JP2013099799A - 切削装置 - Google Patents
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- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 85
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 24
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 10
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 4
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 208000027418 Wounds and injury Diseases 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 208000014674 injury Diseases 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
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Abstract
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段とを備えた切削装置であって、該切削手段は、モータにより回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する該スピンドルの先端部に装着された切削ブレードと、該切削ブレードを挟持して該スピンドルに固定するマウントと、を具備し、該マウントと該切削ブレードの少なくとも何れか一方に、該スピンドルの回転中と停止中とで模様が変わることで該スピンドルの回転を認識させる認識マークが形成されていることを特徴とする。
【選択図】図2
Description
18 チャックテーブル
24 切削ユニット
26 スピンドル
28 切削ブレード(ハブブレード)
28A 切削ブレード(ワッシャーブレード)
38 後ろマウント
46,56,60,62 認識マーク
48 締結ボルト
58 押さえナット
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、を備えた切削装置であって、
該切削手段は、
モータにより回転駆動されるスピンドルと、
該スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングと、
該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する該スピンドルの先端部に装着された切削ブレードと、
該切削ブレードを挟持して該スピンドルに固定するマウントと、を具備し、
該マウントと該切削ブレードの少なくとも何れか一方に、該スピンドルの回転中と停止中とで模様が変わることで該スピンドルの回転を認識させる認識マークが形成されていることを特徴とする切削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011243509A JP5875330B2 (ja) | 2011-11-07 | 2011-11-07 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011243509A JP5875330B2 (ja) | 2011-11-07 | 2011-11-07 | 切削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013099799A true JP2013099799A (ja) | 2013-05-23 |
JP5875330B2 JP5875330B2 (ja) | 2016-03-02 |
Family
ID=48620976
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011243509A Active JP5875330B2 (ja) | 2011-11-07 | 2011-11-07 | 切削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5875330B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5324994U (ja) * | 1976-08-11 | 1978-03-02 | ||
JPS61124368U (ja) * | 1985-01-25 | 1986-08-05 | ||
JP2000015548A (ja) * | 1998-07-01 | 2000-01-18 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ面取り装置 |
US20080053364A1 (en) * | 2006-08-31 | 2008-03-06 | Weaver Lionel A | Visual indicator for rotating tool |
-
2011
- 2011-11-07 JP JP2011243509A patent/JP5875330B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5324994U (ja) * | 1976-08-11 | 1978-03-02 | ||
JPS61124368U (ja) * | 1985-01-25 | 1986-08-05 | ||
JP2000015548A (ja) * | 1998-07-01 | 2000-01-18 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ面取り装置 |
US20080053364A1 (en) * | 2006-08-31 | 2008-03-06 | Weaver Lionel A | Visual indicator for rotating tool |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5875330B2 (ja) | 2016-03-02 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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