JP2013094917A

JP2013094917A - Vibration processing equipment

Info

Publication number: JP2013094917A
Application number: JP2011241501A
Authority: JP
Inventors: Seiya Nakai; 誠也中居; Shoichi Hirama; 正一平間
Original assignee: ADWELDS KK; PMT Corp Japan; Adwelds Corp
Current assignee: ADWELDS KK; PMT Corp Japan; Adwelds Corp
Priority date: 2011-11-02
Filing date: 2011-11-02
Publication date: 2013-05-20

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technology capable of simply replacing a processing tool mounted to a resonator.SOLUTION: A mounting pedestal 126u having a cutting edge 331 is sucked to a mounting groove 126m formed at the other end face of a horn 26 and thereby the cutting edge 331 can be easily mounted to the horn 26. Furthermore, when the cutting edge 331 formed at the mounting pedestal 126u sucked to the horn 26 has been deteriorated due to abrasion or the like, after a sucking operation performed by a sucking means is stopped to remove the deteriorated cutting edge 331, the mounting pedestal 126u having a new cutting edge 331 is sucked to the mounting groove 126m, thereby easily replacing the cutting edge 331.

Description

本発明は、一方端に振動子が接続され、該振動子の反対側の他方端側に加工工具が取り付けられた共振器により加工工具に振動を印加して対象物を加工する技術に関する。 The present invention relates to a technique for machining an object by applying vibration to a machining tool by a resonator having a vibrator connected to one end and a machining tool attached to the other end on the opposite side of the vibrator.

従来、平板状の切断刃に振動を印加して対象物を切断する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。すなわち、一方端に接続された振動子が発生する振動に共振する共振器の他方端に切断刃が取り付けられており、ステージに載置されたセラミックグリーンシートに代表される対象物を、振動が印加された状態の切断刃により切断することで、対象物を切断する際に切断刃に刃曲がりが生じることなどが防止されて、切断刃に振動を印加しない場合と比較して良好な切断面を有する切断片を得ることができる。 2. Description of the Related Art Conventionally, a technique for cutting an object by applying vibration to a flat cutting blade is known (see, for example, Patent Document 1). That is, a cutting blade is attached to the other end of the resonator that resonates with the vibration generated by the vibrator connected to one end, and the object represented by the ceramic green sheet placed on the stage is vibrated. By cutting with the cutting blade in the applied state, it is possible to prevent the cutting blade from being bent when cutting the object, and a better cutting surface than when no vibration is applied to the cutting blade Can be obtained.

特開平１−１２２４０８号公報（第３頁右上欄〜第３頁右下欄、第２図など）JP-A-1-122408 (right upper column on page 3 to lower right column on page 3, FIG. 2 etc.)

ところで、従来、切断刃などの加工工具は、ろう材やはんだで接着されることにより共振器に一体的に取り付けられている。この場合、磨耗などにより破損した加工工具を交換するのに、ろう材やはんだなどの接着剤を取り除かなければならず、加工工具の交換に手間がかかるため技術の改善が求められていた。 Conventionally, a processing tool such as a cutting blade is integrally attached to a resonator by being bonded with a brazing material or solder. In this case, in order to replace a processing tool damaged due to wear or the like, it is necessary to remove an adhesive such as a brazing material or solder, and it is time-consuming to replace the processing tool.

この発明は、上記した課題に鑑みてなされたものであり、共振器に取り付けられる加工工具を簡単に交換することができる技術を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to provide a technique capable of easily exchanging a processing tool attached to a resonator.

上記した課題を解決するために、本発明にかかる振動加工装置は、一方端に振動子が接続され、該振動子の反対側の他方端側に加工工具が取り付けられた共振器を備え、前記共振器の振動方向と同一方向の振動を加工工具に印加して対象物を加工する振動加工装置において、前記共振器の他方端側に設けられ、前記加工工具を着脱自在に吸着保持する吸着保持手段を備えることを特徴としている（請求項１）。 In order to solve the above-described problem, a vibration machining apparatus according to the present invention includes a resonator having a vibrator connected to one end and a machining tool attached to the other end on the opposite side of the vibrator, In a vibration processing apparatus that processes an object by applying vibration in the same direction as the vibration direction of the resonator to the processing tool, the suction holding is provided on the other end side of the resonator and detachably sucks and holds the processing tool. Means are provided (claim 1).

また、前記加工工具は、平板状の取付台座の一方面に切断刃が設けられて成り、前記吸着保持手段は、前記共振器の他方端の端面に設けられて前記取付台座の他方面を吸着するようにしてもよい（請求項２）。 Further, the processing tool is formed by providing a cutting blade on one surface of a flat mounting base, and the suction holding means is provided on an end surface of the other end of the resonator and sucks the other surface of the mounting base. (Claim 2).

また、複数の前記取付台座がシート状部材に設けられており、前記シート状部材に設けられた前記取付台座のうちのいずれか一つが前記吸着保持手段により吸着されるようにしてもよい（請求項３）。 A plurality of the mounting bases may be provided on the sheet-like member, and any one of the mounting bases provided on the sheet-like member may be sucked by the suction holding means. Item 3).

また、前記共振器の他方端の端面の一部を切除して形成された断面Ｌ字状段部を備え、前記吸着保持手段は、前記共振器の振動方向と平行な前記段部の取付面に設けられて、平板状の切断刃により構成される前記加工工具を前記取付面に吸着保持するようにしてもよい（請求項４）。 A stepped portion having an L-shaped cross section formed by cutting off a part of the end surface of the other end of the resonator, and the suction holding means is attached to the mounting surface of the stepped portion parallel to the vibration direction of the resonator. The processing tool configured by a flat cutting blade may be sucked and held on the mounting surface (claim 4).

また、前記対象物が載置される載置面が設けられた緩衝層を有するステージをさらに備え、前記緩衝層は前記切断刃による切込みが可能な材質により形成されていてもよい（請求項５）。 The apparatus may further include a stage having a buffer layer provided with a mounting surface on which the object is mounted, and the buffer layer may be formed of a material that can be cut by the cutting blade. ).

また、前記共振器の他方端の端面に、前記対象物を加工する際に該対象物を押圧する弾性部材が設けられていてもよい（請求項６）。 An elastic member that presses the object when the object is processed may be provided on an end face of the other end of the resonator.

また、前記吸着保持手段は、真空吸着力により前記加工工具を吸着保持してもよい（請求項７）。 The suction holding means may suck and hold the processing tool by a vacuum suction force.

また、前記吸着保持手段は、磁力により前記加工工具を吸着保持してもよい（請求項８）。 Further, the suction holding means may suck and hold the processing tool by magnetic force.

また、前記吸着保持手段は、静電吸着力により前記加工工具を吸着保持してもよい（請求項９）。 Further, the suction holding means may suck and hold the processing tool by an electrostatic suction force.

請求項１の発明によれば、一方端に振動子が接続され、該振動子の反対側の他方端側に加工工具が取り付けられた共振器により、該共振器の振動方向と同一方向の振動が加工工具に印加されて対象物が加工されるが、加工工具は、共振器の他方端側に設けられた吸着保持手段により着脱自在に共振器に取り付けられる。したがって、加工工具が磨耗などにより破損した場合には、加工工具は吸着保持手段による吸着により共振器に取り付けられているだけであるため、破損した加工工具を簡単に共振器から取外すことができるので、共振器に取り付けられる加工工具を簡単に交換することができる。 According to the first aspect of the present invention, the vibration in the same direction as the vibration direction of the resonator is caused by the resonator having the vibrator connected to one end and the machining tool attached to the other end opposite to the vibrator. Is applied to the machining tool to machine the object, and the machining tool is detachably attached to the resonator by suction holding means provided on the other end side of the resonator. Therefore, when the processing tool is damaged due to wear or the like, the processing tool is simply attached to the resonator by suction by the suction holding means, so the damaged processing tool can be easily removed from the resonator. The processing tool attached to the resonator can be easily replaced.

請求項２の発明によれば、平板状の取付台座の一方面に切断刃が設けられて成る加工工具を、共振器の他方端の端面に設けられた吸着保持手段により取付台座の他方面を吸着することで、容易に共振器に取り付けることができる。 According to the invention of claim 2, the processing tool in which the cutting blade is provided on one surface of the flat mounting base is attached to the other surface of the mounting base by the suction holding means provided on the other end face of the resonator. By adsorbing, it can be easily attached to the resonator.

請求項３の発明によれば、シート状部材に設けられた複数の取付台座のうちのいずれか一つを共振器の他方端に吸着保持手段により吸着することにより、共振器に容易に切断刃を取り付けることができる。また、共振器に吸着された取付台座の切断刃が磨耗などにより損傷した場合に、切断刃が設けられた他の取付台座を共振器の他方端に吸着保持手段により吸着することで、共振器に取り付けられる切断刃を容易に交換することができる。 According to the invention of claim 3, the cutting blade can be easily cut into the resonator by adsorbing any one of the plurality of mounting bases provided on the sheet-like member to the other end of the resonator by the adsorption holding means. Can be attached. In addition, when the cutting blade of the mounting base adsorbed to the resonator is damaged due to wear or the like, the other mounting base provided with the cutting blade is adsorbed to the other end of the resonator by the adsorption holding means, so that the resonator The cutting blade attached to can be easily replaced.

請求項４の発明によれば、共振器の他方端の端面の一部を切除して形成された断面Ｌ字状段部の、共振器の振動方向と平行な前記段部の取付面に、平板状の切断刃により構成される加工工具を吸着保持手段により吸着保持することで、容易に加工工具を共振器に取り付けることができる。 According to the invention of claim 4, on the mounting surface of the step portion parallel to the vibration direction of the resonator of the L-shaped step portion formed by cutting off a part of the end face of the other end of the resonator, The work tool can be easily attached to the resonator by sucking and holding the work tool constituted by the flat cutting blade by the suction holding means.

請求項５の発明によれば、緩衝層は切断刃による切込みが可能な材質により形成されているため、対象物を切断する際に切断刃の刃先が載置面に達したとしても切断刃が破損するのを防止することができる。また、対象物が切断された際に対象物が載置される緩衝層の載置面に切断刃による切込が形成されたときには、形成された切込は切断刃を逃がすための逃がし溝として機能し、しかも、切断刃により形成された切込の厚みは切断刃の厚みとほぼ同じ厚みであるため、切断の際に切断刃により押圧された対象物の切断端が切込に嵌り込むことを防止することができ、対象物が切断されることによる切断片を高精度に成形することができる。また、切断の際に、載置面に形成された切込の位置と切断刃の刃先の位置とに位置ずれが生じた場合であっても、緩衝層は切断刃による切込みが可能な材質により形成されているため、切断刃が破損することを防止することができる。 According to the invention of claim 5, since the buffer layer is formed of a material that can be cut by the cutting blade, even when the cutting edge of the cutting blade reaches the mounting surface when cutting the object, the cutting blade is It can be prevented from being damaged. In addition, when a cut by the cutting blade is formed on the mounting surface of the buffer layer on which the target is placed when the target is cut, the formed cut serves as a relief groove for letting the cutting blade escape. Because the thickness of the cut formed by the cutting blade is almost the same as the thickness of the cutting blade, the cut end of the object pressed by the cutting blade during cutting fits into the cut Therefore, it is possible to form a cut piece by cutting the object with high accuracy. In addition, the buffer layer is made of a material that can be cut by the cutting blade even when there is a displacement between the position of the cutting formed on the mounting surface and the position of the cutting edge of the cutting blade during cutting. Since it is formed, it is possible to prevent the cutting blade from being damaged.

請求項６の発明によれば、対象物を加工する際に、共振器の他方端の端面に設けられた弾性部材により対象物が押圧されるため、対象物が位置ずれするのを防止することができる。 According to the invention of claim 6, when the object is processed, the object is pressed by the elastic member provided on the other end face of the resonator, so that the object is prevented from being displaced. Can do.

請求項７〜９の発明によれば、吸着保持手段は、真空吸着力、磁力または静電吸着力により加工工具を確実に吸着保持することができる。 According to the seventh to ninth aspects of the present invention, the suction holding means can reliably hold the processing tool by vacuum suction, magnetic force or electrostatic suction.

本発明の第１実施形態にかかる振動切断装置を示す図である。It is a figure which shows the vibration cutting device concerning 1st Embodiment of this invention. 共振器を構成するホーンの拡大図である。It is an enlarged view of the horn which comprises a resonator. 図１の振動切断装置の動作の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of operation | movement of the vibration cutting device of FIG. 本発明の第２実施形態にかかる振動切断装置の要部拡大図である。It is a principal part enlarged view of the vibration cutting device concerning 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態にかかる振動切断装置の要部拡大図である。It is a principal part enlarged view of the vibration cutting device concerning 3rd Embodiment of this invention. 図５の振動切断装置における取付台座の保持方法の他の例である。It is another example of the holding method of the mounting base in the vibration cutting device of FIG. 本発明の第４実施形態にかかる振動切断装置の要部拡大図である。It is a principal part enlarged view of the vibration cutting device concerning 4th Embodiment of this invention. 本発明の第５実施形態にかかる振動切断装置の要部拡大図である。It is a principal part enlarged view of the vibration cutting device concerning 5th Embodiment of this invention. 本発明の第６実施形態にかかる振動切断装置の要部拡大図である。It is a principal part enlarged view of the vibration cutting device concerning 6th Embodiment of this invention.

＜第１実施形態＞
この発明の振動加工装置にかかる振動切断装置の第１実施形態について図１〜図３を参照して説明する。図１は本発明の第１実施形態にかかる振動切断装置を示す図である。図２は共振器を構成するホーンの拡大図であって、（ａ）は下面図、（ｂ）はホーンを天地反転した状態の正面から見た断面図、（ｃ）はホーンを天地反転した状態の側断面図である。図３は図１の振動切断装置の動作の一例を示す図である。 <First Embodiment>
A vibration cutting apparatus according to a first embodiment of the vibration machining apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a diagram showing a vibration cutting device according to a first embodiment of the present invention. 2A and 2B are enlarged views of the horn constituting the resonator, in which FIG. 2A is a bottom view, FIG. 2B is a cross-sectional view of the horn viewed from the front, and FIG. It is a sectional side view of a state. FIG. 3 is a diagram showing an example of the operation of the vibration cutting device of FIG.

（装置構成）
図１に示す振動切断装置１は、平板状の取付台座１２６ｕの一方面に輪郭状の切断刃３３１が設けられて成る加工工具に、共振器の振動方向と同一方向の振動を印加してステージ３の載置面３１に載置された切断の対象物を切断加工するものであって、共振器２１が設けられたヘッド部２と、載置面３１に切断の対象物が載置されるステージ３と、支持手段２４に支持された共振器２１を上下方向に駆動する駆動機構４と、ステージ３の載置面３１に載置された対象物と共振器２１に取り付けられた切断刃３３１の刃先３３１ａとの相対位置を認識する位置認識手段５と、振動切断装置１の各部の制御を行う制御装置６とを備えている。 (Device configuration)
The vibration cutting apparatus 1 shown in FIG. 1 applies a vibration in the same direction as the vibration direction of a resonator to a processing tool in which a contoured cutting blade 331 is provided on one surface of a flat mounting base 126u. The cutting object placed on the third placement surface 31 is cut, and the head 2 provided with the resonator 21 and the cutting object are placed on the placement surface 31. The stage 3, the drive mechanism 4 that drives the resonator 21 supported by the support means 24 in the vertical direction, the object mounted on the mounting surface 31 of the stage 3, and the cutting blade 331 attached to the resonator 21. The position recognition means 5 which recognizes a relative position with the blade edge | tip 331a, and the control apparatus 6 which controls each part of the vibration cutting device 1 are provided.

ヘッド部２は、図１および図２に示すように、振動子２２が一方端に接続され、振動子２２の反対側の他方端に切断刃３３１が設けられた取付台座１２６ｕが取り付けられた共振器２１と、共振器２１を支持する支持手段２４とを備えている。そして、制御装置６に制御されることによる振動子２２の超音波振動に共振する共振器２１から、共振器２１の中心軸の方向に振動する超音波振動が切断刃３３１に印加される。ヘッド部２の構成および動作については後で詳細に説明する。 As shown in FIGS. 1 and 2, the head unit 2 has a resonance in which a vibrator 22 is connected to one end and a mounting base 126 u having a cutting blade 331 is attached to the other end on the opposite side of the vibrator 22. And a support means 24 for supporting the resonator 21. Then, the ultrasonic vibration that vibrates in the direction of the central axis of the resonator 21 is applied to the cutting blade 331 from the resonator 21 that resonates with the ultrasonic vibration of the vibrator 22 by being controlled by the control device 6. The configuration and operation of the head unit 2 will be described in detail later.

ステージ３は、セラミックグリーンシートの積層体、半導体ウエハ、回路基板、合成樹脂による積層基板、金属板、シリコン、フェライト、石英、ガラス、セラミック、樹脂板、単層の金属薄膜、金属薄膜の積層体などの切断の対象物が載置される載置面３１と、載置面３１の傾きを調整する倣い機構３２とを備えている。また、ステージ３は、Ｘ−Ｙ方向への平行移動およびθ方向への回転移動が可能な移動軸を備え、制御装置６により制御されることにより、共振器２１に取り付けられた切断刃３３１の刃先３３１ａと、載置面３１に載置された対象物との相対的な位置調整を行うことができるように構成されている。 Stage 3 includes ceramic green sheet laminate, semiconductor wafer, circuit board, synthetic resin laminate substrate, metal plate, silicon, ferrite, quartz, glass, ceramic, resin plate, single layer metal thin film, metal thin film laminate A mounting surface 31 on which an object to be cut is mounted, and a copying mechanism 32 that adjusts the inclination of the mounting surface 31. Further, the stage 3 includes a moving shaft capable of parallel movement in the XY direction and rotational movement in the θ direction, and is controlled by the control device 6 so that the cutting blade 331 attached to the resonator 21 is controlled. The blade tip 331a and the object placed on the placement surface 31 can be adjusted relative to each other.

また、載置面３１には、切断の対象物を保持するための保持機構（図示省略）が設けられている。保持機構の構成としては、真空吸着機構や静電吸着機構、機械式のチャック機能など、切断加工の対象物を載置面３１に保持することができる構成であればどのようなものであってもよい。また、保持機構を設けずに、載置面３１に対象物を載置するだけでもよい。 The mounting surface 31 is provided with a holding mechanism (not shown) for holding the object to be cut. As a configuration of the holding mechanism, any configuration that can hold the object to be cut on the mounting surface 31 such as a vacuum chucking mechanism, an electrostatic chucking mechanism, and a mechanical chuck function can be used. Also good. Further, the object may be simply placed on the placement surface 31 without providing the holding mechanism.

また、この実施形態では、倣い機構３２は、ステージ３の載置面３１に倣いの対象物が当接されることによる生じるモーメントにより載置面３１の傾きを倣いの対象物の傾きに倣わせるものであって、載置面３１が所定の傾きとなった状態で、制御装置６による制御に基づいて当該載置面３１の傾きを維持することができるように構成されている。すなわち、例えば共振器２１に取り付けられた切断刃３３１の刃先３３１ａが載置面３１に当接することにより載置面３１の傾きが刃先３３１ａの傾きに倣った状態で、倣い機構３２は、制御装置６による制御に基づいて載置面３１の傾きを刃先３３１ａの傾きに一致させた状態に維持することができる。 Further, in this embodiment, the copying mechanism 32 causes the inclination of the mounting surface 31 to follow the inclination of the copying target object by a moment generated when the copying target object comes into contact with the mounting surface 31 of the stage 3. In the state where the mounting surface 31 has a predetermined inclination, the inclination of the mounting surface 31 can be maintained based on the control by the control device 6. That is, for example, in a state in which the cutting edge 331a of the cutting blade 331 attached to the resonator 21 abuts on the mounting surface 31 so that the inclination of the mounting surface 31 follows the inclination of the cutting edge 331a, the copying mechanism 32 is a control device. 6 can be maintained in a state in which the inclination of the mounting surface 31 is made to coincide with the inclination of the blade edge 331a.

なお、倣い機構３２の構成としては、所謂、載置面３１の傾きを所定の傾きに維持することができる一般的な倣い機構であれば、上記した構成に限られず、どのような構成の倣い機構であってもよいが、例えば、圧力検出手段としても機能するピエゾ素子によりピエゾアクチュエータを形成し、載置面３１下方の少なくとも３箇所に配設されたピエゾアクチュエータそれぞれにより検出される圧力が一致するように、制御装置６によりピエゾアクチュエータを駆動することで載置面３１の傾きを調整することができる倣い機構のように、アクチュエータによる載置面３１の傾き調整を行うことができる倣い機構であってもよい。 The configuration of the copying mechanism 32 is not limited to the above-described configuration as long as it is a general copying mechanism that can maintain the inclination of the mounting surface 31 at a predetermined inclination. For example, a piezo actuator is formed by a piezo element that also functions as a pressure detection means, and the pressures detected by each of the piezo actuators disposed at least at three locations below the mounting surface 31 coincide. As described above, a scanning mechanism that can adjust the inclination of the mounting surface 31 by the actuator, such as a scanning mechanism that can adjust the inclination of the mounting surface 31 by driving the piezoelectric actuator by the control device 6. There may be.

駆動機構４は、共振器２１に取り付けられた切断刃３３１の刃先３３１ａがステージ３の載置面３１と対向するように支持手段２４に支持された共振器２１を、ステージ３に近接またはステージ３から離間させるものであって、駆動モータ４１とボールねじ４２とを備えている。そして、架台１１に立設された支柱１２にガイド４３ａが結合されており、駆動機構４は、フレーム４４を介して支柱１２およびガイド４３ａに連結されている。 The drive mechanism 4 moves the resonator 21 supported by the support means 24 so that the cutting edge 331a of the cutting blade 331 attached to the resonator 21 faces the mounting surface 31 of the stage 3 close to the stage 3 or the stage 3 The drive motor 41 and the ball screw 42 are provided. A guide 43 a is coupled to the column 12 erected on the gantry 11, and the drive mechanism 4 is coupled to the column 12 and the guide 43 a via a frame 44.

そして、制御装置６に制御されて駆動モータ４１が回転することにより、ガイド４３ａと支持手段２４に設けられたガイド４３ｂとが摺接しつつ、ボールねじ４２に螺合された支持手段２４が上下動し、これにより、支持手段２４に支持された共振器２１がステージ３に近接またはステージ３から離間する。 Then, when the drive motor 41 rotates under the control of the control device 6, the support means 24 screwed into the ball screw 42 moves up and down while the guide 43 a and the guide 43 b provided on the support means 24 are in sliding contact. As a result, the resonator 21 supported by the support means 24 is close to or away from the stage 3.

また、駆動機構４は、制御装置６による制御に基づいて駆動モータ４１の駆動トルクを調整することにより、所定の加圧力で支持手段２４に支持された共振器２１をステージ３に近接させることができるように構成されている。 Further, the drive mechanism 4 adjusts the drive torque of the drive motor 41 based on the control by the control device 6, so that the resonator 21 supported by the support means 24 can be brought close to the stage 3 with a predetermined pressure. It is configured to be able to.

また、支柱１２にはリニアエンコーダ４５が設けられており、これによりヘッド部２の高さが検出されて、リニアエンコーダ４５の検出信号に基づいて制御装置６により駆動モータ４１を制御することにより、ヘッド部２の高さを調整することができる。 Further, the support 12 is provided with a linear encoder 45, whereby the height of the head portion 2 is detected, and the control motor 6 controls the drive motor 41 based on the detection signal of the linear encoder 45. The height of the head part 2 can be adjusted.

位置認識手段５は、２視野光学系レンズ５１と、ＣＣＤやＣＭＯＳなどの撮像手段により形成されるカメラ５２と、２視野光学系レンズ５１を水平方向および上下方向に移動する駆動部（図示省略）とを備えている。そして、位置認識手段５は、２視野光学系レンズ５１が、対向配置された載置面３１上の対象物と切断刃３３１の刃先３３１ａとの間に駆動部により挿入されることにより、対象物に設けられた位置認識用のアライメントマークと刃先３３１ａとを認識する。なお、位置認識手段５の構成としてはこれに限られず、対向配置された載置面３１上の対象物と刃先３３１ａとの相対位置を認識することができれば、どのように位置認識手段５を構成してもよい。 The position recognition means 5 includes a two-field optical system lens 51, a camera 52 formed by an imaging means such as a CCD or CMOS, and a drive unit (not shown) that moves the two-field optical system lens 51 horizontally and vertically. And. Then, the position recognition means 5 is configured such that the two-field optical system lens 51 is inserted between the object on the mounting surface 31 and the cutting edge 331a of the cutting blade 331 by the driving unit, so that the object is detected. The position-recognizing alignment mark and the blade edge 331a provided on the blade are recognized. The configuration of the position recognizing unit 5 is not limited to this, and the position recognizing unit 5 can be configured as long as the relative position between the object on the mounting surface 31 and the blade edge 331a can be recognized. May be.

制御装置６は、振動切断装置１全体の制御を行うための操作パネル（図示省略）を備えており、振動子２２へ印加される電圧値または電流値により算出される超音波エネルギーの大きさ、ステージ３が備える倣い機構３の自由可動状態および不可動状態の切換え、リニアエンコーダ４５の検出信号に基づく駆動モータ４１の制御、駆動モータ４１の駆動トルクの制御、位置認識手段５の移動制御、位置認識手段５の検出信号に基づくステージ３の水平方向および回転方向における移動制御などの制御を行って、ヘッド部２の図１中の矢印Ｚ方向の高さを調節したり、切断刃３３１の刃先３３１ａと載置面３１上の対象物との相対位置を調整する。 The control device 6 includes an operation panel (not shown) for controlling the vibration cutting device 1 as a whole, and the magnitude of ultrasonic energy calculated from the voltage value or current value applied to the vibrator 22; Switching between the freely movable state and the non-movable state of the copying mechanism 3 included in the stage 3, the control of the drive motor 41 based on the detection signal of the linear encoder 45, the control of the drive torque of the drive motor 41, the movement control of the position recognition means 5, and the position Control of movement of the stage 3 in the horizontal and rotational directions based on the detection signal of the recognition means 5 is performed to adjust the height of the head unit 2 in the direction of arrow Z in FIG. The relative position between the object 331a and the object on the placement surface 31 is adjusted.

（ヘッド部２の構成）
次に、ヘッド部２が備える共振器２１および支持手段２４について説明する。 (Configuration of head unit 2)
Next, the resonator 21 and the support means 24 included in the head unit 2 will be described.

共振器２１は、図１および図２に示すように、ブースタ２５とホーン２６とを備え、ブースタ２５の他方端とホーン２６の一方端とが、互いの中心軸が同軸になるように無頭ねじにより連結されている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the resonator 21 includes a booster 25 and a horn 26. The other end of the booster 25 and one end of the horn 26 are headless so that their central axes are coaxial with each other. They are connected by screws.

ブースタ２５は、ブースタ２５のほぼ中央の位置と、両端位置とが最大振幅点となるように、共振周波数の一波長の長さに形成されている。このとき、最大振幅点から１／４波長離れた、両端位置および中央位置の２つの中間点が、それぞれ第１および第２最小振幅点に相当する。また、ブースタ２５は、軸方向から見た断面が円形である円柱状に形成されている。また、第１最小振幅点および第２最小振幅点におけるブースタ２５の外周面に、それぞれ凹状の溝が周方向に形成されることによりブースタ２５（共振器２１）が把持されるため被把持部（図示省略）が形成されている。そして、ブースタ２５の一方端に、ブースタ２５の中心軸と同軸になるように振動子２２が無頭ねじにより接続されている。 The booster 25 is formed with a length of one wavelength of the resonance frequency so that the substantially center position of the booster 25 and both end positions are the maximum amplitude points. At this time, two intermediate points at both end positions and the center position, which are 1/4 wavelength apart from the maximum amplitude point, correspond to the first and second minimum amplitude points, respectively. The booster 25 is formed in a columnar shape having a circular cross section viewed from the axial direction. Further, since the booster 25 (resonator 21) is gripped by forming concave grooves on the outer peripheral surface of the booster 25 at the first minimum amplitude point and the second minimum amplitude point, respectively, the gripped portion ( (Not shown) is formed. The vibrator 22 is connected to one end of the booster 25 by a headless screw so as to be coaxial with the central axis of the booster 25.

ホーン２６は、ホーン２６の両端位置が最大振幅点となるように、共振周波数の半波長の長さに形成されている。このとき、ホーン２６のほぼ中央の位置が第３最小振幅点に相当する。また、図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、ホーン２６は、直方体形状に形成され、ホーン２６の他方端の端面に取付溝１２６ｍが形成されている。また、ホーン２６には、一方面に切断刃３３１が設けられた平板状の取付台座１２６ｕの他方面を着脱自在に吸着保持する真空吸着機構４１０（本発明の「吸着保持手段」に相当）が設けられており、取付台座１２６ｕは、取付溝１２６ｍに埋没した状態で真空吸着機構４１０により吸着保持されてホーン２６の他方端側に取り付けられている。 The horn 26 is formed to have a half wavelength length of the resonance frequency so that both end positions of the horn 26 become maximum amplitude points. At this time, the substantially center position of the horn 26 corresponds to the third minimum amplitude point. 2A to 2C, the horn 26 is formed in a rectangular parallelepiped shape, and an attachment groove 126m is formed on the end surface of the other end of the horn 26. Further, the horn 26 has a vacuum suction mechanism 410 (corresponding to the “suction holding means” of the present invention) that detachably sucks and holds the other surface of the flat mounting base 126u having a cutting blade 331 provided on one surface. The mounting base 126u is attached to the other end side of the horn 26 by being sucked and held by the vacuum suction mechanism 410 while being buried in the mounting groove 126m.

具体的には、真空吸着機構４１０は、ホーン２６の取付溝１２６ｍの底面に設けられた吸着孔４１２と、ホーン２６の側面に設けられた吸引孔４１２と、吸着孔４１１および吸引孔４１２を連通してホーン２６に形成された吸引穴４１３と、吸引孔４１２から吸引を行う吸引手段（図示省略）とを備えている。そして、図示省略された吸引手段により吸引孔４１２から吸引を行うことで、切断刃３３１が設けられた取付台座１２６ｕの他方面が、ホーン２６の取付溝１２６ｍに吸着保持さる。なお、ホーン２６の他方端の端面に取付溝１２６ｍを設けずに、当該ホーン２６の他方端の端面に直接取付台座１２６ｕを吸着してもよい。 Specifically, the vacuum suction mechanism 410 communicates the suction hole 412 provided in the bottom surface of the mounting groove 126m of the horn 26, the suction hole 412 provided in the side surface of the horn 26, the suction hole 411, and the suction hole 412. Thus, a suction hole 413 formed in the horn 26 and suction means (not shown) for performing suction from the suction hole 412 are provided. Then, suction is performed from the suction hole 412 by a suction unit (not shown), and the other surface of the mounting base 126 u provided with the cutting blade 331 is sucked and held in the mounting groove 126 m of the horn 26. The mounting base 126u may be directly adsorbed to the end surface of the other end of the horn 26 without providing the mounting groove 126m on the end surface of the other end of the horn 26.

また、取付台座１２６ｕの一方面に設けられた切断刃３３１は、その刃先３３１ａが所定の輪郭形状を有するように形成されている。したがって、切断刃３３１で、例えばシート状の切断対象物を切断することで、当該シート状の切断の対象物を所定の輪郭形状に切り抜くことができる。 Further, the cutting blade 331 provided on one surface of the mounting base 126u is formed so that the blade edge 331a has a predetermined contour shape. Therefore, for example, by cutting a sheet-shaped cutting object with the cutting blade 331, the sheet-shaped cutting object can be cut into a predetermined contour shape.

また、ホーン２６の側面には、振動子２２の振動方向であるブースタ２５およびホーン２６の中心軸方向にほぼ平行に２つの長孔２６ｂが透設されている。 Further, on the side surface of the horn 26, two elongated holes 26b are formed so as to be substantially parallel to the central axis direction of the booster 25 and the horn 26, which are the vibration directions of the vibrator 22.

このように構成された共振器２１において、振動子２２が制御装置６に制御されて超音波振動を発生し、これにより共振器２１がその中心軸方向に振動する。このとき、この実施形態では、ホーン２６には振動方向とほぼ平行に２つの長孔２６ｂが透設されているため、ホーン２６の長孔２６ｂを挟んだ各部位における振動の位相および振幅が調整される。したがって、振動の振幅がホーン２６の他方端の幅方向に渡ってほぼ同じ大きさとなり、幅方向に渡って振幅の大きさが調整された振動が切断刃３３１に印加される。 In the resonator 21 configured as described above, the vibrator 22 is controlled by the control device 6 to generate ultrasonic vibration, and thus the resonator 21 vibrates in the direction of the central axis. At this time, in this embodiment, since the horn 26 is provided with two long holes 26b substantially parallel to the vibration direction, the phase and amplitude of vibration in each part sandwiching the long hole 26b of the horn 26 are adjusted. Is done. Therefore, the amplitude of the vibration becomes substantially the same in the width direction of the other end of the horn 26, and the vibration whose amplitude is adjusted in the width direction is applied to the cutting blade 331.

なお、切断刃３３１は、高炭素鋼、炭素工具鋼、合金工具鋼、高速度鋼、焼結高速度鋼、超硬合金、セラミックス、サーメット、工業用ダイヤモンドなどの種々の材質により形成することができ、切断対象の種類や、要求される切断片の大きさに応じて刃厚は数μｍ〜約２００μｍとなるように形成される。また、切断刃３３１の刃先３３１ａを、化学気相成長（ＣＶＤ）や物理気相成長（ＰＶＤ）により、窒化チタン、炭窒化チタン、チタンアルミナイトライド、アルミクロムナイトライドなどの硬質物質によりコーティングしてもよい。 The cutting blade 331 can be formed of various materials such as high carbon steel, carbon tool steel, alloy tool steel, high speed steel, sintered high speed steel, cemented carbide, ceramics, cermet, industrial diamond, and the like. The blade thickness is formed to be several μm to about 200 μm depending on the type of the object to be cut and the required size of the cut piece. The cutting edge 331a of the cutting blade 331 is coated with a hard substance such as titanium nitride, titanium carbonitride, titanium aluminum nitride, aluminum chrome nitride by chemical vapor deposition (CVD) or physical vapor deposition (PVD). May be.

支持手段２４は、図１に示すように、基部２７とクランプ手段２８とを備え、クランプ手段２８でブースタ２５の図示省略された被把持部を把持することにより共振器２１を支持する。また、基部２７には、駆動機構４のボールねじ４２に螺合するねじ穴（図示省略）が形成されている。 As shown in FIG. 1, the support means 24 includes a base portion 27 and a clamp means 28, and supports the resonator 21 by holding a gripped portion of the booster 25 (not shown) with the clamp means 28. The base 27 is formed with a screw hole (not shown) that engages with the ball screw 42 of the drive mechanism 4.

また、クランプ手段２８は、ブースタ２５に形成された２つの被把持部を把持できるように、基部２７の２ヶ所に設けられており、それぞれ、基部２７に支持された第１部材と、第１部材に結合される第２部材とを備えている。また、第１部材および第２部材が対向する部分には、被把持部の断面形状に合わせた凹部がそれぞれ設けられている。そして、第１部材および第２部材の凹部でブースタ２５の被把持部を狭持するように、被把持部を形成する凹状の溝に、基部２７に支持されたクランプ手段２８の第１部材と第２部材とが嵌挿され、ボルト２８ｃで第１部材および第２部材が固定されることにより、被把持部がクランプ手段２８により把持される。 The clamping means 28 is provided at two locations on the base 27 so that the two gripped portions formed on the booster 25 can be gripped. Each of the clamp means 28 includes a first member supported by the base 27 and a first member. A second member coupled to the member. Moreover, the recessed part according to the cross-sectional shape of the to-be-gripped part is each provided in the part which a 1st member and a 2nd member oppose. The first member of the clamping means 28 supported by the base 27 is formed in a concave groove forming the gripped portion so that the gripped portion of the booster 25 is sandwiched between the concave portions of the first member and the second member. The second member is fitted and the first member and the second member are fixed by the bolt 28c, whereby the gripped portion is gripped by the clamp means 28.

以上のように、共振器２１は、共振器２１の中心軸の方向が基部２７に形成されたねじ穴とほぼ同じ方向、すなわち、共振器２１の中心軸の方向と駆動機構４による共振器２１の移動方向（図１中の矢印Ｚ方向）とがほぼ同方向となり、切断刃３３１の刃先３３１ａがステージ３と対向するように支持手段２４により支持される。そして、駆動機構４により基部２７が下動されることで共振器２１が一体的にステージ３に近接し、これにより、駆動機構４による加圧力が切断刃３３１の刃先３３１ａからステージ３の載置面３１に載置された切断の対象物に加えられて、当該対象物が切断刃３３１により切断される。 As described above, in the resonator 21, the direction of the central axis of the resonator 21 is substantially the same as the screw hole formed in the base 27, that is, the direction of the central axis of the resonator 21 and the resonator 21 by the driving mechanism 4. The moving direction (the direction of arrow Z in FIG. 1) is substantially the same direction, and the cutting edge 331a of the cutting blade 331 is supported by the support means 24 so as to face the stage 3. Then, when the base 27 is moved downward by the drive mechanism 4, the resonator 21 is integrally brought close to the stage 3, so that the pressure applied by the drive mechanism 4 is placed on the stage 3 from the cutting edge 331 a of the cutting blade 331. In addition to the object to be cut placed on the surface 31, the object is cut by the cutting blade 331.

なお、クランプ手段２８は、純Ｔｉ、Ｔｉ合金、ジュラルミン、双晶型制振合金の一種であるＭｎ−Ｃｕ合金、Ｍｎ−Ｃｕ合金にＮｉ、Ｆｅ等をさらに添加したＭｎ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｆｅ合金、片状黒鉛鋳鉄、フェライト系ステンレスなど、対数減衰率が０．０１より大きく１より小さい材質、望ましくは対数減衰率０．１以上の材質により形成するとよい。 The clamping means 28 is pure Ti, Ti alloy, duralumin, Mn—Cu alloy, which is a kind of twin type damping alloy, Mn—Cu—Ni—Fe in which Ni, Fe or the like is further added to Mn—Cu alloy. An alloy, flake graphite cast iron, ferritic stainless steel, etc. may be formed of a material having a logarithmic attenuation rate larger than 0.01 and smaller than 1, preferably a material having a logarithmic attenuation rate of 0.1 or more.

一方、Ａｌ合金であるジュラルミン、Ｔｉ合金など、対数減衰率が０．０１以下であっても、音速が５９００ｍ／ｓより大きい材質、望ましくは音速が６０００ｍ／ｓ以上の材質であれば、クランプ手段２８を形成することができる。 On the other hand, if the material has a sound velocity of more than 5900 m / s, preferably a material having a sound velocity of 6000 m / s or more, such as an aluminum alloy such as duralumin or Ti alloy, the clamping means 28 can be formed.

（切断動作）
次に、ステージ３の載置面３１に載置された切断の対象物を切断する動作の一例について図３を参照して説明する。 (Cutting operation)
Next, an example of the operation | movement which cut | disconnects the cutting target object mounted in the mounting surface 31 of the stage 3 is demonstrated with reference to FIG.

まず、制御装置６により、倣い機構３２が自由可動状態にされて、駆動機構４が駆動されることにより待機位置の共振器２１がステージに近接移動され、切断刃３３１の刃先３３１ａと載置面３１とが当接される。そして、刃先３３１ａが載置面に３１に当接することにより発生したモーメントにより倣い機構３２が可動し、載置面３１の傾きが刃先３３１ａの傾きに倣うことにより刃先３３１ａの傾きと載置面３１の傾きとが一致すれば、倣い機構３２が不可動状態に制御されて載置面３１の傾きが固定される（ステップＳ１）。そして、駆動機構４が駆動されて共振器２１が上方の待機位置まで移動される。 First, the copying mechanism 32 is brought into a freely movable state by the control device 6 and the drive mechanism 4 is driven, whereby the resonator 21 at the standby position is moved close to the stage, and the cutting edge 331a of the cutting blade 331 and the mounting surface are moved. 31 abuts. Then, the copying mechanism 32 is moved by the moment generated when the blade edge 331a abuts on the placement surface 31, and the inclination of the placement surface 31 follows the inclination of the blade edge 331a, whereby the inclination of the blade edge 331a and the placement surface 31 are moved. If the above-mentioned inclination coincides, the copying mechanism 32 is controlled to be immovable and the inclination of the mounting surface 31 is fixed (step S1). Then, the drive mechanism 4 is driven and the resonator 21 is moved to the upper standby position.

次に、ステージ３の載置面３１にグリーンシートの積層体などの切断の対象物（ワーク）が載置され（ステップＳ２）、刃先３３１ａとステージ３との間に位置認識手段５が挿入されることにより、刃先３３１ａと載置面３１上の対象物との相対位置が認識されて、認識された相対位置に基づいてステージ３が駆動されることにより刃先３３１ａと載置面３１上の対象物とがアライメントされる（ステップＳ３）。 Next, an object to be cut (work) such as a laminate of green sheets is placed on the placement surface 31 of the stage 3 (step S2), and the position recognition means 5 is inserted between the blade edge 331a and the stage 3. Thus, the relative position between the blade edge 331a and the object on the placement surface 31 is recognized, and the stage 3 is driven based on the recognized relative position, whereby the blade edge 331a and the object on the placement surface 31 are detected. The object is aligned (step S3).

そして、駆動機構４により共振器２１の下方への移動が開始され（ステップＳ４）、振動子２２に対して駆動信号が印加されることにより共振器２１の振動が開始される（ステップＳ５）。このとき、駆動機構４の駆動モータ４１の駆動トルクが制御されて、切断刃３３１による載置面３１上の対象物への加圧力が所定値で一定となるように駆動機構４により共振器２１がステージ３に近接移動される（ステップＳ６）。 Then, the drive mechanism 4 starts the downward movement of the resonator 21 (step S4), and the drive signal is applied to the vibrator 22 to start the vibration of the resonator 21 (step S5). At this time, the drive torque of the drive motor 41 of the drive mechanism 4 is controlled, and the resonator 21 is driven by the drive mechanism 4 so that the pressure applied to the object on the mounting surface 31 by the cutting blade 331 becomes constant at a predetermined value. Is moved close to the stage 3 (step S6).

そして、対象物の切断が完了すれば共振器２１が上方の待機位置に移動されて、ステージ３が駆動されて対象物の位置が次の切断位置に移動される（ステップＳ７）。このとき、対象物に設定された全ての切断位置の切断が完了するまでステップＳ３〜ステップＳ７までの動作が繰返し実行され（ステップＳ８でＮＯ）、対象物の全ての切断位置の切断が完了すれば処理を終了する（ステップＳ８でＹＥＳ）。 When the cutting of the object is completed, the resonator 21 is moved to the upper standby position, the stage 3 is driven, and the position of the object is moved to the next cutting position (step S7). At this time, the operation from step S3 to step S7 is repeatedly executed until the cutting of all cutting positions set on the object is completed (NO in step S8), and the cutting of all cutting positions of the object is completed. If so, the process ends (YES in step S8).

なお、切断刃３３１による載置面３１上の対象物への加圧力の大きさは、例えば、対象物の試験切断を行って対象物切断の際に生じる刃曲がりの大きさを測定することにより、切断の際に生じる刃曲がりの大きさが要求される切断精度における許容範囲内に収まるように加圧力を設定すればよい。 In addition, the magnitude | size of the applied pressure to the target object on the mounting surface 31 by the cutting blade 331 measures the magnitude | size of the bending of the blade which arises, for example, when performing test cutting of a target object and cutting a target object. The pressurizing force may be set so that the size of the blade bend generated during cutting is within an allowable range in the required cutting accuracy.

以上のように、上記した実施形態によれば、切断刃３３１が設けられた取付台座１２６ｕをホーン２６の他方端面に形成された取付溝１２６ｍに真空吸着機構４１０により吸着保持することにより、ホーン２６に容易に切断刃３３１を取り付けることができる。また、ホーン２６に吸着保持された取付台座１２６ｕに設けられた切断刃３３１が磨耗などにより劣化した場合に、真空吸着機構４１０による吸引を停止して劣化した切断刃３３１をホーン２６から取り外した後、新しい切断刃３３１が設けられた取付台座１２６ｕを取付溝１２６ｍに吸着することにより、簡単に切断刃３３１を交換することができる。 As described above, according to the above-described embodiment, the mounting base 126u provided with the cutting blade 331 is sucked and held by the vacuum suction mechanism 410 in the mounting groove 126m formed on the other end surface of the horn 26. The cutting blade 331 can be easily attached. In addition, when the cutting blade 331 provided on the mounting base 126u sucked and held by the horn 26 is deteriorated due to wear or the like, the suction by the vacuum suction mechanism 410 is stopped and the deteriorated cutting blade 331 is removed from the horn 26. The cutting blade 331 can be easily replaced by attracting the mounting base 126u provided with the new cutting blade 331 to the mounting groove 126m.

また、ホーン２６のの長孔２６ｂを挟んだ各部位の振動の位相を逆にすることができると共に、各部位の振動の振幅を適切に調整することができる。 In addition, the vibration phase of each part sandwiching the long hole 26b of the horn 26 can be reversed, and the amplitude of vibration of each part can be adjusted appropriately.

また、切断刃３３１の刃先３３１ａとステージ３の載置面３１との傾きがほぼ一致した状態で対象物を切断刃３３１により切断することができ、対象物が切断される際の切断刃３３１の対象物への切込量が刃先３３１ａの幅方向に渡ってほぼ一致した状態となるため、対象物を切断する際の切断刃３３１の対象物への押し込み量を対象物を切断するのに必要な最小の量とすることができ、切断刃３３１が磨耗するのを抑制することができる。 Further, the object can be cut by the cutting blade 331 in a state where the inclination of the cutting edge 331a of the cutting blade 331 and the mounting surface 31 of the stage 3 substantially coincide with each other. Since the amount of cut into the object is substantially the same across the width direction of the blade edge 331a, the amount of pushing the cutting blade 331 into the object when cutting the object is necessary for cutting the object. Therefore, the cutting blade 331 can be prevented from being worn.

また、切断刃３３１による対象物への加圧力が、要求される切断精度における許容範囲内に切断刃３３１の刃曲がりの大きさが収まる所定値で一定となるように、駆動機構４により共振器２１をステージ３に近接させることで、切断刃３３１の対象物への押し込み速度は加圧力が制御されることにより自動的に変動するため、切断刃３３１の刃曲がりの大きさが前記許容範囲内に収まる最も速い速度で切断刃３３１が対象物に押し込まれることとなり、切断刃３３１の刃曲がりが前記許容範囲内に収まる状態での対象物の切断加工における作業効率の向上を図ることができる。 Further, the resonator is driven by the drive mechanism 4 so that the pressure applied to the object by the cutting blade 331 is constant at a predetermined value within which the blade bending amount of the cutting blade 331 is within an allowable range in the required cutting accuracy. 21 is brought close to the stage 3, the pushing speed of the cutting blade 331 into the object automatically changes by controlling the applied pressure, so that the blade bending size of the cutting blade 331 is within the allowable range. Thus, the cutting blade 331 is pushed into the object at the fastest speed that can be accommodated, and the work efficiency in cutting the object in a state where the blade bending of the cutting blade 331 is within the allowable range can be improved.

＜第２実施形態＞
この発明の振動切断装置の第２実施形態について図４を参照して説明する。図４は本発明の第２実施形態にかかる振動切断装置のホーンおよびステージの要部拡大図であって、（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ異なる状態を示す。図４（ａ）〜（ｃ）に示すように、この実施形態のステージ３が上記第１実施形態のステージ３と異なるのは、切断対象物が載置される載置面３１ａが設けられた緩衝層３３をステージ３が備えている点である。また、ホーン２６の他方端の端面に取付溝１２６ｍが設けられておらず、ホーン２６の他方端の端面に直接取付台座２２６ｕが吸着されている。その他の構成および動作は上記第１実施形態と同一であるため、以下では第１実施形態との相違点を中心に説明を行い、上記した第１実施形態と同一の構成および動作については、同一符号を付すことによりその構成および動作の説明を省略する。 Second Embodiment
A second embodiment of the vibration cutting device of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 4 is an enlarged view of main parts of a horn and a stage of a vibration cutting device according to a second embodiment of the present invention, and (a) to (c) show different states. As shown in FIGS. 4A to 4C, the stage 3 of this embodiment is different from the stage 3 of the first embodiment in that a mounting surface 31a on which a cutting object is mounted is provided. The stage 3 is provided with the buffer layer 33. The mounting groove 126m is not provided on the end surface of the other end of the horn 26, and the mounting base 226u is directly adsorbed on the end surface of the other end of the horn 26. Since other configurations and operations are the same as those in the first embodiment, the description below will focus on differences from the first embodiment, and the same configurations and operations as those in the first embodiment described above will be the same. The description of the configuration and operation is omitted by attaching the reference numerals.

図４（ｂ），（ｃ）に示すように、緩衝層３３は、切断刃３３１による切込みが可能なポリイミドなどの樹脂材料により形成されている。そして、図４（ｂ）に示すように、駆動機構４により切断刃３３１が下動されて刃先３３１ａが緩衝層３３に切込むことにより、緩衝層３３の載置面３１ａには、切断刃３３１による切込３１ｂが形成されている（図４（ｃ）参照）。 As shown in FIGS. 4B and 4C, the buffer layer 33 is formed of a resin material such as polyimide that can be cut by the cutting blade 331. 4B, the cutting blade 331 is moved down by the drive mechanism 4 and the blade edge 331a cuts into the buffer layer 33, so that the cutting blade 331 is placed on the mounting surface 31a of the buffer layer 33. A notch 31b is formed (see FIG. 4C).

したがって、この実施形態によれば、上記第１実施形態と同様の効果を奏することができると共に、対象物が載置される緩衝層３３の載置面３１ａに切断刃３３１による切込３１ｂが形成されており、切断刃３３１により形成された切込３１ｂの厚みは切断刃３３１の厚みとほぼ同じ厚みであるため、対象物を切断する際に切断刃３３１により押圧された対象物の切断端が切込３１ｂに嵌り込むことを防止することができ、対象物が切断されることによる切断片を高精度に成形することができる。 Therefore, according to this embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained, and the cut 31b by the cutting blade 331 is formed on the placement surface 31a of the buffer layer 33 on which the object is placed. Since the thickness of the cut 31b formed by the cutting blade 331 is substantially the same as the thickness of the cutting blade 331, the cutting end of the object pressed by the cutting blade 331 when the object is cut is It is possible to prevent fitting into the cut 31b, and it is possible to form a cut piece by cutting the object with high accuracy.

また、切断の際に、載置面３１ａに形成された切込３１ｂの位置と切断刃３３１の刃先３３１ａの位置とに位置ずれが生じた場合であっても、緩衝層３３は切断刃３３１による切込みが可能な材質により形成されているため、切断刃３３１が破損することを防止することができる。 Further, even when the position of the cut 31b formed on the mounting surface 31a and the position of the cutting edge 331a of the cutting blade 331 are displaced during cutting, the buffer layer 33 is formed by the cutting blade 331. Since it is formed of a material that can be cut, the cutting blade 331 can be prevented from being damaged.

なお、緩衝層３３の材質は上記したものに限られず、緩衝層３３は、ポリエチレンテレフタレートや紙など、切断刃による切込みが可能な種々の材質により形成することができる。 The material of the buffer layer 33 is not limited to that described above, and the buffer layer 33 can be formed of various materials that can be cut with a cutting blade, such as polyethylene terephthalate and paper.

＜第３実施形態＞
この発明の振動切断装置の第３実施形態について図５を参照して説明する。図５は本発明の第３実施形態にかかる振動切断装置のホーンの要部拡大図であって、（ａ）は下面図、（ｂ）はホーン２６を天地反転した状態の正面から見た断面図、（ｂ）はホーン２６を天地反転した状態の側断面図である。 <Third Embodiment>
A third embodiment of the vibration cutting device of the present invention will be described with reference to FIG. 5A and 5B are enlarged views of a main part of a horn of a vibration cutting device according to a third embodiment of the present invention, where FIG. 5A is a bottom view and FIG. FIG. 4B is a side sectional view of the horn 26 with the horn 26 turned upside down.

この実施形態では、、ホーン２６の他方端面に設けられた吸着孔４１１と、ホーン２６の側面に設けられた吸引孔４１２とを連通する吸引穴４１３がホーン２６に形成されている。また、切断刃３３１が設けられた複数の取付台座１２６ｕがＰＥＴフィルムなどにより形成されるシート状の保持部材４３０に保持されており、図示省略された吸引手段により吸引孔４１２から吸引を行うことで、保持部材４３０に設けられた取付台座１２６ｕのうちのいずれか一つが、シート状の保持部材４３０の裏面側からホーン２６の他方端に吸着される。 In this embodiment, a suction hole 413 that communicates the suction hole 411 provided on the other end surface of the horn 26 and the suction hole 412 provided on the side surface of the horn 26 is formed in the horn 26. Further, a plurality of mounting bases 126u provided with cutting blades 331 are held by a sheet-like holding member 430 formed of a PET film or the like, and suction is performed from the suction hole 412 by suction means (not shown). Any one of the mounting bases 126 u provided on the holding member 430 is attracted to the other end of the horn 26 from the back side of the sheet-like holding member 430.

また、図６に示すように、取付台座３２６ｕの外周にフランジ部３２６ｕ１を設け、フランジ部３２６ｕ１を、シート状の保持部材４３０に形成された保持孔４３０ａの外周に係止させることにより取付台座３２６ｕを保持するようにしてもよい。なお、図６は、図５の振動切断装置における取付台座の保持方法の他の例である。その他の構成および動作は、上記実施形態と同様の構成および動作であるため、同一符号を付すことによりその構成および動作の説明は省略する。 As shown in FIG. 6, a flange portion 326u1 is provided on the outer periphery of the mounting base 326u, and the flange portion 326u1 is locked to the outer periphery of a holding hole 430a formed in the sheet-like holding member 430, thereby attaching the mounting base 326u. May be held. FIG. 6 is another example of a method of holding the mounting base in the vibration cutting device of FIG. Other configurations and operations are the same configurations and operations as those of the above-described embodiment, so that the same reference numerals are given and description of the configurations and operations is omitted.

このように構成すると、上記した実施形態と同様の効果を奏することができると共に、以下の効果を奏することができる。すなわち、シート状の保持部材４３０に設けられた複数の取付台座１２６ｕ，３２６ｕのいずれか一つをホーン２６の他方端に吸着することにより、ホーン２６に容易に切断刃３３１を取り付けることができる。また、ホーン２６に吸着された取付台座１２６ｕ，３２６ｕの切断刃３３１が磨耗などにより損傷したり、劣化した場合に、真空吸着機構４１０による吸着を解除して使用済みの切断刃３３１を取外した後、新しい切断刃３３１が設けられた他の取付台座１２６ｕ，３２６ｕをホーン２６の他方端に吸着することにより、ホーン２６に取り付けられる切断刃３３１を容易に交換することができる。 If comprised in this way, while having the same effect as above-mentioned embodiment, there can exist the following effects. That is, the cutting blade 331 can be easily attached to the horn 26 by attracting any one of the plurality of mounting bases 126u, 326u provided on the sheet-like holding member 430 to the other end of the horn 26. Further, when the cutting blade 331 of the mounting base 126u, 326u adsorbed to the horn 26 is damaged or deteriorated due to wear or the like, the suction by the vacuum adsorption mechanism 410 is released and the used cutting blade 331 is removed. The cutting blade 331 attached to the horn 26 can be easily replaced by attracting the other mounting bases 126u, 326u provided with the new cutting blade 331 to the other end of the horn 26.

＜第４実施形態＞
この発明の振動切断装置の第４実施形態について図７を参照して説明する。図７は本発明の第４実施形態にかかる振動切断装置の要部拡大図であって、（ａ）は切断の対象物が切断刃の下方に配置された状態を示し、（ｂ）は切断の対象物が切断された状態を示す図である。図７に示すように、この実施形態が上記第１〜第３実施形態と異なる点は、取付台座１２６ｕの切断刃３３１が設けられた面に、スポンジやばねなどの弾性部材により形成され、切断（加工）の際に対象物を押圧する押さえ部材４４０が設けられている点である。その他の構成および動作は上記実施形態と同一であるため、以下では同一符号および相当符号を付すことによりその構成および動作の説明を省略する。 <Fourth embodiment>
A fourth embodiment of the vibration cutting device of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 7: is a principal part enlarged view of the vibration cutting device concerning 4th Embodiment of this invention, (a) shows the state by which the target object of a cutting | disconnection has been arrange | positioned under the cutting blade, (b) is cutting It is a figure which shows the state by which the target object of was cut | disconnected. As shown in FIG. 7, this embodiment is different from the first to third embodiments in that the mounting base 126u is formed on the surface provided with the cutting blade 331 by an elastic member such as a sponge or a spring, and is cut. A pressing member 440 that presses an object during (processing) is provided. Since other configurations and operations are the same as those of the above embodiment, the description of the configurations and operations will be omitted by assigning the same reference numerals and equivalent symbols below.

この実施形態では、切断の対象物として、例えば銅箔４０６がＰＥＴフィルム４０７に貼着されたシート状の部材が切断刃３３１により切断される。すなわち、図７（ａ）に示すように、銅箔４０６（ＰＥＴフィルム４０７）が、切断刃３３１の下方のステージ３の載置面３１上に配置された状態で、駆動機構４により切断刃３３１が下降されると、まず最初に押さえ部材４４０が銅箔４０６に接触する。そして、図７（ｂ）に示すように、押さえ部材４４０が有する弾性力に抗しつつさらに切断刃３３１を下降させると、押さえ部材４４０が圧縮されると共に、切断刃３３１の刃先３３１ａが押さえ部材４４０から突出して銅箔４０６が切断される。 In this embodiment, as an object to be cut, for example, a sheet-like member in which a copper foil 406 is bonded to a PET film 407 is cut by a cutting blade 331. That is, as shown in FIG. 7A, the cutting blade 331 is cut by the drive mechanism 4 in a state where the copper foil 406 (PET film 407) is disposed on the mounting surface 31 of the stage 3 below the cutting blade 331. Is first lowered, the pressing member 440 comes into contact with the copper foil 406 first. As shown in FIG. 7B, when the cutting blade 331 is further lowered while resisting the elastic force of the pressing member 440, the pressing member 440 is compressed and the cutting edge 331a of the cutting blade 331 is pressed by the pressing member. The copper foil 406 protrudes from 440 and is cut.

そして、銅箔４０６が切断された後、駆動機構４により切断刃３３１を上昇させるときに、銅箔４０６が押さえ部材４４０によりステージ３側に押圧されつつ切断刃３３１が上昇する。したがって、切断刃３３１の刃先３３１ａが有する所定の輪郭形状に切り抜かれた銅箔４０６を確実にステージ３上に残すことができ、切り抜かれた銅箔４０６が切断刃３３１の内側に嵌り込むことを防止することができる。 Then, after the copper foil 406 is cut, when the driving blade 4 raises the cutting blade 331, the cutting blade 331 is raised while the copper foil 406 is pressed to the stage 3 side by the pressing member 440. Therefore, the copper foil 406 cut out in a predetermined contour shape of the cutting edge 331a of the cutting blade 331 can be reliably left on the stage 3, and the cut out copper foil 406 fits inside the cutting blade 331. Can be prevented.

また、銅箔４０６を切断する際に、押さえ部材４４０により銅箔４４０６が押圧されるため、銅箔４０６が位置ずれするのを防止することができる。また、銅箔４０６を切断する際に、押さえ部材４４０が有する弾性力により、取付台座１２６ｕ（切断刃３３１）がホーン２６の他方端の端面に押圧されるため、取付台座１２６ｕとホーン２６の他方端の端面との密着性が向上するので、ホーン２６から切断刃３３１への振動の伝達効率を向上することができる。 Further, since the copper foil 4406 is pressed by the pressing member 440 when the copper foil 406 is cut, it is possible to prevent the copper foil 406 from being displaced. Further, when the copper foil 406 is cut, the mounting base 126u (cutting blade 331) is pressed against the other end face of the horn 26 by the elastic force of the pressing member 440. Since the adhesion with the end face of the end is improved, the transmission efficiency of vibration from the horn 26 to the cutting blade 331 can be improved.

なお、銅箔４０６が切断される際に、切断刃３３１の刃先３３１ａはＰＥＴフィルム４０７に切込むことにより保護されるため、ステージ３の載置面３１に緩衝材などの刃先３３１ａの保護部材を設ける必要がない。また、この実施形態では、取付台座１２６ｕの一方面に押さえ部材４４０が設けられているが、ホーン２６の他方端の端面に押さえ部材を設けることにより、押さえ部材４４０により切断の対象物を押圧するようにしてもよい。 Since the cutting edge 331a of the cutting blade 331 is protected by cutting into the PET film 407 when the copper foil 406 is cut, a protection member for the cutting edge 331a such as a buffer material is provided on the mounting surface 31 of the stage 3. There is no need to provide it. In this embodiment, the pressing member 440 is provided on one surface of the mounting base 126u. However, by providing the pressing member on the other end surface of the horn 26, the pressing member 440 presses the object to be cut. You may do it.

＜第５実施形態＞
この発明の振動切断装置の第５実施形態について図８を参照して説明する。図８は本発明の第５実施形態にかかる振動切断装置の要部拡大図である。 <Fifth Embodiment>
A fifth embodiment of the vibration cutting device of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 8 is an enlarged view of a main part of the vibration cutting device according to the fifth embodiment of the present invention.

図８に示すように、この実施形態では、接着・絶縁の機能を同時に有するフィルム状接続材料であるＮＣＦ（Non Conductive Film）４００が切断対象物として、切断刃３３１の刃先３３１ａが有する輪郭形状に切り抜かれる。ＮＣＦ４００は、両面がポリエステルやポリエチレンなどにより形成される離型フィルム４０１，４０２により保護された状態でリール（図示省略）に巻回されて保持されており、送りローラー４０３および従動ローラー４０４に狭持されることで、必要な分だけリールからステージ３の位置に送り込まれる。その他の構成および動作は上記第１実施形態と同一であるため、以下では同一符号および相当符号を付すことによりその構成および動作の説明を省略する。 As shown in FIG. 8, in this embodiment, an NCF (Non Conductive Film) 400, which is a film-like connecting material having adhesive and insulating functions at the same time, is used as a cutting object, and has a contour shape that the cutting edge 331a of the cutting blade 331 has. Cut out. The NCF 400 is wound and held on a reel (not shown) in a state where both surfaces are protected by release films 401 and 402 formed of polyester, polyethylene, or the like, and is held between the feed roller 403 and the driven roller 404. As a result, the necessary amount is fed from the reel to the stage 3. Since other configurations and operations are the same as those of the first embodiment, description of the configurations and operations will be omitted by assigning the same reference numerals and equivalent symbols below.

図８に示すように、ＮＣＦ４００の上面を保護する離型フィルム４０２は押さえローラー４０５の位置で剥離されることにより、ステージ３の載置面３１上には、上面側の離型フィルム４０２のみが剥離された状態のＮＣＦ４００が配置される。そして、駆動機構４により切断刃３３１を下降することで、ＮＣＦ４００が切断刃３３１の刃先３３１ａが有する所定の輪郭形状に切り抜き加工される。 As shown in FIG. 8, the release film 402 that protects the upper surface of the NCF 400 is peeled off at the position of the pressing roller 405 so that only the release film 402 on the upper surface side is placed on the placement surface 31 of the stage 3. The peeled NCF 400 is disposed. Then, by lowering the cutting blade 331 by the drive mechanism 4, the NCF 400 is cut into a predetermined contour shape that the cutting edge 331 a of the cutting blade 331 has.

切り抜き加工されたＮＣＦ４００は、送りローラー４０３および従動ローラー４０４によりステージ３の位置から移動され、送りローラー４０３および従動ローラ４０４の位置において、ＮＣＦ４００と離型フィルム４０１とが剥離されることにより、ＮＣＦ４００の切断物が離型フィルム４０１上に残った状態となる。そして、取り出し位置Ｐにおいて、下面側の離型フィルム４０１上に残っているＮＣＦ４００の切断物が取り出されて切断処理が終了する。なお、ＮＣＦ４００の下面側が離型フィルム４０１により保護された状態で切断処理が行われることにより、ＮＣＦ４００を切断した切断刃３３１の刃先３３１ａは、離型フィルム４０１に切込むことにより保護されるため、ステージ３の載置面３１に緩衝材などの刃先３３１ａの保護部材を設ける必要がない。 The cut-out NCF 400 is moved from the position of the stage 3 by the feed roller 403 and the driven roller 404, and the NCF 400 and the release film 401 are peeled at the positions of the feed roller 403 and the driven roller 404. The cut product remains on the release film 401. Then, at the take-out position P, the cut NCF 400 remaining on the release film 401 on the lower surface side is taken out, and the cutting process ends. In addition, since the cutting edge 331a of the cutting blade 331 that cuts the NCF 400 is protected by cutting into the release film 401 by performing the cutting process in a state where the lower surface side of the NCF 400 is protected by the release film 401, There is no need to provide a protection member for the cutting edge 331a such as a cushioning material on the mounting surface 31 of the stage 3.

また、シート状の切断の対象物としてＮＣＦ４００を切断したが、切断の対象物としてはこれに限られるものではなく、Ｃｕ等の金属箔など、切抜きが可能なシート状の部材であればどのようなものであってもよい。 Moreover, although NCF400 was cut | disconnected as an object of sheet-like cutting | disconnection, as an object of cutting | disconnection, it will not be restricted to this, What kind of sheet-like member can be cut out, such as metal foil, such as Cu? It may be anything.

以上のように、この実施形態では、上記した実施形態と同様の効果を奏することができる。 As described above, this embodiment can provide the same effects as those of the above-described embodiment.

＜６実施形態＞
この発明の振動切断装置の第６実施形態について図９を参照して説明する。図９は本発明の第６実施形態にかかる振動切断装置の要部拡大図である。図９に示すように、この実施形態が上記第１実施形態と異なるのは、ホーン２６の他方端の端面の一部が切除されて断面Ｌ字状段部２６ｍが形成され、矩形の平板状の切断刃２３１（加工工具）が、ホーン２６の振動方向と平行な段部２６ｍの取付面２６ｎに吸着保持される点であり、その他の構成および動作は上記第１実施形態と同一であるため、以下では、上記した第１実施形態と同一符号を付すことによりその構成および動作の説明を省略する。 <Sixth embodiment>
A sixth embodiment of the vibration cutting device of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 9 is an enlarged view of a main part of a vibration cutting device according to a sixth embodiment of the present invention. As shown in FIG. 9, this embodiment is different from the first embodiment in that a part of the end face of the other end of the horn 26 is cut off to form an L-shaped step portion 26m, and a rectangular flat plate shape. The cutting blade 231 (working tool) is sucked and held on the mounting surface 26n of the step portion 26m parallel to the vibration direction of the horn 26, and other configurations and operations are the same as those in the first embodiment. In the following description, the same reference numerals as those in the first embodiment are given, and the description of the configuration and operation is omitted.

図９に示すように、ホーン２６の他方端には、その端面の一部が切除されて断面Ｌ字状段部２６ｍが形成されており、段部２６ｍにおけるホーン２６の振動方向と平行な取付面２６ｎに磁石４５０（本発明の「吸着保持手段」に相当）が設けられている。また、段部２６ｍの取付面２６ｎには係止用突起２６ｗが幅方向に並設されており、係止用突起２６ｗが、切断刃２３１の係止用突起２６ｗに対峙する位置に透設された係止用孔２３１ｂに挿通されることで、切断刃２３１は、その一端側縁部の刃先２３１ａを除く他端側の片側側面が取付面２６ｎに当接された状態で磁石４５０の磁力により取付面２６ｎに吸着保持されてホーン２６の他端側に取付けられる。 As shown in FIG. 9, at the other end of the horn 26, a part of its end face is cut off to form a stepped portion 26m having an L-shaped cross section, and the mounting of the stepped portion 26m parallel to the vibration direction of the horn 26 is performed. A magnet 450 (corresponding to the “adsorption holding means” of the present invention) is provided on the surface 26n. Further, a locking projection 26w is provided in parallel in the width direction on the mounting surface 26n of the stepped portion 26m, and the locking projection 26w is transparently provided at a position facing the locking projection 26w of the cutting blade 231. When the cutting blade 231 is inserted into the locking hole 231b, the cutting blade 231 is moved by the magnetic force of the magnet 450 in a state where the one side surface on the other end side except the cutting edge 231a on the one end side is in contact with the mounting surface 26n. The horn 26 is attached to the other end of the horn 26 by being sucked and held by the attachment surface 26n.

したがって、この実施形態によれば、ホーン２６の他方端の端面の一部を切除して形成された断面Ｌ字状段部２６ｍの、ホーン２６の振動方向と平行な段部２６ｍの取付面２６ｎに、平板状の切断刃２３１により構成される加工工具を磁石４５０の磁力により吸着保持することで、容易に切断刃２３１をホーン２６に取り付けることができる。 Therefore, according to this embodiment, the mounting surface 26n of the stepped portion 26m parallel to the vibration direction of the horn 26 of the L-shaped stepped portion 26m formed by cutting off a part of the end surface of the other end of the horn 26 is provided. Furthermore, the cutting blade 231 can be easily attached to the horn 26 by attracting and holding the processing tool constituted by the flat cutting blade 231 by the magnetic force of the magnet 450.

なお、加工工具を磁力によりホーン２６に吸着保持する場合には、加工工具を磁力により吸着保持可能な磁性部材により構成するとよい。 When the working tool is attracted and held on the horn 26 by magnetic force, the working tool may be constituted by a magnetic member that can be attracted and held by magnetic force.

なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、上述した構成をどのように組み合わせてもよく、上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば上記した実施形態では、真空吸着力または磁力による吸着により、加工工具をホーン（共振器）に着脱自在に取り付けるように構成されているが、一般的な静電吸着機構をホーンに設け、静電吸着力により加工工具をホーンに着脱自在に取り付けるようにしてもよい。このようにしても、上記した実施形態と同様の効果を奏することができる。 Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and the above-described configurations may be combined in any way without departing from the gist thereof, and various modifications other than those described above can be made. It is. For example, in the above-described embodiment, the processing tool is detachably attached to the horn (resonator) by vacuum suction force or magnetic force suction. However, a general electrostatic suction mechanism is provided on the horn to You may make it attach a processing tool to a horn freely by an electroadsorption force. Even if it does in this way, there can exist the same effect as above-mentioned embodiment.

また、上記した実施形態ではホーンに２つの長孔が形成されているが、少なくとも１つの長孔が共振器に形成されていればよく、共振器の構成に基づいて、切断刃に適切に振動が印加されるように長孔の大きさおよび数、長孔の形成方向などの構成を適宜調整すればよい。また、共振器の他方端の端面に所定の輪郭形状の刃先を有する切断刃を取着するときに、当該切断刃の幅方向および奥行き方向の大きさ（平面視における面積）が、共振器の他方端の端面の面積と比較して十分に小さく、切断刃に印加される振動の振幅の大きさが、切断刃の全体において大きく異なることがない場合には、必ずしも共振器に長孔を設ける必要はない。 In the above-described embodiment, two long holes are formed in the horn. However, it is sufficient that at least one long hole is formed in the resonator. Based on the configuration of the resonator, the cutting blade is appropriately vibrated. The size and number of the long holes, the formation direction of the long holes, and the like may be adjusted as appropriate so that is applied. Further, when a cutting blade having a predetermined contour shape is attached to the end face of the other end of the resonator, the size (area in plan view) of the cutting blade in the width direction and depth direction is When the area of the other end face is sufficiently small and the amplitude of the vibration applied to the cutting blade does not vary greatly in the entire cutting blade, a long hole is not necessarily provided in the resonator. There is no need.

また、切断刃の構成および形状は、上記した輪郭状または直線状に限られるものではなく、必要に応じて、曲線状など、適宜、最適な構成および形状を有する切断刃を採用することができる。また、上記した実施形態では、切断刃を用いた振動切断装置を例に挙げて本発明の振動加工装置を説明したが、振動加工装置としては上記した例に限られるものではなく、例えば、加工工具として切削工具を用いた振動切削装置により本発明の切断装置を構成してもよく、加工工具として、振動を印加することにより加工対象物を加工するときの加工効率を向上することができれば、どのような加工工具を採用してもよい。 Further, the configuration and shape of the cutting blade are not limited to the above-described contour shape or linear shape, and a cutting blade having an optimal configuration and shape, such as a curved shape, can be adopted as necessary. . Further, in the above-described embodiment, the vibration machining apparatus of the present invention has been described by taking a vibration cutting apparatus using a cutting blade as an example. However, the vibration machining apparatus is not limited to the above-described example. The cutting device of the present invention may be configured by a vibration cutting device using a cutting tool as a tool, and as a processing tool, if processing efficiency can be improved when processing a workpiece by applying vibration, Any processing tool may be adopted.

また、上記した実施形態では、加工工具（切断刃）に超音波振動を印加しているが、加工工具に印加する振動としては超音波振動に限らず、低周波振動や、例えば約１００Ｈｚの低周波振動と超音波振動とが重畳された振動などを加工工具に印加してもよい。このように、加工工具に低周波振動を印加することにより、対象物の切屑などが加工工具に付着しにくくなる。 In the above-described embodiment, the ultrasonic vibration is applied to the processing tool (cutting blade). However, the vibration applied to the processing tool is not limited to the ultrasonic vibration, and may be a low frequency vibration or a low frequency of, for example, about 100 Hz. A vibration in which a frequency vibration and an ultrasonic vibration are superimposed may be applied to the processing tool. In this way, by applying low-frequency vibration to the processing tool, it becomes difficult for chips or the like of the object to adhere to the processing tool.

また、共振器の３箇所以上の位置が支持手段により支持されるようにしてもよく、少なくとも、クランプ手段（把持部）の被把持部に接触する部分を上記した材質で形成するとよい。また、共振器の形状、材質、大きさ等は、上記した例に限られず、どのようなものであってもよい。 Further, three or more positions of the resonator may be supported by the support means, and at least a portion of the clamp means (gripping portion) that contacts the gripped portion may be formed of the above-described material. Further, the shape, material, size, and the like of the resonator are not limited to the above-described example, and may be anything.

また、上記した実施形態では、駆動機構４の駆動モータ４１により共振器を移動するように構成されているが、エアシリンダによる流体圧力を利用したアクチュエータや、リニアモータなどにより共振器を移動するようにしてもよく、一般的な実装装置において採用される加圧装置を適宜採用することができる。 In the above-described embodiment, the resonator is moved by the drive motor 41 of the drive mechanism 4. However, the resonator is moved by an actuator using fluid pressure by an air cylinder, a linear motor, or the like. Alternatively, a pressurizing device employed in a general mounting device can be appropriately employed.

そして、加工工具に振動を印加して対象物を加工する技術に本発明を広く適用することができる。 And this invention can be widely applied to the technique which processes a target object by applying a vibration to a processing tool.

１振動切断装置（振動加工装置）
３ステージ
２１共振器
２６ホーン（共振器）
２６ｍ断面Ｌ字状段部
２６ｎ取付面
３１ａ載置面
３３緩衝層
１２６ｕ，２２６ｕ，３２６ｕ取付台座
２３１切断刃（加工工具）
３３１切断刃
４００ＮＣＦ（対象物）
４０６銅箔（対象物）
４１０真空吸着機構（吸着保持手段）
４３０保持部材（シート状部材）
４４０押さえ部材（弾性部材）
４５０磁石（吸着保持手段） 1 Vibration cutting device (vibration processing device)
3 stage 21 resonator 26 horn (resonator)
26m L-shaped step section 26n Mounting surface 31a Mounting surface 33 Buffer layer 126u, 226u, 326u Mounting base 231 Cutting blade (processing tool)
331 Cutting blade 400 NCF (object)
406 Copper foil (object)
410 Vacuum suction mechanism (suction holding means)
430 Holding member (sheet-like member)
440 Holding member (elastic member)
450 magnet (adsorption holding means)

Claims

A resonator having a vibrator connected to one end and a machining tool attached to the other end opposite to the vibrator is applied to the machining tool by applying vibration in the same direction as the vibration direction of the resonator. In a vibration processing device that processes objects,
An oscillating machining apparatus, comprising: a suction holding means that is provided on the other end side of the resonator and detachably sucks and holds the processing tool.

The processing tool comprises a cutting blade provided on one surface of a flat mounting base,
The vibration processing apparatus according to claim 1, wherein the suction holding unit is provided on an end surface of the other end of the resonator and sucks the other surface of the mounting base.

The plurality of mounting bases are provided on a sheet-like member, and any one of the mounting bases provided on the sheet-like member is sucked by the suction holding means. The vibration processing apparatus as described.

An L-shaped step section formed by cutting off a part of the end face of the other end of the resonator;
The suction holding means is provided on the mounting surface of the step portion parallel to the vibration direction of the resonator, and sucks and holds the processing tool constituted by a flat cutting blade on the mounting surface. The vibration processing apparatus according to claim 1.

Further comprising a stage having a buffer layer provided with a mounting surface on which the object is mounted;
The vibration processing apparatus according to claim 2, wherein the buffer layer is made of a material that can be cut by the cutting blade.

The vibration processing apparatus according to claim 1, wherein an elastic member that presses the object when the object is processed is provided on an end face of the other end of the resonator. .

The vibration processing apparatus according to claim 1, wherein the suction holding unit sucks and holds the processing tool by a vacuum suction force.

The vibration processing apparatus according to claim 1, wherein the suction holding unit sucks and holds the processing tool by a magnetic force.

The vibration processing apparatus according to claim 1, wherein the suction holding unit sucks and holds the processing tool by an electrostatic suction force.