JP2013119167A - Foreign object inspection method of liquid droplet discharge device - Google Patents

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Go Yoshizawa
剛 吉澤
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve a problem of drawing while heating a platen that the platen is deformed by heating and a foreign object on the platen cannot be correctly inspected.SOLUTION: A liquid droplet discharge device includes: the platen including a mounting surface for mounting a workpiece; a foreign object detection part for scanning on the mounting surface of the platen; and a discharge head for discharging function liquid as liquid droplet to the workpiece mounted on the mounting surface of the platen while heating the platen. The foreign object inspection method of the liquid droplet discharge device includes: a platen heating process for heating the platen; a shape data obtaining process for obtaining shape data of the mounting surface of the heated platen; a platen adjustment process for adjusting the mounting surface of the platen to a horizontal state based on the obtained shape data; and a foreign object inspection process for inspecting a foreign object on the adjusted mounting surface of the platen.

Description

本発明は、液滴吐出装置の異物検査方法に関する。   The present invention relates to a foreign matter inspection method for a droplet discharge device.

従来、異物検出用のセンサーを備えた液滴吐出装置における異物検査方法として、例えば、異物検出用のセンサーを用いてプラテン上を検査し、センサーの出力値に基づき、異物の有無を判断する方法が知られている（例えば、特許文献１）。   Conventionally, as a foreign matter inspection method in a droplet discharge apparatus equipped with a foreign matter detection sensor, for example, a method of inspecting the platen using a foreign matter detection sensor and determining the presence or absence of foreign matter based on the output value of the sensor Is known (for example, Patent Document 1).

特開２００６−８８６１２号公報JP 2006-88612 A

しかしながら、例えば、プラテンを加熱させながら使用する液滴吐出装置では、加熱によってプラテンが変形し、センサーとプラテンとの距離が不均一となるため、センサーの検出精度が低下し、正確に異物を検査することができない、という課題があった。   However, for example, in a droplet discharge device that is used while the platen is heated, the platen is deformed by heating, and the distance between the sensor and the platen becomes non-uniform. There was a problem that it was not possible.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出装置の異物検査方法は、ワークを載置する載置面を備えたプラテンと、前記プラテンの前記載置面上を走査する異物検出部と、前記プラテンを所定の温度で加熱させながら、前記プラテンの前記載置面に載置された前記ワークに機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと、を備えた液滴吐出装置の異物検査方法であって、前記プラテンを前記所定の温度で加熱するプラテン加熱工程と、加熱された前記プラテンの前記載置面の形状データを取得する形状データ取得工程と、取得された前記形状データに基づいて、前記異物検出部と前記プラテンの前記載置面との距離が所定の距離となるように、前記プラテンの載置面の高さを調整するプラテン調整工程と、調整された前記プラテンの前記載置面の異物を検査する異物検査工程と、を含むことを特徴とする。   Application Example 1 A foreign matter inspection method for a droplet discharge device according to this application example includes a platen having a placement surface on which a workpiece is placed, a foreign matter detection unit that scans the placement surface of the platen, A foreign matter inspection method for a droplet discharge device, comprising: a discharge head that discharges a functional liquid as droplets to the workpiece placed on the placement surface of the platen while heating the platen at a predetermined temperature. A platen heating step of heating the platen at the predetermined temperature; a shape data acquisition step of acquiring shape data of the placement surface of the heated platen; and based on the acquired shape data. A platen adjustment step for adjusting the height of the placement surface of the platen so that the distance between the foreign object detection unit and the placement surface of the platen is a predetermined distance, and the placement of the adjusted platen Foreign matter on the surface Characterized in that it comprises a a particle inspection step of inspecting.

この構成によれば、まず、プラテンを加熱して、加熱された状態のプラテンの載置面の形状データを取得する。これにより、実際の使用条件におけるプラテンの載置面の形状データが取得される。次いで、形状データに基づいて、プラテンの載置面の高さが調整される。この際、異物検出部とプラテンの載置面との距離が所定の距離を保持するように調整する。プラテンの調整は、取得された形状データに基づいて行われるので、効率よく調整を行うことができる。また、異物検出部とプラテンの載置面と距離を均一に調整することにより、異物検出部の検出精度が高まり、載置面上の異物を確実に検査することができる。   According to this configuration, first, the platen is heated, and the shape data of the placing surface of the heated platen is acquired. Thereby, the shape data of the mounting surface of the platen under actual use conditions is acquired. Next, the height of the mounting surface of the platen is adjusted based on the shape data. At this time, the distance between the foreign object detector and the platen mounting surface is adjusted so as to maintain a predetermined distance. Since the platen is adjusted based on the acquired shape data, the platen can be adjusted efficiently. Further, by uniformly adjusting the distance between the foreign matter detection unit and the placement surface of the platen, the detection accuracy of the foreign matter detection unit is increased, and the foreign matter on the placement surface can be reliably inspected.

［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出装置の異物検査方法の前記プラテン調整工程では、前記吐出ヘッドと前記プラテンの前記載置面との距離が所定の距離となるように、前記プラテンの載置面の高さを調整することを特徴とする。   Application Example 2 In the platen adjustment step of the foreign matter inspection method for a droplet discharge device according to the application example, the platen is adjusted so that the distance between the discharge head and the mounting surface of the platen is a predetermined distance. The height of the mounting surface is adjusted.

この構成によれば、吐出ヘッドとプラテンの載置面との距離が所定の距離となるように調整されるので、異物検出部の異物に対する精度を高めるとともに、液滴の吐出性を確保することができる。   According to this configuration, since the distance between the ejection head and the platen mounting surface is adjusted to be a predetermined distance, it is possible to improve the accuracy with respect to the foreign matter of the foreign matter detection unit and ensure the droplet discharge performance. Can do.

液滴吐出装置の構成を示す模式図。The schematic diagram which shows the structure of a droplet discharge apparatus. プラテン形状測定部の構成を示す模式図。The schematic diagram which shows the structure of a platen shape measurement part. 液滴吐出装置の異物検査方法を示す工程図。4 is a process diagram illustrating a foreign matter inspection method for a droplet discharge device.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならせて示している。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the scale of each layer and each member is shown different from the actual scale so that each layer and each member can be recognized.

（液滴吐出装置の構成）
まず、液滴吐出装置の構成について説明する。図１は、液滴吐出装置１０の構成を示す模式図である。液滴吐出装置１０は、ワーク６を載置する載置面４ａを備えたプラテン４と、プラテン４の載置面４ａ上を走査する異物検出部２と、プラテン４を加熱させながら、プラテン４の載置面４ａに載置されたワーク６に機能液を液滴として吐出する吐出ヘッド９等を備えた装置である。以下、さらに具体的に説明する。 (Configuration of droplet discharge device)
First, the configuration of the droplet discharge device will be described. FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of the droplet discharge device 10. The droplet discharge device 10 includes a platen 4 having a placement surface 4 a on which the workpiece 6 is placed, a foreign object detection unit 2 that scans the placement surface 4 a of the platen 4, and the platen 4 while heating the platen 4. The apparatus is provided with a discharge head 9 and the like for discharging the functional liquid as droplets onto the workpiece 6 mounted on the mounting surface 4a. More specific description will be given below.

図１に示すように、液滴吐出装置１０は、ワーク６に向けて機能液を液滴として吐出する吐出ヘッド９と異物検出部２を搭載したキャリッジ１と、ワーク６を載置するプラテン４と、プラテン４を加熱する加熱部１５と、ワーク６を搬送する搬送部３０と、これらの部材を制御する制御部（図示せず）を備えている。さらに、プラテン４の形状を測定するプラテン形状測定部２０（図２参照）を備えている。本実施形態の搬送部３０は、ロール・ツー・ロール方式を用いており、ワーク６をプラテン４側に供給する供給ローラー７とワーク６を巻き取って除材する除材ローラー８等を有している。ワーク６は、例えば、プラスチックフィルム等である。   As shown in FIG. 1, a droplet discharge device 10 includes a discharge head 9 that discharges a functional liquid as droplets toward a workpiece 6, a carriage 1 on which a foreign object detector 2 is mounted, and a platen 4 on which the workpiece 6 is placed. A heating unit 15 that heats the platen 4, a transport unit 30 that transports the workpiece 6, and a control unit (not shown) that controls these members. Furthermore, a platen shape measuring unit 20 (see FIG. 2) for measuring the shape of the platen 4 is provided. The transport unit 30 of the present embodiment uses a roll-to-roll method, and includes a supply roller 7 that supplies the workpiece 6 to the platen 4 side, a material removal roller 8 that winds the workpiece 6 and removes the material. ing. The workpiece 6 is, for example, a plastic film.

吐出ヘッド９は、例えば、圧力発生手段としての圧電素子を備えたインクジェットヘッドである。なお、圧力発生手段として、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用してもよい。さらには、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液を液滴として吐出させる構成を有する吐出ヘッドであってもよい。   The ejection head 9 is, for example, an ink jet head provided with a piezoelectric element as pressure generating means. As the pressure generating means, a so-called electrostatic actuator that generates static electricity between the diaphragm and the electrode, deforms the diaphragm by electrostatic force, and discharges droplets from the nozzle may be used. Furthermore, the discharge head which has the structure which generates a bubble in a nozzle using a heat generating body, and discharges a functional liquid as a droplet with the bubble may be sufficient.

異物検出部２は、プラテン４の載置面４ａの異物を検出する部である。異物検出部２は、発光部２ａと受光部２ｂとが対向して配置され、発光部２ａから発せられた光を異物等の物体が遮るのを受光部２ｂで検出することにより、異物の有無を検出することができる。異物検出部２は、プラテン４のＹ軸方向端部のそれぞれに発光部２ａと受光部２ｂとが対向して配置されている。なお、異物検出部２としては、他に超音波センサーやレザーセンサー等を適用してもよい。   The foreign matter detection unit 2 is a unit that detects foreign matter on the placement surface 4 a of the platen 4. The foreign object detection unit 2 is configured so that the light emitting unit 2a and the light receiving unit 2b are opposed to each other, and the light receiving unit 2b detects the presence of a foreign object by detecting that an object such as a foreign object is blocking the light emitted from the light emitting unit 2a. Can be detected. In the foreign matter detection unit 2, the light emitting unit 2 a and the light receiving unit 2 b are arranged to face each other at the Y-axis direction end of the platen 4. In addition, as the foreign material detection unit 2, an ultrasonic sensor, a leather sensor, or the like may be applied.

キャリッジ１は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動軸を有し、キャリッジ１に接続された移動部（図示せず）を駆動させることにより、キャリッジ１をＸ軸方向及びＹ軸方向の所定の位置に移動させることができる。そして、キャリッジ１をＸ軸方向に移動させながら異物検出部２を駆動させることにより、プラテン４の載置面４ａ上の異物を検出することができる。また、キャリッジ１を移動させながら、ワーク６に向けて吐出ヘッド９から機能液を液滴として吐出し、機能液をワーク６上に塗布することにより、ワーク６上に画像を形成することができる。   The carriage 1 has moving axes in the X-axis direction and the Y-axis direction, and by driving a moving unit (not shown) connected to the carriage 1, the carriage 1 is moved in a predetermined direction in the X-axis direction and the Y-axis direction. Can be moved to a position. The foreign matter on the placement surface 4a of the platen 4 can be detected by driving the foreign matter detection unit 2 while moving the carriage 1 in the X-axis direction. Further, an image can be formed on the work 6 by ejecting the functional liquid as droplets from the ejection head 9 toward the work 6 while moving the carriage 1 and applying the functional liquid onto the work 6. .

プラテン４は、ワーク６を載置する載置面４ａを備えている。載置面４ａは略水平な面を有している。プラテン４の載置面４ａとは反対側の面にプラテン形状調整部５が接続されている。本実施形態では、プラテン形状調整部５が、プラテン４の端部及び中央部に接続されている。プラテン形状調整部５は、例えば、ボルトで構成され、当該ボルトを回転させることにより、プラテン４の各部の高さを調整することにより、プラテン４の載置面４ａの高さを調整することができる。これにより、載置面４ａを水平状態に調整することができる。   The platen 4 includes a placement surface 4a on which the workpiece 6 is placed. The mounting surface 4a has a substantially horizontal surface. A platen shape adjusting portion 5 is connected to the surface of the platen 4 opposite to the placement surface 4a. In the present embodiment, the platen shape adjusting unit 5 is connected to the end and center of the platen 4. The platen shape adjusting unit 5 is constituted by, for example, a bolt, and the height of the mounting surface 4a of the platen 4 can be adjusted by adjusting the height of each part of the platen 4 by rotating the bolt. it can. Thereby, the mounting surface 4a can be adjusted to a horizontal state.

加熱部１５は、プラテン４を加熱するものであり、例えば、ヒーター等である。本実施形態の液滴吐出装置１０では、プラテン４の載置面４ａにワーク６を載置し、プラテン４を加熱させながら吐出ヘッド９から液滴を吐出させる。これにより、加熱されたプラテンによりワーク６が加熱されるため、ワーク６上に液滴が着弾したときに、液滴が増粘するため、液滴の着弾位置のずれが低減され、高精細な画像を形成することができる。   The heating unit 15 heats the platen 4 and is, for example, a heater. In the droplet discharge device 10 of the present embodiment, a workpiece 6 is placed on the placement surface 4 a of the platen 4, and droplets are discharged from the discharge head 9 while the platen 4 is heated. As a result, since the workpiece 6 is heated by the heated platen, the droplets thicken when the droplets land on the workpiece 6, so that the deviation of the landing positions of the droplets is reduced, and high-definition is achieved. An image can be formed.

次に、プラテン形状測定部の構成について説明する。プラテン形状測定部は、プラテンの載置面の形状データを取得するものである。図２は、プラテン形状測定部の構成を示す模式図である。図２に示すように、プラテン形状測定部２０は、キャリッジ取付部１３と、キャリッジ取付部１３に接続された計測部としてのダイヤルゲージ１１を備えている。そして、プラテン形状測定部２０をキャリッジ１に取り付けた状態において、ダイヤルゲージ１１の端子部１１ａがプラテン４の載置面４ａに接触するように設定されている。   Next, the configuration of the platen shape measuring unit will be described. The platen shape measuring unit acquires shape data of the mounting surface of the platen. FIG. 2 is a schematic diagram illustrating the configuration of the platen shape measuring unit. As shown in FIG. 2, the platen shape measurement unit 20 includes a carriage attachment portion 13 and a dial gauge 11 as a measurement portion connected to the carriage attachment portion 13. The terminal portion 11 a of the dial gauge 11 is set so as to contact the mounting surface 4 a of the platen 4 in a state where the platen shape measuring unit 20 is attached to the carriage 1.

そして、プラテン４の載置面４ａの形状データを取得する場合には、図２に示すように、プラテン形状測定部２０をキャリッジ１に取り付けた状態で、キャリッジ１をＸ軸及びＹ軸方向に移動させ、ダイヤルゲージ１１の端子部１１ａをプラテン４の載置面４ａの端部及び中央部等の所定の位置に移動させることにより、各位置におけるダイヤルゲージ１１の出力値を読み取る。これにより、プラテン４の載置面４ａの形状データを取得することができる。なお、キャリッジ１の移動によるダイヤルゲージ１１の検査範囲が、プラテン４の載置面４ａの領域よりも小さい場合には、ダイヤルゲージ１１を移動させる移動手段を設けてもよい。   When the shape data of the mounting surface 4a of the platen 4 is acquired, the carriage 1 is moved in the X-axis and Y-axis directions with the platen shape measuring unit 20 attached to the carriage 1, as shown in FIG. By moving the terminal 11a of the dial gauge 11 to a predetermined position such as the end and the center of the mounting surface 4a of the platen 4, the output value of the dial gauge 11 at each position is read. Thereby, the shape data of the mounting surface 4a of the platen 4 can be acquired. Note that when the inspection range of the dial gauge 11 due to the movement of the carriage 1 is smaller than the area of the mounting surface 4 a of the platen 4, a moving means for moving the dial gauge 11 may be provided.

ここで、本実施形態の液滴吐出装置１０では、加熱部１５を駆動させプラテン４を所定の温度で加熱させながら、プラテン４の載置面４ａに載置されたワーク６に機能液を液滴として吐出する。このため、加熱によってプラテン４が変形し、異物検出部２とプラテン４との距離が不均一となり、異物検出部２の検出精度が低下し、正確に異物を検査することができないおそれがある。そこで、以下に示すように、液滴吐出装置の異物検査方法を実施する。   Here, in the droplet discharge device 10 of the present embodiment, the functional liquid is applied to the work 6 placed on the placement surface 4a of the platen 4 while the heating unit 15 is driven to heat the platen 4 at a predetermined temperature. Discharge as drops. For this reason, the platen 4 is deformed by heating, the distance between the foreign matter detection unit 2 and the platen 4 becomes non-uniform, the detection accuracy of the foreign matter detection unit 2 is lowered, and the foreign matter may not be accurately inspected. Therefore, as shown below, a foreign matter inspection method for the droplet discharge device is implemented.

（液滴吐出装置の異物検査方法）
次に、液滴吐出装置の異物検査方法について説明する。液滴吐出装置の異物検査方法は、ワークを載置する載置面を備えたプラテンと、プラテンの載置面上を走査する異物検出部と、プラテンを所定の温度で加熱させながら、プラテンの載置面に載置されたワークに機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと、を備えた液滴吐出装置の異物検査方法であって、プラテンを所定の温度で加熱するプラテン加熱工程と、加熱されたプラテンの載置面の形状データを取得する形状データ取得工程と、取得された前記形状データに基づいて、異物検出部とプラテンの載置面との距離が所定の距離となるように、プラテンの載置面の高さを調整するプラテン調整工程と、調整されたプラテンの前記載置面の異物を検査する異物検査工程と、を含むものである。図３は、液滴吐出装置の異物検査方法を示す工程図である。なお、本実施形態では、液滴吐出装置１０における異物検査方法について説明する。 (Foreign matter inspection method of droplet discharge device)
Next, a foreign matter inspection method for the droplet discharge device will be described. A foreign matter inspection method for a droplet discharge device includes a platen having a placement surface on which a workpiece is placed, a foreign matter detection unit that scans the placement surface of the platen, and heating the platen at a predetermined temperature. A foreign matter inspection method for a droplet discharge device, comprising: a discharge head that discharges a functional liquid as droplets onto a workpiece mounted on a mounting surface, a platen heating step for heating a platen at a predetermined temperature; Based on the acquired shape data and the acquired shape data, the distance between the foreign object detector and the platen mounting surface is a predetermined distance based on the acquired shape data. And a platen adjustment step of adjusting the height of the platen placement surface, and a foreign matter inspection step of inspecting the foreign matter on the placement surface of the adjusted platen. FIG. 3 is a process diagram showing a foreign matter inspection method of the droplet discharge device. In the present embodiment, a foreign matter inspection method in the droplet discharge device 10 will be described.

まず、プラテン加熱工程では、プラテン４を加熱する。具体的には、加熱部１５を駆動させてプラテン４を加熱させる。ここで、実際に描画する際のプラテンの温度条件に対応するように加熱することが好ましい。プラテン４を加熱することにより、プラテン４が膨張し、変形する。本実施形態では、例えば、図３（ａ）に示すように、プラテン４が、キャリッジ１方向に凸形状に変形する。   First, in the platen heating step, the platen 4 is heated. Specifically, the heating unit 15 is driven to heat the platen 4. Here, it is preferable to heat so as to correspond to the temperature condition of the platen at the time of actual drawing. By heating the platen 4, the platen 4 expands and deforms. In the present embodiment, for example, as shown in FIG. 3A, the platen 4 is deformed into a convex shape in the direction of the carriage 1.

次いで、形状データ取得工程では、加熱されたプラテン４の載置面４ａの形状データを取得する。具体的には、図３（ｂ）に示すように、キャリッジ１にプラテン形状測定部２０を取り付け、キャリッジ１をＸ軸及びＹ軸方向に移動させ、プラテン形状測定部２０のダイヤルゲージ１１の値を読み取る。プラテン４の測定箇所としては、例えば、プラテン４の端部及び中央部について測定する。測定されたデータは、制御部に送信される、そして、制御部では、送信された測定データに基づいて、載置面４ａの形状データが算出される。   Next, in the shape data acquisition step, shape data of the mounting surface 4a of the heated platen 4 is acquired. Specifically, as shown in FIG. 3B, the platen shape measuring unit 20 is attached to the carriage 1, the carriage 1 is moved in the X-axis and Y-axis directions, and the value of the dial gauge 11 of the platen shape measuring unit 20. Read. As a measurement location of the platen 4, for example, measurement is performed on an end portion and a central portion of the platen 4. The measured data is transmitted to the control unit, and the control unit calculates the shape data of the mounting surface 4a based on the transmitted measurement data.

次いで、プラテン調整工程では、取得された形状データに基づいて、異物検出部２とプラテン４の載置面４ａとの距離が所定の距離となるように、プラテン４の載置面４ａの高さを調整する。なお、上記所定の距離とは、一定の許容範囲を含む距離である。具体的には、図３（ｃ）に示すように、取得された形状データに基づいて、各プラテン形状調整部５のボルトを回転させ、載置面４ａ全体が略水平状態となるように調整する。さらに、吐出ヘッド９の吐出面９ａとプラテン４の載置面４ａとの距離が所定の距離となるように、プラテン４の載置面４ａの高さを調整する。すなわち、プラテンギャップが均一となるように調整する。なお、上記所定の距離とは、一定の許容範囲を含む距離である。このように調整することにより、プラテンギャップが均一化されるとともに、異物検出部２とプラテン４の載置面４ａとの距離を均一化することができる。   Next, in the platen adjustment process, based on the acquired shape data, the height of the placement surface 4a of the platen 4 is set such that the distance between the foreign object detection unit 2 and the placement surface 4a of the platen 4 is a predetermined distance. Adjust. The predetermined distance is a distance including a certain allowable range. Specifically, as shown in FIG. 3C, based on the acquired shape data, the bolts of each platen shape adjusting unit 5 are rotated so that the entire mounting surface 4a is adjusted to a substantially horizontal state. To do. Further, the height of the placement surface 4a of the platen 4 is adjusted so that the distance between the ejection surface 9a of the ejection head 9 and the placement surface 4a of the platen 4 becomes a predetermined distance. That is, the platen gap is adjusted to be uniform. The predetermined distance is a distance including a certain allowable range. By adjusting in this way, the platen gap can be made uniform, and the distance between the foreign object detector 2 and the placement surface 4a of the platen 4 can be made uniform.

次いで、異物検査工程では、調整されたプラテン４の載置面４ａの異物を検査する。具体的には、図３（ｄ）に示すように、キャリッジ１をＸ軸方向に移動させながら、異物検出部２を駆動させる。そして、異物検出部２から得られた出力に基づいて異物の有無を検査する。   Next, in the foreign matter inspection step, the foreign matter on the placement surface 4a of the adjusted platen 4 is inspected. Specifically, as shown in FIG. 3D, the foreign object detection unit 2 is driven while moving the carriage 1 in the X-axis direction. Then, the presence / absence of foreign matter is inspected based on the output obtained from the foreign matter detection unit 2.

そして、異物検査によって、異物が有ると判断された場合には、プラテン４の載置面４ａの異物を除去する。一方、異物が無いと判断された場合には、吐出ヘッド９を駆動させ、ワーク６上に描画を開始させる。   When it is determined by the foreign matter inspection that there is a foreign matter, the foreign matter on the mounting surface 4a of the platen 4 is removed. On the other hand, when it is determined that there is no foreign matter, the ejection head 9 is driven to start drawing on the workpiece 6.

以上、本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。   As described above, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.

実使用に即してプラテン４を加熱して、加熱された状態のプラテン４の載置面４ａの形状データを取得する。次いで、取得された形状データに基づいて、プラテン形状調整部５を調整してプラテン４の載置面４ａを水平状態に調整する。その後、異物検査を行う。この際、プラテン４の調整により、プラテン４の載置面４ａと異物検出部２との距離が一定に保たれた状態で検査される。従って、異物検出精度を高め、確実に異物を検査することができる。   The platen 4 is heated in accordance with actual use, and the shape data of the mounting surface 4a of the heated platen 4 is acquired. Next, based on the acquired shape data, the platen shape adjusting unit 5 is adjusted to adjust the placement surface 4a of the platen 4 to a horizontal state. Thereafter, foreign matter inspection is performed. At this time, the inspection is performed in a state in which the distance between the placement surface 4a of the platen 4 and the foreign object detection unit 2 is kept constant by adjusting the platen 4. Therefore, the foreign object detection accuracy can be improved and the foreign object can be inspected reliably.

なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。変形例を以下に述べる。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and improvements can be added to the above-described embodiment. A modification will be described below.

（変形例１）上記実施形態では、プラテン４を加熱した場合、プラテン４が、キャリッジ１方向に凸形状に変形する場合について説明したが、例えば、プラテン４が、キャリッジ１方向に凹形状に変形する場合であっても、各プラテン形状調整部５のボルトを回転させ、載置面４ａ全体が略水平状態となるように調整すればよい。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。   (Modification 1) In the above embodiment, when the platen 4 is heated, the platen 4 is deformed into a convex shape in the carriage 1 direction. For example, the platen 4 is deformed into a concave shape in the carriage 1 direction. Even in this case, it is only necessary to rotate the bolts of the platen shape adjusting portions 5 so that the entire mounting surface 4a is in a substantially horizontal state. Even if it does in this way, the same effect as the above can be acquired.

１…キャリッジ、２…異物検出部、４…プラテン、４ａ…載置面、５…プラテン形状調整部、６…ワーク、７…供給ローラー、８…除材ローラー、９…吐出ヘッド、９ａ…吐出面、１０…液滴吐出装置、１１…ダイヤルゲージ、１１ａ…端子部、１３…キャリッジ取付部、１５…加熱部、２０…プラテン形状測定部、３０…搬送部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Carriage, 2 ... Foreign material detection part, 4 ... Platen, 4a ... Mounting surface, 5 ... Platen shape adjustment part, 6 ... Workpiece, 7 ... Supply roller, 8 ... Material removal roller, 9 ... Discharge head, 9a ... Discharge Surface 10, droplet ejection device 11, dial gauge 11 a terminal portion 13 carriage mounting portion 15 heating unit 20 platen shape measuring unit 30 transport unit

Claims (2)

ワークを載置する載置面を備えたプラテンと、前記プラテンの前記載置面上を走査する異物検出部と、前記プラテンを所定の温度で加熱させながら、前記プラテンの前記載置面に載置された前記ワークに機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと、を備えた液滴吐出装置の異物検査方法であって、
前記プラテンを前記所定の温度で加熱するプラテン加熱工程と、
加熱された前記プラテンの前記載置面の形状データを取得する形状データ取得工程と、
取得された前記形状データに基づいて、前記異物検出部と前記プラテンの前記載置面との距離が所定の距離となるように、前記プラテンの載置面の高さを調整するプラテン調整工程と、
調整された前記プラテンの前記載置面の異物を検査する異物検査工程と、を含むことを特徴とする液滴吐出装置の異物検査方法。 A platen having a placement surface on which a workpiece is placed, a foreign object detection unit that scans the placement surface of the platen, and a platen that is placed on the placement surface of the platen while heating the platen at a predetermined temperature. A foreign matter inspection method for a droplet discharge device, comprising: a discharge head that discharges functional liquid as droplets to the workpiece placed;
A platen heating step of heating the platen at the predetermined temperature;
A shape data obtaining step for obtaining shape data of the placement surface of the heated platen;
A platen adjustment step of adjusting the height of the mounting surface of the platen based on the acquired shape data so that the distance between the foreign object detector and the mounting surface of the platen is a predetermined distance; ,
A foreign matter inspection step for inspecting foreign matter on the placement surface of the platen that has been adjusted, and a foreign matter inspection method for a droplet discharge device. 請求項１に記載の液滴吐出装置の異物検査方法において、
前記プラテン調整工程では、
前記吐出ヘッドと前記プラテンの前記載置面との距離が所定の距離となるように、前記プラテンの載置面の高さを調整することを特徴とする液滴吐出装置の異物検査方法。 In the foreign matter inspection method of the droplet discharge device according to claim 1,
In the platen adjustment step,
A foreign matter inspection method for a droplet discharge apparatus, comprising adjusting a height of a mounting surface of the platen so that a distance between the discharge head and the mounting surface of the platen is a predetermined distance.
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