JP2013123460A - Radiographic apparatus, and radiographic method - Google Patents

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Takuji Tada
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To precisely form a phase differential image by reducing the effect of linear flaws generated in image data.SOLUTION: This X-ray imaging apparatus includes a first lattice passing the radiation radiated from an X-ray source to form a first cycle pattern image, a second lattice for partially shielding the first cycle pattern image to form a second cycle pattern image having a Moire fringe formed thereto, an X-ray image detector for detecting the second cycle pattern image by a plurality of pixel parts two-dimensionally arranged along a line direction and the row direction crossing the line direction at the right angle to generate image data, and an image processing part for image-processing the image data. A predetermined number of pixel parts arranged in a direction reduced in the number of the linear flaws among the line and row directions are set to a first group Gr(x, n) and this group Gr(x, n) is successively set while altered by a predetermined pixel in the line and row directions. The phase shift quantity of an intensity modulation signal constituted of the pixel value contained in each of the groups Gr(x, n) is calculated to form the phase differential image.

Description

本発明は、被検体による放射線の位相変化に基づく画像を検出する放射線撮影装置及び放射線撮影方法に関する。   The present invention relates to a radiation imaging apparatus and a radiation imaging method for detecting an image based on a phase change of radiation by a subject.

放射線、例えばX線は、物質を構成する元素の重さ(原子番号)と物質の密度及び厚さとに依存して吸収され減衰するといった特性を有する。この特性に着目し、医療診断や非破壊検査等の分野において、被検体の内部を透視するためのプローブとしてX線が利用されている。   Radiation, such as X-rays, has a characteristic that it is absorbed and attenuated depending on the weight (atomic number) of the elements constituting the substance and the density and thickness of the substance. Focusing on this characteristic, X-rays are used as a probe for seeing through the inside of a subject in fields such as medical diagnosis and nondestructive inspection.

一般的なX線撮影装置では、X線を放射するX線源と、X線を検出するX線画像検出器との間に被検体を配置して、被検体を透過したX線の撮影を行う。この場合、X線源からX線画像検出器に向けて放射されたX線は、被検体を透過する際に吸収され減衰した後、X線画像検出器に入射する。この結果、被検体によるX線の強度変化に基づく画像がX線画像検出器により検出される。   In a general X-ray imaging apparatus, an object is placed between an X-ray source that emits X-rays and an X-ray image detector that detects X-rays, and X-rays transmitted through the object are imaged. Do. In this case, X-rays emitted from the X-ray source toward the X-ray image detector are absorbed and attenuated when passing through the subject, and then enter the X-ray image detector. As a result, an image based on an X-ray intensity change by the subject is detected by the X-ray image detector.

X線吸収能は、原子番号が小さい元素ほど低くなるため、生体軟部組織やソフトマテリアルなどでは、X線の強度変化が小さく、画像に十分なコントラストが得られないといった問題がある。例えば、人体の関節を構成する軟骨部とその周辺の関節液は、いずれも殆どの成分が水であり、両者のX線吸収能の差が小さいため、コントラストが得られにくい。   Since the X-ray absorptivity becomes lower with an element having a smaller atomic number, there is a problem that a change in X-ray intensity is small and sufficient contrast cannot be obtained in a soft tissue or soft material. For example, most of the components of the cartilage portion constituting the joint of the human body and the joint fluid in the vicinity thereof are water, and the difference in the X-ray absorption capacity between them is small, so that it is difficult to obtain contrast.

このような問題を背景に、被検体によるX線の強度変化に代えて、被検体によるX線の位相変化に基づいた画像を得るX線位相イメージングの研究が近年盛んに行われている。X線位相イメージングは、被検体に入射したX線の位相変化が強度変化より大きいことに基づき、X線の位相変化を画像化する方法であり、X線吸収能が低い被検体に対しても高コントラストの画像を得ることができる。X線位相イメージングの一種として、2枚の格子とX線画像検出器とを用いてX線タルボ干渉計を構成することにより、X線の位相変化を検出するX線撮影装置が知られている(例えば、特許文献1、2参照)。   Against this background, research on X-ray phase imaging that obtains an image based on the phase change of the X-ray by the subject instead of the change in the intensity of the X-ray by the subject has been actively conducted in recent years. X-ray phase imaging is a method of imaging the X-ray phase change based on the fact that the phase change of the X-ray incident on the subject is larger than the intensity change. A high-contrast image can be obtained. As a kind of X-ray phase imaging, an X-ray imaging apparatus that detects an X-ray phase change by configuring an X-ray Talbot interferometer using two gratings and an X-ray image detector is known. (For example, refer to Patent Documents 1 and 2).

このX線撮影装置は、X線源から見て被検体の背後に第1の格子を配置し、第1の格子からタルボ距離だけ離れた位置に第2の格子を配置し、その背後にX線画像検出器を配置したものである。タルボ距離は、第1の格子を通過したX線が、タルボ効果によって第1の格子の自己像(縞画像)を形成する距離である。この自己像は、被検体でのX線の位相変化で屈折が生じることにより変調される。この変調量を検出することにより、X線の位相変化が画像化される。   In this X-ray imaging apparatus, a first grating is arranged behind the subject as viewed from the X-ray source, a second grating is arranged at a position away from the first grating by a Talbot distance, and X A line image detector is arranged. The Talbot distance is a distance at which X-rays that have passed through the first grating form a self-image (stripe image) of the first grating by the Talbot effect. This self-image is modulated by refraction caused by the phase change of X-rays in the subject. By detecting this modulation amount, the phase change of the X-ray is imaged.

上記変調量の検出方法として縞走査法が知られている。縞走査法とは、第1の格子に対して第2の格子を、所定のピッチずつ間欠的に移動させながら、その各停止中にX線源からX線を放射し、被検体、第1及び第2の格子を通過したX線を、X線画像検出器を構成する複数の画素部により検出する方法である。第2の格子の移動方向は、第1の格子の面に平行で、かつ第1の格子の格子方向に垂直な方向である。   A fringe scanning method is known as a method for detecting the modulation amount. In the fringe scanning method, the second grating is moved intermittently by a predetermined pitch with respect to the first grating, while X-rays are emitted from the X-ray source during each stop, the subject, the first And X-rays that have passed through the second grating are detected by a plurality of pixel units constituting the X-ray image detector. The moving direction of the second grating is a direction parallel to the plane of the first grating and perpendicular to the grating direction of the first grating.

縞走査法では、X線画像検出器の各画素部について、第2の格子の移動に対する画素値の強度変化を表す強度変調信号を生成し、この強度変調信号の位相ズレ量(被検体が存在しない場合の初期位置からの位相差)を算出することにより、上記変調量に関連する画像が得られる。この画像は、被検体の屈折率を反映した画像であり、X線の位相変化(位相シフト)の微分量に対応するため、位相微分画像と呼ばれる。この位相微分画像を積分処理することにより、位相シフト分布を表す位相コントラスト画像が生成される。   In the fringe scanning method, for each pixel portion of the X-ray image detector, an intensity modulation signal representing the intensity change of the pixel value with respect to the movement of the second grating is generated, and the phase shift amount of this intensity modulation signal (the subject exists) By calculating the phase difference from the initial position when not), an image related to the modulation amount is obtained. This image is an image reflecting the refractive index of the subject, and corresponds to the differential amount of the X-ray phase change (phase shift), and is called a phase differential image. By integrating the phase differential image, a phase contrast image representing the phase shift distribution is generated.

しかし、縞走査法では、1枚の位相コントラスト画像を取得するために複数回(例えば、5回)の撮影を行う必要があるため、装置の振動や被検体の体動により画質が低下するという問題がある。また、複数回の撮影により被検体の被曝量が大きいことも問題である。特許文献1には、第1及び第2の格子を移動させずに一度の撮影で得られる単一の画像データから位相微分画像を生成することが記載されているが、その具体的な方法については述べられていない。   However, in the fringe scanning method, since it is necessary to perform imaging a plurality of times (for example, 5 times) in order to acquire one phase contrast image, the image quality is deteriorated due to vibration of the apparatus or body movement of the subject. There's a problem. In addition, there is a problem that the exposure dose of the subject is large due to multiple imaging. Patent Document 1 describes that a phase differential image is generated from a single image data obtained by one imaging without moving the first and second gratings. Is not mentioned.

そこで、本出願人は、特願2010−265241号において、第1及び第2の格子を移動させずに一度の撮影で得られる単一の画像データから位相微分画像を生成する具体的方法を提案している。この方法では、第1の格子に対して第2の格子22を格子面内方向に相対的に僅かに傾斜させて、モアレ縞を発生させた状態で、X線画像検出器により単一の画像データを取得する。そして、モアレ縞に交わる方向に並ぶ所定数の画素部を1グループとし、このグループを変更しながら、各グループに含まれる画素部の画素値により強度変調信号を構成し、この強度変調信号の位相ズレ量を算出することにより位相微分画像が生成される。   Therefore, the present applicant proposes a specific method for generating a phase differential image from single image data obtained by one imaging without moving the first and second gratings in Japanese Patent Application No. 2010-265241. doing. In this method, a single image is obtained by an X-ray image detector in a state in which the second grating 22 is slightly inclined relative to the first grating in the grating plane direction to generate moire fringes. Get the data. Then, a predetermined number of pixel portions arranged in the direction crossing the moiré fringes are grouped into one group, and while changing this group, an intensity modulation signal is formed by pixel values of the pixel portions included in each group, and the phase of the intensity modulation signal A phase differential image is generated by calculating the amount of deviation.

特開2008−200361号公報JP 2008-200361 A 国際公開第2008/102654号International Publication No. 2008/102654

しかしながら、特許文献2に記載のように、X線画像検出器により得られる画像データには、異常画素値が線状に連続した線状欠陥が生じることがある。特願2010−265241号に記載の方法では、強度変調信号を構成するためのグループが一方向に延伸しているため、線状欠陥の方向とグループの延伸方向とが一致した場合には、グループを構成する画素値がすべて異常画素値となり、正常な強度変調信号が得られない。この結果、位相微分画像には、画像データの線状欠陥に対応した線状欠陥が生じてしまう。   However, as described in Patent Document 2, a linear defect in which abnormal pixel values are linearly generated may occur in image data obtained by an X-ray image detector. In the method described in Japanese Patent Application No. 2010-265241, the group for forming the intensity modulation signal extends in one direction. Therefore, when the direction of the linear defect and the extending direction of the group match, the group Are all abnormal pixel values, and a normal intensity modulation signal cannot be obtained. As a result, a linear defect corresponding to the linear defect of the image data is generated in the phase differential image.

このように位相微分画像に線状欠陥が生じた場合には、これに積分処理を施すことにより得られる位相コントラスト画像には、線状欠陥の一部を積分領域に含む画素すべてに欠陥の影響が生じるため、広範囲に画質低下が生じてしまう。   When a line defect is generated in the phase differential image as described above, the phase contrast image obtained by integrating the phase defect image has an effect of the defect on all pixels including part of the line defect in the integration region. As a result, the image quality deteriorates over a wide range.

本発明は、画像データに生じた線状欠陥の影響を低減し、精度よく位相微分画像を生成可能とする放射線撮影装置及び放射線撮影方法を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a radiation imaging apparatus and a radiation imaging method capable of reducing the influence of linear defects generated in image data and generating a phase differential image with high accuracy.

上記目的を達成するために、本発明の放射線撮影装置は、放射線源から放射された放射線を通過させて第1の周期パターン像を生成する第1の格子と、前記第1の周期パターン像を部分的に遮蔽してモアレ縞が生じた第2の周期パターン像を生成する第2の格子と、行方向とこれに直交する列方向に沿って2次元配列された複数の画素部により、前記第2の周期パターン像を検出して画像データを生成する放射線画像検出器と、前記行方向及び前記列方向のうち、線状欠陥が少ない第1の方向に並ぶ所定数の前記画素部を1グループとし、このグループを前記第1の方向に所定画素ずつ変更しながら順に設定するグループ設定部と、前記各グループ内に含まれる画素値により構成された強度変調信号の位相ズレ量を算出することにより位相微分画像を生成する位相微分画像生成部と、を備えるものである。   In order to achieve the above object, a radiation imaging apparatus according to the present invention includes a first grating that generates a first periodic pattern image by passing radiation emitted from a radiation source, and the first periodic pattern image. The second grating that generates a second periodic pattern image that is partially shielded and has moiré fringes, and a plurality of pixel portions that are two-dimensionally arranged along a row direction and a column direction perpendicular thereto. A radiation image detector that detects the second periodic pattern image to generate image data, and a predetermined number of the pixel units arranged in a first direction with few linear defects among the row direction and the column direction are 1 A group setting unit configured to set the group in order while changing the predetermined pixel in the first direction in each of the first direction; and calculating a phase shift amount of the intensity modulation signal configured by the pixel value included in each group Phase fine A differential phase image generator for generating an image, in which comprises a.

前記モアレ縞は、前記第2の格子を、第1の格子に対して格子面内方向に相対的に傾斜して配置することにより生成されたものであり、前記第1及び第2の格子の格子方向にほぼ直交していることが好ましい。   The moire fringes are generated by arranging the second grating so as to be inclined relative to the first grating in the in-lattice direction, and the first and second gratings It is preferable to be substantially orthogonal to the lattice direction.

前記モアレ縞は、前記第1及び第2の格子の対向方向の位置関係、または、前記第1及び第2の格子の格子ピッチを調整することにより生成されたものであり、前記第1及び第2の格子の格子方向にほぼ平行であってもよい。   The moire fringes are generated by adjusting the positional relationship in the opposing direction of the first and second gratings or the grating pitch of the first and second gratings. It may be substantially parallel to the lattice direction of the two lattices.

前記第1の方向は、前記モアレ縞にほぼ直交していることが好ましい。   The first direction is preferably substantially orthogonal to the moire fringes.

前記モアレ縞は、前記第2の格子を、第1の格子に対して格子面内方向に相対的に傾斜して配置し、かつ、前記第1及び第2の格子の対向方向の位置関係、または、前記第1及び第2の格子の格子ピッチを調整することにより生成されたものであり、前記第1及び第2の格子の格子方向に直交せず、かつ平行でなくてもよい。   The moire fringes are arranged such that the second grating is inclined relative to the first grating in the in-lattice direction, and the positional relationship between the first and second gratings is opposite to each other. Or it is produced | generated by adjusting the grating | lattice pitch of the said 1st and 2nd grating | lattice, and does not need to be orthogonal to the grating | lattice direction of the said 1st and 2nd grating | lattice, and it may not be parallel.

前記放射線画像検出器の画素欠陥のマップ情報を記憶する画素欠陥情報記憶部と、前記マップ情報に基づき、前記各グループ内の画素値から異常画素値を除去する異常画素値除去部と、を備え、前記位相微分画像生成部は、前記各グループ内に含まれる前記異常画素値以外の正常画素値に基づいて前記強度変調信号の位相ズレ量を算出し、前記位相微分画像を生成することが好ましい。   A pixel defect information storage unit that stores map information of pixel defects of the radiation image detector; and an abnormal pixel value removal unit that removes abnormal pixel values from the pixel values in each group based on the map information. The phase differential image generation unit preferably calculates a phase shift amount of the intensity modulation signal based on normal pixel values other than the abnormal pixel values included in each group, and generates the phase differential image. .

前記各グループ内の前記正常画素値の数をカウントする正常画素値計数部を備えることが好ましい。この場合、前記正常画素値の数が基準値より少ないグループが存在する場合にエラー報知を行うエラー報知部を備えることが好ましい。   It is preferable that a normal pixel value counting unit that counts the number of normal pixel values in each group is provided. In this case, it is preferable to provide an error notification unit that performs error notification when there is a group in which the number of normal pixel values is smaller than a reference value.

前記グループを構成する前記画素部の数は、前記モアレ縞の周期の整数倍に含まれる前記画素部の数に等しいことが好ましい。   It is preferable that the number of the pixel parts constituting the group is equal to the number of the pixel parts included in an integer multiple of the period of the moire fringes.

前記位相微分画像を積分処理して位相コントラスト画像を生成する位相コントラスト画像生成部を備えることが好ましい。   It is preferable to include a phase contrast image generating unit that generates a phase contrast image by integrating the phase differential image.

前記第1の格子は、吸収型格子であり、入射した放射線を幾何光学的に投影することにより前記第1の周期パターン像を生成することが好ましい。   Preferably, the first grating is an absorption grating, and the first periodic pattern image is generated by geometrically optically projecting incident radiation.

前記第1の格子は、吸収型格子または位相型格子であり、入射した放射線にタルボ効果を生じさせて前記第1の周期パターン像を生成するものであってもよい。   The first grating may be an absorption grating or a phase grating, and may generate the first periodic pattern image by causing a Talbot effect to incident radiation.

前記放射線源から放射された放射線を部分的に遮蔽して焦点を分散化するマルチスリットを備えることが好ましい。   It is preferable to provide a multi slit that partially blocks the radiation emitted from the radiation source and disperses the focal point.

本発明の放射線撮影方法は、放射線源から放射された放射線を第1の格子を通過させて第1の周期パターン像を生成するステップと、前記第1の周期パターン像を第2の格子により部分的に遮蔽してモアレ縞が生じた第2の周期パターン像を生成するステップと、行方向とこれに直交する列方向に沿って2次元配列された複数の画素部を有する放射線画像検出器により前記第2の周期パターン像を検出して画像データを生成するステップと、前記行方向及び前記列方向のうち、線状欠陥が少ない第1の方向に並ぶ所定数の前記画素部を1グループとし、このグループを前記第1の方向に所定画素ずつ変更しながら順に設定するステップと、前記各グループ内に含まれる画素値により構成された強度変調信号の位相ズレ量を算出することにより位相微分画像を生成するステップと、を備える。   In the radiographic method of the present invention, a step of generating a first periodic pattern image by passing radiation emitted from a radiation source through a first grating, and a part of the first periodic pattern image by a second grating. A second periodic pattern image in which moiré fringes are generated by shielding and a radiation image detector having a plurality of pixel portions arranged two-dimensionally along a row direction and a column direction orthogonal thereto A step of generating image data by detecting the second periodic pattern image, and a predetermined number of the pixel units arranged in a first direction with few linear defects in the row direction and the column direction are grouped. , Setting the groups in order while changing the predetermined pixels in the first direction, and calculating the phase shift amount of the intensity modulation signal formed by the pixel values included in each group Comprising the steps of: generating a phase differential image.

本発明によれば、放射線画像検出器の行方向及び前記列方向のうち、線状欠陥が少ない第1の方向に並ぶ所定数の前記画素部を1グループとし、このグループを前記第1の方向に所定画素ずつ変更しながら順に設定するので、画像データに生じた線状欠陥の影響を低減し、精度よく位相微分画像を生成することができる。   According to the present invention, the predetermined number of the pixel units arranged in the first direction with few linear defects among the row direction and the column direction of the radiation image detector are grouped into one group, and this group is defined as the first direction. Since the pixels are sequentially set while being changed by predetermined pixels, it is possible to reduce the influence of linear defects generated in the image data and to generate a phase differential image with high accuracy.

X線撮影装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of an X-ray imaging apparatus. X線画像検出器の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of a X-ray image detector. 第1及び第2の格子の構成を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the structure of the 1st and 2nd grating | lattice. 画素部とモアレ縞との関係を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the relationship between a pixel part and a moire fringe. 1グループに含まれる複数の画素部を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the several pixel part contained in 1 group. 強度変調信号を示すグラフである。It is a graph which shows an intensity | strength modulation signal. 線状欠陥とグループとの関係を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the relationship between a linear defect and a group. 画像処理部の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of an image process part. グループの変更方法を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the change method of a group. 異常画素値が存在する場合の強度変調信号を示すグラフである。It is a graph which shows an intensity | strength modulation signal in case an abnormal pixel value exists. X線撮影装置の作用を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the effect | action of an X-ray imaging apparatus. グループの第1の変形例を示す図である。It is a figure which shows the 1st modification of a group. グループの第2の変形例を示す図である。It is a figure which shows the 2nd modification of a group. グループの第3の変形例を示す図である。It is a figure which shows the 3rd modification of a group. 第2実施形態における画素部とモアレ縞との関係を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the relationship between the pixel part in 2nd Embodiment, and a moire fringe. 第4実施形態におけるグループの変更方法を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the change method of the group in 4th Embodiment. マップ情報の更新及びオフセット補正を実施する場合の手順を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the procedure in the case of implementing update of map information, and offset correction.

(第1実施形態)
図1において、X線撮影装置10は、X線源11、格子部12、X線画像検出器13、メモリ14、画像処理部15、画像記録部16、撮影制御部17、コンソール18、及びシステム制御部19を備える。X線源11は、周知のように、回転陽極型のX線管(図示せず)と、X線の照射野を制限するコリメータ(図示せず)とを有し、撮影制御部17の制御に基づき、被検体Hに向けてX線を放射する。
(First embodiment)
In FIG. 1, an X-ray imaging apparatus 10 includes an X-ray source 11, a grating unit 12, an X-ray image detector 13, a memory 14, an image processing unit 15, an image recording unit 16, an imaging control unit 17, a console 18, and a system. A control unit 19 is provided. As is well known, the X-ray source 11 includes a rotary anode type X-ray tube (not shown) and a collimator (not shown) for limiting the X-ray irradiation field, and is controlled by the imaging control unit 17. Based on the above, X-rays are emitted toward the subject H.

格子部12は、第1の格子21及び第2の格子22を備える。第1及び第2の格子21,22は、X線照射方向であるZ方向に関してX線源11に対向配置されている。X線源11と第1の格子21との間には、被検体Hが配置可能な間隔が設けられている。X線画像検出器13は、周知のように、半導体回路を用いたフラットパネル検出器であり、第2の格子22の背後に近接して配置されている。X線画像検出器13の検出面13aは、Z方向に直交している。   The lattice unit 12 includes a first lattice 21 and a second lattice 22. The first and second gratings 21 and 22 are disposed to face the X-ray source 11 in the Z direction, which is the X-ray irradiation direction. A space is provided between the X-ray source 11 and the first grating 21 so that the subject H can be arranged. As is well known, the X-ray image detector 13 is a flat panel detector using a semiconductor circuit, and is arranged in the vicinity of the back of the second grating 22. The detection surface 13a of the X-ray image detector 13 is orthogonal to the Z direction.

第1の格子21は、Z方向に直交する格子面(XY面)におけるY方向に延伸された複数のX線吸収部21a及びX線透過部21bを備えた吸収型格子である。X線吸収部21a及びX線透過部21bは、X方向(Z方向及びY方向に直交する方向)に交互に配列されており、縞状のパターンを形成している。第2の格子22は、第1の格子21と同様にY方向に延伸され、かつX方向に交互に配列された複数のX線吸収部22a及びX線透過部22bを備えた吸収型格子である。X線吸収部21a,22aは、金(Au)、白金(Pt)等のX線吸収性を有する材料により形成されている。X線透過部21b,22bは、シリコン(Si)や樹脂等のX線透過性を有する材料や空隙により形成されている。   The 1st grating | lattice 21 is an absorption type grating | lattice provided with several X-ray absorption part 21a and X-ray transmission part 21b extended | stretched in the Y direction in the lattice plane (XY plane) orthogonal to a Z direction. The X-ray absorption parts 21a and the X-ray transmission parts 21b are alternately arranged in the X direction (the direction orthogonal to the Z direction and the Y direction) to form a striped pattern. The second grating 22 is an absorption type grating having a plurality of X-ray absorbing portions 22 a and X-ray transmitting portions 22 b that are extended in the Y direction and alternately arranged in the X direction, like the first grating 21. is there. The X-ray absorbing portions 21a and 22a are formed of a material having X-ray absorption properties such as gold (Au) and platinum (Pt). The X-ray transmissive portions 21b and 22b are formed of a material having X-ray permeability such as silicon (Si) or resin or a gap.

第1の格子21は、X線源11から射出されたX線を部分的に通過させて第1の周期パターン像(以下、G1像という)を生成する。第2の格子22は、第1の格子21により生成されたG1像を部分的に透過させて第2の周期パターン像(以下、G2像という)を生成する。被検体Hが配置されていない場合において、G1像は、第2の格子22の格子パターンとほぼ一致する。詳しくは後述するが、第2の格子22に対して第1の格子21がZ軸周り(格子面内方向)に僅かに傾斜しており、G2像には、その傾斜角に応じた周期を有するモアレ縞が生じている。   The first grating 21 partially passes X-rays emitted from the X-ray source 11 to generate a first periodic pattern image (hereinafter referred to as G1 image). The second grating 22 partially transmits the G1 image generated by the first grating 21 to generate a second periodic pattern image (hereinafter referred to as G2 image). When the subject H is not arranged, the G1 image substantially matches the lattice pattern of the second lattice 22. As will be described in detail later, the first grating 21 is slightly inclined around the Z axis (in the lattice plane direction) with respect to the second grating 22, and the G2 image has a period corresponding to the inclination angle. The moiré fringes it has have arisen.

X線画像検出器13は、G2像を検出して画像データを生成する。メモリ14は、X線画像検出器13から読み出された画像データを一時的に記憶する。画像処理部15は、メモリ14に記憶された画像データに基づいて位相微分画像を生成し、この位相微分画像に基づいて位相コントラスト画像を生成する。画像記録部16は、位相微分画像と位相コントラスト画像とを記録する。   The X-ray image detector 13 detects the G2 image and generates image data. The memory 14 temporarily stores the image data read from the X-ray image detector 13. The image processing unit 15 generates a phase differential image based on the image data stored in the memory 14, and generates a phase contrast image based on the phase differential image. The image recording unit 16 records a phase differential image and a phase contrast image.

コンソール18は、操作部18a及びモニタ18bを備えている。操作部18aは、キーボードやマウス等により構成され、X線源11の管電圧、管電流、照射時間等の撮影条件の設定や、撮影実行指示等の操作入力を可能とする。   The console 18 includes an operation unit 18a and a monitor 18b. The operation unit 18a includes a keyboard, a mouse, and the like, and enables setting of imaging conditions such as tube voltage, tube current, and irradiation time of the X-ray source 11, and operation input such as an imaging execution instruction.

モニタ18bは、撮影条件等の撮影情報や、画像記録部16に記録された位相微分画像及び位相コントラスト画像の表示を行う。システム制御部19は、操作部18aから入力される信号に応じて各部を統括的に制御する。   The monitor 18b displays photographing information such as photographing conditions and a phase differential image and a phase contrast image recorded in the image recording unit 16. The system control unit 19 comprehensively controls each unit according to a signal input from the operation unit 18a.

図2において、X線画像検出器13は、周知のように、入射X線により半導体膜(図示せず)に生じた電荷を収集する画素電極31と、画素電極31によって収集された電荷を読み出すためのTFT(Thin Film Transistor)32とを備えた画素部30が2次元格子状に多数配列されたものである。半導体膜は、例えば、アモルファスセレンにより形成されている。   In FIG. 2, the X-ray image detector 13, as is well known, reads out the charge collected by the pixel electrode 31 that collects charges generated in the semiconductor film (not shown) by incident X-rays, and the pixel electrode 31. A large number of pixel units 30 having TFTs (Thin Film Transistors) 32 are arranged in a two-dimensional lattice pattern. The semiconductor film is made of amorphous selenium, for example.

また、X線画像検出器13は、ゲート走査線33、走査回路34、信号線35、及び読み出し回路36を備える。ゲート走査線33は、画素部30の行ごとに設けられている。走査回路34は、TFT32をオン/オフするための走査信号を各ゲート走査線33に付与する。信号線35は、画素部30の列ごとに設けられている。読み出し回路36は、各信号線35を介して画素部30から電荷を読み出し、画像データに変換して出力する。各画素部30の詳細な層構成については、例えば、特開2002−26300号公報に記載された層構成と同様である。   The X-ray image detector 13 includes a gate scanning line 33, a scanning circuit 34, a signal line 35, and a readout circuit 36. The gate scanning line 33 is provided for each row of the pixel unit 30. The scanning circuit 34 applies a scanning signal for turning on / off the TFT 32 to each gate scanning line 33. The signal line 35 is provided for each column of the pixel unit 30. The readout circuit 36 reads out electric charges from the pixel unit 30 through the signal lines 35, converts them into image data, and outputs them. The detailed layer configuration of each pixel unit 30 is the same as the layer configuration described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-26300, for example.

読み出し回路36は、積分アンプ、A/D変換器、補正回路(いずれも図示せず)等を備える。積分アンプは、各画素部30から信号線35を介して出力された電荷を積分して画像信号を生成する。A/D変換器は、積分アンプにより生成された画像信号を、デジタル形式の画像データに変換する。補正回路は、画像データに対して、暗電流補正、ゲイン補正、リニアリティ補正等を行う。この補正後の画像データがメモリ14に記憶される。   The readout circuit 36 includes an integration amplifier, an A / D converter, a correction circuit (none of which is shown), and the like. The integrating amplifier integrates the charges output from each pixel unit 30 via the signal line 35 to generate an image signal. The A / D converter converts the image signal generated by the integrating amplifier into digital image data. The correction circuit performs dark current correction, gain correction, linearity correction, and the like on the image data. The corrected image data is stored in the memory 14.

X線画像検出器13は、入射X線を半導体膜で直接電荷に変換する直接変換型に限られず、ヨウ化セシウム(CsI)やガドリウムオキシサルファイド(GOS)等のシンチレータで入射X線を可視光に変換し、可視光をフォトダイオードで電荷に変換する間接変換型であってもよい。さらに、X線画像検出器13を、シンチレータとCMOSセンサ等の固体撮像素子とを組み合わせて構成してもよい。   The X-ray image detector 13 is not limited to the direct conversion type in which incident X-rays are directly converted into electric charges with a semiconductor film, and the incident X-rays are visible with a scintillator such as cesium iodide (CsI) or gadolinium oxysulfide (GOS). It may be an indirect conversion type that converts light into light and converts visible light into electric charge with a photodiode. Furthermore, the X-ray image detector 13 may be configured by combining a scintillator and a solid-state imaging device such as a CMOS sensor.

X線画像検出器13により生成される画像データには、信号線35やゲート走査線33の異常により、信号線35に沿う方向(以下、列方向という)やゲート走査線33に沿う方向(以下、行方向という)に複数の異常画素値が並んだ線状欠陥が生じることがある。この線状欠陥を含む画素欠陥のマップ情報は、X線画像検出器13の製造最終段階の検査工程において取得される。   The image data generated by the X-ray image detector 13 includes a direction along the signal line 35 (hereinafter referred to as a column direction) and a direction along the gate scanning line 33 (hereinafter referred to as “line direction”) due to abnormality of the signal line 35 and the gate scanning line 33. A linear defect in which a plurality of abnormal pixel values are arranged in the row direction may occur. The map information of the pixel defect including the linear defect is acquired in the inspection process at the final manufacturing stage of the X-ray image detector 13.

X線画像検出器13は、第1及び第2の格子21,22の格子方向(Y方向)に線状欠陥の方向が一致しないように配置されている。例えば、X線画像検出器13の信号線35に異常が生じ、列方向に沿って線状欠陥が生じた場合には、行方向がY方向に沿うようにX線画像検出器13を配置する。なお、列方向と行方向との双方に線状欠陥が存在する場合には、列方向と行方向とのうち線状欠陥が少ない方向がY方向に沿うようにX線画像検出器13を配置する。   The X-ray image detector 13 is arranged so that the direction of the linear defect does not coincide with the lattice direction (Y direction) of the first and second lattices 21 and 22. For example, when an abnormality occurs in the signal line 35 of the X-ray image detector 13 and a linear defect occurs along the column direction, the X-ray image detector 13 is arranged so that the row direction is along the Y direction. . When there are linear defects in both the column direction and the row direction, the X-ray image detector 13 is arranged so that the direction with few linear defects in the column direction and the row direction is along the Y direction. To do.

図3において、X線源11から放射されるX線は、X線焦点11aを発光点としたコーンビームである。第1の格子21は、タルボ効果が生じず、X線透過部21bを通過したX線をほぼ幾何光学的に投影するように構成される。具体的には、X方向へのX線透過部21bの幅を、X線源11から照射されるX線の実効波長より十分大きな値とし、X線の大部分がX線透過部21bで回折しないようにすることで実現される。X線源11の回転陽極としてタングステンを用い、管電圧を50kVとした場合には、X線の実効波長は約0.4Åである。この場合には、X線透過部21bの幅を1〜10μm程度とすればよい。   In FIG. 3, X-rays radiated from the X-ray source 11 are cone beams having the X-ray focal point 11a as a light emission point. The first grating 21 is configured so as not to cause the Talbot effect and to project the X-rays that have passed through the X-ray transmission part 21b substantially geometrically. Specifically, the width of the X-ray transmission part 21b in the X direction is set to a value sufficiently larger than the effective wavelength of X-rays irradiated from the X-ray source 11, and most of the X-rays are diffracted by the X-ray transmission part 21b. It is realized by not doing. When tungsten is used as the rotating anode of the X-ray source 11 and the tube voltage is 50 kV, the effective wavelength of X-rays is about 0.4 mm. In this case, the width of the X-ray transmission part 21b may be about 1 to 10 μm.

これにより、G1像は、第1の格子21からZ方向下流への距離に依らず、常に第1の格子21の自己像となる。G1像は、X線焦点11aからZ方向下流への距離に比例して拡大される。   As a result, the G1 image is always a self-image of the first grating 21 regardless of the distance from the first grating 21 downstream in the Z direction. The G1 image is enlarged in proportion to the distance from the X-ray focal point 11a to the downstream in the Z direction.

第2の格子22の格子ピッチpは、前述のように、第2の格子22の格子パターンが第2の格子22の位置におけるG1像に一致するように設定されている。具体的には、第2の格子22の格子ピッチpは、第1の格子21の格子ピッチp、X線焦点11aと第1の格子21との間の距離L、第1の格子21と第2の格子22との間の距離Lと、下式(1)をほぼ満たすように設定されている。 As described above, the grating pitch p 2 of the second grating 22 is set so that the grating pattern of the second grating 22 matches the G1 image at the position of the second grating 22. Specifically, the grating pitch p 2 of the second grating 22, the distance L 1 between the grating pitch p 1, X-ray focal point 11a and the first grating 21 of the first grating 21, the first grating 21 and the distance L 2 between the second grating 22, is set following equation (1) so as to satisfy substantially.

G1像は、被検体HでX線に位相変化が生じて屈折することにより変調される。この変調量には、被検体HでのX線の屈折角φ(x)が反映される。同図には、被検体HでのX線の位相変化を表す位相シフト分布Φ(x)に応じて屈折するX線の経路が例示されている。符号X1は、被検体Hが存在しない場合にX線が直進する経路を示し、符号X2は、被検体Hにより屈折したX線の経路を示している。   The G1 image is modulated by being refracted by a phase change in the X-ray at the subject H. This modulation amount reflects the X-ray refraction angle φ (x) of the subject H. The figure illustrates an X-ray path that is refracted in accordance with a phase shift distribution Φ (x) representing a phase change of the X-ray in the subject H. Reference numeral X1 indicates a path along which the X-ray goes straight when the subject H does not exist, and reference numeral X2 indicates an X-ray path refracted by the subject H.

位相シフト分布Φ(x)は、X線の波長をλ、被検体Hの屈折率分布をn(x,z)として、下式(2)で表される。   The phase shift distribution Φ (x) is expressed by the following equation (2), where X-ray wavelength is λ and the refractive index distribution of the subject H is n (x, z).

屈折角φ(x)は、位相シフト分布Φ(x)と、下式(3)の関係にある。   The refraction angle φ (x) is in the relationship of the phase shift distribution Φ (x) and the following equation (3).

第2の格子22の位置において、X線は、屈折角φ(x)に応じた量だけX方向に変位する。この変位量Δxは、X線の屈折角φ(x)が微小であることに基づいて、近似的に下式(4)で表される。   At the position of the second grating 22, the X-ray is displaced in the X direction by an amount corresponding to the refraction angle φ (x). This displacement amount Δx is approximately expressed by the following equation (4) based on the fact that the X-ray refraction angle φ (x) is very small.

このように、変位量Δxは、位相シフト分布Φ(x)の微分値に比例する。そして、変位量Δxは、後述する強度変調信号の位相ズレ量ψ(x)(被検体Hがある場合とない場合とでの強度変調信号の位相ズレ量)と、下式(5)に示すように関連している。   Thus, the displacement amount Δx is proportional to the differential value of the phase shift distribution Φ (x). The displacement amount Δx is expressed by a phase shift amount ψ (x) of the intensity modulation signal (phase shift amount of the intensity modulation signal with and without the subject H), which will be described later, and the following equation (5). Are related.

上式(3)〜(5)から、強度変調信号の位相ズレ量ψ(x)を求めることにより、位相微分画像が得られることが分かる。なお、位相ズレ量ψ(x)に定数を乗じたり加算したりしたものを位相微分画像と定義してもよい。   From the above equations (3) to (5), it is understood that a phase differential image can be obtained by obtaining the phase shift amount ψ (x) of the intensity modulation signal. A phase differential image may be defined by multiplying or adding a constant to the phase shift amount ψ (x).

図4において、G1像が第2の格子22に対してZ軸周りに僅かに傾斜するように、第1の格子21は、第2の格子22に対してZ軸周りに角度θだけ傾斜して配置される。この配置により、G2像には、Y方向に下式(6)で表される周期T(以下、モアレ周期Tという)を有するモアレ縞MSが生じる。   In FIG. 4, the first grating 21 is inclined with respect to the second grating 22 by an angle θ around the Z axis so that the G1 image is slightly inclined with respect to the second grating 22 around the Z axis. Arranged. With this arrangement, a moiré fringe MS having a period T (hereinafter referred to as a moiré period T) represented by the following expression (6) is generated in the G2 image.

X線画像検出器13の画素部30のX方向の大きさをDx(以下、主画素サイズDxという)、Y方向の大きさをDy(以下、副画素サイズDyという)とする。第2の格子22の傾斜角θは、モアレ周期Tが副画素サイズDyのほぼ整数倍となるように設定されている。主画素サイズDxは、副画素サイズDyとほぼ同一とする。   The size in the X direction of the pixel portion 30 of the X-ray image detector 13 is assumed to be Dx (hereinafter referred to as a main pixel size Dx), and the size in the Y direction is referred to as Dy (hereinafter referred to as a subpixel size Dy). The inclination angle θ of the second grating 22 is set so that the moire period T is substantially an integral multiple of the sub-pixel size Dy. The main pixel size Dx is substantially the same as the subpixel size Dy.

図5において、Y方向に沿って並ぶM個の画素部30を1グループGr(x,n)とする。ここで、M,nは、正の整数である。nは、1グループGr(x,n)内の先頭の画素部30のy座標を表している。本実施形態では、1グループGr(x,n)内の画素数Mを、1モアレ周期Tに含まれる画素数ν(図4の例では、ν=5)と同一とする。   In FIG. 5, M pixel units 30 arranged along the Y direction are defined as one group Gr (x, n). Here, M and n are positive integers. n represents the y coordinate of the first pixel unit 30 in one group Gr (x, n). In the present embodiment, the number of pixels M in one group Gr (x, n) is made equal to the number of pixels ν (ν = 5 in the example of FIG. 4) included in one moire cycle T.

I(x,y)は、座標x,yの画素部30の画素値を示している。各画素値I(x,y)は、メモリ14に記憶された画像データから取得される。1グループGr(x,n)内の画素値I(x,n)〜I(x,n+M−1)は、図6に示すように、1周期分の強度変調信号を構成する。これは、1モアレ周期T内における画素部30のy座標に応じて、G1像と第2の格子22とのX方向への重なり度合いが異なり、強度変調量が変化することによる。したがって、1グループGr(x,n)内の画素値I(x,n)〜I(x,n+M−1)が構成する強度変調信号は、従来の縞走査法において、第1または第2の格子を、その格子方向にほぼ垂直な方向(X方向)に間欠移動させながら取得した1周期分の強度変調信号に相当する。   I (x, y) indicates the pixel value of the pixel unit 30 at the coordinates x and y. Each pixel value I (x, y) is acquired from the image data stored in the memory 14. Pixel values I (x, n) to I (x, n + M−1) in one group Gr (x, n) constitute an intensity-modulated signal for one period as shown in FIG. This is because the degree of overlap between the G1 image and the second grating 22 in the X direction differs depending on the y coordinate of the pixel unit 30 within one moire period T, and the intensity modulation amount changes. Therefore, the intensity modulation signal formed by the pixel values I (x, n) to I (x, n + M−1) in one group Gr (x, n) is the first or second in the conventional fringe scanning method. This corresponds to an intensity modulation signal for one period acquired while intermittently moving the grating in a direction (X direction) substantially perpendicular to the grating direction.

同図において、ψ(x,n)は、被検体Hが配置されていない場合の強度変調信号(破線)に対する被検体Hが配置された場合の強度変調信号(実線)の位相ズレ量を示している。   In the figure, ψ (x, n) indicates the phase shift amount of the intensity modulation signal (solid line) when the object H is arranged with respect to the intensity modulation signal (dashed line) when the object H is not arranged. ing.

前述のように、X線画像検出器13は、列方向と行方向とのうち線状欠陥が少ない方向がY方向に沿うように配置されているため、線状欠陥は、図7に示すように、X方向に沿って生じやすい。グループGr(x,n)は、Y方向に延伸するように設定されるため、グループGr(x,n)内の画素値がすべて異常画素値となる確率は低い。   As described above, since the X-ray image detector 13 is arranged so that the direction with few linear defects in the column direction and the row direction is along the Y direction, the linear defects are as shown in FIG. It tends to occur along the X direction. Since the group Gr (x, n) is set to extend in the Y direction, the probability that all the pixel values in the group Gr (x, n) are abnormal pixel values is low.

図8において、画像処理部15は、グループ設定部40、画素欠陥情報記憶部41、異常画素値除去部42、位相微分画像生成部43、位相コントラスト画像生成部44、及び正常画素値計数部45を有する。   8, the image processing unit 15 includes a group setting unit 40, a pixel defect information storage unit 41, an abnormal pixel value removal unit 42, a phase differential image generation unit 43, a phase contrast image generation unit 44, and a normal pixel value counting unit 45. Have

グループ設定部40は、図9に示すように、X方向に並ぶ画素部30の各列について、グループGr(x,n)の先頭の座標をY方向に1画素ずつ変更しながら(nを1ずつ変更しながら)、設定可能な最終グループに達するまで、グループGr(x,n)を順に設定する。   As shown in FIG. 9, the group setting unit 40 changes the leading coordinates of the group Gr (x, n) one pixel at a time in the Y direction for each column of the pixel units 30 arranged in the X direction (n is set to 1). The group Gr (x, n) is set in order until the last settable group is reached.

画素欠陥情報記憶部41は、前述のように、X線画像検出器13の製造最終段階の検査工程で取得された線状欠陥を含む画素欠陥のマップ情報を記憶する。異常画素値除去部42は、画素欠陥情報記憶部41に記憶された画素欠陥のマップ情報に基づき、各グループGr(x,n)内の画素値から異常画素値を除去する。   As described above, the pixel defect information storage unit 41 stores pixel defect map information including linear defects acquired in the inspection process at the final manufacturing stage of the X-ray image detector 13. The abnormal pixel value removing unit 42 removes abnormal pixel values from the pixel values in each group Gr (x, n) based on the pixel defect map information stored in the pixel defect information storage unit 41.

位相微分画像生成部43は、異常画素値が除去された各グループGr(x,n)内の正常画素値のみを用いて強度変調信号を構成し、各強度変調信号の位相ズレ量ψ(x,n)を算出することにより位相微分画像を生成する。具体的には、位相微分画像生成部43は、縞走査法と同様な方法により位相微分画像を生成する。この方法は、例えば、「応用光学 光計測入門 谷田貝豊彦著 丸善株式会社 136〜138頁」により知られている。   The phase differential image generation unit 43 configures an intensity modulation signal using only normal pixel values in each group Gr (x, n) from which abnormal pixel values have been removed, and a phase shift amount ψ (x , N) to generate a phase differential image. Specifically, the phase differential image generation unit 43 generates a phase differential image by a method similar to the fringe scanning method. This method is known, for example, from “Introduction to Applied Optical Measurement” by Toyohiko Yadagai, Maruzen Co., pp. 136-138

位相微分画像生成部43は、下記の連立方程式(7)〜(9)を演算し、演算結果を次式(10)に適用することにより、位相ズレ量ψ(x,n)を算出する。   The phase differential image generation unit 43 calculates the following simultaneous equations (7) to (9), and calculates the phase shift amount ψ (x, n) by applying the calculation result to the following equation (10).




ここで、参照位相δは、下式(11)で表される。 Here, the reference phase δ k is expressed by the following equation (11).

なお、位相微分画像生成部43は、連立方程式(7)〜(9)において、各左辺の和から異常画素値に対応する走査位置kの項を除外して演算を行う。ここで、異常画素値に対応する走査位置kの項が除外されることにより、参照位相δは非等間隔となる。例えば、図10に示すように、画素値I(x,n+1)が異常画素値である場合には、k=1の項が連立方程式(7)〜(9)の各左辺の和から除外され、非等間隔の参照位相δ,δ〜δM−1に対応する正常画素値I(x,n),I(x,n+2)〜I(x,n+M−1)を用いて演算が行われる。これは、同図に示すように、正常画素値I(x,n),I(x,n+2)〜I(x,n+M−1)のみを正弦波でフィッティングし、このフィッティング波形の位相ズレ量ψ(x,n)を算出することに相当する。 Note that the phase differential image generation unit 43 performs the calculation in the simultaneous equations (7) to (9) by excluding the term of the scanning position k corresponding to the abnormal pixel value from the sum of the left sides. Here, the term of the scanning position k corresponding to the abnormal pixel value is excluded, so that the reference phase δ k becomes unequal. For example, as shown in FIG. 10, when the pixel value I (x, n + 1) is an abnormal pixel value, the k = 1 term is excluded from the sum of the left sides of the simultaneous equations (7) to (9). The calculation is performed using normal pixel values I (x, n) and I (x, n + 2) to I (x, n + M-1) corresponding to the non-equally spaced reference phases δ 0 , δ 2 to δ M−1. Done. This is because, as shown in the figure, only normal pixel values I (x, n), I (x, n + 2) to I (x, n + M−1) are fitted with sine waves, and the phase shift amount of this fitting waveform This corresponds to calculating ψ (x, n).

位相コントラスト画像生成部44は、位相微分画像生成部43により生成された位相微分画像をX方向に沿って積分処理することにより、位相シフト分布を表す位相コントラスト画像を生成する。   The phase contrast image generation unit 44 generates a phase contrast image representing the phase shift distribution by integrating the phase differential image generated by the phase differential image generation unit 43 along the X direction.

正常画素値計数部45は、異常画素値除去部42により除去された異常画素値以外の正常画素値の数を、各グループGr(x,n)ごとにカウントする。システム制御部19は、正常画素値のカウント数Cが所定の基準値S(例えば3)より少ないグループGr(x,n)が存在するか否かを判定する。カウント数Cが基準値Sより少ないグループGr(x,n)が存在する場合には、そのグループGr(x,n)に対応する強度変調信号の位相ズレ量ψ(x,n)が精度よく算出されないため、システム制御部19は、モニタ18bを制御して、異常が生じている旨のエラーメッセージの表示(エラー報知)を行う。ここで、システム制御部19及びモニタ18bがエラー報知部を構成する。なお、このエラー報知を、音声やランプの点灯等により行ってもよい。   The normal pixel value counting unit 45 counts the number of normal pixel values other than the abnormal pixel value removed by the abnormal pixel value removing unit 42 for each group Gr (x, n). The system control unit 19 determines whether or not there is a group Gr (x, n) in which the normal pixel value count C is smaller than a predetermined reference value S (for example, 3). When there is a group Gr (x, n) in which the count number C is smaller than the reference value S, the phase shift amount ψ (x, n) of the intensity modulation signal corresponding to the group Gr (x, n) is accurate. Since it is not calculated, the system control unit 19 controls the monitor 18b to display an error message indicating that an abnormality has occurred (error notification). Here, the system control unit 19 and the monitor 18b constitute an error notification unit. Note that this error notification may be performed by voice or lighting of a lamp.

なお、上記の連立方程式(7)〜(9)でパラメータがa,a,aの3個であることから分かるように、位相ズレ量ψ(x,y)の算出には、正常画素値の数が最低3個必要である。このため、基準値Sを“3”とすることが好ましい。また、いわゆるサンプリング定理を満たすためには、正常画素値の数は、最低4個必要であるため、より厳しく、基準値Sを“4”とすることも好ましい。 As can be seen from the fact that there are three parameters a 0 , a 1 , and a 2 in the simultaneous equations (7) to (9), the calculation of the phase shift amount ψ (x, y) is normal. At least three pixel values are required. For this reason, it is preferable to set the reference value S to “3”. Further, in order to satisfy the so-called sampling theorem, the number of normal pixel values needs to be at least four. Therefore, it is preferable to set the reference value S to “4” more strictly.

次に、図11に示すフローチャートに沿ってX線撮影装置10の作用を説明する。被検体Hが配置され、操作部18aにより撮影指示がなされると(ステップS10でYES)、X線源11によりX線が放射され、被検体H、第1及び第2の格子21,22を介して生成されたG2像がX線画像検出器13により検出され画像データが生成される(ステップS11)。   Next, the operation of the X-ray imaging apparatus 10 will be described along the flowchart shown in FIG. When the subject H is placed and an imaging instruction is given by the operation unit 18a (YES in step S10), X-rays are emitted from the X-ray source 11, and the subject H, the first and second gratings 21 and 22 are passed through. The G2 image generated via the X-ray image detector 13 is detected and image data is generated (step S11).

画像データがメモリ14に格納されると、グループ設定部40により、前述のグループGr(x,n)が設定され(ステップS13)、異常画素値除去部42により、画素欠陥情報記憶部41に記憶された画素欠陥のマップ情報に基づき、グループGr(x,n)内の画素値から異常画素値が除去される(ステップS14)。異常画素値が除去されると、正常画素値計数部45により、グループGr(x,n)内の正常画素値の数がカウントされる(ステップS15)。   When the image data is stored in the memory 14, the group Gr (x, n) is set by the group setting unit 40 (step S 13), and is stored in the pixel defect information storage unit 41 by the abnormal pixel value removal unit 42. The abnormal pixel value is removed from the pixel values in the group Gr (x, n) based on the map information of the pixel defect thus made (step S14). When the abnormal pixel value is removed, the normal pixel value counting unit 45 counts the number of normal pixel values in the group Gr (x, n) (step S15).

システム制御部19により、グループGr(x,n)内の正常画素値のカウント数Cが所定の基準値Sより少ないか否かが判定され(ステップS16)、カウント数Cが基準値Sより少ない場合には(ステップS16でYES)、モニタ18bにエラーメッセージの表示が行われる(ステップS17)。この場合には、位相微分画像及び位相コントラスト画像の生成が行われずに動作が終了する。   The system control unit 19 determines whether or not the count number C of normal pixel values in the group Gr (x, n) is smaller than a predetermined reference value S (step S16), and the count number C is smaller than the reference value S. In that case (YES in step S16), an error message is displayed on the monitor 18b (step S17). In this case, the operation ends without generating the phase differential image and the phase contrast image.

一方、カウント数Cが基準値S以上の場合には(ステップS16でNO)、位相微分画像生成部43により、異常画素値が除去された各グループGr(x,n)内の正常画素値のみを用いて強度変調信号が構成され、その位相ズレ量ψ(x,n)が算出される(ステップS18)。   On the other hand, when the count number C is greater than or equal to the reference value S (NO in step S16), only normal pixel values in each group Gr (x, n) from which the abnormal pixel values have been removed by the phase differential image generation unit 43. Is used to construct an intensity modulation signal, and its phase shift amount ψ (x, n) is calculated (step S18).

そして、ステップS13で設定したグループGr(x,n)が最終グループであるか否かが判定され(ステップS19)、最終グループでない場合には(ステップS19でNO)、グループ設定部40により、グループGr(x,n)の先頭の座標がY方向に1画素分変更され(ステップS20)、新たなグループGr(x,n)が設定される(ステップS13)。なお、ステップS20において、グループGr(x,n)をY方向に変更し、Y方向に関して設定可能な最終グループに達した場合には、X方向に隣接する画素列について同様にグループGr(x,n)が設定される。   Then, it is determined whether or not the group Gr (x, n) set in step S13 is the final group (step S19). If it is not the final group (NO in step S19), the group setting unit 40 causes the group The first coordinate of Gr (x, n) is changed by one pixel in the Y direction (step S20), and a new group Gr (x, n) is set (step S13). In step S20, when the group Gr (x, n) is changed in the Y direction and the final group that can be set in the Y direction is reached, the group Gr (x, n) is similarly applied to pixel columns adjacent in the X direction. n) is set.

このように、グループGr(x,n)が変更されながら、ステップS13〜S19が繰り返し実行される。そして、グループGr(x,n)が最終グループに達した場合には(ステップS19でYES)、1画面分の位相ズレ量ψ(x,n)の算出結果により位相微分画像が生成される(ステップS21)。   As described above, steps S13 to S19 are repeatedly executed while the group Gr (x, n) is changed. When the group Gr (x, n) reaches the final group (YES in step S19), a phase differential image is generated based on the calculation result of the phase shift amount ψ (x, n) for one screen ( Step S21).

そして、位相コントラスト画像生成部44により、位相微分画像に対して積分処理が行われて、位相コントラスト画像が生成される(ステップS22)。モニタ18bには、位相微分画像及び位相コントラスト画像が画像表示される(ステップS23)。このように、画像データから異常画素値が除去されたうえで、位相ズレ量ψ(x,n)が算出されるため、精度よく位相微分画像及び位相コントラスト画像が生成される。   Then, the phase contrast image generation unit 44 performs an integration process on the phase differential image to generate a phase contrast image (step S22). A phase differential image and a phase contrast image are displayed on the monitor 18b (step S23). As described above, since the abnormal pixel value is removed from the image data and the phase shift amount ψ (x, n) is calculated, the phase differential image and the phase contrast image are generated with high accuracy.

なお、上記実施形態では、図5に示すように、1グループGr(x,n)内の画素数Mを、1モアレ周期Tに含まれる画素数νと同一としているが、図12に示すように、1グループGr(x,n)内の画素数Mを、1モアレ周期Tに含まれる画素数νのN倍(ここで、Nは2以上の整数)と同一としてもよい。   In the above embodiment, as shown in FIG. 5, the number of pixels M in one group Gr (x, n) is the same as the number of pixels ν included in one moire period T, but as shown in FIG. In addition, the number of pixels M in one group Gr (x, n) may be the same as N times the number of pixels ν included in one moire period T (where N is an integer of 2 or more).

また、図13に示すように、1グループGr(x,n)内の画素数Mは、1モアレ周期Tに含まれる画素数νまたはそのN倍と一致しなくてもよい。さらに、図14に示すように、1グループGr(x,n)内の画素数Mは、1モアレ周期Tに含まれる画素数νより少なくてもよい。   Further, as shown in FIG. 13, the number M of pixels in one group Gr (x, n) may not match the number of pixels ν included in one moire period T or N times the number. Furthermore, as shown in FIG. 14, the number of pixels M in one group Gr (x, n) may be smaller than the number of pixels ν included in one moire period T.

また、上記実施形態では、グループ設定部40は、図9に示すように、グループGr(x,n)をY方向に1画素ずつ変更しているが、グループGr(x,n)を、Y方向に2以上の画素数を単位として変更してもよい。   In the above embodiment, the group setting unit 40 changes the group Gr (x, n) one pixel at a time in the Y direction as shown in FIG. 9, but the group Gr (x, n) is changed to Y The direction may be changed in units of two or more pixels.

また、上記実施形態では、第2の格子22のX線吸収部22aの延伸方向をY方向とし、これに対して第1の格子21のX線吸収部21aの延伸方向を角度θだけ傾斜させているが、逆に、第1の格子21のX線吸収部21aの延伸方向をY方向とし、これに対して第2の格子22のX線吸収部22aの延伸方向を角度θだけ傾斜させてもよい。さらには、y方向に対して、第1の格子21のX線吸収部21aの延伸方向と、第2の格子22のX線吸収部22aの延伸方向とを逆方向に傾斜させ、両者が角度θをなすようにしてもよい。   Moreover, in the said embodiment, the extending | stretching direction of the X-ray absorption part 22a of the 2nd grating | lattice 22 is made into a Y direction, and the extending | stretching direction of the X-ray absorption part 21a of the 1st grating | lattice 21 is made to incline by angle (theta) with respect to this. However, conversely, the extending direction of the X-ray absorbing portion 21a of the first grating 21 is defined as the Y direction, and the extending direction of the X-ray absorbing portion 22a of the second grating 22 is inclined by an angle θ. May be. Furthermore, the extending direction of the X-ray absorbing portion 21a of the first grating 21 and the extending direction of the X-ray absorbing portion 22a of the second grating 22 are inclined in the opposite direction with respect to the y direction, and both are angled. You may make it make (theta).

また、上記実施形態では、カウント数Cが基準値Sより少ない場合に、位相微分画像及び位相コントラスト画像の生成を行わずに動作を終了しているが、カウント数Cが基準値Sより少ないグループが所定数に達した場合に、位相微分画像及び位相コントラスト画像の生成を行わずに動作を終了してもよい。また、これらの終了動作を行わずに、カウント数Cが基準値Sより少ないグループの検出のみを行い、位相微分画像及び位相コントラスト画像の生成を行ってもよい。この場合、位相微分画像を生成した後、カウント数Cが基準値Sより少ないグループに対応する画素を周辺画素の画素値を用いて補間すればよい。   In the above-described embodiment, when the count number C is smaller than the reference value S, the operation is finished without generating the phase differential image and the phase contrast image. May be terminated without generating the phase differential image and the phase contrast image. In addition, without performing these end operations, only a group having a count C smaller than the reference value S may be detected to generate a phase differential image and a phase contrast image. In this case, after generating the phase differential image, the pixels corresponding to the group having the count number C smaller than the reference value S may be interpolated using the pixel values of the peripheral pixels.

また、上記実施形態では、X線画像検出器13は、第2の格子22の背後に近接して配置され、第2の格子22により生成されるG2像をほぼ等倍率で検出しているが、X線画像検出器13と第2の格子22との間に間隔を設けてもよい。X線画像検出器13と第2の格子22とのZ方向への間隔をLとすると、下式(12)の倍率Rで拡大されたG2像がX線画像検出器13により検出される。 In the above-described embodiment, the X-ray image detector 13 is disposed close to the back of the second grating 22 and detects the G2 image generated by the second grating 22 at substantially the same magnification. A space may be provided between the X-ray image detector 13 and the second grating 22. When an X-ray image detector 13 spacing in the Z direction between the second grid 22 and L 3, G2 image is enlarged at a magnification R of the formula (12) is detected by the X-ray image detector 13 .

この場合には、X線画像検出器13により検出されるモアレ縞の周期T’は、上式(6)で表されるモアレ周期TのR倍(すなわちT’=RT)となる。このため、モアレ周期T’に基づいて、同様にグループGr(x,n)の設定を行えばよい。   In this case, the moire fringe period T ′ detected by the X-ray image detector 13 is R times the moire period T expressed by the above equation (6) (that is, T ′ = RT). For this reason, the group Gr (x, n) may be similarly set based on the moire cycle T ′.

(第2実施形態)
上記第1実施形態では、第1及び第2の格子21,22の格子面内方向への相対的な傾斜によりG2像にモアレ縞を生じさせているが、本実施形態では、第1及び第2の格子21,22を傾斜させずに、上式(1)の関係を僅かに崩すように第1及び第2の格子21,22の位置関係(距離L,L)、若しくは第1及び第2の格子21,22の格子ピッチp,pを調整することで、図15に示すように、X方向に周期を有するモアレ縞MSをG2像に生じさせる。
(Second Embodiment)
In the first embodiment, moire fringes are generated in the G2 image by the relative inclination of the first and second gratings 21 and 22 in the lattice plane direction. In the present embodiment, the first and first gratings are generated. The positional relation (distance L 1 , L 2 ) of the first and second gratings 21 and 22 or the first so as to slightly break the relation of the above formula (1) without tilting the two gratings 21 and 22. Further, by adjusting the grating pitches p 1 and p 2 of the second gratings 21 and 22, moiré fringes MS having a period in the X direction are generated in the G2 image as shown in FIG.

第2の格子22の位置でのG1像のX方向へのパターン周期pは、第2の格子22の格子ピッチpとは僅かにずれている。モアレ縞MSは、X方向に、下式(13)で表される周期Tを有する。 The pattern period p 3 in the X direction of the G1 image at the position of the second grating 22 is slightly shifted from the grating pitch p 2 of the second grating 22. Moire fringes MS have a period T expressed by the following expression (13) in the X direction.

本実施形態では、X線画像検出器13は、第1及び第2の格子21,22の格子方向に直交する方向(X方向)に線状欠陥の方向が一致しないように配置されている。例えば、X線画像検出器13の信号線35に異常が生じ、列方向に沿って線状欠陥が生じた場合には、行方向がX方向に沿うようにX線画像検出器13を配置する。なお、列方向と行方向との双方に線状欠陥が存在する場合には、列方向と行方向とのうち線状欠陥が少ない方向がX方向に沿うようにX線画像検出器13を配置する。   In the present embodiment, the X-ray image detector 13 is arranged so that the direction of the linear defect does not coincide with the direction (X direction) orthogonal to the lattice direction of the first and second lattices 21 and 22. For example, when an abnormality occurs in the signal line 35 of the X-ray image detector 13 and a linear defect occurs along the column direction, the X-ray image detector 13 is arranged so that the row direction is along the X direction. . When there are linear defects in both the column direction and the row direction, the X-ray image detector 13 is arranged so that the direction with few linear defects in the column direction and the row direction is along the X direction. To do.

本実施形態では、グループ設定部40は、図16に示すように、Y方向に並ぶ画素部30の各行について、グループGr(n,y)の先頭の座標をX方向に1画素ずつ変更しながら(nを1ずつ変更しながら)、設定可能な最終グループに達するまで、グループGr(n,y)を順に設定する。異常画素値除去部42は、画素欠陥情報記憶部41に記憶された画素欠陥のマップ情報に基づき、各グループGr(n,y)内の画素値から異常画素値を除去する。   In the present embodiment, as shown in FIG. 16, the group setting unit 40 changes the leading coordinates of the group Gr (n, y) one pixel at a time in the X direction for each row of the pixel units 30 arranged in the Y direction. The group Gr (n, y) is sequentially set until reaching the final settable group (while changing n by 1). The abnormal pixel value removing unit 42 removes abnormal pixel values from the pixel values in each group Gr (n, y) based on the pixel defect map information stored in the pixel defect information storage unit 41.

前述のように、X線画像検出器13は、列方向と行方向とのうち線状欠陥が少ない方向がX方向に沿うように配置されているため、線状欠陥は、Y方向に沿って生じやすい。グループGr(n,y)は、X方向に延伸するように設定されるため、グループGr(n,y)内の画素値がすべて異常画素値となる確率は低い。   As described above, since the X-ray image detector 13 is arranged so that the direction with few linear defects in the column direction and the row direction is along the X direction, the linear defects are along the Y direction. Prone to occur. Since the group Gr (n, y) is set to extend in the X direction, the probability that all the pixel values in the group Gr (n, y) are abnormal pixel values is low.

位相微分画像生成部43は、異常画素値が除去された各グループGr(n,y)内の正常画素値のみを用いて強度変調信号を構成し、各強度変調信号の位相ズレ量ψ(n,y)を算出することにより位相微分画像を生成する。位相ズレ量ψ(n,y)の算出方法は、第1実施形態と同様である。具体的には、下記の連立方程式(14)〜(16)を演算し、演算結果を次式(17)に適用すればよい。   The phase differential image generation unit 43 configures an intensity modulation signal using only normal pixel values in each group Gr (n, y) from which abnormal pixel values have been removed, and the phase shift amount ψ (n) of each intensity modulation signal , Y) to generate a phase differential image. The method of calculating the phase shift amount ψ (n, y) is the same as in the first embodiment. Specifically, the following simultaneous equations (14) to (16) may be calculated, and the calculation result may be applied to the following expression (17).




位相微分画像生成部43は、連立方程式(14)〜(16)において、各左辺の和から異常画素値に対応する走査位置kの項を除外して演算を行う。ここで、異常画素値に対応する走査位置kの項が除外されることにより、参照位相δは非等間隔となる。 In the simultaneous equations (14) to (16), the phase differential image generation unit 43 performs the calculation by excluding the term of the scanning position k corresponding to the abnormal pixel value from the sum of the left sides. Here, the term of the scanning position k corresponding to the abnormal pixel value is excluded, so that the reference phase δ k becomes unequal.

なお、本実施形態においてもX線画像検出器13と第2の格子22との間に間隔Lを設けてもよい。この場合には、上式(13)で表されるモアレ周期Tに、上式(12)で表される倍率Rを乗じたモアレ周期T’に基づいてグループGr(n,y)を設定すればよい。 In this embodiment as well, an interval L 3 may be provided between the X-ray image detector 13 and the second grating 22. In this case, the group Gr (n, y) is set based on the moire cycle T ′ obtained by multiplying the moire cycle T represented by the above equation (13) by the magnification R represented by the above equation (12). That's fine.

本実施形態においても第1実施形態と同様に、1グループGr(n,y)内の画素数Mは、1モアレ周期Tに含まれる画素数νまたはそのN倍と一致しなくてもよい。さらに、グループ再設定部61は、グループGr(n,y)を、X方向に2以上の画素数を単位として変更してもよい。本実施形態のX線撮影装置のその他の構成及び作用は、第1実施形態と同一であるため説明は省略する。   Also in this embodiment, as in the first embodiment, the number of pixels M in one group Gr (n, y) may not match the number of pixels ν included in one moire period T or N times that number. Further, the group resetting unit 61 may change the group Gr (n, y) in units of two or more pixels in the X direction. Other configurations and operations of the X-ray imaging apparatus of the present embodiment are the same as those of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted.

なお、第1実施形態で示した第1及び第2の格子21,22の格子面内方向への相対的な傾斜と、第2実施形態で示した第1及び第2の格子21,22の位置関係や格子ピッチのずれが同時に生じることにより、X方向とY方向とのいずれにも平行でない方向に周期を有するモアレ縞がG2像に生じることがある。この場合には、モアレ縞はX方向及びY方向に成分を有するため、第1または第2実施形態のいずれかの方法を用いることにより位相微分画像を生成することが可能である。また、この場合には、X方向とY方向とのいずれにも平行でない斜め方向に並ぶ複数の画素部30によりグループを構成し、同様に位相微分画像を生成することも可能である。   Note that the relative inclination of the first and second gratings 21 and 22 in the first embodiment to the in-lattice direction and the first and second gratings 21 and 22 shown in the second embodiment are the same. When the positional relationship or the lattice pitch shifts simultaneously, moire fringes having a period in a direction not parallel to either the X direction or the Y direction may occur in the G2 image. In this case, since the moire fringes have components in the X direction and the Y direction, a phase differential image can be generated by using any one of the methods of the first and second embodiments. In this case, it is also possible to form a group by a plurality of pixel units 30 arranged in an oblique direction not parallel to either the X direction or the Y direction, and similarly generate a phase differential image.

(第3実施形態)
上記第1及び第2実施形態では、第1及び第2の格子21,22を設定した後、モアレ縞の周期方向(グループの延伸方向)に一致する線状欠陥が少なくなるように、X線画像検出器13の方向を設定している。本実施形態では、逆に、X線画像検出器13の方向を設定した後、第1及び第2の格子21,22の格子面内方向への相対的な傾斜角度θや、及び第1及び第2の格子21,22のZ方向への位置関係を調整することにより、モアレ縞の周期方向(グループの延伸方向)に一致する線状欠陥が少なくなるように、モアレ縞の周期方向を設定する。本実施形態のX線撮影装置のその他の構成及び作用は、第1または第2実施形態と同一であるため説明は省略する。
(Third embodiment)
In the first and second embodiments, after the first and second gratings 21 and 22 are set, X-rays are reduced so that the number of linear defects that coincide with the periodic direction of moire fringes (the extending direction of the group) decreases. The direction of the image detector 13 is set. In the present embodiment, conversely, after setting the direction of the X-ray image detector 13, the relative inclination angle θ of the first and second gratings 21 and 22 in the lattice plane direction, and the first and second By adjusting the positional relationship of the second gratings 21 and 22 in the Z direction, the period direction of the moire fringes is set so that the number of linear defects that coincide with the period direction of the moire fringes (the extending direction of the group) is reduced. To do. Other configurations and operations of the X-ray imaging apparatus of the present embodiment are the same as those of the first or second embodiment, and thus the description thereof is omitted.

なお、モアレ縞の周期方向グループの延伸方向は必ずしも一致する必要はなく、グループの延伸方向と線状欠陥が可能な限り一致しないように調整すればよい。こうすることで、グループ内の全ての画素値が異常画素値となることがなくなり、位相微分画像を精度よく生成することができる。   It should be noted that the extending direction of the moire fringe periodic direction group does not necessarily match, and may be adjusted so that the extending direction of the group does not match the linear defect as much as possible. By doing so, all pixel values in the group do not become abnormal pixel values, and a phase differential image can be generated with high accuracy.

(その他の実施形態)
上記各実施形態では、グループ設定部40により設定されるグループの大きさは一定であるが、グループに含まれる正常画素値の数が所定数より少ない場合に、グループに含まれる正常画素値の数が所定数を超えるように、グループの大きさを拡大してもよい。
(Other embodiments)
In each of the embodiments described above, the size of the group set by the group setting unit 40 is constant, but the number of normal pixel values included in the group when the number of normal pixel values included in the group is less than a predetermined number. The size of the group may be expanded so that the number exceeds a predetermined number.

上記各実施形態では、画素欠陥情報記憶部41に記憶させる画素欠陥のマップ情報を、X線画像検出器13の製造最終段階の検査工程で取得しているが、X線撮影装置10にマップ情報の取得機能を設け、X線画像検出器13の製造後にマップ情報を取得可能としてもよい。また、X線撮影装置10の使用時にマップ情報を適宜更新可能としてもよい。   In each of the above embodiments, the pixel defect map information to be stored in the pixel defect information storage unit 41 is obtained in the inspection process at the final stage of manufacture of the X-ray image detector 13, but the map information is stored in the X-ray imaging apparatus 10. The map information may be acquired after the X-ray image detector 13 is manufactured. Further, the map information may be appropriately updated when the X-ray imaging apparatus 10 is used.

上記各実施形態では、被検体Hを配置した状態でのみ撮影を行なっているが、被検体Hを配置せずに同様に撮影を行うことにより、位相微分画像を生成して、これをオフセット画像として記憶しておき、被検体Hを配置して撮影が行われた場合に生成された位相微分画像からオフセット画像を減算するオフセット補正を行ってもよい。このように被検体Hを配置せずに行う撮影(プレ撮影)についても本発明を適用可能である。   In each of the above embodiments, imaging is performed only in a state where the subject H is arranged. However, by performing imaging in the same manner without arranging the subject H, a phase differential image is generated, and this is used as an offset image. May be stored, and offset correction may be performed by subtracting the offset image from the phase differential image generated when the subject H is placed and imaging is performed. Thus, the present invention can also be applied to imaging (pre-imaging) performed without arranging the subject H.

マップ情報の更新及びオフセット補正を実施する場合には、例えば、図17のフローチャートに示す手順に沿って各処理を実行する。まず、画素欠陥情報記憶部41のマップ情報の更新を行い(ステップS30)、グループの延伸方向と線状欠陥が可能な限り一致しないようにX線画像検出器13や第1及び第2の格子21,22の位置調整を行う(ステップS31)。この後、被検体Hを配置せずに行うプレ撮影(ステップS32)と、被検体Hを配置して行う本撮影(ステップS33)とを順に実行する。   When updating map information and offset correction, for example, each process is executed according to the procedure shown in the flowchart of FIG. First, the map information in the pixel defect information storage unit 41 is updated (step S30), and the X-ray image detector 13 and the first and second grids are arranged so that the extending direction of the group and the linear defect do not coincide as much as possible. The positions 21 and 22 are adjusted (step S31). Thereafter, pre-imaging (step S32) performed without arranging the subject H and main imaging (step S33) performed with the subject H being performed are sequentially executed.

本撮影が完了すると、プレ撮影で得られたオフセット画像を、本撮影で得られた位相微分画像から減算するオフセット補正が行われる(ステップS34)。そして、オフセット補正後の位相微分画像が位相コントラスト画像生成部44により積分処理され、位相コントラスト画像が生成される(ステップS35)。このように、X線画像検出器13や第1及び第2の格子21,22の位置調整を行った場合には、その後にプレ撮影を行い、オフセット画像を取得することが好ましい。なお、プレ撮影と本撮影の順序は逆であってもよい。   When the main photographing is completed, offset correction is performed by subtracting the offset image obtained by the pre-photographing from the phase differential image obtained by the main photographing (step S34). Then, the phase differential image after the offset correction is integrated by the phase contrast image generation unit 44, and a phase contrast image is generated (step S35). As described above, when the positions of the X-ray image detector 13 and the first and second gratings 21 and 22 are adjusted, it is preferable to perform pre-imaging thereafter to obtain an offset image. Note that the order of the pre-photographing and the main photographing may be reversed.

また、上記各実施形態では、被検体HをX線源11と第1の格子21との間に配置しているが、被検体Hを第1の格子21と第2の格子22との間に配置してもよい。   In each of the above embodiments, the subject H is arranged between the X-ray source 11 and the first grating 21, but the subject H is located between the first grating 21 and the second grating 22. You may arrange in.

また、上記各第実施形態では、X線源11から射出されるコーンビーム状のX線を射出するX線源11を用いているが、平行ビーム状のX線を射出するX線源を用いることも可能である。この場合には、上式(1)に代えて、p=pをほぼ満たすように第1及び第2の格子21,22を構成すればよい。 In each of the above embodiments, the X-ray source 11 that emits cone-beam X-rays emitted from the X-ray source 11 is used. However, an X-ray source that emits parallel-beam X-rays is used. It is also possible. In this case, instead of the above equation (1), the first and second gratings 21 and 22 may be configured so as to substantially satisfy p 2 = p 1 .

また、上記各実施形態では、X線源11から射出されたX線を第1の格子21に入射させており、X線源11は単一焦点であるが、X線源11の射出側直後に、WO2006/131235号公報等に記されたマルチスリット(線源格子)を設けることにより、X焦点を分散化してもよい。マルチスリットの格子線は、Y方向に延伸しており、第1及び第2の格子21,22の少なくとも一方の格子線と平行である。この場合、マルチスリットのX方向への格子ピッチpは、下式(18)を満たす必要がある。ここで、距離Lは、マルチスリットから第1の格子21までのZ方向への距離を表す。 In each of the above embodiments, X-rays emitted from the X-ray source 11 are incident on the first grating 21 and the X-ray source 11 has a single focal point, but immediately after the emission side of the X-ray source 11. In addition, the X focus may be dispersed by providing a multi slit (line source grid) described in WO2006 / 131235. The multi-slit lattice line extends in the Y direction and is parallel to at least one of the first and second lattices 21 and 22. In this case, the lattice pitch p 0 in the X direction of the multi-slit needs to satisfy the following formula (18). Here, the distance L 0 represents the distance in the Z direction from the multi slit to the first grating 21.

その他の構成や作用については、上記各実施形態と同一である。本実施形態では、マルチスリットの位置がX線焦点の位置となるため、上式(1)において、距離Lを、距離Lで置き換えればよい。 About another structure and effect | action, it is the same as said each embodiment. In the present embodiment, since the position of the multi slit is the position of the X-ray focal point, the distance L 1 may be replaced with the distance L 0 in the above equation (1).

なお、このようにマルチスリットを設ける場合においてもX線画像検出器13と第2の格子22との間に間隔Lを設けてもよい。この場合には、上式(6)または上式(13)で表されるモアレ周期Tに、上式(12)で表される倍率Rを乗じたモアレ周期T’に基づいてグループGr(x,n)またはグループGr(n,y)を設定すればよい。マルチスリット23を設けた場合においても、第2の格子22により生成されるG2像は、X線源11のX線焦点11aを原点とし、X線焦点11aからX線画像検出器20までの距離に比例して拡大されるため、G2像の倍率Rについては、上式(14)をそのまま(距離Lを距離Lで置き換えずに)用いればよい。 Even when the multi-slit is provided as described above, the interval L 3 may be provided between the X-ray image detector 13 and the second grating 22. In this case, the group Gr (x) is based on the moire cycle T ′ obtained by multiplying the moire cycle T represented by the above equation (6) or the above equation (13) by the magnification R represented by the above equation (12). , N) or group Gr (n, y) may be set. Even when the multi-slit 23 is provided, the G2 image generated by the second grating 22 has the X-ray focal point 11a of the X-ray source 11 as the origin and the distance from the X-ray focal point 11a to the X-ray image detector 20. to be enlarged in proportion to, the magnification R of G2 image, (without replacing the distance L 1 at a distance L 0) above equation (14) as it may be used.

また、上記各実施形態では、第1の格子21が入射X線を幾何光学的に投影するように構成しているが、WO2004/058070号公報等で知られているように、第1の格子21をタルボ効果が生じる構成としてもよい。第1の格子21でタルボ効果を生じさせるためには、X線の空間干渉性を高めるように、小焦点のX線源を用いるか、上記マルチスリットを用いて小焦点化すればよい。また、第1の格子21でタルボ効果を生じさせる場合には、第1の格子21を、吸収型格子に代えて、位相型格子とすることが可能である。   Further, in each of the above embodiments, the first grating 21 is configured to project incident X-rays geometrically, but the first grating 21 is known as disclosed in WO 2004/058070 and the like. 21 may be configured to generate the Talbot effect. In order to generate the Talbot effect in the first grating 21, a small-focus X-ray source may be used or the focus may be reduced using the multi-slit so as to enhance the spatial coherence of X-rays. Further, when the Talbot effect is generated in the first grating 21, the first grating 21 can be a phase grating instead of the absorption grating.

第1の格子21でタルボ効果が生じる場合には、第1の格子21の自己像(G1像)が、第1の格子21からZ方向下流にタルボ距離Zだけ離れた位置に生じるため、第1の格子21から第2の格子22までの距離Lをタルボ距離Zに設定する必要がある。 When the Talbot effect is generated in the first grating 21, the self-image (G1 image) of the first grating 21 is generated at a position away from the first grating 21 by the Talbot distance Z m downstream in the Z direction. it is necessary to set the distance L 2 from the first grid 21 to the second grating 22 on the Talbot distance Z m.

タルボ距離Zは、第1の格子21の構成とX線のビーム形状とに依存する。第1の格子21が吸収型格子であり、X線源11から射出されるX線がコーンビーム状である場合には、タルボ距離Zは、下式(19)で表される。ここで、mは正の整数である。この場合には、格子ピッチp,pは、上式(1)をほぼ満たすように設定される(ただし、マルチスリットを用いる場合には、距離Lは距離Lに置き換えられる)。 Talbot distance Z m is dependent on the beam shape of the structure and the X-ray of the first grating 21. An absorption grating first grating 21, when X-rays emitted from the X-ray source 11 is a cone beam shape, Talbot distance Z m is represented by the following formula (19). Here, m is a positive integer. In this case, the grating pitches p 1 and p 2 are set so as to substantially satisfy the above formula (1) (however, when a multi-slit is used, the distance L 1 is replaced with the distance L 0 ).

また、第1の格子21がX線にπ/2の位相変調を与える位相型格子であり、X線源11から射出されるX線がコーンビーム状である場合には、タルボ距離Zは、下式(20)で表される。ここで、mは0または正の整数である。この場合には、格子ピッチp,pは、上式(1)をほぼ満たすように設定される(ただし、マルチスリットを用いる場合には、距離Lは距離Lに置き換えられる)。 Further, when the first grating 21 is a phase-type grating that applies phase modulation of π / 2 to the X-ray, and the X-ray emitted from the X-ray source 11 has a cone beam shape, the Talbot distance Z m is Is represented by the following formula (20). Here, m is 0 or a positive integer. In this case, the grating pitches p 1 and p 2 are set so as to substantially satisfy the above formula (1) (however, when a multi-slit is used, the distance L 1 is replaced with the distance L 0 ).

また、第1の格子21がX線にπの位相変調を与える位相型格子であり、X線源11から射出されるX線がコーンビーム状である場合には、タルボ距離Zは、下式(21)で表される。ここで、mは0または正の整数である。この場合には、G1像のパターン周期が第1の格子21の格子周期の1/2倍となるため、格子ピッチp,pは、次式(22)をほぼ満たすように設定される(ただし、マルチスリットを用いる場合には、距離Lは距離Lに置き換えられる)。 In addition, when the first grating 21 is a phase-type grating that imparts π phase modulation to X-rays and the X-rays emitted from the X-ray source 11 have a cone beam shape, the Talbot distance Z m is as follows. It is represented by Formula (21). Here, m is 0 or a positive integer. In this case, since the pattern period of the G1 image is ½ times the grating period of the first grating 21, the grating pitches p 1 and p 2 are set so as to substantially satisfy the following expression (22). (However, when using a multi-slit, the distance L 1 is replaced by a distance L 0).


また、第1の格子21が吸収型格子であり、X線源11から射出されるX線が平行ビーム状である場合には、タルボ距離Zは、下式(23)で表される。ここで、mは正の整数である。この場合には、格子ピッチp,pは、p=pの関係をほぼ満たすように設定される。 Further, when the first grating 21 is an absorption grating and the X-rays emitted from the X-ray source 11 have a parallel beam shape, the Talbot distance Z m is expressed by the following equation (23). Here, m is a positive integer. In this case, the lattice pitches p 1 and p 2 are set so as to substantially satisfy the relationship of p 2 = p 1 .

また、第1の格子21がX線にπ/2の位相変調を与える位相型格子であり、X線源11から射出されるX線が平行ビーム状である場合には、タルボ距離Zは、下式(24)で表される。ここで、mは0または正の整数である。この場合には、格子ピッチp,pは、p=pの関係をほぼ満たすように設定される。 Further, when the first grating 21 is a phase-type grating that applies phase modulation of π / 2 to X-rays, and the X-rays emitted from the X-ray source 11 are parallel beams, the Talbot distance Z m is Is represented by the following formula (24). Here, m is 0 or a positive integer. In this case, the lattice pitches p 1 and p 2 are set so as to substantially satisfy the relationship of p 2 = p 1 .

そして、第1の格子21がX線にπの位相変調を与える位相型格子であり、X線源11から射出されるX線が平行ビーム状である場合には、タルボ距離Zは、下式(25)で表される。ここで、mは0または正の整数である。この場合には、G1像のパターン周期が第1の格子21の格子周期の1/2倍となるため、格子ピッチp,pは、p=p/2の関係をほぼ満たすように設定される。 When the first grating 21 is a phase type grating that imparts π phase modulation to X-rays, and the X-rays emitted from the X-ray source 11 are parallel beams, the Talbot distance Z m is It is represented by Formula (25). Here, m is 0 or a positive integer. In this case, since the pattern period of the G1 image is ½ times the grating period of the first grating 21, the grating pitches p 1 and p 2 almost satisfy the relationship of p 2 = p 1/2. Set to

上記各実施形態は、矛盾しない範囲で相互に組み合わせてもよい。本発明は、医療診断用の放射線撮影装置の他に、工業用の放射線撮影装置等に適用することが可能である。また、放射線は、X線以外に、ガンマ線等を用いることも可能である。   The above embodiments may be combined with each other within a consistent range. The present invention can be applied to an industrial radiography apparatus and the like in addition to a radiography apparatus for medical diagnosis. In addition to X-rays, gamma rays or the like can be used as radiation.

10 X線撮影装置
12 格子部
13 X線画像検出器
21 第1の格子
21a X線吸収部
21b X線透過部
22 第2の格子
22a X線吸収部
22b X線透過部
30 画素部
31 画素電極
33 ゲート走査線
35 信号線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 X-ray imaging apparatus 12 Lattice part 13 X-ray image detector 21 1st grating | lattice 21a X-ray absorption part 21b X-ray transmission part 22 2nd grating | lattice 22a X-ray absorption part 22b X-ray transmission part 30 Pixel part 31 Pixel electrode 33 Gate scanning line 35 Signal line

Claims (14)

放射線源から放射された放射線を通過させて第1の周期パターン像を生成する第1の格子と、
前記第1の周期パターン像を部分的に遮蔽してモアレ縞が生じた第2の周期パターン像を生成する第2の格子と、
行方向とこれに直交する列方向に沿って2次元配列された複数の画素部により、前記第2の周期パターン像を検出して画像データを生成する放射線画像検出器と、
前記行方向及び前記列方向のうち、線状欠陥が少ない第1の方向に並ぶ所定数の前記画素部を1グループとし、このグループを前記第1の方向に所定画素ずつ変更しながら順に設定するグループ設定部と、
前記各グループ内に含まれる画素値により構成された強度変調信号の位相ズレ量を算出することにより位相微分画像を生成する位相微分画像生成部と、
を備えることを特徴とする放射線撮影装置。
A first grating for generating a first periodic pattern image by passing radiation emitted from a radiation source;
A second grating that partially shields the first periodic pattern image to generate a second periodic pattern image in which moire fringes are generated;
A radiation image detector that generates image data by detecting the second periodic pattern image by a plurality of pixel units arranged two-dimensionally along a row direction and a column direction orthogonal to the row direction;
Among the row direction and the column direction, a predetermined number of the pixel portions arranged in the first direction with few linear defects are set as one group, and the groups are sequentially set while changing the predetermined pixel by one in the first direction. A group setting section;
A phase differential image generation unit that generates a phase differential image by calculating a phase shift amount of an intensity modulation signal configured by pixel values included in each group; and
A radiation imaging apparatus comprising:
前記モアレ縞は、前記第2の格子を、第1の格子に対して格子面内方向に相対的に傾斜して配置することにより生成されたものであり、前記第1及び第2の格子の格子方向にほぼ直交していることを特徴とする請求項1に記載の放射線撮影装置。   The moire fringes are generated by arranging the second grating so as to be inclined relative to the first grating in the in-lattice direction, and the first and second gratings The radiation imaging apparatus according to claim 1, wherein the radiation imaging apparatus is substantially orthogonal to the lattice direction. 前記モアレ縞は、前記第1及び第2の格子の対向方向の位置関係、または、前記第1及び第2の格子の格子ピッチを調整することにより生成されたものであり、前記第1及び第2の格子の格子方向にほぼ平行であることを特徴とする請求項1に記載の放射線撮影装置。   The moire fringes are generated by adjusting the positional relationship in the opposing direction of the first and second gratings or the grating pitch of the first and second gratings. The radiation imaging apparatus according to claim 1, wherein the radiation imaging apparatus is substantially parallel to a grating direction of the two gratings. 前記第1の方向は、前記モアレ縞にほぼ直交していることを特徴とする請求項1から3いずれか1項に記載の放射線撮影装置。   The radiation imaging apparatus according to claim 1, wherein the first direction is substantially orthogonal to the moire fringes. 前記モアレ縞は、前記第2の格子を、第1の格子に対して格子面内方向に相対的に傾斜して配置し、かつ、前記第1及び第2の格子の対向方向の位置関係、または、前記第1及び第2の格子の格子ピッチを調整することにより生成されたものであり、前記第1及び第2の格子の格子方向に直交せず、かつ平行でないことを特徴とする請求項1に記載の放射線撮影装置。   The moire fringes are arranged such that the second grating is inclined relative to the first grating in the in-lattice direction, and the positional relationship between the first and second gratings is opposite to each other. Or it is produced | generated by adjusting the grating | lattice pitch of the said 1st and 2nd grating | lattice, It is not orthogonal to the grating | lattice direction of the said 1st and 2nd grating | lattice, It is characterized by the above-mentioned. Item 2. The radiographic apparatus according to Item 1. 前記放射線画像検出器の画素欠陥のマップ情報を記憶する画素欠陥情報記憶部と、前記マップ情報に基づき、前記各グループ内の画素値から異常画素値を除去する異常画素値除去部と、を備え、
前記位相微分画像生成部は、前記各グループ内に含まれる前記異常画素値以外の正常画素値に基づいて前記強度変調信号の位相ズレ量を算出し、前記位相微分画像を生成することを特徴とする請求項1から5いずれか1項に記載の放射線撮影装置。
A pixel defect information storage unit that stores map information of pixel defects of the radiation image detector; and an abnormal pixel value removal unit that removes abnormal pixel values from the pixel values in each group based on the map information. ,
The phase differential image generation unit calculates a phase shift amount of the intensity modulation signal based on normal pixel values other than the abnormal pixel values included in each group, and generates the phase differential image. The radiation imaging apparatus according to any one of claims 1 to 5.
前記各グループ内の前記正常画素値の数をカウントする正常画素値計数部を備えることを特徴とする請求項6に記載の放射線撮影装置。   The radiation imaging apparatus according to claim 6, further comprising a normal pixel value counting unit that counts the number of normal pixel values in each group. 前記正常画素値の数が基準値より少ないグループが存在する場合にエラー報知を行うエラー報知部を備えることを特徴とする請求項7に記載の放射線撮影装置。   The radiation imaging apparatus according to claim 7, further comprising an error notification unit that performs error notification when there is a group in which the number of normal pixel values is smaller than a reference value. 前記グループを構成する前記画素部の数は、前記モアレ縞の周期の整数倍に含まれる前記画素部の数に等しいことを特徴とする請求項1から8いずれか1項に記載の放射線撮影装置。   9. The radiographic apparatus according to claim 1, wherein the number of the pixel units constituting the group is equal to the number of the pixel units included in an integer multiple of the period of the moire fringes. . 前記位相微分画像を積分処理して位相コントラスト画像を生成する位相コントラスト画像生成部を備えることを特徴とする請求項1から9いずれか1項に記載の放射線撮影装置。   The radiation imaging apparatus according to claim 1, further comprising a phase contrast image generation unit that generates a phase contrast image by integrating the phase differential image. 前記第1の格子は、吸収型格子であり、入射した放射線を幾何光学的に投影することにより前記第1の周期パターン像を生成することを特徴とする請求項1から10いずれか1項に記載の放射線撮影装置。   The said 1st grating | lattice is an absorption-type grating | lattice, and produces | generates a said 1st periodic pattern image by projecting the incident radiation geometrically optically, The any one of Claim 1 to 10 characterized by the above-mentioned. The radiation imaging apparatus described. 前記第1の格子は、吸収型格子または位相型格子であり、入射した放射線にタルボ効果を生じさせて前記第1の周期パターン像を生成することを特徴とする請求項1から10いずれか1項に記載の放射線撮影装置。   11. The first periodic pattern image is generated by generating a Talbot effect on incident radiation and generating the first periodic pattern image. The radiographic apparatus according to the item. 前記放射線源から放射された放射線を部分的に遮蔽して焦点を分散化するマルチスリットを備えることを特徴とする請求項1から12いずれか1項に記載の放射線撮影装置。   13. The radiographic apparatus according to claim 1, further comprising a multi-slit that partially blocks the radiation emitted from the radiation source and disperses the focal point. 放射線源から放射された放射線を第1の格子を通過させて第1の周期パターン像を生成するステップと、
前記第1の周期パターン像を第2の格子により部分的に遮蔽してモアレ縞が生じた第2の周期パターン像を生成するステップと、
行方向とこれに直交する列方向に沿って2次元配列された複数の画素部を有する放射線画像検出器により前記第2の周期パターン像を検出して画像データを生成するステップと、
前記行方向及び前記列方向のうち、線状欠陥が少ない第1の方向に並ぶ所定数の前記画素部を1グループとし、このグループを前記第1の方向に所定画素ずつ変更しながら順に設定するステップと、
前記各グループ内に含まれる画素値により構成された強度変調信号の位相ズレ量を算出することにより位相微分画像を生成するステップと、
を備えることを特徴とする放射線撮影方法。
Passing the radiation emitted from the radiation source through the first grating to generate a first periodic pattern image;
Generating a second periodic pattern image in which moire fringes are generated by partially shielding the first periodic pattern image with a second grating;
Detecting the second periodic pattern image by a radiation image detector having a plurality of pixel portions arranged two-dimensionally in a row direction and a column direction orthogonal thereto, and generating image data;
Among the row direction and the column direction, a predetermined number of the pixel portions arranged in the first direction with few linear defects are set as one group, and the groups are sequentially set while changing the predetermined pixel by one in the first direction. Steps,
Generating a phase differential image by calculating a phase shift amount of an intensity modulation signal composed of pixel values included in each group;
A radiation imaging method comprising:
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