JP2013125822A - 熱電変換素子及びその製造方法 - Google Patents
熱電変換素子及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013125822A JP2013125822A JP2011273189A JP2011273189A JP2013125822A JP 2013125822 A JP2013125822 A JP 2013125822A JP 2011273189 A JP2011273189 A JP 2011273189A JP 2011273189 A JP2011273189 A JP 2011273189A JP 2013125822 A JP2013125822 A JP 2013125822A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- niobium
- strontium titanate
- thermoelectric conversion
- lanthanum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Abstract
【解決手段】チタン酸ストロンチウムの単結晶基板9の上に、ニオブまたはランタンをドープした非導電性の陽イオンノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム薄膜バッファー層11を形成し、この薄膜バッファー層11の上に、ニオブおよびランタンをドープしたストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム熱電薄膜を備える、若しくはニオブおよびランタンをドープしたノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム熱電薄膜12を形成した熱電変換素子である。
【選択図】図2
Description
(付記2) チタン酸ストロンチウムの単結晶基板上に、ニオブまたはランタンをドープした非導電性の陽イオンノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム薄膜バッファー層を備え、この薄膜バッファー層の上に、ニオブおよびランタンをドープしたノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム熱電薄膜を備えることを特徴とする熱電変換素子。
(付記3) ペロブスカイト構造をとる前記ノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム熱電薄膜において、前記ストロンチウムとランタンがAサイトに配置され、前記チタンとニオブがBサイトに配置される場合に、A/Bサイト比が0.5〜0.9または1.05〜1.2となるように前記ニオブおよびランタンをドープしたことを特徴とする付記2に記載の熱電変換素子。
(付記4) 前記ノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム熱電薄膜における前記ニオブおよびランタンのドープ量を、10at%以上30at%未満としたことを特徴とする付記2または3に記載の熱電変換素子。
(付記5) 前記ストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム熱電薄膜またはノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム熱電薄膜は、チタン酸ストロンチウムをターゲットとし、該ターゲット上に金属ニオブまたはランタンを局所的に配置し、アルゴンガス中でスパッタリングによって成膜したことを特徴とする付記1から4の何れかに記載の熱電変換素子。
(付記7) チタン酸ストロンチウムの単結晶基板上に、ニオブまたはランタンをドープした非導電性の陽イオンノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム薄膜バッファー層を形成し、
この薄膜バッファー層の上に、ニオブおよびランタンをドープしたストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム熱電薄膜を形成して熱電変換素子を形成することを特徴とする熱電変換素子の製造方法。
(付記8) チタン酸ストロンチウムの単結晶基板上に、ニオブまたはランタンをドープした非導電性の陽イオンノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム薄膜バッファー層を形成し、
この薄膜バッファー層の上に、ニオブおよびランタンをドープしたノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム熱電薄膜を形成して熱電変換素子を形成することを特徴とする熱電変換素子の製造方法。
(付記9) ペロブスカイト構造をとる前記ノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム熱電薄膜において、前記ストロンチウムとランタンがAサイトに配置され、前記チタンとニオブがBサイトに配置される場合に、A/Bサイト比が0.5〜0.9または1.05〜1.2となるように前記ニオブおよびランタンをドープしたことを特徴とする付記8に記載の熱電変換素子の製造方法。
(付記10) 前記ノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム熱電薄膜における前記ニオブおよびランタンのドープ量を、10at%以上30at%未満としたことを特徴とする付記8または9に記載の熱電変換素子の製造方法。
(付記12) 前記ニオブまたはランタンをドープした非導電性の陽イオンノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム薄膜バッファー層は、作製後に酸素雰囲気中アニール処理によって非導電性としたことを特徴とする付記7から11の何れかに記載の熱電変換素子の製造方法。
2 真空ポンプ
3 アルゴンガス源
4 ターゲットホルダ
5 基板ホルダ
6 電源
7 ターゲット
8 ニオブチップ
9 基板(STO基板)
10 アルゴンガスイオン
11 中間層(バッファー層、ノンストイキオメトリSTO層)
12 熱電薄膜層(ストイキオメトリSTO層)
Claims (5)
- チタン酸ストロンチウムの単結晶基板上に、ニオブまたはランタンをドープした非導電性の陽イオンノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム薄膜バッファー層を備え、この薄膜バッファー層の上に、ニオブおよびランタンをドープしたストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム熱電薄膜を備えることを特徴とする熱電変換素子。
- チタン酸ストロンチウムの単結晶基板上に、ニオブまたはランタンをドープした非導電性の陽イオンノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム薄膜バッファー層を備え、この薄膜バッファー層の上に、ニオブおよびランタンをドープしたノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム熱電薄膜を備えることを特徴とする熱電変換素子。
- ペロブスカイト構造をとる前記ノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム熱電薄膜において、前記ストロンチウムとランタンがAサイトに配置され、前記チタンとニオブがBサイトに配置される場合に、A/Bサイト比が0.5〜0.9または1.05〜1.2となるように前記ニオブおよびランタンをドープしたことを特徴とする請求項2に記載の熱電変換素子。
- チタン酸ストロンチウムの単結晶基板上に、ニオブまたはランタンをドープした非導電性の陽イオンノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム薄膜バッファー層を形成し、
この薄膜バッファー層の上に、ニオブおよびランタンをドープしたストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム熱電薄膜を形成して熱電変換素子を形成することを特徴とする熱電変換素子の製造方法。 - チタン酸ストロンチウムの単結晶基板上に、ニオブまたはランタンをドープした非導電性の陽イオンノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム薄膜バッファー層を形成し、
この薄膜バッファー層の上に、ニオブおよびランタンをドープしたノンストイキオメトリ組成のチタン酸ストロンチウム熱電薄膜を形成して熱電変換素子を形成することを特徴とする熱電変換素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011273189A JP5834871B2 (ja) | 2011-12-14 | 2011-12-14 | 熱電変換素子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011273189A JP5834871B2 (ja) | 2011-12-14 | 2011-12-14 | 熱電変換素子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013125822A true JP2013125822A (ja) | 2013-06-24 |
JP5834871B2 JP5834871B2 (ja) | 2015-12-24 |
Family
ID=48776912
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011273189A Active JP5834871B2 (ja) | 2011-12-14 | 2011-12-14 | 熱電変換素子及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5834871B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20160268492A1 (en) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | Fujitsu Limited | Thermoelectric conversion element, thermoelectric conversion module and method for manufacturing the thermoelectric conversion element |
CN114907116A (zh) * | 2022-05-10 | 2022-08-16 | 武汉理工大学 | 一种导热系数可调的钛酸锶薄膜的制备方法 |
-
2011
- 2011-12-14 JP JP2011273189A patent/JP5834871B2/ja active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20160268492A1 (en) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | Fujitsu Limited | Thermoelectric conversion element, thermoelectric conversion module and method for manufacturing the thermoelectric conversion element |
CN114907116A (zh) * | 2022-05-10 | 2022-08-16 | 武汉理工大学 | 一种导热系数可调的钛酸锶薄膜的制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5834871B2 (ja) | 2015-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Lin et al. | Thermoelectric power generation from lanthanum strontium titanium oxide at room temperature through the addition of graphene | |
Zheng et al. | Realizing high thermoelectric performance in highly (0l0)-textured flexible Cu2Se thin film for wearable energy harvesting | |
WO2011122888A2 (en) | Thermoelectric material, and thermoelectric module and thermoelectric device including the thermoelectric material | |
KR101663183B1 (ko) | 열전재료, 이를 포함하는 열전모듈과 열전장치 | |
US20120090657A1 (en) | Reduced low symmetry ferroelectric thermoelectric systems, methods and materials | |
Yasukawa et al. | Thermoelectric properties and figure of merit of perovskite-type Ba1− xLaxSnO3 with x= 0.002–0.008 | |
JP2014165188A (ja) | 熱電変換素子 | |
JP6680995B2 (ja) | 窒化物熱電変換材料及びその製造方法並びに熱電変換素子 | |
Wan et al. | Synergetic enhancement of thermoelectric performance in a Bi 0.5 Sb 1.5 Te 3/SrTiO 3 heterostructure | |
WO2011048634A1 (ja) | 熱電変換材料および熱電変換素子 | |
JP5834871B2 (ja) | 熱電変換素子及びその製造方法 | |
WO2017188590A1 (ko) | 열전 재료, 이의 제조 방법 및 열전 소자 | |
US7417186B2 (en) | Thermoelectric conversion material, thermoelectric conversion element using the same, and electronic apparatus and cooling device comprising the element | |
Kim et al. | Thermoelectric properties of Nb-doped SrTiO3 films prepared by co-sputtering | |
CN101969096B (zh) | 纳米结构热电材料、器件及其制备方法 | |
US9508912B2 (en) | Thermoelectric conversion device having perovskite crystal including grain domain | |
CN112864300B (zh) | 一种碲化铋基合金薄膜-钙钛矿型氧化物异质结复合热电材料及其制备与应用 | |
JP2012186230A (ja) | 熱電変換素子および熱電変換材料 | |
KR102356683B1 (ko) | 열전 구조체, 열전 소자 및 이의 제조방법 | |
JP4070108B2 (ja) | 熱電変換材料とその製造方法 | |
Liang et al. | High-temperature flexible transparent heater for rapid thermal annealing of thin films | |
Kuku et al. | Electrical properties of vacuum evaporated PbSnS 3 thin films | |
Zheng et al. | Thermoelectric Properties of Al Doped ZnO Thin Films | |
JP6191512B2 (ja) | 熱電変換素子及びその製造方法 | |
JP2016011223A (ja) | 多結晶炭化ケイ素焼結体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140805 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150819 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151006 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151019 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5834871 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |