JP2013068518A - X-ray foreign matter detector - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray foreign matter detector that can prevent the foreign matter detecting performance from deterioration by reducing deviations between two X-ray images obtained by an energy subtraction method.SOLUTION: An X-ray foreign matter detector comprises: a first supporting member 71 that supports an X-ray line sensor 51 kept in an attitude parallel to an X-ray line sensor 52 and is configured to permit position adjustment in the direction of checkup object carriage; a position adjusting member 74 that adjusts the position of the first supporting member 71 in the direction of checkup object carriage; a position adjustment determining unit that acquires a first waveform, which is the waveform of first X-ray image data in the direction of checkup object carriage, and a second waveform, which is the waveform of second X-ray image data in the direction of checkup object carriage, and determines the direction of position adjustment and the extent of position adjustment of the first supporting member 71 on the basis of a phase difference of the tip of the second waveform from the tip of the first waveform; and a display unit that displays the result of determination by the position adjustment determining unit.

Description

本発明は、肉、魚、加工食品、医薬品等の被検査物中に混入した異物を検出するX線異物検出装置に関し、特に、複数本のX線ラインセンサからの画像を合成して異物を強調させた画像を得るエネルギーサブトラクション法を採用したX線異物検出装置に関するものである。   The present invention relates to an X-ray foreign object detection device that detects foreign substances mixed in an object to be inspected such as meat, fish, processed foods, and pharmaceuticals, and in particular, combines foreign images by synthesizing images from a plurality of X-ray line sensors. The present invention relates to an X-ray foreign matter detection apparatus that employs an energy subtraction method for obtaining an enhanced image.

一般に、X線異物検出装置は、搬送路上を所定間隔で順次搬送されてくる各品種の被検査物(例えば、肉、魚、加工食品、医薬品など)にX線発生器からX線を照射し、この照射したX線の透過量から被検査物中に金属、ガラス、石、骨などの異物が混入しているか否かや被検査物の欠品などを検査するようになっている。   In general, an X-ray foreign object detection apparatus irradiates X-rays from X-ray generators on various types of inspection objects (for example, meat, fish, processed foods, pharmaceuticals, etc.) that are sequentially conveyed on a conveyance path at predetermined intervals. The inspection object is inspected for foreign substances such as metal, glass, stones, and bones, and a lack of the inspection object, based on the amount of transmitted X-rays.

従来、この種のX線異物検出装置では、管電圧の異なるX線源を用いてローエネルギーとハイエネルギーのX線画像ペアすなわちデュアルエネルギーX線画像を取得し、これら2つのX線画像を合成することで、被検査物の厚みによる影響を低減させ、被検査物とその中の異物とのコントラストを高めて異物を強調させた画像を得るエネルギーサブトラクション法を採用したものが知られている(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, in this type of X-ray foreign object detection device, a low energy and a high energy X-ray image pair, that is, a dual energy X-ray image is acquired using X-ray sources having different tube voltages, and these two X-ray images are synthesized. By using the energy subtraction method, the influence of the thickness of the object to be inspected is reduced, and the contrast between the object to be inspected and the foreign object in the object is enhanced to obtain an image in which the foreign object is emphasized (see FIG. For example, see Patent Document 1).

特許文献1に記載されたエネルギーサブトラクション法を採用したX線異物検出装置においては、第1のX線源と第1のX線ラインセンサの組合せから第1のX線画像を取得するとともに、これら第1のX線源と第1のX線ラインセンサに対して被検査物搬送方向の下流側に配置された第2のX線源と第2のX線ラインセンサの組合せから第2のX線画像を取得するよう構成された2線源、2センサの構成のものが知られている。   In the X-ray foreign object detection device employing the energy subtraction method described in Patent Document 1, the first X-ray image is acquired from the combination of the first X-ray source and the first X-ray line sensor, and these From the combination of the second X-ray source and the second X-ray line sensor disposed downstream of the first X-ray source and the first X-ray line sensor in the object conveyance direction, the second X A two-line source and two-sensor configuration configured to acquire a line image is known.

特開2010−91483号公報JP 2010-91483 A

しかしながら、特許文献1に記載された従来の技術では、2線源2センサの構成において、第1のX線ラインセンサと第2のX線ラインセンサのスキャンタイミングの同期がとられていないと、第1のX線画像と第2のX線画像との間に最大で0.5ピクセルの画像ずれ、すなわち被検査物の境界の位置のずれが生じてしまうという問題があった。   However, in the conventional technique described in Patent Document 1, in the configuration of the two-line source and two-sensor, unless the scan timings of the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor are synchronized, There has been a problem that an image shift of 0.5 pixels at the maximum, that is, a shift of the boundary position of the inspection object occurs between the first X-ray image and the second X-ray image.

そして、2つのX線画像上の被検査物の境界の位置がずれていると、2つのX線画像を合成する際に、X線画像上の被検査物の境界の位置ずれも高コントラスト化により強調されてしまい、異物検出性能を大きく損なってしまうという問題があった。   If the position of the boundary between the inspection objects on the two X-ray images is shifted, the position shift of the boundary between the inspection objects on the X-ray image is also increased when the two X-ray images are combined. There is a problem that the foreign object detection performance is greatly impaired.

2つのX線ラインセンサのスキャンタイミングのずれは、2つのX線ラインセンサの被検査物搬送方向の間隔が、組み付け誤差等によりX線ラインセンサの素子ピッチに対して整数倍に設定されていないことが支配的な原因であった。   The difference in scan timing between the two X-ray line sensors is that the interval between the two X-ray line sensors in the inspection object transport direction is not set to an integral multiple of the element pitch of the X-ray line sensor due to assembly errors or the like. That was the dominant cause.

また、X線画像のずれは1ピクセル以下の微小な量であるため、画像上ではずれを判別可能であるが、画像サイズ変更や画像位置の位相合わせ等の画像処理によって画像のずれを解消することは、被検査物内の異物の情報も同時に変化してしまうため実質的に不可能であった。したがって、2つのX線ラインセンサの組み付け間隔を適切に設定するための手法が求められていた。   Further, since the displacement of the X-ray image is a minute amount of 1 pixel or less, the displacement can be discriminated on the image, but the image displacement is eliminated by image processing such as image size change and image position phase alignment. This is substantially impossible because the information on the foreign matter in the object to be inspected changes at the same time. Therefore, a method for appropriately setting the assembly interval between the two X-ray line sensors has been demanded.

そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、エネルギーサブトラクション法により得る2つのX線画像の画像ずれを低減し、異物検出性能の低下を防止することができるX線異物検出装置を提供することを目的としている。   Therefore, the present invention has been made to solve the conventional problems as described above, and can reduce image misalignment between two X-ray images obtained by the energy subtraction method and prevent deterioration of foreign matter detection performance. An object of the present invention is to provide an X-ray foreign object detection device that can be used.

本発明に係るX線異物検出装置は、被検査物を搬送面上で被検査物搬送方向に搬送する搬送手段と、前記搬送面上を搬送される被検査物に互いに異なる強度のX線を照射する第1のX線源および第2のX線源と、前記搬送面を挟んで前記第1のX線源および前記第2のX線源と対向する位置に配置され、前記第1のX線源から照射され前記被検査物を透過するX線に応じた第1のX線画像データおよび前記第2のX線源から照射され前記被検査物を透過するX線に応じた第2のX線画像データをそれぞれ出力する第1のX線ラインセンサおよび第2のX線ラインセンサと、前記第1のX線画像データおよび第2のX線画像データを合成して前記被検査物に対応する1つの画像データとして出力する画像合成手段と、前記画像合成手段が出力する画像データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定手段と、を備えるX線異物検出装置であって、前記第1のX線ラインセンサを、前記第2のX線ラインセンサに対して平行となる姿勢を保って支持するとともに、前記被検査物搬送方向に位置調整可能に構成された支持部材と、前記支持部材の前記被検査物搬送方向に対する位置の調整操作を行う位置調整部材と、前記第1のX線画像データにおける前記被検査物搬送方向の波形である第1の波形と前記第2のX線画像データにおける前記被検査物搬送方向の波形である第2の波形とを取得するとともに、前記第1の波形の先端部に対する前記第2の波形の先端部の位相差に基づいて前記支持部材の位置調整方向および位置調整量を判定する位置調整判定手段と、前記位置調整判定手段による判定結果を表示する表示手段と、を備えたことを特徴とする。   The X-ray foreign object detection apparatus according to the present invention provides a transport means for transporting an inspection object on the transport surface in the inspection object transport direction, and X-rays having different intensities on the inspection object transported on the transport surface. The first X-ray source and the second X-ray source to be irradiated are disposed at positions facing the first X-ray source and the second X-ray source across the transport surface, First X-ray image data corresponding to X-rays irradiated from the X-ray source and transmitted through the inspection object, and second X-rays corresponding to X-rays irradiated from the second X-ray source and transmitted through the inspection object A first X-ray line sensor and a second X-ray line sensor that respectively output X-ray image data of the first and second X-ray image data, and the first X-ray image data and second X-ray image data, Output as one image data corresponding to the image, and the image combining means outputs Determining means for determining the presence or absence of foreign matter in the inspection object based on image data, wherein the first X-ray line sensor is replaced with the second X-ray line sensor. A support member configured to be supported while maintaining a parallel posture with respect to the inspection object, and a position for adjusting the position of the support member in the inspection object conveyance direction. An adjustment member, a first waveform that is a waveform in the inspection object conveyance direction in the first X-ray image data, and a second waveform that is a waveform in the inspection object conveyance direction in the second X-ray image data A position adjustment determination means for acquiring a waveform and determining a position adjustment direction and a position adjustment amount of the support member based on a phase difference of a tip portion of the second waveform with respect to a tip portion of the first waveform; Said position And display means for displaying a determination result by the integer judging means, characterized by comprising a.

この構成により、X線画像のずれを低減するための位置調整方向と位置調整量が位置調整判定手段により判定されるとともに表示手段に表示されるので、ユーザーは位置調整部材を操作して支持部材に支持された第2のX線ラインセンサの位置を容易に調整することができる。このため、エネルギーサブトラクション法により得る2つのX線画像の画像ずれを低減し、異物検出性能の低下を防止することができる。   With this configuration, the position adjustment direction and the amount of position adjustment for reducing the X-ray image shift are determined by the position adjustment determination unit and displayed on the display unit. Therefore, the user operates the position adjustment member to support the member. The position of the second X-ray line sensor supported by can be easily adjusted. For this reason, the image shift | offset | difference of two X-ray images obtained by an energy subtraction method can be reduced, and the fall of a foreign material detection performance can be prevented.

また、本発明に係るX線異物検出装置は、前記位置調整判定手段が、前記第1の波形の先端部のピクセル数に対する前記第2の波形の先端部のピクセル数の差から、前記第1の波形の先端部に対する前記第2の波形の先端部の位相差を求めることを特徴とする。   Further, in the X-ray foreign object detection device according to the present invention, the position adjustment determination unit may calculate the first waveform based on a difference in the number of pixels at the tip of the second waveform with respect to the number of pixels at the tip of the first waveform. The phase difference of the tip portion of the second waveform with respect to the tip portion of the waveform is obtained.

この構成により、位置調整判定手段は位置調整方向と位置調整量を正確に判定することができる。   With this configuration, the position adjustment determination unit can accurately determine the position adjustment direction and the position adjustment amount.

また、本発明に係るX線異物検出装置は、前記第1の波形の先端部に対して前記第2の波形の先端部の位相が早いときに、前記支持部材の位置調整方向が被検査物搬送方向下流側であると判定することを特徴とする。   In the X-ray foreign object detection device according to the present invention, when the phase of the tip of the second waveform is early with respect to the tip of the first waveform, the position adjustment direction of the support member is the inspection object. It is characterized by determining that it is the downstream side in the transport direction.

この構成により、位置調整判定手段は位置調整方向を正確に判定することができる。   With this configuration, the position adjustment determination unit can accurately determine the position adjustment direction.

また、本発明に係るX線異物検出装置は、前記位置調整判定手段が、前記第1の波形の先端部に対する前記第2の波形の先端部の位相差と前記搬送手段の搬送速度の積に基づいて前記位置調整量を判定することを特徴とする。   Further, in the X-ray foreign object detection device according to the present invention, the position adjustment determination unit is configured to calculate a product of a phase difference of the tip of the second waveform with respect to the tip of the first waveform and a transport speed of the transport unit. The position adjustment amount is determined based on the determination.

この構成により、位置調整判定手段は位置調整量を正確に判定することができる。   With this configuration, the position adjustment determination unit can accurately determine the position adjustment amount.

また、本発明に係るX線異物検出装置は、前記第1のX線ラインセンサと前記第2のX線ラインセンサとが、同一制御タイミングで制御される2つのラインセンサ部から構成される単一のX線ラインセンサからなることを特徴とする。   In the X-ray foreign object detection device according to the present invention, the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor include a single line sensor unit that is controlled at the same control timing. It consists of one X-ray line sensor.

この構成により、第1のX線ラインセンサと第2のX線ラインセンサの動作タイミングを完全に同期することができる。   With this configuration, the operation timings of the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor can be completely synchronized.

また、本発明に係るX線異物検出装置は、前記位置調整部材を駆動する位置調整部材駆動手段と、前記位置調整判定手段が判定した位置調整方向および位置調整量に従って、前記位置調整部材駆動手段を駆動制御する駆動制御手段と、を備えたことを特徴とする。   In addition, the X-ray foreign object detection device according to the present invention includes a position adjustment member drive unit that drives the position adjustment member, and a position adjustment member drive unit according to a position adjustment direction and a position adjustment amount determined by the position adjustment determination unit. And a drive control means for controlling the drive.

この構成により、位置調整判定手段が判定した位置調整方向および位置調整量に従って、駆動制御手段が位置調整部材駆動手段を駆動制御するので、支持部材に支持された第2のX線ラインセンサの位置を自動で調整することができる。   With this configuration, since the drive control unit drives and controls the position adjustment member driving unit according to the position adjustment direction and the position adjustment amount determined by the position adjustment determination unit, the position of the second X-ray line sensor supported by the support member Can be adjusted automatically.

本発明は、エネルギーサブトラクション法により得る2つのX線画像の画像ずれを低減し、異物検出性能の低下を防止することができるX線異物検出装置を提供することができる。   The present invention can provide an X-ray foreign object detection device capable of reducing image displacement between two X-ray images obtained by the energy subtraction method and preventing deterioration of foreign object detection performance.

本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the X-ray foreign material detection apparatus which concerns on one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置の側面および内部構成を示す図である。It is a figure which shows the side surface and internal structure of the X-ray foreign material detection apparatus which concern on one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置のX線ラインセンサおよび支持機構を示す上面図である。It is a top view which shows the X-ray line sensor and support mechanism of the X-ray foreign material detection apparatus which concern on one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置のX線ラインセンサおよび支持機構を示す側面図である。It is a side view which shows the X-ray line sensor and support mechanism of the X-ray foreign material detection apparatus which concern on one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置のX線ラインセンサから取得した第1の波形および第2の波形を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows the 1st waveform acquired from the X-ray line sensor of the X-ray foreign material detection apparatus concerning one embodiment of the present invention, and the 2nd waveform.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

まず構成について説明する。   First, the configuration will be described.

図1に示すように、X線異物検出装置1は、搬送部2と検出部3とを筐体4の内部に備え、表示器5を筐体4の前面上部に備えている。   As shown in FIG. 1, the X-ray foreign object detection device 1 includes a transport unit 2 and a detection unit 3 inside a housing 4, and a display 5 at the upper front of the housing 4.

搬送部2は、被検査物Wを所定間隔をおいて順次搬送するものである。この搬送部2は、例えば筐体4の内部で水平に配置されたベルトコンベアにより構成されている。搬送部2は、図1に示す駆動モータ6により予め設定された搬送速度で駆動され、搬入口7から搬入された被検査物Wを搬送方向である搬出口8側(図中X方向)に向けて、無端状のベルトの上側の搬送面としてのベルト面2a上を搬送させるようになっている。筐体4の内部においてベルト面2a上を搬入口7から搬出口8まで貫通する空間は搬送路21を形成している。   The conveyance unit 2 sequentially conveys the inspection object W at a predetermined interval. This conveyance part 2 is comprised by the belt conveyor arrange | positioned horizontally within the housing | casing 4, for example. The transport unit 2 is driven at a transport speed set in advance by the drive motor 6 shown in FIG. 1, and the inspection object W carried in from the transport inlet 7 is moved to the transport outlet 8 side (X direction in the figure) which is the transport direction. On the other hand, it conveys on the belt surface 2a as an upper conveying surface of the endless belt. A space passing through the belt surface 2 a from the carry-in entrance 7 to the carry-out exit 8 within the housing 4 forms a transport path 21.

検出部3は、順次搬送される被検査物Wに対し、搬送路21の途中の検査空間22においてX線を照射するとともに被検査物Wを透過するX線を検出するものであり、搬送路21途中の検査空間22の上方に所定高さ離隔して配置されたX線発生器9と、搬送部2内にX線発生器9と対向して配置されたX線検出器10を備えている。   The detection unit 3 irradiates the inspection object W sequentially conveyed with X-rays in the inspection space 22 in the middle of the conveyance path 21 and detects X-rays transmitted through the inspection object W. 21 includes an X-ray generator 9 disposed at a predetermined height above the examination space 22 in the middle of the 21 and an X-ray detector 10 disposed opposite to the X-ray generator 9 in the transport unit 2. Yes.

X線発生源としてのX線発生器9は、金属製の箱体11の内部に設けられた円筒状のX線管30を図示しない絶縁油に浸漬した構成を有している。本実施の形態では、X線管30として、2つのX線管31、32を備え、X線管31、32の陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてX線を生成している。   An X-ray generator 9 as an X-ray generation source has a configuration in which a cylindrical X-ray tube 30 provided inside a metal box 11 is immersed in insulating oil (not shown). In the present embodiment, two X-ray tubes 31 and 32 are provided as the X-ray tube 30, and an X-ray is generated by irradiating an anode target with an electron beam from the cathodes of the X-ray tubes 31 and 32. .

X線管31、32は、その長手方向が被検査物Wの搬送方向(X方向)となるよう配置されている。X線管31、32により生成されたX線は、下方のX線検出器10に向けて、図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状となって搬送方向(X方向)を横切るように照射されるようになっている。   The X-ray tubes 31 and 32 are arranged such that the longitudinal direction thereof is the conveyance direction (X direction) of the inspection object W. X-rays generated by the X-ray tubes 31 and 32 are irradiated toward the lower X-ray detector 10 so as to cross the transport direction (X direction) in a substantially triangular screen shape by a slit (not shown). It has become so.

ここで、X線管31、32が発生するX線の強度は、X線管31、32の陽極と陰極との間に流す電流(管電流)に比例して変化するとともに、発生するX線の波長がX線管31、32の陽極と陰極との間に印加する電圧(管電圧)に応じて短くなり透過力が強くなる。   Here, the intensity of the X-rays generated by the X-ray tubes 31 and 32 changes in proportion to the current (tube current) flowing between the anode and the cathode of the X-ray tubes 31 and 32 and the generated X-rays. Is shortened according to the voltage (tube voltage) applied between the anode and cathode of the X-ray tubes 31 and 32, and the transmission power is increased.

すなわち、X線管31、32から発生されるX線の線質は、X線管31、32の管電流および管電圧に応じて変化する。本実施の形態では、X線管31が発生するX線の強度とX線管31が発生するX線の強度を異ならせており、例えば、X線管31を高出力(高エネルギーの線質のX線を出力)、X線管32を低出力(低エネルギーの線質のX線を出力)としている。   That is, the quality of X-rays generated from the X-ray tubes 31 and 32 changes according to the tube current and tube voltage of the X-ray tubes 31 and 32. In the present embodiment, the intensity of X-rays generated by the X-ray tube 31 and the intensity of X-rays generated by the X-ray tube 31 are made different. For example, the X-ray tube 31 has a high output (high energy radiation quality). X-ray is output), and the X-ray tube 32 is set to low output (low energy X-ray output is output).

なお、X線管31、32が発生するX線の強度は、必ずしも一定値に固定されるものではなく、検出対象とする異物および被検査物Wの種類や搬送速度に応じて、X線管31、32の管電流または管電圧が調整されるようになっている。   Note that the intensity of X-rays generated by the X-ray tubes 31 and 32 is not necessarily fixed at a constant value, and the X-ray tube is in accordance with the type of foreign matter to be detected and the inspection object W and the conveyance speed. The tube currents or tube voltages 31 and 32 are adjusted.

X線検出器10は、搬送される被検査物Wの搬送方向(X方向)の平面上で搬送方向と直交するY方向に複数の検出素子を直線状に並べたX線ラインセンサ50を備えている。   The X-ray detector 10 includes an X-ray line sensor 50 in which a plurality of detection elements are linearly arranged in the Y direction orthogonal to the transport direction on the plane in the transport direction (X direction) of the object W to be transported. ing.

本実施の形態では、X線ラインセンサ50として、2つのX線ラインセンサ51、52を被検査物Wの搬送方向に備え、X線ラインセンサ51は、高出力のX線管31から照射されて被検査物Wを透過した検出信号(濃度データの画像)を出力し、X線ラインセンサ52は、高出力のX線管32から照射されて被検査物Wを透過した検出信号(濃度データの画像)を出力するようになっている。   In the present embodiment, as the X-ray line sensor 50, two X-ray line sensors 51 and 52 are provided in the conveyance direction of the inspection object W, and the X-ray line sensor 51 is irradiated from the high-power X-ray tube 31. Then, a detection signal (density data image) transmitted through the inspection object W is output, and the X-ray line sensor 52 detects the detection signal (density data) irradiated from the high-output X-ray tube 32 and transmitted through the inspection object W. Image).

ここで、本実施の形態では、X線検出器10は、内蔵する図示しないA/D変換部によりX線ラインセンサ51、52の検出信号(輝度値データ)をデジタルデータに変換して濃度データとして出力するようになっているが、X線検出器10の外部にA/D変換部を備える構成としたり、A/D変換前の輝度値データのまま後段の総合制御部40に出力する等の構成としてもよく、デジタルデータである濃度データに変換することは必須要件ではない。   Here, in the present embodiment, the X-ray detector 10 converts the detection signals (luminance value data) of the X-ray line sensors 51 and 52 into digital data by a built-in A / D converter (not shown), and density data. The A / D converter is provided outside the X-ray detector 10, or the luminance value data before A / D conversion is output to the subsequent overall control unit 40, etc. However, it is not an essential requirement to convert it into density data that is digital data.

X線ラインセンサ51、52を備えるX線検出器10からは、後述する総合制御部40(図2参照)での異物混入の有無の判定に必要なX線画像データを出力するようになっている。   The X-ray detector 10 including the X-ray line sensors 51 and 52 outputs X-ray image data necessary for determining whether or not foreign matter is mixed in a general control unit 40 (see FIG. 2) described later. Yes.

図2に示すように、搬送路21内の天井部21aには、搬送方向(X方向)に沿って複数箇所にX線遮蔽用の遮蔽カーテン16が吊り下げ配置されている。遮蔽カーテン16は、X線を遮蔽する鉛粉を混入したゴムシートをのれん状(上部が繋がっており下部が帯状に分割された状態)に加工したものから構成されており、検査空間22から搬送路21を介してX線が筐体4の外部に漏えいすることを防止するものである。   As shown in FIG. 2, X-ray shielding shielding curtains 16 are suspended and arranged at a plurality of locations along the conveyance direction (X direction) on the ceiling portion 21 a in the conveyance path 21. The shielding curtain 16 is composed of a rubber sheet mixed with lead powder that shields X-rays and processed into a good shape (a state in which the upper part is connected and the lower part is divided into strips), and is conveyed from the inspection space 22. This prevents X-rays from leaking outside the housing 4 via the path 21.

遮蔽カーテン16は、本実施の形態では、搬入口7と検査空間22との間、および検査空間22と搬出口8との間にそれぞれ2枚ずつ設けられており、1つの遮蔽カーテン16が被検査物Wと接触して弾性変形して隙間が生じた場合でも、他の遮蔽カーテン16がX線を遮蔽するので漏えい基準量を超えることなくX線の漏えいを防止できるようになっている。   In the present embodiment, two shielding curtains 16 are provided between the carry-in entrance 7 and the inspection space 22 and between the examination space 22 and the carry-out exit 8, respectively. Even when a gap is generated due to elastic deformation due to contact with the inspection object W, the other shielding curtain 16 shields X-rays, so that leakage of X-rays can be prevented without exceeding the leakage reference amount.

なお、検査空間22の上面にはスリットが配置され、検査空間22の下面、側面は、X線の遮蔽のために筐体4等により略閉塞されている。搬送路21における遮蔽カーテン16、スリット、および筐体4等により囲まれた内側の空間が検査空間22を構成している。   Note that a slit is disposed on the upper surface of the inspection space 22, and the lower surface and side surfaces of the inspection space 22 are substantially closed by a housing 4 or the like for shielding X-rays. An inner space surrounded by the shielding curtain 16, the slit, the housing 4, and the like in the transport path 21 constitutes an inspection space 22.

X線異物検出装置1は、X線検出器10から受け取った濃度データに基づく被検査物W中の異物の有無の判定を含む総合的な制御を行う総合制御部40を備えている。   The X-ray foreign matter detection apparatus 1 includes a comprehensive control unit 40 that performs comprehensive control including determination of the presence or absence of foreign matter in the inspection object W based on density data received from the X-ray detector 10.

総合制御部40は、X線異物検出装置1の総合的な制御を行うものであり、X線ラインセンサ51、52からの濃度データを検出して所定のタイミングの濃度データをそれぞれ有効化するデータ検出部61、62と、データ検出部61、62からの濃度データをそれぞれ複数記憶する記憶部43と、X線ラインセンサ51、52からの濃度データの画像(以下、単に画像という)に対して合成処理、フィルタ処理等の画像処理を施す画像処理部44と、画像処理部44で画像処理が施された画像に対して被検査物Wと異物との判別を行って異物の混入の有無を判定する判定部48とを備えている。判定部48による判定結果は表示器5に表示されるようになっている。   The comprehensive control unit 40 performs comprehensive control of the X-ray foreign matter detection apparatus 1 and detects density data from the X-ray line sensors 51 and 52 and activates the density data at a predetermined timing, respectively. Detection unit 61, 62, storage unit 43 that stores a plurality of density data from data detection units 61, 62, and an image of density data from X-ray line sensors 51, 52 (hereinafter simply referred to as an image) An image processing unit 44 that performs image processing such as composition processing and filter processing, and an image subjected to image processing by the image processing unit 44 is discriminated from the object W to be inspected to determine whether foreign matter is mixed in. And a determination unit 48 for determination. The determination result by the determination unit 48 is displayed on the display 5.

データ検出部60は、本実施の形態では2つのデータ検出部61、62からなり、X線ラインセンサ51、52からの濃度データに対して所定のタイミングで入力された濃度データ、すなわち、所定のデータ有効化入力タイミングの範囲のデータだけをそれぞれ有効化するようになっている。   The data detection unit 60 includes two data detection units 61 and 62 in the present embodiment, and density data input at a predetermined timing with respect to the density data from the X-ray line sensors 51 and 52, that is, a predetermined level. Only data within the range of data validation input timing is validated.

記憶部43は、X線ラインセンサ51、52から出力されたデータのうち、データ検出部61、62で有効化されたデータを一時的に記憶するものであり、画像を高速に記憶および読み出しが可能なメモリから構成されている。   The storage unit 43 temporarily stores data validated by the data detection units 61 and 62 among the data output from the X-ray line sensors 51 and 52, and can store and read images at high speed. It consists of possible memory.

画像処理部44は、X線ラインセンサ51、52からの濃度データの画像に対して合成処理、フィルタ処理等の画像処理を施すようになっている。   The image processing unit 44 performs image processing such as synthesis processing and filter processing on the density data images from the X-ray line sensors 51 and 52.

判定部48は、画像処理部44で画像処理が施された画像に対して、画像上の被検査物Wの中から異物を検出し、異物の混入の有無を判定するようになっている。   The determination unit 48 detects foreign matter from the inspected object W on the image subjected to the image processing by the image processing unit 44, and determines whether foreign matter is mixed.

また、X線異物検出装置1は、X線発生器9のX線出力、被検査物Wの搬送速度、X線検出器10の検査パラメータの設定操作、選択操作が行われる設定部49を備えており、この設定部49は、筐体4の前面上部の表示器5の隣に配置されている。   The X-ray foreign object detection apparatus 1 also includes a setting unit 49 that performs an X-ray output of the X-ray generator 9, a conveyance speed of the inspection object W, an inspection parameter setting operation of the X-ray detector 10, and a selection operation. The setting unit 49 is arranged next to the display 5 at the upper front of the housing 4.

図3、図4に示すように、本実施の形態では、X線ラインセンサ52は、第1支持部材71に支持されている。第1支持部材71は、X線ラインセンサ51に対して平行を保ったまま、X線ラインセンサ52を搬送方向上流側および下流側に変位可能に第2支持部材72に支持されている。   As shown in FIGS. 3 and 4, in the present embodiment, the X-ray line sensor 52 is supported by the first support member 71. The first support member 71 is supported by the second support member 72 so that the X-ray line sensor 52 can be displaced upstream and downstream in the transport direction while maintaining parallel to the X-ray line sensor 51.

具体的には、第1支持部材71の幅方向両端部の下面には搬送方向に延在するスライド凸部71aが形成されるととともに、第2支持部材72の幅方向両端部の上面には搬送方向に延在するスライド凹部72aが形成されており、スライド凹部72a内をスライド凸部71aが摺動することにより第1支持部材71の移動可能軌跡が搬送方向となるように案内される。   Specifically, slide convex portions 71a extending in the transport direction are formed on the lower surfaces of both end portions in the width direction of the first support member 71, and at the upper surfaces of both end portions in the width direction of the second support member 72. A slide recess 72a extending in the transport direction is formed, and the slide locus 71a slides in the slide recess 72a so that the movable locus of the first support member 71 is guided in the transport direction.

第1支持部材71の搬送方向下流側には、第1支持部材71の下流側端部に当接してこの第1支持部材71の搬送方向に対する位置の調整を行う位置調整部材74が設けられ、第1支持部材71の上流側端部には、第1支持部材71に当接してこの第1支持部材71を位置調整部材74の側に押圧する圧縮ばね75が設けられている。   On the downstream side of the first support member 71 in the transport direction, a position adjustment member 74 that contacts the downstream end of the first support member 71 and adjusts the position of the first support member 71 in the transport direction is provided. A compression spring 75 that abuts against the first support member 71 and presses the first support member 71 toward the position adjustment member 74 is provided at the upstream end of the first support member 71.

位置調整部材74は、マイクロメータと同様の機構からなっており、調整ハンドル74aが操作されると、第1支持部材71の被検査物搬送方向における位置を上流側または下流側に調整するようになっている。   The position adjustment member 74 has a mechanism similar to that of a micrometer, and when the adjustment handle 74a is operated, the position of the first support member 71 in the inspection object conveyance direction is adjusted to the upstream side or the downstream side. It has become.

また、図2に示すように、本実施の形態では、総合制御部40は、第1支持部材71の被検査物搬送方向における調整方向(上流側または下流側)および調整量を判定する位置調整判定部92と、を備え、表示器5は、位置調整判定部92の判定結果を表示するようになっている。   As shown in FIG. 2, in the present embodiment, the overall control unit 40 determines the adjustment direction (upstream side or downstream side) and the adjustment amount of the first support member 71 in the inspection object conveyance direction. The display 5 displays the determination result of the position adjustment determination unit 92.

位置調整判定部92は、X線ラインセンサ51から出力された第1のX線画像データにおける被検査物Wの搬送方向の波形である第1の波形(図5参照)と、X線ラインセンサ52から出力された第2のX線画像データにおける被検査物Wの搬送方向の波形である第2の波形(図5参照)とを取得し、第1の波形と第2の波形の先端部(傾斜部)の位相差に基づいて、第1支持部材71の被検査物搬送方向における位置調整方向および位置調整量を判定するようになっている。   The position adjustment determination unit 92 includes a first waveform (see FIG. 5) that is a waveform in the transport direction of the inspection object W in the first X-ray image data output from the X-ray line sensor 51, and an X-ray line sensor. The second waveform (see FIG. 5) that is the waveform in the transport direction of the inspection object W in the second X-ray image data output from 52 is acquired, and the first waveform and the tip of the second waveform Based on the phase difference of (inclination part), the position adjustment direction and the position adjustment amount of the first support member 71 in the inspection object conveyance direction are determined.

ここで、第1の波形および第2の波形においては、波形上の被検査物Wの先端に数ピクセル程度の幅で傾斜した先端部が生じる。この先端部は、波形の立ち上がりが厳密に垂直でないために生じるためであり、画像上は「ぼけ」として認識されるものである。この画像上の「ぼけ」である先端部の幅は、被検査物Wの厚さによっても異なるものであり、本実施の形態では一例として3ピクセルの幅であるものとして説明する。   Here, in the first waveform and the second waveform, a tip portion inclined at a width of about several pixels is generated at the tip of the inspection object W on the waveform. This is because the leading edge is generated because the rising edge of the waveform is not strictly vertical, and is recognized as “blurred” on the image. The width of the tip portion that is “blurred” on the image varies depending on the thickness of the inspection object W, and in the present embodiment, it is assumed that the width is 3 pixels as an example.

また、この先端部は、例えば、第1の波形において3ピクセルであったとしても、上流側のX線ラインセンサ51から下流側のX線ラインセンサ52までの距離によっては、第2の波形においては3ピクセルより増減する場合がある。   For example, even if the tip is 3 pixels in the first waveform, depending on the distance from the upstream X-ray line sensor 51 to the downstream X-ray line sensor 52, May increase or decrease from 3 pixels.

これは、X線ラインセンサ51とX線ラインセンサ52の間隔が、これらX線ラインセンサ51、52の搬送方向の素子幅(例えば、0.4mm)の倍数となっていないために、被検査物Wの先端がX線ラインセンサ52を通過する時刻とX線ラインセンサ52の蓄積開始時刻が一致していないことが原因となっている。   This is because the distance between the X-ray line sensor 51 and the X-ray line sensor 52 is not a multiple of the element width (for example, 0.4 mm) in the transport direction of these X-ray line sensors 51 and 52. This is because the time when the tip of the object W passes through the X-ray line sensor 52 and the accumulation start time of the X-ray line sensor 52 do not match.

なお、X線ラインセンサ51、52は、同一周期(例えば1000ヘルツ)かつ同一タイミングで蓄積を行うようになっている。すなわち、図3に示すように、平行に配置された2つのX線ラインセンサ51、52が、同一制御タイミングで制御するように構成された単一のX線ラインセンサからなり、制御タイミングが同一タイミングとなるように、あたかも1つのX線ラインセンサを折り返して平行に並べたような構成になることが好ましい。   The X-ray line sensors 51 and 52 perform accumulation at the same cycle (for example, 1000 Hz) and at the same timing. That is, as shown in FIG. 3, two X-ray line sensors 51 and 52 arranged in parallel are composed of a single X-ray line sensor configured to control at the same control timing, and the control timing is the same. It is preferable that the configuration is as if one X-ray line sensor is folded and arranged in parallel so as to be the timing.

位置調整判定部92は、図5に示すように、第2の波形の先端部の立ち上がり位置が0.3ピクセルだけ位相が早いため右側に位置しているときは、X線ラインセンサ52の駆動周期に対してX線ラインセンサ51とX線ラインセンサ52の距離が短いため、第1支持部材71の位置調整方向が搬送方向下流側であると判定する。   As shown in FIG. 5, the position adjustment determination unit 92 drives the X-ray line sensor 52 when the rising position of the tip of the second waveform is positioned on the right side because the phase is early by 0.3 pixels. Since the distance between the X-ray line sensor 51 and the X-ray line sensor 52 is short with respect to the period, it is determined that the position adjustment direction of the first support member 71 is on the downstream side in the transport direction.

また、位置調整判定部92は、位置調整量に関しては、0.3ピクセルに相当する量であると判定する。位置調整量は、ピクセルの差異(0.3ピクセル)と搬送速度との積から求められる。位置調整判定部92による判定結果は、表示器5に、例えば"位置調整方向:下流側、位置調整量:2mm"等と表示される。   The position adjustment determination unit 92 determines that the position adjustment amount is an amount corresponding to 0.3 pixel. The position adjustment amount is obtained from the product of the pixel difference (0.3 pixel) and the conveyance speed. The determination result by the position adjustment determination unit 92 is displayed on the display 5 as, for example, “position adjustment direction: downstream, position adjustment amount: 2 mm”.

また、図3に示すように、位置調整部材74を駆動する位置調整部材駆動モータ82を調整ハンドル74aに連結するとともに、図2に示すように、総合制御部40は、位置調整部材駆動モータ82を駆動制御する駆動制御部93を備えている。   Further, as shown in FIG. 3, a position adjustment member drive motor 82 for driving the position adjustment member 74 is coupled to the adjustment handle 74a, and as shown in FIG. Is provided with a drive control unit 93 for controlling the driving of the motor.

駆動制御部93は、位置調整判定部92が判定した位置調整方向および位置調整量に従って位置調整部材駆動モータ82を駆動制御する。また、位置調整部材駆動モータ82は、パルス駆動するステッピングモータおよび図示しない減速機構等から構成される。   The drive control unit 93 drives and controls the position adjustment member drive motor 82 according to the position adjustment direction and the position adjustment amount determined by the position adjustment determination unit 92. Further, the position adjustment member drive motor 82 includes a stepping motor that is pulse-driven and a speed reduction mechanism (not shown).

このように構成することで、判定された位置調整方向、位置調整量に従って、駆動制御部93が位置調整部材駆動モータ82を駆動制御し、第1支持部材71により支持される下流側のX線ラインセンサ52の搬送方向における位置を自動的に調整できるようになっている。   With this configuration, the drive control unit 93 drives and controls the position adjustment member drive motor 82 in accordance with the determined position adjustment direction and position adjustment amount, and the downstream X-ray supported by the first support member 71. The position of the line sensor 52 in the conveyance direction can be automatically adjusted.

なお、X線異物検出装置1は、位置調整判定部92による判定結果を表示器5に表示するのみとして、調整ハンドル74aの操作をユーザーが行うように構成してもよい。   Note that the X-ray foreign object detection device 1 may be configured such that the user operates the adjustment handle 74a only by displaying the determination result by the position adjustment determination unit 92 on the display 5.

以上のように、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、X線ラインセンサ51を、X線ラインセンサ52に対して平行となる姿勢を保って支持するとともに、被検査物搬送方向に位置調整可能に構成された第1支持部材71と、第1支持部材71の被検査物搬送方向に対する位置の調整操作を行う位置調整部材74と、第1のX線画像データにおける被検査物搬送方向の波形である第1の波形と第2のX線画像データにおける被検査物搬送方向の波形である第2の波形とを取得するとともに、第1の波形の先端部に対する第2の波形の先端部の位相差に基づいて第1支持部材71の位置調整方向および位置調整量を判定する位置調整判定部92と、位置調整判定部92による判定結果を表示する表示器5と、を備えたことを特徴とする。   As described above, the X-ray foreign object detection device 1 according to the present embodiment supports the X-ray line sensor 51 while maintaining a posture parallel to the X-ray line sensor 52, and the inspection object conveyance direction. A first support member 71 configured to be position-adjustable, a position adjustment member 74 for adjusting the position of the first support member 71 with respect to the inspection object conveyance direction, and an inspection object in the first X-ray image data While acquiring the 1st waveform which is a waveform of a conveyance direction, and the 2nd waveform which is a waveform of the to-be-inspected object conveyance direction in 2nd X-ray image data, the 2nd waveform with respect to the front-end | tip part of a 1st waveform A position adjustment determination unit 92 that determines the position adjustment direction and the amount of position adjustment of the first support member 71 based on the phase difference of the tip of the first support member 71, and the display 5 that displays the determination result by the position adjustment determination unit 92. It is characterized by that.

この構成により、X線画像のずれを低減するための位置調整方向と位置調整量が位置調整判定部92により判定されるとともに表示器5に表示されるので、ユーザーは位置調整部材74を操作して第1支持部材71に支持されたX線ラインセンサ52の位置を容易に調整することができる。このため、エネルギーサブトラクション法により得る2つのX線画像の画像ずれを低減し、異物検出性能の低下を防止することができる。   With this configuration, the position adjustment direction and the amount of position adjustment for reducing the deviation of the X-ray image are determined by the position adjustment determination unit 92 and displayed on the display 5, so that the user operates the position adjustment member 74. Thus, the position of the X-ray line sensor 52 supported by the first support member 71 can be easily adjusted. For this reason, the image shift | offset | difference of two X-ray images obtained by an energy subtraction method can be reduced, and the fall of a foreign material detection performance can be prevented.

また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、位置調整判定部92が、第1の波形の先端部のピクセル数に対する第2の波形の先端部のピクセル数の差から、第1の波形の先端部に対する第2の波形の先端部の位相差を求めることを特徴とする。   Further, in the X-ray foreign object detection device 1 according to the present embodiment, the position adjustment determination unit 92 determines the first waveform from the difference in the number of pixels at the tip of the second waveform with respect to the number of pixels at the tip of the first waveform. The phase difference of the tip portion of the second waveform with respect to the tip portion of the waveform is obtained.

この構成により、位置調整判定部92は位置調整方向と位置調整量を正確に判定することができる。   With this configuration, the position adjustment determination unit 92 can accurately determine the position adjustment direction and the amount of position adjustment.

また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、第1の波形の先端部に対して第2の波形の先端部の位相が早いときに、第1支持部材71の位置調整方向が被検査物搬送方向下流側であると判定することを特徴とする。   Further, in the X-ray foreign object detection device 1 according to the present embodiment, when the phase of the tip portion of the second waveform is early with respect to the tip portion of the first waveform, the position adjustment direction of the first support member 71 is It is characterized in that it is determined that it is the downstream side in the inspection object conveyance direction.

この構成により、位置調整判定部92は位置調整方向を正確に判定することができる。   With this configuration, the position adjustment determination unit 92 can accurately determine the position adjustment direction.

また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、位置調整判定部92が、第1の波形の先端部に対する第2の波形の先端部の位相差と搬送部2の搬送速度の積に基づいて位置調整量を判定することを特徴とする。   Further, in the X-ray foreign object detection device 1 according to the present embodiment, the position adjustment determination unit 92 is a product of the phase difference of the leading end of the second waveform with respect to the leading end of the first waveform and the transport speed of the transport unit 2. The position adjustment amount is determined based on the above.

この構成により、位置調整判定手段は位置調整量を正確に判定することができる。   With this configuration, the position adjustment determination unit can accurately determine the position adjustment amount.

また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、X線ラインセンサ51とX線ラインセンサ52とが、同一制御タイミングで制御される2つのラインセンサ部から構成される単一のX線ラインセンサからなることを特徴とする。   In addition, the X-ray foreign object detection device 1 according to the present embodiment has a single X-ray composed of two line sensor units in which the X-ray line sensor 51 and the X-ray line sensor 52 are controlled at the same control timing. It consists of a line line sensor.

この構成により、X線ラインセンサ51とX線ラインセンサ52の動作タイミングを完全に同期することができる。   With this configuration, the operation timings of the X-ray line sensor 51 and the X-ray line sensor 52 can be completely synchronized.

また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、位置調整部材74を駆動する位置調整部材駆動モータ82と、位置調整判定部92が判定した位置調整方向および位置調整量に従って、位置調整部材駆動モータ82を駆動制御する駆動制御部93と、を備えたことを特徴とする。   In addition, the X-ray foreign object detection device 1 according to the present embodiment adjusts the position according to the position adjustment member drive motor 82 that drives the position adjustment member 74 and the position adjustment direction and the amount of position adjustment determined by the position adjustment determination unit 92. And a drive control unit 93 that drives and controls the member drive motor 82.

この構成により、位置調整判定部92が判定した位置調整方向および位置調整量に従って、駆動制御部93が位置調整部材駆動モータ82を駆動制御するので、第1支持部材71に支持されたX線ラインセンサ52の位置を自動で調整することができる。   With this configuration, the drive control unit 93 drives and controls the position adjustment member drive motor 82 in accordance with the position adjustment direction and the amount of position adjustment determined by the position adjustment determination unit 92, so the X-ray line supported by the first support member 71. The position of the sensor 52 can be automatically adjusted.

以上のように、本発明に係るX線異物検出装置は、エネルギーサブトラクション法により得る2つのX線画像の画像ずれを低減し、異物検出性能の低下を防止することができるという効果を有し、複数本のX線ラインセンサからの画像を合成して異物を強調させた画像を得るエネルギーサブトラクション法を採用したX線異物検出装置として有用である。   As described above, the X-ray foreign object detection device according to the present invention has the effect of reducing the image displacement between two X-ray images obtained by the energy subtraction method and preventing the deterioration of foreign object detection performance, The present invention is useful as an X-ray foreign object detection apparatus that employs an energy subtraction method that obtains an image in which foreign objects are emphasized by synthesizing images from a plurality of X-ray line sensors.

1 X線異物検出装置
2 搬送部(搬送手段)
2a ベルト面(搬送面)
3 検出部
4 筐体
5 表示器(表示手段)
9 X線発生器
10 X線検出器
21 搬送路
21a 天井部
22 検査空間
30 X線管
31 X線管(第1のX線源)
32 X線管(第2のX線源)
40 総合制御部
43 記憶部
44 画像処理部(画像合成手段)
48 判定部(判定手段)
49 設定部
51 X線ラインセンサ(第1のX線ラインセンサ)
52 X線ラインセンサ(第2のX線ラインセンサ)
61、62 データ検出部
71 第1支持部材(支持部材)
72 第2支持部材
74 位置調整部材
74a 調整ハンドル
75 圧縮ばね
82 位置調整部材駆動モータ(位置調整部材駆動手段)
92 位置調整判定部(位置調整判定手段)
93 駆動制御部(駆動制御手段)
W 被検査物
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 X-ray foreign material detection apparatus 2 Conveyance part (conveyance means)
2a Belt surface (conveying surface)
3 Detection unit 4 Housing 5 Display (display means)
9 X-ray generator 10 X-ray detector 21 Transport path 21a Ceiling part 22 Inspection space 30 X-ray tube 31 X-ray tube (first X-ray source)
32 X-ray tube (second X-ray source)
40 general control unit 43 storage unit 44 image processing unit (image composition means)
48 determination part (determination means)
49 Setting unit 51 X-ray line sensor (first X-ray line sensor)
52 X-ray line sensor (second X-ray line sensor)
61, 62 Data detector 71 First support member (support member)
72 Second support member 74 Position adjustment member 74a Adjustment handle 75 Compression spring 82 Position adjustment member drive motor (position adjustment member drive means)
92 Position adjustment determination unit (position adjustment determination means)
93 Drive control unit (drive control means)
W Inspection object

Claims (6)

被検査物を搬送面上で被検査物搬送方向に搬送する搬送手段と、
前記搬送面上を搬送される被検査物に互いに異なる強度のX線を照射する第1のX線源および第2のX線源と、
前記搬送面を挟んで前記第1のX線源および前記第2のX線源と対向する位置に配置され、前記第1のX線源から照射され前記被検査物を透過するX線に応じた第1のX線画像データおよび前記第2のX線源から照射され前記被検査物を透過するX線に応じた第2のX線画像データをそれぞれ出力する第1のX線ラインセンサおよび第2のX線ラインセンサと、
前記第1のX線画像データおよび第2のX線画像データを合成して前記被検査物に対応する1つの画像データとして出力する画像合成手段と、
前記画像合成手段が出力する画像データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定手段と、を備えるX線異物検出装置であって、
前記第1のX線ラインセンサを、前記第2のX線ラインセンサに対して平行となる姿勢を保って支持するとともに、前記被検査物搬送方向に位置調整可能に構成された支持部材と、
前記支持部材の前記被検査物搬送方向に対する位置の調整操作を行う位置調整部材と、
前記第1のX線画像データにおける前記被検査物搬送方向の波形である第1の波形と前記第2のX線画像データにおける前記被検査物搬送方向の波形である第2の波形とを取得するとともに、前記第1の波形の先端部に対する前記第2の波形の先端部の位相差に基づいて前記支持部材の位置調整方向および位置調整量を判定する位置調整判定手段と、
前記位置調整判定手段による判定結果を表示する表示手段と、を備えたことを特徴とするX線異物検出装置。
A transport means for transporting the inspection object in the inspection object transport direction on the transport surface;
A first X-ray source and a second X-ray source that irradiate X-rays having different intensities to the inspection object conveyed on the conveyance surface;
According to the X-rays that are arranged at positions facing the first X-ray source and the second X-ray source across the transport surface and are irradiated from the first X-ray source and pass through the inspection object. A first X-ray line sensor that outputs first X-ray image data and second X-ray image data corresponding to X-rays irradiated from the second X-ray source and transmitted through the inspection object; A second X-ray line sensor;
Image synthesizing means for synthesizing the first X-ray image data and the second X-ray image data and outputting as one image data corresponding to the inspection object;
An X-ray foreign matter detection apparatus comprising: determination means for determining the presence or absence of foreign matter in the inspection object based on image data output by the image composition means;
A support member configured to support the first X-ray line sensor while maintaining a posture parallel to the second X-ray line sensor, and to be position-adjustable in the inspection object conveyance direction;
A position adjustment member that performs an operation of adjusting the position of the support member with respect to the inspection object conveyance direction;
A first waveform that is a waveform in the inspection object conveyance direction in the first X-ray image data and a second waveform that is a waveform in the inspection object conveyance direction in the second X-ray image data are acquired. And a position adjustment determination means for determining a position adjustment direction and a position adjustment amount of the support member based on a phase difference of the tip of the second waveform with respect to the tip of the first waveform,
An X-ray foreign matter detection apparatus comprising: display means for displaying a determination result by the position adjustment determination means.
前記位置調整判定手段が、前記第1の波形の先端部のピクセル数に対する前記第2の波形の先端部のピクセル数の差から、前記第1の波形の先端部に対する前記第2の波形の先端部の位相差を求めることを特徴とする請求項1に記載のX線異物検出装置。   The position adjustment determination means determines the leading edge of the second waveform relative to the leading edge of the first waveform from the difference in the number of pixels at the leading edge of the second waveform with respect to the number of pixels at the leading edge of the first waveform. The X-ray foreign object detection device according to claim 1, wherein a phase difference of the part is obtained. 前記第1の波形の先端部に対して前記第2の波形の先端部の位相が早いときに、前記支持部材の位置調整方向が被検査物搬送方向下流側であると判定することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のX線異物検出装置。   When the phase of the tip of the second waveform is earlier than that of the tip of the first waveform, it is determined that the position adjustment direction of the support member is downstream in the object conveyance direction. The X-ray foreign material detection apparatus according to claim 1 or 2. 前記位置調整判定手段が、前記第1の波形の先端部に対する前記第2の波形の先端部の位相差と前記搬送手段の搬送速度の積に基づいて前記位置調整量を判定することを特徴とする請求項1〜請求項3の何れかに記載のX線異物検出装置。   The position adjustment determination unit determines the position adjustment amount based on a product of a phase difference of the tip of the second waveform with respect to a tip of the first waveform and a transport speed of the transport unit. The X-ray foreign material detection apparatus according to any one of claims 1 to 3. 前記第1のX線ラインセンサと前記第2のX線ラインセンサとが、同一制御タイミングで制御される2つのラインセンサ部から構成される単一のX線ラインセンサからなることを特徴とする請求項1〜請求項4の何れかに記載のX線異物検出装置。   The first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor are composed of a single X-ray line sensor composed of two line sensor units controlled at the same control timing. The X-ray foreign material detection apparatus in any one of Claims 1-4. 前記位置調整部材を駆動する位置調整部材駆動手段と、
前記位置調整判定手段が判定した位置調整方向および位置調整量に従って、前記位置調整部材駆動手段を駆動制御する駆動制御手段と、を備えたことを特徴とする請求項1〜請求項5の何れかに記載のX線異物検出装置。
Position adjusting member driving means for driving the position adjusting member;
6. A drive control means for drivingly controlling the position adjusting member driving means in accordance with a position adjustment direction and a position adjustment amount determined by the position adjustment determining means. The X-ray foreign material detection apparatus of description.
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