JP2013065767A - 極端紫外光発生装置の異常検出方法及び異常検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 実施形態に係る極端紫外光発生装置の異常検出方法は、極端紫外光の光源部で生成された複数の光パルスの光強度値の第1の時系列データを生成する工程S1と、光強度値に影響を与える複数種類のパラメータそれぞれの第2の時系列データを生成する工程S2と、第1の時系列データ及び第2の時系列データに対する主成分分析を行って、複数種類のパラメータそれぞれについて固有ベクトルを算出する工程S3と、算出された固有ベクトルに基づいて異常の判定を行う工程S4とを備える。
【選択図】図4
Description
13…アノード 14…カソード 15…フォイルトラップDMT
16…コレクタ 17…プラズマ
20…照明光学系 30…投影光学系 40…ウェハステージ
50…反射型フォトマスク 60…ウェハ
70…露光量センサ 72…物理量センサ
80…照度計 90…異常検出部
91…時系列データ生成部 92…時系列データ生成部
93…主成分分析部 94…異常判定部
95…発光停止判断部
101…電極 102…電極 103…絶縁体
104…キセノンガス 105…プラズマ 106…集光鏡
107…ガス供給部 108…フォイルトラップDMT
Claims (7)
- 極端紫外光の光源部で生成された複数の光パルスの光強度値の第1の時系列データを生成する工程と、
前記光強度値に影響を与える複数種類のパラメータそれぞれの第2の時系列データを生成する工程と、
前記第1の時系列データ及び前記第2の時系列データに対する主成分分析を行って、前記複数種類のパラメータそれぞれについて固有ベクトルを算出する工程と、
前記算出された固有ベクトルと予め求められた基準固有ベクトルとの同等性に基づいて異常の判定を行う工程と、
前記異常の判定結果に基づいて前記光源部の発光を停止させるか否かを判断する工程と、
を備え、
前記異常の判定を行う工程は、前記固有ベクトルが所定の条件を満たしていないパラメータに関連した異常が生じたとの判定を行う工程を含み、
前記パラメータは、前記光源部の電極に印加される電圧、前記光源部が設けられたチャンバ内に供給されるガスの流量、前記光源部が設けられたチャンバ内の圧力、前記光源部に設けられた集光鏡の温度、前記光源部に設けられた集光鏡の光反射率、前記光源部に設けられたデブリ捕捉用のトラップの光透過率を含む
ことを特徴とする極端紫外光発生装置の異常検出方法。 - 極端紫外光の光源部で生成された複数の光パルスの光強度値の第1の時系列データを生成する工程と、
前記光強度値に影響を与える複数種類のパラメータそれぞれの第2の時系列データを生成する工程と、
前記第1の時系列データ及び前記第2の時系列データに対する主成分分析を行って、前記複数種類のパラメータそれぞれについて固有ベクトルを算出する工程と、
前記算出された固有ベクトルに基づいて異常の判定を行う工程と、
を備えたことを特徴とする極端紫外光発生装置の異常検出方法。 - 前記異常の判定を行う工程は、前記固有ベクトルが所定の条件を満たしていないパラメータに関連した異常が生じたとの判定を行う工程を含む
ことを特徴とする請求項2に記載の異常検出方法。 - 前記異常の判定は、前記固有ベクトルと予め求められた基準固有ベクトルとの同等性に基づいて行われる
ことを特徴とする請求項2に記載の異常検出方法。 - 前記パラメータは、前記光源部の電極に印加される電圧、前記光源部が設けられたチャンバ内に供給されるガスの流量、前記光源部が設けられたチャンバ内の圧力、前記光源部に設けられた集光鏡の温度、前記光源部に設けられた集光鏡の光反射率、前記光源部に設けられたデブリ捕捉用のトラップの光透過率を含む
ことを特徴とする請求項2に記載の異常検出方法。 - 前記異常の判定結果に基づいて前記光源部の発光を停止させるか否かを判断する工程をさらに備えた
ことを特徴とする請求項2に記載の異常検出方法。 - 極端紫外光の光源部で生成された複数の光パルスの光強度値の第1の時系列データを生成する第1の時系列データ生成部と、
前記光強度値に影響を与える複数種類のパラメータそれぞれの第2の時系列データを生成する第2の時系列データ生成部と、
前記第1の時系列データ及び前記第2の時系列データに対する主成分分析を行って、前記複数種類のパラメータそれぞれについて固有ベクトルを算出する主成分分析部と、
前記算出された固有ベクトルに基づいて異常の判定を行う異常判定部と、
を備えたことを特徴とする極端紫外光発生装置の異常検出装置。
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JP2011204471A JP2013065767A (ja) | 2011-09-20 | 2011-09-20 | 極端紫外光発生装置の異常検出方法及び異常検出装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2021060592A (ja) * | 2020-12-08 | 2021-04-15 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置、決定方法、プログラム、リソグラフィシステム、および物品の製造方法 |
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2011
- 2011-09-20 JP JP2011204471A patent/JP2013065767A/ja not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2021060592A (ja) * | 2020-12-08 | 2021-04-15 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置、決定方法、プログラム、リソグラフィシステム、および物品の製造方法 |
JP7267986B2 (ja) | 2020-12-08 | 2023-05-02 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置、判定方法、算出方法、プログラム、リソグラフィシステム、および物品の製造方法 |
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