JP2013087031A - Method for producing cover glass for portable device - Google Patents

Method for producing cover glass for portable device Download PDF

Info

Publication number
JP2013087031A
JP2013087031A JP2011231002A JP2011231002A JP2013087031A JP 2013087031 A JP2013087031 A JP 2013087031A JP 2011231002 A JP2011231002 A JP 2011231002A JP 2011231002 A JP2011231002 A JP 2011231002A JP 2013087031 A JP2013087031 A JP 2013087031A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chemical strengthening
glass substrate
glass
dimensions
dimension
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2011231002A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tomoyuki Goto
伴幸 後藤
Masatomo Shibui
正智 渋井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hoya Corp
Hoev Co Ltd
Original Assignee
Hoya Corp
Hoev Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hoya Corp, Hoev Co Ltd filed Critical Hoya Corp
Priority to JP2011231002A priority Critical patent/JP2013087031A/en
Publication of JP2013087031A publication Critical patent/JP2013087031A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing a cover glass for portable devices capable of improving dimensional accuracy of a glass substrate after chemical reinforcing treatment.SOLUTION: The method for producing the cover glass for portable devices includes a chemical reinforcing step of performing chemical reinforcing of the glass substrate by bringing the glass substrate 100 into contact with a chemical reinforcing treatment liquid to perform ion exchange of a part of ions in the glass substrate 100 with ions in the chemical reinforcing treatment liquid having an ionic radius larger than the ions in the glass substrate. The chemical reinforcing of the glass substrate 100 is carried out under a chemical reinforcing condition giving a chemically reinforced glass substrate 100 having a dimension coinciding with the demanded dimension of the cover glass for portable device based on the dimension of the glass substrate 100 before chemical reinforcing treatment.

Description

本発明は、携帯電話やスマートフォン、PDA(Personal Digital Assistant)などの携帯端末装置の表示画面の保護に用いられる携帯機器用カバーガラスの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a cover glass for a mobile device used for protecting a display screen of a mobile terminal device such as a mobile phone, a smartphone, or a PDA (Personal Digital Assistant).

携帯電話やスマートフォン、PDAなどの携帯端末装置では、液晶などの表示装置を保護するために、表示装置の外側に透明な保護板が配置される。保護板としては、アクリルなどの樹脂が多く用いられているが、樹脂の保護板は撓み易いため、板厚を厚くしたり、表示装置との間隙を多く取ったりする必要がある。   In a portable terminal device such as a mobile phone, a smartphone, or a PDA, a transparent protective plate is disposed outside the display device in order to protect the display device such as a liquid crystal. As the protective plate, a resin such as acrylic is often used. However, since the protective plate made of resin is easy to bend, it is necessary to increase the thickness of the plate or to leave a large gap with the display device.

そこで、携帯端末装置の表示装置の保護のためには、ガラス素材からなるカバーガラスを用いることが好ましい。ガラスは、硬度が高いために撓みが少なく、薄型化に寄与することができる。   Therefore, in order to protect the display device of the portable terminal device, it is preferable to use a cover glass made of a glass material. Since glass has high hardness, there is little bending and it can contribute to thickness reduction.

一般に、カバーガラスは、大きい一枚板の板状ガラスから任意の形状のガラス基板を複数枚抜き出し、この抜き出されたガラス基板を加工することにより製造される。これにより、カバーガラスを1枚1枚製造する場合よりも高い生産性が得られる。板状ガラスからガラス基板を抜き出す方法としては、機械加工だけでなく、エッチングを用いた方法が知られている(例えば、特許文献1)。   In general, a cover glass is manufactured by extracting a plurality of glass substrates of an arbitrary shape from a large single plate-like glass and processing the extracted glass substrates. Thereby, productivity higher than the case where one cover glass is manufactured one by one is obtained. As a method for extracting a glass substrate from plate-like glass, not only machining but also a method using etching is known (for example, Patent Document 1).

特許文献1では、レジストパターンを主表面に形成した板状ガラスをエッチャントでエッチングして、板状ガラスから所望の形状のガラス基板を抜き出している。このようにエッチングで外形を形成することにより、端面は鏡面となって非常に高い平滑性を有し、機械加工では必ず生じるマイクロクラックが生じない。このため、携帯端末用カバーガラスに求められる高い強度を得ることができる。また、機械加工では困難な複雑な形状であっても、エッチングであれば容易に加工することができるという利点もある。   In Patent Document 1, a plate-like glass having a resist pattern formed on the main surface is etched with an etchant, and a glass substrate having a desired shape is extracted from the plate-like glass. By forming the outer shape by etching in this way, the end surface becomes a mirror surface and has very high smoothness, and microcracks that are inevitably generated in machining are not generated. For this reason, the high intensity | strength calculated | required by the cover glass for portable terminals can be obtained. Further, there is an advantage that even a complicated shape difficult to machine can be easily processed by etching.

しかしながら、ガラスは割れるという特性を有しているため、強度を向上させる必要がある。これに対して、特許文献2では、カバーガラスの外形を抜き出した後に、抜き出されたガラス基板をイオン交換処理により化学強化することが提案されている。特許文献2によれば、化学強化して表面に圧縮応力が作用するイオン交換層を形成することで、撓みを抑え、また破損し難い携帯端末用のカバーガラスを製造できるとしている。また、特許文献2には、化学強化のために、例えば、硝酸カリウムや硝酸ナトリウムなどの化学強化処理液を用い、温度400℃〜550℃で処理を行うことが記載されている。   However, since glass has the property of breaking, it is necessary to improve the strength. On the other hand, Patent Document 2 proposes to chemically strengthen the extracted glass substrate by ion exchange after extracting the outer shape of the cover glass. According to Patent Document 2, it is said that a cover glass for a portable terminal that is suppressed in bending and hardly damaged can be manufactured by chemically strengthening and forming an ion exchange layer on which a compressive stress acts. Patent Document 2 describes that chemical strengthening is performed at a temperature of 400 ° C. to 550 ° C. using a chemical strengthening treatment liquid such as potassium nitrate or sodium nitrate for chemical strengthening.

特開2009−167086号公報JP 2009-167086 A 特開2007−99557号公報JP 2007-99557 A

ところで、携帯機器の需要増加に伴い、携帯機器用のカバーガラスの需要も急増している。このような背景の下、携帯機器用カバーガラスには、例えば携帯機器の表示画面を保護するために強度を高めるだけでなく、より高い寸法精度も求められている。このような要求を満たすべく、本発明者らは、板状ガラスから小片のガラス基板を抜き出した後、化学強化を行い、携帯機器用カバーガラスを製造した。しかしながら、製造された携帯機器用カバーガラスは、製品として要求される所望の寸法を満たさない場合があるという問題が発生した。   By the way, with the increase in demand for portable devices, the demand for cover glasses for portable devices is also increasing rapidly. Under such a background, the cover glass for mobile devices is required not only to increase the strength but also to have higher dimensional accuracy, for example, to protect the display screen of the mobile device. In order to satisfy such a requirement, the present inventors extracted a small glass substrate from the plate-like glass and then chemically strengthened it to produce a cover glass for portable devices. However, the produced cover glass for portable devices has a problem that it may not satisfy the desired dimensions required as a product.

本発明は、上記の課題に鑑み、化学強化後のガラス基板の寸法精度を向上できる携帯機器用カバーガラスの製造方法を提供することを目的としている。   An object of this invention is to provide the manufacturing method of the cover glass for portable devices which can improve the dimensional accuracy of the glass substrate after chemical strengthening in view of said subject.

本発明者らは、上記の課題を解決すべく鋭意検討した。その結果、高温の化学強化処理液にガラス基板を浸漬する化学強化工程では、化学強化処理液の状態、すなわち化学強化条件に応じてガラス基板の寸法が伸びることを見出した。さらに検討した結果、本発明者らは、化学強化前のガラス基板の寸法に基づいて、化学強化条件を決定することで、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させるに至った。   The present inventors diligently studied to solve the above problems. As a result, it has been found that in the chemical strengthening step of immersing the glass substrate in a high-temperature chemical strengthening treatment liquid, the dimensions of the glass substrate increase according to the state of the chemical strengthening treatment liquid, that is, the chemical strengthening conditions. As a result of further studies, the present inventors have found that the above-mentioned problems can be solved by determining the chemical strengthening conditions based on the dimensions of the glass substrate before chemical strengthening, and have completed the present invention.

上記課題を解決するために、本発明にかかる携帯機器用カバーガラスの製造方法の代表的な構成は、ガラス基板を化学強化処理液に接触させることにより、ガラス基板の中に含まれる一部のイオンを、そのイオンよりも大きなイオン半径である化学強化処理液中のイオンとイオン交換することによりガラス基板を化学強化する化学強化工程を含む携帯機器用カバーガラスの製造方法であって、化学強化工程前のガラス基板の寸法に基づいて、化学強化工程後のガラス基板の寸法が携帯機器用カバーガラスに求められる寸法になる化学強化条件で、ガラス基板を化学強化することを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, a typical configuration of a method for manufacturing a cover glass for a portable device according to the present invention is to bring a glass substrate into contact with a chemical strengthening treatment liquid, thereby including a part of the glass substrate. A method for manufacturing a cover glass for a portable device comprising a chemical strengthening step of chemically strengthening a glass substrate by ion exchange of ions with ions in a chemical strengthening treatment liquid having an ion radius larger than that of the ions. Based on the dimensions of the glass substrate before the process, the glass substrate is chemically strengthened under a chemical strengthening condition in which the dimension of the glass substrate after the chemical strengthening process becomes a dimension required for the cover glass for portable devices.

ここで、製品として要求される携帯機器用カバーガラスの寸法は、製品毎に決められている。しかし、化学強化工程での化学強化条件に起因して、ガラス基板の寸法が変化してしまう。   Here, the dimension of the cover glass for portable devices required as a product is determined for each product. However, due to the chemical strengthening conditions in the chemical strengthening process, the dimensions of the glass substrate change.

そこで、上記構成によれば、化学強化工程前のガラス基板の寸法に基づいて、化学強化工程後のガラス基板の寸法が携帯機器用カバーガラスに求められる寸法になるような化学強化条件を決定する。さらに、決定された化学強化条件で化学強化を行うことで、化学強化後のガラス基板の寸法精度を向上させている。   So, according to the said structure, based on the dimension of the glass substrate before a chemical strengthening process, the chemical strengthening conditions that the dimension of the glass substrate after a chemical strengthening process becomes a dimension calculated | required by the cover glass for portable devices are determined. . Furthermore, the dimensional accuracy of the glass substrate after chemical strengthening is improved by performing chemical strengthening under the determined chemical strengthening conditions.

化学強化条件と、化学強化条件で化学強化を行ったガラス基板の寸法の変化量との対応関係を予め把握しておき、化学強化工程前のガラス基板の寸法に基づいて、対応関係を参照して、化学強化条件を決定すると好ましい。この場合には、まず、化学強化工程前のガラス基板の寸法から、化学強化工程後のガラス基板の目標寸法との差分を把握する。次に、化学強化条件とガラス基板の寸法の変化量との対応関係を参照することで、化学強化工程でのガラス基板の寸法の変化量が、目標寸法との差分とほぼ一致するような化学強化条件を決定できる。この決定された化学強化条件で化学強化を行うことで、化学強化後のガラス基板の寸法精度を向上できる。   Know the correspondence between the chemical strengthening conditions and the amount of change in the dimensions of the glass substrate that has been chemically strengthened under the chemical strengthening conditions, and refer to the correspondence based on the dimensions of the glass substrate before the chemical strengthening process. Thus, it is preferable to determine the chemical strengthening conditions. In this case, first, the difference from the target dimension of the glass substrate after the chemical strengthening process is grasped from the dimension of the glass substrate before the chemical strengthening process. Next, by referring to the correspondence relationship between the chemical strengthening conditions and the amount of change in the size of the glass substrate, the amount of change in the size of the glass substrate in the chemical strengthening process is almost the same as the difference from the target size. Strengthening conditions can be determined. By performing chemical strengthening under the determined chemical strengthening conditions, the dimensional accuracy of the glass substrate after chemical strengthening can be improved.

化学強化工程の前に、板状ガラスの主表面に形成されたレジストパターンを用いて板状ガラスを等方性エッチングすることにより、携帯機器用カバーガラス形状のガラス基板に加工する形状加工工程を含み、化学強化工程では、形状加工工程後のガラス基板の寸法を化学強化工程前のガラス基板の寸法として、形状加工工程後のガラス基板の寸法に基づいて、化学強化条件を決定すると好ましい。この場合には、ガラス基板は、板状ガラスから等方性エッチングで抜き出されるので、機械加工とは異なりマイクロクラックが生じず、携帯端末用カバーガラスに求められる高い強度を得られる。   Prior to the chemical strengthening step, the shape processing step of processing into a glass substrate in the shape of a cover glass for portable devices by isotropic etching of the plate glass using a resist pattern formed on the main surface of the plate glass In the chemical strengthening step, it is preferable to determine the chemical strengthening conditions based on the dimensions of the glass substrate after the shape processing step, with the dimensions of the glass substrate after the shape processing step as the dimensions of the glass substrate before the chemical strengthening step. In this case, since the glass substrate is extracted from the sheet glass by isotropic etching, unlike the machining, microcracks are not generated, and high strength required for the cover glass for portable terminals can be obtained.

ガラス基板は、Liイオンを含有するアルミノシリケートガラスであり、化学強化条件とは、化学強化処理液中に含まれるLiイオンの濃度であると好ましい。この場合には、アルミノシリケートガラスは、ガラスに含まれていたLiイオンをNaイオンと交換し、NaイオンをKイオンと交換することによって化学強化を行う。したがって、化学強化処理液に含まれるLiイオンの濃度が高いほど、化学強化処理液が疲労していて、化学強化の程度が小さくなる。そこで、例えば等方性エッチング後のガラス基板の寸法が、所望の寸法より小さいほど、Liイオンの濃度を低くすることで、化学強化の際のイオン交換度合いを高めて、化学強化によるガラス基板の寸法の伸びを大きくすることができる。このようにして、化学強化後のガラス基板の寸法精度を向上できる。   The glass substrate is an aluminosilicate glass containing Li ions, and the chemical strengthening condition is preferably the concentration of Li ions contained in the chemical strengthening treatment liquid. In this case, the aluminosilicate glass performs chemical strengthening by exchanging Li ions contained in the glass with Na ions and exchanging Na ions with K ions. Therefore, the higher the concentration of Li ions contained in the chemical strengthening treatment liquid, the more fatigued the chemical strengthening treatment liquid, and the smaller the degree of chemical strengthening. Therefore, for example, the smaller the desired dimension of the glass substrate after isotropic etching, the lower the Li ion concentration, thereby increasing the degree of ion exchange during chemical strengthening and Dimensional elongation can be increased. Thus, the dimensional accuracy of the glass substrate after chemical strengthening can be improved.

化学強化条件は、ガラス基板を化学強化処理液と接触させる時間であると好ましい。この場合には、例えば接触させる時間を長くすれば、化学強化の際のイオン交換度合いを高めて、化学強化によるガラス基板の寸法の伸びを大きくすることができる。また、接触させる時間を短くすれば、化学強化の際のイオン交換度合いを低くして、化学強化によるガラス基板の寸法の伸びを小さくすることができる。このようにして、化学強化後のガラス基板の寸法精度を向上できる。   The chemical strengthening condition is preferably a time for bringing the glass substrate into contact with the chemical strengthening treatment liquid. In this case, for example, if the contact time is increased, the degree of ion exchange during chemical strengthening can be increased, and the elongation of the dimension of the glass substrate due to chemical strengthening can be increased. If the contact time is shortened, the degree of ion exchange at the time of chemical strengthening can be lowered, and the elongation of the glass substrate due to chemical strengthening can be reduced. Thus, the dimensional accuracy of the glass substrate after chemical strengthening can be improved.

化学強化条件は、化学強化処理液の温度であると好ましい。この場合には、例えば温度を高くすれば、化学強化の際のイオン交換度合いを高めて、化学強化によるガラス基板の寸法の伸びを大きくすることができる。また、温度を低くすれば、化学強化の際のイオン交換度合いを低くして、化学強化によるガラス基板の寸法の伸びを小さくすることができる。このようにして、化学強化後のガラス基板の寸法精度を向上できる。   The chemical strengthening condition is preferably the temperature of the chemical strengthening treatment solution. In this case, for example, if the temperature is increased, the degree of ion exchange at the time of chemical strengthening can be increased, and the elongation of the dimension of the glass substrate due to chemical strengthening can be increased. Also, if the temperature is lowered, the degree of ion exchange during chemical strengthening can be lowered, and the elongation of the glass substrate due to chemical strengthening can be reduced. Thus, the dimensional accuracy of the glass substrate after chemical strengthening can be improved.

本発明によれば、化学強化後のガラス基板の寸法精度を向上できる携帯機器用カバーガラスの製造方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of the cover glass for portable devices which can improve the dimensional accuracy of the glass substrate after chemical strengthening can be provided.

本実施形態における携帯機器用カバーガラスの製造方法を適用したガラス基板を説明する図である。It is a figure explaining the glass substrate to which the manufacturing method of the cover glass for portable devices in this embodiment is applied. 本実施形態における携帯機器用カバーガラスの製造システムの機能ブロック図である。It is a functional block diagram of the manufacturing system of the cover glass for portable devices in this embodiment. 等方性エッチングで抜き出されたガラス基板の断面を示す図である。It is a figure which shows the cross section of the glass substrate extracted by isotropic etching.

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値などは、発明の理解を容易とするための例示に過ぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The dimensions, materials, and other specific numerical values shown in the embodiments are merely examples for facilitating understanding of the invention, and do not limit the present invention unless otherwise specified. In the present specification and drawings, elements having substantially the same function and configuration are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted, and elements not directly related to the present invention are not illustrated. To do.

図1は、本実施形態における携帯機器用カバーガラスの製造方法を適用したガラス基板を説明する図である。ガラス基板100は、携帯端末の表示画面を保護する携帯機器用カバーガラス(以下、カバーガラス)として用いられる。ガラス基板100は、矩形の外形部分102を有する板状である。また、ガラス基板100には、マイクやスピーカー用の開口104が設けられている。ガラス基板100は、必要に応じて例えば、印刷等の加飾を施すことでカバーガラスとなる。カバーガラスは、携帯端末のフレーム等に装着され、表示画面を保護することから、強度だけでなく高い寸法精度が求められている。   FIG. 1 is a view for explaining a glass substrate to which a method for manufacturing a cover glass for a portable device in the present embodiment is applied. The glass substrate 100 is used as a cover glass for a portable device (hereinafter referred to as a cover glass) that protects a display screen of a mobile terminal. The glass substrate 100 has a plate shape having a rectangular outer portion 102. The glass substrate 100 is provided with an opening 104 for a microphone or a speaker. The glass substrate 100 becomes a cover glass by performing decoration such as printing as necessary. Since the cover glass is attached to a frame of a portable terminal and the like to protect the display screen, not only strength but also high dimensional accuracy is required.

本実施形態では、カバーガラスを製造する際に、後述する化学強化工程でガラス基板の寸法が変化することに着目し、化学強化後のガラス基板の寸法が製品として要求される所望の目標寸法となるような高い寸法精度を得ることを目的としている。以下、化学強化工程などを含む一連の工程を実施可能なカバーガラスの製造システムを説明する。   In the present embodiment, when manufacturing the cover glass, paying attention to the change in the size of the glass substrate in the chemical strengthening step described later, the size of the glass substrate after the chemical strengthening is a desired target size required as a product and It aims at obtaining such high dimensional accuracy. A cover glass manufacturing system capable of performing a series of steps including a chemical strengthening step will be described below.

図2は、本実施形態における携帯機器用カバーガラスの製造システムの機能ブロック図である。なお図中、太線の矢印は製造の流れを示し、細線の矢印は情報の流れを示している。製造システム110は、大きい一枚板の板状ガラス120から小片のガラス基板を抜き出した後、化学強化を行い、カバーガラスに用いられる上記ガラス基板100を製造する。製造システム110は、エッチング加工装置130と、化学強化処理槽140と、強化条件決定装置150と、把握装置160と、テーブルを記憶するメモリ170とを備える。   FIG. 2 is a functional block diagram of a system for manufacturing a cover glass for portable devices in the present embodiment. In the figure, thick arrows indicate the flow of manufacturing, and thin arrows indicate the flow of information. The manufacturing system 110 extracts the small glass substrate from the large sheet glass 120, and then chemically strengthens the glass substrate 100 used for the cover glass. The manufacturing system 110 includes an etching processing device 130, a chemical strengthening treatment tank 140, a strengthening condition determining device 150, a grasping device 160, and a memory 170 that stores a table.

板状ガラス120は、溶融ガラスから直接シート状に成型したもの、あるいは、ある厚さに成型されたガラス体を所定の厚さに成型し、主表面を研磨して所定の厚さに仕上げたものを使用することができる。特に、溶融ガラスから直接シート状に成型する場合には、板状ガラス120の主表面がマイクロクラックのない表面状態となるため好ましい。溶融ガラスから直接シート状に成型する方法としては、ダウンドロー法、フロート法などが挙げられる。また、プレス法によって板状ガラスを形成してもよい。   The sheet glass 120 is formed directly from a molten glass into a sheet shape, or a glass body molded to a certain thickness is molded to a predetermined thickness, and the main surface is polished to a predetermined thickness. Things can be used. In particular, when molding directly from molten glass into a sheet, it is preferable because the main surface of the sheet glass 120 is in a surface state free from microcracks. Examples of the method for directly forming a sheet from molten glass include a downdraw method and a float method. Moreover, you may form plate glass by a press method.

板状ガラス120としては、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ボロシリケートガラス等が挙げられ、強い圧縮応力を形成できる観点からアルミノシリケートガラスがより好ましい。中でも、SiO、Al、LiO及び/又はNaOを含有するアルミノシリケートガラスであることが好ましい。Alは、後述する化学強化においてイオン交換性能を向上させるために有用である。LiOは、化学強化においてNa+イオンとイオン交換させるための成分である。NaOは、化学強化においてK+イオンとイオン交換させるための成分である。ZrOは、機械的強度を高めるために有用である。 Examples of the plate glass 120 include aluminosilicate glass, soda lime glass, borosilicate glass, and the like, and aluminosilicate glass is more preferable from the viewpoint of forming a strong compressive stress. Among them, it is preferable that the aluminosilicate glass containing SiO 2, Al 2 O 3, Li 2 O and / or Na 2 O. Al 2 O 3 is useful for improving ion exchange performance in chemical strengthening described later. Li 2 O is a component for ion exchange with Na + ions in chemical strengthening. Na 2 O is a component for ion exchange with K + ions in chemical strengthening. ZrO 2 is useful for increasing the mechanical strength.

エッチング加工装置130は、板状ガラス120から等方性エッチングによって、カバーガラス形状の小片のガラス基板を抜き出すエッチング工程を行う。エッチング工程では、板状ガラス120の主表面にレジストパターンを形成し、このレジストパターンを用いて、エッチャントでエッチングして、小片のガラス基板の外形および開口を形成する。エッチングにより外形および開口が形成されることで、ガラス基板の端面および開口の内壁面は鏡面で非常に高い平滑性を有し、機械加工では必ず生じるマイクロクラックが生じず、カバーガラスに求められる高い強度を得ることができる。また、機械加工では困難な複雑な形状であっても、容易に加工することができる。   The etching processing apparatus 130 performs an etching process of extracting a small glass substrate having a cover glass shape from the sheet glass 120 by isotropic etching. In the etching step, a resist pattern is formed on the main surface of the plate-like glass 120, and the resist pattern is used to etch with an etchant to form the outer shape and opening of the small glass substrate. By forming the outer shape and the opening by etching, the end face of the glass substrate and the inner wall surface of the opening have a very high smoothness on the mirror surface, and microcracks that are inevitably generated by machining are not generated, and the high required for the cover glass Strength can be obtained. Moreover, even a complicated shape difficult to machine can be easily processed.

レジストパターンを形成する際には、まず、板状ガラス120の両主表面上にレジスト材をコーティングする。レジスト材としては、エッチングする際に使用するエッチャントに対して耐性を有する材料であればよい。一例として、フッ酸を含む水溶液の湿式エッチング(ウェットエッチング)による等方性エッチングで板状ガラス120を食刻する場合には、フッ酸耐性に優れたレジスト材などを用いることができる。   When forming a resist pattern, first, a resist material is coated on both main surfaces of the sheet glass 120. Any resist material may be used as long as it is resistant to an etchant used for etching. As an example, when the glass sheet 120 is etched by isotropic etching by wet etching (wet etching) of an aqueous solution containing hydrofluoric acid, a resist material having excellent hydrofluoric acid resistance can be used.

次に、所望のマスクパターンを有するフォトマスクを板状ガラス120の両主表面と平行に配置して、レジスト材の両面から光を照射して露光する。なお、ここでのレジスト材は、ネガ型であり、露光されると変質し、現像液で溶解しないようになる。露光後のレジスト材を現像すると、エッチングされる領域以外の領域(残る領域)にレジストパターンが形成される。   Next, a photomask having a desired mask pattern is arranged in parallel with both main surfaces of the plate glass 120, and exposure is performed by irradiating light from both sides of the resist material. Here, the resist material is a negative type, and when exposed to light, the resist material changes in quality and does not dissolve in the developer. When the resist material after exposure is developed, a resist pattern is formed in a region other than the region to be etched (remaining region).

ウェットエッチングに使用するエッチャントは、板状ガラス120を食刻できるものであればよい。例えば、フッ酸を主成分とする酸性溶液や、フッ酸に硫酸、硝酸、塩酸、ケイフッ酸のうち少なくとも一つの酸を含む混酸などを用いることができる。   The etchant used for wet etching may be any material that can etch the plate-like glass 120. For example, an acidic solution containing hydrofluoric acid as a main component or a mixed acid containing at least one of sulfuric acid, nitric acid, hydrochloric acid, and silicic hydrofluoric acid in hydrofluoric acid can be used.

ウェットエッチングでは、板状ガラス120は等方的にエッチングされる。したがってレジストパターンによってマスクされていない領域は、両面から溝が掘り下げられるように溶解し、やがて板厚のほぼ中央部で両面の溝同士が繋がることによって分離および開口する。このようにして、エッチング加工装置130によるエッチング工程が実施される。   In the wet etching, the plate glass 120 is etched isotropically. Therefore, the region not masked by the resist pattern is dissolved so that the grooves are dug down from both sides, and eventually, the grooves on both sides are connected to each other at approximately the center of the plate thickness, so that the regions are separated and opened. In this way, the etching process by the etching processing apparatus 130 is performed.

図3は、等方性エッチングで抜き出されたガラス基板の断面を示す図である。ここでは、板状ガラス120がウェットエッチングにより等方的にエッチングされた場合のガラス基板100Aの断面形状を示している。図中、ガラス基板100Aの両主表面に形成されたレジストマスク204aを斜線で示している。フォトマスクを用いた露光工程で形成されたレジストパターンの上記レジストマスク204aの主表面の寸法(主表面方向の幅)を、Laで示している。さらに、ガラス基板100Aの板厚を、図示のようにDaで示している。   FIG. 3 is a view showing a cross section of a glass substrate extracted by isotropic etching. Here, the cross-sectional shape of the glass substrate 100A when the plate-like glass 120 is isotropically etched by wet etching is shown. In the drawing, resist masks 204a formed on both main surfaces of the glass substrate 100A are indicated by hatching. A dimension (width in the main surface direction) of the main surface of the resist mask 204a of the resist pattern formed in the exposure process using the photomask is indicated by La. Further, the thickness of the glass substrate 100A is indicated by Da as shown in the figure.

ガラス基板100Aの端面には、図3に示すように、中央部が外方に向かって突出する突出部106aが形成されており、その突出部106aから両方の主表面側に向かって緩やかに湾曲するように傾斜面106b、106cが形成されている。なお、傾斜面106b、106cと主表面との境界、および突出部106aは、半径数十μmの丸みを帯びた形状にすることが好ましい。このような端面形状とすることで、携帯端末装置のフレーム等に当該カバーガラスを装着する際、カジリや欠けが生じることなく容易に装着することができる。   As shown in FIG. 3, the end surface of the glass substrate 100A is formed with a protruding portion 106a whose central portion protrudes outward, and gently curves from the protruding portion 106a toward both main surfaces. Inclined surfaces 106b and 106c are formed as described above. In addition, it is preferable that the boundary between the inclined surfaces 106b and 106c and the main surface and the protruding portion 106a have a rounded shape with a radius of several tens of μm. By adopting such an end face shape, when the cover glass is attached to the frame or the like of the mobile terminal device, it can be easily attached without causing galling or chipping.

また、ガラス基板100Aの外形寸法は、両端面の突出部106a、106a間の距離で規定される。ここでは、ガラス基板100Aの外形寸法を、図示のようにWaで示している。   Further, the outer dimension of the glass substrate 100A is defined by the distance between the protruding portions 106a and 106a on both end faces. Here, the external dimensions of the glass substrate 100A are indicated by Wa as shown in the figure.

エッチング後には、レジスト剥離が行われる。例えばレジストパターンをガラス基板100Aから剥離するための剥離液としては、KOHやNaOHなどのアルカリ溶液を用いることが好ましい。なお、レジスト材、エッチャント、剥離液の種類は、被エッチング材料である板状ガラス120の材料に応じて適宜選択することができる。   After etching, resist stripping is performed. For example, as a stripping solution for stripping the resist pattern from the glass substrate 100A, it is preferable to use an alkaline solution such as KOH or NaOH. Note that the types of the resist material, the etchant, and the stripping solution can be appropriately selected according to the material of the plate glass 120 that is the material to be etched.

次に、エッチング工程後の小片のガラス基板に対して実施される化学強化工程について説明する。図2に示す化学強化処理槽140は、エッチングによる形状加工工程の後に、板状ガラス120から抜き出されたガラス基板に対して、イオン交換処理により化学強化を行う。化学強化は、ガラスの表層面のイオンをイオン半径の大きな他のイオンと交換することにより、ガラス表面に圧縮応力層を形成し、機械的強度をさらに高める処理である。化学強化には、例えば、硝酸カリウムや硝酸ナトリウムなどの化学強化処理液が用いられ、温度300〜450(℃)、1〜30時間の処理が行われる。これにより、ガラス中のLi+イオンが化学強化処理液中のNa+イオンと交換されるとともに、ガラス中のNa+イオンが化学強化処理液中のK+イオンと交換される。   Next, the chemical strengthening process performed with respect to the glass substrate of the small piece after an etching process is demonstrated. The chemical strengthening treatment tank 140 shown in FIG. 2 performs chemical strengthening by ion exchange processing on the glass substrate extracted from the sheet glass 120 after the shape processing step by etching. Chemical strengthening is a process of further increasing mechanical strength by forming a compressive stress layer on the glass surface by exchanging ions on the surface of the glass with other ions having a large ionic radius. For the chemical strengthening, for example, a chemical strengthening treatment liquid such as potassium nitrate or sodium nitrate is used, and the treatment is performed at a temperature of 300 to 450 (° C.) for 1 to 30 hours. Thereby, Li + ions in the glass are exchanged with Na + ions in the chemical strengthening treatment liquid, and Na + ions in the glass are exchanged with K + ions in the chemical strengthening treatment liquid.

化学強化により形成する圧縮応力層は5(μm)以上あればよい。好ましくは、圧縮応力層の厚みは、35(μm)以上、より好ましくは50(μm)以上、さらに好ましくは100(μm)以上が望ましい。また、ガラス基板を抜き出した後に化学強化を行うことで、ガラス基板の端面も化学強化される。このため、図1に示すガラス基板100を携帯端末装置に装着する際、ガラス基板100の欠けや割れが生じることを抑制できる。   The compressive stress layer formed by chemical strengthening may be 5 (μm) or more. Preferably, the thickness of the compressive stress layer is 35 (μm) or more, more preferably 50 (μm) or more, and still more preferably 100 (μm) or more. Moreover, the end surface of a glass substrate is also chemically strengthened by performing chemical strengthening after extracting a glass substrate. For this reason, when mounting the glass substrate 100 shown in FIG. 1 to a portable terminal device, it can suppress that the chip | tip and crack of the glass substrate 100 arise.

化学強化後のガラス基板は、化学強化処理槽140から取り出され、空中と水中で冷却された後、ガラス基板に付着している溶融塩やその他の付着物を取り除くために洗浄され、図1に示すガラス基板100となる。洗浄方法としては、水などの洗浄液で洗い流す方法や、洗浄液に浸漬する浸漬法、洗浄液を流しながら回転するロール体をガラス基板に接触させるスクラブ洗浄法などを利用することができる。浸漬法では、洗浄液に超音波を印加した状態で実施してもよい。その後、ガラス基板100に、必要に応じて印刷等の加飾を施すことでカバーガラスが製造される。   The glass substrate after chemical strengthening is taken out from the chemical strengthening treatment tank 140, cooled in the air and water, and then washed to remove the molten salt and other deposits adhering to the glass substrate. It becomes the glass substrate 100 shown. As a cleaning method, a method of washing away with a cleaning solution such as water, a dipping method of immersing in a cleaning solution, a scrub cleaning method of contacting a rotating roll body with a glass substrate while flowing the cleaning solution, or the like can be used. The dipping method may be performed in a state where ultrasonic waves are applied to the cleaning liquid. Then, a cover glass is manufactured by giving decoration, such as printing, to the glass substrate 100 as needed.

ここで、本発明者らは、化学強化工程での化学強化条件により、ガラス基板100の外形寸法が変わることに着目した。化学強化では、ガラスの表層面のイオンをイオン半径の大きな他のイオンと交換することにより、ガラス表面に圧縮応力層を形成する。この圧縮応力層は、ガラス基板を膨張させるため基板寸法は大きくなる。   Here, the inventors focused on the fact that the outer dimensions of the glass substrate 100 change depending on the chemical strengthening conditions in the chemical strengthening step. In chemical strengthening, a compressive stress layer is formed on the glass surface by exchanging ions on the surface of the glass with other ions having a large ion radius. Since this compressive stress layer expands the glass substrate, the substrate size becomes large.

つまり、化学強化によるガラス基板100の寸法変化量(伸びの度合い)は、化学強化に伴う化学強化条件によって変化する。そこで、化学強化条件と化学強化によるガラス基板の外形寸法の伸びとの対応関係を示すテーブルを用意すればよい。なお、テーブルが示す対応関係は、実施例の表1、表2にて詳述する。   That is, the dimensional change amount (degree of elongation) of the glass substrate 100 due to chemical strengthening varies depending on the chemical strengthening conditions accompanying the chemical strengthening. Therefore, a table showing the correspondence between the chemical strengthening conditions and the elongation of the outer dimensions of the glass substrate by chemical strengthening may be prepared. The correspondence relationship indicated by the table will be described in detail in Tables 1 and 2 of the embodiment.

テーブルは、図2に示すようにメモリ170に格納されており、化学強化に伴う化学強化条件とガラス基板の外形寸法の伸びとの対応関係を示している。化学強化条件としては、例えば、化学強化処理液中に含まれるLiイオンの濃度(ppm)、ガラス基板を化学強化処理液と接触させる時間である浸漬時間(時間)、化学強化処理液の温度(℃)が挙げられる。   The table is stored in the memory 170 as shown in FIG. 2, and shows the correspondence between the chemical strengthening conditions accompanying chemical strengthening and the elongation of the outer dimensions of the glass substrate. As chemical strengthening conditions, for example, the concentration (ppm) of Li ions contained in the chemical strengthening treatment liquid, the immersion time (hour) which is the time for contacting the glass substrate with the chemical strengthening treatment liquid, the temperature of the chemical strengthening treatment liquid ( ° C).

化学強化工程では、ガラス基板に含まれているLiイオンをNaイオンと交換するとともに、NaイオンをKイオンと交換する。このため、化学強化処理液に含まれるLiイオンの濃度が高いほど、化学強化処理液が疲労し、イオン交換の速度が低下することで、化学強化の程度が小さくなる。なお、Li濃度の変更は、化学強化処理液の交換、溶融塩の継ぎ足しなどによって実行可能である。   In the chemical strengthening step, Li ions contained in the glass substrate are exchanged with Na ions, and Na ions are exchanged with K ions. For this reason, the higher the concentration of Li ions contained in the chemical strengthening treatment liquid, the more the chemical strengthening treatment liquid becomes fatigued and the rate of ion exchange decreases, thereby reducing the degree of chemical strengthening. The Li concentration can be changed by exchanging the chemical strengthening treatment liquid, adding molten salt, or the like.

また、化学強化工程では、浸漬時間が長いほど、また化学強化処理液の温度が高いほどイオン交換が進行しガラス基板の外形寸法の伸びが大きくなる傾向がある。ただし、時間、温度に関する上記の傾向は、ガラス基板の応力緩和現象などにより単調に外形寸法の伸びが大きくならない場合もある。なお、温度の変更は、化学強化処理槽のヒーターを調整することで実施できる。   Further, in the chemical strengthening step, the longer the immersion time and the higher the temperature of the chemical strengthening treatment liquid, the more the ion exchange proceeds, and the elongation of the outer dimensions of the glass substrate tends to increase. However, the above-mentioned tendency regarding time and temperature may not monotonously increase the outer dimension due to the stress relaxation phenomenon of the glass substrate. The temperature can be changed by adjusting the heater of the chemical strengthening treatment tank.

次に、製造システム110での情報の流れ(細線の矢印参照)について説明する。上記したテーブルを記憶しているメモリ170は、図2に示す把握装置160の要求に応じてテーブルの内容を参照させる。把握装置160は、テーブルから化学強化工程に伴う化学強化条件とガラス基板の外形寸法の伸びとの対応関係を把握する。さらに、把握装置160は、強化条件決定装置150の要求に応じて上記対応関係を参照させる。   Next, the flow of information in the manufacturing system 110 (see thin line arrows) will be described. The memory 170 storing the above-described table refers to the contents of the table in response to a request from the grasping device 160 shown in FIG. The grasping device 160 grasps the correspondence relationship between the chemical strengthening conditions associated with the chemical strengthening process and the elongation of the outer dimensions of the glass substrate from the table. Furthermore, the grasping device 160 refers to the correspondence relationship in response to a request from the strengthening condition determining device 150.

強化条件決定装置150は、エッチング加工装置130によるエッチング工程後のガラス基板の寸法に基づいて、テーブルの対応関係を参照し、化学強化工程後のガラス基板の外形寸法が所望の外形寸法、すなわち製品として要求される目標寸法になるように、化学強化条件を決定する。なお、ガラス基板の目標寸法は、例えばメモリ170に適宜記憶させてよい。   The strengthening condition determination device 150 refers to the correspondence relationship of the table based on the dimensions of the glass substrate after the etching process by the etching processing device 130, and the outer dimension of the glass substrate after the chemical strengthening process is a desired outer dimension, that is, a product. The chemical strengthening conditions are determined so as to achieve the target dimensions required. Note that the target dimensions of the glass substrate may be appropriately stored in the memory 170, for example.

具体的には、強化条件決定装置150は、寸法測定装置(図示せず)によって測定されたエッチング工程後のガラス基板100の外形寸法を取得し、さらに、メモリ170からガラス基板の目標寸法を読み出して、ガラス基板100の外形寸法と目標寸法との差分を把握する。ここでの差分は、目標寸法に対する外形寸法の不足分を想定している。   Specifically, the strengthening condition determining device 150 acquires the outer dimensions of the glass substrate 100 after the etching process measured by a dimension measuring device (not shown), and further reads the target dimensions of the glass substrate from the memory 170. Thus, the difference between the outer dimension of the glass substrate 100 and the target dimension is grasped. The difference here assumes a shortage of the outer dimension relative to the target dimension.

続いて、強化条件決定装置150は、テーブルを参照して、化学強化工程で上記差分とほぼ一致するガラス基板の寸法変化量を得るための化学強化条件を選択し決定する。そして、化学強化処理槽140では、決定された化学強化条件でガラス基板100を化学強化する。このようにすれば、化学強化工程後のガラス基板の外形寸法が目標寸法とほぼ一致するようになる。   Subsequently, the strengthening condition determination device 150 refers to the table and selects and determines the chemical strengthening conditions for obtaining the dimensional change amount of the glass substrate that substantially matches the difference in the chemical strengthening step. And in the chemical strengthening processing tank 140, the glass substrate 100 is chemically strengthened on the determined chemical strengthening conditions. If it does in this way, the external dimension of the glass substrate after a chemical strengthening process will come to correspond substantially with a target dimension.

また、化学強化工程では、テーブルに示したように、Liイオンの濃度、化学強化処理液へのガラス基板の浸漬時間および化学強化処理液の温度と、ガラス基板の外形寸法の伸びとがそれぞれ対応関係を有している。このため、強化条件決定装置150は、Li濃度、浸漬時間、温度のうち1つの化学強化条件に限らず、これらの群から選択された2以上の化学強化条件を変更して、ガラス基板の外形寸法の伸びを調整することで、化学強化後のガラス基板の外形寸法を目標寸法に近付けるようにしてもよい。   In the chemical strengthening process, as shown in the table, the Li ion concentration, the immersion time of the glass substrate in the chemical strengthening treatment liquid, the temperature of the chemical strengthening treatment liquid, and the extension of the external dimensions of the glass substrate correspond to each. Have a relationship. For this reason, the strengthening condition determination device 150 changes not only one chemical strengthening condition among Li concentration, immersion time, and temperature, but also changes two or more chemical strengthening conditions selected from these groups, and the outer shape of the glass substrate. You may make it the external dimension of the glass substrate after chemical strengthening approach the target dimension by adjusting the extension of a dimension.

ここで、化学強化条件の選択基準について説明する。Liイオンの濃度は、化学強化処理液の寿命に影響を与えるため、化学強化処理液の寿命を考慮してLiイオンの濃度を調整しない場合には、化学強化条件として、浸漬時間および温度のいずれか一方または両方を調整すればよい。   Here, selection criteria for chemical strengthening conditions will be described. Since the concentration of Li ions affects the life of the chemical strengthening treatment liquid, if the concentration of Li ions is not adjusted in consideration of the life of the chemical strengthening treatment liquid, either the immersion time or the temperature is used as the chemical strengthening condition. Either one or both may be adjusted.

また、浸漬時間は、その調整をすることによって化学強化の終了時刻が変わるため、製造工程全体の時間コントロールを考慮して、浸漬時間の調整をしない場合には、化学強化条件として、Li濃度および温度のいずれか一方または両方を調整すればよい。   In addition, since the end time of chemical strengthening changes by adjusting the immersion time, considering the time control of the entire manufacturing process, when the immersion time is not adjusted, the Li concentration and One or both of the temperatures may be adjusted.

さらに、加熱温度は、化学強化処理槽140や化学強化処理液の使用可能温度の制約を受けるため、加熱温度の調整をしない場合には、化学強化条件として、Li濃度および浸漬時間のいずれか一方または両方を調整すればよい。   Furthermore, since the heating temperature is restricted by the usable temperature of the chemical strengthening treatment tank 140 and the chemical strengthening treatment liquid, when the heating temperature is not adjusted, either the Li concentration or the immersion time is used as the chemical strengthening condition. Or both may be adjusted.

上記のような本実施形態における携帯機器用カバーガラスの製造方法では、化学強化に伴う化学強化条件とガラス基板の外形寸法の伸びとの対応関係を参照して、化学強化前のガラス基板の寸法に基づいて、化学強化条件を決定する。よって、化学強化前のガラス基板の外形寸法のバラツキを、化学強化によって調整することになり、化学強化後のガラス基板の寸法精度を向上できる。   In the method for manufacturing a cover glass for mobile devices in the present embodiment as described above, the dimensions of the glass substrate before chemical strengthening are referred to by referring to the correspondence relationship between the chemical strengthening conditions accompanying chemical strengthening and the elongation of the outer dimensions of the glass substrate. Based on the above, the chemical strengthening conditions are determined. Therefore, the variation in the external dimension of the glass substrate before chemical strengthening is adjusted by chemical strengthening, and the dimensional accuracy of the glass substrate after chemical strengthening can be improved.

なお、ガラス基板の開口寸法に関しても、上記の調整を同様に適用できる。よって、化学強化前のガラス基板の開口寸法のバラツキを、化学強化によって調整することができ、ガラス基板の開口の寸法精度が向上する。これに加えて、ガラス基板の外形寸法及び開口寸法の両方を調整することによって、ガラス基板の外周端面と開口の内壁面との間で生じうる寸法変化を小さくすることができ、開口の位置ずれが抑えられることから、開口の位置精度が向上する。   The above adjustment can be similarly applied to the opening size of the glass substrate. Therefore, the variation of the opening dimension of the glass substrate before chemical strengthening can be adjusted by chemical strengthening, and the dimensional accuracy of the opening of the glass substrate is improved. In addition to this, by adjusting both the outer dimensions and opening dimensions of the glass substrate, the dimensional change that can occur between the outer peripheral end surface of the glass substrate and the inner wall surface of the opening can be reduced, and the positional deviation of the opening can be reduced. Therefore, the positional accuracy of the opening is improved.

[実施例]
以下、本発明の実施例を挙げて説明するが、本発明は以下の実施例にのみ限定されるものではない。
[Example]
Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to the following examples.

例1〜例6は、化学強化条件と基板寸法の対応関係を把握するための実験結果を示す例である。この対応関係は上記実施形態でのテーブルに相当する。   Examples 1 to 6 are examples showing experimental results for grasping the correspondence between chemical strengthening conditions and substrate dimensions. This correspondence corresponds to the table in the above embodiment.

板状ガラスのガラス組成は、62.5〜64.5重量%のSiOと、13〜15重量%のAlと、5〜7重量%のLiOと、9.5〜11.5重量%のNaOと、5〜7重量%のZrOとを含むものである。 Glass composition of the plate-like glass, and SiO 2 of from 62.5 to 64.5 wt%, 13 to 15 and the weight% Al 2 O 3, and 5-7 wt% of Li 2 O, 9.5 to 11 .5% by weight of Na 2 O, is intended to include the ZrO 2 5-7 wt%.

本例のサンプルは、まず上記組成の板状ガラスの両面にレジストを塗布し、所定のフォトマスクを使用して露光、現像を行って、レジストパターンを形成した。そして、このレジストパターンをマスクとして、ガラス素材をエッチングするエッチング液(フッ酸を含有する酸性溶液)を用いて、各板状ガラスに対してウェットエッチングを行った。ウェットエッチングにより各板状ガラスからガラス基板を切り出し、残ったレジストを除去し洗浄した。   In the sample of this example, first, a resist was applied to both surfaces of a plate-like glass having the above composition, and exposure and development were performed using a predetermined photomask to form a resist pattern. Then, using this resist pattern as a mask, wet etching was performed on each plate glass using an etching solution for etching a glass material (an acidic solution containing hydrofluoric acid). A glass substrate was cut out from each plate glass by wet etching, and the remaining resist was removed and washed.

つぎに化学強化工程前にガラス基板の基板寸法を測定した。この携帯機器用カバーガラスに用いる矩形状のガラス基板での、製品として要求される目標寸法は長辺101(mm)、短辺48(mm)であり、本例では短辺寸法を測定した。測定は(株)ニコン製のCNC画像測定システム「NEXIV」を使用した。   Next, the substrate dimensions of the glass substrate were measured before the chemical strengthening step. The target dimensions required for the product in the rectangular glass substrate used for the cover glass for portable devices are the long side 101 (mm) and the short side 48 (mm). In this example, the short side dimension was measured. For the measurement, a CNC image measurement system “NEXIV” manufactured by Nikon Corporation was used.

例1〜例3は、化学強化工程を化学強化処理液のLi濃度を、0(ppm)、900(ppm)、1800(ppm)の条件で実施した。化学強化処理液は硝酸カリウムと硝酸ナトリウムの混合塩、温度360(℃)、浸漬時間は3時間である。Li濃度はイオンクロマトクラフィー(Dionex製 ICS−2000)により測定した。使用した交換カラムはCS−12A、また溶離液はメタンスルホン酸である。化学強化後、所定の洗浄を実施し、ガラス基板寸法を測定した。基板寸法の測定枚数は例1〜3ともに各10枚である。結果を表1に示す。表中の基板寸法変動比は、化学強化によるガラス基板の寸法変化量を表すための比である。また、基板寸法変動比は、化学強化後基板寸法/化学強化前基板寸法であり、測定した10枚の平均値である。なお以降の化学強化は全て硝酸カリウムと硝酸ナトリウムの混合塩で行い、浸漬時間は3時間である。   In Examples 1 to 3, the chemical strengthening step was performed under the conditions of 0 (ppm), 900 (ppm), and 1800 (ppm) of the Li concentration of the chemical strengthening treatment liquid. The chemical strengthening treatment liquid is a mixed salt of potassium nitrate and sodium nitrate, temperature 360 (° C.), and immersion time is 3 hours. Li concentration was measured by ion chromatography (ICS-2000 manufactured by Dionex). The exchange column used was CS-12A, and the eluent was methanesulfonic acid. After chemical strengthening, predetermined cleaning was performed, and the glass substrate dimensions were measured. The number of measured substrate dimensions is 10 for each of Examples 1-3. The results are shown in Table 1. The substrate dimension variation ratio in the table is a ratio for representing the amount of dimensional change of the glass substrate due to chemical strengthening. Moreover, a board | substrate dimension fluctuation ratio is a board | substrate dimension after chemical strengthening / the board | substrate dimension before chemical strengthening, and is the average value of 10 measured. All subsequent chemical strengthening is performed with a mixed salt of potassium nitrate and sodium nitrate, and the immersion time is 3 hours.

Figure 2013087031
Figure 2013087031

例4〜例6は、例1〜3と同様に作成したエッチング工程後のガラス基板を使用した。化学強化工程前のガラス基板の寸法を測定後、化学強化処理液の温度を、340(℃)、360(℃)、380(℃)の3条件でガラス基板を化学強化した。ここでLi濃度は900(ppm)である。化学強化後、所定の洗浄を実施し、ガラス基板寸法を測定した。基板寸法の測定枚数は例1〜3と同じである。結果を表2に示す。表中の基板寸法変動比は、化学強化後基板寸法/化学強化前基板寸法であり、測定した10枚の平均値である。   Examples 4-6 used the glass substrate after the etching process created similarly to Examples 1-3. After measuring the dimensions of the glass substrate before the chemical strengthening step, the glass substrate was chemically strengthened under three conditions of 340 (° C.), 360 (° C.), and 380 (° C.). Here, the Li concentration is 900 (ppm). After chemical strengthening, predetermined cleaning was performed, and the glass substrate dimensions were measured. The number of measured substrate dimensions is the same as in Examples 1-3. The results are shown in Table 2. The board | substrate dimension fluctuation ratio in a table | surface is the board | substrate dimension after chemical strengthening / the board | substrate dimension before chemical strengthening, and is the average value of 10 measured.

Figure 2013087031
Figure 2013087031

表1の例1〜例3から、化学強化処理液のLi濃度と基板寸法変動比の対応関係が得られた。化学強化処理溶液のLi濃度が小さいと、化学強化による基板寸法の伸びは大きくなり、Li濃度が大きいと、基板寸法の伸びは小さくなることが分かる。   From Example 1 to Example 3 in Table 1, a correspondence relationship between the Li concentration of the chemical strengthening treatment liquid and the substrate dimension variation ratio was obtained. It can be seen that when the Li concentration of the chemical strengthening treatment solution is small, the elongation of the substrate dimension due to chemical strengthening increases, and when the Li concentration is large, the elongation of the substrate dimension decreases.

また、表2の例4〜例6から、化学強化処理液の温度と基板寸法変動比の対応関係が得られた。化学強化処理溶液の温度が高いと、化学強化による基板寸法の伸びは大きくなり、温度が低いと、基板寸法の伸びは小さくなることが分かる。   Further, from Example 4 to Example 6 in Table 2, the correspondence relationship between the temperature of the chemical strengthening treatment liquid and the substrate dimension variation ratio was obtained. It can be seen that when the temperature of the chemical strengthening treatment solution is high, the elongation of the substrate dimension due to chemical strengthening increases, and when the temperature is low, the elongation of the substrate dimension decreases.

(実施例)
実施例は、化学強化工程前のガラス基板の寸法に基づいて、表1、表2の化学強化処理液のLi濃度、化学強化処理液の温度と化学強化によるガラス基板の基板寸法の伸びの対応関係を参照し化学強化した。
(Example)
In the examples, based on the dimensions of the glass substrate before the chemical strengthening step, the Li concentration of the chemical strengthening treatment liquid in Tables 1 and 2, the temperature of the chemical strengthening treatment liquid, and the elongation of the substrate dimensions of the glass substrate due to the chemical strengthening The chemical was strengthened by referring to the relationship.

実施例は、化学強化工程前のガラス基板の寸法を測定した。そして化学強化工程前のガラス基板の寸法が、47.97(mm)未満、47.97(mm)以上47.99(mm)未満、47.99(mm)以上の、3段階に仕分け(ソーティング)した。   The Example measured the dimension of the glass substrate before a chemical strengthening process. And, the size of the glass substrate before the chemical strengthening process is sorted into three stages (sorting: less than 47.97 (mm), 47.97 (mm) or more and less than 4799 (mm), or 47.9 (mm) or more. )did.

実施例1は上記の寸法で仕分けしたガラス基板を、表1を参照してLi濃度を調整(選択)して化学強化した。化学強化工程前の基板寸法が大きいガラス基板については、基板寸法の伸びが小さくなる条件で化学強化し、また化学強化工程前の基板寸法が小さいガラス基板については、基板寸法の伸びが大きくなる条件で化学強化した。具体的には、基板寸法が47.97(mm)未満のガラス基板は、Li濃度0(ppm)で化学強化した。また、基板寸法が47.97(mm)以上47.99(mm)未満のガラス基板はLi濃度900(ppm)で化学強化した。さらに、基板寸法が47.99(mm)以上のガラス基板はLi濃度1800(ppm)で化学強化した。ここで、化学強化処理液の温度は360(℃)である。化学強化後のガラス基板の寸法を表3に示す。ガラス基板の寸法測定数は3段階の仕分け毎に700枚、合計2100枚である。   In Example 1, the glass substrate sorted according to the above dimensions was chemically strengthened by adjusting (selecting) the Li concentration with reference to Table 1. For glass substrates with large substrate dimensions before the chemical strengthening process, chemical strengthening is performed under conditions where the elongation of the substrate dimensions is small, and for glass substrates with small substrate dimensions before the chemical strengthening process, conditions for increasing the substrate dimension are large. With chemical strengthening. Specifically, a glass substrate having a substrate dimension of less than 47.97 (mm) was chemically strengthened at a Li concentration of 0 (ppm). The glass substrate having a substrate size of 47.97 (mm) or more and less than 47.99 (mm) was chemically strengthened at a Li concentration of 900 (ppm). Furthermore, a glass substrate having a substrate size of 47.99 (mm) or more was chemically strengthened at a Li concentration of 1800 (ppm). Here, the temperature of the chemical strengthening treatment liquid is 360 (° C.). Table 3 shows the dimensions of the glass substrate after chemical strengthening. The number of dimensional measurements of the glass substrate is 700 for every three stages of sorting, for a total of 2100.

実施例2では、上記の基板寸法で仕分けしたガラス基板を、表2を参照して化学強化処理液の温度を調整(選択)して化学強化した。化学強化工程前の寸法が大きいガラス基板は伸びが小さくなる条件で、また化学強化前の寸法が小さいガラス基板は伸びが大きくなる条件で化学強化した。具体的には、基板寸法が47.97(mm)未満のガラス基板は、化学強化処理液の温度380(℃)で化学強化した。また、基板寸法が47.97(mm)以上47.99(mm)未満のガラス基板は360(℃)で化学強化した。さらに、基板寸法が47.99(mm)以上のガラス基板は340(℃)で化学強化した。ここで化学強化処理液のLi濃度は900(ppm)である。化学強化後のガラス基板の寸法を表3に示す。ガラス基板の寸法測定数は3段階の仕分け毎に700枚、合計2100枚である。   In Example 2, the glass substrate sorted according to the above substrate dimensions was chemically strengthened by adjusting (selecting) the temperature of the chemical strengthening treatment liquid with reference to Table 2. The glass substrate having a large dimension before the chemical strengthening process was chemically strengthened under a condition that the elongation was small, and the glass substrate having a small dimension before the chemical strengthening was chemically strengthened under a condition that the elongation was large. Specifically, a glass substrate having a substrate dimension of less than 47.97 (mm) was chemically strengthened at a temperature of 380 (° C.) of the chemical strengthening treatment liquid. Moreover, the glass substrate whose board | substrate dimension was 47.97 (mm) or more and less than 47.99 (mm) was chemically strengthened at 360 (degreeC). Further, a glass substrate having a substrate size of 47.99 (mm) or more was chemically strengthened at 340 (° C.). Here, the Li concentration of the chemical strengthening treatment liquid is 900 (ppm). Table 3 shows the dimensions of the glass substrate after chemical strengthening. The number of dimensional measurements of the glass substrate is 700 for every three stages of sorting, for a total of 2100.

(比較例)
比較例は、上記の寸法で仕分けしたガラス基板を、すべて同じ化学強化条件、具体的には化学強化処理液のLi濃度は900(ppm)、化学強化処理液の温度360(℃)で化学強化した。化学強化後のガラス基板の寸法を表3に示す。ガラス基板の寸法測定数は2100枚である。
(Comparative example)
In the comparative example, the glass substrates sorted according to the above dimensions are all chemically strengthened under the same chemical strengthening conditions, specifically, the Li concentration of the chemical strengthening treatment liquid is 900 (ppm) and the temperature of the chemical strengthening treatment liquid is 360 (° C.). did. Table 3 shows the dimensions of the glass substrate after chemical strengthening. The number of dimensional measurements of the glass substrate is 2100.

Figure 2013087031
Figure 2013087031

表3から、化学強化工程前のガラス基板の寸法に基づいて、表1、表2の化学強化条件とガラス基板の寸法の変化の対応関係を参照して化学強化条件を調整した実施例1と実施例2のガラス基板の寸法の標準偏差値は、0.013(mm)、0.014(mm)となった。一方、化学強化条件とガラス基板の寸法の変化の対応関係を参照せず化学強化を実施した比較例のガラス基板寸法の標準偏差値は、0.027(mm)となった。よって、実施例1、2は、比較例に対してバラツキが小さいことが分かる。   From Table 3, based on the dimensions of the glass substrate before the chemical strengthening step, Example 1 in which the chemical strengthening conditions were adjusted with reference to the correspondence between the chemical strengthening conditions in Tables 1 and 2 and the changes in the dimensions of the glass substrate, and The standard deviation values of the dimensions of the glass substrate of Example 2 were 0.013 (mm) and 0.014 (mm). On the other hand, the standard deviation value of the glass substrate size of the comparative example in which the chemical strengthening was performed without referring to the correspondence relationship between the chemical strengthening condition and the change in the size of the glass substrate was 0.027 (mm). Therefore, it can be seen that Examples 1 and 2 have less variation than the comparative example.

このように、化学強化工程前のガラス基板の寸法に基づいて、予め把握した化学強化条件とガラス基板の寸法変化量を参照して化学強化工程を実施した実施例では、ガラス基板の寸法精度がより向上することが確かめられた。   Thus, based on the dimensions of the glass substrate before the chemical strengthening process, in the example in which the chemical strengthening process was performed with reference to the previously known chemical strengthening conditions and the dimensional change amount of the glass substrate, the dimensional accuracy of the glass substrate was It was confirmed that it improved more.

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。   As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described referring an accompanying drawing, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to the example which concerns. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope of the claims, and these are naturally within the technical scope of the present invention. Understood.

特に、実施例では短辺寸法の測定結果を示したが、このほかにガラス基板の長辺寸法および開口寸法などを必要に応じて測定し、長辺寸法および開口寸法のいずれかの寸法とこの寸法の化学強化工程に伴うガラス基板の寸法変化量(ガラス基板の寸法の伸び)との対応関係を参照して、化学強化条件を決定してもよい。あるいは、各種寸法を複数組み合わせて、この組み合わせと各種寸法の化学強化工程に伴うガラス基板の寸法変化量との対応関係を参照して、化学強化条件を決定してもよい。   In particular, the measurement results of the short side dimension were shown in the examples, but in addition to this, the long side dimension and the opening dimension of the glass substrate were measured as necessary. The chemical strengthening condition may be determined with reference to the correspondence with the dimensional change amount of the glass substrate (the elongation of the dimension of the glass substrate) accompanying the chemical strengthening process of dimensions. Alternatively, the chemical strengthening conditions may be determined by combining a plurality of various dimensions and referring to the correspondence between the combination and the dimensional change amount of the glass substrate accompanying the chemical strengthening process of various dimensions.

本発明は、携帯電話やスマートフォン、PDAなどの携帯端末装置やデジタルスチルカメラ等の携帯機器(携帯型電子機器)の表示画面の保護や、携帯機器の筐体に用いられる携帯機器用カバーガラスの製造方法に利用することができる。   The present invention relates to protection of a display screen of a mobile device (portable electronic device) such as a mobile terminal device such as a mobile phone, a smartphone, or a PDA, or a digital still camera, or a cover glass for a mobile device used for a casing of the mobile device. It can be used for manufacturing methods.

100、100A…ガラス基板、102…外形部分、104…開口、106a…突出部、106b、106c…傾斜面、110…製造システム、120…板状ガラス、130…エッチング加工装置、140…化学強化処理槽、150…強化条件決定装置、160…把握装置、170…メモリ DESCRIPTION OF SYMBOLS 100, 100A ... Glass substrate, 102 ... Outer part, 104 ... Opening, 106a ... Projection part, 106b, 106c ... Inclined surface, 110 ... Manufacturing system, 120 ... Sheet glass, 130 ... Etching processing apparatus, 140 ... Chemical strengthening process Tank, 150 ... Strengthening condition determination device, 160 ... Grasping device, 170 ... Memory

Claims (6)

ガラス基板を化学強化処理液に接触させることにより、ガラス基板の中に含まれる一部のイオンを、そのイオンよりも大きなイオン半径である前記化学強化処理液中のイオンとイオン交換することによりガラス基板を化学強化する化学強化工程を含む携帯機器用カバーガラスの製造方法であって、
化学強化工程前のガラス基板の寸法に基づいて、化学強化工程後のガラス基板の寸法が携帯機器用カバーガラスに求められる寸法になる化学強化条件で、前記ガラス基板を化学強化することを特徴とする携帯機器用カバーガラスの製造方法。
By bringing the glass substrate into contact with the chemical strengthening treatment liquid, some ions contained in the glass substrate are ion-exchanged with ions in the chemical strengthening treatment liquid having an ionic radius larger than the ions. A method for manufacturing a cover glass for a portable device including a chemical strengthening step for chemically strengthening a substrate,
Based on the dimensions of the glass substrate before the chemical strengthening step, the glass substrate after the chemical strengthening step is chemically strengthened under the chemical strengthening conditions that are the dimensions required for the cover glass for portable devices. A method for manufacturing a cover glass for portable devices.
前記化学強化条件と、当該化学強化条件で化学強化を行ったガラス基板の寸法の変化量との対応関係を予め把握しておき、化学強化工程前のガラス基板の寸法に基づいて、前記対応関係を参照して、化学強化条件を決定することを特徴とする請求項1記載の携帯機器用カバーガラスの製造方法。   The correspondence relationship between the chemical strengthening condition and the amount of change in the dimension of the glass substrate chemically strengthened under the chemical strengthening condition is grasped in advance, and the correspondence relationship is based on the dimension of the glass substrate before the chemical strengthening step. The method for producing a cover glass for a portable device according to claim 1, wherein the chemical strengthening condition is determined with reference to FIG. 前記化学強化工程の前に、板状ガラスの主表面に形成されたレジストパターンを用いて当該板状ガラスを等方性エッチングすることにより、携帯機器用カバーガラス形状のガラス基板に加工する形状加工工程を含み、
前記化学強化工程では、形状加工工程後のガラス基板の寸法を化学強化工程前のガラス基板の寸法として、形状加工工程後のガラス基板の寸法に基づいて、化学強化条件を決定することを特徴とする請求項1または2に記載の携帯機器用カバーガラスの製造方法。
Prior to the chemical strengthening step, isotropic processing of the sheet glass using a resist pattern formed on the main surface of the sheet glass to form a cover glass-shaped glass substrate for portable devices Including steps,
In the chemical strengthening step, the dimensions of the glass substrate after the shape processing step are taken as the dimensions of the glass substrate before the chemical strengthening step, and the chemical strengthening conditions are determined based on the dimensions of the glass substrate after the shape processing step. The manufacturing method of the cover glass for portable devices of Claim 1 or 2.
前記ガラス基板は、Liイオンを含有するアルミノシリケートガラスであり、
前記化学強化条件とは、化学強化処理液中に含まれるLiイオンの濃度であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の携帯機器用カバーガラスの製造方法。
The glass substrate is an aluminosilicate glass containing Li ions,
The said chemical strengthening conditions are the density | concentrations of Li ion contained in a chemical strengthening process liquid, The manufacturing method of the cover glass for portable devices of any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned.
前記化学強化条件は、ガラス基板を化学強化処理液と接触させる時間であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の携帯機器用カバーガラスの製造方法。   The said chemical strengthening conditions are the time which makes a glass substrate contact with a chemical strengthening process liquid, The manufacturing method of the cover glass for portable devices of any one of Claims 1-4 characterized by the above-mentioned. 前記化学強化条件は、化学強化処理液の温度であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の携帯機器用カバーガラスの製造方法。   The said chemical strengthening condition is the temperature of a chemical strengthening process liquid, The manufacturing method of the cover glass for portable devices of any one of Claims 1-5 characterized by the above-mentioned.
JP2011231002A 2011-10-20 2011-10-20 Method for producing cover glass for portable device Pending JP2013087031A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011231002A JP2013087031A (en) 2011-10-20 2011-10-20 Method for producing cover glass for portable device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011231002A JP2013087031A (en) 2011-10-20 2011-10-20 Method for producing cover glass for portable device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2013087031A true JP2013087031A (en) 2013-05-13

Family

ID=48531306

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011231002A Pending JP2013087031A (en) 2011-10-20 2011-10-20 Method for producing cover glass for portable device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2013087031A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5066626B2 (en) Glass substrate for cover glass for portable device and cover glass for portable device
JP6248145B2 (en) Glass substrate and manufacturing method thereof
JP5819392B2 (en) Cover glass manufacturing method and cover glass
JP5555289B2 (en) Glass substrate for cover glass of portable terminal device
US8840997B2 (en) Cover glass and method for producing same
JP7367691B2 (en) Tempered glass and tempered glass manufacturing method
JP2009227523A (en) Glass substrate and method for producing the same
JP2009208983A (en) Glass base material and its manufacturing method
JP2012250905A (en) Method for producing cover glass for electronic appliance, and holder for glass substrate for cover glass for electronic appliance
JP5183320B2 (en) Manufacturing method of glass substrate of cover glass for portable device
JP5066625B2 (en) Glass substrate for cover glass for portable device and cover glass for portable device
JP5926737B2 (en) Manufacturing method of cover glass for portable device
KR102289741B1 (en) Chemically strengthened anti-glare glass and glass for anti-glare treatment
WO2017221805A1 (en) Reinforced glass production method and reinforced glass production apparatus
JP2013087031A (en) Method for producing cover glass for portable device
JP2014001101A (en) Formation method of cover glass
JP5462224B2 (en) Manufacturing method of glass substrate of cover glass for portable device
JP2013001599A (en) Method for manufacturing cover glass for portable device
JP2013087030A (en) Method for producing cover glass for portable device
JP5351364B2 (en) Cover glass for portable device and manufacturing method thereof
JP2014001100A (en) Cover glass
JP5462223B2 (en) Manufacturing method of glass substrate of cover glass for portable device
JP6279271B2 (en) Manufacturing method of glass substrate of cover glass for electronic device
WO2018097096A1 (en) Reinforced glass plate and method for producing reinforced glass plate