JP2013098628A - Surface mounting crystal oscillator - Google Patents

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文雄 浅村
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To constitute an inexpensive surface mounting crystal oscillator by laminating and bonding a package (crystal resonator) into which a crystal piece is hermetically enclosed to an IC mounting substrate without using a package with an H-type cross section formed by burning and laminating an expensive ceramic plate.SOLUTION: In the surface mounting crystal oscillator, an IC mounting substrate 7 to which an IC chip 4 is bonded and a crystal resonator 2 composed of a hermetically enclosed crystal piece 3 and crystal packages 2a, 2b are laminated and bonded each other, and a crystal resonator connection terminal 9a of the IC mounting substrate 7 and a terminal 9b of the crystal resonator are mutually connected by a conductor 6a, e.g. a coreless solder ball or an anisotropic conductive sheet.

Description

本発明は、表面実装用水晶発振器に係り、とくに、IC実装基板に実装したICチップの高さを位置決めの基準として用いて半田ボール等の導電体で水晶振動子とIC実装基板とを接続した温度補償型水晶発振器(TCXO)に関する。   The present invention relates to a surface mount crystal oscillator, and in particular, a crystal resonator and an IC mount substrate are connected by a conductor such as a solder ball using the height of an IC chip mounted on the IC mount substrate as a positioning reference. The present invention relates to a temperature compensated crystal oscillator (TCXO).

水晶振動子とICチップとを一体化させた水晶デバイスの代表的なものとして、水晶振動子と、この水晶振動子に用いる発振回路を集積したICチップとを一体化させた表面実装用水晶発振器がある。   As a representative example of a crystal device in which a crystal resonator and an IC chip are integrated, a crystal oscillator for surface mounting in which a crystal resonator and an IC chip in which an oscillation circuit used for the crystal resonator is integrated are integrated. There is.

表面実装用水晶発振器は、小型かつ軽量であることから、とくに携帯型の電子機器、例えば、携帯電話器において、周波数や時間の基準源として広く用いられている。   Since the surface-mount crystal oscillator is small and lightweight, it is widely used as a reference source for frequency and time, particularly in portable electronic devices such as mobile phones.

このような、表面実装用水晶発振器の代表的なものとして、図16に示すように、セラミック板2aの両主面に開口部を形成したセラミック板2b,2cをそれぞれ焼成・積層して凹部12a,12bを形成して、断面がH型のセラミックパッケージ2を構成し、一方の凹部12aに水晶片3を水晶保持端子3bに導電性接着剤3aにより接合してから金属リング13を介してリッド8により密閉封入し、また、他方の凹部12bにIC実装基板7にIC実装用バンプ5と異方性導電樹脂14によりICチップ4を固定し、接合端子15a,15bにより水晶振動子に接合してから、格納してH型の表面実装用水晶発振器を構成する。そして、実装基板(図示せず)に発振器実装端子により水晶発振器を実装する(特許文献1)。   As a typical example of such a surface-mount crystal oscillator, as shown in FIG. 16, ceramic plates 2b and 2c having openings formed on both main surfaces of the ceramic plate 2a are fired and laminated, respectively, to form a recess 12a. , 12b to form a ceramic package 2 having an H-shaped cross section, and a crystal piece 3 is bonded to one of the recesses 12a by a conductive adhesive 3a to a crystal holding terminal 3b, and then a lid is connected via a metal ring 13. 8 is hermetically sealed, and the IC chip 4 is fixed to the IC mounting substrate 7 by the IC mounting bump 5 and the anisotropic conductive resin 14 in the other concave portion 12b, and bonded to the crystal resonator by the bonding terminals 15a and 15b. After that, an H-type surface-mount crystal oscillator is stored. Then, a crystal oscillator is mounted on a mounting substrate (not shown) by an oscillator mounting terminal (Patent Document 1).

とくに、温度補償型水晶発振器(TCXO)は、その小型化が最近進んでおり、外形寸法が2.0mm×1.6mm×0.8mmのサイズまでの発振器が生産されているが、さらなる小型化が要求されており、現在、サイズが1.6mm×1.2mm×0.7mmのTCXOの開発が進められている。しかしながら、TCXOが小型化するに従い、その製造が困難になる反面、その価格は、昨今、下がらざるを得ない傾向にある。そのため、製造が簡単で、かつ低価格な小型TCXOの実現が渇望されている。   In particular, the temperature-compensated crystal oscillator (TCXO) has recently been miniaturized, and oscillators with outer dimensions of 2.0 mm x 1.6 mm x 0.8 mm have been produced. Currently, development of a TCXO having a size of 1.6 mm × 1.2 mm × 0.7 mm is underway. However, as TCXO becomes smaller, its manufacture becomes difficult, but its price tends to be lowered recently. Therefore, realization of a compact TCXO that is easy to manufacture and inexpensive is eagerly desired.

特開2009−105628号公報JP 2009-105628 A 特開2004−180012号公報JP 2004-180012 A

しかしながら、この種の従来の表面実装用水晶発振器では、セラミック板を複数枚(例えば3枚)焼成・積層してH型断面のパッケージを形成し、それぞれの凹部に水晶片とICチップを樹脂で覆ってから格納してから密閉封入していたが、セラミックパッケージが極めて高価であるため水晶発振器がコスト高になるとともに、ICチップを樹脂で覆う際に、樹脂がパッケージの凹部からはみ出さないように注入することが非常に難しいため、その生産性が極めて低い等の問題点があった。   However, in this type of conventional surface-mount crystal oscillator, a plurality of ceramic plates (for example, three) are fired and stacked to form a package with an H-shaped cross section, and a crystal piece and an IC chip are made of resin in each recess. Although it was sealed after being covered, the ceramic package is extremely expensive, so the cost of the crystal oscillator becomes high, and when the IC chip is covered with resin, the resin does not protrude from the recess of the package Since it is very difficult to inject it, the productivity is extremely low.

また、圧電発振器において、外部端子と接続端子を電気的に接続するための導電体として半田ボールを用い、発振回路基板に位置規制手段を設け、半田ボールと接続端子と外部端子に対して水平方向に正確に配置するものがあるが、ICチップの高さを位置決めの基準として利用するものではなかった(特許文献2)。   Also, in the piezoelectric oscillator, a solder ball is used as a conductor for electrically connecting the external terminal and the connection terminal, a position restricting means is provided on the oscillation circuit board, and the solder ball, the connection terminal, and the external terminal are horizontally oriented However, the height of the IC chip is not used as a positioning reference (Patent Document 2).

上記した課題を解決するため、本発明の表面実装用水晶発振器は、ICチップを接合したIC実装基板または水晶接続基板と、気密封止された水晶片と水晶パッケージとからなる水晶振動子と、を積層して接合し、該IC実装基板または、水晶接続基板の水晶振動子接続端子と該水晶振動子の端子を導電体により接続したことを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, a surface-mount crystal oscillator according to the present invention includes an IC mounting substrate or a crystal connection substrate to which an IC chip is bonded, a crystal resonator including a hermetically sealed crystal piece and a crystal package, And a crystal resonator connection terminal of the IC mounting substrate or the crystal connection substrate and a terminal of the crystal resonator are connected by a conductor.

また、本発明の表面実装用水晶発振器は、前記導電体が、コアなし半田ボールからなることを特徴とする。   In the crystal oscillator for surface mounting according to the present invention, the conductor is composed of a coreless solder ball.

ここで、前記コアなし半田ボールの直径が、50μmから300μmであることを特徴とする。   Here, the coreless solder ball has a diameter of 50 μm to 300 μm.

さらに、前記導電体が、異方性導電シートからなることを特徴とする。   Furthermore, the conductor is made of an anisotropic conductive sheet.

また、前記異方性導電シートが、平面視で環状に形成され、または、前記異方性導電シートが、平面視でテープ状に形成されていることを特徴とする。   Further, the anisotropic conductive sheet is formed in a ring shape in a plan view, or the anisotropic conductive sheet is formed in a tape shape in a plan view.

またさらに、前記異方性導電シートが、接着性を有し、または、前記異方性導電シートが、接着性を有しないことを特徴とする。   Still further, the anisotropic conductive sheet has adhesiveness, or the anisotropic conductive sheet has no adhesiveness.

本発明では、前記ICチップが、金バンプにより前記IC実装基板または前記水晶振動子接続基板に接合され、または、半田バンプにより前記IC実装基板に接合されていることを特徴とする。   The present invention is characterized in that the IC chip is bonded to the IC mounting substrate or the crystal resonator connecting substrate by a gold bump, or is bonded to the IC mounting substrate by a solder bump.

さらに、前記ICチップと前記IC実装基板または前記水晶振動子接続基板との接合部を絶縁性のエポキシ系接着剤で保護し、また、前記IC実装基板または前記水晶振動子接続基板と前記ICチップの間に絶縁性のエポキシ系接着剤を充填したことを特徴とする。   Further, a joint between the IC chip and the IC mounting substrate or the crystal resonator connecting substrate is protected with an insulating epoxy adhesive, and the IC mounting substrate or the crystal resonator connecting substrate and the IC chip are protected. It is characterized by filling an insulating epoxy adhesive in between.

また、本発明では、前記IC実装基板の内部(内層)にGND層を埋設して形成したことを特徴とする。   Further, the present invention is characterized in that a GND layer is embedded in the IC mounting substrate (inner layer).

さらに、前記IC実装基板の内部に前記IC実装基板に形成した配線の下に対応するようGND層を埋設して形成したことを特徴とする。   Further, the present invention is characterized in that a GND layer is embedded in the IC mounting substrate so as to correspond to the bottom of the wiring formed on the IC mounting substrate.

またさらに、前記IC実装基板の内部にGND層を埋設して形成し、該GND層の最大外形寸法が水晶接続用端子及び水晶接続用端子とICチップの配線パターンの外枠寸法よりも大に形成したことを特徴とする。   Furthermore, a GND layer is embedded in the IC mounting substrate, and the maximum outer dimension of the GND layer is larger than the outer dimensions of the crystal connection terminal and the crystal connection terminal and the wiring pattern of the IC chip. It is formed.

また、前記表面実装用水晶発振器が、温度補償型水晶発振器であることを特徴とする。   The surface-mount crystal oscillator is a temperature-compensated crystal oscillator.

本発明では、前記ICチップが、温度補償電圧を発生させる温度センサ回路と、該温度センサ回路の出力を用いて温度補償電圧を発生させる温度補償回路と、温度補償量を決定するための不揮発性メモリと、水晶発振回路と、該水晶発振回路が出力するアナログ信号を出力するためのバッファ回路と、を格納していることを特徴とする。   In the present invention, the IC chip includes a temperature sensor circuit that generates a temperature compensation voltage, a temperature compensation circuit that generates a temperature compensation voltage using an output of the temperature sensor circuit, and a non-volatile for determining a temperature compensation amount A memory, a crystal oscillation circuit, and a buffer circuit for outputting an analog signal output from the crystal oscillation circuit are stored.

IC実装基板または水晶振動子接続基板の水晶振動子接続端子と水晶振動子の端子とを導電体、例えば、コアなし半田ボールまたは異方性導電シート、で接続したので、IC実装基板または水晶振動子接続基板と水晶振動子の接続後の間隔を一定にすることができるとともに、正確、廉価かつ高生産性で表面実装用水晶振動子を製造できるようになる。   Since the crystal resonator connection terminal of the IC mounting substrate or crystal resonator connecting substrate and the crystal resonator terminal are connected by a conductor such as a coreless solder ball or anisotropic conductive sheet, the IC mounting substrate or crystal vibration The distance between the connection board and the crystal unit after the connection can be made constant, and the surface mount crystal unit can be manufactured accurately, inexpensively and with high productivity.

本発明の表面実装用水晶発振器の実施例である、温度補償型水晶発振器の実施例1を示し、IC実装基板の水晶振動子接続端子と水晶振動子の端子とをコアなし半田ボールで接続した実施例を示し、(a)は、上から見た平面図、(b)は、その縦断面図を示す、(c)は、IC実装基板内にGND層を形成した実施例の縦断面を示す。1 shows a temperature-compensated crystal oscillator, which is an embodiment of a surface-mount crystal oscillator according to the present invention, in which a crystal resonator connection terminal of an IC mounting substrate and a crystal resonator terminal are connected by a solder ball without a core. An example is shown, (a) is a top view seen from the top, (b) shows the longitudinal section, (c) shows the longitudinal section of the example which formed the GND layer in the IC mounting substrate. Show. 図1に示した本発明の温度補償型水晶発振器の底面図を示す。The bottom view of the temperature compensation type | mold crystal oscillator of this invention shown in FIG. 1 is shown. 図1に示した本発明の温度補償型水晶発振器において、ICチップをIC実装基板の上面に実装した状態を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a state in which an IC chip is mounted on an upper surface of an IC mounting substrate in the temperature compensated crystal oscillator of the present invention shown in FIG. 1. 図1にA矢視で示す部分の部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view of the part shown by A arrow in FIG. 図1に示した本発明の実施例1の温度補償型水晶発振器のブロック図である。FIG. 2 is a block diagram of the temperature compensated crystal oscillator according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 1. 本発明の表面実装用水晶発振器の実施例2である、温度補償型水晶発振器の縦断面図を示し、IC実装基板の水晶振動子接続端子と水晶振動子の端子とを異方性導電シートで接続した実施の形態を示す。1 is a longitudinal sectional view of a temperature-compensated crystal oscillator that is a second embodiment of a surface-mount crystal oscillator according to the present invention, and an anisotropic conductive sheet is used to connect a crystal resonator connection terminal and a crystal resonator terminal of an IC mounting substrate. The connected embodiment is shown. 図6に示した本発明の温度補償型水晶発振器の実施例2の底面図を示す。FIG. 7 shows a bottom view of the second embodiment of the temperature compensated crystal oscillator of the present invention shown in FIG. 6. 図6に示した本発明の温度補償型水晶発振器に用いる異方性導電シートを上から見た平面図を示す。The top view which looked at the anisotropic conductive sheet used for the temperature compensation type | mold crystal oscillator of this invention shown in FIG. 6 from the top is shown. 図6に示した本発明の温度補償型水晶発振器において、ICチップをIC実装基板の上面に実装した状態を示す平面図である。FIG. 7 is a plan view showing a state in which an IC chip is mounted on an upper surface of an IC mounting substrate in the temperature compensated crystal oscillator of the present invention shown in FIG. 6. 本発明の温度補償型水晶発振器の実施例3の縦断面図を示し、IC実装基板の水晶振動子接続端子と水晶振動子の端子とを接着力のある異方性導電シートで接続した実施の形態を示す。FIG. 6 is a longitudinal sectional view of a temperature-compensated crystal oscillator according to a third embodiment of the present invention, in which the crystal resonator connection terminal of the IC mounting substrate and the crystal resonator terminal are connected by an anisotropic conductive sheet having adhesive force. The form is shown. 図10に示した本発明の温度補償型水晶発振器の実施例3の底面図を示す。FIG. 11 shows a bottom view of the third embodiment of the temperature compensated crystal oscillator of the present invention shown in FIG. 10. 図10に示した本発明の温度補償型水晶発振器に用いる接着力のある異方性導電シートを上から見た平面図を示す。The top view which looked at the anisotropic conductive sheet with the adhesive force used for the temperature compensation type | mold crystal oscillator of this invention shown in FIG. 10 from the top is shown. 図10に示した本発明の温度補償型水晶発振器において、ICチップをIC実装基板に実装する状態を示す平面図を示し、(a)は水晶振動子をIC端子側から見た平面図、(b)は、ICチップをIC端子に搭載後の平面図である。FIG. 10 is a plan view showing a state in which an IC chip is mounted on an IC mounting substrate in the temperature compensated crystal oscillator of the present invention shown in FIG. 10, and FIG. b) is a plan view after the IC chip is mounted on the IC terminal. 本発明の温度補償型水晶発振器の実施例4の縦断面図を示し、IC実装基板の水晶振動子接続端子と水晶振動子の端子とを接着力のない異方性導電シートで接続した実施の形態を示す。FIG. 9 is a longitudinal sectional view of a temperature-compensated crystal oscillator according to a fourth embodiment of the present invention, in which the crystal resonator connection terminal of the IC mounting substrate and the crystal resonator terminal are connected by an anisotropic conductive sheet having no adhesive force. The form is shown. 図14に示した本発明の温度補償型水晶発振器の実施例4の底面図を示す。FIG. 15 is a bottom view of the temperature-compensated crystal oscillator according to the fourth embodiment of the present invention shown in FIG. 14. 従来例のH字状断面のパッケージをもつ表面実装型水晶発振器の縦断面図を示す。The longitudinal cross-sectional view of the surface mount-type crystal oscillator which has a package of the H-shaped cross section of a prior art example is shown.

以下、本発明の表面実装用水晶発振器の実施例を添付した図面に基づいて説明する。   Embodiments of a surface-mount crystal oscillator according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

実施例1
実施例1は、IC実装基板と水晶振動子を接続する導電体に、コアなし半田ボールを用いたものである。
Example 1
In Example 1, a coreless solder ball is used as a conductor connecting an IC mounting substrate and a crystal resonator.

図1(a),(b)及び図4に示すように、本発明の表面実装用水晶発振器の実施例1の温度補償型水晶発振器は、セラミックまたは水晶板あるいはガラス板からなるIC実装基板7の上面主面上にIC実装用バンプ(半田または金バンプ)5、あるいはフリップチップ・ボンディングにより実装されたICチップ4と、このICチップ4の上面主面上に、セラミックまたは水晶板あるいはガラス板2a,2bからなり、かつ、その内部に水晶片3を水晶保持端子3bに導電性接着剤3aにより接合保持して構成した水晶パッケージ2(水晶振動子という)を接着し、水晶パッケージ2の上部開口をコバールまたは水晶板からなるリッド8をシーム溶接等により、密封封入して、構成されている。   As shown in FIGS. 1A, 1B, and 4, the temperature-compensated crystal oscillator according to the first embodiment of the surface-mount crystal oscillator of the present invention is an IC mounting substrate 7 made of a ceramic, a crystal plate, or a glass plate. IC mounting bumps (solder or gold bumps) 5 on the upper surface main surface of the IC chip 4 or IC chip 4 mounted by flip chip bonding, and a ceramic or crystal plate or glass plate on the upper surface main surface of the IC chip 4 A crystal package 2 (referred to as a crystal resonator) composed of 2a and 2b and having a crystal piece 3 bonded and held to a crystal holding terminal 3b by a conductive adhesive 3a is bonded to the upper portion of the crystal package 2 A lid 8 made of Kovar or a quartz plate is hermetically sealed and sealed by seam welding or the like.

IC実装基板7の上面主面にIC実装バンプ5またはフリップチップ・ボンディングにより実装されたICチップ4の下面主面と該上面主面との間には、熱応力による端子のクラック防止のため絶縁性のエポキシ樹脂11が充填され、また、ICチップ4の接合部4aは絶縁性のエポキシ樹脂で水晶パッケージ2と接合してもよい。   Insulation between the lower surface main surface of the IC chip 4 mounted on the upper surface main surface of the IC mounting substrate 7 by IC chip bumps 5 or flip chip bonding and the upper surface main surface to prevent cracking of terminals due to thermal stress. Alternatively, the bonding portion 4a of the IC chip 4 may be bonded to the crystal package 2 with an insulating epoxy resin.

そして、半田ボール6aがコアなしのため上から加熱押圧すると変形してしまうので、IC実装基板7にIC実装バンプ5を介して接合したICチップ4の垂直方向の高さhを位置決めの基準位置として用い、IC実装基板7の水晶振動子接続端子9aと水晶振動子2の底面に設けた水晶振動子2の端子9bとをコアなし(内部にコア部分がない中実の)の半田ボール6a(導電体)を介在させ、半田ボール6aを加熱・溶融させて機械的・電気的に水晶振動子2とIC実装基板の7とに接続する。ここで、接続後、塵埃の侵入を防止するため、コアなし半田ボール6aの周囲を樹脂封止してもよい。   Since the solder ball 6a has no core and is deformed when heated and pressed from above, the vertical height h of the IC chip 4 joined to the IC mounting substrate 7 via the IC mounting bumps 5 is set as a positioning reference position. The crystal resonator connection terminal 9a of the IC mounting substrate 7 and the terminal 9b of the crystal resonator 2 provided on the bottom surface of the crystal resonator 2 are used as a solder ball 6a without a core (solid with no core portion inside). A (conductor) is interposed, and the solder ball 6a is heated and melted to be mechanically and electrically connected to the crystal resonator 2 and the IC mounting substrate 7. Here, after the connection, in order to prevent intrusion of dust, the periphery of the coreless solder ball 6a may be resin-sealed.

ここで、コアなし半田ボール6aを直接IC実装基板7の上面に設けた水晶振動子接続端子9a上に載置してもよいが、予めIC実装基板7上に半田を印刷した後、溶融してコアなし半田ボール6aを個片またはウエハレベルで形成してもよい。あるいは、予め水晶振動子2の端子9b上に半田を印刷した後、溶融してコアなし半田ボール6aを個片またはウエハレベルで形成してもよい。   Here, the coreless solder ball 6a may be placed directly on the crystal resonator connection terminal 9a provided on the upper surface of the IC mounting substrate 7. However, after solder is printed on the IC mounting substrate 7 in advance, the solder ball 6a is melted. Further, the coreless solder ball 6a may be formed at an individual piece or wafer level. Alternatively, solder may be printed on the terminals 9b of the crystal resonator 2 in advance, and then melted to form the coreless solder balls 6a at a piece or wafer level.

とくに、本実施例1で、コアなし半田ボール(例えば、鉛フリー半田ボール)を水晶振動子とIC実装基板の接続に用いることにより、例えば、銅コアボールにSnAgメッキしたコアありボールに比べて廉価な導電体としての半田ボールが得られるようになる。   In particular, in the first embodiment, by using a coreless solder ball (for example, lead-free solder ball) for connection between a crystal resonator and an IC mounting substrate, for example, compared to a cored ball in which a SnAg plating is applied to a copper core ball. Solder balls can be obtained as inexpensive conductors.

ここで、できるだけ、水晶発振器の低背化をはかるため、接続に用いる半田ボール6aの直径は50μm〜300μmの範囲内とする。   Here, in order to reduce the height of the crystal oscillator as much as possible, the diameter of the solder ball 6a used for connection is set in the range of 50 μm to 300 μm.

さらに、IC実装基板7の下面(底面)主面には、図2に示すように、顧客の実装基板(図示せず)に発振器を実装するための発振器実装端子30(外部端子)(VDD:電源端子、GND:接地端子、OUT:発振出力端子、AFC:自動周波数制御端子)が設けられている。これらの発振器実装端子30は、とくに、図4に詳細に示すように、IC実装基板7を貫通するビアホールに形成した貫通電極30aによりIC実装バンプ5の電極パッド5aに接続されている。   Further, on the lower surface (bottom surface) main surface of the IC mounting substrate 7, as shown in FIG. 2, an oscillator mounting terminal 30 (external terminal) (VDD: for mounting an oscillator on a customer mounting substrate (not shown)). A power supply terminal, GND: ground terminal, OUT: oscillation output terminal, AFC: automatic frequency control terminal) are provided. In particular, these oscillator mounting terminals 30 are connected to the electrode pads 5a of the IC mounting bumps 5 by through electrodes 30a formed in via holes penetrating the IC mounting substrate 7, as shown in detail in FIG.

また、IC実装基板7の上面主面には、前述したように、半田ボール6aを用いて水晶振動子2とIC実装基板7とを接続するために、水晶接続用端子(GND,X1,X2端子)9aが設けられ、これらの水晶接続用端子9aはICチップ4をIC実装基板7に実装するための電極パッド5aに接続されている。   Further, as described above, the crystal mounting terminals (GND, X1, X2) are connected to the main surface of the upper surface of the IC mounting substrate 7 in order to connect the crystal resonator 2 and the IC mounting substrate 7 using the solder balls 6a. Terminals 9 a are provided, and these crystal connection terminals 9 a are connected to electrode pads 5 a for mounting the IC chip 4 on the IC mounting substrate 7.

また、図3に示すように、ICチップ4をIC実装基板7に実装した状態では、水晶接続用端子9a(GND)はIC端子50(GND)に、X1端子9a(X1)は端子X1に、また、X2端子9a(X2)はX2端子にそれぞれ接続されている。ここで、図3の右下の水晶接続用端子はダミーまたはGND端子であって、オープンまたはGND端子に接続され、水晶振動子2を均等に保持するためにコアなし半田ボール6aを用いて、水晶振動子2と接続してもよい。   Further, as shown in FIG. 3, in a state where the IC chip 4 is mounted on the IC mounting substrate 7, the crystal connection terminal 9a (GND) is connected to the IC terminal 50 (GND), and the X1 terminal 9a (X1) is connected to the terminal X1. The X2 terminal 9a (X2) is connected to the X2 terminal. Here, the crystal connection terminal at the lower right in FIG. 3 is a dummy or GND terminal, and is connected to the open or GND terminal, and uses the coreless solder ball 6a to hold the crystal resonator 2 evenly. It may be connected to the crystal unit 2.

また、図5に示すように、本発明の表面実装用水晶発振器の実施例である温度補償型水晶発振器の温度補償回路は、温度補償電圧を発生させる温度センサ回路20と、温度センサ回路20の出力を用いて温度補償電圧を発生させる温度補償回路21と、温度補償量を決定するための不揮発性メモリ25と、水晶発振回路23と、水晶発振回路23に接続された自動周波数制御入力調整回路26と、定電圧回路27と、水晶発振回路23が出力するアナログ信号を出力するための出力バッファ回路24と、から構成されている。   Further, as shown in FIG. 5, the temperature compensation circuit of the temperature compensated crystal oscillator which is an embodiment of the surface mount crystal oscillator of the present invention includes a temperature sensor circuit 20 for generating a temperature compensation voltage, and a temperature sensor circuit 20. A temperature compensation circuit 21 that generates a temperature compensation voltage using an output, a nonvolatile memory 25 for determining a temperature compensation amount, a crystal oscillation circuit 23, and an automatic frequency control input adjustment circuit connected to the crystal oscillation circuit 23 26, a constant voltage circuit 27, and an output buffer circuit 24 for outputting an analog signal output from the crystal oscillation circuit 23.

ここで、詳述すると、温度センサ回路20は、温度変化に対し出力が1次関数的に変化する電圧を発生し、温度補償回路21は、温度センサ回路20の出力電圧から水晶振動子2の周波数温度変化分を補償するための電圧を発生する。不揮発性メモリ25は、温度補償に用いるデータを格納し、自動周波数制御入力調整回路26は、AFC入力電圧に対する電圧利得を調整し、AFC入力電圧による周波数可変幅を調整する。また、水晶発振回路23は、ICチップ4の外部に接続された水晶振動子2と内蔵した増幅器、可変容量素子により電圧制御水晶発振器を構成している。さらに、定電圧回路27は、DC電源電圧から温度や電源電圧に依存しないICチップ内部で使用する電圧を発生し、出力バッファ回路24は、水晶発振回路の出力をバッファし、発振出力として出力する。   More specifically, the temperature sensor circuit 20 generates a voltage whose output changes in a linear function with respect to a temperature change, and the temperature compensation circuit 21 generates a voltage of the crystal resonator 2 from the output voltage of the temperature sensor circuit 20. A voltage is generated to compensate for the frequency temperature change. The nonvolatile memory 25 stores data used for temperature compensation, and the automatic frequency control input adjustment circuit 26 adjusts the voltage gain with respect to the AFC input voltage, and adjusts the frequency variable width by the AFC input voltage. Further, the crystal oscillation circuit 23 constitutes a voltage controlled crystal oscillator by the crystal resonator 2 connected to the outside of the IC chip 4, the built-in amplifier, and the variable capacitance element. Further, the constant voltage circuit 27 generates a voltage used in the IC chip independent of temperature and power supply voltage from the DC power supply voltage, and the output buffer circuit 24 buffers the output of the crystal oscillation circuit and outputs it as an oscillation output. .

また、図1(c)に示すように、IC実装基板7の内部にGND層7bを、あるいはIC実装基板7の配線の下にGND層7bを、GND層7bの最大外形寸法が水晶接続用端子9a及びICチップ4の配線パターンの外枠寸法よりも大きくなるように埋設して形成して、顧客の実装基板に本発明の表面実装用水晶発振器を実装した時に、水晶発振器の発振周波数が変動しないようにする。   Further, as shown in FIG. 1C, the GND layer 7b is provided inside the IC mounting substrate 7, or the GND layer 7b is provided under the wiring of the IC mounting substrate 7, and the maximum outer dimension of the GND layer 7b is for crystal connection. When the surface mount crystal oscillator of the present invention is mounted on a customer's mounting board by being embedded and formed so as to be larger than the outer frame size of the terminal 9a and the wiring pattern of the IC chip 4, the oscillation frequency of the crystal oscillator is Avoid fluctuations.

このようにして、IC実装基板7の配線パターン、IC実装電極の下にGND層を形成したので、携帯電話などの実装基板に本発明の表面実装用水晶発振器を実装した場合、水晶接続用端子9a及び水晶接続用端子9aとICチップ4の配線パターンと実装基板間の容量が変化して発振周波数が変化することが回避される。   Thus, since the GND layer is formed under the wiring pattern of the IC mounting substrate 7 and the IC mounting electrode, when the surface mounting crystal oscillator of the present invention is mounted on a mounting substrate such as a cellular phone, the crystal connection terminal 9a and the crystal connection terminal 9a, the wiring pattern of the IC chip 4 and the capacitance between the mounting substrate and the oscillation frequency are prevented from changing.

このように、本発明の表面実装用水晶発振器の実施例1である温度補償型水晶発振器では、コアあり半田ボールと比較して廉価なコアなし半田ボールにより、IC実装基板に実装したICチップの高さを位置決めの基準として用いて、IC実装基板の水晶振動子接続端子と水晶振動子の端子を接続したので、正確、廉価かつ高生産性で水晶発振器を、個片またはウエハレベルで、製造することができるようになる。   As described above, in the temperature compensated crystal oscillator which is the first embodiment of the surface mount crystal oscillator according to the present invention, the IC chip mounted on the IC mounting substrate by the coreless solder ball which is less expensive than the cored solder ball. Using the height as a positioning reference, the crystal resonator connection terminal of the IC mounting substrate and the crystal resonator terminal are connected, so that crystal oscillators can be manufactured at the individual or wafer level with high accuracy, low cost, and high productivity. Will be able to.

実施例2
実施例2は、IC実装基板と水晶振動子を接続する導電体に異方性導電シートを用いたものである。
Example 2
In Example 2, an anisotropic conductive sheet is used as a conductor connecting an IC mounting substrate and a crystal resonator.

すなわち、図6に示すように、本発明の表面実装用水晶発振器の実施例2の温度補償型水晶発振器は、セラミックまたは水晶板あるいはガラス板からなるIC実装基板7の上面主面上にIC実装用バンプ(半田または金バンプ)5、あるいはフリップチップ・ボンディングにより実装されたICチップ4と、このICチップ4の上面主面上に、セラミックまたは水晶板2a,2bからなり、かつ、その内部に水晶片3を水晶保持端子3bに導電性接着剤3aにより接合保持して構成した水晶パッケージ2(水晶振動子という)を接着し、水晶パッケージ2の上部開口をコバールまたは水晶板からなるリッド8を溶接などにより、密封封入して、構成されている。   That is, as shown in FIG. 6, the temperature-compensated crystal oscillator according to the second embodiment of the surface mount crystal oscillator of the present invention is mounted on the main surface of the upper surface of the IC mount substrate 7 made of ceramic, crystal plate, or glass plate. Bumps (solder or gold bumps) 5 or an IC chip 4 mounted by flip-chip bonding, and a ceramic or quartz plate 2a, 2b on the main surface of the upper surface of the IC chip 4 and inside thereof A crystal package 2 (referred to as a crystal resonator) formed by bonding and holding the crystal piece 3 to the crystal holding terminal 3b with a conductive adhesive 3a is bonded, and the upper opening of the crystal package 2 is covered with a lid 8 made of Kovar or a crystal plate. It is hermetically sealed by welding or the like.

IC実装基板7の上面主面にIC実装バンプ5またはフリップチップ・ボンディングにより実装されたICチップ4の下面主面と該上面主面との間に、絶縁性のエポキシ樹脂11を充填してもよい。   Even if an insulating epoxy resin 11 is filled between the lower surface main surface of the IC chip 4 mounted on the upper surface main surface of the IC mounting substrate 7 by IC chip bumps 5 or flip chip bonding and the upper surface main surface. Good.

そして、IC実装基板7にIC実装バンプ5を介して接合されたICチップ4の垂直方向の高さhを位置決めの基準として用い、IC実装基板7の水晶振動子接続端子9aと水晶振動子2の底面に設けた水晶振動子の端子9bに導電体である環状(枠型の)異方性導電シート6b(図8参照)を介在させて接続し、ICチップ4と水晶振動子2を接着剤4aで固定する。   Then, the vertical height h of the IC chip 4 bonded to the IC mounting substrate 7 via the IC mounting bumps 5 is used as a positioning reference, and the crystal resonator connection terminal 9a and the crystal resonator 2 of the IC mounting substrate 7 are used. An IC chip 4 and the crystal unit 2 are bonded to each other by connecting an annular (frame type) anisotropic conductive sheet 6b (see FIG. 8) as a conductor to a terminal 9b of the crystal unit provided on the bottom surface of the crystal unit. Fix with agent 4a.

この異方性導電シート6bは、シートの面方向に絶縁性を保持し、その厚み方向に導通性をもち、厚み方向に挟んで加圧することにより、電気的に水晶振動子接続端子9aと水晶振動子の端子9bとが接続される。   The anisotropic conductive sheet 6b retains insulation in the surface direction of the sheet, has conductivity in the thickness direction thereof, and is electrically sandwiched in the thickness direction and pressed to electrically connect the crystal resonator connection terminal 9a and the crystal. The terminal 9b of the vibrator is connected.

しかし、加圧により異方性導電シート6bが厚み方向に変形するので、実施例1と同様にICチップ4の垂直方向の高さhを位置決めの基準位置として用いる。   However, since the anisotropic conductive sheet 6b is deformed in the thickness direction by pressing, the vertical height h of the IC chip 4 is used as a reference position for positioning as in the first embodiment.

ここで、異方性導電シート6aとしては、例えば、厚みが、30μm、導電粒子として粒子径が2μmのニッケル粒子をバインダー中に含有させたもの(接着力がある)、または、カーボン系導電繊維を絶縁性シリコーンの厚さ方向に高密度に配向した異方性導電シート(接着力なし)であって、シートの厚さが、例えば、200μm、導通繊維径が30μmのもの(例えば、信越ポリマー社・MAFタイプ)が用いられる。この異方性導電シート6bは、個片の水晶発振器のIC実装基板7の上面に環状に打ち抜いたものを個々に貼りつけてもよいし、あるいはウエハレベルで水晶発振器を製造する際、無駄を省くため、ウエハ上にテープ状の異方性導電シートを十文字に貼りつけた後、個片に分割してもよい。   Here, as the anisotropic conductive sheet 6a, for example, a nickel particle having a thickness of 30 μm and a particle diameter of 2 μm as a conductive particle (adhesive strength) or a carbon-based conductive fiber is used. An anisotropic conductive sheet (no adhesive force) oriented with a high density in the thickness direction of the insulating silicone having a sheet thickness of, for example, 200 μm and a conductive fiber diameter of 30 μm (for example, Shin-Etsu Polymer) Company / MAF type) is used. The anisotropic conductive sheet 6b may be individually affixed to the upper surface of the IC mounting substrate 7 of the individual crystal oscillator, or it may be a waste when manufacturing the crystal oscillator at the wafer level. In order to save, a tape-like anisotropic conductive sheet may be affixed to the wafer and then divided into individual pieces.

また、IC実装基板7の下面(裏面)主面には、図7に示し、かつ実施例1で詳述したように、顧客の実装基板(図示せず)に本発明の表面実装用水晶発振器を実装するための発振器実装端子(外部端子)30が設けられている。   Further, the main surface of the lower surface (back surface) of the IC mounting substrate 7 is shown in FIG. 7, and as described in detail in the first embodiment, the surface mounting crystal oscillator of the present invention is mounted on a customer mounting substrate (not shown). Is provided with an oscillator mounting terminal (external terminal) 30.

さらに、IC実装基板7の上面主面には、図9に示し、かつ、実施例1で詳述したように、異方性導電シート6bを用いて水晶振動子2を接続するために、水晶接続用端子9aが設けられている。そして、接着力がある異方性導電シート6aを用いる場合は、隙間を狭くするために、あらかじめ水晶接続用端子9aまたは、水晶振動子の端子9bに接続用半田バンプ28を形成しておく。   Further, as shown in FIG. 9 and described in detail in Example 1, the top surface of the IC mounting substrate 7 is connected to the crystal unit 2 by using the anisotropic conductive sheet 6b. A connection terminal 9a is provided. When the anisotropic conductive sheet 6a having adhesive force is used, the solder bumps 28 for connection are formed in advance on the crystal connection terminals 9a or the crystal resonator terminals 9b in order to narrow the gap.

本実施例2の温度補償型水晶振動子においても、図5に示し、かつ、実施例1で詳述したような、温度補償回路が設けられている。   Also in the temperature compensated crystal resonator of the second embodiment, a temperature compensation circuit as shown in FIG. 5 and described in detail in the first embodiment is provided.

また、実施例1と同様に、IC実装基板7の内部にGND層を埋設して形成してもよい。   Further, similarly to the first embodiment, a GND layer may be embedded in the IC mounting substrate 7.

実施例3
実施例3は、水晶振動子接続基板29と水晶振動子2とを市販の接着力のある、または接着力のない導電体としての異方性導電シートで接続した温度補償型水晶発振器の実施例に関する。
Example 3
Example 3 is an example of a temperature-compensated crystal oscillator in which the crystal resonator connecting substrate 29 and the crystal resonator 2 are connected by a commercially available anisotropic conductive sheet as a conductor with or without adhesive force. About.

この実施例3の接着力のある異方性導電シート6cを用いた水晶発振器では、図10に示すように、セラミックまたは水晶板あるいはガラス板からなる水晶振動子接続基板29の水晶接続用端子9aに接続用半田バンプ28を形成する。ICチップ4の上面主面上にIC実装用バンプ(半田または金)5を載置し、セラミックまたは水晶板あるいはガラス板からなり、内部に水晶片3を載置した水晶パッケージ2a,2bからなる水晶振動子2の底面に電極パッド5aを介して接続する。次に、水晶振動子接続端子9bと環状(枠型)異方性導電シート6cを載置後(図12参照)に水晶振動子接続端子9aを対向させて重ね、加圧加熱して接続する。この時、補強のためICチップ4を接着剤4aで固定してもよい。   In the crystal oscillator using the anisotropic conductive sheet 6c having adhesive force according to the third embodiment, as shown in FIG. 10, the crystal connection terminal 9a of the crystal resonator connection substrate 29 made of a ceramic, a crystal plate or a glass plate is used. The connecting solder bumps 28 are formed. An IC mounting bump (solder or gold) 5 is placed on the main surface of the upper surface of the IC chip 4 and is made of a ceramic, a quartz plate or a glass plate, and is made of quartz packages 2a and 2b each having a quartz piece 3 placed therein. The bottom surface of the crystal unit 2 is connected via the electrode pad 5a. Next, after placing the crystal resonator connecting terminal 9b and the annular (frame-type) anisotropic conductive sheet 6c (see FIG. 12), the crystal resonator connecting terminal 9a is placed facing each other, and is connected by pressurizing and heating. . At this time, the IC chip 4 may be fixed with an adhesive 4a for reinforcement.

また、図11に示すように、水晶振動子接続基板29の下面(裏面)には、顧客の実装基板に本発明の表面実装用水晶発振器を実装するための発振器実装端子(外部端子)30が設けられている。ICチップ4を水晶振動子2に接続したことにより、携帯電話などの実装基板に本発明の表面実装用水晶発振器を実装した場合、水晶振動子接続端子10及びIC端子50(X1)、IC端子50(X2)と、実装基板間の容量が変らないため、発振周波数の変化が回避される。   Further, as shown in FIG. 11, an oscillator mounting terminal (external terminal) 30 for mounting the surface mounting crystal oscillator of the present invention on a customer mounting board is provided on the lower surface (back surface) of the crystal resonator connection substrate 29. Is provided. When the surface mount crystal oscillator of the present invention is mounted on a mounting substrate such as a mobile phone by connecting the IC chip 4 to the crystal resonator 2, the crystal resonator connection terminal 10, the IC terminal 50 (X1), the IC terminal Since the capacitance between the mounting substrates does not change to 50 (X2), a change in the oscillation frequency is avoided.

また、実施例1と同様に水晶振動子接続基板29の内部にGND層を埋設して形成してもよい。   Further, similarly to the first embodiment, a GND layer may be embedded in the crystal resonator connection substrate 29.

さらに、図13(a)は、水晶振動子2をIC端子50側から見た平面図である。ここでは、水晶片3とビアホールで接続された水晶振動子接続端子10が設けられており、水晶振動子2の特性を測定することができる。   Further, FIG. 13A is a plan view of the crystal resonator 2 viewed from the IC terminal 50 side. Here, a crystal resonator connection terminal 10 connected to the crystal piece 3 by a via hole is provided, and the characteristics of the crystal resonator 2 can be measured.

セラミック板2bの両端部には水晶振動子接続基板29と接続するための水晶接続端子9bが設けられており、IC端子50の両端と接続されている。   At both ends of the ceramic plate 2 b, crystal connection terminals 9 b for connecting to the crystal resonator connection substrate 29 are provided, and are connected to both ends of the IC terminal 50.

また、セラミック板2bの中央部のIC端子50(X1)とIC端子50(X2)は、それぞれ水晶振動子接続端子10(X1)と水晶振動子接続端子10(X2)に接続されている。   Further, the IC terminal 50 (X1) and the IC terminal 50 (X2) at the center of the ceramic plate 2b are connected to the crystal resonator connection terminal 10 (X1) and the crystal resonator connection terminal 10 (X2), respectively.

ここで、図13(b)は、ICチップ4をIC端子50に搭載後の平面図である。   Here, FIG. 13B is a plan view after the IC chip 4 is mounted on the IC terminal 50.

実施例4
実施例3の接着力のある異方性導電シートでは、異方性導電シート6cを加圧して、バインダー中の導電粒子同士を接触させて接続用半田バンプ28と水晶接続端子9bを導通させる。そのとき、バインダーを加熱することにより水晶振動子2と水晶振動子接続基板29を接着できる。
Example 4
In the anisotropic conductive sheet with adhesive force of Example 3, the anisotropic conductive sheet 6c is pressurized, and the conductive particles in the binder are brought into contact with each other to make the connecting solder bumps 28 and the crystal connection terminals 9b conductive. At that time, the crystal unit 2 and the crystal unit connection substrate 29 can be bonded by heating the binder.

これに対して、実施例4の接着力がない異方性導電シートを用いた水晶発振器では、図14に示すように、接続用半田バンプ28を形成することなく、異方性導電シートを加圧することで水晶接続端子9bと導通できる。そのとき、位置決めと機械的な強度を保つため、ICチップ4と水晶振動子接続基板29間に接着剤4aを塗布、加熱することで両方を固定する。   On the other hand, in the crystal oscillator using the anisotropic conductive sheet having no adhesive force of Example 4, the anisotropic conductive sheet is added without forming the connecting solder bumps 28 as shown in FIG. By pressing, it can be conducted with the crystal connection terminal 9b. At that time, in order to maintain positioning and mechanical strength, the adhesive 4a is applied between the IC chip 4 and the crystal resonator connecting substrate 29 and heated to fix both.

ここで、上記した接着剤4aとしては、温度を付加して接着する絶縁性のあるエポキシ系接着剤が好適である。また、図15に示すように、水晶振動子接続基板29の下面(底面)には、発振器実装端子(外部端子)30が設けられている。   Here, as the above-described adhesive 4a, an insulating epoxy adhesive that adheres by applying temperature is suitable. Further, as shown in FIG. 15, an oscillator mounting terminal (external terminal) 30 is provided on the lower surface (bottom surface) of the crystal resonator connection substrate 29.

また、ICチップ4を水晶振動子2に接続したことにより携帯電話などの実装基板に本発明の表面実装用水晶発振器を実装した場合、水晶振動子接続端子10及びIC端子50(X1)、IC端子50(X2)と実装基板間の容量が変らないため、発振周波数の変化が回避される。   When the surface mount crystal oscillator of the present invention is mounted on a mounting substrate such as a mobile phone by connecting the IC chip 4 to the crystal resonator 2, the crystal resonator connection terminal 10, the IC terminal 50 (X1), the IC Since the capacitance between the terminal 50 (X2) and the mounting board does not change, a change in the oscillation frequency is avoided.

また、実施例1と同様に水晶振動子接続基板29の内部にGND層を埋設して形成してもよい。   Further, similarly to the first embodiment, a GND layer may be embedded in the crystal resonator connection substrate 29.

その他の実施例
実施例1及び2では、ICチップ4をIC実装基板に接続したが、実施例3及び4と同様に、水晶振動子側に接続した構成でもよい。また、実施例3及び4ではICチップ4を水晶振動子側に接続したが、実施例1及び2と同様に、IC実装基板に接続した構成でもよい。
Other Embodiments In the first and second embodiments, the IC chip 4 is connected to the IC mounting substrate. However, as in the third and fourth embodiments, a configuration in which the IC chip 4 is connected to the crystal resonator side may be used. In the third and fourth embodiments, the IC chip 4 is connected to the crystal resonator side. However, as in the first and second embodiments, the IC chip 4 may be connected to the IC mounting substrate.

1 温度補償型水晶発振器(表面実装用水晶発振器)
2 水晶パッケージ(水晶振動子)
2a,2b,2c セラミック板
3 水晶片
3a 導電性接着剤
4 ICチップ
5 IC実装用バンプ
6 導電体
6a コアなし半田ボール
6b,6c 異方性導電シート
7 IC実装基板(水晶振動子接続基板)
7b GND層
8 リッド
9a,9b 水晶接続端子
10 水晶振動子接続端子
11 保護用接着剤
12a,12b 凹部
13 金属リング
14 異方性導電樹脂
15 接合端子
20 温度センサ回路
21 温度補償回路
23 水晶発振回路
24 出力バッファ回路
25 不揮発性メモリ
26 自動周波数制御入力調整回路(AFC)
27 定電圧回路
28 接続用半田バンプ
29 水晶振動子接続基板
30 発振器実装端子
50 IC端子
1 Temperature compensated crystal oscillator (surface mount crystal oscillator)
2 Crystal package (quartz crystal)
2a, 2b, 2c Ceramic plate 3 Crystal piece 3a Conductive adhesive 4 IC chip 5 IC mounting bump 6 Conductor 6a Coreless solder ball 6b, 6c Anisotropic conductive sheet 7 IC mounting substrate (crystal resonator connection substrate)
7b GND layer 8 Lid 9a, 9b Crystal connection terminal 10 Crystal resonator connection terminal 11 Protective adhesive 12a, 12b Recess 13 Metal ring 14 Anisotropic conductive resin 15 Joint terminal 20 Temperature sensor circuit 21 Temperature compensation circuit 23 Crystal oscillation circuit 24 Output buffer circuit 25 Non-volatile memory 26 Automatic frequency control input adjustment circuit (AFC)
27 Constant voltage circuit 28 Solder bump 29 for connection 29 Crystal oscillator connection substrate 30 Oscillator mounting terminal 50 IC terminal

Claims (17)

ICチップを接合したIC実装基板または水晶接続基板と、気密封止された水晶片と水晶パッケージとからなる水晶振動子と、を積層・接合して構成した表面実装用水晶振動子において、該IC実装基板または該水晶接続基板の水晶振動子接続端子と該水晶振動子の端子を導電体により接続したことを特徴とする表面実装用水晶発振器。   In a surface-mount crystal resonator formed by laminating and bonding an IC mounting substrate or a crystal connection substrate to which an IC chip is bonded, and a crystal resonator including a hermetically sealed crystal piece and a crystal package, the IC A crystal oscillator for surface mounting, wherein a crystal resonator connection terminal of the mounting substrate or the crystal connection substrate and a terminal of the crystal resonator are connected by a conductor. 前記導電体が、コアなし半田ボールからなることを特徴とする請求項1に記載の表面実装用水晶発振器。   The surface-mount crystal oscillator according to claim 1, wherein the conductor is made of a coreless solder ball. 前記コアなし半田ボールの直径が、50μmから300μmであることを特徴とする請求項2に記載の表面実装用水晶発振器。   3. The surface mount crystal oscillator according to claim 2, wherein a diameter of the coreless solder ball is 50 μm to 300 μm. 前記導電体が、異方性導電シートからなることを特徴とする請求項1に記載の表面実装用水晶発振器。   The surface-mount crystal oscillator according to claim 1, wherein the conductor is made of an anisotropic conductive sheet. 前記異方性導電シートが、平面視で環状に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の表面実装用水晶発振器。   The surface-mount crystal oscillator according to claim 4, wherein the anisotropic conductive sheet is formed in an annular shape in a plan view. 前記異方性導電シートが、平面視でテープ状に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の表面実装用水晶発振器。   The surface-mount crystal oscillator according to claim 4, wherein the anisotropic conductive sheet is formed in a tape shape in a plan view. 前記異方性導電シートが、接着性を有することを特徴とする請求項4に記載の表面実装用水晶発振器。   The surface-mount crystal oscillator according to claim 4, wherein the anisotropic conductive sheet has adhesiveness. 前記異方性導電シートが、接着性を有しないことを特徴とする請求項4に記載の表面実装用水晶発振器。   The surface-mount crystal oscillator according to claim 4, wherein the anisotropic conductive sheet does not have adhesiveness. 前記ICチップが、金バンプにより前記IC実装基板または前記水晶接続基板に接合されていることを特徴とする請求項1に記載の表面実装用水晶発振器。   2. The surface mount crystal oscillator according to claim 1, wherein the IC chip is bonded to the IC mounting substrate or the crystal connection substrate by a gold bump. 前記ICチップが、半田バンプにより前記IC実装基板または前記水晶接続基板に接合されていることを特徴とする請求項1に記載の表面実装用水晶発振器。   2. The surface mount crystal oscillator according to claim 1, wherein the IC chip is bonded to the IC mounting substrate or the crystal connection substrate by solder bumps. 前記ICチップと前記IC実装基板または前記水晶接続基板との接合部を絶縁性のエポキシ系接着剤で保護したことを特徴とする請求項1に記載の表面実装用水晶発振器。   2. The surface mount crystal oscillator according to claim 1, wherein a joint portion between the IC chip and the IC mounting substrate or the crystal connection substrate is protected with an insulating epoxy adhesive. 前記IC実装基板または前記水晶接続基板と前記ICチップの間に絶縁性のエポキシ系接着剤を充填したことを特徴とする請求項1に記載の表面実装用水晶発振器。   2. The surface mount crystal oscillator according to claim 1, wherein an insulating epoxy adhesive is filled between the IC mounting substrate or the crystal connection substrate and the IC chip. 前記IC実装基板の内部にGND層を埋設して形成したことを特徴とする請求項1に記載の表面実装用水晶発振器。   2. The surface mount crystal oscillator according to claim 1, wherein a GND layer is embedded in the IC mounting substrate. 前記IC実装基板の内部に前記IC実装基板に形成した配線の下に対応するようにGND層を埋設して形成したことを特徴とする請求項1に記載の表面実装用水晶発振器。   2. The surface-mount crystal oscillator according to claim 1, wherein a GND layer is embedded in the IC mounting substrate so as to correspond to a portion under the wiring formed on the IC mounting substrate. 前記IC実装基板の内部にGND層を埋設して形成し、該GND層の最大外形寸法が水晶接続用端子及び水晶接続用端子とICチップの配線パターンの外枠寸法よりも大になるように形成したことを特徴とする請求項1に記載の表面実装用水晶発振器。   A GND layer is embedded in the IC mounting substrate so that the maximum external dimension of the GND layer is larger than the outer dimensions of the crystal connection terminals and the wiring patterns of the crystal connection terminals and the IC chip. The surface-mount crystal oscillator according to claim 1, wherein the surface mount crystal oscillator is formed. 前記表面実装用水晶発振器が、温度補償型水晶発振器であることを特徴とする請求項1から15に記載の表面実装用水晶発振器。   16. The surface mount crystal oscillator according to claim 1, wherein the surface mount crystal oscillator is a temperature compensated crystal oscillator. 前記ICチップが、温度補償電圧を発生させる温度センサ回路と、該温度センサ回路の出力を用いて温度補償電圧を発生させる温度補償回路と、温度補償量を決定するための不揮発性メモリと、水晶発振回路と、該水晶発振回路が出力するアナログ信号を出力するためのバッファ回路と、を格納していることを特徴とする請求項16に記載の温度補償型水晶発振器。   A temperature sensor circuit for generating a temperature compensation voltage; a temperature compensation circuit for generating a temperature compensation voltage using an output of the temperature sensor circuit; a nonvolatile memory for determining a temperature compensation amount; 17. The temperature compensated crystal oscillator according to claim 16, wherein an oscillation circuit and a buffer circuit for outputting an analog signal output from the crystal oscillation circuit are stored.
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