JP2013065621A - Wiring board for light emitting device, light emitting device, and manufacturing method of wiring board for light emitting device - Google Patents

Wiring board for light emitting device, light emitting device, and manufacturing method of wiring board for light emitting device Download PDF

Info

Publication number
JP2013065621A
JP2013065621A JP2011202126A JP2011202126A JP2013065621A JP 2013065621 A JP2013065621 A JP 2013065621A JP 2011202126 A JP2011202126 A JP 2011202126A JP 2011202126 A JP2011202126 A JP 2011202126A JP 2013065621 A JP2013065621 A JP 2013065621A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plating layer
layer
wiring pattern
plating
wiring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011202126A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2013065621A5 (en
JP5844101B2 (en
Inventor
Kazuki Kobayashi
和貴 小林
Takashi Katayama
貴司 片山
Takashi Yoshie
崇 吉江
Hiroshi Shimizu
浩 清水
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinko Electric Industries Co Ltd
Original Assignee
Shinko Electric Industries Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinko Electric Industries Co Ltd filed Critical Shinko Electric Industries Co Ltd
Priority to JP2011202126A priority Critical patent/JP5844101B2/en
Publication of JP2013065621A publication Critical patent/JP2013065621A/en
Publication of JP2013065621A5 publication Critical patent/JP2013065621A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5844101B2 publication Critical patent/JP5844101B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45117Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
    • H01L2224/45124Aluminium (Al) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144Gold (Au) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45147Copper (Cu) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wiring board for a light emitting device which suppresses the oxidization of a wiring pattern.SOLUTION: A wiring board 1 has: a substrate 10; a wiring pattern 20 formed on a first main surface R1 of the substrate 10; a plating layer 30 formed so as to cover a surface 20A of the wiring pattern 20; and an insulation layer 40 which covers the wiring pattern 20, where the plating layer 30 is formed, and is formed on the first main surface R1. An opening 40X, which exposes a part of the wiring pattern 20 where the plating layer 30 is formed as a mounting region CA of a light emitting element, is formed at the insulation layer 40. The plating layer 30 has a three layer structure formed by sequentially laminating a first plating layer 31 which is formed on the surface 20A of the wiring pattern 20 and made of Ni or Ni alloy; a second plating layer 32 made of Pd or Pd alloy, and a third plating layer 33 made of Au or Au alloy.

Description

本発明は、発光装置用の配線基板、発光装置及び発光装置用配線基板の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a wiring substrate for a light emitting device, a light emitting device, and a method for manufacturing the wiring substrate for a light emitting device.

従来、発光素子が基板に実装されてなる発光装置には、様々な形状のものが提案されている。この種の発光装置としては、例えば樹脂基板上に配線パターンを形成し、その配線パターン上に発光ダイオード(Light Emitting Diode:LED)などの発光素子を実装した構造が知られている(例えば、特許文献1,2参照)。   Conventionally, light emitting devices having a light emitting element mounted on a substrate have been proposed in various shapes. As a light emitting device of this type, for example, a structure in which a wiring pattern is formed on a resin substrate and a light emitting element such as a light emitting diode (LED) is mounted on the wiring pattern is known (for example, a patent References 1 and 2).

特開2003−092010号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-092010 特開2003−092011号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-092011

ところで、上記発光装置では、実使用時に発光ダイオードの通電に伴ってその発光ダイオードに発熱が生じ、温度が上昇する。また、配線パターンの材料としては、酸化や腐食などが起こり易い銅(Cu)が用いられる。このため、上述したような実使用時の温度上昇などにより、配線パターン(銅)が酸化され、配線パターンの表面に酸化銅が形成される虞がある。このような酸化銅が形成されると、配線の抵抗が上昇し、発光ダイオードの発光効率が低下するという問題が発生する。   By the way, in the light-emitting device, when the light-emitting diode is energized during actual use, the light-emitting diode generates heat and the temperature rises. In addition, copper (Cu) that is liable to be oxidized or corroded is used as a material for the wiring pattern. For this reason, there is a possibility that the wiring pattern (copper) is oxidized due to a temperature rise during actual use as described above, and copper oxide is formed on the surface of the wiring pattern. When such copper oxide is formed, there arises a problem that the resistance of the wiring increases and the light emission efficiency of the light emitting diode decreases.

本発明の一観点によれば、基板と、前記基板の第1主面上に形成された配線パターンと、前記配線パターンの表面を覆うように形成されためっき層と、前記めっき層の形成された配線パターンを被覆し、前記第1主面上に形成された絶縁層と、を有し、前記絶縁層には、前記めっき層の形成された配線パターンの一部を発光素子の実装領域として露出する開口部が形成され、前記めっき層は、最外層に貴金属又は貴金属合金からなる最外めっき層を有する。   According to one aspect of the present invention, a substrate, a wiring pattern formed on the first main surface of the substrate, a plating layer formed to cover the surface of the wiring pattern, and the plating layer are formed. And an insulating layer formed on the first main surface. The insulating layer includes a part of the wiring pattern on which the plating layer is formed as a mounting region of a light emitting element. An exposed opening is formed, and the plating layer has an outermost plating layer made of a noble metal or a noble metal alloy in the outermost layer.

本発明の一観点によれば、配線パターンの酸化を抑制することができるという効果を奏する。   According to one aspect of the present invention, there is an effect that oxidation of a wiring pattern can be suppressed.

(a)は、第1実施形態の配線基板を示す概略平面図、(b)は、(a)に示す配線基板のA−A概略断面図、(c)は、(b)に示す配線基板の一部を拡大した拡大断面図。(A) is a schematic top view which shows the wiring board of 1st Embodiment, (b) is AA schematic sectional drawing of the wiring board shown to (a), (c) is a wiring board shown to (b). The expanded sectional view which expanded a part of. 配線パターンを示す概略平面図。The schematic plan view which shows a wiring pattern. (a)は、第1実施形態の発光装置を示す概略平面図、(b)は、(a)に示す発光装置のB−B概略断面図。なお、(a)では、封止樹脂の図示を省略している。(A) is a schematic plan view which shows the light-emitting device of 1st Embodiment, (b) is BB schematic sectional drawing of the light-emitting device shown to (a). In addition, in (a), illustration of sealing resin is abbreviate | omitted. (a)〜(c)は、第1実施形態の配線基板の製造過程における状態を示す概略断面図、(d)は、(c)の要部を拡大した拡大断面図。(A)-(c) is a schematic sectional drawing which shows the state in the manufacturing process of the wiring board of 1st Embodiment, (d) is an expanded sectional view which expanded the principal part of (c). 第1実施形態の配線基板の製造過程における状態を示す概略平面図。The schematic plan view which shows the state in the manufacture process of the wiring board of 1st Embodiment. (a)、(c)は、第1実施形態の配線基板の製造過程における状態を示す概略断面図、(b)は、(a)の要部を拡大した拡大断面図。(A), (c) is a schematic sectional drawing which shows the state in the manufacturing process of the wiring board of 1st Embodiment, (b) is an expanded sectional view which expanded the principal part of (a). (a)、(c)は、第1実施形態の配線基板の製造過程における状態を示す概略断面図、(b)は、(a)の要部を拡大した拡大断面図。(A), (c) is a schematic sectional drawing which shows the state in the manufacturing process of the wiring board of 1st Embodiment, (b) is an expanded sectional view which expanded the principal part of (a). 第1実施形態の配線基板の製造過程における状態を示す概略平面図。The schematic plan view which shows the state in the manufacture process of the wiring board of 1st Embodiment. (a)、(b)は、第1実施形態の発光装置の製造過程における状態を示す概略断面図。(A), (b) is a schematic sectional drawing which shows the state in the manufacture process of the light-emitting device of 1st Embodiment. 表面粗さと密着性との関係を示すテーブル。A table showing the relationship between surface roughness and adhesion. 変形例の配線基板を示す拡大断面図。The expanded sectional view which shows the wiring board of a modification. 変形例の発光装置を示す概略断面図。The schematic sectional drawing which shows the light-emitting device of a modification. (a)は、第2実施形態の配線基板を示す概略断面図、(b)は、(a)に示す配線基板の一部を拡大した拡大断面図。(A) is a schematic sectional drawing which shows the wiring board of 2nd Embodiment, (b) is an expanded sectional view which expanded a part of wiring board shown to (a). (a)〜(c)は、第2実施形態の配線基板の製造過程における状態を示す概略断面図、(d)は、(c)の要部を拡大した拡大断面図。(A)-(c) is a schematic sectional drawing which shows the state in the manufacturing process of the wiring board of 2nd Embodiment, (d) is an expanded sectional view which expanded the principal part of (c). (a)〜(c)は、第2実施形態の配線基板の製造過程における状態を示す概略断面図。(A)-(c) is a schematic sectional drawing which shows the state in the manufacture process of the wiring board of 2nd Embodiment. 変形例の配線基板を示す拡大断面図。The expanded sectional view which shows the wiring board of a modification. 変形例の配線基板を示す拡大断面図。The expanded sectional view which shows the wiring board of a modification. (a)、(b)は、変形例の発光装置を示す概略断面図。(A), (b) is a schematic sectional drawing which shows the light-emitting device of a modification. 変形例の配線基板を示す拡大断面図。The expanded sectional view which shows the wiring board of a modification. 変形例の配線パターンを示す概略平面図。The schematic plan view which shows the wiring pattern of a modification.

以下、添付図面を参照して各実施形態を説明する。なお、添付図面は、特徴を分かりやすくするために便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。断面図では、各部材の断面構造を分かりやすくするために、一部の樹脂層のハッチングを省略している。拡大断面図では、各部材の断面構造を分かりやすくするために、めっき層のハッチングを省略している。   Hereinafter, each embodiment will be described with reference to the accompanying drawings. In the accompanying drawings, in order to make the features easy to understand, the portions that become the features may be shown in an enlarged manner for the sake of convenience, and the dimensional ratios and the like of the respective components are not always the same as the actual ones. In the cross-sectional view, hatching of some resin layers is omitted for easy understanding of the cross-sectional structure of each member. In the enlarged cross-sectional view, hatching of the plating layer is omitted for easy understanding of the cross-sectional structure of each member.

(第1実施形態)
以下、第1実施形態を図1〜図10に従って説明する。
(配線基板の構造)
図1(b)に示すように、発光装置に適用される配線基板1は、基板10と、基板10上に形成された配線パターン20と、配線パターン20上に形成されためっき層30と、めっき層30の一部を覆う絶縁層40とを有している。
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment will be described with reference to FIGS.
(Wiring board structure)
As shown in FIG. 1B, the wiring substrate 1 applied to the light emitting device includes a substrate 10, a wiring pattern 20 formed on the substrate 10, a plating layer 30 formed on the wiring pattern 20, And an insulating layer 40 covering a part of the plating layer 30.

基板10は、例えば略矩形状の薄板である。基板10の材料としては、例えばポリイミド系樹脂やエポキシ系樹脂などの絶縁性樹脂、又はエポキシ系樹脂にシリカやアルミナ等のフィラーを混入した樹脂材を用いることができる。基板10の厚さは、例えば25〜200μm程度とすることができる。   The substrate 10 is a substantially rectangular thin plate, for example. As a material of the substrate 10, for example, an insulating resin such as a polyimide resin or an epoxy resin, or a resin material in which a filler such as silica or alumina is mixed in an epoxy resin can be used. The thickness of the board | substrate 10 can be about 25-200 micrometers, for example.

配線パターン20は、基板10の第1主面R1(図1(b)では上面)上に形成されている。この配線パターン20は、図2に示すように、基板10の第1主面R1を全体的に覆うように形成されており、互いに電気的に分離された略矩形状の複数の配線D1を有している。具体的には、配線パターン20は全体的には略櫛歯状に形成されており、その櫛歯状のパターンが図中の上下方向に延在された溝状の開口部20Xによって複数の配線D1に分離されている。換言すると、複数の配線D1が基板10上に略櫛歯状に配置されている。   The wiring pattern 20 is formed on the first main surface R1 (the upper surface in FIG. 1B) of the substrate 10. As shown in FIG. 2, the wiring pattern 20 is formed so as to entirely cover the first main surface R1 of the substrate 10, and has a plurality of substantially rectangular wirings D1 that are electrically separated from each other. doing. Specifically, the wiring pattern 20 is formed in a substantially comb-like shape as a whole, and the comb-like pattern is formed into a plurality of wirings by groove-like openings 20X extending in the vertical direction in the drawing. It is separated into D1. In other words, the plurality of wirings D <b> 1 are arranged on the substrate 10 in a substantially comb shape.

図1(c)に示すように、配線パターン20の表面20A(上面及び側面)は粗面化されており、微細な凹凸形状が形成されている。この粗面化された配線パターン20の表面20Aの粗度は、例えば表面粗さRa値で50〜500nmとなるように設定されている。ここで、表面粗さRa値とは、表面粗さを表わす数値の一種であり、算術平均粗さと呼ばれるものであって、具体的には測定領域内で変化する高さの絶対値を平均ラインである表面から測定して算術平均したものである。   As shown in FIG.1 (c), the surface 20A (upper surface and side surface) of the wiring pattern 20 is roughened, and the fine uneven | corrugated shape is formed. The roughness of the surface 20A of the roughened wiring pattern 20 is set to be, for example, 50 to 500 nm as a surface roughness Ra value. Here, the surface roughness Ra value is a kind of numerical value representing the surface roughness, and is called arithmetic average roughness. Specifically, the absolute value of the height changing in the measurement region is expressed as an average line. Measured from the surface and arithmetically averaged.

なお、配線パターン20の材料としては、例えば銅や銅合金などの金属を用いることができる。配線パターン20の厚さは、例えば15〜150μmとすることができる。
図1(b)に示すように、めっき層30は、配線パターン20の表面20A(粗化面)を覆うように形成されている。めっき層30は、配線パターン20の表面20Aに沿って形成されており、その表面30Aが粗面化されている。この粗面化されためっき層30の表面30Aの粗度は、例えば表面粗さRa値で50〜500nmとなるように設定されている。
In addition, as a material of the wiring pattern 20, metals, such as copper and a copper alloy, can be used, for example. The thickness of the wiring pattern 20 can be set to 15 to 150 μm, for example.
As shown in FIG. 1B, the plating layer 30 is formed so as to cover the surface 20 </ b> A (roughened surface) of the wiring pattern 20. The plating layer 30 is formed along the surface 20A of the wiring pattern 20, and the surface 30A is roughened. The roughness of the surface 30A of the roughened plating layer 30 is set to be 50 to 500 nm, for example, in terms of the surface roughness Ra value.

図1(c)に示すように、めっき層30は、配線パターン20の表面20A上に形成された下地用の第1めっき層31と、第2めっき層32と、第3めっき層33とが順に積層された3層構造を有している。ここで、本実施形態では、第1めっき層31がニッケル(Ni)めっき層、第2めっき層32がパラジウム(Pd)めっき層、第3めっき層33が金(Au)めっき層である。なお、これら第1〜第3めっき層31〜33は、例えば電解めっき法により形成することができる。   As shown in FIG. 1C, the plating layer 30 includes a first plating layer 31 for base formed on the surface 20 </ b> A of the wiring pattern 20, a second plating layer 32, and a third plating layer 33. It has a three-layer structure laminated in order. Here, in the present embodiment, the first plating layer 31 is a nickel (Ni) plating layer, the second plating layer 32 is a palladium (Pd) plating layer, and the third plating layer 33 is a gold (Au) plating layer. In addition, these 1st-3rd plating layers 31-33 can be formed by the electroplating method, for example.

第1層目の下地用の第1めっき層31は、その下層の配線パターン20に含まれるCuが上層の第2めっき層32(Pd層)及び第3めっき層33(Au層)に拡散するのを防止する機能を有する。この第1めっき層31は、上記拡散防止効果や配線パターン20の腐食を防止する耐腐食性効果、Pdからなる第2めっき層32との密着性などの特性を考慮して、材料組成や厚さが設定される。第1めっき層31の材料としては、例えばNiやNi合金などを用いることができる。また、第1めっき層31の厚さは、上記特性及び製造コストの観点から、0.05μm以上5.00μm以下の範囲が好ましく、0.1μm以上2.00μm以下の範囲がより好ましい。   In the first plating layer 31 for the first layer, Cu contained in the lower wiring pattern 20 diffuses into the upper second plating layer 32 (Pd layer) and the third plating layer 33 (Au layer). It has the function to prevent. The first plating layer 31 has a material composition and thickness in consideration of the diffusion preventing effect, the corrosion resistance effect for preventing the wiring pattern 20 from being corroded, and the adhesion with the second plating layer 32 made of Pd. Is set. As the material of the first plating layer 31, for example, Ni or Ni alloy can be used. Moreover, the thickness of the 1st plating layer 31 has the preferable range of 0.05 micrometer or more and 5.00 micrometers or less, and the range of 0.1 micrometer or more and 2.00 micrometers or less from the viewpoint of the said characteristic and manufacturing cost.

第2層目の第2めっき層32は、例えば熱による第1めっき層31に含まれるNiと第3めっき層33に含まれるAuとの相互拡散を防止する役割を果たす。このような機能を実現するための第2めっき層32の材料としては、例えばPd又はPd合金を用いることができる。第2めっき層32の厚さは、製造コストの点からできる限り薄膜化しつつも、上記相互拡散を抑制するためには、0.001μm以上0.5μm以下の範囲が好ましく、0.005μm以上0.03μm以下の範囲がより好ましい。   The second plating layer 32 of the second layer plays a role of preventing mutual diffusion between Ni contained in the first plating layer 31 and Au contained in the third plating layer 33 due to heat, for example. As a material of the second plating layer 32 for realizing such a function, for example, Pd or a Pd alloy can be used. The thickness of the second plating layer 32 is preferably in the range of 0.001 μm or more and 0.5 μm or less in order to suppress the mutual diffusion while reducing the thickness as much as possible from the viewpoint of manufacturing cost. A range of 0.03 μm or less is more preferable.

第3層目の第3めっき層33は、例えばめっき層30や配線パターン20の加熱時の酸化を防止しつつ、コンタクト性(ワイヤボンディング性やはんだ付け性)を向上させる役割を果たす。このような機能を実現するための第3めっき層33の材料としては、配線パターン20(銅)よりも酸化し難く、硬度の低い金属であることが好ましく、例えばAuや銀(Ag)などの貴金属またはこれらの金属を少なくとも一種以上含む貴金属合金を用いることができる。第3めっき層33の厚さは、製造コストの点からできる限り薄膜化しつつも、ワイヤボンディング性を向上させるためには、0.001μm以上0.5μm以下の範囲が好ましく、0.001μm以上0.01μm以下の範囲がより好ましい。   The third plating layer 33 of the third layer plays a role of improving contact property (wire bonding property and solderability) while preventing oxidation of the plating layer 30 and the wiring pattern 20 during heating, for example. The material of the third plating layer 33 for realizing such a function is preferably a metal that is harder to oxidize than the wiring pattern 20 (copper) and has a low hardness, such as Au or silver (Ag). A noble metal or a noble metal alloy containing at least one of these metals can be used. The thickness of the third plating layer 33 is preferably 0.001 μm or more and 0.5 μm or less in order to improve wire bonding properties while reducing the thickness as much as possible from the viewpoint of manufacturing cost. A range of 0.01 μm or less is more preferable.

これら第1〜第3めっき層31〜33の表面31A〜33A(上面及び側面)は、上記配線パターン20の表面20Aと同様に粗面化されており、微細な凹凸形状が形成されている。これら粗面化された第1〜第3めっき層31〜33の表面31A〜33Aの粗度は、例えば表面粗さRa値で50〜500nmとなるように設定されている。これにより、めっき層30(特に、第3めっき層33)とその第3めっき層33上に形成される絶縁層40との密着性を、第3めっき層33の表面33Aが平滑面である場合よりも増大させることができる。   The surfaces 31A to 33A (upper surface and side surfaces) of the first to third plating layers 31 to 33 are roughened in the same manner as the surface 20A of the wiring pattern 20, and a fine uneven shape is formed. The roughness of the surfaces 31A to 33A of the roughened first to third plating layers 31 to 33 is set to, for example, 50 to 500 nm in terms of the surface roughness Ra value. Thereby, when the surface 33A of the third plating layer 33 is a smooth surface, the adhesion between the plating layer 30 (particularly, the third plating layer 33) and the insulating layer 40 formed on the third plating layer 33 is improved. Can be increased.

図1(b)に示すように、絶縁層40は、めっき層30の一部を覆うように基板10の第1主面R1側に形成されている。具体的には、図1(a)に示すように、絶縁層40は、発光素子が実装される実装領域CA及び電極端子50が形成される端子領域以外のめっき層30及び基板10を覆うように形成されている。換言すると、絶縁層40には、実装領域CAに形成されためっき層30及び基板10を露出させるための開口部40Xが形成されるとともに、端子領域に形成されためっき層30を電極端子50として露出させるための開口部40Yが形成されている。これら開口部40X,40Yの平面形状は、例えば円形状に形成されている。開口部40Xは、基板10上にマトリクス状(図1(a)では4×4)に形成されている。このため、開口部40Xで画定された実装領域CAも同様に、基板10上にマトリクス状(図1(a)では4×4)に配列されている。この実装領域CAでは、開口部20Xによって分離された2つのめっき層30が開口部40Xから露出されている。ここで、上記開口部20Xは、隣接する2つのめっき層30(配線パターン20)間に溝状に形成されている。なお、開口部40Xから露出されるめっき層30がパッドとして機能する。また、開口部40Yで画定された電極端子50には、外部の電源から給電ケーブル(図示略)等を介して給電されるとともに、配線パターン20が電気的に接続されている。   As shown in FIG. 1B, the insulating layer 40 is formed on the first main surface R <b> 1 side of the substrate 10 so as to cover a part of the plating layer 30. Specifically, as shown in FIG. 1A, the insulating layer 40 covers the plating layer 30 and the substrate 10 other than the mounting area CA where the light emitting element is mounted and the terminal area where the electrode terminal 50 is formed. Is formed. In other words, in the insulating layer 40, the plating layer 30 formed in the mounting area CA and the opening 40X for exposing the substrate 10 are formed, and the plating layer 30 formed in the terminal area is used as the electrode terminal 50. An opening 40Y for exposure is formed. The planar shapes of the openings 40X and 40Y are formed in a circular shape, for example. The openings 40X are formed in a matrix (4 × 4 in FIG. 1A) on the substrate 10. For this reason, the mounting areas CA defined by the openings 40X are similarly arranged on the substrate 10 in a matrix (4 × 4 in FIG. 1A). In the mounting area CA, the two plating layers 30 separated by the opening 20X are exposed from the opening 40X. Here, the opening 20X is formed in a groove shape between two adjacent plating layers 30 (wiring patterns 20). The plating layer 30 exposed from the opening 40X functions as a pad. The electrode terminal 50 defined by the opening 40Y is supplied with power from an external power source via a power supply cable (not shown) and the like, and the wiring pattern 20 is electrically connected thereto.

上記絶縁層40は、高い反射率を有する。具体的には、絶縁層40は、波長が450nm〜700nmの間で50%以上(好適には80%以上)の反射率を有する。このような絶縁層40は、白色レジスト層とも呼ばれる。この絶縁層40の材料としては、例えば白色の絶縁性樹脂を用いることができる。白色の絶縁性樹脂としては、例えばエポキシ系樹脂やオルガノポリシロキサン系樹脂に白色の酸化チタン等のフィラーを混入した樹脂材やTiO2又はBaSO4などの白色顔料を含有した樹脂材を用いることができる。このような絶縁層40(白色レジスト層)により基板10の最表面を覆うことにより、配線パターン20の保護に加えて、基板10に実装される発光素子からの光の反射率を高め、発光素子の光量ロスを低減させることができる。   The insulating layer 40 has a high reflectance. Specifically, the insulating layer 40 has a reflectance of 50% or more (preferably 80% or more) when the wavelength is between 450 nm and 700 nm. Such an insulating layer 40 is also called a white resist layer. As a material of the insulating layer 40, for example, a white insulating resin can be used. As the white insulating resin, for example, a resin material in which a filler such as white titanium oxide is mixed in an epoxy resin or an organopolysiloxane resin, or a resin material containing a white pigment such as TiO 2 or BaSO 4 can be used. By covering the outermost surface of the substrate 10 with such an insulating layer 40 (white resist layer), in addition to protecting the wiring pattern 20, the reflectance of light from the light emitting element mounted on the substrate 10 is increased, and the light emitting element Can be reduced.

また、配線基板1には、複数の溝部60が形成されている。この溝部60は、図1(b)に示すように、絶縁層40の上面から、その絶縁層40及びめっき層30(第1〜第3めっき層31〜33)及び配線パターン20を貫通して基板10の厚みの途中まで形成されている。なお、この溝部60は、当該配線基板1の製造過程で使用されるめっき給電用の給電ライン22(図5参照)を除去するために形成されたものである。   In addition, a plurality of groove portions 60 are formed in the wiring board 1. As shown in FIG. 1B, the groove 60 penetrates the insulating layer 40, the plating layer 30 (first to third plating layers 31 to 33), and the wiring pattern 20 from the upper surface of the insulating layer 40. It is formed up to the middle of the thickness of the substrate 10. The groove 60 is formed in order to remove the power supply line 22 for plating power supply (see FIG. 5) used in the manufacturing process of the wiring board 1.

(発光装置の構造)
次に、発光装置2の構造について説明する。
図3(b)に示すように、発光装置2は、上記配線基板1と、その配線基板1に実装された複数(図3(a)では16個)の発光素子70と、発光素子70等を封止する封止樹脂75とを有している。
(Structure of light emitting device)
Next, the structure of the light emitting device 2 will be described.
As shown in FIG. 3B, the light-emitting device 2 includes the wiring board 1, a plurality (16 in FIG. 3A) of light-emitting elements 70 mounted on the wiring board 1, the light-emitting elements 70, and the like. And a sealing resin 75 for sealing.

図3(a)に示すように、各発光素子70は、配線基板1の各実装領域CAに実装されている。具体的には、各発光素子70は、各実装領域CAに形成された一方のめっき層30(配線パターン20)上に実装されている。より具体的には、図3(b)に示すように、各発光素子70は、上記一方のめっき層30上に接着剤71を介して接着されている。また、各発光素子70は、一方の電極(図示略)がボンディングワイヤ72を介して実装領域CA内の一方のめっき層30に電気的に接続され、他方の電極(図示略)がボンディングワイヤ72を介して実装領域CA内の他方のめっき層30に電気的に接続されている。これにより、各発光素子70の各電極は、ボンディングワイヤ72及びめっき層30を介して、配線パターン20と電気的に接続されている。このような接続により、本実施形態の発光装置2では、図3(a)に示すように、プラス側の電極端子50からマイナス側の電極端子50までの間に16個の発光素子70が直列に接続されることになる。そして、これら発光素子70は、外部の電源(図示略)から電極端子50や配線パターン20を介して給電されて発光する。なお、図1〜図3では、電気的接続の一例を示すために、電極端子50部分に「+」、「−」の記号を示している。   As shown in FIG. 3A, each light emitting element 70 is mounted in each mounting area CA of the wiring board 1. Specifically, each light emitting element 70 is mounted on one plating layer 30 (wiring pattern 20) formed in each mounting area CA. More specifically, as shown in FIG. 3B, each light emitting element 70 is bonded to the one plating layer 30 via an adhesive 71. In addition, in each light emitting element 70, one electrode (not shown) is electrically connected to one plating layer 30 in the mounting area CA via the bonding wire 72, and the other electrode (not shown) is the bonding wire 72. Is electrically connected to the other plating layer 30 in the mounting area CA. Thereby, each electrode of each light emitting element 70 is electrically connected to the wiring pattern 20 via the bonding wire 72 and the plating layer 30. With such connection, in the light emitting device 2 of the present embodiment, as shown in FIG. 3A, 16 light emitting elements 70 are connected in series between the positive electrode terminal 50 and the negative electrode terminal 50. Will be connected to. The light emitting elements 70 are supplied with power from an external power source (not shown) via the electrode terminals 50 and the wiring pattern 20 to emit light. In FIG. 1 to FIG. 3, “+” and “−” symbols are shown in the electrode terminal 50 portion in order to show an example of electrical connection.

上記発光素子70としては、例えば発光ダイオード(Light Emitting Diode:LED)や面発光型半導体レーザ(Vertical Cavity Surface Emitting Laser:VCSEL)を用いることができる。ボンディングワイヤ72としては、例えばAuワイヤ、アルミニウム(Al)ワイヤやCuワイヤなどを用いることができる。   As the light emitting element 70, for example, a light emitting diode (LED) or a surface emitting semiconductor laser (VCSEL) can be used. As the bonding wire 72, for example, an Au wire, an aluminum (Al) wire, a Cu wire, or the like can be used.

図3(b)に示すように、封止樹脂75は、発光素子70及びボンディングワイヤ72等を封止するように配線基板1の上面に設けられている。この封止樹脂75の材料としては、例えばシリコーン樹脂に蛍光体を含有させた樹脂材を用いることができる。このような蛍光体を含有させた樹脂材を発光素子70上に形成することにより、発光素子70の発光と蛍光体の発光の混色を用いることが可能となり、発光装置2の発光色を様々に制御することができる。   As shown in FIG. 3B, the sealing resin 75 is provided on the upper surface of the wiring substrate 1 so as to seal the light emitting element 70, the bonding wire 72, and the like. As a material of the sealing resin 75, for example, a resin material in which a phosphor is contained in a silicone resin can be used. By forming such a phosphor-containing resin material on the light emitting element 70, it is possible to use a mixed color of light emission of the light emitting element 70 and light emission of the phosphor, and various emission colors of the light emitting device 2 can be used. Can be controlled.

(作用)
配線パターン20の表面20A全面を覆うようにめっき層30を形成し、そのめっき層30の最外層(最表層)に、安定性の高いAu又はAu合金からなる第3めっき層33を形成するようにした。これにより、めっき層30の表面30A、第2めっき層32、第1めっき層31及び配線パターン20の酸化及び変色を好適に抑制することができる。
(Function)
A plating layer 30 is formed so as to cover the entire surface 20A of the wiring pattern 20, and a third plating layer 33 made of highly stable Au or Au alloy is formed on the outermost layer (outermost layer) of the plating layer 30. I made it. Thereby, the oxidation and discoloration of the surface 30A of the plating layer 30, the second plating layer 32, the first plating layer 31, and the wiring pattern 20 can be suitably suppressed.

(配線基板の製造方法)
次に、上記配線基板1の製造方法について図4〜図8に従って説明する。なお、図4(a)、(b)は、図1のA−A線位置における配線基板の製造過程の状態を示した概略断面図であり、図4(c)は、図5に示す配線基板のC−C概略断面図である。また、図6及び図7は、図1のA−A線位置における配線基板の製造過程の状態を示した概略断面図である。
(Method for manufacturing a wiring board)
Next, the manufacturing method of the said wiring board 1 is demonstrated according to FIGS. 4A and 4B are schematic cross-sectional views showing the state of the manufacturing process of the wiring board at the position AA in FIG. 1, and FIG. 4C is the wiring shown in FIG. It is CC schematic sectional drawing of a board | substrate. 6 and 7 are schematic cross-sectional views showing the state of the manufacturing process of the wiring board at the position AA in FIG.

まず、配線基板1を製造するためには、図4(a)に示すように、基板10Aの片面に銅箔20Bが被着された片面銅張り基板を用意する。基板10Aは、最終的に切断位置B1で切断されることにより図1に示した基板10となる基板であり、基板10よりも外形が一回り大きく形成されている。   First, in order to manufacture the wiring substrate 1, as shown in FIG. 4A, a single-sided copper-clad substrate in which a copper foil 20B is deposited on one side of a substrate 10A is prepared. The substrate 10 </ b> A is a substrate that is finally cut at the cutting position B <b> 1 to become the substrate 10 shown in FIG. 1, and has an outer shape that is slightly larger than the substrate 10.

次に、図4(b)に示す工程では、銅箔20Bの上面に、所定の箇所に開口部77Xを有するレジスト層77を形成する。このレジスト層77は、所要の配線パターン20及びめっき給電用の第1及び第2給電ライン21,22(図4(c)参照)に対応する銅箔20Bを被覆するように形成される。レジスト層77の材料としては、感光性のドライフィルムレジスト又は液状のフォトレジスト(例えばノボラック系樹脂やアクリル系樹脂等のドライフィルムレジストや液状レジスト)等を用いることができる。例えば感光性のドライフィルムレジストを用いる場合には、銅箔20Bの上面にドライフィルムを熱圧着によりラミネートし、そのドライフィルムを露光・現像によりパターニングして上記レジスト層77を形成する。なお、液状のフォトレジストを用いる場合にも、同様の工程を経て、レジスト層77を形成することができる。   Next, in the step shown in FIG. 4B, a resist layer 77 having openings 77X at predetermined positions is formed on the upper surface of the copper foil 20B. The resist layer 77 is formed so as to cover the required wiring pattern 20 and the copper foil 20B corresponding to the first and second feeding lines 21 and 22 for plating feeding (see FIG. 4C). As a material of the resist layer 77, a photosensitive dry film resist or a liquid photoresist (for example, a dry film resist or a liquid resist such as a novolac resin or an acrylic resin) can be used. For example, when a photosensitive dry film resist is used, a dry film is laminated on the upper surface of the copper foil 20B by thermocompression bonding, and the dry film is patterned by exposure and development to form the resist layer 77. Even when a liquid photoresist is used, the resist layer 77 can be formed through a similar process.

次に、図4(c)に示す工程では、レジスト層77をエッチングマスクとして銅箔20Bをエッチングし、銅箔20Bを所定形状にパターニングする。これにより、基板10Aの第1主面R1(上面)に、所要の配線パターン20と、第1及び第2給電ライン21,22とが形成される。具体的には、図5に示すように、多数の配線D1を有する配線パターン20と、基板10Aの外周縁に形成された第1給電ライン21と、その第1給電ライン21と配線パターン20とを電気的に接続する、又は各配線D1を電気的に接続する第2給電ライン22とが形成される。これにより、全ての配線D1が第1及び第2給電ライン21,22を介して電気的に接続されることになる。以下の説明では、配線パターン20、第1及び第2給電ライン21,22をまとめて配線層23とも称する。なお、上記銅箔20Bのパターニング終了後に、図4(b)に示したレジスト層77を例えばアルカリ性の剥離液により除去する。   4C, the copper foil 20B is etched using the resist layer 77 as an etching mask, and the copper foil 20B is patterned into a predetermined shape. Thereby, the required wiring pattern 20 and the first and second power supply lines 21 and 22 are formed on the first main surface R1 (upper surface) of the substrate 10A. Specifically, as shown in FIG. 5, a wiring pattern 20 having a large number of wirings D1, a first feeding line 21 formed on the outer periphery of the substrate 10A, the first feeding line 21 and the wiring pattern 20 Are electrically connected to each other, or the second power supply line 22 is formed to electrically connect each wiring D1. As a result, all the wirings D1 are electrically connected via the first and second power supply lines 21 and 22. In the following description, the wiring pattern 20 and the first and second feed lines 21 and 22 are collectively referred to as a wiring layer 23. Note that, after the patterning of the copper foil 20B is completed, the resist layer 77 shown in FIG. 4B is removed by, for example, an alkaline stripping solution.

次に、図4(d)に示す工程では、配線パターン20に対して粗化処理を施す。この粗化処理は、配線パターン20の表面20A(上面及び側面)の粗度が、表面粗さRa値で50〜500nmとなるように行われる。このような粗化処理により、配線パターン20の表面20Aに微細な凹凸が形成されて、その表面20Aが粗面化される。粗化処理としては、例えばエッチング、酸化、めっき、ブラスト等によって行うことができる。なお、この粗化処理では、配線パターン20と同様に銅からなる第1及び第2給電ライン21,22も粗化される。   Next, in the step shown in FIG. 4D, the wiring pattern 20 is roughened. This roughening process is performed so that the roughness of the surface 20A (upper surface and side surface) of the wiring pattern 20 is 50 to 500 nm in terms of the surface roughness Ra. By such roughening treatment, fine irregularities are formed on the surface 20A of the wiring pattern 20, and the surface 20A is roughened. As the roughening treatment, for example, etching, oxidation, plating, blasting, or the like can be performed. In this roughening process, the first and second power supply lines 21 and 22 made of copper are also roughened in the same manner as the wiring pattern 20.

次に、図6(a)に示す工程では、配線パターン20の表面20Aに、配線層23をめっき給電層に利用する電解めっき法を施し、配線パターン20の表面20Aに3層構造のめっき層30を形成する。具体的には、図6(b)に示すように、配線パターン20の表面20AにNiめっきを施して厚さ0.05〜5.00μm(好適には0.1〜2.00μm)のNi層(第1めっき層31)を形成する。このとき、第1めっき層31は、配線パターン20の表面20Aに沿った形状に形成されるため、配線パターン20と同様に、第1めっき層31の表面31Aも粗面化される。続いて、第1めっき層31上にPdめっきを施して厚さ0.001〜0.5μm(好適には0.005〜0.03μm)のPd層(第2めっき層32)を形成する。このとき、第2めっき層32は、第1めっき層31の表面31Aに沿った形状に形成されるため、第1めっき層31と同様に、第2めっき層32の表面32Aも粗面化される。そして、第2めっき層32上にAuめっきを施して厚さ0.001〜0.5μm(好適には0.001〜0.01μm)のAu層(第3めっき層33)を形成する。このとき、第3めっき層33は、第2めっき層32の表面32Aに沿った形状に形成されるため、第2めっき層32と同様に、第3めっき層33の表面33Aも粗面化される。したがって、第3めっき層33の表面33Aの粗度は、配線パターン20と同様に、表面粗さRa値で50〜500nmとなる。   Next, in the process shown in FIG. 6A, the surface 20A of the wiring pattern 20 is subjected to an electrolytic plating method using the wiring layer 23 as a plating power feeding layer, and the plating layer having a three-layer structure is formed on the surface 20A of the wiring pattern 20. 30 is formed. Specifically, as shown in FIG. 6B, Ni having a thickness of 0.05 to 5.00 μm (preferably 0.1 to 2.00 μm) is obtained by applying Ni plating to the surface 20A of the wiring pattern 20. A layer (first plating layer 31) is formed. At this time, since the first plating layer 31 is formed in a shape along the surface 20A of the wiring pattern 20, the surface 31A of the first plating layer 31 is also roughened similarly to the wiring pattern 20. Subsequently, Pd plating is performed on the first plating layer 31 to form a Pd layer (second plating layer 32) having a thickness of 0.001 to 0.5 μm (preferably 0.005 to 0.03 μm). At this time, since the second plating layer 32 is formed in a shape along the surface 31A of the first plating layer 31, the surface 32A of the second plating layer 32 is also roughened in the same manner as the first plating layer 31. The Then, Au plating is performed on the second plating layer 32 to form an Au layer (third plating layer 33) having a thickness of 0.001 to 0.5 μm (preferably 0.001 to 0.01 μm). At this time, since the third plating layer 33 is formed in a shape along the surface 32A of the second plating layer 32, the surface 33A of the third plating layer 33 is also roughened similarly to the second plating layer 32. The Therefore, the roughness of the surface 33 </ b> A of the third plating layer 33 is 50 to 500 nm in terms of the surface roughness Ra, similarly to the wiring pattern 20.

なお、本実施形態では、配線パターン20と同様に、第1及び第2給電ライン21,22上にもめっき層30を形成するようにしたが、第1及び第2給電ライン21,22上ではめっき層30の形成を省略してもよい。   In the present embodiment, the plating layer 30 is also formed on the first and second power supply lines 21 and 22 as in the case of the wiring pattern 20, but on the first and second power supply lines 21 and 22. The formation of the plating layer 30 may be omitted.

次に、図6(c)に示す工程では、基板10上及びめっき層30上に、実装領域CA及び電極端子50にそれぞれ対応する開口部40X,40Yを有する絶縁層40を形成する。例えば基板10Aの第1主面R1、配線パターン20及び給電ライン21,22を覆うように絶縁層40となるレジスト層を形成した後、フォトリソグラフィ法によりレジスト層を露光・現像して上記開口部40X,40Yを形成することで、上記絶縁層40を形成することができる。また、絶縁層40は、例えば樹脂ペーストのスクリーン印刷法によっても形成することができる。このとき、めっき層30の最表層の第3めっき層33の表面33A(図6(b)参照)が粗面化されているため、その第3めっき層33の表面33Aと絶縁層40との間で良好な密着性を得ることができる。   Next, in the step shown in FIG. 6C, the insulating layer 40 having openings 40 </ b> X and 40 </ b> Y respectively corresponding to the mounting area CA and the electrode terminal 50 is formed on the substrate 10 and the plating layer 30. For example, after forming a resist layer to be the insulating layer 40 so as to cover the first main surface R1, the wiring pattern 20 and the power supply lines 21 and 22 of the substrate 10A, the resist layer is exposed and developed by a photolithography method, and the openings are formed. By forming 40X and 40Y, the insulating layer 40 can be formed. The insulating layer 40 can also be formed by, for example, a resin paste screen printing method. At this time, since the surface 33A (see FIG. 6B) of the third plating layer 33 which is the outermost layer of the plating layer 30 is roughened, the surface 33A of the third plating layer 33 and the insulating layer 40 Good adhesion can be obtained.

また、上記絶縁層40の形成によって、配線パターン20上に形成されためっき層30が開口部40Xから露出される実装領域CAを形成することができる。このため、絶縁層40の形成後に、コンタクト性を向上させるために電解めっき等を施す必要がない。これにより、上記めっき層30を形成する際に使用されるめっき液の劣化を抑制することができる。詳述すると、絶縁層40を形成した後に、開口部40Xから露出された配線パターン20に対してめっき法(電解めっき法又は無電解めっき法)を施す場合には、そのときに使用されるめっき液に対して絶縁層40に含まれる樹脂材等が溶出し、めっき液の劣化とそれによる液寿命の短縮化を引き起こすという問題がある。これに対し、本実施形態の製造方法によれば、電解めっき法を実施する際には、絶縁層40が形成されていないため、上述したような問題の発生を未然に防止することができる。すなわち、本実施形態の製造方法によれば、めっき液の劣化を抑制することができるため、めっき液の液寿命の短縮化を抑制することができる。   In addition, by forming the insulating layer 40, it is possible to form a mounting area CA where the plating layer 30 formed on the wiring pattern 20 is exposed from the opening 40X. For this reason, after forming the insulating layer 40, it is not necessary to perform electrolytic plating or the like in order to improve the contact property. Thereby, deterioration of the plating solution used when forming the plating layer 30 can be suppressed. More specifically, after the insulating layer 40 is formed, when the plating method (electrolytic plating method or electroless plating method) is applied to the wiring pattern 20 exposed from the opening 40X, the plating used at that time is used. There is a problem that the resin material or the like contained in the insulating layer 40 is eluted with respect to the solution, causing deterioration of the plating solution and thereby shortening the life of the solution. On the other hand, according to the manufacturing method of the present embodiment, since the insulating layer 40 is not formed when the electrolytic plating method is performed, it is possible to prevent the above-described problem from occurring. That is, according to the manufacturing method of this embodiment, since deterioration of the plating solution can be suppressed, shortening of the life of the plating solution can be suppressed.

次いで、図7(a)に示す工程では、図6(c)に示した第2給電ライン22を除去するように溝部60を形成する。具体的には、図7(b)に示すように、溝部60は、第2給電ライン22に対向する絶縁層40及びめっき層30と第2給電ライン22(図6(c)参照)とを厚さ方向に貫通し、溝部60の底面が基板10Aの厚さ方向の中途に位置するように形成される。図8に示すように、この溝部60は第2給電ライン22の形成された全ての箇所(図8では、20箇所)に形成されるため、本工程では20個の溝部60が形成される。これにより、全ての第2給電ライン22及びそれら第2給電ライン22上に形成されためっき層30が除去され、溝部60の形成された領域では基板10Aが露出される。そして、このような溝部60の形成によって、基板10Aの外周縁に形成された第1給電ライン21と配線パターン20とが分離されるとともに、各配線D1が分離される。すなわち、上記溝部60の形成(第2給電ライン22の除去)により、各配線D1は電気的に分離される。なお、上記溝部60は、例えばルータ加工、レーザ加工や微細な金型を用いた金型加工により形成することができる。   Next, in the step shown in FIG. 7A, the groove 60 is formed so as to remove the second power supply line 22 shown in FIG. Specifically, as shown in FIG. 7B, the groove 60 includes the insulating layer 40 and the plating layer 30 facing the second power supply line 22 and the second power supply line 22 (see FIG. 6C). It penetrates in the thickness direction, and is formed so that the bottom surface of the groove part 60 is located in the middle of the thickness direction of the substrate 10A. As shown in FIG. 8, since this groove part 60 is formed in all the places (20 places in FIG. 8) in which the 2nd electric power feeding line 22 was formed, in this process, 20 groove parts 60 are formed. Thereby, all the 2nd electric power feeding lines 22 and the plating layer 30 formed on these 2nd electric power feeding lines 22 are removed, and board | substrate 10A is exposed in the area | region in which the groove part 60 was formed. By forming the groove 60, the first power supply line 21 and the wiring pattern 20 formed on the outer peripheral edge of the substrate 10A are separated, and the wirings D1 are separated. That is, the wirings D1 are electrically separated by the formation of the groove 60 (removal of the second power supply line 22). The groove 60 can be formed by, for example, router processing, laser processing, or die processing using a fine die.

続いて、図7(c)に示す工程では、切断位置B1に対する部分の絶縁層40及び基板10をダイシングブレード等によって切断する。これにより、第1給電ライン21が除去され、図1に示した配線基板1が製造される。   Subsequently, in the step shown in FIG. 7C, the insulating layer 40 and the substrate 10 at a portion corresponding to the cutting position B1 are cut by a dicing blade or the like. Thereby, the 1st electric power feeding line 21 is removed and the wiring board 1 shown in FIG. 1 is manufactured.

次に、発光装置2の製造方法を図9に従って説明する。なお、図9は、図3のB−B線位置における発光装置の製造過程の状態を示した概略断面図である。
図9(a)に示す工程では、上記配線基板1の各実装領域CA内に形成された配線パターン20(めっき層30)上に接着剤71を介して発光素子70を搭載する。その後、発光素子70の電極とめっき層30とをボンディングワイヤ72により接続し、発光素子70と配線パターン20とを電気的に接続する。具体的には、発光素子70の一方の電極を実装領域CA内の一方のめっき層30とボンディングワイヤ72により電気的に接続するとともに、発光素子70の他方の電極を実装領域CA内の他方のめっき層30とボンディングワイヤ72により電気的に接続する。
Next, a method for manufacturing the light emitting device 2 will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing the state of the manufacturing process of the light emitting device at the position of line BB in FIG.
9A, the light emitting element 70 is mounted on the wiring pattern 20 (plating layer 30) formed in each mounting area CA of the wiring board 1 with an adhesive 71 interposed therebetween. Then, the electrode of the light emitting element 70 and the plating layer 30 are connected by the bonding wire 72, and the light emitting element 70 and the wiring pattern 20 are electrically connected. Specifically, one electrode of the light emitting element 70 is electrically connected to one plating layer 30 in the mounting area CA by the bonding wire 72, and the other electrode of the light emitting element 70 is connected to the other electrode in the mounting area CA. The plating layer 30 and the bonding wire 72 are electrically connected.

次に、図9(b)に示す工程では、配線基板1上に実装された複数の発光素子70及びボンディングワイヤ72を封止する封止樹脂75を形成する。例えば封止樹脂75として熱硬化性を有する樹脂を用いる場合には、図9(a)に示す構造体を金型内に収容し、金型内に圧力(例えば、5〜10MPa)を印加し、流動化した樹脂を導入する。その後、樹脂を例えば180℃程度で加熱して硬化させることで、封止樹脂75を形成する。このとき、図9(b)に示すように、配線基板1の溝部60内にも封止樹脂75が充填される。なお、封止樹脂75は、液状の樹脂のポッティングにより形成することもできる。   Next, in a step shown in FIG. 9B, a sealing resin 75 for sealing the plurality of light emitting elements 70 and the bonding wires 72 mounted on the wiring board 1 is formed. For example, when a thermosetting resin is used as the sealing resin 75, the structure shown in FIG. 9A is accommodated in a mold, and pressure (for example, 5 to 10 MPa) is applied to the mold. Introduce fluidized resin. Thereafter, the sealing resin 75 is formed by heating and curing the resin at about 180 ° C., for example. At this time, as shown in FIG. 9B, the sealing resin 75 is also filled in the groove portion 60 of the wiring substrate 1. The sealing resin 75 can also be formed by potting liquid resin.

以上の製造工程により、図3に示した発光装置2が製造される。
(めっき層の密着性評価)
次に、めっき層30の表面30Aの表面粗さと、そのめっき層30に対する絶縁層40の密着性との関係について評価した結果を図10に従って説明する。
The light emitting device 2 shown in FIG. 3 is manufactured by the above manufacturing process.
(Evaluation of plating layer adhesion)
Next, the results of evaluating the relationship between the surface roughness of the surface 30A of the plating layer 30 and the adhesion of the insulating layer 40 to the plating layer 30 will be described with reference to FIG.

まず、評価用のサンプルを5種類作成した。具体的には、実施例1,2及び比較例1,2のサンプルでは、表面の粗度が表面粗さRa値で75nmの銅板上に、Niめっき層、Pdめっき層及びAuめっき層からなるめっき層を形成した。このとき、Niめっきの条件を適宜調整することで、めっき層の最表層、つまりAuめっき層の表面の表面粗さRa値を各サンプルで異なる値に調整した。具体的には、図10に示すように、実施例1、実施例2、比較例1及び比較例2における最表層の表面の表面粗さRa値を、65nm、368nm、20nm、511nmにそれぞれ調整している。一方、比較例3のサンプルでは、表面の粗度が表面粗さRa値で75nmの銅板を用意した。   First, five types of samples for evaluation were created. Specifically, in the samples of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2, the surface roughness is composed of a Ni plating layer, a Pd plating layer, and an Au plating layer on a copper plate having a surface roughness Ra value of 75 nm. A plating layer was formed. At this time, the surface roughness Ra value of the outermost layer of the plating layer, that is, the surface of the Au plating layer was adjusted to a different value for each sample by appropriately adjusting the Ni plating conditions. Specifically, as shown in FIG. 10, the surface roughness Ra value of the surface of the outermost layer in Example 1, Example 2, Comparative Example 1 and Comparative Example 2 was adjusted to 65 nm, 368 nm, 20 nm and 511 nm, respectively. doing. On the other hand, in the sample of Comparative Example 3, a copper plate having a surface roughness Ra value of 75 nm was prepared.

そして、各サンプルの最表層(実施例1,2及び比較例1,2ではAuめっき層、比較例3では銅板)上に白色レジスト材料をスクリーン印刷した後、白色レジスト材料をオーブンで60分間150℃で加熱することにより熱硬化させて、厚さ30μmの絶縁層を形成した。なお、白色レジスト材料としては、オルガノポリシロキサン樹脂と、シリカフィラーと、酸化チタンフィラーと、硬化剤とを含む絶縁材料を使用した。   And after screen-printing a white resist material on the outermost layer (Au plating layer in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2, and a copper plate in Comparative Example 3) of each sample, the white resist material is 150 minutes in an oven for 150 minutes. Heat-curing was performed by heating at 0 ° C. to form an insulating layer having a thickness of 30 μm. As the white resist material, an insulating material containing an organopolysiloxane resin, a silica filler, a titanium oxide filler, and a curing agent was used.

(密着性評価方法)
全てのサンプルについて、カッターを用いて絶縁層に1mm間隔で格子状の切り込みを入れ100個のマスの目を作成した。その後、粘着テープを絶縁層のマス目上に貼り付け、粘着テープを勢いよく剥がした。このときに剥離せずに残ったマスの数をカウントした。そして、この剥離せずに残ったマスの数からめっき層に対する絶縁層の密着性を評価した。その結果を図10に示す。ここで、100個のマスのうち10個以上のマスが残っていれば、配線基板の絶縁層として実用上支障のない密着性を有すると言える。その一方で、100個のうち75個程度のマスが残っていれば、配線基板の絶縁層として十分な密着性を有すると言える。換言すると、これ以上密着性を向上させても粗化処理の手間や処理時間を考えると実用的ではない。
(Adhesion evaluation method)
About all the samples, the grid | lattice-like cut | notch was put in the insulating layer at intervals of 1 mm using the cutter, and the grid of 100 squares was created. Then, the adhesive tape was affixed on the grid of the insulating layer, and the adhesive tape was peeled off vigorously. At this time, the number of cells remaining without peeling was counted. And the adhesiveness of the insulating layer with respect to the plating layer was evaluated from the number of cells remaining without peeling. The result is shown in FIG. Here, if 10 or more squares out of 100 squares remain, it can be said that the insulating layer of the wiring board has adhesiveness that does not impede practically. On the other hand, if about 75 squares out of 100 remain, it can be said that it has sufficient adhesion as an insulating layer of the wiring board. In other words, even if the adhesion is further improved, it is not practical in view of the roughening processing time and processing time.

図10に示した実施例1,2及び比較例1,2の結果から明らかなように、Auめっき層の表面の表面粗さRa値が高くなるほど、剥離せずに残るマスの数が多くなる、つまり絶縁層40との密着性が高くなる。具体的には、比較例1のようにAuめっき層の表面粗さRa値が20nmでは、剥離せずに残ったマスの数が0個であり、絶縁層との密着性が不十分であった。これに対し、実施例1のようにAuめっき層の表面粗さRa値を65nmとすると、15個のマスが剥離せず残り、配線基板の絶縁層として実用上支障のない密着性を得ることができる。このように、Auめっき層の表面粗さRa値を50nm以上とすることにより、そのめっき層と絶縁層との密着性が良好となる。さらに、実施例2のようにAuめっき層の表面粗さRa値を368nmとすると、48個のマスが剥離せず残り、銅板上に直接絶縁層を形成した場合(比較例3参照)と同等の密着性を得ることができる。但し、比較例2のようにAuめっき層の表面粗さRaを511nmとすると、81個のマスが剥離せず残る。このように、Auめっき層の表面粗さRa値が500nm以上になると、粗化処理が過剰であることが分かる。   As is apparent from the results of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 shown in FIG. 10, the higher the surface roughness Ra value of the surface of the Au plating layer, the larger the number of cells remaining without peeling. That is, the adhesion with the insulating layer 40 is increased. Specifically, when the surface roughness Ra value of the Au plating layer is 20 nm as in Comparative Example 1, the number of cells remaining without peeling is 0, and the adhesion to the insulating layer is insufficient. It was. On the other hand, when the surface roughness Ra value of the Au plating layer is 65 nm as in the case of Example 1, 15 masses remain without being peeled off, and an adhesive having no practical problem as an insulating layer of the wiring board is obtained. Can do. Thus, by making the surface roughness Ra value of the Au plating layer 50 nm or more, the adhesion between the plating layer and the insulating layer is improved. Further, when the surface roughness Ra value of the Au plating layer is set to 368 nm as in Example 2, 48 masses remain without being peeled off and are equivalent to the case where an insulating layer is directly formed on the copper plate (see Comparative Example 3). Can be obtained. However, when the surface roughness Ra of the Au plating layer is 511 nm as in Comparative Example 2, 81 cells remain without peeling. Thus, when the surface roughness Ra value of the Au plating layer is 500 nm or more, it can be seen that the roughening treatment is excessive.

以上のことから、絶縁層との密着性及び粗化処理の手間や処理時間の観点から、めっき層の最表面の粗度は、表面粗さRa値で50nm以上500nm以下であることが好ましい。   In view of the above, from the viewpoint of adhesion to the insulating layer, roughening process, and processing time, the roughness of the outermost surface of the plating layer is preferably 50 nm or more and 500 nm or less in terms of the surface roughness Ra value.

以上説明したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
(1)配線パターン20の表面20A全面を覆うようにめっき層30を形成し、そのめっき層30の最外層(最表層)に、安定性の高いAu又はAu合金からなる第3めっき層33を形成するようにした。これにより、めっき層30の表面30A、第2めっき層32、第1めっき層31及び配線パターン20の酸化及び変色を好適に抑制することができる。したがって、発光装置2の使用時に発生する熱によるめっき層30及び配線パターン20の酸化及び変色を抑制することができ、配線抵抗の上昇を抑制することができる。この結果、発光素子70の発光効率が低下することを好適に抑制することができる。
As described above, according to this embodiment, the following effects can be obtained.
(1) A plating layer 30 is formed so as to cover the entire surface 20A of the wiring pattern 20, and a third plating layer 33 made of highly stable Au or Au alloy is formed on the outermost layer (outermost layer) of the plating layer 30. It was made to form. Thereby, the oxidation and discoloration of the surface 30A of the plating layer 30, the second plating layer 32, the first plating layer 31, and the wiring pattern 20 can be suitably suppressed. Therefore, oxidation and discoloration of the plating layer 30 and the wiring pattern 20 due to heat generated when the light emitting device 2 is used can be suppressed, and an increase in wiring resistance can be suppressed. As a result, it can suppress suitably that the luminous efficiency of the light emitting element 70 falls.

(2)さらに、配線パターン20の表面20A全面を覆うようにめっき層30を形成した後に、そのめっき層30の一部を覆う絶縁層40を形成するようにした。この場合には、電解めっき法によりめっき層30を形成する際には、絶縁層40が形成されていないため、その絶縁層40の存在に起因してめっき液が劣化することを未然に防止することができる。これにより、めっき液の液寿命を延ばすことができ、そのめっき液を継続的に使用することができる。この結果、コスト削減に貢献することができる。   (2) Further, after forming the plating layer 30 so as to cover the entire surface 20A of the wiring pattern 20, the insulating layer 40 covering a part of the plating layer 30 is formed. In this case, since the insulating layer 40 is not formed when the plating layer 30 is formed by the electrolytic plating method, it is possible to prevent the plating solution from being deteriorated due to the presence of the insulating layer 40. be able to. As a result, the life of the plating solution can be extended, and the plating solution can be used continuously. As a result, it can contribute to cost reduction.

(3)ところで、本実施形態の配線基板1では、基板10の第1主面R1上の面積に占める配線パターン20の面積の割合が非常に大きい(例えば、70〜80%以上が配線パターン20の面積になる)。このため、配線基板1からの絶縁層40の剥離防止の観点から、配線パターン20上に形成されためっき層30と絶縁層40との密着性の向上が重要となる。この点に関し、本実施形態の配線基板1では、めっき層30の表面30A(第3めっき層33の表面33A)を粗面化するようにした。これにより、めっき層30と絶縁層40との接触面積が増大するため、めっき層30と絶縁層40との密着性を向上させることができる。したがって、配線基板1から絶縁層40が剥離することを好適に抑制することができる。   (3) By the way, in the wiring board 1 of this embodiment, the ratio of the area of the wiring pattern 20 to the area on the first main surface R1 of the board 10 is very large (for example, 70 to 80% or more is the wiring pattern 20). Area). For this reason, from the viewpoint of preventing peeling of the insulating layer 40 from the wiring substrate 1, it is important to improve the adhesion between the plating layer 30 formed on the wiring pattern 20 and the insulating layer 40. In this regard, in the wiring board 1 of the present embodiment, the surface 30A of the plating layer 30 (the surface 33A of the third plating layer 33) is roughened. Thereby, since the contact area of the plating layer 30 and the insulating layer 40 increases, the adhesiveness of the plating layer 30 and the insulating layer 40 can be improved. Therefore, it can suppress suitably that the insulating layer 40 peels from the wiring board 1. FIG.

(4)さらに、めっき層30の表面30A(第3めっき層33の表面33A)の粗度を、表面粗さRa値で50〜500nmになるようにした。これにより、めっき層30と絶縁層40との間で良好な密着性を得ることができるため、配線基板1から絶縁層40が剥離することをより好適に抑制することができる。   (4) Furthermore, the roughness of the surface 30A of the plating layer 30 (the surface 33A of the third plating layer 33) was set to 50 to 500 nm in terms of the surface roughness Ra value. Thereby, since favorable adhesiveness can be acquired between the plating layer 30 and the insulating layer 40, it can suppress more suitably that the insulating layer 40 peels from the wiring board 1. FIG.

(5)めっき層30を、配線パターン20の表面20Aに形成された第1めっき層31(Ni層)と、第2めっき層32(Pd層)と、第3めっき層33(Au層)とが順に積層された3層構造のめっき層とした。めっき層30の最外層にAuからなる第3めっき層33を形成したことにより、上述したように、配線パターン20及びめっき層30の酸化を抑制することができるため、良好なワイヤボンディング性を得ることができる。また、Niからなる第1めっき層31と、Auからなる第3めっき層33との間に、バリア性の高いPdからなる第2めっき層32が介在されるため、熱などによるAuとNiとの相互拡散を抑制することができる。   (5) The plating layer 30 includes a first plating layer 31 (Ni layer), a second plating layer 32 (Pd layer), and a third plating layer 33 (Au layer) formed on the surface 20A of the wiring pattern 20. A plating layer having a three-layer structure in which was sequentially laminated. By forming the third plating layer 33 made of Au as the outermost layer of the plating layer 30, as described above, it is possible to suppress the oxidation of the wiring pattern 20 and the plating layer 30, thereby obtaining good wire bonding properties. be able to. Further, since the second plating layer 32 made of Pd having a high barrier property is interposed between the first plating layer 31 made of Ni and the third plating layer 33 made of Au, Au and Ni caused by heat or the like Mutual diffusion can be suppressed.

(6)第1〜第3めっき層31〜33を電解めっき法により形成するようにした。これにより、めっき層30を無電解めっき法により形成する場合よりも製造コストを低減することができる。   (6) The first to third plating layers 31 to 33 are formed by an electrolytic plating method. Thereby, manufacturing cost can be reduced rather than the case where the plating layer 30 is formed by the electroless plating method.

なお、上記第1実施形態は、これを適宜変更した以下の態様にて実施することもできる。
・図11に示されるように、第2給電ライン22を除去するために形成した溝部60を、絶縁層40、めっき層30、第2給電ライン22(配線パターン20)及び基板10を厚さ方向に貫通するように形成してもよい。すなわち、少なくとも第2給電ライン22が除去されるように、絶縁層40、めっき層30及び第2給電ライン22を厚さ方向に貫通するように溝部が形成されていればよい。
In addition, the said 1st Embodiment can also be implemented in the following aspects which changed this suitably.
As shown in FIG. 11, the groove 60 formed to remove the second power supply line 22 has the insulating layer 40, the plating layer 30, the second power supply line 22 (wiring pattern 20), and the substrate 10 in the thickness direction. You may form so that it may penetrate. That is, it is only necessary to form a groove so as to penetrate the insulating layer 40, the plating layer 30, and the second power supply line 22 in the thickness direction so that at least the second power supply line 22 is removed.

・図12に示されるように、基板10の第2主面R2(図12では下面)に金属層80を形成するようにしてもよい。この金属層80は、例えば平板状に形成された金属板を用いることができる。金属層80の材料としては、例えば銅、アルミニウム、鉄などの熱伝導性に優れた金属を用いることができる。金属層80の厚さは、例えば0.1〜0.4mm程度とすることができる。この金属層80は、配線基板1の支持板として機能するとともに、発光素子70の発光時に発生する熱を放熱する放熱板として機能する。ここで、発光素子70(発光ダイオード)の発光効率は、その温度上昇に伴い減少する傾向にある。このため、上記金属層80により発光素子70から発生する熱を効率良く放熱することにより、発光素子70の発光効率の低下を好適に抑制することができる。   As shown in FIG. 12, a metal layer 80 may be formed on the second main surface R2 (the lower surface in FIG. 12) of the substrate 10. For example, a metal plate formed in a flat plate shape can be used for the metal layer 80. As a material of the metal layer 80, for example, a metal having excellent thermal conductivity such as copper, aluminum, or iron can be used. The thickness of the metal layer 80 can be about 0.1 to 0.4 mm, for example. The metal layer 80 functions as a support plate for the wiring board 1 and also functions as a heat dissipation plate that dissipates heat generated when the light emitting element 70 emits light. Here, the light emission efficiency of the light emitting element 70 (light emitting diode) tends to decrease as the temperature rises. For this reason, by efficiently dissipating the heat generated from the light emitting element 70 by the metal layer 80, it is possible to suitably suppress a decrease in the light emission efficiency of the light emitting element 70.

(第2実施形態)
以下、第2実施形態を図13〜図15に従って説明する。この実施形態の配線基板3は、配線パターン及びめっき層の構造、及び基板10の第2主面R2に金属層80が形成された点が上記第1実施形態と異なっている。以下、第1実施形態との相違点を中心に説明する。なお、先の図1〜図12に示した部材と同一の部材にはそれぞれ同一の符号を付して示し、それら各要素についての詳細な説明は省略する。
(Second Embodiment)
Hereinafter, the second embodiment will be described with reference to FIGS. The wiring board 3 of this embodiment is different from the first embodiment in that the wiring pattern and the structure of the plating layer, and the metal layer 80 is formed on the second main surface R2 of the substrate 10. Hereinafter, the difference from the first embodiment will be mainly described. The same members as those shown in FIGS. 1 to 12 are denoted by the same reference numerals, and detailed description of these elements is omitted.

図13(a)に示すように、基板10の第2主面R2(図13(a)では下面)には、金属層80が形成されている。この金属層80は、例えば平板状に形成された金属板を用いることができる。金属層80の材料としては、例えば銅、アルミニウム、鉄などの熱伝導性に優れた金属を用いることができる。金属層80の厚さは、例えば0.1〜0.4mm程度とすることができる。   As shown in FIG. 13A, a metal layer 80 is formed on the second main surface R2 of the substrate 10 (the lower surface in FIG. 13A). For example, a metal plate formed in a flat plate shape can be used for the metal layer 80. As a material of the metal layer 80, for example, a metal having excellent thermal conductivity such as copper, aluminum, or iron can be used. The thickness of the metal layer 80 can be about 0.1 to 0.4 mm, for example.

図13(b)に示すように、基板10の第1主面R1(図13(b)では上面)に形成された配線パターン25は、その表面25A(上面及び側面)が凹凸の少ない平滑面に形成されている。配線パターン25の平面形状は、上記第1実施形態の配線パターン20と同様であるため、その図示を省略している。   As shown in FIG. 13 (b), the wiring pattern 25 formed on the first main surface R1 (upper surface in FIG. 13 (b)) of the substrate 10 has a smooth surface with less unevenness on the surface 25A (upper surface and side surfaces). Is formed. Since the planar shape of the wiring pattern 25 is the same as that of the wiring pattern 20 of the first embodiment, the illustration thereof is omitted.

配線パターン25の表面25Aには、表面が粗面化された第1めっき層(粗面めっき層)36と、第2めっき層37と、第3めっき層38とが順に積層された3層構造のめっき層35が形成されている。ここで、本実施形態では、第1めっき層36がニッケル(Ni)めっき層、第2めっき層37がパラジウム(Pd)めっき層、第3めっき層38が金(Au)めっき層である。なお、これら第1〜第3めっき層36〜38は、例えば電解めっき法により形成することができる。   A three-layer structure in which a first plating layer (rough surface plating layer) 36 having a roughened surface, a second plating layer 37, and a third plating layer 38 are sequentially laminated on the surface 25A of the wiring pattern 25. The plating layer 35 is formed. Here, in the present embodiment, the first plating layer 36 is a nickel (Ni) plating layer, the second plating layer 37 is a palladium (Pd) plating layer, and the third plating layer 38 is a gold (Au) plating layer. In addition, these 1st-3rd plating layers 36-38 can be formed by the electroplating method, for example.

第1めっき層36の表面(粗化面)36Aは、微細な凹凸形状に形成されている。この粗化面36Aの粗度は、例えば表面粗さRa値で50nm以上となるように設定されている。具体的には、粗化面36Aの粗度は、第1めっき層36を電解めっき法にて形成する際に使用するめっき液の組成や電流密度等を調整することにより、表面粗さRa値で50〜500nmとなるように設定されている。この第1めっき層36は、配線パターン25に含まれるCuの拡散防止効果や配線パターン25の腐食を防止する耐腐食性効果、Pdからなる第2めっき層37との密着性などの特性を考慮して、材料組成や厚さが設定される。第1めっき層36の材料としては、例えばNiやNi合金を用いることができる。また、第1めっき層36の厚さは、上記特性及び製造コストの観点から、0.05μm以上5.00μm以下の範囲が好ましく、0.1μm以上2.00μm以下の範囲がより好ましい。   The surface (roughened surface) 36A of the first plating layer 36 is formed in a fine uneven shape. The roughness of the roughened surface 36A is set to be, for example, a surface roughness Ra value of 50 nm or more. Specifically, the roughness of the roughened surface 36A is determined by adjusting the surface roughness Ra value by adjusting the composition, current density, etc. of the plating solution used when the first plating layer 36 is formed by the electrolytic plating method. Is set to 50 to 500 nm. The first plating layer 36 takes into consideration the characteristics such as the diffusion preventing effect of Cu contained in the wiring pattern 25, the corrosion resistance effect preventing corrosion of the wiring pattern 25, and the adhesion to the second plating layer 37 made of Pd. Thus, the material composition and thickness are set. As a material of the first plating layer 36, for example, Ni or Ni alloy can be used. Moreover, the thickness of the 1st plating layer 36 has the preferable range of 0.05 micrometer or more and 5.00 micrometers or less, and the range of 0.1 micrometer or more and 2.00 micrometers or less is more preferable from a viewpoint of the said characteristic and manufacturing cost.

第2めっき層37は、例えば熱による第1めっき層36に含まれるNiと第3めっき層38に含まれるAuとの相互拡散を防止する役割を果たす。このような機能を実現するための第2めっき層37の材料としては、例えばPd又はPd合金を用いることができる。第2めっき層37の厚さは、製造コストの点からできる限り薄膜化しつつも、上記相互拡散を抑制するためには、0.001μm以上0.5μm以下の範囲が好ましく、0.005μm以上0.03μm以下の範囲がより好ましい。この第2めっき層37の表面37A(上面及び側面)は、上記第1めっき層36と同様に粗面化されており、微細な凹凸形状が形成されている。この粗面化された第2めっき層37の表面37Aの粗度は、例えば表面粗さRa値で50〜500nmとなるように設定されている。   The second plating layer 37 serves to prevent mutual diffusion between Ni contained in the first plating layer 36 and Au contained in the third plating layer 38 due to heat, for example. As a material of the second plating layer 37 for realizing such a function, for example, Pd or a Pd alloy can be used. The thickness of the second plating layer 37 is preferably in the range of 0.001 μm or more and 0.5 μm or less in order to suppress the mutual diffusion while reducing the thickness as much as possible from the viewpoint of manufacturing cost. A range of 0.03 μm or less is more preferable. The surface 37A (upper surface and side surface) of the second plating layer 37 is roughened in the same manner as the first plating layer 36, and a fine uneven shape is formed. The roughness of the surface 37A of the roughened second plating layer 37 is set, for example, to be 50 to 500 nm as a surface roughness Ra value.

第3めっき層38は、例えばめっき層35や配線パターン25の加熱時の酸化を防止しつつ、コンタクト性(ワイヤボンディング性やはんだ付け性)を向上させる役割を果たす。このような機能を実現するための第3めっき層38の材料としては、配線パターン25(銅)よりも酸化し難く、硬度の低い金属であることが好ましく、例えばAuやAgなどの貴金属又はこれらの金属を少なくとも一種以上含む貴金属合金を用いることができる。第3めっき層38の厚さは、製造コストの点からできる限り薄膜化しつつも、コンタクト性を向上させるためには、0.001μm以上0.5μm以下の範囲が好ましく、0.001μm以上0.01μm以下の範囲がより好ましい。この第3めっき層38の表面38A(上面及び側面)は、上記第2めっき層37と同様に粗面化されており、微細な凹凸形状が形成されている。この粗面化された第3めっき層38の表面38Aの粗度は、例えば表面粗さRa値で50〜500nmとなるように設定されている。これにより、第3めっき層38とその第3めっき層38上に形成される絶縁層40との密着性を、第3めっき層38の表面38Aが平滑面である場合よりも増大させることができる。   The third plating layer 38 plays a role of improving contact properties (wire bonding property and soldering property) while preventing oxidation of the plating layer 35 and the wiring pattern 25 during heating, for example. The material of the third plating layer 38 for realizing such a function is preferably a metal that is harder to oxidize than the wiring pattern 25 (copper) and has a low hardness, such as a noble metal such as Au or Ag, or the like. A noble metal alloy containing at least one of these metals can be used. The thickness of the third plating layer 38 is preferably in the range of 0.001 μm or more and 0.5 μm or less in order to improve the contact property while reducing the thickness as much as possible from the viewpoint of manufacturing cost. A range of 01 μm or less is more preferable. The surface 38A (upper surface and side surface) of the third plating layer 38 is roughened in the same manner as the second plating layer 37, and a fine uneven shape is formed. The roughness of the surface 38A of the roughened third plating layer 38 is set to be, for example, 50 to 500 nm in terms of the surface roughness Ra value. Thereby, the adhesiveness of the 3rd plating layer 38 and the insulating layer 40 formed on the 3rd plating layer 38 can be increased rather than the case where the surface 38A of the 3rd plating layer 38 is a smooth surface. .

また、配線基板3には、溝部61が形成されている。この溝部61は、絶縁層40の上面から、その絶縁層40、めっき層35、配線パターン25及び基板10を貫通して金属層80の厚みの途中まで形成されている。なお、この溝部61は、当該配線基板3の製造過程で使用されるめっき給電用の給電ライン22(図14(b)参照)を除去するために形成されたものである。   Further, a groove 61 is formed in the wiring board 3. The groove 61 is formed from the upper surface of the insulating layer 40 to the middle of the thickness of the metal layer 80 through the insulating layer 40, the plating layer 35, the wiring pattern 25 and the substrate 10. The groove 61 is formed in order to remove the power feeding line 22 for plating power feeding (see FIG. 14B) used in the manufacturing process of the wiring board 3.

(配線基板の製造方法)
次に、上記配線基板3の製造方法について説明する。
まず、配線基板3を製造するためには、図14(a)に示すように、基板10Aの片面に銅箔25Bが被着された片面銅張り基板を金属層80Aに接着した構造体を用意する。ここで、基板10Aは、最終的に切断位置B1で切断されることにより図13に示した基板10となるものである。また、金属層80Aは、最終的に切断位置B1で切断されることにより図13に示した金属層80となるものである。
(Method for manufacturing a wiring board)
Next, a method for manufacturing the wiring board 3 will be described.
First, in order to manufacture the wiring substrate 3, as shown in FIG. 14A, a structure is prepared in which a single-sided copper-clad substrate with a copper foil 25B attached to one side of the substrate 10A is bonded to the metal layer 80A. To do. Here, the substrate 10A is the substrate 10 shown in FIG. 13 by being finally cut at the cutting position B1. Further, the metal layer 80A is finally cut at the cutting position B1 to become the metal layer 80 shown in FIG.

次に、図14(b)に示す工程では、図4(b)及び図4(c)に示した工程と同様に、基板10Aの第1主面R1(図14(b)では上面)に形成された銅箔25Bを所定形状にパターニングする。これにより、基板10Aの第1主面R1に、所要の配線パターン25と、第1及び第2給電ライン21,22とが形成される。なお、以下の説明では、配線パターン25、第1及び第2給電ライン21,22をまとめて配線層26とも称する。   Next, in the step shown in FIG. 14B, similarly to the steps shown in FIG. 4B and FIG. 4C, the first main surface R1 (the upper surface in FIG. 14B) of the substrate 10A is formed. The formed copper foil 25B is patterned into a predetermined shape. Thereby, the required wiring pattern 25 and the first and second power supply lines 21 and 22 are formed on the first main surface R1 of the substrate 10A. In the following description, the wiring pattern 25 and the first and second power supply lines 21 and 22 are collectively referred to as a wiring layer 26.

続いて、図14(c)に示す工程では、配線パターン25の表面25Aに、配線層26をめっき給電層に利用する電解めっき法を施し、配線パターン25の表面25A(上面及び側面)に3層構造のめっき層35を形成する。   14C, the surface 25A of the wiring pattern 25 is subjected to electrolytic plating using the wiring layer 26 as a plating power supply layer, and the surface 25A (upper surface and side surfaces) of the wiring pattern 25 is subjected to 3 A plating layer 35 having a layer structure is formed.

具体的には、図14(d)に示すように、まず、配線パターン25の表面25Aに、表面が粗化面36Aである第1めっき層(粗面めっき層)36を形成する。ここで、粗化面36Aの表面粗度は、表面粗さRa値で50〜500nmの範囲であることが好ましい。但し、このような粗度に設定するためには、上述もしたように、使用するめっき液の組成や電流密度を適切に調整する必要がある。以下に、Niから構成される粗面めっき層36を形成する際のめっき条件の一例を説明する。具体的には、めっき液として塩化ニッケルめっき浴を使用する場合のめっき浴の組成及びめっき条件は、次の通りである。   Specifically, as shown in FIG. 14D, first, a first plating layer (rough surface plating layer) 36 whose surface is a roughened surface 36A is formed on the surface 25A of the wiring pattern 25. Here, the surface roughness of the roughened surface 36A is preferably in the range of 50 to 500 nm in terms of the surface roughness Ra value. However, in order to set such roughness, it is necessary to appropriately adjust the composition and current density of the plating solution to be used as described above. Below, an example of the plating conditions at the time of forming the rough surface plating layer 36 comprised from Ni is demonstrated. Specifically, the composition and plating conditions of the plating bath when using a nickel chloride plating bath as the plating solution are as follows.

塩化ニッケルめっき浴:
塩化ニッケル 75g/L
チオシアン酸ナトリウム 15g/L
塩化アンモニウム 30g/L
ホウ酸 30g/L
pH: 約4.5〜5.5
浴温: 常温(約25℃)
処理時間: 約1〜30分間
陰極電流密度: 約1〜3A/dm
このように、予め使用するめっき液の組成や電流密度等を適切に調整することにより、第1めっき層36の表面36Aが粗面化され、その粗化面36Aの粗度を所望の表面粗度に設定させることができる。なお、上述しためっき液の組成やめっき条件は一例であり、第1めっき層36の粗化面36Aが所望の粗度になるように調整されるのであれば、その組成や条件は特に限定されない。
Nickel chloride plating bath:
Nickel chloride 75g / L
Sodium thiocyanate 15g / L
Ammonium chloride 30g / L
Boric acid 30g / L
pH: about 4.5 to 5.5
Bath temperature: Room temperature (about 25 ° C)
Processing time: about 1-30 minutes Cathode current density: about 1-3 A / dm 2
Thus, the surface 36A of the first plating layer 36 is roughened by appropriately adjusting the composition and current density of the plating solution used in advance, and the roughness of the roughened surface 36A is set to a desired surface roughness. Can be set in degrees. In addition, the composition and plating conditions of the plating solution described above are examples, and the composition and conditions are not particularly limited as long as the roughened surface 36A of the first plating layer 36 is adjusted to have a desired roughness. .

次に、第1めっき層36上にPdめっきを施して厚さ0.001〜0.5μm(好適には0.005〜0.03μm)のPd層(第2めっき層37)を形成する。このとき、第2めっき層37は、第1めっき層36の粗化面36Aに沿った形状に形成されるため、第1めっき層36と同様に、第2めっき層37の表面37Aも粗面化される。以下に、Pdから構成される第2めっき層37を形成する際のめっき浴の組成及びめっき条件の一例を説明する。   Next, Pd plating is performed on the first plating layer 36 to form a Pd layer (second plating layer 37) having a thickness of 0.001 to 0.5 μm (preferably 0.005 to 0.03 μm). At this time, since the second plated layer 37 is formed in a shape along the roughened surface 36A of the first plated layer 36, the surface 37A of the second plated layer 37 is also roughened like the first plated layer 36. It becomes. Hereinafter, an example of the composition of the plating bath and the plating conditions when forming the second plating layer 37 made of Pd will be described.

Pdめっき浴:
ジニトロテトラアンミンパラジウム 10g/L
クエン酸アンモニウム 150g/L
応力緩和剤
結晶調整剤
pH: 約7.5〜8.5
浴温: 約50℃
処理時間: 約2〜10秒間
陰極電流密度 約1〜3A/dm
続いて、第2めっき層37上にAuめっきを施して厚さ0.001〜0.5μm(好適には0.001〜0.01μm)のAu層(第3めっき層38)を形成する。このとき、第3めっき層38は、第2めっき層37の表面37Aに沿った形状に形成されるため、第2めっき層37と同様に、第3めっき層38の表面38Aも粗面化される。したがって、第3めっき層38の表面38Aの粗度は、第1めっき層36の粗化面36Aと同様に、表面粗さRa値で50〜500nmとなる。以下に、Auから構成される第3めっき層38を形成する際のめっき浴の組成及びめっき条件の一例を説明する。
Pd plating bath:
Dinitrotetraamminepalladium 10g / L
Ammonium citrate 150 g / L
Stress relaxation agent Crystal modifier pH: about 7.5 to 8.5
Bath temperature: about 50 ° C
Processing time: about 2 to 10 seconds Cathode current density about 1 to 3 A / dm 2
Subsequently, Au plating is performed on the second plating layer 37 to form an Au layer (third plating layer 38) having a thickness of 0.001 to 0.5 μm (preferably 0.001 to 0.01 μm). At this time, since the third plating layer 38 is formed in a shape along the surface 37A of the second plating layer 37, similarly to the second plating layer 37, the surface 38A of the third plating layer 38 is also roughened. The Therefore, the roughness of the surface 38A of the third plating layer 38 is 50 to 500 nm in terms of the surface roughness Ra, similarly to the roughened surface 36A of the first plating layer 36. Hereinafter, an example of the composition of the plating bath and the plating conditions when forming the third plating layer 38 made of Au will be described.

Auめっき浴:
シアン化金カリウム 10g/L
クエン酸カリウム 100g/L
置換抑制剤
光沢剤
pH: 約5.5〜6.5
浴温: 約50℃
処理時間: 約2〜20秒間
陰極電流密度: 約0.5〜1A/dm
次いで、図15(a)に示す工程では、基板10A上及びめっき層35上に、実装領域CA及び電極端子50に対応する開口部40X,40Yを有する絶縁層40を形成する。このとき、めっき層35の最表層の第3めっき層38の表面38Aが粗面化されているため、その第3めっき層38と絶縁層40との間で良好な密着性を得ることができる。
Au plating bath:
Potassium cyanide potassium 10g / L
Potassium citrate 100g / L
Substitution inhibitor Brightening agent pH: about 5.5 to 6.5
Bath temperature: about 50 ° C
Treatment time: about 2-20 seconds Cathode current density: about 0.5-1 A / dm 2
15A, the insulating layer 40 having openings 40X and 40Y corresponding to the mounting area CA and the electrode terminals 50 is formed on the substrate 10A and the plating layer 35. At this time, since the surface 38A of the third plating layer 38 which is the outermost layer of the plating layer 35 is roughened, good adhesion between the third plating layer 38 and the insulating layer 40 can be obtained. .

次に、図15(b)に示す工程では、図15(a)に示した第2給電ライン22を除去するように溝部61を形成する。具体的には、溝部61は、第2給電ライン22に対向する絶縁層40及びめっき層35と第2給電ライン22と基板10Aとを厚さ方向に貫通し、溝部61の底面が金属層80Aの厚さ方向の中途に位置するように形成される。これにより、第2給電ライン22が除去される。なお、上記溝部61は、例えばルータ加工、レーザ加工や微細な金型を用いた金型加工により形成することができる。   Next, in the step shown in FIG. 15B, the groove 61 is formed so as to remove the second power supply line 22 shown in FIG. Specifically, the groove 61 penetrates the insulating layer 40 and the plating layer 35 facing the second power supply line 22, the second power supply line 22, and the substrate 10A in the thickness direction, and the bottom surface of the groove 61 is the metal layer 80A. It is formed so as to be located in the middle of the thickness direction. Thereby, the 2nd electric supply line 22 is removed. The groove 61 can be formed by, for example, router processing, laser processing, or mold processing using a fine mold.

続いて、図15(c)に示す工程では、切断位置B1に対する部分の絶縁層40と基板10Aと金属層80Aをダイシングブレード等によって切断する。これにより、第1給電ライン21が除去され、図13に示した配線基板3が製造される。   Subsequently, in the step shown in FIG. 15C, the insulating layer 40, the substrate 10A, and the metal layer 80A at a portion corresponding to the cutting position B1 are cut by a dicing blade or the like. Thereby, the 1st electric power feeding line 21 is removed and the wiring board 3 shown in FIG. 13 is manufactured.

以上説明した実施形態によれば、第1実施形態の(1)〜(6)の効果に加えて以下の効果を奏する。
(7)基板10の第2主面R2に金属層80を形成するようにした。この金属層80によって発光素子70から発生する熱を効率良く放熱することにより、発光素子70の発光効率の低下を好適に抑制することができる。
According to the embodiment described above, the following effects are obtained in addition to the effects (1) to (6) of the first embodiment.
(7) The metal layer 80 is formed on the second main surface R2 of the substrate 10. By efficiently dissipating the heat generated from the light emitting element 70 by the metal layer 80, a decrease in the light emission efficiency of the light emitting element 70 can be suitably suppressed.

なお、上記第2実施形態は、これを適宜変更した以下の態様にて実施することもできる。
・図16に示されるように、第2給電ライン22を除去するために形成した溝部61の代わりに、絶縁層40、めっき層35、第2給電ライン22(配線パターン25)、基板10及び金属層80を厚さ方向に貫通する溝部61Aを形成するようにしてもよい。
In addition, the said 2nd Embodiment can also be implemented in the following aspects which changed this suitably.
As shown in FIG. 16, instead of the groove 61 formed to remove the second power supply line 22, the insulating layer 40, the plating layer 35, the second power supply line 22 (wiring pattern 25), the substrate 10 and the metal A groove 61A that penetrates the layer 80 in the thickness direction may be formed.

・図17に示されるように、溝部61Aの形成によって露出された配線パターン25及びめっき層35の側面、すなわち溝部61Aの側面にもなる配線パターン25及びめっき層35の側面の一部を除去するようにしてもよい。具体的には、配線パターン25及びめっき層35の側面を、それらの側面が溝部61Aの側面から基板10内に後退した位置になるように一部を除去するようにしてもよい。これにより、基板10の厚さが薄い場合であっても、配線パターン25及びめっき層35と金属層80との間の距離が広がるため、それらが電気的に接続(短絡)されることを好適に抑制することができる。   As shown in FIG. 17, the side surfaces of the wiring pattern 25 and the plating layer 35 exposed by the formation of the groove portion 61A, that is, the side surfaces of the wiring pattern 25 and the plating layer 35 that also become the side surfaces of the groove portion 61A are removed. You may do it. Specifically, a part of the side surfaces of the wiring pattern 25 and the plating layer 35 may be removed so that the side surfaces thereof are in a position retracted into the substrate 10 from the side surface of the groove 61A. Thereby, even when the thickness of the substrate 10 is thin, the distance between the wiring pattern 25 and the plating layer 35 and the metal layer 80 is widened, so that they are preferably electrically connected (short-circuited). Can be suppressed.

なお、上述したような配線パターン25及びめっき層35の除去は、例えばエッチングにより行うことができる。エッチングとしては、例えばゴムなどを用いたマスキングによる部分エッチングを用いることができる。この部分エッチングによれば、溝部61A周辺に対してのみエッチングを行うことができるため、所望の箇所(ここでは、溝部61Aの形成によって露出された配線パターン25及びめっき層35)に対して選択的にエッチングを行うことができる。   The wiring pattern 25 and the plating layer 35 as described above can be removed by etching, for example. As the etching, for example, partial etching by masking using rubber or the like can be used. According to this partial etching, etching can be performed only on the periphery of the groove 61A, and therefore selective to a desired portion (here, the wiring pattern 25 and the plating layer 35 exposed by the formation of the groove 61A). Etching can be performed.

ここでは、溝部61Aを形成した場合について説明したが、溝部60,61を形成した場合についても同様の処理を行うようにしてもよい。
・上記第2実施形態における金属層80を省略してもよい。
Although the case where the groove portion 61A is formed has been described here, the same processing may be performed when the groove portions 60 and 61 are formed.
-You may abbreviate | omit the metal layer 80 in the said 2nd Embodiment.

(その他の変形例)
なお、上記各実施形態は、これを適宜変更した以下の態様にて実施することもできる。
・上記各実施形態では、基板10上に形成された配線パターン20,25を覆うように形成されためっき層30,35上に発光素子70をワイヤボンディング実装するようにした。これに限らず、例えば図18(a)、(b)に示すように、上記めっき層30,35上に発光素子90をフリップチップ実装するようにしてもよい。この場合、発光素子90は、実装領域CAに形成された開口部20X,25Xを跨るように、その開口部20X,25Xの両側に形成されためっき層30,35上に実装される。具体的には、発光素子90の回路形成面(図18では下面)に形成された一方のバンプ91が実装領域CA内の一方のめっき層30,35にフリップチップ接続され、他方のバンプ91が実装領域CA内の他方のめっき層30,35にフリップチップ接続される。
(Other variations)
In addition, each said embodiment can also be implemented in the following aspects which changed this suitably.
In each of the above embodiments, the light emitting element 70 is wire-bonded and mounted on the plating layers 30 and 35 formed so as to cover the wiring patterns 20 and 25 formed on the substrate 10. For example, as shown in FIGS. 18A and 18B, the light emitting element 90 may be flip-chip mounted on the plating layers 30 and 35. In this case, the light emitting element 90 is mounted on the plating layers 30 and 35 formed on both sides of the openings 20X and 25X so as to straddle the openings 20X and 25X formed in the mounting area CA. Specifically, one bump 91 formed on the circuit formation surface (the lower surface in FIG. 18) of the light emitting element 90 is flip-chip connected to one plating layer 30, 35 in the mounting area CA, and the other bump 91 is The other plating layers 30 and 35 in the mounting area CA are flip-chip connected.

・図19に示されるように、基板10の実装領域CAに凹部10Xを形成し、その凹部10X内に発光素子90を実装するようにしてもよい。この場合には、凹部10Xに配線パターン20を形成し、その配線パターン20の表面20Aを覆うようにめっき層30を形成し、実装領域CA以外のめっき層30を覆うように絶縁層40を形成する。そして、凹部10Xの底面に形成されためっき層30上に発光素子90を実装する。なお、図19では、発光素子90をフリップチップ実装するようにしているが、発光素子をワイヤボンディング実装するようにしてもよい。   As shown in FIG. 19, a recess 10X may be formed in the mounting area CA of the substrate 10, and the light emitting element 90 may be mounted in the recess 10X. In this case, the wiring pattern 20 is formed in the recess 10X, the plating layer 30 is formed so as to cover the surface 20A of the wiring pattern 20, and the insulating layer 40 is formed so as to cover the plating layer 30 other than the mounting area CA. To do. And the light emitting element 90 is mounted on the plating layer 30 formed in the bottom face of the recessed part 10X. In FIG. 19, the light emitting element 90 is flip-chip mounted. However, the light emitting element may be mounted by wire bonding.

・上記各実施形態において、めっき層30,35の最外層のめっき層33,38を、下層のめっき層32,37の表面32A,37Aの一部が露出されるように、そのめっき層32,37の表面32A,37A上に分散して形成するようにしてもよい。   In each of the above-described embodiments, the outermost plating layers 33 and 38 of the plating layers 30 and 35 are arranged such that part of the surfaces 32A and 37A of the lower plating layers 32 and 37 are exposed. It may be formed in a distributed manner on the surfaces 32A, 37A of 37.

・上記各実施形態において、めっき層30,35の層構成を適宜変更してもよい。例えば、第2めっき層32,37と第3めっき層33,38との間に、Ag又はAg合金からなる第4めっき層を形成するようにしてもよい。また、配線パターン20,25上に、Ni又はNi合金からなる第1めっき層31,36と、Au又はAu合金からなる第3めっき層33,38とを形成するようにしてもよい。すなわち、第2めっき層32,37を省略してもよい。   In the above embodiments, the layer configuration of the plating layers 30 and 35 may be changed as appropriate. For example, a fourth plating layer made of Ag or an Ag alloy may be formed between the second plating layers 32 and 37 and the third plating layers 33 and 38. Further, the first plating layers 31 and 36 made of Ni or Ni alloy and the third plating layers 33 and 38 made of Au or Au alloy may be formed on the wiring patterns 20 and 25. That is, the second plating layers 32 and 37 may be omitted.

また、配線パターン20,25上に、Ni又はNi合金からなる第1めっき層31,36と、Pd又はPd合金からなる第2めっき層32,37と、Ag又はAg合金からなる第4めっき層とを形成するようにしてもよい。すなわち、第3めっき層33,38の代わりに、第4めっき層を形成するようにしてもよい。また、配線パターン20,25上に、Ni又はNi合金からなる第1めっき層31,36と、Ag又はAg合金からなる第4めっき層とを形成するようにしてもよい。あるいは、配線パターン20,25上に、Ag又はAg合金からなる第4めっき層を1層のみ形成するようにしてもよい。このように、めっき層30,35の最外層をAg又はAg合金からなる第4めっき層とした場合には、AgがAuに比べて光の反射率が高いため、発光装置としての発光効率を向上させることができる。   Moreover, on the wiring patterns 20 and 25, the 1st plating layers 31 and 36 which consist of Ni or Ni alloy, the 2nd plating layers 32 and 37 which consist of Pd or Pd alloy, and the 4th plating layer which consists of Ag or Ag alloy And may be formed. That is, a fourth plating layer may be formed instead of the third plating layers 33 and 38. Further, the first plating layers 31 and 36 made of Ni or Ni alloy and the fourth plating layer made of Ag or Ag alloy may be formed on the wiring patterns 20 and 25. Alternatively, only one fourth plating layer made of Ag or an Ag alloy may be formed on the wiring patterns 20 and 25. As described above, when the outermost layer of the plating layers 30 and 35 is a fourth plating layer made of Ag or an Ag alloy, Ag has a higher light reflectance than Au, so that the luminous efficiency as a light emitting device is improved. Can be improved.

・上記各実施形態では、めっき層30,35を電解めっき法により形成するようにしたが、これに限らず、例えばめっき層30,35を無電解めっき法により形成するようにしてもよい。なお、この場合には、給電ライン21,22を形成する必要がないため、溝部60,61を省略することができる。   In each of the above embodiments, the plating layers 30 and 35 are formed by the electrolytic plating method. However, the present invention is not limited to this. For example, the plating layers 30 and 35 may be formed by the electroless plating method. In this case, since it is not necessary to form the power supply lines 21 and 22, the grooves 60 and 61 can be omitted.

・上記各実施形態における開口部40Xの平面形状は、円形状に限らず、例えば矩形状や五角形、六角形等の多角形状であってもよい。
・上記各実施形態では、基板10A上に1つの配線基板1,3を作製する例を示したが、基板10A上に複数の配線基板1,3となる部材を作製し、それを個片化して複数の配線基板1,3を得るような工程に変更してもよい。
The planar shape of the opening 40X in each of the above embodiments is not limited to a circular shape, and may be a polygonal shape such as a rectangular shape, a pentagon, or a hexagon.
In each of the above embodiments, an example is shown in which one wiring substrate 1 or 3 is formed on the substrate 10A. However, a member to be a plurality of wiring substrates 1 and 3 is formed on the substrate 10A, and the members are separated into pieces. The process may be changed to obtain a plurality of wiring boards 1 and 3.

・上記各実施形態における発光素子70,90の個数や配置は、特に限定されない。また、上記各実施形態における配線パターン20,25の形状も特に限定されない。例えば、図20に示されるような配線パターンに変更してもよい。すなわち、帯状の複数の配線パターン24を平行に隣接して配置するようにしてもよい。この場合には、隣接する配線パターン24間には、下層の基板10を露出する溝状の開口部24Xが形成されている。そして、この開口部24Xによって、複数の配線パターン24は互いに電気的に分離されている。なお、電極端子50は、外側に形成された配線パターン24にそれぞれ形成される。このような配線パターン24及び電極端子50を有する配線基板に発光素子を実装した場合には、複数の発光素子が並列及び直列に接続されることになる。   -The number and arrangement of the light emitting elements 70 and 90 in each of the above embodiments are not particularly limited. Further, the shape of the wiring patterns 20 and 25 in each of the above embodiments is not particularly limited. For example, the wiring pattern may be changed as shown in FIG. That is, a plurality of strip-shaped wiring patterns 24 may be arranged adjacent to each other in parallel. In this case, a groove-like opening 24 </ b> X exposing the lower substrate 10 is formed between the adjacent wiring patterns 24. The plurality of wiring patterns 24 are electrically separated from each other by the opening 24X. The electrode terminals 50 are respectively formed on the wiring patterns 24 formed on the outside. When a light emitting element is mounted on a wiring board having such wiring patterns 24 and electrode terminals 50, a plurality of light emitting elements are connected in parallel and in series.

1,3 配線基板(発光装置用配線基板)
2 発光装置
10 基板
20,24,25 配線パターン
21,22 給電ライン
23,26 配線層
30,35 めっき層
31,36 第1めっき層
32,37 第2めっき層
33,38 第3めっき層(最外めっき層)
40 絶縁層
60,61,61A 溝部
70,90 発光素子
75 封止樹脂
80 金属層
1,3 Wiring board (light emitting device wiring board)
2 Light emitting device 10 Substrate 20, 24, 25 Wiring pattern 21, 22 Feed line 23, 26 Wiring layer 30, 35 Plating layer 31, 36 First plating layer 32, 37 Second plating layer 33, 38 Third plating layer (most Outer plating layer)
40 Insulating layer 60, 61, 61A Groove 70, 90 Light emitting element 75 Sealing resin 80 Metal layer

Claims (12)

基板と、
前記基板の第1主面上に形成された配線パターンと、
前記配線パターンの表面を覆うように形成されためっき層と、
前記めっき層の形成された配線パターンを被覆し、前記第1主面上に形成された絶縁層と、を有し、
前記絶縁層には、前記めっき層の形成された配線パターンの一部を発光素子の実装領域として露出する開口部が形成され、
前記めっき層は、最外層に貴金属又は貴金属合金からなる最外めっき層を有することを特徴とする発光装置用の配線基板。
A substrate,
A wiring pattern formed on the first main surface of the substrate;
A plating layer formed to cover the surface of the wiring pattern;
Covering the wiring pattern in which the plating layer is formed, and having an insulating layer formed on the first main surface,
In the insulating layer, an opening that exposes a part of the wiring pattern in which the plating layer is formed as a mounting region of the light emitting element is formed,
The said plating layer has the outermost plating layer which consists of a noble metal or a noble metal alloy in an outermost layer, The wiring board for light-emitting devices characterized by the above-mentioned.
前記めっき層の表面が粗面化されていることを特徴とする請求項1に記載の発光装置用の配線基板。   The wiring board for a light-emitting device according to claim 1, wherein a surface of the plating layer is roughened. 前記めっき層の表面の粗度が、表面粗さRa値で50〜500nmであることを特徴とする請求項2に記載の発光装置用の配線基板。   The wiring board for a light-emitting device according to claim 2, wherein the surface roughness Ra of the plating layer is 50 to 500 nm in terms of surface roughness Ra. 前記配線パターンの表面が粗面化され、該粗面化された配線パターンの表面に沿って前記めっき層が設けられることにより前記めっき層の表面が粗面化されていることを特徴とする請求項2又は3に記載の発光装置用の配線基板。   The surface of the wiring pattern is roughened, and the surface of the plating layer is roughened by providing the plating layer along the surface of the roughened wiring pattern. Item 4. A wiring board for a light-emitting device according to Item 2 or 3. 前記めっき層は、前記配線パターンの表面に形成されたNi又はNi合金からなる第1めっき層と、Pd又はPd合金からなる第2めっき層と、前記最外めっき層とが順に積層されて形成されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の発光装置用の配線基板。   The plating layer is formed by sequentially laminating a first plating layer made of Ni or Ni alloy formed on the surface of the wiring pattern, a second plating layer made of Pd or Pd alloy, and the outermost plating layer. The wiring substrate for a light-emitting device according to claim 1, wherein the wiring substrate is a light-emitting device. 前記めっき層は、前記配線パターンの表面に形成され、表面が粗面化されたNi又はNi合金からなる第1めっき層と、Pd又はPd合金からなる第2めっき層と、前記最外めっき層とが順に積層されて形成されることを特徴とする請求項2又は3に記載の発光装置用の配線基板。   The plating layer is formed on a surface of the wiring pattern, the first plating layer made of Ni or Ni alloy having a roughened surface, the second plating layer made of Pd or Pd alloy, and the outermost plating layer. The wiring board for a light emitting device according to claim 2 or 3, wherein and are laminated in order. 少なくとも前記絶縁層、前記めっき層及び前記配線パターンを厚さ方向に貫通する溝部が形成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載の発光装置用の配線基板。   The wiring board for a light-emitting device according to claim 1, wherein a groove that penetrates at least the insulating layer, the plating layer, and the wiring pattern in the thickness direction is formed. 前記基板の前記第1主面とは反対側の第2主面には金属層が形成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の発光装置用の配線基板。   The wiring board for a light-emitting device according to claim 1, wherein a metal layer is formed on a second main surface opposite to the first main surface of the substrate. . 基板と、
前記基板の第1主面上に形成された配線パターンと、
前記配線パターンの表面を覆うように形成されためっき層と、
前記めっき層の形成された配線パターンを被覆し、前記第1主面上に形成されるとともに、前記めっき層の形成された配線パターンの一部を露出する開口部が形成された絶縁層と、
前記開口部から露出されためっき層上に実装された発光素子と、
前記発光素子を封止するように形成された封止樹脂と、を有し、
前記めっき層は、最外層に貴金属又は貴金属合金からなる最外めっき層を有することを特徴とする発光装置。
A substrate,
A wiring pattern formed on the first main surface of the substrate;
A plating layer formed to cover the surface of the wiring pattern;
An insulating layer that covers the wiring pattern in which the plating layer is formed, is formed on the first main surface, and is formed with an opening that exposes a part of the wiring pattern in which the plating layer is formed;
A light emitting device mounted on the plating layer exposed from the opening;
A sealing resin formed to seal the light emitting element,
The said plating layer has the outermost plating layer which consists of a noble metal or a noble metal alloy in an outermost layer, The light-emitting device characterized by the above-mentioned.
基板の第1主面上に電解めっき用の給電ライン及び配線パターンを含む配線層を形成する工程と、
前記配線層を給電層とする電解めっき法により、前記配線パターンの表面全面にめっき層を形成する工程と、
前記めっき層の形成された配線パターンを被覆する絶縁層を前記第1主面上に形成する工程と、
前記絶縁層に、前記めっき層の形成された配線パターンの一部を発光素子の実装領域として露出する開口部を形成する工程と、
を有することを特徴とする発光装置用配線基板の製造方法。
Forming a wiring layer including a power supply line for electrolytic plating and a wiring pattern on the first main surface of the substrate;
A step of forming a plating layer on the entire surface of the wiring pattern by an electrolytic plating method using the wiring layer as a power feeding layer;
Forming an insulating layer covering the wiring pattern on which the plating layer is formed on the first main surface;
Forming an opening in the insulating layer that exposes a part of the wiring pattern in which the plating layer is formed as a mounting region of a light emitting element;
A method of manufacturing a wiring board for a light emitting device, comprising:
前記絶縁層、前記めっき層及び前記給電ラインを貫通する溝部を形成する工程を有することを特徴とする請求項10に記載の発光装置用配線基板の製造方法。   The method for manufacturing a wiring board for a light-emitting device according to claim 10, further comprising a step of forming a groove portion that penetrates the insulating layer, the plating layer, and the power supply line. 前記溝部の側面となる前記めっき層及び前記配線パターンの一部を除去する工程を有することを特徴とする請求項11に記載の発光装置用配線基板の製造方法。   The method for manufacturing a wiring substrate for a light emitting device according to claim 11, further comprising a step of removing a part of the plating layer and the wiring pattern which are side surfaces of the groove.
JP2011202126A 2011-09-15 2011-09-15 WIRING BOARD FOR LIGHT EMITTING DEVICE, LIGHT EMITTING DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD FOR LIGHT EMITTING DEVICE WIRING BOARD Active JP5844101B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011202126A JP5844101B2 (en) 2011-09-15 2011-09-15 WIRING BOARD FOR LIGHT EMITTING DEVICE, LIGHT EMITTING DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD FOR LIGHT EMITTING DEVICE WIRING BOARD

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011202126A JP5844101B2 (en) 2011-09-15 2011-09-15 WIRING BOARD FOR LIGHT EMITTING DEVICE, LIGHT EMITTING DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD FOR LIGHT EMITTING DEVICE WIRING BOARD

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013065621A true JP2013065621A (en) 2013-04-11
JP2013065621A5 JP2013065621A5 (en) 2014-09-11
JP5844101B2 JP5844101B2 (en) 2016-01-13

Family

ID=48188892

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011202126A Active JP5844101B2 (en) 2011-09-15 2011-09-15 WIRING BOARD FOR LIGHT EMITTING DEVICE, LIGHT EMITTING DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD FOR LIGHT EMITTING DEVICE WIRING BOARD

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5844101B2 (en)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150004746A (en) * 2013-07-03 2015-01-13 신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤 Wiring board and method of manufacturing wiring board
KR20150068789A (en) * 2013-12-12 2015-06-22 엘지이노텍 주식회사 Printed circuit board
JP2015130501A (en) * 2013-12-24 2015-07-16 エルジー イノテック カンパニー リミテッド Printed circuit board and light emitting device including the same
WO2015170773A1 (en) * 2014-05-09 2015-11-12 京セラ株式会社 Substrate for mounting light-emitting element, and light-emitting device
JP2016051797A (en) * 2014-08-29 2016-04-11 大日本印刷株式会社 Laminate, method of manufacturing wiring board using laminate, wiring board, and method of manufacturing mounting board including wiring board
JP2016174020A (en) * 2015-03-16 2016-09-29 株式会社東芝 Semiconductor light emission device
US9603253B2 (en) 2014-01-14 2017-03-21 Shinko Electric Industries Co., Ltd. Wiring substrate, manufacturing method therefor, and semiconductor package
JP2019021801A (en) * 2017-07-19 2019-02-07 スタンレー電気株式会社 Semiconductor light-emitting device array, and semiconductor light-emitting device
JP2019504512A (en) * 2016-01-08 2019-02-14 リロツリー,エル.エル.シー. Surface finish of printed circuit, method of use, and assembly produced therefrom

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5559795A (en) * 1978-10-30 1980-05-06 Nippon Electric Co Printed circuit board and method of manufacturing same
US20020102745A1 (en) * 2000-08-03 2002-08-01 Institute Of Materials Research & Engineering Process for modifying chip assembly substrates
JP2004055624A (en) * 2002-07-16 2004-02-19 Murata Mfg Co Ltd Process for producing substrate
JP2006339609A (en) * 2005-06-06 2006-12-14 Kyocer Slc Technologies Corp Wiring board and manufacturing method of the same
JP2010182865A (en) * 2009-02-05 2010-08-19 Nitto Denko Corp Method of manufacturing wiring circuit board
WO2011007874A1 (en) * 2009-07-17 2011-01-20 電気化学工業株式会社 Led chip assembly, led package, and manufacturing method of led package

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5559795A (en) * 1978-10-30 1980-05-06 Nippon Electric Co Printed circuit board and method of manufacturing same
US20020102745A1 (en) * 2000-08-03 2002-08-01 Institute Of Materials Research & Engineering Process for modifying chip assembly substrates
JP2004055624A (en) * 2002-07-16 2004-02-19 Murata Mfg Co Ltd Process for producing substrate
JP2006339609A (en) * 2005-06-06 2006-12-14 Kyocer Slc Technologies Corp Wiring board and manufacturing method of the same
JP2010182865A (en) * 2009-02-05 2010-08-19 Nitto Denko Corp Method of manufacturing wiring circuit board
WO2011007874A1 (en) * 2009-07-17 2011-01-20 電気化学工業株式会社 Led chip assembly, led package, and manufacturing method of led package

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150004746A (en) * 2013-07-03 2015-01-13 신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤 Wiring board and method of manufacturing wiring board
JP2015015285A (en) * 2013-07-03 2015-01-22 新光電気工業株式会社 Wiring board and method for manufacturing wiring board
KR102113095B1 (en) 2013-07-03 2020-05-20 신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤 Wiring board and method of manufacturing wiring board
KR20150068789A (en) * 2013-12-12 2015-06-22 엘지이노텍 주식회사 Printed circuit board
KR102148845B1 (en) 2013-12-12 2020-08-27 엘지이노텍 주식회사 Printed circuit board
JP2015130501A (en) * 2013-12-24 2015-07-16 エルジー イノテック カンパニー リミテッド Printed circuit board and light emitting device including the same
US9603253B2 (en) 2014-01-14 2017-03-21 Shinko Electric Industries Co., Ltd. Wiring substrate, manufacturing method therefor, and semiconductor package
CN106463595A (en) * 2014-05-09 2017-02-22 京瓷株式会社 Substrate for mounting light-emitting element, and light-emitting device
US9799812B2 (en) 2014-05-09 2017-10-24 Kyocera Corporation Light emitting element mounting substrate and light emitting device
JP5894352B1 (en) * 2014-05-09 2016-03-30 京セラ株式会社 Light emitting element mounting substrate and light emitting device
WO2015170773A1 (en) * 2014-05-09 2015-11-12 京セラ株式会社 Substrate for mounting light-emitting element, and light-emitting device
JP2016051797A (en) * 2014-08-29 2016-04-11 大日本印刷株式会社 Laminate, method of manufacturing wiring board using laminate, wiring board, and method of manufacturing mounting board including wiring board
JP2016174020A (en) * 2015-03-16 2016-09-29 株式会社東芝 Semiconductor light emission device
US10505075B2 (en) 2015-03-16 2019-12-10 Alpad Corporation Semiconductor light emitting device
JP2019504512A (en) * 2016-01-08 2019-02-14 リロツリー,エル.エル.シー. Surface finish of printed circuit, method of use, and assembly produced therefrom
JP7118426B2 (en) 2016-01-08 2022-08-16 リロツリー,エル.エル.シー. Printed Circuit Surface Finishes, Methods of Use, and Assemblies Made Therefrom
JP2019021801A (en) * 2017-07-19 2019-02-07 スタンレー電気株式会社 Semiconductor light-emitting device array, and semiconductor light-emitting device

Also Published As

Publication number Publication date
JP5844101B2 (en) 2016-01-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5844101B2 (en) WIRING BOARD FOR LIGHT EMITTING DEVICE, LIGHT EMITTING DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD FOR LIGHT EMITTING DEVICE WIRING BOARD
KR101124102B1 (en) Substrate for light emitting device package and light emitting device package comprising the same
JP5985846B2 (en) Light-emitting element mounting substrate and LED package
KR100735310B1 (en) Led package having structure of multi - reflectors and its manufacturing method
JP2010114387A (en) Light emitting device and method of manufacturing the same, and light emitting module
JP2013153067A (en) Wiring board, light emitting device, and manufacturing method of wiring board
JP5998621B2 (en) LED lead frame and semiconductor device using the LED lead frame
JP2013153069A (en) Wiring board, light emitting device, and manufacturing method of wiring board
JP5801685B2 (en) WIRING BOARD, LIGHT EMITTING DEVICE, AND WIRING BOARD MANUFACTURING METHOD
JP2007189006A (en) Printed wiring board, and led device using it
JP2009044087A (en) Light emitting device
JP5693194B2 (en) Light emitting diode
JP2013033909A (en) Substrate for mounting light emitting element and led package
KR20110048338A (en) Package substrate for optical element and Manufacturing method thereof
JPWO2014064871A1 (en) LIGHT EMITTING DEVICE, ITS MANUFACTURING METHOD, AND LIGHT EMITTING DEVICE PACKAGE
JP2013149947A (en) Package for mounting light emitting element, light emitting element package, and manufacturing methods of package for mounting light emitting element and light emitting element package
TWI397358B (en) Wire bonding substrate and fabrication thereof
JP6280710B2 (en) WIRING BOARD, LIGHT EMITTING DEVICE AND WIRING BOARD MANUFACTURING METHOD
JP5812845B2 (en) Light-emitting element mounting package, light-emitting element package, and manufacturing method thereof
JP2013093557A (en) Heater element mounting substrate, manufacturing method of the same and semiconductor package
JP2013093556A (en) Heater element mounting substrate, manufacturing method of the same and semiconductor package
JP4841627B2 (en) Electronic component and manufacturing method thereof
CN102790140B (en) Packaging structure and manufacturing method thereof
JP2012124248A (en) Lead frame substrate for mounting led chip, method for manufacturing the same and led package
JP2008053290A (en) Optical semiconductor device and its manufacturing method

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140723

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140723

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150318

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150324

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150525

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20151104

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20151118

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5844101

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150