JP2013119447A - Peeling device and peeling method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a peeling device and a peeling method which enable a sheet body to be stably peeled without getting ripped or torn off.SOLUTION: The peeling device peels off the sheet body 11 stuck on a substrate 10 from the substrate. The peeling device includes a hooking claw member 12 for scooping up one side of the sheet body 11, a claw member driving mechanism which causes the hooking claw member 12 to advance and retreat, a suction mechanism 15 which has a suction head 14 for sucking the sheet body 11, and a sliding vertical motion mechanism 16 which allows a vertical motion of the suction head 14. The hooking claw member 12 advances toward one side of the sheet body 11 to scoop up the one side. In this state, the sheet body 11 is peeled off from the substrate 10 while the suction head 14 is moved toward the other side facing the one side by a reaction force from the sheet body 11 which arises in the course of raising the suction head 14 sucking the sheet body 11.

Description

本発明は、剥離装置および剥離方法に関し、特に、基板に貼付されたシート体を基板から剥離するための剥離装置および剥離方法に関する。   The present invention relates to a peeling apparatus and a peeling method, and more particularly to a peeling apparatus and a peeling method for peeling a sheet attached to a substrate from the substrate.

基板に貼付されたシート体を基板から剥離する方法として、シート体の端部を引っ掛ける爪部材を使用して剥離するものが提案されている(特許文献1)。この特許文献1に記載のものは、押圧ブロックをシート体に押し付け、これによって、シート体の端部を基板から浮かせ、この浮いた端部を爪部材にて引っ掛け、この状態で、押圧ブロックと爪部材をシート体に沿って水平方向に移動させて、剥離するものである。   As a method of peeling the sheet body affixed to the substrate from the substrate, a method of peeling using a claw member that hooks an end of the sheet body has been proposed (Patent Document 1). The one described in Patent Document 1 presses the pressing block against the sheet body, thereby lifting the end portion of the sheet body from the substrate and hooking the floating end portion with the claw member. The claw member is moved in the horizontal direction along the sheet body and peeled off.

また、図6に示すような剥離装置を提案できる。この剥離装置は、吸着ヘッド1を有する上下動基板2を備え、この上下動基板2に引っ掛け爪3を付設している。また、この引っ掛け爪3は可撓性を有するもので、鉛直方向に延びる基部3aと、この基部3aから斜め方向に傾斜する傾斜部3bとを備える。   Moreover, a peeling apparatus as shown in FIG. 6 can be proposed. The peeling apparatus includes a vertical movement substrate 2 having a suction head 1, and a hook claw 3 is attached to the vertical movement substrate 2. The hooking claw 3 has flexibility, and includes a base portion 3a extending in the vertical direction and an inclined portion 3b inclined in an oblique direction from the base portion 3a.

次にこのような装置にて、基板5上に貼付されたシート体6を剥離する方法を説明する。まず、図6(a)に示すように、シート体6が貼付された基板5の上方に上下動基板2を位置させる。この状態から上下動基板2を下降させる。この下降によって、吸着ヘッド1をシート体6上に載置した状態として、吸着ヘッド1にてシート体6を吸着した状態とする。また、下降によって、引っ掛け爪3を傾斜部3bが基板5に接触し、この接触状態からさらに上下動基板2が下降することによって、引っ掛け爪3を傾斜部3bが撓みながら、シート体6の端部6aを図6(b)に示すように、掬い上げることなる。   Next, a method for peeling the sheet body 6 stuck on the substrate 5 with such an apparatus will be described. First, as shown in FIG. 6A, the vertically moving substrate 2 is positioned above the substrate 5 to which the sheet body 6 is attached. From this state, the vertically moving substrate 2 is lowered. By this lowering, the suction head 1 is placed on the sheet body 6, and the sheet body 6 is sucked by the suction head 1. In addition, the sloping portion 3b of the hooking claw 3 comes into contact with the substrate 5 by descending, and the vertical movement substrate 2 further descends from this contact state, so that the sloping portion 3b of the hooking claw 3 is bent and the end of the sheet body 6 The part 6a is scooped up as shown in FIG. 6 (b).

この状態で、上下動基板2を上昇させることによって、この図6(c)に示すように、シート体6を基板5から剥離することができる。   In this state, the sheet body 6 can be peeled from the substrate 5 as shown in FIG.

特開平6−91448号公報JP-A-6-91448

しかしながら、特許文献1に記載のものでは、押圧ブロックにてシート体を上方から押圧するものであって、基板として弾性体を対象とし、基板が鉄板等の剛体のものを対称としていない。また、押圧ブロックの押圧によって、シート体の端部を浮かす必要があり、安定した動作を得にくいものとなっている。さらに、押圧ブロックを上下動させるとともに、この押圧ブロックを水平方向に沿って移動させる必要がある。このため、装置全体として大型化するとともに複雑化して高コスト化していた。   However, in the thing of patent document 1, it presses a sheet | seat body from upper direction with a press block, Comprising: The elastic body is made into object as a board | substrate, and the thing of rigid bodies, such as an iron plate, is not made symmetrical. Moreover, it is necessary to float the edge part of a sheet | seat body by the press of a press block, and it becomes difficult to obtain the stable operation | movement. Furthermore, it is necessary to move the pressing block up and down and move the pressing block along the horizontal direction. For this reason, the size of the entire apparatus is increased, and the cost is increased due to complexity.

また、図6に示す剥離装置では、シート体の端部の引っ掛けを引っ掛け爪の撓みによって行うものであり、この引っ掛け動作が不安定である。また端部を剥がした状態で、吸着ヘッドで吸着しているシート体を、上下動基板を上昇させて一気に剥がすようにするもとになり、この際、シート体が破れたり、ちぎれたりして、剥離作業が安定しない。   Moreover, in the peeling apparatus shown in FIG. 6, hooking of the edge part of a sheet | seat body is performed by the bending of a hooking claw, and this hooking operation is unstable. Also, with the edge part peeled off, the sheet body adsorbed by the adsorption head is lifted up by moving the vertical moving substrate, and at this time, the sheet body may be torn or torn. The peeling work is not stable.

そこで、本発明は斯かる実情に鑑み、シート体が破れたり、ちぎれたりすることなく、安定して剥離することができる剥離装置および剥離方法を提供するものである。   Therefore, in view of such circumstances, the present invention provides a peeling apparatus and a peeling method that can stably peel a sheet body without being torn or torn.

本発明の剥離装置は、基板上に貼付されたシート体を基板から剥す剥離装置であって、 少なくともシート体の一つの辺を掬い上げるための引っ掛け爪部材と、この引っ掛け爪部材をシート体の外側から前記一つの辺に向かって前進させてシート体の一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げさせるとともに、この一つの辺側から外側へ引っ掛け爪部材を後退させる爪部材駆動機構と、シート体を吸着する吸着ヘッドと、一つの辺側とこの辺と相対向する対向辺側との間の吸着ヘッドの往復動、および吸着ヘッドの上下動を許容するスライド上下動機構とを備えたものである。   The peeling device of the present invention is a peeling device for peeling a sheet body affixed on a substrate from a substrate, and includes a hooking claw member for scooping up at least one side of the sheet body, and the hooking claw member of the sheet body. A claw member drive mechanism that moves forward from one side toward the one side and crawls up one side of the sheet body with a hooking claw member and retracts the claw member from the one side to the outside, and a sheet A suction head for sucking the body, a reciprocating movement of the suction head between one side and the opposite side opposite to this side, and a slide vertical movement mechanism that allows the suction head to move up and down. is there.

本発明の剥離装置によれば、引っ掛け爪部材をシート体の外側から一つの辺に向かって前進させれば、シート体の一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げることができる。また、吸着ヘッドにてシート体を吸着できる。さらに、一つの辺側と対向辺側との間の吸着ヘッドの往復動が可能であるので、引っ掛け爪部材にてシート体の一つの辺(端部)を掬い上げるとともに、吸着ヘッドにてシート体を吸着した状態で、吸着ヘッドを上昇させていけば、この上昇にともなって、吸着ヘッドをシート体からの反力で、前記一つの辺に相対向する対向辺に向かって移動していくことになる。これによって、シート体を剥離していくことができる。このため、シート体を吸着している吸着ヘッド、動力源を有する駆動機構を用いて移動させる必要がなく、また、シート体に対して大きな荷重を負荷することなく、安定して剥離することができる。   According to the peeling device of the present invention, if the hooking claw member is advanced from the outside of the sheet body toward one side, one side of the sheet body can be scooped up by the hooking claw member. Further, the sheet body can be sucked by the suction head. Furthermore, since the suction head can reciprocate between one side and the opposite side, one side (edge) of the sheet body is scooped up by the hooking claw member, and the sheet is picked up by the suction head. If the suction head is lifted while the body is sucked, the suction head is moved toward the opposite side opposite to the one side by the reaction force from the sheet body with this rise. It will be. Thereby, the sheet body can be peeled off. For this reason, there is no need to move using a suction head that sucks the sheet body, a drive mechanism having a power source, and it is possible to stably peel without applying a large load to the sheet body. it can.

引っ掛け爪部材を、シート体の一つの辺に沿って所定ピッチで複数個配設したものであっても、相対向する一対の各辺側にそれぞれ配設したものであっても、相対向する一対の各辺側にそれぞれ所定ピッチで複数個配設したものであってもよい。   Even if a plurality of hooking claw members are arranged at a predetermined pitch along one side of the sheet body, they are opposed to each other even if they are respectively arranged on a pair of opposite sides. A plurality may be provided at a predetermined pitch on each side of the pair.

このように、複数個の引っ掛け爪部材を備えたものでは、一の引っ掛け爪部材による掬い上げを失敗しても他の引っ掛け爪部材でシート体の端部を掬い上げることができる。このため、剥離作業の精度を上げることができる。   As described above, in the case where a plurality of hooking claw members are provided, even if the scooping by one hooking claw member fails, the other hooking claw member can scoop up the end of the sheet body. For this reason, the precision of peeling work can be raised.

引っ掛け爪部材にてシート体の一つの辺を掬い上げた状態で、掬い上げ部位に流体を吹き付けるブロー機構を備えたものとできる。   In the state where one side of the sheet body is scooped up by the hooking claw member, a blow mechanism for spraying fluid to the scooping portion can be provided.

本発明の剥離方法は、基板上に貼付されたシート体を基板から剥す剥離方法であって、引っ掛け爪部材をシート体の外側からこのシート体の一つの辺に向かって前進させてこの一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げ、この状態で、シート体を吸着している吸着ヘッドを上昇させつつ、この上昇に伴って吸着ヘッドをシート体からの反力で、前記一つの辺に相対向する対向辺側に向かって移動させながらシート体を基板から剥離していくものである。   The peeling method of the present invention is a peeling method for peeling a sheet body affixed on a substrate from the substrate, and the hooking claw member is advanced from the outside of the sheet body toward one side of the sheet body. The side is hooked up by the claw member, and in this state, the suction head that sucks the sheet body is raised, and the suction head is caused to react to the one side by the reaction force from the sheet body in accordance with this rise. The sheet body is peeled from the substrate while being moved toward the opposite side.

本発明の剥離方法によれば、引っ掛け爪部材にてシート体の一つの辺を掬い上げ、この状態で、シート体を吸着している吸着ヘッドを上昇させれば、吸着ヘッドの上昇にともなって、吸着ヘッドをシート体からの反力で、前記一つの辺に相対向する対向辺に向かって移動していくことになる。これによって、シート体を剥離することができる。このため、シート体を吸着している吸着ヘッド、動力源を有する駆動機構を用いて移動させる必要がなく、また、シート体に対して大きな荷重を負荷することなく、安定して剥離することができる。   According to the peeling method of the present invention, if one side of the sheet body is scooped up by the hooking claw member and the suction head that sucks the sheet body is raised in this state, the suction head rises. The suction head is moved toward the opposite side opposite to the one side by the reaction force from the sheet body. Thereby, the sheet body can be peeled off. For this reason, there is no need to move using a suction head that sucks the sheet body, a drive mechanism having a power source, and it is possible to stably peel without applying a large load to the sheet body. it can.

本発明では、シート体に対して大きな荷重を負荷することなく、安定して剥離することができる。このため、剥離途中で、シート体が破れたり、ちぎれたりすることなく、安定して剥離することができる。しかも、基板が剛体であっても剥離することができる。   In this invention, it can peel stably, without applying a big load with respect to a sheet | seat body. For this reason, in the middle of peeling, it can peel stably, without a sheet body tearing or tearing. Moreover, even if the substrate is a rigid body, it can be peeled off.

さらに、シート体を吸着している吸着ヘッドを、動力源を有する駆動機構を用いて移動させる必要がなく、しかも、シート体全体を一度に剥離するものではないので、吸着ヘッドはあまり大きな吸着力を必要としない。このため、装置として簡略化、コンパクト化、および低コスト化を図ることができる。   Furthermore, the suction head that sucks the sheet body does not need to be moved using a drive mechanism having a power source, and the entire sheet body is not peeled at a time. Do not need. For this reason, simplification, compactness, and cost reduction as an apparatus can be achieved.

複数個の引っ掛け爪部材を備えたものでは、剥離作業の精度を上げることができ、作業性の向上を図ることができる。掬い上げ部位に流体を吹き付けるものでは、引っ掛け爪部材による救い上げによるシート体の一つの辺(端部)の基板からの引き離しを安定して行うことができる。   A device provided with a plurality of hooking claws can improve the accuracy of the peeling operation and can improve the workability. In the case where the fluid is sprayed to the scooping portion, one side (end) of the sheet body can be stably pulled away from the substrate by the lifting by the hooking claw member.

本発明の剥離方法の工程図である。It is process drawing of the peeling method of this invention. 本発明の剥離装置の簡略平面図である。It is a simplified top view of the peeling apparatus of this invention. 前記図2の剥離装置の正面図である。It is a front view of the peeling apparatus of the said FIG. 前記図2の引っ掛け爪部材の配置図である。FIG. 3 is a layout view of the hooking claw member of FIG. 2. 前記図2の吸着ヘッドの配置図である。FIG. 3 is a layout view of the suction head of FIG. 2. 引っ掛け爪部材を有する剥離装置を用いた離方法の工程図である。It is process drawing of the separation method using the peeling apparatus which has a hook nail | claw member.

以下本発明の実施の形態を図1〜図3に基づいて説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS.

図2〜図5は本発明の剥離装置を示す。この装置は、図1に示すように、基板10上に貼付されたシート体11を、鉄板等の剛体からなる基板10から剥すものである。この装置は、引っ掛け爪部材12と、引っ掛け爪部材12を矢印A、Bのように、前進および後退させる爪部材駆動機構13(図2及び図3参照)と、シート体11を吸着する吸着ヘッド14を有する吸着機構15と、吸着機構15の吸着ヘッド14を上下動および水平方向にスライドを許容するスライド上下動機構16とを備える。   2-5 shows the peeling apparatus of this invention. As shown in FIG. 1, this apparatus peels a sheet body 11 affixed on a substrate 10 from a substrate 10 made of a rigid body such as an iron plate. This apparatus includes a hooking claw member 12, a claw member drive mechanism 13 (see FIGS. 2 and 3) that moves the hooking claw member 12 forward and backward as indicated by arrows A and B, and a suction head that sucks the sheet body 11. And a slide vertical movement mechanism 16 that allows the suction head 14 of the suction mechanism 15 to move up and down and slide in the horizontal direction.

スライド上下動機構16は、水平状に配設される基盤20と、この基盤20を水平状態を維持しつつ上下させる図示省略の駆動機構とを備える。この場合の駆動機構として、例えばラム型のシリンダ機構と、シリンダ機構による基盤20の上下動をガイドするガイド機構とからなる。   The slide vertical movement mechanism 16 includes a base 20 disposed horizontally and a drive mechanism (not shown) that moves the base 20 up and down while maintaining a horizontal state. The drive mechanism in this case includes, for example, a ram type cylinder mechanism and a guide mechanism for guiding the vertical movement of the base 20 by the cylinder mechanism.

また、基盤20の上面には、図2に示すような一対のガイドレール21、21が長手方向に沿って配設されている。そして、各ガイドレール21には、ガイドレールの長手方向に沿って自由に往復動するスライド体22が付設されている。スライド体22には保持板部材23が付設され、この保持板部材23にそれぞれ一対の吸着ヘッド14が付設される。吸着ヘッド14は、図3に示すように、下部に吸着パット14aを有し、その本体部14bに保持板部材23に保持される支持ロッド25が連設されている。そして、この支持ロッド25に図外の真空機構が接続されている。このため、真空機構が駆動することによって、吸着ヘッド14内部が真空引きされ、吸着パット14aにワーク、つまりシート体11を吸着することができる。真空機構としては、真空ポンプや真空エジェクタ等が使用される。このように、吸着ヘッド14と図示省略の真空機構等で吸着機構15を構成することができる。   Further, a pair of guide rails 21 and 21 as shown in FIG. 2 are disposed on the upper surface of the base 20 along the longitudinal direction. Each guide rail 21 is provided with a slide body 22 that freely reciprocates along the longitudinal direction of the guide rail. A holding plate member 23 is attached to the slide body 22, and a pair of suction heads 14 is attached to the holding plate member 23. As shown in FIG. 3, the suction head 14 has a suction pad 14 a at the lower part, and a support rod 25 held by the holding plate member 23 is connected to the main body portion 14 b. A vacuum mechanism (not shown) is connected to the support rod 25. For this reason, when the vacuum mechanism is driven, the inside of the suction head 14 is evacuated, and the work, that is, the sheet body 11 can be sucked to the suction pad 14a. As the vacuum mechanism, a vacuum pump, a vacuum ejector or the like is used. Thus, the suction mechanism 15 can be configured by the suction head 14 and a vacuum mechanism (not shown).

ところで、保持板部材23は、スライド体22に載置固着される矩形平板状の本体部23aと、本体部23aの一方の短辺側において基盤20の幅方向に延びる一対の支持片部23b、23cとを有する。そして、吸着ヘッド14を支持する支持ロッド25が取り付けられている。   By the way, the holding plate member 23 includes a rectangular flat plate-like main body portion 23a mounted and fixed to the slide body 22, and a pair of support piece portions 23b extending in the width direction of the base 20 on one short side of the main body portion 23a. 23c. A support rod 25 that supports the suction head 14 is attached.

この場合、基盤20の幅方向に沿って対向する保持板部材23の支持片部23c、23cは、図5に示すように連結体26にて連結されている。このため、図2に示すように、22A1と22B1とで示すスライド体は、一体に各ガイドレール21、21に沿って往復動し、22A2と22B2とで示すスライド体は、一体に各ガイドレール21、21に沿って往復動する。このため、支持片部23b、23cに支持されている吸着ヘッド14は、各ガイドレール21、21に沿って往復動することになる。この場合、基盤20には、図2に示すように、吸着ヘッド14の往復動を許容する切り抜き部28A1、28A2、28B1、28B2、28C1、28Cが設けられている。   In this case, the support piece portions 23c and 23c of the holding plate member 23 facing in the width direction of the base 20 are connected by a connecting body 26 as shown in FIG. For this reason, as shown in FIG. 2, the slide body indicated by 22A1 and 22B1 reciprocates integrally along the guide rails 21 and 21, and the slide body indicated by 22A2 and 22B2 is integrated with each guide rail. Reciprocates along 21 and 21. For this reason, the suction head 14 supported by the support piece portions 23 b and 23 c reciprocates along the guide rails 21 and 21. In this case, the base 20 is provided with cutout portions 28A1, 28A2, 28B1, 28B2, 28C1, and 28C that allow the suction head 14 to reciprocate as shown in FIG.

引っ掛け爪部材12は、基盤20の長手方向両端部側に、基盤20の幅方向に沿って複数個が所定ピッチで配設されている。ここでの所定ピッチは、図2に示すように、引っ掛け爪部材12A1(12A2)と引っ掛け爪部材12B1(12B2)との間隔ピッチをP1とし、12B1(12B2)と引っ掛け爪部材12C1(12C2)との間隔ピッチをP2とし、12C1(12C2)と引っ掛け爪部材12D1(12D2)との間隔ピッチをP3としたときに、P2<P1<P3となっている。なお、各ピッチP1,P2,P3の変更は可能であって、等ピッチであってもよい。   A plurality of hooking claw members 12 are arranged at a predetermined pitch along the width direction of the base 20 on both ends in the longitudinal direction of the base 20. As shown in FIG. 2, the predetermined pitch here is P1, which is the pitch between the hooking claw member 12A1 (12A2) and the hooking claw member 12B1 (12B2), and 12B1 (12B2) and the hooking claw member 12C1 (12C2). P2 <P1 <P3, where P2 is an interval pitch of 12C1 (12C2) and an interval pitch between the hooking claw members 12D1 (12D2) is P3. The pitches P1, P2, and P3 can be changed and may be equal.

爪部材駆動機構13は、図2と図3とに示すように、基盤20の長手方向両端部側の幅方向中央部に設けられるシリンダ機構30にて構成できる。このシリンダ機構30は、基盤20に固定されるシリンダ本体31と、ガイドレール21、21と平行方向に配設されるロッド32と、ロッド32に付設される移動ブロック33と、移動ブロック33に付設される支持体34とを備える。この支持体34は、移動ブロック33に固定される基板部34aと、基板部34aから垂下されて、図4に示すように基盤20の幅方向に延びる支持部34bとからなる。   As shown in FIGS. 2 and 3, the claw member driving mechanism 13 can be configured by a cylinder mechanism 30 provided at the center in the width direction on both ends in the longitudinal direction of the base 20. The cylinder mechanism 30 includes a cylinder body 31 fixed to the base 20, a rod 32 disposed in a direction parallel to the guide rails 21 and 21, a moving block 33 attached to the rod 32, and a moving block 33. The support 34 is provided. The support 34 includes a substrate portion 34a fixed to the moving block 33, and a support portion 34b that is suspended from the substrate portion 34a and extends in the width direction of the base 20 as shown in FIG.

支持体34の支持部34bには、爪部材12を保持する保持片35が取り付けられている。保持片35は、鉛直方向壁35aと、水平方向壁35bからなり、この水平方向壁35bに引っ掛け爪部材12が固着具(ボルト部材)36を介して固着される。引っ掛け爪部材12は、水平方向壁35bに下方から重ね合わされて固着される基部37と、この基部37から斜め下方に延びる傾斜片部38とからなる。また、傾斜片部38はその先端には、先細テーパ部38aが形成される。なお、傾斜片部38の傾斜角度θとしては、この実施形態では約45度程度としたが、勿論これに限るものではない。すなわり、後述するように、シート体11の短辺11a(11b)を掬い上げることができればよい。また、先細テーパ部38aのテーパ角度αとしても任意に設定でき、図例では110度程度としているが、勿論限るものではなく、このような先細テーパ部38aがなくてもよい。   A holding piece 35 that holds the claw member 12 is attached to the support portion 34 b of the support body 34. The holding piece 35 includes a vertical wall 35a and a horizontal wall 35b, and the hooking claw member 12 is fixed to the horizontal wall 35b via a fixing tool (bolt member) 36. The hook claw member 12 includes a base portion 37 that is overlapped and fixed to the horizontal wall 35b from below, and an inclined piece portion 38 that extends obliquely downward from the base portion 37. Further, the inclined piece portion 38 is formed with a tapered portion 38a at the tip thereof. The inclination angle θ of the inclined piece 38 is about 45 degrees in this embodiment, but is not limited to this. In other words, it is only necessary to scoop up the short side 11a (11b) of the sheet body 11 as described later. Further, the taper angle α of the taper taper portion 38a can be arbitrarily set. In the illustrated example, the taper angle α is about 110 degrees. However, the taper angle α is not limited to this, and the taper taper portion 38a may be omitted.

ところで、基盤20の長手方向両端部には、図2に示すように、幅方向に延びる貫通孔40が設けられ、この貫通孔40に保持片35が挿通され、これによって、爪部材12が基盤20の裏面側に配置される。   By the way, as shown in FIG. 2, through-holes 40 extending in the width direction are provided at both longitudinal ends of the base 20, and holding pieces 35 are inserted into the through-holes 40, whereby the claw member 12 is attached to the base 20. 20 on the back side.

このため、爪部材駆動機構13によって、保持片35は矢印A,B方向(図1参照)に往復動し、爪部材12をシート体11の外側から辺(短辺)に向かって前進させてシート体11の辺(短辺)を引っ掛け爪部材12にて掬い上げさせることができ、また、この辺(短辺)側から外側へ引っ掛け爪部材12を後退させることができる。   Therefore, the holding piece 35 is reciprocated in the directions of arrows A and B (see FIG. 1) by the claw member driving mechanism 13, and the claw member 12 is advanced from the outside of the sheet body 11 toward the side (short side). The side (short side) of the sheet body 11 can be scooped up by the hooking claw member 12, and the hooking claw member 12 can be moved backward from the side (short side) side to the outside.

なお、保持片35の水平方向壁35bには、鉛直方向に延びる長孔41が設けられ、この長孔41を介して、ボルト部材42が支持体34の支持部34bに螺着される。これによって、保持片35を支持体34に取り付けることができる。この際、ボルト部材42が水平方向壁35bの長孔41に挿通されるものであるので、基盤20に対する保持片35の上下方向高さ位置調整が可能となって、爪部材12の基盤20に対する上下方向高さ位置を調整できる。   The horizontal wall 35 b of the holding piece 35 is provided with a long hole 41 extending in the vertical direction, and the bolt member 42 is screwed to the support portion 34 b of the support body 34 through the long hole 41. As a result, the holding piece 35 can be attached to the support 34. At this time, since the bolt member 42 is inserted through the long hole 41 of the horizontal wall 35b, the vertical height position of the holding piece 35 with respect to the base 20 can be adjusted, and the claw member 12 with respect to the base 20 can be adjusted. The vertical position can be adjusted.

引っ掛け爪部材12としては、材質や肉厚としては、後述するように、シート体11を掬い上げることができ、しかも、強度的にも安定する範囲で種々変更できる。この場合、多少可撓性を有するものが好ましい。また、先細テーパ部38aの肉厚としても均一であっても、先端に行くにしたがって薄肉としてもよい。   The material and thickness of the hooking claw member 12 can be variously changed within a range in which the sheet body 11 can be scooped up and stable in strength as will be described later. In this case, those having some flexibility are preferable. Moreover, even if it is uniform as the thickness of the taper taper part 38a, it is good also as a thin wall toward the front-end | tip.

ところで、この剥離装置には、引っ掛け爪部材12にてシート体11の端部(一つの辺)を掬い上げた状態で、掬い上げ部位60に流体を吹き付けるブロー機構50を備えている。ブロー機構50は、流体(例えば、エア)を吹き出すノズル51と、このノズル51の基部を支持する支持体52とを備え、図示省略の流体源(エア源)からエア(流体)が供給され、ノズル51からエア(流体)を吹き出すことができる。なお、支持体52が、ボルト部材53を介して保持片35に固着されている。   By the way, this peeling apparatus is provided with a blow mechanism 50 that sprays fluid onto the scooping portion 60 in a state where the end (one side) of the sheet body 11 is scooped up by the hooking claw member 12. The blow mechanism 50 includes a nozzle 51 that blows out fluid (for example, air) and a support body 52 that supports a base portion of the nozzle 51, and air (fluid) is supplied from a fluid source (air source) (not shown). Air (fluid) can be blown out from the nozzle 51. The support body 52 is fixed to the holding piece 35 via a bolt member 53.

爪部材駆動機構による爪部材12の往復動、スライド上下動機構による基盤20の上下動、及び吸着機構の吸着動作等は、図示省略の制御手段および記憶手段等にて行うことができる。制御手段は、例えば、CPU(Central Processing Unit)を中心としてROM(Read Only Memory)やRAM(Random Access Memory)等がバスを介して相互に接続されたマイクロコンピューターである。記憶手段としての記憶装置は、HDD(Hard Disc Drive)やDVD(Digital Versatile Disk)ドライブ、CD−R(Compact Disc-Recordable)ドライブ、EEPROM(Electronically Erasable and Programmable Read Only Memory)等からなる。なお、ROMには、CPUが実行するプログラムやデータが格納されている。   The reciprocating movement of the claw member 12 by the claw member driving mechanism, the vertical movement of the base 20 by the slide vertical movement mechanism, the suction operation of the suction mechanism, and the like can be performed by a control means and a storage means (not shown). The control means is, for example, a microcomputer in which a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and the like are connected to each other via a bus with a central processing unit (CPU) as a center. A storage device as a storage means includes an HDD (Hard Disc Drive), a DVD (Digital Versatile Disk) drive, a CD-R (Compact Disc-Recordable) drive, an EEPROM (Electronically Erasable and Programmable Read Only Memory), or the like. The ROM stores programs executed by the CPU and data.

次に、前記のように構成した剥離装置を用いた剥離方法を図1を用いて説明する。シート体11の両短辺11a、11bよりもわずか外側に、基盤20の長手方向両端部側の引っ掛け爪部材12をそれぞれ位置させる。この際、図1(a)に示すように、引っ掛け爪部材12の先端の先細テーパ部38aを基板10に接触乃至近接させた状態とする。   Next, a peeling method using the peeling apparatus configured as described above will be described with reference to FIG. The hooking claw members 12 on both ends in the longitudinal direction of the base 20 are positioned slightly outside the short sides 11a and 11b of the sheet body 11, respectively. At this time, as shown in FIG. 1A, the tapered tapered portion 38 a at the tip of the hooking claw member 12 is brought into contact with or close to the substrate 10.

吸着ヘッド14は、基盤20の長手方向両端部側にそれぞれ一対ずつ配設され、その初期状態において、シート体11の一方の短辺11a側の吸着ヘッド14(14A)が、この短辺11aよりも内側に位置し、シート体11の他方の短辺11b側の吸着ヘッド14(14B)が、この短辺11bよりも内側に位置する。そして、図1(a)に示すように、引っ掛け爪部材12の先端の先細テーパ部38aを基板10に接触乃至近接させた状態では、各吸着ヘッド14の吸着パット14aをシート体11の上面に接触させて、このシート体11を吸着した状態とする。   A pair of suction heads 14 are disposed on both ends in the longitudinal direction of the base 20, and in the initial state, the suction head 14 (14A) on the one short side 11a side of the sheet body 11 is from the short side 11a. Is located on the inner side, and the suction head 14 (14B) on the other short side 11b side of the sheet body 11 is located on the inner side with respect to the short side 11b. As shown in FIG. 1A, the suction pad 14 a of each suction head 14 is placed on the upper surface of the sheet body 11 in the state where the tapered portion 38 a at the tip of the hooking claw member 12 is in contact with or close to the substrate 10. It is made to contact and this sheet 11 is made into the state adsorbed.

次に、図1(b)に示すように、各引っ掛け爪部材12を矢印A方向に移動させる。これにより、引っ掛け爪部材12の傾斜片部38にて、シート体11の短辺11a、11b側を掬い上げる。これによって、シート体11の短辺11a、11b側に掬上部位60が形成される。この際、ブロー機構50にて、流体(エア)をこの掬上部位60に対して吹き付ける。具体的には、掬上部位60と基板10との間に流体(エア)を矢印Eのように吹き付けることになる。   Next, as shown in FIG. 1B, each hooking claw member 12 is moved in the arrow A direction. Thereby, the short sides 11 a and 11 b of the sheet body 11 are scooped up by the inclined piece portion 38 of the hooking claw member 12. Thereby, the upper part 60 is formed on the short sides 11 a and 11 b of the sheet body 11. At this time, the blow mechanism 50 blows fluid (air) against the upper portion 60. Specifically, fluid (air) is sprayed between the upper part 60 and the substrate 10 as shown by an arrow E.

その後、基盤20を上昇させることによって、各吸着ヘッド14を上昇させる。この際、シート体11の一方の短辺11a側の吸着ヘッド14(14A)が、他方の短辺11b側のスライドが可能であり、シート体11の他方の短辺11b側の吸着ヘッド14(14B)が、一方の短辺11a側へのスライドが可能である。このため、この上昇にともなって、吸着ヘッド14はシート体11からの反力で、一方の短辺11a側の吸着ヘッド14(14A)が、矢印Fのように他方の短辺11b側へスライドし、他方の短辺11b側の吸着ヘッド14(14B)が、矢印Fのように、一方の短辺11a側へスライドしていくことになる。これによって、シート体11を剥離していくことができ、最終的に、このシート体11を基板10から剥離することができる。なお、このような剥離作業が終了すれば、引っ掛け爪部材12及び吸着ヘッド14を初期状態に戻すことになる。この初期状態としては、図1(a)の状態から吸着ヘッド14にてシート体11を吸着させることなくスライド上下動機構を上昇させて、引っ掛け爪部材12及び吸着ヘッド14を基板10及びシート体11から離間させた状態であって、引っ掛け爪部材12がシート体11の外側に配設される状態である。   Thereafter, each suction head 14 is raised by raising the base 20. At this time, the suction head 14 (14A) on one short side 11a side of the sheet body 11 can slide on the other short side 11b side, and the suction head 14 (on the other short side 11b side of the sheet body 11) ( 14B) can slide to one short side 11a. For this reason, with this rise, the suction head 14 is caused by the reaction force from the sheet body 11, and the suction head 14 (14A) on one short side 11a side slides to the other short side 11b side as shown by the arrow F. Then, the suction head 14 (14B) on the other short side 11b side slides to the one short side 11a side as indicated by an arrow F. Thus, the sheet body 11 can be peeled off, and finally, the sheet body 11 can be peeled from the substrate 10. Note that when the peeling operation is completed, the hooking claw member 12 and the suction head 14 are returned to the initial state. In this initial state, the sliding vertical movement mechanism is raised without causing the suction head 14 to suck the sheet body 11 from the state of FIG. 1A, and the hooking claw member 12 and the suction head 14 are moved to the substrate 10 and the sheet body. 11 is a state where the hooking claw member 12 is disposed outside the sheet body 11.

本発明の剥離装置によれば、引っ掛け爪部材12をシート体11の外側から一つの辺に向かって前進させれば、シート体11の一つの辺を引っ掛け爪部材12にて掬い上げることができる。また、吸着ヘッド14にてシート体11を吸着できる。このため、引っ掛け爪部材12にてシート体11の一つの辺(端部)を掬い上げるとともに、吸着ヘッド14にてシート体11を吸着した状態で、吸着ヘッド14を上昇させていけば、この上昇にともなって、吸着ヘッドをシート体11からの反力で、前記一つの辺に相対向する対向辺に向かって移動していくことになる。これによって、シート体11を剥離していくことができる。すなわち、シート体11を吸着している吸着ヘッド、動力源を有する駆動機構を用いて移動させる必要がなく、また、シート体11に対して大きな荷重を負荷することなく、安定して剥離することができる。   According to the peeling device of the present invention, when the hooking claw member 12 is advanced from the outside of the sheet body 11 toward one side, one side of the sheet body 11 can be scooped up by the hooking claw member 12. . Further, the sheet body 11 can be sucked by the suction head 14. For this reason, if one side (end part) of the sheet body 11 is scooped up by the hooking claw member 12 and the suction head 14 is lifted while the suction head 14 is attracted, As it rises, the suction head is moved toward the opposite side opposite to the one side by the reaction force from the sheet body 11. Thereby, the sheet body 11 can be peeled off. That is, it is not necessary to move using the suction head that sucks the sheet body 11 and a drive mechanism having a power source, and the sheet body 11 can be stably peeled without applying a large load. Can do.

このため、本発明では、シート体11に対して大きな荷重を負荷することなく、安定して剥離することができるので、剥離途中で、シート体11が破れたり、ちぎれたりすることなく、安定して剥離することができる。しかも、基板11が剛体であっても剥離することができる。さらに、シート体11を吸着している吸着ヘッド14を、動力源を有する駆動機構を用いて移動させる必要がなく、しかも、シート体全体を一度に剥離するものではないので、吸着ヘッド14はあまり大きな吸着力を必要としない。このため、装置として簡略化、コンパクト化、および低コスト化を図ることができる。   For this reason, in this invention, since it can peel stably, without applying a big load with respect to the sheet | seat body 11, in the middle of peeling, the sheet | seat body 11 does not tear or tear, but is stable. Can be peeled off. Moreover, even if the substrate 11 is a rigid body, it can be peeled off. Furthermore, the suction head 14 that sucks the sheet body 11 does not need to be moved using a drive mechanism having a power source, and the entire sheet body is not peeled at a time. Does not require large adsorption power. For this reason, simplification, compactness, and cost reduction as an apparatus can be achieved.

前記実施形態のように、複数個の引っ掛け爪部材12を備えたものでは、一の引っ掛け爪部材12による掬い上げを失敗しても他の引っ掛け爪部材12でシート体11の端部を掬い上げすることができる。このため、剥離作業の精度を上げることができ、作業性の向上を図ることができる。   As in the above-described embodiment, in the case where a plurality of hooking claw members 12 are provided, even if the scooping by one hooking claw member 12 fails, the other hooking claw member 12 scoops up the end of the sheet body 11. can do. For this reason, the precision of peeling work can be raised and workability | operativity can be improved.

掬い上げ部位60に流体を吹き付けることができ、引っ掛け爪部材12による救い上げによるシート体11の一つの辺(端部)の基板10からの引き離しを安定して行うことができる。   The fluid can be sprayed to the scooping portion 60, and one side (end portion) of the sheet body 11 can be stably pulled away from the substrate 10 by the hooking claw member 12.

以上、本発明の実施形態につき説明したが、前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、シート体11としては、可撓性を有するものであればよいので、紙製や樹脂製等であってもよく、また、シート体11の大きさ、形状、肉厚としても本発明に係る剥離装置で剥離可能な範囲で任意に設定できる。このため、シート体11の用途としても特定されるものではない。基板10を前記実施形態では、鉄板等の剛体からなる構成していたが、剛体ではなく可撓性やクッション性のあるものから構成されていてもよい。   As described above, the embodiment of the present invention has been described. However, various modifications are possible without being limited to the above-described embodiment. For example, the sheet body 11 may be any one having flexibility. It may be made of paper, resin, or the like, and the size, shape, and thickness of the sheet body 11 can be arbitrarily set within a range that can be peeled by the peeling device according to the present invention. For this reason, it is not specified as an application of the sheet body 11. In the above-described embodiment, the substrate 10 is configured by a rigid body such as an iron plate. However, the substrate 10 may be configured by a flexible or cushioning material instead of a rigid body.

前記実施形態では、引っ掛け爪部材12を、両短辺11a,11b側に配設したが、いずれかの短辺11a(11b)にのみ設けたものであってもよく、各辺11a、11b側に配設される引っ掛け爪部材12の数としても、シート体11の大きさ、材質等に応じて任意に設定できる。   In the above-described embodiment, the hooking claw member 12 is disposed on both short sides 11a and 11b. However, the hooking claw member 12 may be provided only on one of the short sides 11a (11b). Also, the number of hooking claw members 12 disposed on can be arbitrarily set according to the size, material, and the like of the sheet body 11.

また、吸着ヘッド14としては、前記実施形態では、両短辺11a,11b側にそれぞれ一対ずつ配設されたものであったが、その配置数は任意であり、引っ掛け爪部材12が配置される側に少なくとも1つあればよい。ブロー機構50にて吹き出す流体としては、窒素ガス、酸素ガスなどの気体であっても、水等の液体であってもよい。すなわち、剥離するシート体11の材質やシート体11を基板10に貼り付けるため接着剤や粘着剤等の種類によって種々の流体を用いることができる。   Further, in the above-described embodiment, the suction heads 14 are arranged in pairs on the both short sides 11a and 11b, but the number of the arrangement is arbitrary, and the hooking claw member 12 is arranged. There should be at least one on the side. The fluid blown out by the blow mechanism 50 may be a gas such as nitrogen gas or oxygen gas, or a liquid such as water. That is, various fluids can be used depending on the type of the adhesive or pressure-sensitive adhesive for attaching the material of the sheet body 11 to be peeled off or the sheet body 11 to the substrate 10.

なお、前記実施形態において、シート体11を剥離した後においては、吸着ヘッド14が、基板10の中央に寄った状態である。このため、次にシート体11を剥離する場合、初期状態(図1(a)に示すように、吸着ヘッド14,14がシート体11の両短辺11a、11b側に位置する状態)に戻す必要がある。このため、作業者がこの状態に戻すようにしてもよいが、戻し機構を設けてもよい。戻し機構としては、シリンダ機構、ボールナット機構等の種々の往復動機構を採用できる。この場合、シリンダ機構等は、各保持板23にそれぞれ1機づつ配置することがきる。また、往復動機構としては、シート体11の剥離作業時には、吸着ヘッド14の移動を妨げない位置および状態(例えば、押圧ロットがフリーの状態)とする必要がある。   In the embodiment, after the sheet body 11 is peeled off, the suction head 14 is in the state of approaching the center of the substrate 10. Therefore, when the sheet body 11 is peeled next, the sheet body 11 is returned to the initial state (the state where the suction heads 14 and 14 are positioned on the both short sides 11a and 11b side of the sheet body 11 as shown in FIG. 1A). There is a need. For this reason, the operator may return to this state, but a return mechanism may be provided. As the return mechanism, various reciprocating mechanisms such as a cylinder mechanism and a ball nut mechanism can be adopted. In this case, one cylinder mechanism or the like can be arranged on each holding plate 23. Further, the reciprocating mechanism needs to be in a position and a state (for example, a state where the pressing lot is free) that does not hinder the movement of the suction head 14 during the peeling operation of the sheet body 11.

10 基板
11 シート体
11a 短辺
11b 短辺
12 引っ掛け爪部材
13 爪部材駆動機構
14 吸着ヘッド
14a 吸着パット
15 吸着機構
16 スライド上下動機構
50 ブロー機構
60 掬い上げ部位
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Substrate 11 Sheet body 11a Short side 11b Short side 12 Hook claw member 13 Claw member drive mechanism 14 Adsorption head 14a Adsorption pad 15 Adsorption mechanism 16 Slide vertical movement mechanism 50 Blow mechanism 60 Scooping part

Claims (7)

基板上に貼付されたシート体を基板から剥す剥離装置であって、
少なくともシート体の一つの辺を掬い上げるための引っ掛け爪部材と、
この引っ掛け爪部材をシート体の外側から前記一つの辺に向かって前進させてシート体の一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げさせるとともに、この一つの辺側から外側へ引っ掛け爪部材を後退させる爪部材駆動機構と、
シート体を吸着する吸着ヘッドを有する吸着機構と、
一つの辺側とこの辺と相対向する対向辺側との間の吸着ヘッドの往復動、および吸着ヘッドの上下動を許容するスライド上下動機構とを備えたことを特徴とする剥離装置。
A peeling device for peeling off a sheet attached to a substrate from the substrate,
A hooking claw member for scooping up at least one side of the sheet body;
The hooking claw member is advanced from the outside of the sheet body toward the one side, and one side of the sheet body is scooped up by the hooking claw member, and the hooking claw member is moved backward from the one side side. A claw member drive mechanism
An adsorption mechanism having an adsorption head for adsorbing a sheet body;
A peeling apparatus comprising: a reciprocating movement of a suction head between one side and an opposite side opposite to the side; and a slide vertical movement mechanism that allows the suction head to move up and down.
引っ掛け爪部材を、シート体の一つの辺に沿って所定ピッチで複数個配設したことを特徴とする請求項1に記載の剥離装置。   2. The peeling apparatus according to claim 1, wherein a plurality of hooking claw members are arranged at a predetermined pitch along one side of the sheet body. 引っ掛け爪部材を、相対向する一対の各辺側にそれぞれ配設したことを特徴とする請求項1に記載の剥離装置。   The peeling device according to claim 1, wherein the hooking claw members are arranged on a pair of opposite sides. 引っ掛け爪部材を、相対向する一対の各辺側にそれぞれ所定ピッチで複数個配設したことを特徴とする請求項1に記載の剥離装置。   The peeling apparatus according to claim 1, wherein a plurality of hooking claw members are arranged at a predetermined pitch on each of a pair of opposing sides. 引っ掛け爪部材にてシート体の一つの辺を掬い上げた状態で、掬い上げ部位に流体を吹き付けるブロー機構を備えたことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の剥離装置。   5. The blow mechanism according to claim 1, further comprising a blow mechanism that blows fluid to a scooping portion in a state where one side of the sheet body is scooped up by the hooking claw member. Peeling device. 基板上に貼付されたシート体を基板から剥す剥離方法であって、
引っ掛け爪部材をシート体の外側からこのシート体の一つの辺に向かって前進させてこの一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げ、この状態で、シート体を吸着している吸着ヘッドを上昇させつつ、この上昇に伴って吸着ヘッドをシート体からの反力で、前記一つの辺に相対向する対向辺に向かって移動させながらシート体を基板から剥離していくことを特徴とする剥離方法。
A peeling method for peeling off a sheet body affixed on a substrate from the substrate,
The hooking claw member is advanced from the outside of the sheet body toward one side of the sheet body, and the one side is scooped up by the hooking claw member. In this state, the suction head that sucks the sheet body is raised. The sheet body is peeled off from the substrate while the suction head is moved toward the opposite side opposite to the one side by the reaction force from the sheet body as it is raised. Method.
シート体の一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げた状態で、この掬い上げ部の流体を吹き付けることを特徴とする請求項6に記載の剥離方法。   The peeling method according to claim 6, wherein the fluid of the scooping portion is sprayed in a state where one side of the sheet body is scooped up by the hooking claw member.
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