 has a drain connected to the node N22, a gate connected to the node N23, and a source supplied with a negative voltage Vn. The Nch MOS transistor NMT33 has a drain connected to the node N23, a gate connected to the node N22, and a source supplied with the negative voltage Vn. Nch MOS transistor NMT32 and Nch MOS transistor NMT33 form a cross-coupled circuit.

スイッチ回路4は、SP4T高周波スイッチ回路である。スイッチ回路4は、複数の差動出力con1a、con1b、・・・、con4a、con4bが入力され、アンテナを介して入力される共通高周波信号RF COMを差動出力に基づいて高周波信号RF1、・・・、RF4のいずれか1つを選択出力する。選択出力された高周波信号は受信回路のRF部(例えば、LNA)に入力される。   The switch circuit 4 is an SP4T high frequency switch circuit. The switch circuit 4 receives a plurality of differential outputs con1a, con1b,..., Con4a, con4b, and receives a common high-frequency signal RF COM input via an antenna based on the differential output as a high-frequency signal RF1,. • Select and output any one of RF4. The selectively output high frequency signal is input to the RF unit (for example, LNA) of the receiving circuit.

図7に示すように、スイッチ回路4は、抵抗R11、抵抗R12、抵抗R1k、抵抗R41、抵抗R42、抵抗R4k、抵抗R111、抵抗R112、抵抗R11j、抵抗R141、抵抗R142、抵抗R14j、シャントトランジスタS11、シャントトランジスタS12、シャントトランジスタS1k、シャントトランジスタS41、シャントトランジスタS42、シャントトランジスタS4k、スル―トランジスタT11、スル―トランジスタT12、スル―トランジスタT1j、スル―トランジスタT41、スル―トランジスタT42、及びスル―トランジスタT4jが設けられる。   As shown in FIG. 7, the switch circuit 4 includes a resistor R11, a resistor R12, a resistor R1k, a resistor R41, a resistor R42, a resistor R4k, a resistor R111, a resistor R112, a resistor R11j, a resistor R141, a resistor R142, a resistor R14j, and a shunt transistor. S11, shunt transistor S12, shunt transistor S1k, shunt transistor S41, shunt transistor S42, shunt transistor S4k, through transistor T11, through transistor T12, through transistor T1j, through transistor T41, through transistor T42, through transistor A transistor T4j is provided.

高周波信号RF1側と低電位側電源(接地電位)Vssの間に、縦続接続されるk個のシャントトランジスタS11、シャントトランジスタS12、・・・、シャントトランジスタS1kが設けられる。高周波信号RF1側と共通高周波信号RF COM側の間に、縦続接続されるj個のスル―トランジスタT11、スル―トランジスタT12、・・・、スル―トランジスタT1jが設けられる。   Between the high-frequency signal RF1 side and the low-potential-side power supply (ground potential) Vss, k shunt transistors S11, shunt transistors S12,. Between the high-frequency signal RF1 side and the common high-frequency signal RFCOM side, j through-transistors T11, through-transistors T12,...

高周波信号RF4側と低電位側電源(接地電位)Vssの間に、縦続接続されるk個のシャントトランジスタS41、シャントトランジスタS42、・・・、シャントトランジスタS4kが設けられる。高周波信号RF4側と共通高周波信号RF COM側の間に、縦続接続されるj個のスル―トランジスタT41、スル―トランジスタT42、・・・、スル―トランジスタT4jが設けられる。   Between the high-frequency signal RF4 side and the low-potential-side power supply (ground potential) Vss, k shunt transistors S41, shunt transistors S42,. Between the high-frequency signal RF4 side and the common high-frequency signal RFCOM side, j through-transistors T41, through-transistors T42,...

差動出力con1b側とシャントトランジスタS11のゲートの間に抵抗R11が設けられる。差動出力con1b側とシャントトランジスタS12のゲートの間に抵抗R12が設けられる。差動出力con1b側とシャントトランジスタS1kのゲートの間に抵抗R1kが設けられる。差動出力con1a側とスル―トランジスタT11のゲートの間に抵抗R111が設けられる。差動出力con1a側とスル―トランジスタT12のゲートの間に抵抗R112が設けられる。差動出力con1a側とスル―トランジスタT1jのゲートの間に抵抗R11jが設けられる。   A resistor R11 is provided between the differential output con1b side and the gate of the shunt transistor S11. A resistor R12 is provided between the differential output con1b side and the gate of the shunt transistor S12. A resistor R1k is provided between the differential output con1b side and the gate of the shunt transistor S1k. A resistor R111 is provided between the differential output con1a side and the gate of the through transistor T11. A resistor R112 is provided between the differential output con1a side and the gate of the through transistor T12. A resistor R11j is provided between the differential output con1a side and the gate of the through transistor T1j.

差動出力con4b側とシャントトランジスタS41のゲートの間に抵抗R41が設けられる。差動出力con4b側とシャントトランジスタS42のゲートの間に抵抗R42が設けられる。差動出力con4b側とシャントトランジスタS4kのゲートの間に抵抗R4kが設けられる。差動出力con4a側とスル―トランジスタT41のゲートの間に抵抗R141が設けられる。差動出力con4a側とスル―トランジスタT42のゲートの間に抵抗R142が設けられる。差動出力con4a側とスル―トランジスタT4jのゲートの間に抵抗R14jが設けられる。   A resistor R41 is provided between the differential output con4b side and the gate of the shunt transistor S41. A resistor R42 is provided between the differential output con4b side and the gate of the shunt transistor S42. A resistor R4k is provided between the differential output con4b side and the gate of the shunt transistor S4k. A resistor R141 is provided between the differential output con4a side and the gate of the through transistor T41. A resistor R142 is provided between the differential output con4a side and the gate of the through transistor T42. A resistor R14j is provided between the differential output con4a side and the gate of the through transistor T4j.

ここで、スイッチ回路4を構成するトランジスタの閾値電圧(Vth)は、例えば0(ゼロ)Vに設定される。差動出力con1bがローレベル(負電圧Vn)、差動出力con1aがハイレベル(Vdd)に設定されたとき、縦続接続されるk個のシャントトランジスタS11、シャントトランジスタS12、・・・、シャントトランジスタS1kがオフし、縦続接続されるj個のスル―トランジスタT11、スル―トランジスタT12、・・・、スル―トランジスタT1jがオンする。その結果、高周波信号RF1側(高周波信号RF1端子)と共通高周波信号RF COM側(共通高周波信号RF COM端子)の間が接続され、共通高周波信号RF COMが高周波信号RF1として出力される。なお、差動出力con1bがハイレベル(Vdd)、差動出力con1aがローレベル(負電圧Vn)に設定されたとき、高周波信号RF1側と共通高周波信号RF COM側の間は接続されない。   Here, the threshold voltage (Vth) of the transistors constituting the switch circuit 4 is set to 0 (zero) V, for example. When the differential output con1b is set to a low level (negative voltage Vn) and the differential output con1a is set to a high level (Vdd), k shunt transistors S11, shunt transistors S12,. S1k is turned off, and j through transistors T11, through transistors T12,..., And through transistors T1j connected in cascade are turned on. As a result, the high frequency signal RF1 side (high frequency signal RF1 terminal) and the common high frequency signal RF COM side (common high frequency signal RF COM terminal) are connected, and the common high frequency signal RF COM is output as the high frequency signal RF1. When the differential output con1b is set to the high level (Vdd) and the differential output con1a is set to the low level (negative voltage Vn), the high frequency signal RF1 side and the common high frequency signal RF COM side are not connected.

差動出力con4bがローレベル(負電圧Vn)、差動出力con4aがハイレベル(Vdd)に設定されたとき、縦続接続されるk個のシャントトランジスタS41、シャントトランジスタS42、・・・、シャントトランジスタS4kがオフし、縦続接続されるj個のスル―トランジスタT41、スル―トランジスタT42、・・・、スル―トランジスタT4jがオンする。その結果、高周波信号RF4側(高周波信号RF4端子)と共通高周波信号RF COM側(共通高周波信号RF COM端子)の間が接続され、共通高周波信号RF COMが高周波信号RF4として出力される。なお、差動出力con4bがハイレベル(Vdd)、差動出力con4aがローレベル(負電圧Vn)に設定されたとき、高周波信号RF4側と共通高周波信号RF COM側の間は接続されない。   When the differential output con4b is set to a low level (negative voltage Vn) and the differential output con4a is set to a high level (Vdd), k shunt transistors S41, shunt transistors S42,. S4k is turned off, and j through-transistors T41, through-transistors T42,..., And through-transistor T4j connected in cascade are turned on. As a result, the high frequency signal RF4 side (high frequency signal RF4 terminal) and the common high frequency signal RF COM side (common high frequency signal RF COM terminal) are connected, and the common high frequency signal RF COM is output as the high frequency signal RF4. When the differential output con4b is set to the high level (Vdd) and the differential output con4a is set to the low level (negative voltage Vn), there is no connection between the high frequency signal RF4 side and the common high frequency signal RFCOM side.

次に、高周波半導体スイッチのウェークアップ動作について図8及び図9を参照して説明する。図8は高周波半導体スイッチのウェークアップ動作を示す図、図8(a)はスリープモード及び動作モードでの電流と周波数の関係を示す図、図8(b)は動作モードとスリープモードでの電流変化を示す図、図8(c)は負電圧Vnの時間変化を示す図である。図9は比較例の高周波半導体スイッチのウェークアップ動作を示す図、図9(a)はスリープモード及び動作モードでの電流と周波数の関係を示す図、図9(b)は動作モードとスリープモードでの電流変化を示す図、図9(c)は負電圧Vnの時間変化を示す図である。   Next, the wake-up operation of the high-frequency semiconductor switch will be described with reference to FIGS. 8 is a diagram showing the wake-up operation of the high-frequency semiconductor switch, FIG. 8A is a diagram showing the relationship between the current and the frequency in the sleep mode and the operation mode, and FIG. 8B is the current change in the operation mode and the sleep mode. FIG. 8 (c) is a diagram showing the time variation of the negative voltage Vn. FIG. 9 is a diagram showing the wake-up operation of the high-frequency semiconductor switch of the comparative example, FIG. 9A is a diagram showing the relationship between the current and frequency in the sleep mode and the operation mode, and FIG. 9B is the operation mode and the sleep mode. FIG. 9C is a diagram showing the time change of the negative voltage Vn.

図8(a)に示すように、高周波半導体スイッチ90の動作モード時、発振回路11のバイアス回路21に電流(I1+I2)が流れて発振回路11が高周波数の発振信号CKa、CKbを生成する。例えば、電流(I1+I2)が100μAであり、発振信号CKa及びCKbが2MHzである。高周波半導体スイッチ90のスリープモード時、発振回路11のバイアス回路21に電流I2が供給されて発振回路11が低周波数の発振信号CKa及びCKbを生成する。例えば電流I2が5μAであり、発振信号CKa及びCKbが20KHzである。   As shown in FIG. 8A, when the high-frequency semiconductor switch 90 is in the operation mode, current (I1 + I2) flows through the bias circuit 21 of the oscillation circuit 11, and the oscillation circuit 11 generates high-frequency oscillation signals CKa and CKb. To do. For example, the current (I1 + I2) is 100 μA, and the oscillation signals CKa and CKb are 2 MHz. When the high-frequency semiconductor switch 90 is in the sleep mode, the current I2 is supplied to the bias circuit 21 of the oscillation circuit 11, and the oscillation circuit 11 generates low-frequency oscillation signals CKa and CKb. For example, the current I2 is 5 μA, and the oscillation signals CKa and CKb are 20 KHz.

図8(b)に示すように、高周波半導体スイッチ90では、外部から高電位側電源Vddが供給され、イネーブル状態の制御信号Sc3が発振回路11のバイアス回路21に入力される(時刻t0)と発振回路11が高周波数の発振信号CKa、CKbを発生する。このとき、チャージポンプが動作を開始し、LPF13の出力電位が所望の値(−1.4V)に降下し始める。時刻t1に所望の値に到達し、この時点で動作モードとなる。   As shown in FIG. 8B, in the high-frequency semiconductor switch 90, the high potential side power supply Vdd is supplied from the outside, and the control signal Sc3 in the enabled state is input to the bias circuit 21 of the oscillation circuit 11 (time t0). The oscillation circuit 11 generates high-frequency oscillation signals CKa and CKb. At this time, the charge pump starts operating, and the output potential of the LPF 13 starts to drop to a desired value (−1.4 V). The desired value is reached at time t1, and the operation mode is entered at this point.

高周波半導体スイッチ90を動作モードからスリープモードに変化させるためには、バイアス回路21にディセーブル状態の制御信号Sc3を入力し発振回路11に低周波数の発振信号CKa、CKbを発生させる。つまり、発振回路11は動作モード及びスリープモードに発振動作を行う。   In order to change the high-frequency semiconductor switch 90 from the operation mode to the sleep mode, the control signal Sc3 in a disabled state is input to the bias circuit 21 and the oscillation circuit 11 generates low-frequency oscillation signals CKa and CKb. That is, the oscillation circuit 11 performs an oscillation operation in the operation mode and the sleep mode.

スリープモードにおいてもチャージポンプはクランプ回路14やチャージポンプ回路12などで発生するリーク電流を補うだけの電流供給能力を有しているため、図8(c)が示すように、負電圧Vnは所望の電位を保持できる。   Even in the sleep mode, since the charge pump has a current supply capability sufficient to compensate for the leakage current generated in the clamp circuit 14, the charge pump circuit 12, etc., the negative voltage Vn is desired as shown in FIG. Can be maintained.

高周波半導体スイッチ90をスリープモードから動作モードに変化させる(時刻t3)には、バイアス回路21にイネーブル状態の制御信号Sc3を入力し、発振回路11に高周波数の発振信号CKa、CKbを発生させる。   To change the high-frequency semiconductor switch 90 from the sleep mode to the operation mode (time t3), the control signal Sc3 in the enable state is input to the bias circuit 21, and the oscillation circuit 11 generates high-frequency oscillation signals CKa and CKb.

スリープモードにおいても負電圧Vnは所望の電位(−1.4V)を保持しているので、スリープモードから動作モードに瞬時に切り替ることができる。即ち、スリープモードから動作モードに切り替る時間を実質的にゼロにすることができる。   Even in the sleep mode, the negative voltage Vn maintains a desired potential (−1.4 V), so that the sleep mode can be instantaneously switched to the operation mode. That is, the time for switching from the sleep mode to the operation mode can be made substantially zero.

一方、図9(a)に示すように、比較例の高周波半導体スイッチでは、動作モード時にNch MOSトランジスタNMT11がオンして発振回路11aが高周波数の発振信号CKa及びCKbを生成する。例えば、電流I1aが100μAであり、発振信号CKa及びCKbが2MHzである。スリープモード時、Nch MOSトランジスタNMT11がオフして発振回路11aから発振信号CKa及びCKbが出力されない。   On the other hand, as shown in FIG. 9A, in the high-frequency semiconductor switch of the comparative example, the Nch MOS transistor NMT11 is turned on in the operation mode, and the oscillation circuit 11a generates high-frequency oscillation signals CKa and CKb. For example, the current I1a is 100 μA, and the oscillation signals CKa and CKb are 2 MHz. In the sleep mode, the Nch MOS transistor NMT11 is turned off and the oscillation signals CKa and CKb are not output from the oscillation circuit 11a.

図9(b)に示すように、比較例の高周波半導体スイッチでは、時刻t2において動作モードからスリープモードに移行すると、チャージポンプ回路12が動作を停止するので負電圧Vnは時間の経過と共に低電位側電源(接地電位)Vssに漸近する。   As shown in FIG. 9B, in the high-frequency semiconductor switch of the comparative example, when the operation mode is shifted from the operation mode to the sleep mode at time t2, the charge pump circuit 12 stops its operation, so the negative voltage Vn becomes a low potential as time passes. Asymptotically approaches the side power supply (ground potential) Vss.

時刻t3においてスリープモードから動作モードに移行すると、チャージポンプ回路12が動作を再開し、LPF13の出力電位は再び所望の値(−1.4)に向かって降圧を開始する。しかし、所望の値に到達するには時間(twu)が必要であり、時刻t4において動作モードとなる。ここで時刻t3と時刻t4の間をウェークアップ時間twuと呼称する。ウェークアップ時間twuを小さくするには、発振回路11aの消費電流を大きくしなければならない。   When shifting from the sleep mode to the operation mode at time t3, the charge pump circuit 12 resumes operation, and the output potential of the LPF 13 starts to step down toward the desired value (−1.4) again. However, time (twu) is required to reach the desired value, and the operation mode is set at time t4. Here, the period between time t3 and time t4 is referred to as a wake-up time twu. In order to reduce the wake-up time twu, the current consumption of the oscillation circuit 11a must be increased.

つまり、比較例の高周波半導体スイッチでは、本実施形態の高周波半導体スイッチ90と比較して、スリープモードから動作モードになるまでのウェークアップ時間を短縮することができない。また、発振回路の低消費電力化とウェークアップ時間の短縮化を両立することが困難である。   That is, in the high-frequency semiconductor switch of the comparative example, the wake-up time from the sleep mode to the operation mode cannot be shortened as compared with the high-frequency semiconductor switch 90 of the present embodiment. In addition, it is difficult to achieve both low power consumption of the oscillation circuit and shortening of the wake-up time.

上述したように、本実施形態の高周波半導体スイッチ、端末装置では、高周波半導体スイッチ90及び制御部91が端末装置100に設けられる。デコーダ1、電源回路2、ドライブ回路3、及びスイッチ回路4が高周波半導体スイッチ90に設けられる。電源回路2には、発振回路11、チャージポンプ回路12、LPF13、及びクランプ回路14が設けられる。発振回路11には、バイアス回路21、発振回路コア22、及び出力バッファ23が設けられる。発振回路11は、高電位側電源Vddが供給され、制御信号Sc3が入力されて発振信号CKa及びCKbを生成する。高周波半導体スイッチ90の動作モード時、バイアス回路21はイネーブル状態の制御信号Sc3が入力されて電流(I1+I2)を生成して、発振回路11からは高周波数の発振信号CKa及びCKbが出力される。高周波半導体スイッチ90のスリープモード時、バイアス回路21はディセーブル状態の制御信号Sc3が入力されて電流I2を生成して、発振回路11からは低周波数の発振信号CKa及びCKbが出力される。発振回路11は、高周波半導体スイッチ90の動作モード時及びスリープモード時に発振動作をする。   As described above, in the high-frequency semiconductor switch and terminal device of this embodiment, the high-frequency semiconductor switch 90 and the control unit 91 are provided in the terminal device 100. The decoder 1, the power supply circuit 2, the drive circuit 3, and the switch circuit 4 are provided in the high-frequency semiconductor switch 90. The power supply circuit 2 is provided with an oscillation circuit 11, a charge pump circuit 12, an LPF 13, and a clamp circuit 14. The oscillation circuit 11 is provided with a bias circuit 21, an oscillation circuit core 22, and an output buffer 23. The oscillation circuit 11 is supplied with the high potential side power supply Vdd and receives the control signal Sc3 to generate the oscillation signals CKa and CKb. In the operation mode of the high-frequency semiconductor switch 90, the bias circuit 21 receives the enable control signal Sc3 and generates a current (I1 + I2), and the oscillation circuit 11 outputs high-frequency oscillation signals CKa and CKb. When the high-frequency semiconductor switch 90 is in the sleep mode, the bias circuit 21 receives the disabled control signal Sc3 and generates a current I2, and the oscillation circuit 11 outputs low-frequency oscillation signals CKa and CKb. The oscillation circuit 11 oscillates when the high-frequency semiconductor switch 90 is in an operation mode and a sleep mode.

このため、スリープモードから動作モードになるまでのウェークアップ時間を大幅に短縮化することができる。また、発振回路の低消費電力化とウェークアップ時間の短縮化を両立することができる。   For this reason, the wake-up time from the sleep mode to the operation mode can be greatly shortened. Further, it is possible to achieve both reduction in power consumption of the oscillation circuit and reduction in wake-up time.

なお、本実施形態の高周波半導体スイッチ90では、スイッチ回路4をSP4T構成にしているが必ずしもこれに限定されるものではない。例えば、SPnT(ただし、nは2、3、5以上の整数)構成にしてもよい。この場合、デコーダ1及びドライブ回路3の構成を変更するのが好ましい。   In the high-frequency semiconductor switch 90 of the present embodiment, the switch circuit 4 has an SP4T configuration, but is not necessarily limited to this. For example, SPnT (where n is an integer of 2, 3, 5 or more) may be used. In this case, it is preferable to change the configuration of the decoder 1 and the drive circuit 3.

また、本実施形態の高周波半導体スイッチ90では、チャージポンプ回路12に縦続接続されるダイオードを用いているが必ずしもこれに限定されるものではない。例えば、ダイオード接続されるMOSトランジスタを用いたDickson型チャージポンプ回路などを用いてもよい。   In the high-frequency semiconductor switch 90 of this embodiment, a diode connected in cascade with the charge pump circuit 12 is used, but the present invention is not necessarily limited to this. For example, a Dickson type charge pump circuit using a diode-connected MOS transistor may be used.

また、本実施形態の高周波半導体スイッチ90を端末装置100に使用しているが必ずしもこれに限定されるものではない。例えば、通信装置や自動車などにも適用できる。   Moreover, although the high frequency semiconductor switch 90 of this embodiment is used for the terminal device 100, it is not necessarily limited to this. For example, the present invention can be applied to a communication device or an automobile.

(第二の実施形態)
次に、本発明の第二の実施形態に係る高周波半導体スイッチ、端末装置について、図面を参照して説明する。図10は高周波半導体スイッチの構成を示すブロック図である。図11は電源回路を示す回路図である。本実施形態では、電源回路で正電圧及び負電圧を生成している。
(Second embodiment)
Next, a high-frequency semiconductor switch and terminal device according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 10 is a block diagram showing the configuration of the high-frequency semiconductor switch. FIG. 11 is a circuit diagram showing a power supply circuit. In the present embodiment, a positive voltage and a negative voltage are generated by the power supply circuit.

図10に示すように、高周波半導体スイッチ90aには、デコーダ1、電源回路5、ドライブ回路3a、及びスイッチ回路4が設けられる。デコーダ1、電源回路5、ドライブ回路3a、及びスイッチ回路4は、同一基板(1チップ)上に形成され、SOI基板上に形成されるSOI型MOSトランジスタから構成される。高周波半導体スイッチ90aは、通信の送信回路及び受信回路に適用され、ここでは携帯電話端末の送受信回路に使用される。   As shown in FIG. 10, the high-frequency semiconductor switch 90a is provided with a decoder 1, a power supply circuit 5, a drive circuit 3a, and a switch circuit 4. The decoder 1, the power supply circuit 5, the drive circuit 3a, and the switch circuit 4 are formed on the same substrate (one chip) and are composed of SOI type MOS transistors formed on the SOI substrate. The high-frequency semiconductor switch 90a is applied to a communication transmission circuit and a reception circuit, and is used here in a transmission / reception circuit of a mobile phone terminal.

電源回路5は、高電位側電源Vddが供給され、制御部91から出力される制御信号Sc3が入力され、正電圧Vp及び負電圧Vnを発生する電圧発生回路である。電源回路5は、正電圧Vp及び負電圧Vnを電源としてドライブ回路3に供給する。ここで、高電位側電源Vddは高周波半導体スイッチ90aの外部から供給される。正電圧Vp及び負電圧Vnは高周波半導体スイッチ90aの内部で生成され、正電圧Vpは例えば3Vに設定され、負電圧Vnは例えば−1.4Vに設定される。ここでは、高電位側電源Vdd電圧と正電圧Vpは、電圧値が異なる。   The power supply circuit 5 is a voltage generation circuit that is supplied with the high potential side power supply Vdd, receives the control signal Sc3 output from the control unit 91, and generates the positive voltage Vp and the negative voltage Vn. The power supply circuit 5 supplies a positive voltage Vp and a negative voltage Vn to the drive circuit 3 as power supplies. Here, the high potential side power source Vdd is supplied from the outside of the high frequency semiconductor switch 90a. The positive voltage Vp and the negative voltage Vn are generated inside the high-frequency semiconductor switch 90a, the positive voltage Vp is set to 3V, for example, and the negative voltage Vn is set to −1.4V, for example. Here, the high-potential-side power supply Vdd voltage and the positive voltage Vp have different voltage values.

電源回路5には、図11に示すように、発振回路11、チャージポンプ回路12、LPF13、クランプ回路14、チャージポンプ回路42、LPF43、及びクランプ回路44が設けられる。   As shown in FIG. 11, the power supply circuit 5 includes an oscillation circuit 11, a charge pump circuit 12, an LPF 13, a clamp circuit 14, a charge pump circuit 42, an LPF 43, and a clamp circuit 44.

発振回路11は、高電位側電源Vddが供給され、制御部91から出力される制御信号Sc3が入力される。発振回路11は、発振信号CKa及びCKbを生成してチャージポンプ回路12及び42に出力する。   The oscillation circuit 11 is supplied with the high potential side power supply Vdd and receives the control signal Sc3 output from the control unit 91. The oscillation circuit 11 generates oscillation signals CKa and CKb and outputs them to the charge pump circuits 12 and 42.

チャージポンプ回路42は、図示していないが第一の実施形態のチャージポンプ回路12と同様にダイオード及びコンデンサが複数設けられる。ただし、ダイオードのカソードとアノードの配置が第一の実施形態とは逆である。LPFフィルタ43は、第一の実施形態のLPF13と同様な構成を有し、チャージポンプ回路42の出力信号の高周波成分をカットする。クランプ回路44は、第一の実施形態のクランプ回路14と同様な回路構成を有する。ただし、ダイオード接続されたMOSトランジスタの段数が異なる。   Although not shown, the charge pump circuit 42 includes a plurality of diodes and capacitors as in the charge pump circuit 12 of the first embodiment. However, the arrangement of the cathode and anode of the diode is opposite to that of the first embodiment. The LPF filter 43 has the same configuration as the LPF 13 of the first embodiment, and cuts a high frequency component of the output signal of the charge pump circuit 42. The clamp circuit 44 has a circuit configuration similar to that of the clamp circuit 14 of the first embodiment. However, the number of diode-connected MOS transistors is different.

スリープモード時、高周波半導体スイッチ90aは、発振回路11が低周波数の発振信号CKa及びCKbを発生する。チャージポンプ回路12、LPF13、クランプ回路14、チャージポンプ回路42、LPF43、及びクランプ回路44が動作し、クランプ回路14から安定した負電圧Vnが出力され、クランプ回路44から安定した正電圧Vpが出力される。   In the sleep mode, in the high frequency semiconductor switch 90a, the oscillation circuit 11 generates low frequency oscillation signals CKa and CKb. The charge pump circuit 12, the LPF 13, the clamp circuit 14, the charge pump circuit 42, the LPF 43, and the clamp circuit 44 operate, and a stable negative voltage Vn is output from the clamp circuit 14, and a stable positive voltage Vp is output from the clamp circuit 44. Is done.

ドライブ回路3aには、4つのレベルシフト回路31a、・・・、31dが設けられる。レベルシフト回路31a、・・・、31dには、高電位側電源Vdd(第一の実施形態)の代わりに正電圧Vpが電源として供給され、負電圧Vnが電源として供給され、デコード信号Dec1、・・・、Dec4がそれぞれ入力される。ドライブ回路3aは、第一の実施形態のドライブ回路3と同様な動作をする。   The drive circuit 3a is provided with four level shift circuits 31a, ..., 31d. The level shift circuits 31a,..., 31d are supplied with a positive voltage Vp as a power supply and a negative voltage Vn as a power supply instead of the high-potential-side power supply Vdd (first embodiment). ..., Dec4 is input. The drive circuit 3a operates in the same manner as the drive circuit 3 of the first embodiment.

上述したように、本実施形態の高周波半導体スイッチ、端末装置では、高周波半導体スイッチ90aのスリープモード及び動作モードで発振回路11が発振動作をしており、スリープモード時低周波数で発振動作し、動作モード時高周波数で発振動作している。このため、スリープモード及び動作モードで安定した正電圧Vp及び負電圧Vnがドライブ回路3aに供給される。   As described above, in the high-frequency semiconductor switch and terminal device of this embodiment, the oscillation circuit 11 oscillates in the sleep mode and the operation mode of the high-frequency semiconductor switch 90a, and oscillates at a low frequency in the sleep mode. Oscillating operation at high frequency in mode. Therefore, the positive voltage Vp and the negative voltage Vn that are stable in the sleep mode and the operation mode are supplied to the drive circuit 3a.

このため、スリープモードから動作モードになるまでのウェークアップ時間を大幅に短縮することができる。また、発振回路11の低消費電力化とウェークアップ時間の短縮化を両立することができる。   For this reason, the wake-up time from the sleep mode to the operation mode can be greatly shortened. In addition, the power consumption of the oscillation circuit 11 can be reduced and the wake-up time can be shortened.

なお、本実施形態の高周波半導体スイッチ90aでは、外部から高電位側電源Vddをデコーダ1及び電源回路5に供給しているが必ずしもこれに限定されるものではない。例えば、高電位側電源Vdd1を電源回路5に供給し、高電位側電源Vdd1よりも低電圧の高電位側電源Vdd2をデコーダ1に供給してもよい。   In the high-frequency semiconductor switch 90a of this embodiment, the high-potential-side power supply Vdd is supplied from the outside to the decoder 1 and the power supply circuit 5. However, the present invention is not limited to this. For example, the high potential side power supply Vdd1 may be supplied to the power supply circuit 5, and the high potential side power supply Vdd2 having a lower voltage than the high potential side power supply Vdd1 may be supplied to the decoder 1.

(第三の実施形態)
次に、本発明の第三の実施形態に係る高周波半導体スイッチ、端末装置について、図面を参照して説明する。図12は高周波半導体スイッチの構成を示すブロック図である。図13は電源回路を示す回路図である。図14は反転昇圧回路を示す回路図である。本実施形態では、電源回路に設けられる反転昇圧回路を電源起動時に動作させてスタートアップ時間を低減している。
(Third embodiment)
Next, a high-frequency semiconductor switch and terminal device according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 12 is a block diagram showing the configuration of the high-frequency semiconductor switch. FIG. 13 is a circuit diagram showing a power supply circuit. FIG. 14 is a circuit diagram showing an inverting booster circuit. In this embodiment, the inverting booster circuit provided in the power supply circuit is operated when the power supply is started to reduce the start-up time.

図12に示すように、高周波半導体スイッチ91には、デコーダ1、電源回路6、ドライブ回路3、及びスイッチ回路4が設けられる。デコーダ1、電源回路6、ドライブ回路3、及びスイッチ回路4は、同一基板(1チップ)上に形成され、SOI基板上に形成されるSOI型MOSトランジスタから構成される。高周波半導体スイッチ91は、通信の送信回路及び受信回路に適用され、ここでは携帯電話端末の送受信回路に使用される。   As shown in FIG. 12, the high-frequency semiconductor switch 91 is provided with a decoder 1, a power supply circuit 6, a drive circuit 3, and a switch circuit 4. The decoder 1, the power supply circuit 6, the drive circuit 3, and the switch circuit 4 are formed on the same substrate (one chip) and are composed of SOI type MOS transistors formed on the SOI substrate. The high-frequency semiconductor switch 91 is applied to a communication transmission circuit and a reception circuit, and is used here in a transmission / reception circuit of a mobile phone terminal.

電源回路6は、高電位側電源Vddが供給され、制御部91から出力される制御信号Sc3が入力され、負電圧Vnを発生する負電圧発生回路である。電源回路6は、負電圧Vnを電源としてドライブ回路3に供給する。   The power supply circuit 6 is a negative voltage generation circuit that is supplied with the high potential side power supply Vdd, receives the control signal Sc3 output from the control unit 91, and generates a negative voltage Vn. The power supply circuit 6 supplies the negative voltage Vn to the drive circuit 3 as a power supply.

電源回路6には、図13に示すように、発振回路11、チャージポンプ回路12、LPF13、クランプ回路14、反転昇圧回路15、及び電源起動検出回路16が設けられる。   As shown in FIG. 13, the power supply circuit 6 includes an oscillation circuit 11, a charge pump circuit 12, an LPF 13, a clamp circuit 14, an inverting booster circuit 15, and a power supply activation detection circuit 16.

電源起動検出回路16は、高電位側電源Vddの電圧を検出する。電源起動検出回路16は、高周波半導体スイッチ91に高電位側電源Vddが供給される電源起動時、高電位側電源Vddが所定の電圧値に達すると、イネーブル状態(例えば、ハイレベル)の検出信号Sk1を一定時間(ts)だけ反転昇圧回路15に出力する。電源起動検出回路16は、高電位側電源Vddが所定の電圧値に達する前、高電位側電源Vddが所定の電圧値に達してから所定時間経過後、及び高周波半導体スイッチ91に高電位側電源Vddが供給されないときなどは、ディセーブル状態(例えば、ローレベル)の検出信号Sk1を反転昇圧回路15に出力する。   The power activation detection circuit 16 detects the voltage of the high potential side power source Vdd. When the high potential side power supply Vdd reaches a predetermined voltage value when the high potential side power supply Vdd is supplied to the high frequency semiconductor switch 91, the power start detection circuit 16 detects the enable state (for example, high level). Sk1 is output to the inverting booster circuit 15 for a fixed time (ts). The power activation detection circuit 16 supplies the high-potential-side power supply to the high-frequency semiconductor switch 91 before the high-potential-side power supply Vdd reaches a predetermined voltage value, after a predetermined time has elapsed since the high-potential-side power supply Vdd reaches the predetermined voltage value, and For example, when Vdd is not supplied, the detection signal Sk1 in a disabled state (for example, low level) is output to the inverting booster circuit 15.

反転昇圧回路15は、イネーブル状態の検出信号Sk1が入力されると、スイッチ回路4が切り替え動作する前に一定時間(ts)だけ出力電圧Vo2(高電位側電源Vdd電圧の反転電圧(−Vdd))を発生してLPF13に出力する。   When the detection signal Sk1 in the enable state is input, the inverting booster circuit 15 outputs the output voltage Vo2 (inverted voltage (−Vdd) of the high potential side power supply Vdd voltage) for a certain time (ts) before the switching circuit 4 performs the switching operation. ) And output to the LPF 13.

反転昇圧回路15は、図14に示すように、コンデンサ21、スイッチSW1、及びスイッチSW2が設けられる。   As shown in FIG. 14, the inverting booster circuit 15 is provided with a capacitor 21, a switch SW1, and a switch SW2.

コンデンサC21は、一端がノードN31に接続され、他端がノードN34に接続される。スイッチSW1は、検出信号Sk1に基づいて、ノードN31とノードN32の間、或いはノードN31とノードN33の間を接続するSPDT(single pole double throw)スイッチである。スイッチSW2は、検出信号Sk1に基づいて、ノードN34とノードN35の間、或いはノードN34とノードN36の間を接続するSPDTスイッチである。ノードN32は高電位側電源Vddが供給される。ノードN33は低電位側電源(接地電位)Vssに接続される。ノードN35は低電位側電源(接地電位)Vssに接続される。ノードN36から出力電圧Vo2が出力される。   Capacitor C21 has one end connected to node N31 and the other end connected to node N34. The switch SW1 is an SPDT (single pole double throw) switch that connects between the node N31 and the node N32 or between the node N31 and the node N33 based on the detection signal Sk1. The switch SW2 is an SPDT switch that connects between the node N34 and the node N35 or between the node N34 and the node N36 based on the detection signal Sk1. The node N32 is supplied with the high potential side power supply Vdd. The node N33 is connected to a low potential side power supply (ground potential) Vss. The node N35 is connected to a low potential side power supply (ground potential) Vss. Output voltage Vo2 is output from node N36.

検出信号Sk1がディセーブル状態(例えば、ローレベル)のとき、ノードN31とノードN32が接続され、ノードN34とノードN35が接続される。この結果、コンデンサC21に電荷が蓄積される。   When the detection signal Sk1 is in a disabled state (for example, low level), the node N31 and the node N32 are connected, and the node N34 and the node N35 are connected. As a result, charges are accumulated in the capacitor C21.

検出信号Sk1がイネーブル状態(例えば、ハイレベル)のとき、ノードN31とノードN33が接続され、ノードN34とノードN36が接続される。この結果、コンデンサC21に蓄積された電荷が放電され、ノードN36側から出力電圧Vo2(高電位側電源Vdd電圧の反転電圧(−Vdd))が出力される。出力電圧Vo2は、LPF13で高周波成分がカットされ、クランプ回路14で一定な電圧である負電圧Vnにクランプされる。   When the detection signal Sk1 is in an enabled state (for example, high level), the node N31 and the node N33 are connected, and the node N34 and the node N36 are connected. As a result, the electric charge accumulated in the capacitor C21 is discharged, and the output voltage Vo2 (inversion voltage (−Vdd) of the high-potential-side power supply Vdd voltage) is output from the node N36 side. The high-frequency component of the output voltage Vo2 is cut by the LPF 13, and is clamped by the clamp circuit 14 to the negative voltage Vn that is a constant voltage.

次に、高周波半導体スイッチのスタートアップ動作について図15及び図16を参照して説明する。図15は高周波半導体スイッチのスタートアップ動作を示す図である。図16は比較例の高周波半導体スイッチのスタートアップ動作を示す図である。   Next, the start-up operation of the high-frequency semiconductor switch will be described with reference to FIGS. FIG. 15 is a diagram showing the start-up operation of the high-frequency semiconductor switch. FIG. 16 is a diagram showing the start-up operation of the high-frequency semiconductor switch of the comparative example.

図15に示すように、高周波半導体スイッチ91では、外部から高電位側電源Vddが供給され、高電位側電源Vddが所定の電圧値(時刻ta)に達すると、反転昇圧回路15が動作を開始して出力電圧Vo2を出力する。発振回路11及びチャージポンプ回路12も動作を開始してチャージポンプ回路12から出力電圧Vo1を出力する。反転昇圧回路15は、発振回路11及びチャージポンプ回路12よりも高速動作し、一定時間(ts)動作するので、反転昇圧回路15により時間t12経過後に負電圧Vnは一定な値(−1.4V)となる。   As shown in FIG. 15, in the high frequency semiconductor switch 91, when the high potential side power supply Vdd is supplied from the outside and the high potential side power supply Vdd reaches a predetermined voltage value (time ta), the inverting booster circuit 15 starts its operation. The output voltage Vo2 is output. The oscillation circuit 11 and the charge pump circuit 12 also start operation and output the output voltage Vo1 from the charge pump circuit 12. Since the inverting booster circuit 15 operates at a higher speed than the oscillation circuit 11 and the charge pump circuit 12 and operates for a certain time (ts), the negative voltage Vn is set to a constant value (−1.4V) after the lapse of time t12 by the inverting booster circuit 15. )

一定時間(ts)、時間t12、スイッチ回路4の切り替え動作を開始する時間t11(時刻taから時刻teの時間)の関係は、
t11>>ts>t12・・・・・・・・・・・・・・・・・・・式(3)
に設定される。この設定により、反転昇圧回路15から発生する高周波信号ノイズがスイッチ回路4の切り替え動作に影響を与えることはない。
The relationship between the fixed time (ts), the time t12, and the time t11 (the time from time ta to time te) at which the switching operation of the switch circuit 4 is started
t11 >>ts> t12 ................................................ (3)
Set to With this setting, high-frequency signal noise generated from the inverting booster circuit 15 does not affect the switching operation of the switch circuit 4.

一方、図16に示すように、反転昇圧回路15及び電源起動検出回路16が設けられない比較例の高周波半導体スイッチでは、外部から高電位側電源Vddが供給され、高電位側電源Vddが所定の電圧値(時刻ta)に達すると、発振回路11が動作を開始して発振信号CKa及びCKbを発生する。発振回路11から発振信号CKa及びCKbが入力されると、チャージポンプ回路12が動作を開始して出力電圧Vo1を出力する。   On the other hand, as shown in FIG. 16, in the high-frequency semiconductor switch of the comparative example in which the inverting booster circuit 15 and the power activation detection circuit 16 are not provided, the high potential side power source Vdd is supplied from the outside, and the high potential side power source Vdd is set to a predetermined level. When the voltage value (time ta) is reached, the oscillation circuit 11 starts operation and generates oscillation signals CKa and CKb. When the oscillation signals CKa and CKb are input from the oscillation circuit 11, the charge pump circuit 12 starts operation and outputs the output voltage Vo1.

発振回路11及びチャージポンプ回路12は、反転昇圧回路15よりも低速動作するので、負電圧Vnが一定な電圧(−1.4V)に達する時間t13(時刻taから時刻tfの時間)、時間t12の関係は、
t13>>t12・・・・・・・・・・・・・・・・・・・式(4)
となる。
Since the oscillation circuit 11 and the charge pump circuit 12 operate at a lower speed than the inverting booster circuit 15, the time t13 (the time from the time ta to the time tf) when the negative voltage Vn reaches a constant voltage (−1.4V), the time t12 The relationship
t13 >> t12 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ Formula (4)
It becomes.

つまり、比較例の高周波半導体スイッチではスタートアップ時間を短縮化することが困難である。これに対して、本実施形態の高周波半導体スイッチ91では、反転昇圧回路15及び電源起動検出回路16を電源回路6に設けることにより、スタートアップ時間を大幅に短縮化することができる。   That is, it is difficult to shorten the start-up time with the high-frequency semiconductor switch of the comparative example. On the other hand, in the high-frequency semiconductor switch 91 of this embodiment, the start-up time can be greatly shortened by providing the inverting booster circuit 15 and the power supply activation detection circuit 16 in the power supply circuit 6.

上述したように、本実施形態の高周波半導体スイッチ、端末装置では、デコーダ1、電源回路6、ドライブ回路3、及びスイッチ回路4が高周波半導体スイッチ91に設けられる。電源回路6には、発振回路11、チャージポンプ回路12、LPF13、クランプ回路14、反転昇圧回路15、及び電源起動検出回路16が設けられる。電源起動検出回路16は、高電位側電源Vddが供給される電源起動時、高電位側電源Vddが所定の電圧値に達すると、イネーブル状態の検出信号Sk1を一定時間(ts)だけ反転昇圧回路15に出力する。反転昇圧回路15は、イネーブル状態の検出信号Sk1を入力し、スイッチ回路4が切り替え動作する前に一定時間(ts)だけ出力電圧Vo2を出力する。   As described above, in the high-frequency semiconductor switch and terminal device of this embodiment, the decoder 1, the power supply circuit 6, the drive circuit 3, and the switch circuit 4 are provided in the high-frequency semiconductor switch 91. The power supply circuit 6 includes an oscillation circuit 11, a charge pump circuit 12, an LPF 13, a clamp circuit 14, an inverting booster circuit 15, and a power supply activation detection circuit 16. When the high potential side power supply Vdd reaches a predetermined voltage value when the high potential side power supply Vdd is supplied, the power supply start detection circuit 16 inverts the enable detection signal Sk1 for a predetermined time (ts). 15 is output. The inverting booster circuit 15 receives the detection signal Sk1 in the enabled state, and outputs the output voltage Vo2 for a predetermined time (ts) before the switch circuit 4 performs the switching operation.

このため、高周波半導体スイッチ91では、スタートアップ時間を大幅に短縮化することができる。また、反転昇圧回路15から発生する高周波信号ノイズがスイッチ回路4の切り替え動作に影響を与えることはない。   For this reason, in the high frequency semiconductor switch 91, the start-up time can be significantly shortened. Further, the high frequency signal noise generated from the inverting booster circuit 15 does not affect the switching operation of the switch circuit 4.

なお、実施形態では、高周波半導体スイッチをMOSトランジスタで構成しているが必ずしもこれに限定されるものではない。例えば、ゲートが高誘電率を有する絶縁膜などから構成されるMISトランジスタで構成してもよい。高周波半導体スイッチを構成する回路を同一SOI基板上(1チップ)に形成しているが必ずしもこれに限定されるものではない。別々のSOI基板上に形成してもよい。   In the embodiment, the high-frequency semiconductor switch is configured by a MOS transistor, but is not necessarily limited thereto. For example, the gate may be composed of a MIS transistor composed of an insulating film having a high dielectric constant. Although the circuit constituting the high-frequency semiconductor switch is formed on the same SOI substrate (one chip), it is not necessarily limited to this. You may form on a separate SOI substrate.

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。   Although several embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.

1 デコーダ
2、5、6 電源回路
3、3a ドライブ回路
4 スイッチ回路
11、11a 発振回路
12、42 チャージポンプ回路
13、43 LPF
14、44 クランプ回路
15 反転昇圧回路
16 電源起動検出回路
21、21a バイアス回路
22 発振回路コア
23 出力バッファ
31a、31d、31i レベルシフト回路
32 インバータ
33 レベルシフタ
90、90a、91 高周波半導体スイッチ
91 制御部
100 端末装置
C1〜4、C11〜13、C21 コンデンサ
CKa、CKb 発振信号
con1a、con1b、con4a、con4b、conia、conib 差動出力
D1〜3 ダイオード
Dec1〜4、Deci デコード信号
I1、I2 電流
N1〜6、N11〜18、N21〜23、N31〜36 ノード
NMT1、NMT2、NMT11〜22、NMT31〜33、 Nch MOSトランジスタ
PMT11〜22、PMT31〜33 Pch MOSトランジスタ
R1、R11、R12、R31、R31a、R32、R1k、R41、R42、R4k、R111、R112、R11j、R141、R142、R14j 抵抗
RF1〜4 高周波信号
RFCOM 共通高周波信号
S11、S12、S1k、S41、S42、S4k シャントトランジスタ
Sc1〜3 制御信号
Sk1 検出信号
SW1、SW2 スイッチ
t0〜t4、te、tf 時刻
t11〜t13 時間
twu ウェークアップ時間
T11、T12、T1j、T41、T42、T4j スル―トランジスタ
Vdd 高電位側電源
Vn 負電圧
Vo1、Vo2 出力電圧
Vp 正電圧
Vss 低電位側電源(接地電位)
1 Decoder 2, 5, 6 Power supply circuit 3, 3a Drive circuit 4 Switch circuit 11, 11a Oscillation circuit 12, 42 Charge pump circuit 13, 43 LPF
14, 44 Clamp circuit 15 Inverting booster circuit 16 Power activation detection circuit 21, 21a Bias circuit 22 Oscillator circuit core 23 Output buffer 31a, 31d, 31i Level shift circuit 32 Inverter 33 Level shifters 90, 90a, 91 High-frequency semiconductor switch 91 Control unit 100 Terminal devices C1-4, C11-13, C21 Capacitors CKa, CKb Oscillation signals con1a, con1b, con4a, con4b, conia, conib Differential outputs D1-3 Diodes Dec1-4, Deci decode signals I1, I2 Currents N1-6 N11 to 18, N21 to 23, N31 to 36 Nodes NMT1, NMT2, NMT11 to 22, NMT31 to 33, Nch MOS transistors PMT11 to 22, PMT31 to 33 Pch MOS transistor R1, 11, R12, R31, R31a, R32, R1k, R41, R42, R4k, R111, R112, R11j, R141, R142, R14j Resistor RF1-4 RF signal RFCOM Common high frequency signal S11, S12, S1k, S41, S42, S4k Shunt transistors Sc1 to 3 Control signal Sk1 Detection signal SW1 and SW2 Switches t0 to t4, te, tf Time t11 to t13 Time wu Wake-up time T11, T12, T1j, T41, T42, T4j Through transistor Vdd High potential side power supply Vn Negative Voltage Vo1, Vo2 Output voltage Vp Positive voltage Vss Low potential side power supply (ground potential)

Claims (8)

高電位側電源が供給され、イネーブル状態の制御信号により第一の発振信号を発生し、ディセーブル状態の前記制御信号により前記第一の発振信号よりも低周波数の第二の発振信号を発生する発振回路を有し、前記第一の発振信号或いは前記第二の発振信号に基づいて第一の電圧を生成する電源回路と、
前記第一の電圧が電源として供給されるレベルシフト回路を含み、レベルシフトされた差動信号を生成するドライブ回路と、
前記ドライブ回路から出力される前記差動信号に基づいて、RF共通信号端子とRF信号端子の間を選択接続するスイッチ回路と、
を具備することを特徴とする高周波半導体スイッチ。
A high-potential-side power supply is supplied, and a first oscillation signal is generated by a control signal in an enabled state, and a second oscillation signal having a frequency lower than that of the first oscillation signal is generated by the control signal in a disabled state A power supply circuit having an oscillation circuit and generating a first voltage based on the first oscillation signal or the second oscillation signal;
A drive circuit including a level shift circuit to which the first voltage is supplied as a power supply, and generating a level-shifted differential signal;
A switch circuit that selectively connects between an RF common signal terminal and an RF signal terminal based on the differential signal output from the drive circuit;
A high-frequency semiconductor switch comprising:
前記発振回路は、第一乃至四のトランジスタ、第一の抵抗、及び第二の抵抗が設けられるバイアス回路と、発振回路コアと、出力バッファとを有し、
前記第一のトランジスタは、第一の端子が前記高電位側電源に接続され、制御端子が第二の端子に接続され、
前記第二のトランジスタは、第一の端子が前記高電位側電源に接続され、制御端子が前記第一のトランジスタの制御端子に接続され、前記第一のトランジスタとカレントミラー回路を構成し、
前記第一の抵抗は、一端が前記第一のトランジスタの第二の端子に接続され、前記制御信号がイネーブル状態のときに一端から他端側へ第一の電流を流し、
前記第二の抵抗は、一端が前記第一のトランジスタの第二の端子に接続され、他端が低電位側電源に接続され、一端から他端側へ前記第一の電流よりも小さな第二の電流を流し、
前記第三のトランジスタは、第一の端子が前記第一の抵抗の他端に接続され、制御端子に前記制御信号が入力され、第二の端子が前記低電位側電源に接続され、
前記第四のトランジスタは、第一の端子が前記第二のトランジスタの第二の端子に接続され、制御端子が第一の端子に接続され、第二の端子が前記低電位側電源に接続され、
前記第一のトランジスタの第二の端子が前記発振回路コアの入力側に接続され、前記第四のトランジスタの第一の端子が前記発振回路コアの入力側に接続されることを特徴とする請求項1に記載の高周波半導体スイッチ。
The oscillation circuit includes a bias circuit provided with first to fourth transistors, a first resistor, and a second resistor, an oscillation circuit core, and an output buffer.
The first transistor has a first terminal connected to the high potential side power supply, a control terminal connected to a second terminal,
The second transistor has a first terminal connected to the high potential side power supply, a control terminal connected to the control terminal of the first transistor, and constitutes a current mirror circuit with the first transistor,
One end of the first resistor is connected to the second terminal of the first transistor, and when the control signal is in an enabled state, a first current flows from one end to the other end side,
The second resistor has one end connected to the second terminal of the first transistor, the other end connected to the low-potential side power supply, and a second current smaller than the first current from one end to the other end. Current of
In the third transistor, a first terminal is connected to the other end of the first resistor, the control signal is input to a control terminal, a second terminal is connected to the low potential side power source,
The fourth transistor has a first terminal connected to the second terminal of the second transistor, a control terminal connected to the first terminal, and a second terminal connected to the low potential power source. ,
The second terminal of the first transistor is connected to the input side of the oscillation circuit core, and the first terminal of the fourth transistor is connected to the input side of the oscillation circuit core. Item 2. The high-frequency semiconductor switch according to Item 1.
前記電源回路は、前記第一の発振信号或いは前記第二の発振信号に基づいて第一の正電圧及び第一の負電圧を生成し、
前記ドライブ回路は、前記第一の正電圧及び前記第一の負電圧が電源として供給され、
前記差動信号は、ハイレベルが前記第1の正電圧であり、ローレベルが前記第1の負電圧である
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の高周波半導体スイッチ。
The power supply circuit generates a first positive voltage and a first negative voltage based on the first oscillation signal or the second oscillation signal,
The drive circuit is supplied with the first positive voltage and the first negative voltage as a power source,
The high-frequency semiconductor switch according to claim 1 or 2, wherein the differential signal has a high level as the first positive voltage and a low level as the first negative voltage.
前記電源回路は、前記高電位側電源の起動時に所定期間だけ動作して高電位源電圧の反転電圧を生成する反転昇圧回路が更に設けられ、前記反転電圧から前記第1の負電圧を生成する
ことを特徴とする請求項3に記載の高周波半導体スイッチ。
The power supply circuit is further provided with an inverting booster circuit that operates for a predetermined period when the high potential side power supply is activated to generate an inverted voltage of the high potential source voltage, and generates the first negative voltage from the inverted voltage. The high-frequency semiconductor switch according to claim 3.
前記高電位側電源の起動時に前記高電位側電源電圧を検出し、前記高電位側電源電圧が所定電圧になると検出信号を前記反転昇圧回路に出力する電源起動検出回路を更に具備することを特徴とする請求項4に記載の高周波半導体スイッチ。   The power supply start detection circuit further includes a power supply start detection circuit that detects the high potential side power supply voltage when starting the high potential side power supply and outputs a detection signal to the inverting booster circuit when the high potential side power supply voltage reaches a predetermined voltage. The high-frequency semiconductor switch according to claim 4. 高周波半導体スイッチの動作モード時にイネーブル状態の前記制御信号が供給され、高周波半導体スイッチのスリープモード時にディセーブル状態の前記制御信号が供給されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の高周波半導体スイッチ。   6. The control signal of an enable state is supplied when the high-frequency semiconductor switch is in an operation mode, and the control signal is disabled when the high-frequency semiconductor switch is in a sleep mode. A high-frequency semiconductor switch according to 1. 前記高周波半導体スイッチは、同一SOI基板上に設けられ、SOI型のMOSトランジスタから構成されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の高周波半導体スイッチ。   7. The high-frequency semiconductor switch according to claim 1, wherein the high-frequency semiconductor switch is provided on the same SOI substrate and is configured by an SOI type MOS transistor. 8. 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の高周波半導体スイッチと、
前記高周波半導体スイッチを制御する制御信号を生成する制御部と、
を具備することを特徴とする端末装置。
A high-frequency semiconductor switch according to any one of claims 1 to 7,
A control unit for generating a control signal for controlling the high-frequency semiconductor switch;
A terminal device comprising:
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