JP2013072930A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2013072930A5
JP2013072930A5 JP2011210326A JP2011210326A JP2013072930A5 JP 2013072930 A5 JP2013072930 A5 JP 2013072930A5 JP 2011210326 A JP2011210326 A JP 2011210326A JP 2011210326 A JP2011210326 A JP 2011210326A JP 2013072930 A5 JP2013072930 A5 JP 2013072930A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
electrode
reflective film
gap
facing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011210326A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5874271B2 (ja
JP2013072930A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2011210326A priority Critical patent/JP5874271B2/ja
Priority claimed from JP2011210326A external-priority patent/JP5874271B2/ja
Publication of JP2013072930A publication Critical patent/JP2013072930A/ja
Publication of JP2013072930A5 publication Critical patent/JP2013072930A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5874271B2 publication Critical patent/JP5874271B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2011210326A 2011-09-27 2011-09-27 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 Expired - Fee Related JP5874271B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011210326A JP5874271B2 (ja) 2011-09-27 2011-09-27 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011210326A JP5874271B2 (ja) 2011-09-27 2011-09-27 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013072930A JP2013072930A (ja) 2013-04-22
JP2013072930A5 true JP2013072930A5 (ko) 2014-10-23
JP5874271B2 JP5874271B2 (ja) 2016-03-02

Family

ID=48477501

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011210326A Expired - Fee Related JP5874271B2 (ja) 2011-09-27 2011-09-27 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5874271B2 (ko)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013238755A (ja) 2012-05-16 2013-11-28 Seiko Epson Corp 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法
JP6107186B2 (ja) 2013-02-05 2017-04-05 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ
JP2015066611A (ja) 2013-09-27 2015-04-13 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器
JP6264838B2 (ja) 2013-10-29 2018-01-24 セイコーエプソン株式会社 光学素子
JP6543884B2 (ja) 2014-01-27 2019-07-17 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター制御装置、光学モジュール、電子機器、及びアクチュエーター制御方法
JP6413325B2 (ja) 2014-05-01 2018-10-31 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター装置、電子機器、及び制御方法
CN105704267B (zh) * 2016-01-27 2019-03-29 Oppo广东移动通信有限公司 移动终端
WO2018124814A1 (ko) * 2017-01-02 2018-07-05 엘지이노텍(주) 광 감지 소자 및 입자 센싱 장치
JP7351610B2 (ja) * 2018-10-30 2023-09-27 浜松ホトニクス株式会社 光検出装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001221913A (ja) * 2000-02-08 2001-08-17 Yokogawa Electric Corp ファブリペローフィルタ及び赤外線ガス分析計
JP2003233016A (ja) * 2002-02-12 2003-08-22 Dainippon Printing Co Ltd 表示部フィルム部材及びその製造方法
US7734131B2 (en) * 2006-04-18 2010-06-08 Xerox Corporation Fabry-Perot tunable filter using a bonded pair of transparent substrates
US20080198457A1 (en) * 2007-02-20 2008-08-21 Pentax Corporation Dust-proof, reflecting mirror and optical apparatus comprising same
JP5370246B2 (ja) * 2009-05-27 2013-12-18 セイコーエプソン株式会社 光フィルター、光フィルター装置、分析機器、および光フィルターの製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013072930A5 (ko)
JP2012168362A5 (ko)
JP2015068886A5 (ko)
JP2012220656A5 (ko)
JP2013257912A5 (ja) タッチパネル、表示装置
JP2012220765A5 (ko)
JP2013541780A5 (ko)
JP2015536037A5 (ko)
JP2015532713A5 (ko)
JP2014164019A5 (ko)
JP2013242179A5 (ko)
WO2014107284A3 (en) Electronic devices with light sensors and displays
JP2011210248A5 (ko)
JP2013037377A5 (ko)
JP2013538010A5 (ko)
JP2013118179A5 (ja) 発光モジュール
MY164383A (en) Image scanning unit
JP2011066397A5 (ja) 光検出装置
JP2011191492A5 (ko)
JP2012123145A5 (ko)
WO2013155240A3 (en) Compact camera module
JP2013515277A5 (ko)
JP2015532467A5 (ko)
JP2015068887A5 (ko)
JP2014153389A5 (ko)