JP5452131B2 - X-ray detector and x-ray inspection system - Google Patents

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JP5452131B2
JP5452131B2 JP2009193389A JP2009193389A JP5452131B2 JP 5452131 B2 JP5452131 B2 JP 5452131B2 JP 2009193389 A JP2009193389 A JP 2009193389A JP 2009193389 A JP2009193389 A JP 2009193389A JP 5452131 B2 JP5452131 B2 JP 5452131B2
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良文 高橋
修 田中
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アンリツ産機システム株式会社
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本発明は、肉、魚、加工食品、医薬品等の被検査物中に混入した異物を検出するX線検出器およびX線検査装置に関し、特に、X線発生器から照射されて被検査物を透過したX線を検出するX線検出器およびX線検査装置に関するものである。 The present invention, meat, fish, processed foods, relates the X-ray detector and X-ray inspection apparatus for detecting foreign matter mixed in the inspection object in such pharmaceuticals, in particular, a is irradiated from the X-ray generator inspection object X-ray detector for detecting transmitted X-ray and it relates to X-ray inspection apparatus.

例えば食品などの被検査物への異物の混入の有無を検出するために、従来からX線検査装置が用いられている。 For example to detect the presence of foreign material to the object to be inspected such as food, X-rays inspection apparatus has conventionally been used. この種の従来のX線検査装置は、装置本体の上側にX線発生部を配置し、且つ、X線発生部の下方の搬送ベルトの下部となる位置にX線検出器を取り付け、X線発生部から照射されたX線をX線検出部にて受けるようにしている。 Conventional X-ray examination apparatus of this kind, the X-ray generator is arranged on the upper side of the apparatus main body, and, attaching the X-ray detector in the lower part of the conveyor belt below the X-ray generation unit position, X-ray the X-rays emitted from the generator is adapted to receive at the X-ray detector.

この種のX線検査装置においては、1つのX線発生部に対し、X線発生部からのX線を受けるライン状のセンサモジュールを搬送方向に並べて配置するとともに、X線発生部から各X線センサに至るそれぞれのX線の線質を異ならせるX線可変体を設け、被検査物を透過した互いに線質の異なる各X線を各センサモジュールで検出することにより、これらX線の透過量から被検査物中の異物を、X線を透過し易い異物と、X線を透過しにくい異物とに区別して検出するようにしたものが知られている(例えば、特許文献1参照)。 In X-ray examination apparatus of this kind, for one X-ray generating unit, as well as arranged a linear sensor module which receives the X-rays from the X-ray generation unit in the conveying direction, each from the X-ray generation unit X the X-ray variable member to vary the radiation quality of the respective X-rays reaching the line sensor is provided, by detecting the X-rays having different Senshitsu mutually transmitted through the object to be inspected by each sensor module, transmission of X-rays the foreign matter inspection object in the amount, and easy foreign matter passes through the X-ray, which was adapted to detect and distinguish a hard foreign matter through the X-ray is known (e.g., see Patent Document 1). このX線検査装置は、例えば、複数のセンサモジュールにより取得した高エネルギー画像と低エネルギー画像との差分を算出することにより、異物のみを高感度に検出することができるようになっている。 The X-ray examination apparatus, for example, by calculating the difference between the higher energy image and the low energy image obtained by the plurality of the sensor module, and is capable of detecting the foreign substance only with high sensitivity.

また、X線検出器を、X線の透過方向に沿った上下位置に配置される2つのセンサモジュールから構成し、上段のセンサモジュールが、シンチレータで可視光に変換後に、可視光反射体で反射させて受光素子によりX線透過量に対応したX線透過データを出力し、下段のセンサモジュールが、X線フィルタで所定の帯域のX線エネルギーを減衰させてから、シンチレータで可視光に変換後に、受光素子によりX線透過データを出力するようにしたものが知られている(例えば、特許文献2参照)。 Further, the X-ray detector, and consists of two sensor modules disposed in upper and lower positions along the transmitting direction of the X-ray, the upper sensor module, after conversion into visible light by the scintillator, the reflected visible light reflector is allowed to output the X-ray transmission data corresponding to the X-ray transmission amount by the light receiving element, the lower sensor module from attenuates the X-ray energy in a predetermined band in X-ray filter, after conversion into visible light by the scintillator , those to output the X-ray transmission data is known by the light receiving element (e.g., see Patent Document 2).

特開2002−168803号公報 JP 2002-168803 JP 特開2002−365368号公報 JP 2002-365368 JP

しかしながら、特許文献1に記載されたものは、センサモジュールが搬送方向に並べて配置されているため、各センサモジュールから出力されるX線透過データ間のバランスの悪化、データの不整合、濃度の差異といった問題を有していた。 However, those described in Patent Document 1, because the sensor module are arranged side by side in the conveying direction, deterioration of the balance between the X-ray transmission data output from each sensor module, data inconsistencies, the concentration difference I had a problem such. 一方、特許文献2に記載されたもののように、センサモジュールを縦方向に並べて配置することでこれらの問題を解消することができるが、この場合、上側のセンサモジュールと下側のセンサモジュールとの間で画素の位置ズレが生じてしまうという問題があった。 On the other hand, such as those described in Patent Document 2, although the sensor module can by arranged in a vertical direction to overcome these problems, in this case, an upper sensor module and the lower sensor module positional deviation of the pixel there is a problem that occurs between.

すなわち、X線発生部からスリットによって略三角形状のスクリーン状となって照射され被検査物を透過したX線は、X線発生部の直下においては上側および下側のセンサモジュールに対して垂直に入射するが、X線発生部から遠い部位のセンサモジュールにおいては、X線が角度をもって入射するため、上側のセンサモジュールを通過したX線は、X線画像において位置が一致するその直下の下側のセンサモジュールではなく、X線画像において位置がズレたところの下側のセンサモジュールに入射してしまう。 That, X-rays transmitted through the irradiated in a substantially triangular shape of the screen-like object to be inspected by the slit from the X-ray generation unit is perpendicular to the upper and lower sensor module immediately below the X-ray generator is incident, in the distant site sensor module from X-ray generation unit, since the X-rays are incident at an angle, X-rays having passed through the upper sensor module, the lower right below the position in the X-ray image matches in the sensor module not, thus enters the lower sensor module at which the shift position in the X-ray image.

このため、異物を検出するために上側のセンサモジュールから得たX線透過データと下側のセンサモジュールから得たX線透過データとの差分を算出した場合に、上記の位置ズレによって異物の信号が隣接する他素子に拡がってしまい正しく差分されないため、異物検出の感度が低下してしまう恐れがあった。 Therefore, when calculating a difference between the X-ray transmission data obtained from the X-ray transmission data and the lower sensor module obtained from the upper sensor module for detecting foreign objects, foreign object signal by the position deviation of the because but not correctly difference will spread to other elements adjacent the sensitivity of the foreign object detection there may decrease.

そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、複数のセンサモジュールを縦に並べて配置したX線検出部を用いた場合に、各センサモジュールからのX線透過データの位置ズレを防止して高感度に異物を検出することができるX線検出器およびX線検査装置を提供することを目的とする。 The present invention, in the case of using the conventional problem which has been made to solve the, X-rays detector which is arranged a plurality of sensor module vertically as described above, X-rays from each sensor module it prevents the positional deviation of the transmission data detecting foreign objects with a high sensitivity and to provide an X-ray detector and X-ray inspection apparatus capable.

本発明に係るX線検出器は、入射するX線の強度に基づいて、第1のX線透過データを出力する複数のセンサモジュールを含む第1のセンサモジュール群および第2のX線透過データを出力する複数のセンサモジュールを含む第2のセンサモジュール群と、を有し、前記第1のセンサモジュール群と前記第2のセンサモジュール群とが、入射する前記X線の入射方向に重なって配置されたX線検出器であって、前記第1のセンサモジュール群の各センサモジュールおよび前記第2のセンサモジュール群の各センサモジュールは、それぞれ所定間隔でそれぞれ一列に配置されていて、前記所定間隔は、前記第1のセンサモジュール群の各センサモジュールと、該センサモジュールのそれぞれに対応させた前記第2のセンサモジュール群の各セン X-ray detector according to the present invention, based on the intensity of X-rays incident, the first sensor module group and the second X-ray transmission data including a plurality of sensor module that outputs a first X-ray transmission data and a second sensor module group including a plurality of sensor module for outputting said a first sensor module group and the second sensor modules is overlapped with the incident direction of the X-rays incident a arranged X-ray detector, each sensor module of the first sensor module each sensor module and the second sensor modules of groups each being arranged in a row, respectively at predetermined intervals, the predetermined interval, said the first of each sensor module of the sensor modules, each sensor of said second sensor modules made to correspond to each of the sensor modules モジュールと、の各対応点をそれぞれ結んだ各方向線が集束領域で集束するようにそれぞれ決定されたことを特徴とする。 Wherein the modules and, each direction line connecting each respective corresponding points are determined respectively to focus in the focal region.

この構成により、並置した第1のセンサモジュール群と第2のセンサモジュール群との間で一対一の対応関係にある各センサモジュールをそれぞれ結んだ各方向線が集束する集束領域にX線発生源を設けたときに、ともに同一の方向から入射してくるX線を検出することができるようになるから、第1のセンサモジュール群からの第1のX線透過データと第2のセンサモジュール群からの第2のX線透過データの位置ズレを防止して高感度に異物を検出することができる。 This configuration, X-rays source to the focusing region in which the first sensor module group and the direction line connecting each respective sensor module in a one-to-one correspondence relationship between the second sensor modules juxtaposed is focused when the provided, because both it is possible to detect the X-rays coming incident from the same direction, the first X-ray transmission data and the second sensor module group from the first sensor module group positional displacement of the second X-ray transmission data from it is possible to detect the foreign matter to high sensitivity prevented.

また、各方向線は、各センサモジュールの中点同士や一端同士といった各対応点を結んだものであって、例えばセンサモジュールに含まれる素子数などに応じて何れの対応点を用いるかを選択するとよい。 Also, choose each direction line, be those connecting the corresponding points such as midpoints and one ends of the sensor module, use any of the corresponding points depending on the number of elements included in the example sensor module Then good. すなわち、モジュールに含まれる素子数が多い場合には、中点同士を対応点とすることにより、位置ズレが最大となる両端でのズレ量を小さく抑えることができる。 That is, when the number of elements included in the module is large, by the midpoints between corresponding points can misalignment is minimized the amount of deviation at both ends of the maximum. 一方、各モジュールに含まれる素子数が小さく他端でのズレ量が許容できる範囲である場合には、センサモジュールの一端同士を対応点とすることにより、各センサモジュールの配置を端部の位置により容易に決定することができ、いずれであっても、それぞれ複数のセンサモジュールからなる第1のセンサモジュール群および第2のセンサモジュール群からそれぞれ出力される第1のX線透過データと第2のX線透過データとの位置ズレを防止することができる。 On the other hand, if the number of elements contained in each module is in the range of displacement amount can be tolerated in small other end, by the one ends of the sensor module and the corresponding points, positions of the end portions of the arrangement of the respective sensor module the can be readily determined, be any, the first X-ray transmission data and the second output respectively from the first sensor module group and the second sensor modules each comprising a plurality of sensor module it is possible to prevent positional deviation between the X-ray transmission data.

また、本発明に係るX線検査装置は、被検査物に照射され該被検査物を透過したX線の透過量から前記被検査物中の異物を検出するX線検査装置であって、X線源から前記被検査物が通過する領域に向けてX線を照射するX線発生部と、前記被検査物の搬送方向と直交する方向にともに配列され、前記X線発生部から照射されて前記被検査物を透過したX線を受け該X線の透過量に基づいて、第1のX線透過データを出力する複数のセンサモジュールを含む第1のセンサモジュール群および第2のX線透過データを出力する複数のセンサモジュールを含む第2のセンサモジュール群と、を有し、前記第1のセンサモジュール群と前記第2のセンサモジュール群とが前記X線の透過する方向に沿って並置されたX線検出器と、前記第1のX線透 Also, X-ray inspection apparatus according to the present invention is the X-ray inspection apparatus for detecting foreign matter the inspection object in the amount of transmitted X-rays transmitted through the irradiated obtaining step was the object to be inspected, X an X-ray generator for irradiating X-rays from the source toward the region where the object to be inspected passes, both arranged in a direction perpendicular to the transport direction of the object to be inspected, is irradiated from the X-ray generator on the basis of the transmission amount of the X-ray receiving the X-rays transmitted through the object to be inspected, the first sensor module group and the second X-ray transmission including a plurality of sensor module that outputs a first X-ray transmission data and a second sensor module group including a plurality of sensor module for outputting data, and juxtaposed along the direction in which the a first sensor module group and the second sensor modules is transmitted in the X-ray and X-ray detectors, the first X-ray transmission データに基づく第1の画像データと前記第2のX線透過データに基づく第2の画像データとを用いて画像演算した画像に基づいて前記被検査物中の異物を検出する制御部と、を備え、前記第1のセンサモジュール群の各センサモジュールに対応する前記第2のセンサモジュール群の各センサモジュールは、前記X線の透過する方向に基づいて決定された間隔を相互に隔てて配置したことを特徴とする。 A control unit for detecting a foreign matter of the object to be inspected in based on the image picture arithmetic by using the second image data and the first image data based on the data based on the second X-ray transmission data, the provided, each sensor module of the second sensor module group corresponding to each sensor module of the first sensor modules placed the intervals determined based on the direction of transmission of the X-rays separated from one another it is characterized in.

この構成により、第1のセンサモジュール群と第2のセンサモジュール群からのX線透過データの位置ズレを防止して高感度に異物を検出することができる。 With this configuration, it is possible to detect the foreign matter to prevent positional deviation of the X-ray transmission data from the first sensor module group and the second sensor modules with high sensitivity.

また、本発明に係るX線検査装置は、前記センサモジュールは、X線を可視光に変換するシンチレータと、前記シンチレータにより変換された可視光を受光してX線の透過量に対応したX線透過データを出力する複数の受光素子と、をそれぞれ備え、前記第1のセンサモジュールは、前記シンチレータで変換後の可視光を前記X線の透過する方向とは異なる方向に反射させる可視光反射体を有することを特講とする。 Also, X-ray inspection apparatus according to the present invention, the sensor module includes a scintillator which converts X-rays into visible light, X-rays corresponding to the transmission amount of X-rays by receiving the visible light converted by the scintillator comprising a plurality of light receiving elements for outputting the transmission data, respectively, the first sensor module, a visible light reflector for reflecting in a direction different from the direction of transmission of the X-ray visible light converted by the scintillator and Special Lecture in that it has.

この構成により、受光素子を可視光反射体によるX線の反射方向に配置することができるので、センサモジュールの高さを抑制することができる。 By this structure, it is possible to arrange the light receiving element in the direction of reflection of X-rays by the visible light reflector, it is possible to suppress the height of the sensor module.

また、本発明に係るX線検査装置は、前記第1のセンサモジュール群の各センサモジュールの受光素子と前記第2のセンサモジュール群の各センサモジュールの受光素子とでX線の透過位置が互いに一致するよう前記第2のセンサモジュール群の各センサモジュールの複数の受光素子の間隔を相互に隔てて配置したことを特徴とする。 Also, X-ray inspection apparatus according to the present invention, the transmission position of the X-rays and the light receiving element of the sensor module of the second sensor module group and the light receiving element of the sensor module of the first sensor modules to each other wherein the spacing of the plurality of light receiving elements of the sensor module of the second sensor modules to match the spaced from one another.

この構成により、受光素子毎にX線の通過位置が一致することとなり、X線透過データの位置ズレをより一層防止して更に高感度に異物を検出することができる。 With this configuration, the fact that the passing position of the X-ray coincides with each light receiving element, the foreign matter can be detected in the more sensitive and more prevent the displacement of the X-ray transmission data.

本発明は、複数のセンサモジュールを縦に並べて配置したX線検出部を用いた場合に、各センサモジュールからのX線透過データの位置ズレを防止して高感度に異物を検出することができるX線検出器およびX線検査装置を提供することができる。 The present invention can detect a foreign matter more than one sensor module when using the X-ray detector which is arranged vertically, the high sensitivity by preventing the positional deviation of the X-ray transmission data from each sensor module it is possible to provide an X-ray detector and X-ray examination apparatus.

本発明の一実施の形態に係るX線検査装置の概略構成を示す斜視図である。 Is a perspective view showing an outline of an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態に係るX線検査装置の側面および内部構成を示す図である。 It shows a side and the internal structure of the X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. X線検査装置の検出部の構成を示す図である。 It is a diagram showing a configuration of a detector of the X-ray inspection apparatus. (a)、(b)は、X線検出器の横方向の構成を示す図である。 (A), (b) is a diagram showing the lateral configuration of the X-ray detector. X線検出器の縦方向の構成を示す図である。 Is a diagram illustrating the vertical structure of the X-ray detector. X線検出器の他の縦方向の構成を示す図である。 It shows another longitudinal configuration of the X-ray detector. X線検出器の他の縦方向の構成を示す図である。 It shows another longitudinal configuration of the X-ray detector.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

まず構成について説明する。 First, description will be given of a configuration.

図1に示すように、X線検査装置1は、搬送部2と検出部3とを筐体4の内部に備え、表示部5を筐体4の前面上部に備えている。 As shown in FIG. 1, X-ray inspection apparatus 1, a conveying unit 2 and the detector 3 in the housing 4, a display unit 5 on the front upper portion of the casing 4.

搬送部2は、被検査物Wを所定間隔をおいて順次搬送するものである。 Conveying section 2 is configured to convey the object W sequentially at predetermined intervals. この搬送部2は、例えば筐体4に対して水平に配置されたベルトコンベアにより構成されている。 The conveying section 2 is made of, for example, a horizontally arranged belt conveyor with respect to the casing 4. 搬送部2は、図1に示す駆動モータ6の駆動により予め設定された搬送速度で搬入口7から搬入された被検査物Wを搬出口8側(図中X方向)に向けて搬送面としてのベルト面2a上を搬送させるようになっている。 Conveyance section 2, a conveyance surface toward the object W which is carried from the carry port 7 at a preset transport speed by the drive motor 6 shown in FIG. 1 port 8 side (X direction in the figure) It has been on the belt surface 2a so as to be conveyed. 筐体4の内部においてベルト面2a上を搬入口7から搬出口8まで貫通する空間は搬送路21を形成している。 Space penetrating in the housing 4 on the belt surface 2a from inlet port 7 to the port 8 forms a conveying path 21.

検出部3は、順次搬送される被検査物Wに対し、搬送路21の途中の検査空間22においてX線を照射するとともに被検査物Wを透過するX線を検出するものであり、搬送路21途中の検査空間22の上方に所定高さ離隔して配置されたX線発生部9と、搬送部2内にX線発生部9と対向して配置されたX線検出器10を備えている。 Detector 3, to the test object W to be sequentially transported, which detects X-rays transmitted through the object W with irradiation with X-rays in the examination space 22 in the middle of the conveying path 21, the conveying path includes 21 and X-ray generation unit 9 which are spaced a predetermined height above the middle of the examination space 22, the X-ray detector 10 arranged to face the X-ray generating unit 9 in the conveyance unit 2 there.

X線発生源としてのX線発生部9は、金属製の箱体11の内部に設けられた円筒状のX線管12を図示しない絶縁油に浸漬した構成を有しており、X線管12の陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてX線を生成している。 X-ray generation unit as an X-ray source 9 has a structure immersed in insulating oil, not shown a cylindrical X-ray tube 12 provided inside the metal box body 11, X-ray tube 12 electron beam from cathode by irradiating the anode target is generating the X-ray. X線管12は、その長手方向が被検査物Wの搬送方向(X方向)となるよう配置されている。 X-ray tube 12 has its longitudinal direction is arranged so that the conveying direction of the object W (X direction). X線管12により生成されたX線は、下方のX線検出器10に向けて、図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状となって搬送方向(X方向)を横切るように照射されるようになっている。 X-rays generated by the X-ray tube 12, toward the X-ray detector 10 of the lower, so as to be irradiated across the conveying direction in a substantially triangular shape of the screen-like by a not-shown slit (X direction) It has become.

X線検出器10は、図3に示すように、幅方向、すなわち搬送される被検査物Wの搬送方向(X方向)の平面上で搬送方向と直交するY方向に複数の検出素子が一直線上に配置されたものである。 X-ray detector 10, as shown in FIG. 3, the width direction, i.e., a plurality of detecting elements one straight in the Y direction perpendicular to the transport direction on the plane in the conveying direction of the object W to be conveyed (X direction) in which are arranged in a line. 具体的には、X線検出器10は、被検査物Wの搬送方向(X方向)の平面上で直交する方向(Y方向)に直線状に延在する上段のセンサモジュール群102および下段のセンサモジュール群101をX線の照射方向に沿って配置したものから構成されている。 Specifically, X-rays detector 10 linearly in the upper extending sensor modules 102 and lower in a direction orthogonal on a plane in the conveying direction of the object W (X direction) (Y-direction) It is constructed of the sensor modules 101 from those arranged along the irradiation direction of the X-ray. X線検出器10には、被検査物Wに向けて照射され透過するX線が入射するようになっている。 The X-ray detector 10, X-rays transmitted through the irradiated toward the object W is made incident. X線検出器10は、センサモジュール群102で検出されるX線の強度に基づいて、第1のX線透過データを出力し、センサモジュール群101で検出されるX線の強度に基づいて、第2のX線透過データを出力するようになっている。 X-ray detector 10 based on the intensity of X-rays detected by the sensor modules 102, and outputs the first X-ray transmission data, based on the intensity of X-rays detected by the sensor modules 101, and it outputs a second X-ray transmission data.

図2に示すように、搬送路21内の天井部21aには、搬送方向(X方向)に沿って複数個所にX線遮蔽用の遮蔽カーテン16が吊り下げ配置されている。 As shown in FIG. 2, the ceiling portion 21a of the conveying path 21, shielding curtain 16 for X-ray shielding is located suspended at a plurality of locations along the transport direction (X direction). 遮蔽カーテン16は、X線を遮蔽する鉛粉を混入したゴムシートをのれん状(上部が繋がっており下部が帯状に分割された状態)に加工したものから構成されており、検査空間22から搬送路21を介してX線が筐体4の外部に漏えいすることを防止するものである。 Shielding curtain 16 is constituted by those working rubber sheet obtained by mixing lead powder to shield the X-ray goodwill shape (state in which the lower and connected upper is divided into strip-shaped), conveyed from the examination space 22 X-ray through the road 21 is intended to prevent the leakage to the outside of the housing 4. 遮蔽カーテン16は、本実施の形態では、搬入口7と検査空間22との間、および検査空間22と搬出口8との間にそれぞれ2枚ずつ設けられており、1つの遮蔽カーテン16が被検査物Wと接触して弾性変形して隙間が生じた場合でも、他の遮蔽カーテン16がX線を遮蔽するので漏えい基準量を超えることなくX線の漏えいを防止できるようになっている。 Shielding curtain 16, in this embodiment, between the inlet port 7 and the inspection space 22, and the examination space 22 is provided by two sheets each between the port 8, one shielding curtain 16 to be even if the gap in contact with the inspected object W and the elastic deformation occurs, other shielding curtain 16 is enabled to prevent the leakage of X-rays without exceeding the leakage reference amount so to shield X-rays. 搬送路21における遮蔽カーテン16により囲まれた内側の空間が検査空間22を構成している。 Inner space surrounded by the shielding curtain 16 in the transport path 21 constitutes the examination space 22.

X線検査装置1は、X線検出器10からのX線透過データが入力されるとともに被検査物W中の異物の有無を検査する制御部40と、制御部40による検査結果等を表示出力する表示部5と、制御部40への各種パラメータ等の設定入力を行う設定部45とを備えている。 X-ray inspection apparatus 1 includes a control unit 40 for inspecting the presence or absence of foreign matter in the object to be inspected W with X-ray transmission data from the X-ray detector 10 is input, displays the test results or the like by the control unit 40 outputs a display unit 5 for, and a setting unit 45 for setting input of various parameters to the control unit 40.

制御部40は、CPUやメモリなどを備えて構成されており、X線検出器10から受け取った濃度データを記憶する記憶部42と、記憶部42から読み出した濃度データに対して合成や各種フィルタ等の画像処理を施す画像処理部43と、画像処理された濃度データに対して被検査物Wと異物との判別を行って異物の混入の有無を判定する判定部44と、を備えている。 Control unit 40 is configured to include a CPU and a memory, a storage unit 42 for storing the density data received from the X-ray detector 10, the synthesis and various filters on the read density data from the storage unit 42 an image processing unit 43 performs image processing and the like, and a determination unit 44 determines the presence or absence of contamination of foreign substances carried out discrimination between object W and the foreign matter, the the image processing density data .

設定部45は、ユーザが操作する複数のキーやスイッチ等で構成され、制御部40への各種パラメータ等の設定入力や動作モードの選択を行うものである。 Setting unit 45 is composed of a plurality of keys and switches or the like operated by the user, and performs setting input and the operation mode selection, such as various parameters of the control unit 40.

表示部5は、平面ディスプレイ等から構成されており、制御部40による検査結果の表示を行うようになっている。 The display unit 5 is constituted by a flat display or the like, so as to display a test result by the control unit 40. また、表示部5は、被検査物Wの良否判定結果を「OK」や「NG」等の文字または記号で表示するとともに、総検査数、良品数、NG総数などの検査結果を、既定設定として、または、設定部45からの所定のキー操作による要求に基づいて表示するようになっている。 Further, the display section 5, and displays the quality determination result of the object W with letters or symbols such as "OK" or "NG", the total number of check, conforming items, the test results, such as NG count, the default settings as, or, it adapted to display based on the request by the predetermined key operation from the setting unit 45.

図3、図4(a)、図4(b)に示すように、X線検出器10は、幅方向に配列された複数のセンサモジュール102a、102b、102c、・・・からなるセンサモジュール群102と、幅方向に配列された複数のセンサモジュール101a、101b、101c、・・・からなるセンサモジュール群101と、を備え、さらにセンサモジュール群102とセンサモジュール群101とを、X線の照射方向に沿って並置した構成となっている。 3, as shown in FIG. 4 (a), FIG. 4 (b), X-ray detector 10 includes a plurality of sensor module 102a arranged in the width direction, 102b, 102c, the sensor modules consisting of ... and 102, a plurality of sensor module 101a arranged in the width direction, 101b, 101c, and the sensor modules 101 consisting of ..., and includes, a further sensor module group 102 and the sensor modules 101, the X-ray irradiation and it has a configuration which is juxtaposed along the direction. X線の照射方向とは、本実施の形態では、概ねベルト面2aにおける高さ方向となる。 The irradiation direction of the X-ray, in the present embodiment, substantially the height direction on the belt surface 2a. 換言すると、X線検出器10は、幅方向と高さ方向の双方に複数のセンサモジュールを配列した構成となっている。 In other words, X-rays detector 10 has a configuration in which a plurality of sensor module in both the width direction and height direction.

センサモジュール群102は、上段、すなわちX線発生部9に近い側に配置されており、X線発生部9から照射されたX線を最初に受けるようになっている。 Sensor modules 102 is adapted to receive the upper, that is, it disposed closer to the X-ray generation unit 9, the first X-rays emitted from the X-ray generation unit 9. センサモジュール群101は、下段、すなわちセンサモジュール群102の下部でX線発生部9から遠い側に配置されており、X線発生部9から照射されセンサモジュール群102を通過したX線を受けるようになっている。 Sensor modules 101 may lower, that is disposed farther from the X-ray generating unit 9 in the lower portion of the sensor modules 102, to receive the X-rays that have passed through the sensor modules 102 are emitted from the X-ray generation unit 9 It has become.

上段のセンサモジュール群102を構成する各センサモジュール102a、102b、102c、・・・は、各センサモジュール102a、102b、102c、・・・で同一のサイズであるとともに、各センサモジュール102a、102b、102c、・・・間で隙間が空かないよう密接して配列されている。 Each sensor module 102a that constitutes the upper sensor modules 102, 102b, 102c, ..., each sensor module 102a, 102b, 102c, with the same size.., Each sensor module 102a, 102b, 102c, are closely arranged to no empty gap between .... 下段のセンサモジュール群101を構成する各センサモジュール101a、101b、101c、・・・は、各センサモジュール101a、101b、101c、・・・で同一のサイズであるとともに、照射方向に基づいて決定された間隔を相互に隔てて配置されている。 Each sensor module 101a constituting the lower sensor modules 101, 101b, 101c, ..., each sensor module 101a, 101b, 101c, with the same size., Is determined based on the irradiation direction the spacing are arranged at one another.

本実施の形態では、上段のセンサモジュール102aと下段のセンサモジュール101a、上段のセンサモジュール102bと下段のセンサモジュール101b、上段のセンサモジュール102cと下段のセンサモジュール101c(以下センサモジュール102d、101d以降についても同様)で、X線の透過位置が互いに一致するように、下段のセンサモジュール101a、101b、101c、・・・の間隔が設けられている。 In this embodiment, the upper sensor module 102a and the lower sensor module 101a, the upper sensor module 102b and the lower sensor module 101b, the upper sensor module 102c and the lower sensor module 101c (hereinafter sensor module 102d, the subsequent 101d in similar), as the transmission position of the X-rays are coincident with each other, the lower sensor module 101a, 101b, 101c, the interval ... are provided.

具体的には、図4(a)に示すように、X線の透過位置が上段のセンサモジュール102a、102b、102c、・・・と下段のセンサモジュール101a、101b、101c、・・・の中点同士となるように、これらの中点を対応点101ax、101bx、101cx、102ax、102bx、102cx、・・・とするとともに、X線発生部9から照射されたX線の方向線を対応線150として、対応線150が対応点101ax、101bx、101cx、102ax、102bx、102cx、・・・を透過するように、下段のセンサモジュール101a、101b、101c、・・・の間隔が設けられている。 Specifically, as shown in FIG. 4 (a), the transmission position of the X-ray upper sensor module 102a, 102b, 102c, ... and the lower sensor module 101a, 101b, 101c, in a ... as a point between, these midpoints corresponding points 101ax, 101bx, 101cx, 102ax, 102bx, 102cx, with a.., corresponding line direction line of the X-rays emitted from the X-ray generation unit 9 as 150, corresponding lines 150 corresponding points 101ax, 101bx, 101cx, 102ax, 102bx, 102cx, to transmit ..., lower sensor module 101a, 101b, 101c, the interval ... are provided .

または、図4(b)に示すように、X線の透過位置が上段のセンサモジュール102a、102b、102c、・・・と下段のセンサモジュール101a、101b、101c、・・・の一端同士となるように、これらの一端を対応点101ay、101by、101cy、102ay、102by、102cy、・・・とするとともに、X線発生部9から照射されたX線の方向線を対応線150として、対応線150が対応点101ay、101by、101cy、102ay、102by、102cy、・・・を透過するように、下段のセンサモジュール101a、101b、101c、・・・の間隔が設けられている。 Alternatively, as shown in FIG. 4 (b), it becomes the transmission position of the X-ray upper sensor module 102a, 102b, 102c, ... and the lower sensor module 101a, 101b, 101c, and one ends of ... as such, these end corresponding points 101ay, 101by, 101cy, 102ay, 102by, 102cy, as well as a., the direction line of the X-rays emitted from the X-ray generation unit 9 as the corresponding lines 150, the corresponding line 150 corresponding points 101ay, 101by, 101cy, 102ay, 102by, 102cy, to transmit ..., lower sensor module 101a, 101b, 101c, the interval ... are provided.

すなわち、上下に対応する各センサモジュールの対応点を結んだ各方向線が集束領域に集束していることにより、この集束領域にX線発生部9を配置すれば、逆にX線発生部9の側から見たときに上下に対応する各センサモジュールが同じ方向に重なって配置されていることになるから、X線発生部9から照射されたX線の対応線150のうち上段のセンサモジュール102aを通過する対応線150が下段のセンサモジュール101aを通過し、上段のセンサモジュール102bを通過する対応線150が下段のセンサモジュール101bを通過し、上段のセンサモジュール102cを通過する対応線150が下段のセンサモジュール101cを通過する(以下同様)ように、下段のセンサモジュール101a、101b、101c、・・ That is, when the direction line connecting the corresponding points of each sensor module corresponding to the vertical is focused at the focal region, by disposing the X-ray generation unit 9 to the focus region, the X-ray generation unit Conversely 9 upper sensor module among because each sensor module is that they are arranged to overlap in the same direction, the corresponding line 150 of the X-rays emitted from the X-ray generation unit 9 corresponding to the vertical when viewed from the side of the 102a passes the sensor module 101a corresponding line 150 is lower to pass through the corresponding line 150 passing through the upper sensor module 102b passes the lower sensor module 101b, the corresponding line 150 passing through the upper sensor module 102c passes the lower sensor module 101c in (hereinafter the same) as, lower sensor module 101a, 101b, 101c, · · の間隔が設けられている。 Interval of it is provided.

ここで、X線発生部9と上段のセンサモジュール群102との垂直距離をL、上段のセンサモジュール群102と下段のセンサモジュール101との距離をd、下段の各センサモジュール101a、101b、101c、・・・内の配列された複数の受光素子(フォトダイオード)の素子数をa、配列方向の素子サイズをb、下段のセンサモジュール101a、101b、101c、・・・の間隔をXとすると、X線発生器9の直下の下段のセンサモジュールとこのセンサモジュールから1つ遠い側のセンサモジュールとの間隔Xを、X=abd/Lとすることにより、センサモジュールの両端での画像ズレを小さくできるようになる。 Here, X-rays generating section 9 and the upper sensor L the vertical distance between the modules 102, the distance between the upper sensor modules 102 and the lower sensor module 101 d, the lower the sensor module 101a, 101b, 101c , the number of elements of the arrayed plurality of light receiving elements in ... (photodiodes) a, the element size of the array direction b, the lower of the sensor module 101a, 101b, 101c, when the distance ... and X , the distance X between the lower sensor module and sensor module of one side away from the sensor module immediately below the X-ray generator 9, by the X = abd / L, the image shift at both ends of the sensor module so it can be reduced. 例えば、L=550mm、d=3mm、a=128個、b=0.8mmのとき、X=0.55mmとなる。 For example, L = 550mm, d = 3mm, a = 128 pieces, when b = 0.8 mm, the X = 0.55 mm. また、X線発生器9の直下の下段のセンサモジュールからn(自然数)番目のセンサモジュールとこのセンサモジュールから1つ遠い側のセンサモジュールとの間隔Xnは、Xn=n・abd/Lとなる。 The distance Xn between the lower sensor module from n (natural number) -th sensor module with one far side sensor module from the sensor module immediately below the X-ray generator 9 becomes Xn = n · abd / L .

このように、X線の透過位置が互いに一致するように、下段のセンサモジュール101a、101b、101c、・・・の間隔を設けることにより、上段のセンサモジュール102a、102b、102c、・・・と下段のセンサモジュール101a、101b、101c、・・・からのX線透過データの位置ズレを防止して高感度に異物を検出することができる。 Thus, as the transmission position of the X-rays are coincident with each other, the lower sensor module 101a, 101b, 101c, by providing a distance ..., upper sensor module 102a, 102b, 102c, and ... it is possible to detect the foreign matter lower sensor module 101a, 101b, 101c, to prevent positional deviation of the X-ray transmission data from ... to high sensitivity.

なお、下段のセンサモジュール101a、101b、101c、・・・に間隔を設けることに加えて、更に、上段のセンサモジュール102aの各受光素子123(図5参照)と下段のセンサモジュール101aの各受光素子113(図5参照)との間でも、X線の透過位置が互いに一致するように、下段のセンサモジュール101aの各受光素子113に間隔を設けてもよい。 Incidentally, the lower sensor module 101a, 101b, 101c, in addition to providing a spacing ... further (see FIG. 5) each of the light receiving element 123 of the upper sensor module 102a and the light receiving of the lower sensor module 101a also between the element 113 (see FIG. 5), as the transmission position of the X-rays are coincident with each other, may be provided with a distance to each light receiving element 113 of the lower sensor module 101a. この場合、受光素子毎にX線の通過位置が一致することとなり、X線透過データの位置ズレをより一層防止して更に高感度に異物を検出することができる。 In this case, it is possible to pass the position of the X-ray for each light receiving element is decided to match, detects a foreign substance in a higher sensitivity by further prevent displacement of the X-ray transmission data.

以下、センサモジュール群102、101のそれぞれのうち、1つのセンサモジュール102a、101aを例に詳細を説明する。 Hereinafter, among the respective sensor modules 102 and 101, will be described in detail one sensor module 102a, the 101a as an example. なお、センサモジュール群102のセンサモジュール102a以外のセンサモジュール102b、102c、・・・もセンサモジュール102aと同様に構成され、センサモジュール群101のセンサモジュール101a以外のセンサモジュール101b、101c、・・・もセンサモジュール101aと同様に構成されている。 The sensor module 102a other sensor module 102b of the sensor modules 102, 102c, · · · also configured similarly to the sensor module 102a, the sensor module 101b other than the sensor module 101a of the sensor modules 101, 101c, · · · It is configured similarly to the sensor module 101a also.

図5に示すように、センサモジュール102aは上段に設けられ、センサモジュール101aは下段に設けられている。 As shown in FIG. 5, the sensor module 102a is provided in the upper, the sensor module 101a is provided in the lower. 上段のセンサモジュール102aには、シンチレータ121と、受光素子123が設けられている。 In the upper part of the sensor module 102a, a scintillator 121, a light receiving element 123 is provided. 下段のセンサモジュール101aには、X線フィルタ110と、シンチレータ111と、受光素子113が設けられている。 In the lower part of the sensor module 101a, an X-ray filter 110, a scintillator 111, a light receiving element 113 is provided. なお、図5は概略図であり、通常は、シンチレータ(121、111)と受光素子(123、113)とは、それぞれ密着して設けられる。 Note that FIG. 5 is a schematic view, generally, the scintillator (121, 111) and the light receiving element (123,113) is provided in close contact, respectively.

受光素子123、113は、ライン状に図の奥行方向に複数配列されており、フォトダイオードからなる。 The light receiving element 123,113 is arrayed in the depth direction of FIG linearly, a photodiode. X線フィルタ110、シンチレータ121、111についても受光素子123、113の配列に沿って図中奥行方向に所定長を有している。 X-ray filter 110 has a predetermined length in the drawing depth direction along the arrangement of the light receiving elements 123,113 also scintillator 121, 111.

X線フィルタ110は、X線の線質を異ならせる線質可変体で構成されており、このX線フィルタ110は、例えば、アルミニウムや銅などの金属や、カーボンや樹脂材を薄板状に形成したものから構成されている。 X-ray filter 110 is configured by Senshitsu variable member to vary the radiation quality of the X-ray, the X-ray filter 110, for example, formed metal or such as aluminum or copper, carbon and a resin material into a thin plate It is constructed from those. このX線フィルタ110は、センサモジュール101aで受ける所定の帯域のX線エネルギーを減衰させるようになっている。 The X-ray filter 110 is adapted to X-ray energy in a predetermined band received at the sensor module 101a to attenuate. この所定の帯域は、X線フィルタ110の材質等で設定することができ、例えば、X線発生部9から発生したX線のうち、必要なX線エネルギーの帯域のみのX線エネルギーを得ることができる。 The predetermined band may be set by the material of the X-ray filter 110, for example, among the X-rays generated from the X-ray generating unit 9, to obtain the X-ray energy of only the bandwidth of the required X-ray energy can. このため、所定のX線エネルギーを使用することにより、材質の異なる被検査物Wおよび異物の影を強調できるようになる。 Thus, by using a predetermined X-ray energy, it becomes possible to emphasize the shadow of different object W and the foreign matter in material.

なお、少なくともセンサモジュール101a側では、センサモジュール102a側で可視光に変換されなかったX線に対する線質を可変させることになる。 In the least sensor module 101a side, the radiation quality for X-rays not converted into visible light by the sensor module 102a side be varied. これにより、センサモジュール102aで受けるX線と、センサモジュール101aで受けるX線の線質を異ならせることとなる。 Thus, the X-rays received by the sensor module 102a, the varying the radiation quality of the X-rays received by the sensor module 101a.

上記構成のX線検査装置1の異物検出動作について説明する。 It will be described foreign substance detecting operation of the X-ray inspection apparatus 1 having the above configuration. 被検査物Wが搬送部2によって搬送される途中位置で被検査物WにX線発生部9からX線が照射される。 Object W is X-rays are irradiated from the X-ray generation unit 9 to object W in the middle position is transported by the transport section 2. このX線の照射に伴って被検査物Wを透過してくるX線は、各センサモジュール102a、101aによって検出される。 The X-rays X-rays with the irradiation coming through the object W, each sensor module 102a, is detected by 101a.

センサモジュール102aは、被検査物Wを透過してくるX線をシンチレータ121により光に変換する。 Sensor module 102a converts the X-rays coming through the object W by the scintillator 121 to the light. シンチレータ121で変換された光は、フォトダイオードである受光素子123によって受光される。 Converted light in the scintillator 121 is received by the light receiving element 123 is a photodiode. 各受光素子123は、受光した光を電気信号に変換して第1のX線透過データとして制御部40に出力する。 Each light receiving element 123 outputs to the control section 40 as the first X-ray transmission data by converting the received light into an electrical signal.

センサモジュール101aでは、センサモジュール102aで可視光に変換されなかったX線を受けるようになっている。 In the sensor module 101a, it is adapted to receive X-rays not converted into visible light by the sensor module 102a. センサモジュール101aが受けたX線はX線フィルタ110で線質が可変された後、シンチレータ111により光に変換される。 X-ray sensor module 101a is received after the beam quality has been varied in the X-ray filter 110, it is converted by the scintillator 111 to the light. シンチレータ111で変換された光は、フォトダイオードである受光素子113によって受光される。 Converted light in the scintillator 111 is received by the light receiving element 113 is a photodiode. 各受光素子113は、受光した光を電気信号に変換して第2のX線透過データとして制御部40に出力する。 Each light receiving element 113 outputs to the control unit 40 as a second X-ray transmission data by converting the received light into an electrical signal.

各センサモジュール102a、101aの受光素子123、113は、被検査物Wを透過したX線量に対応した第1のX線透過データおよび第2のX線透過データをそれぞれ出力する。 Receiving element 123,113 of each sensor module 102a, 101a outputs the first X-ray transmission data and the second X-ray transmission data corresponding to the amount of X-rays transmitted through the inspected object W, respectively. 制御部40は、このX線透過データに対応した濃淡階調を有する画像からなるX線透過画像を生成する。 Control unit 40 generates an X-ray image consisting of images having a gray tone that corresponds to the X-ray transmission data. また、制御部40は、センサモジュール102aが出力する第1のX線透過データと、センサモジュール101aが出力する第2のX線透過データとを画像展開し、双方のX線透過データに対応するX線透過画像を得る。 The control unit 40 includes a first X-ray transmission data sensor module 102a outputs and a second X-ray transmission data sensor module 101a is outputted image development, corresponding to both the X-ray transmission data obtaining an X-ray image. そして、制御部40は、2つのX線透過画像の重ね合わせ(対応する画素値の加算)を実行することにより異物の濃度を相対的に濃くし、被検査物Wに対し異物を強調し、異物を容易に抽出できるようにしている。 Then, the control unit 40, the concentration of foreign matter by performing superposition of two X-ray transmission image (addition of the corresponding pixel value) relative dark, stressed foreign substance to the object to be inspected W, the foreign substances so as to be easily extracted. なお、制御部40の画像処理では、重ね合わせ処理に限らず、差分(対応する画素値の減算)処理を実行してもよい。 In the image processing controller 40 is not limited to the superimposition processing, the difference may perform the processing (subtraction of the corresponding pixel value). 例えば、一方のX線透過画像から他方のX線透過画像の差分を実行すると、異物の濃度を残して被検査物Wの濃度を薄くすることができ、結果として重ね合わせ(対応する画素値の加算)をしたときとほぼ同様に異物を強調することができる。 For example, running the difference of the other X-ray transmission images from one X-ray image, leaving the concentration of foreign matter can be made thinner the concentration of the object W, superimposed as a result (the corresponding pixel value substantially the same manner as when the sum) can be emphasized foreign matter.

上記2つのセンサモジュール102a、101aは、単一のX線を基に、上下配置されてなる。 The two sensor modules 102a, 101a, based on the single X-ray, formed by vertically arranged. これにより、搬送部2上で搬送される被検査物Wを搬送方向に対し同時期に同一箇所のX線検出を行うことができる。 Thus, it is possible to perform X-ray detection of the same place at the same time with respect to the transporting direction of the object W to be conveyed on the conveying section 2.

したがって、これらセンサモジュール102a、101aにおける各X線透過画像の間で搬送方向でのズレが生じることがない。 Therefore, never deviation occurs in the conveying direction between the X-ray transmission image in these sensor module 102a, 101a. よって、制御部40における両画像データの重畳(あるいは差分)処理を簡単に実行することができるので、両画像データを整合させるための電気的遅延処理等を不要にすることができ、簡単に異物を抽出することができる。 Thus, since the superposition (or difference) processing of both the image data in the control unit 40 can be easily performed, it is possible to dispense with electric delay processing or the like for matching both the image data, simply the foreign matter it can be extracted. また、被検査物Wが搬送中に変形した場合には、双方のX線透過画像がいずれも変形に応じて同様に変形するため、両画像の整合を図ることができる。 Further, when the object W is deformed during transportation, since both the X-ray transmission image is deformed similarly according to any deformation, it can be matched between the images.

そして、制御部40では、上記画像処理後のX線透過データに基づき、被検査物W中(表面も含む)に異物があるか否かを判別し、この判別結果から良品(異物なし)または不良品(異物あり)を示す選別信号などを出力する。 Then, the control unit 40, based on X-ray transmission data after the image processing, to determine whether the object W in (including surface) there is foreign matter, good from the discrimination result (no foreign matter) or defective output and sorting signal indicating the (foreign object present). そして、上記検査を終えた被検査物Wは搬出された後、後段の選別装置等により制御部40から出力される選別信号に応じて良品と不良品とに選別される。 After the inspection object W which has finished the test is taken out, are sorted into the molded product is good or defective in accordance with the selection signal output from the control unit 40 by the subsequent sorting device.

また、X線検出器10にて複数のセンサモジュール102a、101aを有するが、X線発生部9に関しては単一であるため、X線発生部9とX線検出器10を複数設けることなく異なる線質のX線に基づく異物検出を行うことができるため、コストを抑えつつ上記異物検出を行えるようになる。 Further, a plurality of sensor module 102a in the X-ray detector 10 has a 101a, since the X-ray generating unit 9 is a single, different without providing a plurality of X-ray generation unit 9 and the X-ray detector 10 it is possible to execute contaminant detection based on X-ray of the radiation quality, will allow the foreign matter detection while suppressing the cost.

センサモジュール102a、101aによる異物検出の具体例について説明する。 Sensor module 102a, a specific example of the foreign matter detection by 101a will be described. センサモジュール102aでは、X線フィルタ110がないので、透過量が減衰されていないX線を受け、このX線の透過量に応じた電気信号を制御部40に出力する。 In the sensor module 102a, there is no X-ray filter 110, the transmission amount is subjected to X-ray which is not attenuated, and outputs an electric signal corresponding to the transmission amount of the X-ray control unit 40. また、X線フィルタ110が設けられたセンサモジュール101aでは、透過量が減衰されたX線を受け、このX線の透過量に応じた電気信号を制御部40に出力する。 Further, in the sensor module X-ray filter 110 is provided 101a, it receives the X-rays transmitted amount is attenuated, and outputs an electric signal corresponding to the transmission amount of the X-ray control unit 40.

具体的には、加工食品である被検査物W中(表面も含む)にある異物として検出されるものとしては、加工食品に元からあった骨や貝殻等と、加工食品に元からあるはずのない金属等の場合が考えられる。 Specifically, those to be detected as a foreign object in the object W in (including surface) which is a processed food, and bones and shells such originally in processed foods, should be originally the processed food in the case of such as no metal is considered. この場合、透過量が減衰されていないX線を受けるセンサモジュール102a側で出力されるX線透過データには、X線を透過し易い被検査物Wおよび骨や貝殻等が強調され易くなる。 In this case, the X-ray transmission data transmission amount is output in the sensor module 102a side for receiving the X-rays that are not attenuated, easy inspection object through the X-ray W and bones and shells and the like is easily stressed. X線フィルタ110は、X線発生部9から発生したX線のうち、X線エネルギーの低い所定の帯域のみのX線エネルギーを減衰させ、異物における硬いものの影を強調できる。 X-ray filter 110, out of the X-rays generated from the X-ray generating unit 9, to attenuate the X-ray energy of only a predetermined band low X-ray energy, it emphasizes the shadow of hard objects in the foreign object. そのため、X線フィルタ110でX線エネルギーが低いところを削除されたX線(すなわち、高いX線エネルギー)を受けるセンサモジュール101a側のX線透過データには、X線を透過し難い金属について強調できるようになる。 Therefore, deleted X-rays at the X-ray energy is low in the X-ray filter 110 (i.e., high X-ray energy) on the X-ray transmission data of the sensor module 101a side to undergo, highlighted transmitted hard metal X-ray become able to.

これにより、制御部40では、センサモジュール102aとセンサモジュール101aからの両X線透過データに対し、所望する異物の種類に対応して複数の閾値を設定することにより、不良品と選別した被検査物Wの異物が、骨や貝殻など(小さい異物や薄い異物)のみであるか、あるいは金属などのみであるか、また、骨や貝殻など(小さい異物や薄い異物)および金属など双方を含むものであるかを判断でき、この判別信号を上記した良品と不良品の選別信号に加えて外部出力することもできるようになる。 Thus, the control unit 40, for both X-ray transmission data from the sensor module 102a and the sensor module 101a, by setting a plurality of threshold values ​​corresponding to the type of the desired foreign substance, the inspection was sorted as defective foreign matter object W is either only like bones and shells (small foreign materials or thin foreign material), or if the metal is only like, also is intended to include both such as bone and shells such as (small foreign materials or thin foreign material) and metal or it can determine, comprising the discrimination signal to be also be external output in addition to the selection signal of the good and defective products described above. 例えば、被検査物Wとして食品の「ハム」中に、異物の種類として「骨」、「金属」等の混入が考えられるが、これら異物の種別を含めて検出できるようになる。 For example, during the "hum" of food as the inspection object W, "bone" as the type of foreign matter, although inclusion of such "metal" can be considered, it becomes possible to detect, including the type of foreign matter.

したがって、上述したX線検査装置1では、異なる線質のX線を受けるセンサモジュール102a、101aを有することにより、X線を透過し易い異物(骨や貝殻などおよび小さい異物や薄い異物)と、X線を透過し難い異物(金属など)とをそれぞれ別に検出することが可能なため、検出すべき異物に制限されずに高精度な異物検出を行うことができる。 Therefore, the X-ray inspection apparatus 1 described above, the sensor module 102a for receiving the X-rays having different radiation qualities, by having 101a, and easy foreign object through the X-ray (and small foreign body or thin foreign materials such as bones and shells), because hardly transmitted through the X-ray inspection (such as metal) and a capable respectively detected separately, it is possible to perform highly accurate foreign object detection without being limited by the foreign object to be detected. また、上述したが、制御部40で両X線透過画像を、上記重畳あるいは差分処理することにより、被検査物Wに対し相対的に異物を強調する等の抽出処理を行うことができることは言うまでもない。 Although described above, both the X-ray transmission image control unit 40, by the superimposition or differential processing, it is possible to perform extraction processing, such as emphasizing the relative foreign substance to the object to be inspected W is needless to say There.

なお、上記は、一方のセンサモジュール101aにX線フィルタ110を設けX線の線質を変える構成について説明したが、このセンサモジュール101aにX線フィルタ110を設けず、センサモジュール102a、101aに設けるシンチレータ121、111に、それぞれX線−光変換特性が異なるものを用いる構成としてもよい。 The above has been described the configuration of changing the radiation quality of the X-ray is provided an X-ray filter 110 to one of the sensor modules 101a, without providing the X-ray filter 110 to the sensor module 101a, the sensor module 102a, provided 101a the scintillator 121, 111, respectively X-ray - light conversion characteristics may be configured to use different. この場合、センサモジュール102a、101aでは、それぞれX線の異なる帯域のX線透過量を検出することができ、X線フィルタ110を用いずとも同様に、各センサモジュール102a、101aで異なる種類の異物を検出することができる。 In this case, the sensor module 102a, 101a, it is possible to detect the X-ray transmission amount of different bands of X-ray, respectively, in the same manner without using the X-ray filter 110, each sensor module 102a, different types of foreign substances 101a it is possible to detect the. 同時に、制御部40によるX線透過画像の重畳、あるいは差分処理により被検査物Wに対して相対的に異物を強調させることもできるようになる。 At the same time, so it is also possible to emphasize the relatively foreign to object W superposing the X-ray image by the controller 40, or by differential processing.

図6に示すように、X線検出器10が上下に配置された2つのセンサモジュール103a、101aを備え、上段のセンサモジュール103aに可視光反射体132を設けるように構成してもよい。 As shown in FIG. 6, two sensor modules 103a to the X-ray detector 10 is arranged vertically, with the 101a, it may be configured in the upper part of the sensor module 103a to provide a visible light reflector 132. これらのセンサモジュール103a、101aも、図4の場合と同様に、X線発生部9から照射された単一のX線を受けるよう上下に配置されている。 These sensor modules 103a, 101a, similar to the case of FIG. 4, are arranged vertically so as to receive a single X-rays emitted from the X-ray generation unit 9.

図6において、下段のセンサモジュール101aは前述の説明と同様であるが、上段のセンサモジュール103aは、シンチレータ131と、可視光反射体132と、受光素子133とから構成されている。 In FIG. 6, the lower sensor module 101a is the same as the foregoing description, the upper sensor module 103a includes a scintillator 131, a visible light reflector 132, and a light receiving element 133. 受光素子133は、受光素子113と同様に、ライン状に図の奥行方向に配列された複数のフォトダイオードからなる。 The light receiving element 133, similar to the light receiving element 113, comprising a plurality of photodiodes arranged in the depth direction of FIG linearly. シンチレータ131、可視光反射体132についても受光素子133の配列に沿って図中奥行方向に所定長を有している。 The scintillator 131 has a predetermined length in drawing the depth direction along the arrangement of the light receiving element 133 for visible light reflector 132. 可視光反射体132は、全反射ミラーで構成され45度の角度傾斜して配置されている。 Visible light reflector 132 is disposed with an angle inclination of 45 degrees is constituted by a total reflection mirror.

上記構成においては、センサモジュール103aは、被検査物Wを透過してくるX線をシンチレータ131により光に変換する。 In the above arrangement, the sensor module 103a converts the X-rays coming through the object W by the scintillator 131 to the light. シンチレータ131で変換された光は、可視光反射体132により90度直交する水平方向に反射された後、受光素子133によって受光される。 Converted light in the scintillator 131 is reflected in the horizontal direction perpendicular 90 degrees by the visible light reflector 132, it is received by the light receiving element 133. 受光素子133の各フォトダイオードは、受光した光を電気信号に変換して制御部40に出力する。 Each photodiode of the light receiving element 133 outputs to the control unit 40 converts the received light into an electric signal. この受光素子133は、X線発生部9から照射されるX線を直接受けない位置に設けられているため、受光素子133の耐久性を向上することができる。 The light receiving element 133, because it is provided in a position not subjected to X-rays emitted from the X-ray generating unit 9 directly, it is possible to improve the durability of the light receiving element 133. また、センサモジュール101aでは、センサモジュール103aで可視光に変換されなかったX線を受けるようになっており、センサモジュール101aの受光素子113は、X線発生部9のX線を直接受ける下部位置に設けられているが、受けるX線自体がX線フィルタ110を介して減衰されるため、受光素子113の耐久性を向上することができる。 Further, in the sensor module 101a, and adapted to receive X-rays not converted into visible light by the sensor module 103a, the light receiving element 113 of the sensor module 101a includes a lower position where it receives the X-rays of the X-ray generation unit 9 directly Although provided, since the X-ray itself which receives is attenuated through the X-ray filter 110, it is possible to improve the durability of the light receiving element 113.

また、センサモジュール103aにおいて、シンチレータ131の下部に受光素子133ではなく可視光反射体132を配置し、シンチレータ131で変換された光が可視光反射体132により90度直交する水平方向に反射された後、受光素子133によって受光されるようになっているため、センサモジュール103aの高さを抑制することができる。 Further, in the sensor module 103a, a visible light reflector 132 instead receiving element 133 at the bottom of the scintillator 131 is disposed, the converted light in the scintillator 131 is reflected in the horizontal direction perpendicular 90 degrees by the visible light reflector 132 after, since adapted to be received by the light receiving element 133, it is possible to suppress the height of the sensor module 103a.

図7に示すように、X線検出器10に3つのセンサモジュール103a、104a、101aを設けて構成してもよい。 As shown in FIG. 7, X-ray detector 10 to the three sensor modules 103a, 104a, it may be configured by providing the 101a. これらのセンサモジュール103a、104a、101aも、図4の場合と同様に、X線発生部9から照射された単一のX線を受けるよう上下に配置されている。 These sensor modules 103a, 104a, 101a, similar to the case of FIG. 4, are arranged vertically so as to receive a single X-rays emitted from the X-ray generation unit 9.

図7において、最上段のセンサモジュール103aおよび最下段のセンサモジュール101aは前述の説明と同様であるが、中間に設けられるセンサモジュール104aは、センサモジュール101aとセンサモジュール103aを合わせた構成となっている。 7, the uppermost sensor module 103a and the bottom of the sensor module 101a is the same as in the above description, the sensor module 104a provided in the middle, and is configured to fit the sensor module 101a and the sensor module 103a there. すなわち、センサモジュール104aは、X線フィルタ140と、シンチレータ141と、可視光反射体142と、受光素子143とから構成されている。 That is, the sensor module 104a includes an X-ray filter 140, a scintillator 141, a visible light reflector 142, and a light receiving element 143. この中間のセンサモジュール104aおよび最下段のセンサモジュール101aに設けられるX線フィルタ140、110は、互いにX線に対する線質を異なるよう変更させるものを用いている。 The intermediate sensor module 104a and the X-ray filter 140,110 provided at the bottom of the sensor module 101a is used as changing the radiation quality differently to X-rays from each other. すなわち、中間のX線フィルタ140が減衰させるX線の所定帯域は、最下段のX線フィルタ130が減衰させるX線の所定帯域とは異なっている。 That is, a predetermined band of X-rays intermediate X-ray filter 140 attenuates the lowermost X-ray filter 130 is different from the predetermined band of X-ray attenuating.

中間のセンサモジュール104aでは、最上段のセンサモジュール103aで可視光に変換されなかったX線に対する線質を可変させる。 In the intermediate of the sensor module 104a, thereby varying the radiation quality for X-rays not converted into visible light by the top of the sensor module 103a. 最下段のセンサモジュール101aでは、最上段のセンサモジュール103aおよび中間のセンサモジュール104aで可視光に変換されなかったX線に対する線質を可変させる。 In the bottom of the sensor module 101a, thereby varying the radiation quality for X-rays not converted into visible light by the uppermost sensor module 103a and the intermediate sensor module 104a. これにより、各センサモジュール103a、104a、101aで受けるX線の線質をいずれも異ならせることとなる。 By this, the both varied each sensor module 103a, 104a, the radiation quality of the X-rays received by 101a.

このように、2段以上のセンサモジュール103a、104a、101aを上下に複数段配置させることにより、各センサモジュール103a、104a、101aでそれぞれX線の線質を異ならせ、対応して異なる種類の異物を強調して検出できるようになる。 Thus, two or more stages of the sensor module 103a, 104a, by a plurality of stages arranged 101a vertically, each sensor module 103a, 104a, respectively with different radiation quality of the X-rays at 101a, different types of correspondingly foreign matter becomes a detectable emphasized. 本発明では、下段のセンサモジュール101aに従い、X線エネルギーが減衰され柔らかい異物を強調して検出できるようになる。 In the present invention, in accordance with the lower of the sensor module 101a, X-ray energy is to be detected is emphasized soft foreign matter is attenuated. なお、2段以上のセンサモジュール103a、104a、101aをこのように複数段設けた構成であっても、いずれも単一のX線を受けるため、搬送部2を搬送する被検査物Wを常に同一箇所を同時に検出でき、制御部40における画像処理を容易に行うことができる。 Incidentally, two or more stages of the sensor module 103a, 104a, even 101a is thus constructed in which a plurality of stages of both for receiving a single X-ray, the object W to convey the conveyance unit 2 always same position can be detected simultaneously, image processing in the control unit 40 can be easily performed.

以上のように、本実施の形態に係るX線検出器10は、入射するX線の強度に基づいて、第1のX線透過データを出力する複数のセンサモジュール102a、102b、102c、・・・を含むセンサモジュール群102(第1のセンサモジュール群)および第2のX線透過データを出力する複数のセンサモジュール101a、101b、101c、・・・を含むセンサモジュール群101(第2のセンサモジュール群)と、を有し、センサモジュール群102とセンサモジュール群101とが、入射するX線の入射方向に重なって配置されたX線検出器10であって、センサモジュール群102の各センサモジュール102a、102b、102c、・・・およびセンサモジュール群101の各センサモジュール101a、101b、10 As described above, the X-ray detector 10 according to this embodiment, based on the intensity of X-rays incident, a plurality of sensor module 102a for outputting a first X-ray transmission data, 102b, 102c, · · sensor module group 102 including a · (first sensor modules) and a second plurality of sensor module 101a for outputting the X-ray transmission data, 101b, 101c, the sensor modules 101 including a ... (second sensor includes a module group), and each sensor of the sensor modules 102 and the sensor modules 101, an X-ray detector 10 arranged to overlap the incident direction of the X-rays incident, the sensor modules 102 modules 102a, 102b, 102c, ··· and each sensor module 101a of the sensor modules 101, 101b, 10 c、・・・は、それぞれ所定間隔でそれぞれ一列に配置されていて、この所定間隔は、センサモジュール群102の各センサモジュール102a、102b、102c、・・・と、これらセンサモジュール102a、102b、102c、・・・のそれぞれに対応させたセンサモジュール群101の各センサモジュール101a、101b、101c、・・・と、の各対応点をそれぞれ結んだ各方向線が集束領域で集束するようにそれぞれ決定されている。 c, ... are each are arranged in a row, respectively at predetermined intervals, the predetermined intervals, each sensor module 102a of the sensor modules 102, 102b, 102c, and ..., these sensor module 102a, 102b, 102c, each sensor module 101a of the sensor modules 101 to correspond to the respective · · ·, 101b, 101c, · · · and the respective direction line connecting respective corresponding points of each to focus at focal region It has been determined.

このため、並置したセンサモジュール群102(第1のセンサモジュール群)とセンサモジュール群101(第2のセンサモジュール群)との間で一対一の対応関係にある各センサモジュールをそれぞれ結んだ各方向線が集束する集束領域にX線発生源を設けたときに、ともに同一の方向から入射してくるX線を検出することができるようになるから、例えば、上段のセンサモジュール102cを透過したX線が対応する下段のセンサモジュール101cに入射することとなり、上段のセンサモジュール102a、102b、102c、・・・から出力される第1のX線透過データと下段のセンサモジュール101a、101b、101c、・・・から出力される第2のX線透過データとの位置ズレを防止できる。 Therefore, each direction that connects each respective sensor module in a one-to-one correspondence between the juxtaposed sensor module group 102 (first sensor modules) and the sensor modules 101 (second sensor modules) when provided with X-ray source in the focus region where the line is focused, since both will be able to detect the X-rays coming incident from the same direction, for example, transmitted through the upper sensor module 102c X line becomes to be incident on the corresponding lower part of the sensor module 101c, the upper sensor module 102a, 102b, 102c, the first X-ray transmission data and the lower sensor module 101a outputted from ···, 101b, 101c, the positional deviation between the second X-ray transmission data output can be prevented from .... そして、このX線検出器10から出力されるX線透過データを用いて演算処理することにより高感度に異物を検出することができるようになる。 Then, it is possible to detect the foreign substance with high sensitivity by arithmetic processing using the X-ray transmission data output from the X-ray detector 10.

また、各方向線は、各センサモジュールの中点同士や一端同士といった各対応点を結んだものであって、例えばセンサモジュールに含まれる素子数などに応じていずれの対応点を用いるかを選択するとよい。 Also, choose each direction line, be those connecting the corresponding points such as midpoints and one ends of the sensor module, using any of the corresponding points depending on the number of elements included in the example sensor module Then good. すなわち、モジュールに含まれる素子数が多い場合には、図4(a)のように、中点同士を対応点とすることにより、位置ズレが最大となる両端でのズレ量を小さく抑えることができる。 That is, when the number of elements included in the module is large, as shown in FIG. 4 (a), the by the midpoints between corresponding points, that misalignment is minimized the amount of deviation at both ends with a maximum it can. 一方、各モジュールに含まれる素子数が少なく他端でのズレ量が許容できる範囲である場合には、図4(b)のように、センサモジュールの一端同士を対応点とすることにより、各センサモジュールの配置を端部の位置により容易に決定することができ、いずれであっても、それぞれ複数のセンサモジュールからなるセンサモジュール群102(第1のセンサモジュール群)およびセンサモジュール群101(第2のセンサモジュール群)からそれぞれ出力される第1のX線透過データと第2のX線透過データとの位置ズレを防止することができる。 On the other hand, if the number of elements contained in each module is in the range of displacement amount is acceptable in less other end, as in FIG. 4 (b), by the one ends of the sensor module and the corresponding points, each the arrangement of the sensor module can be readily determined by the position of the end, be any one, respectively the sensor modules 102 comprising a plurality of the sensor module (first sensor modules) and the sensor modules 101 (a it is possible to prevent the second sensor module group) a first X-ray transmission data output respectively the misalignment of the second X-ray transmission data.

また、本実施の形態に係るX線検査装置1は、被検査物Wに照射されこの被検査物Wを透過したX線の透過量から被検査物W中の異物を検出するX線検出装置1であって、X線源から被検査物Wが通過する領域に向けてX線を照射するX線発生部9と、被検査物Wの搬送方向と直交する方向にともに配列され、X線発生部9から照射されて被検査物Wを透過したX線を受けこのX線の透過量に基づいて、第1のX線透過データを出力する複数のセンサモジュール102a、102b、102c、・・・を含むセンサモジュール群102および第2のX線透過データを出力する複数のセンサモジュール101a、101b、101c、・・・を含むセンサモジュール群101と、を有し、センサモジュール群102とセンサモジュール群101 Further, X-ray inspection apparatus 1 according to this embodiment, X-rays detector for detecting foreign matter in the object to be inspected W from transmission amount of X-rays transmitted through the object W is irradiated to the object W a 1, and X-ray generating unit 9 for emitting X rays toward the X-ray source in the area through which the object to be inspected W, are both arranged in a direction perpendicular to the conveying direction of the object W, X-ray based on the transmission amount of the irradiated undergoing X-rays transmitted through the object W the X-ray from the generator 9, a plurality of sensor module 102a for outputting a first X-ray transmission data, 102b, 102c, · · - a plurality of sensor module 101a for outputting the X-ray transmission data of the sensor modules 102 and the second containing, 101b, 101c, a sensor module group 101 including a ... has a sensor module group 102 and the sensor module group 101 がX線の透過する方向に沿って並置されたX線検出器10と、第1のX線透過データに基づく第1の画像データと第2のX線透過データに基づく第2の画像データとを用いて画像演算した画像に基づいて被検査物W中の異物を検出する制御部40と、を備え、センサモジュール群102の各センサモジュール102a、102b、102c、・・・に対応するセンサモジュール群101の各センサモジュール101a、101b、101c、・・・は、X線の透過する方向に基づいて決定された間隔を相互に隔てて配置している。 There the X-ray detector 10 juxtaposed along the direction of transmission of X-rays, a second image data based on the first image data and the second X-ray transmission data based on the first X-ray transmission data sensor module and a control unit 40 for detecting, with a corresponding each sensor module 102a of the sensor modules 102, 102b, 102c, in ... the foreign matter in the object W based on the image picture arithmetic with each sensor module 101a of the group 101, 101b, 101c, · · · are arranged at intervals determined on the basis of the direction of transmission of X-rays to each other.

このため、上段のセンサモジュール102a、102b、102c、・・・からの第1のX線透過データと下段のセンサモジュール101a、101b、101c、・・・からの第2のX線透過データの位置ズレを防止して高感度に異物を検出することができる。 Therefore, the upper sensor module 102a, 102b, 102c, the first X-ray transmission data and the lower sensor module 101a from ..., 101b, 101c, the position of the second X-ray transmission data from ... it is possible to detect the foreign matter to prevent misalignment with high sensitivity.

また、本実施の形態に係るX線検査装置1は、センサモジュール103a、104a、101aは、X線を可視光に変換するシンチレータ131、141、111と、シンチレータ131、141、111により変換された可視光を受光してX線の透過量に対応したX線透過データを出力する複数の受光素子133、143、113と、をそれぞれ備え、センサモジュール103a、104a、101aのうち、最下段を除くセンサモジュール103a、104aは、シンチレータ131、141で変換後の可視光をX線発生部9からのX線の透過する方向とは異なる方向に反射させる可視光反射体132、142を有している。 Also, X-ray inspection apparatus 1 according to this embodiment, the sensor module 103a, 104a, 101a includes a scintillator 131,141,111 which converts X-rays into visible light, it is converted by the scintillator 131,141,111 includes a plurality of light receiving elements 133,143,113 for outputting X-ray transmission data corresponding to the transmission amount of X-rays by receiving visible light, respectively, except the sensor module 103a, 104a, of 101a, the bottom sensor module 103a, 104a has a visible light reflector 132, 142 for reflecting in a direction different from the direction of transmission of X-rays and visible light converted by the scintillator 131 and 141 from the X-ray generator 9 .

このため、受光素子133、143を可視光反射体132、142によるX線の反射方向に配置することができるので、センサモジュール103a、104a、101aの高さを抑制することができる。 Therefore, it is possible to place the reflecting direction of the X-rays by the light receiving element 133 and 143 in the visible light reflector 132, 142, it is possible to suppress the sensor module 103a, 104a, the height of 101a.

また、本実施の形態に係るX線検査装置1は、センサモジュール群102の各センサモジュール102a、102b、102c、・・・の受光素子123とセンサモジュール群101の各センサモジュール101a、101b、101c、・・・の受光素子113とでX線の透過位置が互いに一致するようセンサモジュール群101の各センサモジュール101a、101b、101c、・・・の複数の受光素子113の間隔を相互に隔てて配置している。 Further, X-ray inspection apparatus 1 according to this embodiment, each sensor module 102a of the sensor modules 102, 102b, 102c, each sensor module 101a of the light receiving element 123 and the sensor modules 101 · · ·, 101b, 101c , apart each sensor module 101a of the sensor modules 101 to the transmission position of the X-ray by the light receiving element 113, ... coincide with each other, 101b, 101c, the interval between the plurality of light receiving elements 113 ... mutual It is arranged.

このため、受光素子123、113毎にX線の通過位置が一致することとなり、X線透過データの位置ズレをより一層防止して更に高感度に異物を検出することができる。 Therefore, it is possible to pass the position of the X-ray for each light receiving element 123,113 is decided to match, it detects a foreign substance in a higher sensitivity by further prevent displacement of the X-ray transmission data.

なお、今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であってこの実施の形態に制限されるものではない。 The embodiments disclosed this time, not to be limited merely illustrative in all respects to the embodiment. 本発明の範囲は、上記した実施の形態のみの説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。 The scope of the invention being indicated by the appended claims rather than by the description of only the above-described embodiment, it is intended to include all modifications within the meaning and range of equivalency of the claims. 例えば、本実施の形態に係るX線検査装置1に関して、搬送される被検査物Wの上方からX線を照射し、搬送面の下方に配置したX線検出器10により被検査物Wを透過したX線を検出する構成について説明したが、被検査物Wの下方、側方および斜方のいずれからX線を照射し、対向する位置に配置したX線検出器10により被検査物Wを透過したX線を検出してもよく、被検査物Wの形状等に応じて適宜変更することが可能であることはいうまでもない。 For example, for X-ray inspection apparatus 1 according to this embodiment is irradiated with X-rays from above the object W to be conveyed, transmitted through the test object W by the X-ray detector 10 disposed below the transport surface the configuration has been described for detecting the X-rays, the lower of the object W, is irradiated with X-rays from either side and oblique, the object W by the X-ray detector 10 disposed in opposing positions may detect the transmitted X-rays, it is needless to say can be changed according to the shape of the object W.

以上のように、本発明に係るX線検査装置は、複数のセンサモジュールからのX線透過データの位置ズレを防止して高感度に異物を検出することができるという効果を有し、X線発生器から照射されて被検査物を透過したX線を検出するX線検出器およびX線検査装置として有用である。 As described above, X-ray inspection apparatus according to the present invention has the effect that it is possible to detect the foreign substance with high sensitivity by preventing the positional deviation of the X-ray transmission data from a plurality of the sensor module, the X-ray is irradiated from the generator is useful as X-ray detector and X-ray inspection apparatus that detects X-rays transmitted through the object to be inspected.

1 X線検査装置 2 搬送部 3 検出部 4 筐体 5 表示部 6 駆動モータ 7 搬入口 8 搬出口 9 X線発生部 10 X線検出器 11 箱体 12 X線管 16 遮蔽カーテン 21 搬送路 22 検査空間 40 制御部 42 記憶部 43 画像処理部 44 判定部 45 設定部 101 センサモジュール群(第2のセンサモジュール群) 1 X-ray examination apparatus 2 conveyance section 3 detecting unit 4 housing 5 display unit 6 driving motor 7 entrance 8 out port 9 X-ray generation unit 10 X-ray detector 11 the box 12 X-ray tube 16 shielding curtain 21 conveying path 22 examination space 40 control unit 42 storage unit 43 an image processing unit 44 determination unit 45 setting unit 101 sensor modules (second sensor modules)
102 センサモジュール群(第1のセンサモジュール群) 102 sensor modules (first sensor modules)
103、104 センサモジュール群 101a、101b、101c、102a、102b、102c、103a、103b、103c、104a、104b、104c センサモジュール 101ax、101ay、101bx、101by、101cx、101cy、102ax、102ay、102bx、102by、102cx、102cy 対応点 111、121、131、141 シンチレータ 113、123、133、143 受光素子 132、142 可視光反射体 150 対応線 W 被検査物 103 and 104 sensor modules 101a, 101b, 101c, 102a, 102b, 102c, 103a, 103b, 103c, 104a, 104b, 104c sensor module 101ax, 101ay, 101bx, 101by, 101cx, 101cy, 102ax, 102ay, 102bx, 102by , 102cx, 102cy corresponding points 111, 121, 131, 141 scintillator 113,123,133,143 light receiving element 132, 142 visible light reflector 150 corresponding lines W to be inspected

Claims (3)

  1. 被検査物(W)に照射され該被検査物を透過したX線の透過量から前記被検査物中の異物を検出するX線検査装置(1)であって、 An X-ray inspection apparatus for detecting foreign matter the inspection object in the transmission amount of the transmitted X-rays are irradiated obtaining step was to test objects (W) (1),
    X線源から前記被検査物が通過する領域に向けてX線を照射するX線発生部(9)と、 X-ray generator for irradiating X-rays from the X-ray source toward the region where the object to be inspected is to pass (9),
    前記被検査物の搬送方向と直交する方向にともに配列され、前記X線発生部から照射されて前記被検査物を透過したX線を受け該X線の透過量に基づいて、第1のX線透過データを出力する複数のセンサモジュール(102a、102b、102c、・・・)を含む第1のセンサモジュール群(102)および第2のX線透過データを出力する複数のセンサモジュール(101a、101b、101c、・・・)を含む第2のセンサモジュール群(101)と、を有し、前記第1のセンサモジュール群と前記第2のセンサモジュール群とが前記X線の透過する方向に沿って並置されたX線検出器(10)と、 Wherein both are arranged in a direction perpendicular to the transport direction of the object, based on the transmission amount of the X-ray receiving the X-rays transmitted through the inspection object is irradiated from the X-ray generating unit, the first X a plurality of sensor module (102a, 102b, 102c, · · ·) first sensor module group comprising (102) and a second plurality of sensor module which outputs an X-ray transmission data (101a to output line transmitting data, 101b, 101c, the second sensor module group comprising ...) and (101), has a, in a direction from the first sensor module group and the second sensor modules is transmitted in the X-ray along juxtaposed X-ray detector (10),
    前記第1のX線透過データに基づく第1の画像データと前記第2のX線透過データに基づく第2の画像データとを用いて画像演算した画像に基づいて前記被検査物中の異物を検出する制御部と、を備え、 The foreign matter of the object to be inspected in based on the image picture arithmetic by using the second image data based on the first the first image data based on the X-ray transmission data of the second X-ray transmission data and a control unit to be detected,
    前記第1のセンサモジュール群の各センサモジュールに対応する前記第2のセンサモジュール群の各センサモジュールは、前記X線の透過する方向に基づいて決定された間隔を相互に隔てて配置したことを特徴とするX線検査装置。 That each sensor module of the second sensor module group corresponding to the first of each sensor module of the sensor modules is arranged the intervals determined based on the direction of transmission of the X-rays separated from one another X-ray examination apparatus characterized.
  2. 前記センサモジュールは、 Said sensor module,
    X線を可視光に変換するシンチレータ(111、121)と、 A scintillator (111, 121) for converting X-rays into visible light,
    前記シンチレータにより変換された可視光を受光してX線の透過量に対応したX線透過データを出力する複数の受光素子(113、123)と、をそれぞれ備え、 It includes a plurality of light receiving elements (113, 123) for outputting the X-ray transmission data corresponding to the transmission amount of X-rays by receiving the converted visible light by the scintillator, respectively,
    前記第1のセンサモジュールは、前記シンチレータで変換後の可視光を前記X線の透過する方向とは異なる方向に反射させる可視光反射体(132)を有することを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。 The first sensor module, according to claim 1, characterized in that it has a visible light reflector for reflecting in a direction different from the direction of transmission of the X-ray visible light converted by the scintillator (132) X-ray inspection apparatus.
  3. 前記第1のセンサモジュール群の各センサモジュールの受光素子と前記第2のセンサモジュール群の各センサモジュールの受光素子とでX線の透過位置が互いに一致するよう前記第2のセンサモジュール群の各センサモジュールの複数の受光素子の間隔を相互に隔てて配置したことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のX線検査装置。 Each of the second sensor modules to the transmission position of the X-rays coincide with each other by the light receiving element of the sensor module of the second sensor module group and the light receiving element of the sensor module of the first sensor modules X-ray inspection apparatus according to claim 1 or claim 2, characterized in that the distance between the plurality of light receiving elements of the sensor module and spaced from one another.
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