JP2013051310A - 描画物製造方法、描画部材及び描画装置 - Google Patents
描画物製造方法、描画部材及び描画装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】基板Kが載置される基台2、基台2を移動させる基台移動機構3、内層としての金層と外層としての白金層が形成された尖鋭部を有する描画部材10、描画部材10を支持する支持部材4、支持部材4を介して描画部材10を移動させる描画部材移動機構5、基板Kと描画部材10に電圧を印加する電圧印加機構6など備えた描画装置1を用いて、電子線レジスト上にフッ素含有化合物を含む被膜を形成させた基板Kに描画処理を施す。
【選択図】図1
Description
先端が尖鋭に形成された、導電性を有する尖鋭部と、該尖鋭部を支持する支持体とからなる描画部材を用いて、表面に電子線レジストが形成された描画対象物に描画処理を施して得られる描画物を製造する方法であって、
前記描画対象物の電子線レジストの一部又は全体を覆うように、フッ素含有化合物を含む被膜を形成させる工程と、
前記尖鋭部の先端部と前記描画対象物の被膜とを接触させた状態で両者を相対的に移動させるとともに、前記描画対象物と尖鋭部との間に電圧を印加し、前記尖鋭部の先端部から前記被膜を介して前記電子線レジストに電子を注入する工程と、
前記電子線レジストに電子が注入された描画対象物を現像する工程とを行う描画物製造方法に係る。
表面に電子線レジストが形成された描画対象物の該電子線レジストに電子を注入して、描画対象物に描画処理を施すための描画部材であって、
先端が尖鋭に形成された、導電性を有する尖鋭部と、該尖鋭部を支持する支持体とからなり、
前記尖鋭部は、その前記先端部に、金からなる内層と白金からなる外層が形成されている描画部材に係る。
表面に電子線レジストが形成された描画対象物に描画処理を施すための描画装置であって、
前記描画対象物を保持する基台と、
先端が尖鋭に形成された、導電性を有する尖鋭部と、該尖鋭部を支持する支持体とからなる描画部材と、
前記尖鋭部が前記基台に保持される描画対象物の被描画面と対峙するように前記描画部材を支持する支持機構と、
前記基台と前記支持部材とを、前記描画対象物の被描画面に対して平行な面及びこれと直交する面内で相対的に移動させる移動機構と、
前記基台に保持される描画対象物と前記尖鋭部との間に電圧を印加する電圧印加機構と、
前記移動機構及び電圧印加機構の動作を制御する制御機構とを備えた描画装置において、
前記尖鋭部は、その前記先端部に、金からなる内層と白金からなる外層が形成されている描画装置に係る。
2 基台
3 基台移動機構
4 支持部材
5 描画部材移動機構
6 電圧印加機構
7 制御装置
10 描画部材
11 支持体
12 尖鋭部
13 金層
14 白金層
20 変位検出機構
21 レーザ光源
22 受光部
23 変位算出機構
K 基板
R 電子線レジスト
C 被膜
Claims (7)
- 先端が尖鋭に形成された、導電性を有する尖鋭部と、該尖鋭部を支持する支持体とからなる描画部材を用いて、表面に電子線レジストが形成された描画対象物に描画処理を施して得られる描画物を製造する方法であって、
前記描画対象物の電子線レジストの一部又は全体を覆うように、フッ素含有化合物を含む被膜を形成させる工程と、
前記尖鋭部の先端部と前記描画対象物の被膜とを接触させた状態で両者を相対的に移動させるとともに、前記描画対象物と尖鋭部との間に電圧を印加し、前記尖鋭部の先端部から前記被膜を介して前記電子線レジストに電子を注入する工程と、
前記電子線レジストに電子が注入された描画対象物を現像する工程とを行うことを特徴とする描画物製造方法。 - 前記尖鋭部は、その前記先端部に、金からなる内層と白金からなる外層が形成されていることを特徴とする請求項1記載の描画物製造方法。
- 前記白金からなる外層は、その厚さが、5nm以上60nm以下であることを特徴とする請求項2記載の描画物製造方法。
- 表面に電子線レジストが形成された描画対象物の該電子線レジストに電子を注入して、描画対象物に描画処理を施すための描画部材であって、
先端が尖鋭に形成された、導電性を有する尖鋭部と、該尖鋭部を支持する支持体とからなり、
前記尖鋭部は、その前記先端部に、金からなる内層と白金からなる外層が形成されていることを特徴とする描画部材。 - 前記白金からなる外層は、その厚さが、5nm以上60nm以下であることを特徴とする請求項4記載の描画部材。
- 表面に電子線レジストが形成された描画対象物に描画処理を施すための描画装置であって、
前記描画対象物を保持する基台と、
先端が尖鋭に形成された、導電性を有する尖鋭部と、該尖鋭部を支持する支持体とからなる描画部材と、
前記尖鋭部が前記基台に保持される描画対象物の被描画面と対峙するように前記描画部材を支持する支持機構と、
前記基台と前記支持部材とを、前記描画対象物の被描画面に対して平行な面及びこれと直交する面内で相対的に移動させる移動機構と、
前記基台に保持される描画対象物と前記尖鋭部との間に電圧を印加する電圧印加機構と、
前記移動機構及び電圧印加機構の動作を制御する制御機構とを備えた描画装置において、
前記尖鋭部は、その前記先端部に、金からなる内層と白金からなる外層が形成されていることを特徴とする描画装置。 - 前記白金からなる外層は、その厚さが5nm以上60nm以下であることを特徴とする請求項6記載の描画装置。
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JP2011188515A JP5806556B2 (ja) | 2011-08-31 | 2011-08-31 | 描画物製造方法 |
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JP2013190670A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 描画物製造方法及び描画物製造装置 |
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