JP2013053985A - Force sensor, force detection device, robot hand, and robot - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a force sensor in which a piezoelectric element is easily formed from a wafer without any waste, and its sensitivity values in an x-direction and y-direction are not different.SOLUTION: An outer peripheral shape of the piezoelectric element has at least four sides. A first side and a second side among the four sides are parallel to each other, and the remaining third side and fourth side are also parallel to each other. The distance between the first side and the second side and the distance between the third side and the fourth side are the same. An extension line of the first side and an extension line of the third line are orthogonal. Thus, pieces cut out from the same wafer can be commonly used as both of piezoelectric elements for x-direction and piezoelectric elements for y-direction. Consequently sensitivity values in the x-direction and y-direction are matched.

Description

本発明は、水晶などの圧電材料から成る圧電素子を用いて、力を検出する力センサーに関する。   The present invention relates to a force sensor that detects force using a piezoelectric element made of a piezoelectric material such as quartz.

水晶など単結晶の圧電効果を利用した力センサーでは、結晶方位による圧電効果の異方性により、加えられた力成分を分解して検出する。そのような水晶圧電素子を用いた水晶圧電式力センサーは、２つのプレート間に複数の水晶圧電素子を重ね合わせた構造となっており、２つのプレートで力を受けて水晶圧電素子に伝達し、水晶圧電素子に加えられた力成分を検出するようになっている。具体的には、複数の水晶圧電素子は、３種類に分類されて、垂直方向（ｚ方向）の力に対して感度を有する水晶圧電素子（ｚ方向用水晶圧電素子）と、水平方向（ｘ方向）の力に感度を有する水晶圧電素子（ｘ方向用水晶圧電素子）と、ｘ方向に直交する水平方向（ｙ方向）の力に感度を有する水晶圧電素子（ｙ方向用水晶圧電素子）とで構成され、加えられた力をｘｙｚ方向の力成分に分解して検出する。   In a force sensor using the piezoelectric effect of a single crystal such as quartz, the applied force component is decomposed and detected by the anisotropy of the piezoelectric effect depending on the crystal orientation. A crystal piezoelectric force sensor using such a crystal piezoelectric element has a structure in which a plurality of crystal piezoelectric elements are overlapped between two plates, and the force is received by two plates and transmitted to the crystal piezoelectric element. The force component applied to the crystal piezoelectric element is detected. Specifically, the plurality of crystal piezoelectric elements are classified into three types, and crystal piezoelectric elements (z-direction crystal piezoelectric elements) having sensitivity to a force in the vertical direction (z direction) and horizontal directions (x Crystal piezoelectric element (x-direction crystal piezoelectric element) sensitive to the force in the direction), and crystal piezoelectric element (y-direction crystal piezoelectric element) sensitive to the force in the horizontal direction (y direction) orthogonal to the x direction. The applied force is decomposed into force components in the xyz direction and detected.

従来の水晶圧電式力センサーにおける水晶圧電素子は、円盤形（特許文献１参照）、またはワッシャ形に形成されていた。また、力センサーではなく圧電振動素子として用いられる水晶圧電素子としては、長方形に形成されたものも存在した（特許文献２参照）。   The quartz crystal piezoelectric element in the conventional quartz piezoelectric force sensor has been formed in a disk shape (see Patent Document 1) or a washer shape. In addition, as a quartz crystal piezoelectric element used as a piezoelectric vibration element instead of a force sensor, there is a rectangular piezoelectric element (see Patent Document 2).

特開平４−２３１８２７号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 4-231827 特開２００９−１３５８３０号公報JP 2009-135830 A

しかしながら、円盤形やワッシャ形の場合、水晶圧電素子をウエハから切り出して形成する際、外周形状が円形であるが故に、無駄なく形成することができないという問題があった。また、水晶圧電素子を重ね合わせて力センサーを組み立てる場合、特に、水平方向の水晶圧電素子（ｘ方向用水晶圧電素子，ｙ方向用水晶圧電素子）については、その水晶圧電素子の結晶方位を、検出する力成分の方向（すなわち、ｘ方向，ｙ方向）に正確に合わせて組み立てることが非常に困難であった。   However, in the case of a disk shape or a washer shape, when the crystal piezoelectric element is cut out from the wafer and formed, there is a problem that it cannot be formed without waste because the outer peripheral shape is circular. Also, when assembling a force sensor by superimposing crystal piezoelectric elements, especially for horizontal crystal piezoelectric elements (x-direction crystal piezoelectric elements, y-direction crystal piezoelectric elements), the crystal orientation of the crystal piezoelectric element is It has been very difficult to assemble accurately according to the direction of the force component to be detected (that is, the x direction and y direction).

一方、長方形の場合は、水晶圧電素子をウエハから形成する際、ウエハを直線状に切断するだけで容易に無駄なく形成することができる。しかし、そのような長方形の水晶圧電素子を重ね合わせて力センサーとする場合、水平方向の水晶圧電素子（ｘ方向用水晶圧電素子，ｙ方向用水晶圧電素子）については結晶方位を異ならせる必要があるため、ｘ方向用水晶圧電素子とｙ方向用水晶圧電素子とを、各々、別々のウエハから切り出す必要があった。その結果、ｘ方向とｙ方向とで力センサーの感度が違ってしまうという問題があった。   On the other hand, in the case of a rectangular shape, when the crystal piezoelectric element is formed from a wafer, it can be easily formed without waste simply by cutting the wafer in a straight line. However, when such rectangular crystal piezoelectric elements are superposed to form a force sensor, the crystal orientation of the horizontal crystal piezoelectric elements (the crystal piezoelectric element for x direction and the crystal piezoelectric element for y direction) needs to be different. For this reason, it is necessary to cut out the x-direction crystal piezoelectric element and the y-direction crystal piezoelectric element from separate wafers. As a result, there is a problem that the sensitivity of the force sensor differs between the x direction and the y direction.

この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、圧電素子をウエハから容易に形成することができ、しかも、ｘ方向とｙ方向とで感度の違いが生じることのない力センサーを提供することを目的とする。   The present invention has been made in order to solve at least a part of the above-described problems of the prior art. The piezoelectric element can be easily formed from a wafer, and the sensitivity in the x direction and the y direction is improved. It is an object to provide a force sensor that does not cause a difference.

上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の力センサーは次の構成を採用した。すなわち、
圧電材料から成る複数の圧電素子と複数の電極板とを積層して成る力センサーであって、
前記圧電素子の外周形状は、
少なくとも４つの辺を有し、
該４つの辺のうちの第１辺と第２辺とは互いに平行で、且つ、該４つの辺のうちの第３辺と第４辺とは互いに平行であり、
該第１辺と該第２辺との間隔と、該第３辺と該第４辺との間隔とは等しく、
該第１辺の延長線と該第３辺の延長線とは直交する形状である
ことを特徴とする。 In order to solve at least a part of the problems described above, the force sensor of the present invention employs the following configuration. That is,
A force sensor formed by laminating a plurality of piezoelectric elements made of piezoelectric material and a plurality of electrode plates,
The outer peripheral shape of the piezoelectric element is
Has at least four sides,
The first side and the second side of the four sides are parallel to each other, and the third side and the fourth side of the four sides are parallel to each other,
The distance between the first side and the second side is equal to the distance between the third side and the fourth side,
The extension line of the first side and the extension line of the third side are orthogonal to each other.

このような外周形状を有する圧電素子であれば、圧電素子をウエハから形成する際に、ウエハを直線状に切断するだけで容易に形成することができる。また、圧電素子および電極板を積層する積層方向に対して垂直な方向をｘ方向，ｙ方向（ただし、ｙ方向はｘ方向に直交する方向）とした場合、同一のウエハから切断したものを９０度回転させるだけで、ｘ方向の力に対して感度を有するｘ方向用圧電素子、およびｙ方向の力に対して感度を有するｙ方向用圧電素子として、共通して使用することができる。このため、ｘ方向とｙ方向の感度を揃えることができる。   A piezoelectric element having such an outer peripheral shape can be easily formed by simply cutting the wafer in a straight line when forming the piezoelectric element from the wafer. Further, when the direction perpendicular to the stacking direction in which the piezoelectric element and the electrode plate are stacked is the x direction and the y direction (where the y direction is a direction perpendicular to the x direction), 90 cut from the same wafer is used. It can be used in common as an x-direction piezoelectric element having sensitivity to an x-direction force and a y-direction piezoelectric element having sensitivity to a y-direction force. Therefore, the sensitivity in the x direction and the y direction can be made uniform.

また、上述した本発明の力センサーにおいては、圧電素子の外周形状を、正方形から角部を切り欠いたような形状とすることもできるが、正方形とすることが望ましい。   Further, in the above-described force sensor of the present invention, the outer peripheral shape of the piezoelectric element can be a shape obtained by cutting a corner from a square, but is preferably a square.

圧電素子の外周形状が正方形であれば、ウエハから容易に切り出すことが可能である。また、正方形であれば、９０度回転させると全く同じ形状になるので、ｘ方向用圧電素子とｙ方向用圧電素子とを９０度回転させて積層する際に、位置合わせをしながら容易に積層することが可能となる。   If the outer peripheral shape of the piezoelectric element is square, it can be easily cut out from the wafer. In addition, if it is a square, it will be exactly the same shape when rotated 90 degrees, so it is easy to stack while aligning the x-direction piezoelectric element and the y-direction piezoelectric element by rotating 90 degrees. It becomes possible to do.

また、上述した本発明の力センサーにおいて、圧電素子と電極板とは交互に積層され、圧電素子は、圧電素子の外周形状の中央部分で隣接する電極板と接触し、接触面が円形またはワッシャ形となるようにしてもよい。例えば、圧電素子の中央部分を、円形またはワッシャ形に突設させて、突設させた部分の頂面で電極板と接触するようにしてもよい。あるいは逆に、電極板の中央部分を円形またはワッシャ形に突設させてもよい。更には、圧電素子と圧電素子との間に、円形またはワッシャ形の電極板を挟むようにしても良い。   In the force sensor of the present invention described above, the piezoelectric elements and the electrode plates are alternately stacked, and the piezoelectric elements are in contact with the adjacent electrode plates at the central portion of the outer peripheral shape of the piezoelectric elements, and the contact surface is circular or washer. You may make it form. For example, the central portion of the piezoelectric element may be projected in a circular shape or a washer shape, and may be in contact with the electrode plate at the top surface of the projected portion. Or conversely, the central portion of the electrode plate may be projected in a circular or washer shape. Furthermore, a circular or washer-shaped electrode plate may be sandwiched between the piezoelectric elements.

このようにすれば、力センサーに力が加わった際に、圧電素子は、円形またはワッシャ形の接触面で力を受けることになるため、応力集中が生じない。その結果、圧電素子の破壊に対する耐性を向上させることが可能となる。   In this way, when a force is applied to the force sensor, the piezoelectric element receives a force on the circular or washer-shaped contact surface, so that no stress concentration occurs. As a result, it is possible to improve the resistance against the destruction of the piezoelectric element.

また、上述した本発明の力センサーにおいて、圧電素子は、圧電素子および電極板を積層する積層方向に対して垂直な方向の力に対して感度を有する特定圧電素子（例えば、上述したｘ方向用圧電素子，ｙ方向用圧電素子）を含み、その特定圧電素子には、感度の方向を示す目印を形成しておいてもよい。
このようにすれば、各圧電素子を力検出に必要な結晶方位に揃えて、容易に積層配置することが可能となる。 In the force sensor of the present invention described above, the piezoelectric element is a specific piezoelectric element having sensitivity to a force in a direction perpendicular to the stacking direction in which the piezoelectric element and the electrode plate are stacked (for example, for the x direction described above). A mark indicating the direction of sensitivity may be formed on the specific piezoelectric element.
In this way, it is possible to easily stack and arrange each piezoelectric element with the crystal orientation necessary for force detection.

また、上述した本発明の力センサーにおいて、特定圧電素子が感度を有する方向は、第１辺または第３辺に平行な方向であるようにしてもよい。
このようにすれば、感度を有する方向を揃えて、各圧電素子を容易に積層することが可能となる。 In the force sensor of the present invention described above, the direction in which the specific piezoelectric element has sensitivity may be a direction parallel to the first side or the third side.
If it does in this way, it will become possible to laminate | stack each piezoelectric element easily, aligning the direction which has a sensitivity.

さらに、上述した本発明の力センサーにおいて、互いに直交するｘ方向，ｙ方向，ｚ方向の三軸に対し、圧電素子が、ｘ方向の力に感度を有するｘ方向用圧電素子と、ｙ方向の力に感度を有するｙ方向用圧電素子と、ｚ方向の力に感度を有するｚ方向用圧電素子と、を含み、三軸方向の力を検出することができるようにしてもよい。
このようにすれば、１つの力センサーで、三軸方向の力を検出することが可能となる。 Further, in the above-described force sensor of the present invention, the piezoelectric element is sensitive to the force in the x direction with respect to the three axes in the x, y, and z directions orthogonal to each other, and the y direction piezoelectric element. It may include a y-direction piezoelectric element that is sensitive to force and a z-direction piezoelectric element that is sensitive to z-direction force, and may be able to detect a triaxial force.
If it does in this way, it will become possible to detect the force of a triaxial direction with one force sensor.

本発明の力検出装置は、上述した力センサーを２つ以上備え、所望の軸回りのモーメントを検出することができるようにしてもよい。
このようにすれば、軸方向の力成分だけでなく、軸回りのモーメントを容易に検出することができる。 The force detection device of the present invention may include two or more force sensors as described above, and may detect a moment around a desired axis.
In this way, not only the axial force component but also the moment around the axis can be easily detected.

また、上述した力検出装置において、力センサーを３つ以上備え、同一の直線上に並ばないように配置し、三軸方向の力、および三軸回りのモーメントを検出することができるようにしてもよい。   Further, in the above-described force detection device, three or more force sensors are provided so as not to be arranged on the same straight line so that the force in the three axis directions and the moment around the three axes can be detected. Also good.

このようにすれば、三軸方向の力および三軸回りのモーメントを検出することができるので、たとえばロボットや各種の機械類などに搭載するセンサーとして好適に用いることが可能となる。   In this way, the force in the triaxial direction and the moment about the triaxial direction can be detected, so that it can be suitably used as a sensor mounted on, for example, a robot or various machines.

また、本発明の力センサーを２つ以上備えて構成される力検出装置を用いて、ロボットハンドあるいはロボットを動作させることとしてもよい。
上述したように本発明の力センサーを２つ以上備えた力検出装置は、軸方向の力成分だけでなく、軸回りのモーメントを容易に検出することができる。このため、本発明の力検出装置を搭載してロボットハンドやロボットを動作させることとすれば、小型で高性能のロボットハンドあるいはロボットを実現することができる。 Moreover, it is good also as operating a robot hand or a robot using the force detection apparatus comprised including two or more force sensors of this invention.
As described above, the force detection device including two or more force sensors of the present invention can easily detect not only the axial force component but also the moment around the axis. For this reason, if the robot hand or robot is operated by mounting the force detection device of the present invention, a small and high performance robot hand or robot can be realized.

本実施例の力センサーの構造を示した分解斜視図である。It is the disassembled perspective view which showed the structure of the force sensor of a present Example. 図１に示す力センサーの断面を模式的に示した説明図である。It is explanatory drawing which showed typically the cross section of the force sensor shown in FIG. 図１における水晶圧電素子の形状を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the shape of the crystal piezoelectric element in FIG. ４つの力センサーを備えた力検出装置の外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of the force detection apparatus provided with four force sensors. 本実施例の力検出装置を搭載したロボットハンドおよびロボットを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the robot hand and robot which mount the force detection apparatus of a present Example.

以下では、上述した本願発明の内容を明確にするために、次のような順序に従って実施例を説明する。
Ａ．力センサーの構成：
Ｂ．力センサーの動作：
Ｃ．力検出装置の構成および動作：
Ｄ．変形例： Hereinafter, in order to clarify the contents of the present invention described above, examples will be described in the following order.
A. Force sensor configuration:
B. Force sensor operation:
C. Configuration and operation of force detector:
D. Variations:

Ａ．力センサーの構成：
図１は、本実施例の力センサー１００の構造を示した分解斜視図である。図１に示されるように力センサー１００は、上部プレート１０２と下部プレート１０４との間に、電極板１０６と、外周形状が正方形を成す水晶板から成る水晶圧電素子１０８と、を交互に複数積層して構成されている。電極板１０６は、導電性を備える金属、例えば、チタニウム、アルミニウム、銅、鉄などの単体もしくは合金を用いることができる。例えば、鉄合金としてステンレススチールを用いることも可能であり、耐久性，耐食性が優れることから好適に用いられる。隣り合う２枚の電極板１０６の間には、１つの水晶圧電素子１０８の他、１枚のフッ素樹脂スペーサ１１０が挟持されている。そのフッ素樹脂スペーサ１１０の中央部には、正方形状の貫通孔が開いており、その貫通孔内に上記水晶圧電素子１０８が配置されることによって、水晶圧電素子１０８はｘｙ平面において位置決めされる。 A. Force sensor configuration:
FIG. 1 is an exploded perspective view showing the structure of the force sensor 100 of the present embodiment. As shown in FIG. 1, the force sensor 100 includes a plurality of alternately laminated electrode plates 106 and crystal piezoelectric elements 108 formed of a crystal plate having a square outer periphery between an upper plate 102 and a lower plate 104. Configured. For the electrode plate 106, a metal having conductivity, for example, a simple substance or an alloy such as titanium, aluminum, copper, or iron can be used. For example, stainless steel can be used as the iron alloy, and it is preferably used because of its excellent durability and corrosion resistance. In addition to one crystal piezoelectric element 108, one fluororesin spacer 110 is sandwiched between two adjacent electrode plates 106. A square through hole is opened at the center of the fluororesin spacer 110, and the crystal piezoelectric element 108 is positioned in the through hole, whereby the crystal piezoelectric element 108 is positioned in the xy plane.

上部プレート１０２には、２つの貫通孔１１６が開いている。各電極板１０６および各フッ素樹脂スペーサ１１０には、それぞれ、２つずつ円形状の貫通孔が開いている。一方、上部プレート１０２と下部プレート１０４との間には、円筒のパイプ形状を成すフッ素樹脂スリーブ１１２が２つ配置されている。上部プレート１０２と下部プレート１０４との間に、各電極板１０６および各フッ素樹脂スペーサ１１０をそれぞれ積層する際、電極板１０６およびフッ素樹脂スペーサ１１０にそれぞれ設けられた２つの円形の貫通孔に、２つのフッ素樹脂スリーブ１１２がそれぞれ貫挿するように積層する。その上で、上部プレート１０２の上方より２本の与圧ボルト１１４を貫通孔１１６に挿入し、フッ素樹脂スリーブ１１２内を貫挿し、下部プレート１０４に螺合する。これにより、各電極板１０６および各フッ素樹脂スペーサ１１０はｘｙ平面において位置決めされると共に、各電極板１０６および各水晶圧電素子１０８には、ｚ方向において一定の圧力が加えられる。   Two through holes 116 are opened in the upper plate 102. Each electrode plate 106 and each fluororesin spacer 110 each have two circular through holes. On the other hand, two fluororesin sleeves 112 having a cylindrical pipe shape are disposed between the upper plate 102 and the lower plate 104. When laminating each electrode plate 106 and each fluororesin spacer 110 between the upper plate 102 and the lower plate 104, two circular through holes respectively provided in the electrode plate 106 and the fluororesin spacer 110 are provided with 2 The two fluororesin sleeves 112 are laminated so as to penetrate each other. Then, two pressurizing bolts 114 are inserted into the through-hole 116 from above the upper plate 102, inserted into the fluororesin sleeve 112, and screwed into the lower plate 104. Thereby, each electrode plate 106 and each fluororesin spacer 110 are positioned in the xy plane, and a constant pressure is applied to each electrode plate 106 and each crystal piezoelectric element 108 in the z direction.

図２は、図１に示す力センサー１００の断面を模式的に示した説明図である。図２に示されるように、上部プレート１０２と下部プレート１０４との間には、正確には、７枚の電極板１０６ａ〜１０６ｇと、６つの水晶圧電素子１０８ａ〜１０８ｆが積層されている。   FIG. 2 is an explanatory view schematically showing a cross section of the force sensor 100 shown in FIG. As shown in FIG. 2, between the upper plate 102 and the lower plate 104, precisely, seven electrode plates 106a to 106g and six crystal piezoelectric elements 108a to 108f are laminated.

７枚の電極板１０６ａ〜１０６ｇのうち、電極板１０６ｂ，１０６ｄ，１０６ｆは、それぞれ、出力信号線に接続されている。また、電極板１０６ａ，１０６ｃ，１０６ｅ，１０６ｇは、それぞれ、接地されている。   Of the seven electrode plates 106a to 106g, the electrode plates 106b, 106d, and 106f are each connected to an output signal line. The electrode plates 106a, 106c, 106e, and 106g are grounded.

一方、６つの水晶圧電素子１０８ａ〜１０８ｆのうち、真ん中の２つの水晶圧電素子１０８ｃ，１０８ｄは、圧縮方向、すなわち、ｚ方向の力に感度を有する水晶圧電素子（ｚ方向用水晶圧電素子）であり、いわゆるＸ板の水晶板から成る。水晶のＸ方位は矢印で示すようにｚ方向に沿っており、上に位置する水晶圧電素子１０８ｃと下に位置する水晶圧電素子１０８ｄとで、互いに逆向きになっている。下側の２つの水晶圧電素子１０８ｅ，１０８ｆは、水平方向のうち、ｘ方向の力に感度を有する水晶圧電素子（ｘ方向用水晶圧電素子）である。水晶のＸ方位は矢印で示すようにｘ方向に沿っており、上に位置する水晶圧電素子１０８ｅと下に位置する水晶圧電素子１０８ｆとで、互いに逆向きになっている。上側の２つの水晶圧電素子１０８ａ，１０８ｂは、水平方向のうち、ｙ方向の力に感度を有する水晶圧電素子（ｙ方向用水晶圧電素子）である。水晶のＸ方位は記号で示すようにｙ方向に沿っており、上に位置する水晶圧電素子１０８ａと下に位置する水晶圧電素子１０８ｂとで、互いに逆向きになっている。   On the other hand, among the six crystal piezoelectric elements 108a to 108f, the two middle crystal piezoelectric elements 108c and 108d are crystal piezoelectric elements (z-direction crystal piezoelectric elements) that are sensitive to the force in the compression direction, that is, the z direction. Yes, it consists of a so-called X-plate crystal plate. The X direction of the crystal is along the z direction as indicated by the arrow, and the quartz crystal element 108c located above and the quartz crystal element 108d located below are opposite to each other. The lower two crystal piezoelectric elements 108e and 108f are crystal piezoelectric elements (x-direction crystal piezoelectric elements) having sensitivity to the force in the x direction in the horizontal direction. The X direction of the crystal is along the x direction as shown by the arrow, and the upper quartz piezoelectric element 108e and the lower quartz piezoelectric element 108f are opposite to each other. The upper two crystal piezoelectric elements 108a and 108b are crystal piezoelectric elements (a crystal piezoelectric element for y direction) having sensitivity to a force in the y direction in the horizontal direction. The X direction of the quartz crystal is along the y direction as indicated by a symbol, and the quartz crystal element 108a located above and the quartz crystal element 108b located below are opposite to each other.

図３は、図１における水晶圧電素子１０８の形状を示す説明図である。図３（ａ）は水晶圧電素子１０８を上方から示した平面図であり、図３（ｂ）は水晶圧電素子１０８の側面を示す側面図である。図３に示されるように、本実施例において、各水晶圧電素子１０８（すなわち、１０８ａ〜１０８ｆ）は、前述したとおり、それぞれ、外周形状が正方形を成す水晶板から成っている（図３（ａ）を参照）。さらに、水晶圧電素子１０８の中央には、頂面に円形の受圧面１３４を有する受圧部１３２が形成されており、全体としてメサ形状に形成されている。従って、この水晶圧電素子１０８が２枚の電極板１０６の間に配置された際、一方の電極板１０６とは円形の受圧面１３４で接することになる。また、水晶圧電素子１０８の角部表面には、水晶の結晶方位（この場合、水晶のＸ方位）を示す目印１３６が記されている。この目印１３６は、水晶圧電素子１０８に受圧部１３２を形成する際に同時に形成される。   FIG. 3 is an explanatory view showing the shape of the quartz crystal piezoelectric element 108 in FIG. FIG. 3A is a plan view showing the crystal piezoelectric element 108 from above, and FIG. 3B is a side view showing the side surface of the crystal piezoelectric element 108. As shown in FIG. 3, in this embodiment, each of the quartz crystal piezoelectric elements 108 (that is, 108a to 108f) is composed of a quartz plate having a square outer periphery as described above (see FIG. )). Further, a pressure receiving portion 132 having a circular pressure receiving surface 134 on the top surface is formed at the center of the quartz crystal piezoelectric element 108, and is formed in a mesa shape as a whole. Therefore, when the quartz crystal piezoelectric element 108 is disposed between the two electrode plates 106, the one electrode plate 106 comes into contact with the circular pressure receiving surface 134. A mark 136 indicating the crystal orientation of the crystal (in this case, the X direction of the crystal) is marked on the corner surface of the crystal piezoelectric element 108. The mark 136 is formed at the same time when the pressure receiving portion 132 is formed on the quartz crystal piezoelectric element 108.

Ｂ．力センサーの動作：
力センサー１００に力が加わった場合、上部プレート１０２および下部プレート１０４は、その力を受けて、各水晶圧電素子１０８ａ〜１０８ｆに伝達する。各水晶圧電素子１０８ａ〜１０８ｆは、それぞれ、圧電効果により、水晶の結晶方位に応じた力成分を検出する。すなわち、図２に示すように、ｙ方向用水晶圧電素子１０８ａ，１０８ｂでは、前述したとおり、水晶のＸ方位がｙ方向に沿っているため、ｙ方向の力成分を検出し、その検出値に基づいた電気信号をＦｙ信号として電極板１０６ｂより出力信号線へと出力する。同様に、ｚ方向用水晶圧電素子１０８ｃ，１０８ｄでは、水晶のＸ方位がｚ方向に沿っているため、ｚ方向の力成分を検出し、その検出値に基づいた電気信号をＦｚ信号として電極板１０６ｄより出力信号線へと出力する。ｘ方向用水晶圧電素子１０８ｅ，１０８ｆでは、水晶のＸ方位がｘ方向に沿っているため、ｘ方向の力成分を検出し、その検出値に基づいた電気信号をＦｘ信号として電極板１０６ｆより出力信号線へと出力する。 B. Force sensor operation:
When a force is applied to the force sensor 100, the upper plate 102 and the lower plate 104 receive the force and transmit the force to the crystal piezoelectric elements 108a to 108f. Each of the quartz crystal piezoelectric elements 108a to 108f detects a force component corresponding to the crystal orientation of the quartz crystal by the piezoelectric effect. That is, as shown in FIG. 2, in the y-direction crystal piezoelectric elements 108a and 108b, as described above, since the X direction of the crystal is along the y direction, the force component in the y direction is detected, and the detected value is The electric signal based on this is output as an Fy signal from the electrode plate 106b to the output signal line. Similarly, in the crystal piezoelectric elements 108c and 108d for z direction, since the X direction of the crystal is along the z direction, a force component in the z direction is detected, and an electric signal based on the detected value is used as an Fz signal. Output to the output signal line from 106d. In the x direction crystal piezoelectric elements 108e and 108f, since the X direction of the crystal is along the x direction, a force component in the x direction is detected, and an electric signal based on the detected value is output as an Fx signal from the electrode plate 106f. Output to the signal line.

本実施例における力センサー１００では、水晶圧電素子１０８の外周形状が正方形であるため、水晶圧電素子１０８をウエハから形成する際、ウエハを直線状に切断するだけで容易に無駄なく形成することができる。また、外周形状が正方形であるため、同一のウエハから正方形に切断したものを、９０度回転させるだけで、ｘ方向用水晶圧電素子１０８ｅ，１０８ｆおよびｙ方向用水晶圧電素子１０８ａ，１０８ｂとして、共通して使用することができる。そのため、力センサー１００において、ｘ方向とｙ方向の感度を揃えることができる。さらに、水晶圧電素子１０８の外周形状が正方形であると共に、水晶圧電素子１０８の表面に水晶の結晶方位を示す目印１３６が記されているため、各水晶圧電素子１０８を力検出に必要な結晶方位に揃えて、容易に積層配置することができる。また、水晶圧電素子１０８の中央には、受圧面１３４が円形を成す受圧部１３２が形成されており、力センサー１００に力が加わった際、水晶圧電素子１０８は、円形の受圧面１３４で力を受けることになるため、応力集中が発生することが無く、破壊に対する耐性を向上させることが可能となる。   In the force sensor 100 in this embodiment, since the outer peripheral shape of the crystal piezoelectric element 108 is square, when the crystal piezoelectric element 108 is formed from a wafer, it can be easily formed without waste simply by cutting the wafer in a straight line. it can. In addition, since the outer peripheral shape is a square, the same wafer cut into a square can be rotated by 90 degrees and used as the x-direction crystal piezoelectric elements 108e and 108f and the y-direction crystal piezoelectric elements 108a and 108b. Can be used. Therefore, in the force sensor 100, the sensitivity in the x direction and the y direction can be made uniform. Further, since the outer peripheral shape of the quartz crystal piezoelectric element 108 is square and the mark 136 indicating the crystal orientation of the quartz crystal is marked on the surface of the quartz crystal piezoelectric element 108, each crystal piezoelectric element 108 has a crystal orientation necessary for force detection. And can be easily stacked and arranged. In addition, a pressure receiving portion 132 having a circular pressure receiving surface 134 is formed at the center of the quartz piezoelectric element 108, and when a force is applied to the force sensor 100, the quartz piezoelectric element 108 is forced by the circular pressure receiving surface 134. Therefore, stress concentration does not occur and resistance to breakage can be improved.

なお、力センサー１００は、外力を受けて水晶板に発生した電荷を、電極で検出することを動作原理としている。水晶板で発生した電荷を効率よく検出するという観点からすれば、本実施例のように、水晶圧電素子１０８の中央に設けられた円形の受圧面１３４で電極と接触する構造は、水晶板と電極板との接触面積が狭くなってしまうため、必ずしも好ましいものではない。しかし、力センサー１００は大きな荷重がかかるものであり、水晶圧電素子１０８の破壊に対する耐性を向上させることも重要である。そこで、本実施例では、破壊に対する耐性を向上させる観点から、敢えて、水晶板と電極板とを中央部分で円形の接触面（すなわち、受圧面１３４）で接触させる構造を採用している。   Note that the force sensor 100 has an operation principle of detecting an electric charge generated in the quartz plate by receiving an external force with an electrode. From the viewpoint of efficiently detecting the charge generated in the quartz plate, the structure in contact with the electrode by the circular pressure receiving surface 134 provided at the center of the quartz piezoelectric element 108 as in this embodiment is the same as the quartz plate. Since the contact area with an electrode plate will become narrow, it is not necessarily preferable. However, the force sensor 100 is subjected to a large load, and it is important to improve the resistance against the destruction of the quartz crystal piezoelectric element 108. In view of this, in this embodiment, from the viewpoint of improving the resistance to breakage, a structure is adopted in which the crystal plate and the electrode plate are brought into contact with each other through a circular contact surface (that is, the pressure receiving surface 134) at the center portion.

Ｃ．力検出装置の構成および動作：
図４は、図１に示す力センサー１００を４つ備えた力検出装置２００の外観を示す斜視図である。図４に示されるように、力検出装置２００では、上部プレート１０２および下部プレート１０４は、それぞれ円盤形状を成しており、各力センサー１００ａ〜１００ｄで共有されている。各力センサー１００ａ〜１００ｄは、それぞれ、円周に沿って、９０度ずつ隔てて配置されており、３つ以上の力センサー１００が同一直線上に並ばないように配置されている。 C. Configuration and operation of force detector:
FIG. 4 is a perspective view showing an appearance of a force detection device 200 including four force sensors 100 shown in FIG. As shown in FIG. 4, in the force detection device 200, the upper plate 102 and the lower plate 104 each have a disk shape, and are shared by the force sensors 100 a to 100 d. The force sensors 100a to 100d are arranged 90 degrees apart from each other along the circumference, and the three or more force sensors 100 are arranged so as not to line up on the same straight line.

前述したとおり、力センサー１００は、力センサー１００に加わる力をｘｙｚ方向の力成分に分解した状態で検出することができる。そのため、力検出装置２００では、任意の２つの力センサー１００を組み合わせることによって、一方向のモーメントを検出することができる。しかも、力検出装置２００では、３つ以上の力センサー１００を用い、それら力センサー１００が同一の直線上に並ばないように配置しているので、三軸方向の力、および三軸回りのモーメントを同時に検出することができる。   As described above, the force sensor 100 can detect a force applied to the force sensor 100 in a state where the force sensor 100 is decomposed into force components in the xyz direction. Therefore, the force detection device 200 can detect a moment in one direction by combining any two force sensors 100. Moreover, since the force detection device 200 uses three or more force sensors 100 and is arranged so that the force sensors 100 do not line up on the same straight line, the force in the triaxial direction and the moment about the triaxial direction Can be detected simultaneously.

Ｄ．変形例：
以上、本実施例の力センサー１００および力検出装置２００について説明したが、本発明は上記すべての実施例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。 D. Variations:
The force sensor 100 and the force detection device 200 according to the present embodiment have been described above. However, the present invention is not limited to all the embodiments described above, and can be implemented in various modes without departing from the scope of the present invention. It is.

例えば、上述した実施例では、水晶圧電素子１０８の外周形状を正方形としたが、正方形の角部が切り欠かれた形状、例えば、六角形や八角形などであってよい。少なくとも正方形の四辺の各々一部が残っている形状であればよい。   For example, in the embodiment described above, the outer peripheral shape of the quartz crystal piezoelectric element 108 is a square, but may be a shape in which square corners are notched, for example, a hexagon or an octagon. Any shape may be used as long as at least a part of each of the four sides of the square remains.

上述した実施例では、水晶圧電素子１０８の中央に形成された受圧部１３２は、受圧面１３４が円形を成していたが、円形に代えて、ワッシャ形にしてもよい。このように、ワッシャ形の受圧面１３４で力を受けるようにしても、応力集中が少なく、破壊に対する耐性が向上する。   In the embodiment described above, the pressure receiving portion 132 formed at the center of the quartz crystal piezoelectric element 108 has a circular pressure receiving surface 134, but may be a washer shape instead of a circular shape. As described above, even when the force is received by the washer-shaped pressure receiving surface 134, the stress concentration is small, and the resistance to breakage is improved.

上述した実施例または変形例では、水晶圧電素子１０８の破壊に対する耐性を向上させるために、水晶圧電素子１０８の中央に、受圧面１３４が円形またはワッシャ形を成す受圧部１３２を形成するようにしたが、水晶圧電素子１０８に隣接する電極板１０６の中央に、水晶圧電素子１０８との接触面が円形またはワッシャ形を成す凸部を形成するようにしてもよい。このように構成することによっても、水晶圧電素子１０８に対する応力集中が少なくなり、破壊に対する耐性が向上する。   In the above-described embodiment or modification, in order to improve the resistance against the destruction of the quartz piezoelectric element 108, the pressure receiving portion 132 in which the pressure receiving surface 134 is circular or washer-shaped is formed at the center of the quartz piezoelectric element 108. However, a convex portion in which the contact surface with the crystal piezoelectric element 108 forms a circular shape or a washer shape may be formed in the center of the electrode plate 106 adjacent to the crystal piezoelectric element 108. This configuration also reduces stress concentration on the quartz crystal piezoelectric element 108 and improves resistance to breakage.

上述した実施例では、圧電素子を構成する圧電材料として、水晶を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。圧電材料としては、水晶の他に、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）などのチタン酸系セラミックス、およびニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）などが好適に用いられる。 In the embodiment described above, quartz is used as the piezoelectric material constituting the piezoelectric element, but the present invention is not limited to this. As the piezoelectric material, in addition to quartz, titanate ceramics such as lead zirconate titanate (PZT) and barium titanate (BaTiO 3 ), lithium niobate (LiNbO 3 ), and zinc oxide (ZnO) are preferable. Used for.

また、図５に例示したように、本実施例の力検出装置２００を用いてロボットハンド３００、あるいはロボット４００を構成しても良い。本実施例の力検出装置２００は、軸方向の力だけでなく、軸回りのモーメントも計測できることから、小型で高性能のロボットハンドあるいはロボットを実現することが可能となる。   Further, as illustrated in FIG. 5, the robot hand 300 or the robot 400 may be configured using the force detection device 200 of the present embodiment. Since the force detection device 200 of the present embodiment can measure not only the axial force but also the moment about the axis, it is possible to realize a small and high-performance robot hand or robot.

１００…力センサー、 １０２…上部プレート、 １０４…下部プレート、
１０６…電極板、 １０８…水晶圧電素子、 １１０…フッ素樹脂スペーサ、
１１２…フッ素樹脂スリーブ、 １１４…与圧ボルト、 １１６…貫通孔、
１３２…受圧部、 １３４…受圧面、 １３６…目印、
２００…力検出装置 100 ... Force sensor, 102 ... Upper plate, 104 ... Lower plate,
106 ... Electrode plate, 108 ... Quartz piezoelectric element, 110 ... Fluorine resin spacer,
112 ... Fluororesin sleeve, 114 ... Pressurizing bolt, 116 ... Through hole,
132 ... pressure receiving part, 134 ... pressure receiving surface, 136 ... mark,
200 ... Force detection device

Claims (10)

圧電材料から成る複数の圧電素子と複数の電極板とを積層して成る力センサーであって、
前記圧電素子の外周形状は、
少なくとも４つの辺を有し、
該４つの辺のうちの第１辺と第２辺とは互いに平行で、且つ、該４つの辺のうちの第３辺と第４辺とは互いに平行であり、
該第１辺と該第２辺との間隔と、該第３辺と該第４辺との間隔とは等しく、
該第１辺の延長線と該第３辺の延長線とが直交する形状である
ことを特徴とする力センサー。 A force sensor formed by laminating a plurality of piezoelectric elements made of piezoelectric material and a plurality of electrode plates,
The outer peripheral shape of the piezoelectric element is
Has at least four sides,
The first side and the second side of the four sides are parallel to each other, and the third side and the fourth side of the four sides are parallel to each other,
The distance between the first side and the second side is equal to the distance between the third side and the fourth side,
The force sensor, wherein the extension line of the first side and the extension line of the third side are orthogonal to each other. 前記圧電素子の外周形状が、正方形である請求項１に記載の力センサー。   The force sensor according to claim 1, wherein an outer peripheral shape of the piezoelectric element is a square. 請求項１または請求項２に記載の力センサーであって、
前記圧電素子と前記電極板とは交互に積層されており、
前記圧電素子は、該圧電素子の外周形状の中央部分にある円形またはワッシャ形の接触面で、隣接する前記電極板と接触する
ことを特徴とする力センサー。 The force sensor according to claim 1 or 2,
The piezoelectric elements and the electrode plates are alternately stacked,
The piezoelectric element is in contact with the adjacent electrode plate at a circular or washer-shaped contact surface in a central portion of the outer peripheral shape of the piezoelectric element. 請求項１ないし請求項３の何れか一項に記載の力センサーであって、
前記圧電素子は、前記圧電素子および前記電極板を積層する積層方向に対して垂直な方向の力に対して感度を有する特定圧電素子を含み、該特定圧電素子には、前記感度の方向を示す目印が形成されている
ことを特徴とする力センサー。 A force sensor according to any one of claims 1 to 3,
The piezoelectric element includes a specific piezoelectric element having sensitivity to a force in a direction perpendicular to a stacking direction in which the piezoelectric element and the electrode plate are stacked, and the specific piezoelectric element indicates the direction of the sensitivity. A force sensor characterized in that a mark is formed. 請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の力センサーであって、
前記圧電素子は、前記圧電素子および前記電極板を積層する積層方向に対して垂直な方向の力に対して感度を有する特定圧電素子を含み、該特定圧電素子の感度の方向が、前記第１辺または前記第３辺に平行な方向である
ことを特徴とする力センサー。 A force sensor according to any one of claims 1 to 4,
The piezoelectric element includes a specific piezoelectric element having sensitivity to a force in a direction perpendicular to a stacking direction in which the piezoelectric element and the electrode plate are stacked, and the direction of sensitivity of the specific piezoelectric element is the first direction. A force sensor characterized by being in a direction parallel to the side or the third side. 請求項１ないし請求項５の何れか一項に記載の力センサーであって、
互いに直交するｘ方向，ｙ方向，ｚ方向の三軸に対し、前記圧電素子は、ｘ方向の力に感度を有するｘ方向用圧電素子と、ｙ方向の力に感度を有するｙ方向用圧電素子と、ｚ方向の力に感度を有するｚ方向用圧電素子と、を含み、前記三軸方向の力を検出する
ことを特徴とする力センサー。 A force sensor according to any one of claims 1 to 5,
For the three axes in the x, y, and z directions orthogonal to each other, the piezoelectric element includes an x direction piezoelectric element that is sensitive to x direction force and a y direction piezoelectric element that is sensitive to y direction force. And a z-direction piezoelectric element having sensitivity to the z-direction force, and detecting the triaxial force. 加えられた力を検出する力検出装置であって、
請求項６に記載の力センサーを２つ以上備え、所望の軸回りのモーメントを検出する
ことを特徴とする力検出装置。 A force detection device for detecting an applied force,
A force detection device comprising two or more force sensors according to claim 6 and detecting a moment about a desired axis. 請求項７に記載の力検出装置であって、
３つ以上の前記力センサーを同一の直線上に並ばないように配置し、前記三軸方向の力、および三軸回りのモーメントを検出する
ことを特徴とする力検出装置。 The force detection device according to claim 7,
Three or more force sensors are arranged so as not to line up on the same straight line, and the force in the three-axis direction and the moment about the three axes are detected. 請求項７に記載の力検出装置を用いて動作するロボットハンド。   A robot hand that operates using the force detection device according to claim 7. 請求項７に記載の力検出装置を用いて動作するロボット。   A robot that operates using the force detection device according to claim 7.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105606271A (en) * 2014-10-21 2016-05-25 精工爱普生株式会社 Force detection apparatus and robot
US9410856B2 (en) 2012-08-22 2016-08-09 Seiko Epson Corporation Sensor device, sensor module, force detection device, and robot

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3566163A (en) * 1967-09-05 1971-02-23 Kistler Instrumente Ag Multiple-component piezomeasuring cells
JPS6034293A (en) * 1983-08-03 1985-02-21 株式会社日立製作所 Sensor for cutaneous sensation
JP2002084008A (en) * 2000-09-06 2002-03-22 Fdk Corp Sheared piezoelectric element of laminated structure
JP2003266994A (en) * 2002-03-14 2003-09-25 Axiom Co Ltd Writing instrument for writing discrimination system
JP2005522688A (en) * 2002-04-12 2005-07-28 フラウンホファー−ゲゼルシャフト ツア フェデルンク デア アンゲヴァンテン フォルシュンク エーファウ Non-push-in coupling control device
JP2008516202A (en) * 2004-10-07 2008-05-15 ピエツォクリスト・アドヴァンスト・ゼンゾリクス・ゲー・エム・ベー・ハー Sensor element having at least one measuring element having piezoelectric properties and pyroelectric properties
JP2011158404A (en) * 2010-02-02 2011-08-18 Kochi Univ Of Technology Mobile floor reaction force measuring device

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3566163A (en) * 1967-09-05 1971-02-23 Kistler Instrumente Ag Multiple-component piezomeasuring cells
JPS6034293A (en) * 1983-08-03 1985-02-21 株式会社日立製作所 Sensor for cutaneous sensation
JP2002084008A (en) * 2000-09-06 2002-03-22 Fdk Corp Sheared piezoelectric element of laminated structure
JP2003266994A (en) * 2002-03-14 2003-09-25 Axiom Co Ltd Writing instrument for writing discrimination system
JP2005522688A (en) * 2002-04-12 2005-07-28 フラウンホファー−ゲゼルシャフト ツア フェデルンク デア アンゲヴァンテン フォルシュンク エーファウ Non-push-in coupling control device
JP2008516202A (en) * 2004-10-07 2008-05-15 ピエツォクリスト・アドヴァンスト・ゼンゾリクス・ゲー・エム・ベー・ハー Sensor element having at least one measuring element having piezoelectric properties and pyroelectric properties
JP2011158404A (en) * 2010-02-02 2011-08-18 Kochi Univ Of Technology Mobile floor reaction force measuring device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9410856B2 (en) 2012-08-22 2016-08-09 Seiko Epson Corporation Sensor device, sensor module, force detection device, and robot
US9677953B2 (en) 2012-08-22 2017-06-13 Seiko Epson Corporation Sensor device, sensor module, force detection device, and robot
CN105606271A (en) * 2014-10-21 2016-05-25 精工爱普生株式会社 Force detection apparatus and robot

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