JP2013074226A - Light irradiation module and printer - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light irradiation device which is not easily affected by heat radiated from ultraviolet light emitting elements even when the mounting density of the ultraviolet light emitting elements becomes relatively high and realizes relatively high ultraviolet irradiation energy.SOLUTION: A light irradiation module has: a light irradiation device where light emitting elements are disposed on one main surface of a substrate; and a plate like heat radiation member having a passage, where a coolant for cooling the light irradiation device flows, therein. The heat radiation member has an opening of the passage on a main surface positioned at the light irradiation device, and the substrate of the light irradiation device is disposed so that the opening of the heat radiation member is covered by the other main surface. A distance between the main surface of the heat radiation member and the other main surface of the substrate becomes longer at a center part of the substrate relative to an outer peripheral part of the substrate.

Description

本発明は、紫外線硬化型樹脂や塗料の硬化に使用される光照射モジュールおよび印刷装置に関する。   The present invention relates to a light irradiation module and a printing apparatus used for curing an ultraviolet curable resin or a paint.

従来、紫外線照射装置は、医療やバイオ分野での蛍光反応観察、殺菌用途、電子部品の接着や紫外線硬化型樹脂およびインクの硬化などを目的に広く利用されている。特に電子部品の分野などで小型部品の接着等に使われる紫外線硬化型樹脂の硬化や、印刷の分野で使われる紫外線硬化型インクの硬化などに用いられる紫外線照射装置のランプ光源には高圧水銀ランプやメタルハライドランプなどが使用されている。   2. Description of the Related Art Conventionally, ultraviolet irradiation apparatuses are widely used for the purpose of fluorescence reaction observation in medical and bio fields, sterilization applications, adhesion of electronic components, curing of ultraviolet curable resins and inks, and the like. A high-pressure mercury lamp is used as a lamp light source for UV irradiation devices used for curing UV curable resins used for bonding small parts in the field of electronic components, etc., and UV curable ink used for printing. And metal halide lamps are used.

近年、世界規模で地球環境負荷の軽減が切望されていることから、比較的長寿命、省エネルギーおよびオゾン発生を抑制することができる紫外線発光素子をランプ光源に採用する動きが活発になってきている。   In recent years, there has been a strong desire to reduce the global environmental load on a global scale, and there has been an active movement to adopt an ultraviolet light emitting element as a lamp light source capable of suppressing the generation of ozone with a relatively long life, energy saving. .

ところが、紫外線発光素子の照度は比較的低いため、例えば特許文献1に記載されているように、複数の発光素子を一つの基板に搭載したデバイスを用意し、複数のデバイスを支持体に搭載した構成のモジュールが一般的に使用され、紫外線硬化型インクの効果に必要な紫外線照射エネルギーを確保している。   However, since the illuminance of the ultraviolet light emitting element is relatively low, for example, as described in Patent Document 1, a device in which a plurality of light emitting elements are mounted on one substrate is prepared, and the plurality of devices are mounted on a support. The module of the structure is generally used, and the ultraviolet irradiation energy necessary for the effect of the ultraviolet curable ink is secured.

しかしながら、紫外線照射エネルギーの改善要求は次第に高くなっており、紫外線発光素子の搭載密度を高くすることが試みられているが、紫外線発光素子からの発熱は比較的少ないとはいえ、紫外線発光素子の搭載密度を高くしたデバイスでは放熱が十分に行なえず、紫外線照射エネルギーの改善の妨げになっているという問題があった。   However, there is an increasing demand for improvement in ultraviolet irradiation energy, and attempts have been made to increase the mounting density of the ultraviolet light emitting elements. However, although the heat generation from the ultraviolet light emitting elements is relatively small, A device with a higher mounting density has a problem that heat radiation cannot be sufficiently performed, which hinders improvement of ultraviolet irradiation energy.

特開2008−244165号公報JP 2008-244165 A

本願発明は、上記問題に鑑みなされたものであり、紫外線発光素子の搭載密度を比較的高くしても、紫外線発光素子から発する熱を効率よく放熱することにより、比較的高い紫外線照射エネルギーを実現する光照射デバイス、モジュールおよび印刷装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and realizes relatively high UV irradiation energy by efficiently dissipating the heat generated from the UV light emitting elements even if the mounting density of the UV light emitting elements is relatively high. An object of the present invention is to provide a light irradiation device, a module, and a printing apparatus.

本発明に係る光照射モジュールは、発光素子を基板の一方主面に配置した光照射デバイスと、該光照射デバイスを冷却するための冷媒が流動可能な流路を内部に有する平板状の放熱用部材とを有しており、該放熱用部材は、前記光照射デバイス側に位置する主面に前記流路の開口を有し、前記光照射デバイスの前記基板は、前記放熱用部材の前記開口を他方主面で覆うように配置され、前記放熱用部材の前記主面と前記基板の他方主面との距離は、前記基板の外縁部よりも中央部で長くなっていることを特徴とする。   A light irradiation module according to the present invention has a light irradiation device in which a light emitting element is disposed on one main surface of a substrate, and a flat plate-shaped heat dissipation device having a flow path through which a coolant for cooling the light irradiation device can flow. The heat radiation member has an opening of the flow path on a main surface located on the light irradiation device side, and the substrate of the light irradiation device has the opening of the heat radiation member. The distance between the main surface of the heat dissipating member and the other main surface of the substrate is longer at the center than the outer edge portion of the substrate. .

また、前記開口は、前記流路の供給側に位置する第1開口と、前記流路の排出側に位置する第2開口とを有することを特徴とする。   The opening has a first opening located on the supply side of the flow path and a second opening located on the discharge side of the flow path.

さらに、前記第2開口は、前記第1開口よりも前記基板の中心に対応する位置からの距離が短い位置に配置されていることを特徴とする。   Further, the second opening is arranged at a position where the distance from the position corresponding to the center of the substrate is shorter than that of the first opening.

また、前記第2開口を囲むように前記第1開口が配置されていることを特徴とする。   Further, the first opening is disposed so as to surround the second opening.

さらに、記録媒体に対して印刷を行なう印刷手段と、印刷された前記記録媒体に対して光を照射する上述の光照射モジュールとを有することを特徴とする印刷装置を併せて提供する。   Furthermore, the present invention also provides a printing apparatus comprising printing means for printing on a recording medium, and the above-described light irradiation module for irradiating the printed recording medium with light.

本発明の光照射モジュールによれば、発光素子を基板の一方主面に配置した光照射デバイスと、該光照射デバイスを冷却するための冷媒が流動可能な流路を内部に有する平板状の放熱用部材とを有しており、該放熱用部材は、前記光照射デバイス側に位置する主面に前記流路の開口を有し、前記光照射デバイスの前記基板は、前記放熱用部材の前記開口を他方主面で覆うように配置され、前記放熱用部材の前記主面と前記基板の他方主面との距離は、前記基板の外縁部よりも中央部で長くなっている。このため、前記発光素子の発する熱により比較的温度の高くなる前記基板の中央部に、比較的多くの前記冷媒を直接的に供給することが可能となり、前記基板の放熱性が高く維持されるとともに、前記基板の温度分布のばらつきが比較的小さく維持される。   According to the light irradiation module of the present invention, a flat plate heat dissipation device having a light irradiation device in which a light emitting element is disposed on one main surface of a substrate and a flow path through which a coolant for cooling the light irradiation device can flow. And the heat radiation member has an opening of the flow path on a main surface located on the light irradiation device side, and the substrate of the light irradiation device is formed of the heat radiation member. It arrange | positions so that opening may be covered with the other main surface, and the distance of the said main surface of the said heat radiating member and the other main surface of the said board | substrate is long in the center part rather than the outer edge part of the said board | substrate. For this reason, it becomes possible to supply a relatively large amount of the refrigerant directly to the central portion of the substrate, which is relatively high in temperature due to the heat generated by the light emitting element, and the heat dissipation of the substrate is maintained high. At the same time, variations in the temperature distribution of the substrate are kept relatively small.

よって、本実施形態の光照射デバイスによれば、紫外線発光素子の搭載密度を比較的高くしたとしても、紫外線発光素子自身の発する熱の影響を受けがたく、比較的高い紫外線照射エネルギーを実現する光照射デバイスが実現される。   Therefore, according to the light irradiation device of the present embodiment, even if the mounting density of the ultraviolet light emitting elements is relatively high, it is hardly affected by the heat generated by the ultraviolet light emitting elements themselves and realizes a relatively high ultraviolet irradiation energy. A light irradiation device is realized.

図1は、本発明の一実施形態に係る光照射モジュールの底面図である。FIG. 1 is a bottom view of a light irradiation module according to an embodiment of the present invention. 図2は、図1に示した光照射モジュールの1I−1I線に沿った断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line 1I-1I of the light irradiation module shown in FIG. 図3は、図1に示した光照射モジュールの1II−1II線に沿った断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the light irradiation module shown in FIG. 1 taken along line 1II-1II. 図4は、図2に示した光照射モジュールを用いた印刷装置の上面図である。4 is a top view of a printing apparatus using the light irradiation module shown in FIG. 図5は、図4に示した印刷装置の側面図である。FIG. 5 is a side view of the printing apparatus shown in FIG. 図6は、図1に示す光照射デバイスの第1変形例を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a first modification of the light irradiation device shown in FIG. 図7は、図1に示す光照射デバイスの第2変形例を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing a second modification of the light irradiation device shown in FIG. 図8は、図1に示す光照射デバイスの第3変形例を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing a third modification of the light irradiation device shown in FIG. 図9(a)は、図8に示す光照射デバイスを構成する放熱用部材の一例を示す平面図である。図9(b)は、図8に示す光照射デバイスを構成する放熱用部材のその他の例を示す平面図である。Fig.9 (a) is a top view which shows an example of the member for thermal radiation which comprises the light irradiation device shown in FIG. FIG.9 (b) is a top view which shows the other example of the member for thermal radiation which comprises the light irradiation device shown in FIG.

以下、本発明の光照射モジュールおよび印刷装置について、図面を参照しつつ説明する。   Hereinafter, the light irradiation module and the printing apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1や図2に示す光照射モジュール1は、紫外線硬化型インクを使用するオフセット印刷装置やインクジェット印刷装置等の印刷装置に組み込まれ、対象物(記録媒体)に紫外線硬化型インクを被着した後に紫外線を照射することで紫外線硬化型インクを硬化させる紫外線照射モジュールの紫外線発生光源として機能する。   The light irradiation module 1 shown in FIGS. 1 and 2 is incorporated in a printing apparatus such as an offset printing apparatus or an inkjet printing apparatus that uses ultraviolet curable ink, and the object (recording medium) is coated with the ultraviolet curable ink. It functions as an ultraviolet light generation light source of an ultraviolet irradiation module that cures the ultraviolet curable ink by irradiating ultraviolet rays later.

光照射モジュール1は、光照射デバイス2と、該光照射デバイス2を冷却するための冷媒が流動可能な流路110を内部に有する平板状の放熱用部材100とを有している。   The light irradiation module 1 includes a light irradiation device 2 and a flat plate-like heat radiating member 100 having therein a flow path 110 through which a coolant for cooling the light irradiation device 2 can flow.

まず、光照射デバイス2について説明する。   First, the light irradiation device 2 will be described.

(光照射デバイス)
図2や図3に示すように、光照射デバイス2は、一方主面11aに複数の開口部12を有する基板10と、各開口部12内に設けられた複数の接続パッド13と、基板10の各開口部12内に配置され、接続パッド13に電気的に接続された複数の発光素子20と、各開口部12内に充填され、発光素子20を被覆する複数の封止材30とを備えている。
(Light irradiation device)
As shown in FIGS. 2 and 3, the light irradiation device 2 includes a substrate 10 having a plurality of openings 12 on one main surface 11 a, a plurality of connection pads 13 provided in each opening 12, and the substrate 10. A plurality of light emitting elements 20 disposed in each opening 12 and electrically connected to the connection pad 13, and a plurality of sealing materials 30 filled in each opening 12 and covering the light emitting element 20. I have.

基板10は、第1の絶縁層41および第2の絶縁層42が積層されてなる積層体40と、発光素子20同士を接続する電気配線60と、を備え、一方主面11a側から平面視して略矩形状を成しており、該一方主面11aに設けられた開口部12内で発光素子20を支持している。   The substrate 10 includes a stacked body 40 in which a first insulating layer 41 and a second insulating layer 42 are stacked, and an electrical wiring 60 that connects the light emitting elements 20 to each other, and is viewed from the main surface 11a side in plan view. Thus, the light emitting element 20 is supported in the opening 12 provided on the one main surface 11a.

第1の絶縁層41は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、およびガラスセラミックスなどのセラミックス、ならびにエポキシ樹脂、および液晶ポリマー(LCP)などの樹脂、などによって形成される。   The first insulating layer 41 includes, for example, an aluminum oxide sintered body, an aluminum nitride sintered body, a mullite sintered body, ceramics such as glass ceramics, and resins such as epoxy resins and liquid crystal polymers (LCP). , Etc.

そして、基板10の他方主面11bは、基板10の外縁部よりも中央部が基板10の一方主面11a側に位置するように凹部11cを有している。   The other main surface 11 b of the substrate 10 has a recess 11 c so that the center portion is located closer to the one main surface 11 a side of the substrate 10 than the outer edge portion of the substrate 10.

次に、電気配線60は、例えば、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、マンガン(Mn)、銅(Cu)等の導電性材料により所定のパターンに形成されており、発光素子20への電流または発光素子20からの電流を供給するための給電配線として機能する。   Next, the electrical wiring 60 is formed in a predetermined pattern using a conductive material such as tungsten (W), molybdenum (Mo), manganese (Mn), copper (Cu), and the like. Alternatively, it functions as a power supply wiring for supplying a current from the light emitting element 20.

次に、第1の絶縁層41上に積層された第2の絶縁層42には、該第2の絶縁層42を貫通する開口部12が形成されている。   Next, in the second insulating layer 42 laminated on the first insulating layer 41, the opening 12 that penetrates the second insulating layer 42 is formed.

開口部12は、各々の形状が発光素子20の載置面よりも基板10の一方主面11a側で開口面積が広くなるように、その内周面14が傾斜しており、平面視すると、例えば、略円形の形状を成している。なお、開口形状は円形に限られるものではなく、略矩形の形状でもよい。   The opening 12 has an inner peripheral surface 14 inclined so that each opening has a larger opening area on the one main surface 11a side of the substrate 10 than the mounting surface of the light emitting element 20, and when viewed in plan, For example, it has a substantially circular shape. The opening shape is not limited to a circular shape, and may be a substantially rectangular shape.

このような開口部12は、その内周面14で発光素子20の発する光を上方に反射し、光の取り出し効率を向上させる機能を有する。   Such an opening 12 has a function of reflecting light emitted from the light emitting element 20 upward on the inner peripheral surface 14 to improve light extraction efficiency.

光の取り出し効率を向上させるため、第2の絶縁層42の材料として、紫外線領域の光に対して、比較的良好な反射性を有する多孔質のセラミック材料、例えば酸化アルミニウム質焼結体、酸化ジルコニウム質焼結体、および窒化アルミニウム質焼結体により形成することが好ましい。また、光の取り出し効率を向上させるという観点では、開口部12の内周面14に金属製の反射膜を設けてもよい。   In order to improve the light extraction efficiency, the material of the second insulating layer 42 is a porous ceramic material having a relatively good reflectivity with respect to light in the ultraviolet region, such as an aluminum oxide sintered body, an oxide It is preferable to form with a zirconium sintered body and an aluminum nitride sintered body. Further, from the viewpoint of improving the light extraction efficiency, a metal reflection film may be provided on the inner peripheral surface 14 of the opening 12.

このような開口部12は、基板10の一方主面11aの全体に渡って縦横の並びに配列されている。例えば、本実施形態では千鳥格子状に配列されている。千鳥格子状に配列することによって発光素子20をより高密度に配置することが可能となり、単位面積当たりの照度を比較的高くすることが可能となる。ここで、千鳥格子状に配列するとは、斜め格子の格子点に配置することと同義である。   Such openings 12 are arranged vertically and horizontally over the entire main surface 11 a of the substrate 10. For example, in this embodiment, they are arranged in a staggered pattern. By arranging in a staggered pattern, the light emitting elements 20 can be arranged with higher density, and the illuminance per unit area can be made relatively high. Here, to arrange in a zigzag pattern is synonymous with arranging at the grid points of the diagonal grid.

本実施形態の光照射デバイス2では、開口部12の配列形状を千鳥格子状としたが、正格子状としてもよく、要求される照度を満足すればどのように配列しても良い。   In the light irradiation device 2 of this embodiment, the arrangement shape of the openings 12 is a staggered lattice shape, but it may be a regular lattice shape, and may be arranged in any manner as long as the required illuminance is satisfied.

なお、当然のことながら本実施形態の複数の発光素子20の光出力は略同じ値のものである。例えば、本実施形態の複数の発光素子20の全体としての光出力のばらつきは10%以内である。   Of course, the light outputs of the plurality of light emitting elements 20 of the present embodiment have substantially the same value. For example, the variation of the light output as a whole of the plurality of light emitting elements 20 of the present embodiment is within 10%.

以上のような、第1の絶縁層41および第2の絶縁層42からなる積層体40を備えた基板10は、第1の絶縁層41や第2の絶縁層42がセラミックスなどから成る場合、次のような工程を経て製造される。まず、従来周知の方法により製作された複数のセラミックグリーンシートを準備する。開口部12に相当するセラミックグリーンシートには開口部に対応する穴をパンチング等の方法により形成する。次に、電気配線60となる金属ペーストをグリーンシート上に印刷(不図示)した上で、該印刷された金属ペーストがグリーンシートの間に位置するようにグリーンシートを積層する。この電気配線60となる金属ペーストとしては、例えばタングステン(W)、モリブデン(Mo)、マンガン(Mn)、および銅(Cu)などの金属を含有させたものが挙げられる。次に、上記積層体を焼成することにより、グリーンシートおよび金属ペーストを併せて焼成することによって、電気配線60および開口部12を有する基板10を形成することができる。凹部11cは、焼成前にグリーンシートの第1の絶縁層41の他方主面11bとなる面にプレス機などにより形成しても良いし、焼成時に他方主面11bに凸状の重しを載せることにより形成しても良いし、焼成後に他方主面11bを研削することにより形成しても良い。   When the substrate 10 including the laminate 40 including the first insulating layer 41 and the second insulating layer 42 as described above is used, when the first insulating layer 41 and the second insulating layer 42 are made of ceramics or the like, It is manufactured through the following steps. First, a plurality of ceramic green sheets manufactured by a conventionally known method is prepared. A hole corresponding to the opening is formed in the ceramic green sheet corresponding to the opening 12 by a method such as punching. Next, after printing (not shown) a metal paste to be the electric wiring 60 on the green sheet, the green sheet is laminated so that the printed metal paste is positioned between the green sheets. Examples of the metal paste used for the electric wiring 60 include a paste containing a metal such as tungsten (W), molybdenum (Mo), manganese (Mn), and copper (Cu). Next, by firing the laminate, the substrate 10 having the electrical wiring 60 and the opening 12 can be formed by firing the green sheet and the metal paste together. The concave portion 11c may be formed by a press or the like on the surface that becomes the other main surface 11b of the first insulating layer 41 of the green sheet before firing, or a convex weight is placed on the other main surface 11b during firing. It may be formed by grinding, or may be formed by grinding the other main surface 11b after firing.

また、第1の絶縁層41や第2の絶縁層42が樹脂から成る場合、基板10の製造方法は、例えば、次のような方法が考えられる。まず、熱硬化型樹脂の前駆体シートを準備する。次に、電気配線60となる金属材料からなるリード端子を前駆体シート間に配置させ、かつリード端子を前駆体シートに埋設させるように複数の前駆体シートを積層する。このリード端子の形成材料としては、例えばCu、Ag、Al、鉄(Fe)−ニッケル(Ni)−コバルト(Co)合金、およびFe−Ni合金などの金属材料が挙げられる。そして、前駆体シートに開口部12に対応する穴や凹部11cに対応する凹みをレーザー加工やエッチング等の方法により形成した後、これを熱硬化させることにより、基板10が完成する。なお、レーザー加工により穴や凹みを形成する場合には、前駆体シートを熱硬化させた後でも良い。   Moreover, when the 1st insulating layer 41 and the 2nd insulating layer 42 consist of resin, the following methods can be considered as the manufacturing method of the board | substrate 10, for example. First, a precursor sheet of a thermosetting resin is prepared. Next, a plurality of precursor sheets are laminated so that lead terminals made of a metal material to be the electrical wiring 60 are disposed between the precursor sheets and the lead terminals are embedded in the precursor sheets. Examples of the material for forming the lead terminal include metal materials such as Cu, Ag, Al, iron (Fe) -nickel (Ni) -cobalt (Co) alloy, and Fe-Ni alloy. And after forming the hole corresponding to the opening part 12 in the precursor sheet | seat, and the dent corresponding to the recessed part 11c by methods, such as a laser processing and an etching, the board | substrate 10 is completed by thermosetting this. In addition, when forming a hole and a dent by laser processing, it may be after thermosetting the precursor sheet.

一方、基板10の開口部12内には、発光素子20に電気的に接続された接続パッド13と、該接続パッド13に半田、金(Au)線、アルミ(Al)線等の接合材15により接続された発光素子20と、発光素子20を封止する封止材30とが設けられている。   On the other hand, in the opening 12 of the substrate 10, a connection pad 13 electrically connected to the light emitting element 20 and a bonding material 15 such as solder, gold (Au) wire, aluminum (Al) wire, etc. are connected to the connection pad 13. And the sealing material 30 for sealing the light emitting element 20 are provided.

接続パッド13は、例えば、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、マンガン(Mn)、および銅(Cu)などの金属材料から成る金属層により形成されている。なお、必要に応じて、金属層上に、ニッケル(Ni)層、パラジウム(Pd)層、および金(Au)層などを更に積層しても良い。かかる接続パッド13は、半田、金(Au)線、アルミ(Al)線等の接合材15により発光素子20に接続される。   The connection pad 13 is formed of a metal layer made of a metal material such as tungsten (W), molybdenum (Mo), manganese (Mn), and copper (Cu). If necessary, a nickel (Ni) layer, a palladium (Pd) layer, a gold (Au) layer, or the like may be further laminated on the metal layer. The connection pad 13 is connected to the light emitting element 20 by a bonding material 15 such as solder, gold (Au) wire, or aluminum (Al) wire.

また、発光素子20は、例えば、GaAsやGaN等の半導体材料からなるp型半導体層およびn型半導体層等をサファイア基板等の素子基板21上に積層してなる発光ダイオードや、半導体層が有機材料からなる有機EL素子等により構成されている。   The light-emitting element 20 includes, for example, a light-emitting diode in which a p-type semiconductor layer and an n-type semiconductor layer made of a semiconductor material such as GaAs or GaN are stacked on an element substrate 21 such as a sapphire substrate, or a semiconductor layer is organic. An organic EL element made of a material is used.

この発光素子20は、発光層を有する半導体層22と、基板10上に配置された接続パッド13に半田、金(Au)線、アルミ(Al)線等の接合材15を介して接続されたAg等の金属材料から成る第1素子電極23、24とを備えており、基板10に対してワイヤボンディング接続されている。そして、発光素子20は、素子電極23、24間に流れる電流に応じて所定の波長をもった光を所定の輝度で発し、その光を素子基板21を介し
て、または直接外部へ出射する。なお、素子基板21は、省略することが可能なのは周知の通りである。また、発光素子20の素子電極23、24と接続パッド13との接続は、接合材15に半田等を使用して、従来周知のフリップリップ接続技術により行なってもよい。
The light emitting element 20 is connected to a semiconductor layer 22 having a light emitting layer and a connection pad 13 disposed on the substrate 10 through a bonding material 15 such as solder, gold (Au) wire, aluminum (Al) wire, or the like. First element electrodes 23 and 24 made of a metal material such as Ag are provided, and are connected to the substrate 10 by wire bonding. The light emitting element 20 emits light having a predetermined wavelength according to the current flowing between the element electrodes 23 and 24 with predetermined luminance, and emits the light to the outside through the element substrate 21 or directly. As is well known, the element substrate 21 can be omitted. Further, the connection between the element electrodes 23 and 24 of the light emitting element 20 and the connection pad 13 may be performed by a conventionally known flip lip connection technique using solder or the like as the bonding material 15.

本実施形態では、発光素子20が発する光の波長のスペクトルのピークが、例えば250〜395〔nm〕以下のUV光を発するLEDを採用している。つまり、本実施形態では、発光素子20としてUV−LED素子を採用している。なお、発光素子20は、従来周知の薄膜形成技術により形成される。   In the present embodiment, an LED that emits UV light having a wavelength spectrum peak of 250 to 395 [nm] or less is employed. That is, in this embodiment, a UV-LED element is employed as the light emitting element 20. The light emitting element 20 is formed by a conventionally known thin film forming technique.

そして、かかる発光素子20は、上述した封止材30によって封止されている。   And this light emitting element 20 is sealed with the sealing material 30 mentioned above.

封止材30は、光透過性の樹脂材料等の絶縁材料より形成されており、発光素子20を良好に封止することにより、外部からの水分の浸入を防止したり、あるいは、外部からの衝撃を吸収し、発光素子20を保護する。   The sealing material 30 is formed of an insulating material such as a light-transmitting resin material, and prevents the entry of moisture from the outside by sealing the light emitting element 20 well, or from the outside. The impact is absorbed and the light emitting element 20 is protected.

また、封止材30は、発光素子20を構成する第1素子基板31aの屈折率(サファイアの場合:1.7)と空気の屈折率(約1.0)の間の屈折率を有する材料、例えばシリコーン樹脂(屈折率:約1.4)等より形成されることで、発光素子20の光の取り出し効率を向上させることができる。   The sealing material 30 is a material having a refractive index between the refractive index of the first element substrate 31a constituting the light emitting element 20 (1.7 for sapphire) and the refractive index of air (about 1.0). For example, the light extraction efficiency of the light emitting element 20 can be improved by being formed of, for example, a silicone resin (refractive index: about 1.4).

かかる封止材30は、発光素子20を基板10上に実装した後、シリコーン樹脂等の前駆体を開口部12に充填し、これを硬化させることで形成される。   The sealing material 30 is formed by mounting the light emitting element 20 on the substrate 10, filling a precursor such as a silicone resin into the opening 12, and curing it.

(光照射モジュールの実施形態)
図2に示す光照射モジュール1は、放熱用部材100と、該放熱用部材100に配置された光照射デバイス2とを備えており、光照射デバイス2はシリコーン樹脂やエポキシ樹脂などの接着材120を介して放熱用部材100の主面に配置されている。
(Embodiment of light irradiation module)
The light irradiation module 1 shown in FIG. 2 includes a heat radiating member 100 and a light irradiating device 2 disposed on the heat radiating member 100. The light irradiating device 2 is an adhesive 120 such as silicone resin or epoxy resin. Is disposed on the main surface of the heat dissipation member 100.

放熱用部材100は、光照射デバイス2の支持体として、また光照射デバイス2が発する熱を外部へ放熱する放熱体として機能する。この放熱用部材100の形成材料としては、熱伝導率の大きい材料が好ましく、例えば種々の金属材料、セラミックス、樹脂材料が挙げられる。本実施形態の放熱用部材100は、銅によって形成されている。   The heat dissipation member 100 functions as a support for the light irradiation device 2 and as a heat dissipation body for radiating heat generated by the light irradiation device 2 to the outside. As a material for forming the heat radiating member 100, a material having a high thermal conductivity is preferable. Examples thereof include various metal materials, ceramics, and resin materials. The heat dissipation member 100 of this embodiment is formed of copper.

放熱用部材100の内部には、光照射デバイス2を冷却するための冷媒が流動可能な流路110が形成されており、光照射デバイス2側に位置する主面100aに流路110の開口110aを有している。そして、開口110aを光照射デバイス2の基板10の他方主面11bで覆うように配置されている。   A flow path 110 through which a coolant for cooling the light irradiation device 2 can flow is formed inside the heat radiation member 100, and an opening 110a of the flow path 110 is formed on the main surface 100a located on the light irradiation device 2 side. have. And it arrange | positions so that the opening 110a may be covered with the other main surface 11b of the board | substrate 10 of the light irradiation device 2. FIG.

このように、開口110aを光照射デバイス2の基板10の他方主面11bで覆うように配置することで、放熱用部材100の内部に形成した流路110を流れる冷媒は、直接的に光照射デバイス2に接触することになり比較的光照射デバイス2の熱を効率よく放熱することができる。また、基板10の他方主面11bに凹部11cを有していることから、複数の発光素子20の発する熱により比較的温度の高くなる光照射デバイス2の中央部分に供給する冷媒量を比較的多くできることから、光照射デバイス2の面内の温度ばらつきを比較的小さくすることができる。   Thus, by arranging the opening 110a so as to be covered with the other main surface 11b of the substrate 10 of the light irradiation device 2, the refrigerant flowing through the flow path 110 formed inside the heat radiation member 100 is directly irradiated with light. It comes into contact with the device 2, and the heat of the light irradiation device 2 can be radiated relatively efficiently. Moreover, since the other main surface 11b of the substrate 10 has the recess 11c, the amount of refrigerant supplied to the central portion of the light irradiation device 2 that is relatively high in temperature due to the heat generated by the plurality of light emitting elements 20 is relatively small. Since it can be increased, the in-plane temperature variation of the light irradiation device 2 can be made relatively small.

さらに、光照射モジュール1を光照射デバイス2における発光素子20が配置される基板10の一方主面11aを重力場の向かう方向に向けて設置すれば、光照射デバイス2の比較的温度の高くなる中央部分では、冷媒が光照射デバイス2の他方主面11b側から放
熱用部材100の主面100a側に向かう方向に流動し、光照射デバイス2の外縁部では、冷媒が放熱用部材100の主面100a側から光照射デバイス2の他方主面11b側に向かう方向に流動するといった熱対流が発生し、比較的効率のよい冷媒の入れ替えが行なわれることにより、さらに放熱性を高く維持することが可能となり、光照射デバイス2の面内の温度ばらつきを比較的小さくすることができる。
Furthermore, if the light irradiation module 1 is installed with the one main surface 11a of the substrate 10 on which the light emitting element 20 in the light irradiation device 2 is arranged facing the direction of the gravitational field, the temperature of the light irradiation device 2 becomes relatively high. In the central portion, the refrigerant flows in a direction from the other main surface 11 b side of the light irradiation device 2 toward the main surface 100 a side of the heat radiation member 100, and at the outer edge portion of the light irradiation device 2, the refrigerant is the main heat radiation member 100. Thermal convection that flows in the direction from the surface 100a side toward the other main surface 11b side of the light irradiation device 2 is generated, and a relatively efficient refrigerant replacement is performed, so that heat dissipation can be further maintained high. It becomes possible, and the temperature variation in the surface of the light irradiation device 2 can be made relatively small.

よって、本実施形態の光照射デバイス2によれば、紫外線発光素子の搭載密度を比較的高くしたとしても、紫外線発光素子自身の発する熱の影響を受けがたく、比較的高い紫外線照射エネルギーを実現する光照射デバイスが実現される。   Therefore, according to the light irradiation device 2 of the present embodiment, even if the mounting density of the ultraviolet light emitting elements is relatively high, it is hardly affected by the heat generated by the ultraviolet light emitting elements themselves and realizes a relatively high ultraviolet irradiation energy. A light irradiation device is realized.

(印刷装置の実施形態)
本発明の印刷装置の実施形態として、図4および図5に示した印刷装置200を例に挙げて説明する。この印刷装置200は、記録媒体250を搬送するための搬送機構210と、搬送された記録媒体250に印刷を行なうための印刷機構としてのインクジェットヘッド220と、印刷後の記録媒体250に対して紫外光を照射する、上述した光照射モジュール1と、該光照射モジュール1の発光を制御する制御機構230と、を備えている。ここで、記録媒体250は、上述の対象物に相当する。
(Embodiment of printing apparatus)
As an embodiment of the printing apparatus of the present invention, the printing apparatus 200 shown in FIGS. 4 and 5 will be described as an example. The printing apparatus 200 includes a transport mechanism 210 for transporting the recording medium 250, an inkjet head 220 as a printing mechanism for printing on the transported recording medium 250, and an ultraviolet for the recording medium 250 after printing. The light irradiation module 1 which irradiates light and the control mechanism 230 which controls light emission of the light irradiation module 1 are provided. Here, the recording medium 250 corresponds to the above-described object.

搬送機構210は、記録媒体250をインクジェットヘッド220、光照射モジュール1の順に通過するように搬送するためのものであり、載置台211と、互いに対向配置され、回転可能に支持された一対の搬送ローラ212とを含んで構成されている。この載置台211によって支持された記録媒体250を一対の搬送ローラ212の間に送り込み、該搬送ローラ212を回転させることにより、記録媒体250を搬送方向へ送り出すためのものである。   The transport mechanism 210 is for transporting the recording medium 250 so as to pass through the inkjet head 220 and the light irradiation module 1 in this order. The transport mechanism 210 and the mounting table 211 are arranged to face each other and are rotatably supported. And a roller 212. The recording medium 250 supported by the mounting table 211 is sent between the pair of transport rollers 212, and the transport roller 212 is rotated to send the recording medium 250 in the transport direction.

インクジェットヘッド220は、搬送機構210を介して搬送される記録媒体250に対して、感光性材料を付着させる機能を有している。このインクジェットヘッド220は、この感光性材料を含む液滴を記録媒体250に向けて吐出し、記録媒体250に被着させるように構成されている。本実施形態では、感光性材料として紫外線硬化型インクを採用している。この感光性材料としては、紫外線硬化型インクの他に、例えば感光性レジスト、光硬化型樹脂などが挙げられる。   The inkjet head 220 has a function of attaching a photosensitive material to the recording medium 250 conveyed via the conveyance mechanism 210. The ink-jet head 220 is configured to eject droplets containing the photosensitive material toward the recording medium 250 and adhere to the recording medium 250. In the present embodiment, ultraviolet curable ink is employed as the photosensitive material. Examples of the photosensitive material include a photosensitive resist and a photocurable resin in addition to the ultraviolet curable ink.

本実施形態では、インクジェットヘッド220としてライン型のインクジェットヘッドを採用している。このインクジェットヘッド220は、ライン状に配列された複数の吐出孔220aを有しており、この吐出孔220aから紫外線硬化型インクを吐出するように構成されている。インクジェットヘッド220は、吐出孔220aの配列に対して直交する方向に搬送される記録媒体250に対して、吐出孔220aよりインクを吐出させ、記録媒体にインクを被着させることにより、記録媒体に対して印刷を行なう。   In the present embodiment, a line-type inkjet head is adopted as the inkjet head 220. The inkjet head 220 has a plurality of ejection holes 220a arranged in a line, and is configured to eject ultraviolet curable ink from the ejection holes 220a. The inkjet head 220 ejects ink from the ejection holes 220a to the recording medium 250 transported in a direction orthogonal to the arrangement of the ejection holes 220a, and deposits the ink on the recording medium, thereby causing the recording medium to adhere to the recording medium. Printing is performed.

なお、本実施形態では、印刷機構として、ライン型のインクジェットヘッドを例に挙げたが、これに限られるものではなく、例えば、シリアル型のインクジェットヘッドを採用していてもよいし、ライン型又はシリアル型の噴霧ヘッドを採用してもよい。さらに、印刷機構として、記録媒体250の静電気を蓄え、かかる静電気で感光性材料を付着させる静電式ヘッドを採用してもよいし、記録媒体250を液状の感光性材料に浸して、かかる感光性材料を付着させる浸液装置を採用してもよい。さらに、印刷機構として刷毛、ブラシ、およびローラを採用してもよい。   In the present embodiment, a line-type inkjet head has been described as an example of the printing mechanism, but the present invention is not limited to this. For example, a serial-type inkjet head may be employed, A serial type spray head may be employed. Further, as the printing mechanism, an electrostatic head that accumulates static electricity of the recording medium 250 and attaches the photosensitive material with the static electricity may be employed, or the recording medium 250 is immersed in a liquid photosensitive material and the photosensitive medium is used. An immersion apparatus for attaching a conductive material may be employed. Further, a brush, a brush, and a roller may be employed as the printing mechanism.

印刷装置200において光照射モジュール1は、搬送機構210を介して搬送される記録媒体250に付着した感光性材料を感光させる機能を担っている。この光照射モジュール1は、インクジェットヘッド220に対して搬送方向の下流側に設けられている。また
、印刷装置200において発光素子20および第2発光素子30bは、記録媒体250に付着した感光性材料を露光する機能を担っている。
In the printing apparatus 200, the light irradiation module 1 has a function of exposing the photosensitive material attached to the recording medium 250 conveyed via the conveyance mechanism 210. The light irradiation module 1 is provided on the downstream side in the transport direction with respect to the inkjet head 220. In the printing apparatus 200, the light emitting element 20 and the second light emitting element 30b have a function of exposing the photosensitive material attached to the recording medium 250.

制御機構230は、光照射モジュール1の発光を制御する機能を担っている。この制御機構230のメモリには、インクジェットヘッド220から吐出されるインク滴を硬化するのが比較的良好になるような光の特徴を示す情報が格納されている。この格納情報の具体例を挙げると、吐出するインク滴を硬化するのに適した波長分布特性、および発光強度(各波長域の発光強度)を表す数値が挙げられる。本実施形態の印刷装置200では、この制御機構230を有することによって、制御機構230の格納情報に基づいて、複数の発光素子20に入力する駆動電流の大きさを調整することもできる。このことから、印刷装置200によれば、使用するインクの特性に応じた適正な紫外線照射エネルギーで光を照射することができ、比較的低エネルギーの光で、インク滴を硬化させることができる。   The control mechanism 230 has a function of controlling light emission of the light irradiation module 1. The memory of the control mechanism 230 stores information indicating light characteristics that make it relatively good to cure the ink droplets ejected from the inkjet head 220. Specific examples of the stored information include wavelength distribution characteristics suitable for curing ejected ink droplets, and numerical values representing emission intensity (emission intensity in each wavelength range). In the printing apparatus 200 of the present embodiment, by including the control mechanism 230, the magnitude of the drive current input to the plurality of light emitting elements 20 can be adjusted based on the stored information of the control mechanism 230. From this, according to the printing apparatus 200, light can be irradiated with an appropriate ultraviolet irradiation energy according to the characteristics of the ink to be used, and the ink droplet can be cured with a relatively low energy light.

この印刷装置200では、搬送機構210が記録媒体250を搬送方向に搬送している。インクジェットヘッド220は、搬送されている記録媒体250に対して紫外線硬化型インクを吐出して、記録媒体250の表面に紫外線硬化型インクを付着させる。このとき、記録媒体250に付着させる紫外線硬化型インクは、全面付着であっても、部分付着であっても、所望パターンでの付着であってもよい。この印刷装置200では、記録媒体250に付着した紫外線硬化型インクに光照射モジュール1の発する紫外線を照射して、紫外線硬化型インクを硬化させている。   In the printing apparatus 200, the transport mechanism 210 transports the recording medium 250 in the transport direction. The inkjet head 220 discharges ultraviolet curable ink to the recording medium 250 being conveyed, and causes the ultraviolet curable ink to adhere to the surface of the recording medium 250. At this time, the ultraviolet curable ink to be attached to the recording medium 250 may be attached to the entire surface, partially attached, or attached in a desired pattern. In the printing apparatus 200, the ultraviolet curable ink attached to the recording medium 250 is irradiated with ultraviolet rays emitted from the light irradiation module 1 to cure the ultraviolet curable ink.

本実施形態の印刷装置200では、光照射モジュール1の有する上述の効果を享受することができる。   In the printing apparatus 200 of the present embodiment, the above-described effects of the light irradiation module 1 can be enjoyed.

以上、本発明の具体的な実施形態を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、発明の要旨から逸脱しない範囲内で種々の変更が可能である。   While specific embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the invention.

例えば、図6に示す第1変形例のように、流路110の供給側に位置する第1開口110bと、排出側に位置する第2開口110cとを備えていてもよい。このように構成することで、供給側に位置する第1開口110bから排出側に位置する第2開口110cへ冷媒が流れることで、より凹部11c内での冷媒の入れ替えが良好に行なわれるので好ましい。   For example, like the 1st modification shown in FIG. 6, you may provide the 1st opening 110b located in the supply side of the flow path 110, and the 2nd opening 110c located in the discharge | emission side. This configuration is preferable because the refrigerant flows from the first opening 110b located on the supply side to the second opening 110c located on the discharge side, so that the refrigerant can be replaced more favorably in the recess 11c. .

また、図7に示す第2変形例のように、流路110の供給側に位置する第1開口110bと、排出側に位置する第2開口110cとを備えており、第2開口110cは第1開口110bよりも基板10の中心に対応する位置からの距離が短い位置に配置されているのが好ましい。第2変形例では第2開口110cは基板10の中心に対応する位置に配置されている。このような構成とすることで、複数の発光素子20の発する熱により、比較的温度の高くなる光照射デバイス2の中央付近で、冷媒が光照射デバイス2の他方主面11b側から放熱用部材100の主面100a側に向かう方向に対流するため、凹部11c内の冷媒の排出効率を高めることができ、凹部11c内での冷媒の入れ替えが良好に行なわれるので好ましい。   Further, as in the second modification shown in FIG. 7, the first opening 110b located on the supply side of the flow path 110 and the second opening 110c located on the discharge side are provided, and the second opening 110c is the second opening 110c. It is preferable that the distance from the position corresponding to the center of the substrate 10 is shorter than the one opening 110b. In the second modification, the second opening 110 c is disposed at a position corresponding to the center of the substrate 10. By adopting such a configuration, the refrigerant is radiated from the side of the other main surface 11b of the light irradiation device 2 near the center of the light irradiation device 2 where the temperature is relatively high due to heat generated by the plurality of light emitting elements 20. Since the convection is performed in the direction toward the main surface 100a side of 100, the discharge efficiency of the refrigerant in the recess 11c can be increased, and the refrigerant can be replaced in the recess 11c, which is preferable.

さらに、図8に示す第3変形例のように、流路110の供給側に位置する第1開口110bと、排出側に位置する第2開口110cとを備えており、第2開口110cを囲むように第1開口110bを配置するのが好ましい。第2開口110cを囲むように第1開口110bを配置するとは、例えば、図9(a)に示すように第2開口110cの外周を取り囲むように一体化された第1開口110bであっても良いし、図9(c)に示すように第2開口100cの外周を複数の第1開口110bで取り囲んでも良い。このような構成とすることで、供給側に位置する第1開口110bから凹部11cに流入した冷媒は、基
板10の外縁部から中央部に向かう流れとなり、基板10の中央部は光照射デバイス2の比較的温度が高くなる位置に対応するため、冷媒が光照射デバイス2の他方主面11b側から放熱用部材100の主面100a側に向かう方向に対流することにより、凹部11c内での冷媒の入れ替えが良好に行なわれるので好ましい。
Further, as in the third modification shown in FIG. 8, the first opening 110b located on the supply side of the flow path 110 and the second opening 110c located on the discharge side are provided, and surround the second opening 110c. Thus, it is preferable to arrange the first opening 110b. Arranging the first opening 110b so as to surround the second opening 110c is, for example, the first opening 110b integrated so as to surround the outer periphery of the second opening 110c as shown in FIG. Alternatively, as shown in FIG. 9C, the outer periphery of the second opening 100c may be surrounded by a plurality of first openings 110b. By setting it as such a structure, the refrigerant | coolant which flowed into the recessed part 11c from the 1st opening 110b located in a supply side turns into a flow which goes to the center part from the outer edge part of the board | substrate 10, and the center part of the board | substrate 10 is the light irradiation device 2. In order to correspond to the position where the temperature is relatively high, the refrigerant convects in the direction from the other main surface 11b side of the light irradiation device 2 to the main surface 100a side of the heat radiation member 100, whereby the refrigerant in the recess 11c. This is preferable because the replacement of the above is performed satisfactorily.

また、本実施形態の光照射モジュール1は、放熱用部材100に一つの光照射デバイス2が配置されていたが、複数の光照射デバイス2を放熱用部材100上に縦横に配列しても良い。   In the light irradiation module 1 of the present embodiment, one light irradiation device 2 is disposed on the heat dissipation member 100, but a plurality of light irradiation devices 2 may be arranged vertically and horizontally on the heat dissipation member 100. .

光照射モジュール1の照度分布を均一にするためには、隣接する光照射デバイス2同士が密接していることが好ましい。   In order to make the illumination distribution of the light irradiation module 1 uniform, it is preferable that the adjacent light irradiation devices 2 are in close contact with each other.

このように放熱用部材100に複数の光照射デバイス2が配列された光照射モジュール1は、比較的幅広の紫外線を記録媒体に照射することができる。   Thus, the light irradiation module 1 in which the plurality of light irradiation devices 2 are arranged on the heat radiation member 100 can irradiate the recording medium with a relatively wide ultraviolet ray.

また、印刷装置200の実施形態は、以上の実施形態に限定されない。例えば、軸支されたローラを回転させ、このローラ表面に沿って記録媒体を搬送する、いわゆるオフセット印刷型のプリンタであってもよく、同様の効果を奏する。   The embodiment of the printing apparatus 200 is not limited to the above embodiment. For example, a so-called offset printing type printer that rotates a shaft-supported roller and conveys a recording medium along the roller surface may exhibit the same effect.

本実施形態では、インクジェットヘッド220を用いた印刷装置200に光照射モジュール1を適用した例を示しているが、この光照射モジュール1は、例えば対象体表面にスピンコートした光硬化樹脂を硬化させる専用装置など、各種類の光硬化樹脂の硬化にも適用することができる。また、光照射モジュール1を、例えば、露光装置における照射光源などに用いてもよい。   In the present embodiment, an example in which the light irradiation module 1 is applied to the printing apparatus 200 using the inkjet head 220 is shown. The light irradiation module 1 cures, for example, a photo-curing resin spin-coated on the surface of the object. It can also be applied to the curing of various types of photo-curing resins such as dedicated devices. Moreover, you may use the light irradiation module 1 for the irradiation light source etc. in an exposure apparatus, for example.

1 光照射モジュール
2 光照射デバイス
10 基板
11a 一方主面
11b 他方主面
11c 凹部
12 開口部
13 接続パッド
14 内周面
15 接合材
20 発光素子
21 素子基板
22 半導体層
23、24 素子電極
30 封止材
40 積層体
41 第1の絶縁層
42 第2の絶縁層
60 電気配線
100 放熱用部材
100a 主面
110 流路
110a 開口
110b 第1開口
110c 第2開口
120 接着剤
200 印刷装置
210 搬送機構
211 載置台
212 搬送ローラ
220 インクジェットヘッド
220a 吐出孔
230 制御機構
250 記録媒体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light irradiation module 2 Light irradiation device 10 Board | substrate 11a One main surface 11b The other main surface 11c Recess 12 Opening part 13 Connection pad 14 Inner peripheral surface 15 Joining material 20 Light emitting element 21 Element substrate 22 Semiconductor layer 23, 24 Element electrode 30 Sealing Material 40 Laminate 41 First Insulating Layer 42 Second Insulating Layer 60 Electrical Wiring 100 Heat Dissipating Member 100a Main Surface 110 Channel 110a Opening 110b First Opening 110c Second Opening 120 Adhesive 200 Printing Device 210 Conveying Mechanism 211 Place 212 Transport roller 220 Inkjet head 220a Discharge hole 230 Control mechanism 250 Recording medium

Claims (5)

発光素子を基板の一方主面に配置した光照射デバイスと、該光照射デバイスを冷却するための冷媒が流動可能な流路を内部に有する平板状の放熱用部材とを有しており、
該放熱用部材は、前記光照射デバイス側に位置する主面に前記流路の開口を有し、
前記光照射デバイスの前記基板は、前記放熱用部材の前記開口を他方主面で覆うように配置され、
前記放熱用部材の前記主面と前記基板の他方主面との距離は、前記基板の外縁部よりも中央部で長くなっていることを特徴とする光照射モジュール。
A light irradiation device having a light emitting element disposed on one main surface of the substrate, and a flat plate-like heat radiating member having a flow path through which a coolant for cooling the light irradiation device can flow,
The heat dissipation member has an opening of the flow path on a main surface located on the light irradiation device side,
The substrate of the light irradiation device is disposed so as to cover the opening of the heat dissipation member with the other main surface,
The light irradiation module, wherein a distance between the main surface of the heat radiating member and the other main surface of the substrate is longer at a central portion than an outer edge portion of the substrate.
前記開口は、前記流路の供給側に位置する第1開口と、前記流路の排出側に位置する第2開口とを有することを特徴とする請求項1に記載の光照射モジュール。   2. The light irradiation module according to claim 1, wherein the opening includes a first opening located on a supply side of the flow path and a second opening located on a discharge side of the flow path. 前記第2開口は、前記第1開口よりも前記基板の中心に対応する位置からの距離が短い位置に配置されていることを特徴とする請求項2に記載の光照射モジュール。   The light irradiation module according to claim 2, wherein the second opening is disposed at a position where a distance from a position corresponding to the center of the substrate is shorter than the first opening. 前記第2開口を囲むように前記第1開口が配置されていることを特徴とする請求項2または3に記載の光照射モジュール。   The light irradiation module according to claim 2, wherein the first opening is disposed so as to surround the second opening. 記録媒体に対して印刷を行なう印刷手段と、
印刷された前記記録媒体に対して光を照射する請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光照射モジュールとを有することを特徴とする印刷装置。
Printing means for printing on a recording medium;
A printing apparatus comprising: the light irradiation module according to claim 1, which irradiates light onto the printed recording medium.
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