JP2013048184A - Holder - Google Patents
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 135
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 43
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 49
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
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Abstract
Description
この発明は、流体のベルヌーイ効果によって発生させた負圧を利用して、半導体ウエハなどの被保持体を非接触状態で保持する保持具に関する。 The present invention relates to a holder for holding a held object such as a semiconductor wafer in a non-contact state by using a negative pressure generated by a Bernoulli effect of a fluid.
従来から、流体のベルヌーイの効果を利用して被保持体を被接触状態で保持する保持具が知られている。
例えば、図6に示す保持具は、円盤状のベース部材1の一方の面に凹部2を形成するとともに、この凹部2の底面に流体の噴出部材3を設けている。
この噴出部材3は、その中央に流体室4を設けるとともに、この流体室4側の導入口5aから外周の噴出口5bに向かう複数の通路5を放射状に備えた円筒状の部材である。
2. Description of the Related Art Conventionally, a holder that holds a held body in a contacted state by using the effect of the Bernoulli fluid has been known.
For example, the holder shown in FIG. 6 has a recess 2 formed on one surface of a disk-shaped base member 1 and a fluid ejection member 3 provided on the bottom surface of the recess 2.
The ejection member 3 is a cylindrical member provided with a
また、ベース部材1には上記流体室4に流体を供給する流体源Pを接続するための流入口6を設け、上記流体源Pから供給された流体は、流体室4から上記通路5の噴出口5bから噴出するようにしている。
そして、上記複数の流路5の噴出口5bの合計開口面積を上記流入口6の開口よりも小さくして、噴出口5bから高速流体が噴出するようにしている。
Further, the base member 1 is provided with an
The total opening area of the outlets 5b of the plurality of
一方、上記凹部2内であって、噴出部材3の外周には、テーパー状にしたガイド面7を形成し、上記噴出口5bから噴出された流体をベース部材1の表面に沿って外方へ導くようにしている。
このように構成した保持具に、流体源Pから流体を供給し、その流体を上記噴出口5bから高速で噴出させるとその流体によって、噴出部材3の外周に形成した負圧生成室8に負圧が生成される。このように、流体を噴出させた状態で上記流入口6と反対側の保持面9側に被保持部材となる平板状のワークWを対向させ近づけると、ワークWは、上記負圧生成室8に生成した負圧による吸引力で引き付けられ、この吸引力と、流体の噴出による正圧と、ワークWの重量に基づく重力とがバランスする位置で保持されることになる。
On the other hand, a
When a fluid is supplied from the fluid source P to the holder configured as described above and the fluid is ejected from the ejection port 5b at a high speed, the fluid causes a negative
なお、図6中符号10は、図示のように保持されたワークWの外周を囲むように設けられたストッパ部材であり、保持状態において、保持具が水平方向に移動したとき、ワークWが保持面9から外れてしまわないように機能するものである。
上記したように、従来の保持具は、ベース部材1に形成した負圧生成室8に生成される負圧によってワークWを吸引するようにしているが、上記負圧生成室8に生成される負圧は、上記噴出口5bから噴出される流体速度が大きいほど大きくなる。
そのため、ワークWを確実に保持するためには、上記噴出口5bから噴出する流体速度を大きくして、大きな負圧を生成する必要がある。
特に、半導体ウエハなどのワークWが大型化すれば、ワークWの重量が大きくなり、それを保持するための吸引力も大きくしなければならない。
As described above, the conventional holder is configured to suck the workpiece W by the negative pressure generated in the negative
Therefore, in order to hold the workpiece W reliably, it is necessary to increase the fluid velocity ejected from the ejection port 5b to generate a large negative pressure.
In particular, if the workpiece W such as a semiconductor wafer is enlarged, the weight of the workpiece W increases, and the suction force for holding the workpiece W must also be increased.
そのために、上記従来の保持具では、負圧生成室8の負圧を大きくするために、流体源Pからの流体供給量を大きくして、噴出口5bから噴出される流体の速度を大きくしなければならなかった。
または、上記噴出口5bの数を多くしなければならなかった。
その結果、流体源Pの流体消費量が多く、エネルギー効率が悪いという問題があった。
この発明の目的は、流体消費量を抑えながら、安定した保持力を維持できる保持具を提供することである。
Therefore, in the above conventional holder, in order to increase the negative pressure in the negative
Or the number of the said jet nozzles 5b had to be increased.
As a result, there is a problem that the fluid consumption of the fluid source P is large and the energy efficiency is poor.
An object of the present invention is to provide a holder that can maintain a stable holding force while suppressing fluid consumption.
この発明は、気体あるいは液体などの流体源に接続する流入口を形成した本体と、この本体に形成した負圧生成室と、この負圧生成室に上記流入口からの流体を噴出するための噴出口とを備え、上記噴出口から噴出した流体の流れによって、上記負圧生成室に負圧を生成し、この生成された負圧を利用して被保持体を保持する保持具を前提とする。 The present invention provides a main body in which an inlet connected to a fluid source such as a gas or a liquid is formed, a negative pressure generation chamber formed in the main body, and a fluid for ejecting fluid from the inlet into the negative pressure generation chamber It is premised on a holder that includes a jet outlet, generates a negative pressure in the negative pressure generation chamber by the flow of fluid ejected from the jet outlet, and holds the object to be held using the generated negative pressure. To do.
第1の発明は、上記保持具を前提とし、上記噴出口を、上記流体源から噴出口へ流れる流体の流れに対して直列に複数配置するとともに、上記複数の噴出口のうち、上記流体源から噴出口へ流れる流体の流れに対して上流側に位置する噴出口と、この上流側の噴出口から噴出される流体を下流側の噴出口へ導く導入口との間に隙間を設け、上記噴出口、導入口及び上記隙間によってエジェクタ機構を構成し、上記エジェクタ機構で生成した負圧と、上記負圧生成室に生成した負圧とが相まって、被保持体を保持する構成にしたことを特徴とする。 1st invention presupposes the said holder, and while arrange | positioning two or more said jet nozzles in series with respect to the flow of the fluid which flows from the said fluid source to a jet nozzle, among the said several jet nozzles, the said fluid source A gap is provided between the jet port located upstream with respect to the flow of fluid flowing from the jet port to the jet port, and the inlet port that guides the fluid jetted from the jet port on the upstream side to the jet port on the downstream side, The ejector mechanism is configured by the jet port, the introduction port, and the gap, and the negative pressure generated by the ejector mechanism and the negative pressure generated in the negative pressure generation chamber are combined to hold the object to be held. Features.
第2の発明は、上記エジェクタ機構によって負圧が生成される減圧エリアあるいは上記負圧生成室と本体外部とを連通させる負圧調整用の調整孔を上記本体に形成したことを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, an adjustment hole for adjusting a negative pressure for communicating a negative pressure generating chamber or the negative pressure generating chamber with the outside of the main body is formed in the main body.
第3の発明は、上記エジェクタ機構によって負圧が生成される減圧エリアと、上記負圧生成室とを連通させる連通路を本体に形成するとともに、上記本体には、減圧エリアと被保持体との間を遮断する遮断部を備えたことを特徴とする。
なお、上記流体源から供給される流体は、気体及び液体を含む。
According to a third aspect of the present invention, a communication path is formed in the main body so as to communicate a reduced pressure area where negative pressure is generated by the ejector mechanism and the negative pressure generating chamber. It is characterized by having a blocking part for blocking the gap.
Note that the fluid supplied from the fluid source includes gas and liquid.
第1から第3の発明は、エジェクタ機構を備えたので、負圧生成室に生成した負圧だけでなく、エジェクタ機構で生成される負圧も利用して、被保持体に対するより大きな吸引力を発揮させることができる。
しかも、エジェクタ機構によって外部の流体を吸い込み、その流体が流体源から供給された流体と合流して、最下流側の噴出口から負圧生成室に噴出するので、負圧生成室に噴出させる流体量を流体源からの供給量よりもエジェクタ機構で吸い込んだ分だけ多くすることができる。
言い換えれば、負圧生成室に噴出させる流体量が同じなら、エジェクタ機構で吸い込む流体分だけ流体源からの供給流量を少なくでき、消費流量を節約できる。
Since the first to third inventions are provided with the ejector mechanism, not only the negative pressure generated in the negative pressure generating chamber but also the negative pressure generated by the ejector mechanism can be used to increase the suction force to the held object. Can be demonstrated.
Moreover, since the external fluid is sucked by the ejector mechanism, and the fluid merges with the fluid supplied from the fluid source and is ejected from the most downstream jet outlet to the negative pressure generating chamber, the fluid to be ejected to the negative pressure generating chamber The amount can be made larger than the amount supplied from the fluid source by the amount sucked by the ejector mechanism.
In other words, if the amount of fluid ejected into the negative pressure generating chamber is the same, the supply flow rate from the fluid source can be reduced by the amount of fluid sucked by the ejector mechanism, and the consumption flow rate can be saved.
また、流体源からの流体がエジェクタ機構を通過する過程で負圧を生成し、外気を吸い込みながら、最下流の噴出口から噴出して負圧生成室にも負圧を生成させるので、流体源からの供給流量が従来と同じであっても、エジェクタ機構による負圧と、負圧生成室に生成される負圧とが相まって、大きな吸引力を発揮し、被保持体をより安定的に保持することができる。 In addition, a negative pressure is generated in the process in which the fluid from the fluid source passes through the ejector mechanism, and the negative pressure is generated in the negative pressure generating chamber by sucking outside air and generating the negative pressure in the negative pressure generating chamber. Even if the supply flow rate from the same is the same as before, the negative pressure generated by the ejector mechanism and the negative pressure generated in the negative pressure generation chamber combine to exert a large suction force and hold the held object more stably. can do.
第2の発明では、調整孔の開度を調整することによって減圧エリアあるいは負圧生成室と本体外部とを連通させ、負圧生成室よりも高い外部の圧力を減圧エリアあるいは負圧生成室に導いて、減圧エリアあるいは負圧生成室内の負圧を弱く調整することができる。これにより、被保持体に対する吸引力を小さく調整できる。例えば、被保持体が柔軟性を有するものの場合、減圧エリアや負圧生成室の負圧による吸引力が大きすぎると、被保持体における減圧エリアあるいは負圧生成室に対向する部分が減圧エリアあるいは負圧生成室側に引き付けられて、被保持体が変形してしまう可能性があるが、この発明のように、減圧エリアあるいは負圧生成室内の圧力を調整できれば、吸引力を最適に保って被保持体の変形を防止することができる。 In the second invention, by adjusting the opening of the adjustment hole, the decompression area or the negative pressure generation chamber communicates with the outside of the main body, and an external pressure higher than the negative pressure generation chamber is applied to the decompression area or the negative pressure generation chamber. Thus, the negative pressure in the decompression area or the negative pressure generating chamber can be adjusted to be weak. Thereby, the suction | attraction force with respect to a to-be-held body can be adjusted small. For example, when the object to be held is flexible, if the suction force due to the negative pressure in the decompression area or the negative pressure generation chamber is too large, the portion of the object to be held facing the decompression area or the negative pressure generation chamber becomes the decompression area or The object to be held may be deformed by being attracted to the negative pressure generation chamber side, but if the pressure in the decompression area or the negative pressure generation chamber can be adjusted as in the present invention, the suction force can be kept optimal. Deformation of the held body can be prevented.
なお、上記流体源からの流体供給量を調整して、噴出口から噴出する流体流量や速度を調整すれば、減圧エリアあるいは負圧生成室内の負圧を調整することも可能である。しかし、流体ポンプなどの流体源からの気体の吐出量を微妙に制御することは難しい場合がある。これに対し、上記調整孔に流量調整バルブなどを設け、その開度を調整して減圧エリアあるいは負圧生成室と外部との連通を調整することはそれほど難しくなく、減圧エリアあるいは負圧生成室内の圧力調整が容易にできる。 It is also possible to adjust the negative pressure in the decompression area or the negative pressure generating chamber by adjusting the fluid supply amount from the fluid source and adjusting the flow rate and speed of the fluid ejected from the ejection port. However, it may be difficult to delicately control the amount of gas discharged from a fluid source such as a fluid pump. On the other hand, it is not difficult to adjust the communication between the decompression area or the negative pressure generation chamber and the outside by adjusting the opening by providing a flow rate adjustment valve or the like in the adjustment hole. The pressure can be adjusted easily.
第3の発明によれば、エジェクタ機構によって形成される減圧エリアと被保持体との間に遮断部材を備えることによって、被保持体が減圧エリアと直接対向することがない。被保持体が柔軟性を有するものであったとしても、エジェクタ機構によって形成される減圧エリアの負圧によって、被保持体が変形してしまうことを防止できる。 According to the third aspect of the invention, by providing the blocking member between the reduced pressure area formed by the ejector mechanism and the held body, the held body does not directly face the reduced pressure area. Even if the held body is flexible, it is possible to prevent the held body from being deformed by the negative pressure in the reduced pressure area formed by the ejector mechanism.
図1に示す第1実施形態は、ベース部材1に形成した凹部2内に、複数の流体通路12を形成し、保持面9側を解放した筒状の第1噴出部材11と、この第1噴出部材11内に配置し、保持面9側を閉鎖した第2噴出部材13を設け、上記第1噴出部材11の外側に、ガイド面7と第1噴出部材11とで囲まれた負圧生成室8を形成している。
なお、この第1実施形態において、図6に示す従来例と同様の構成要素には、図6と同じ符号を用いることにする。
また、この第1実施形態では、ベース部材1と、第1、第2噴出部材11,13とによって、この発明の本体を構成し、これら各部材におけるワークW側端面をほぼ面一の保持面9とする。
In the first embodiment shown in FIG. 1, a cylindrical
In the first embodiment, the same reference numerals as those in FIG. 6 are used for the same components as those in the conventional example shown in FIG.
Moreover, in this 1st Embodiment, the main body of this invention is comprised by the base member 1, and the 1st,
上記第1噴出部材11は、その側面に放射状に設けた複数の流体通路12を備え、各流体通路12の導入口12aから導入された流体が噴出口12bから上記負圧生成室8へ噴出され、ガイド面7に沿ってベース部材1の外周側へ流れる過程で、負圧生成室8内に負圧を生成する構成にしている。
The
また、上記第2噴出部材13は、流体源Pに接続する流入口6に接続され、導入口14a及び噴出口14bを有するノズル部材14を複数支持している。
この第2噴出部材13で支持された各ノズル部材14は、その噴出口14bが上記第1噴出部材11に設けた流体通路12の各導入口12aに対応し、流体の流れに対して直列に配置され、上記流入口6から供給された流体が、図示の矢印のようにノズル部材14の噴出口14bから流体通路12の導入口12aに導入され、上記各噴出口12bから負圧生成室8へ噴出される構成にしている。
The
Each
さらに、上記ノズル部材14の噴出口14bと流体通路12の導入口12aとの間には隙間を確保し、上記噴出口14bから導入口12aへ向かう流体の流れが、上記隙間を介して外部の流体を吸い込むこの発明のエジェクタ機構を構成するようにしている。このように、エジェクタ機構によって減圧され、負圧が生成されるエリアを減圧エリア15とする。
この第1実施形態では、上記ノズル部材14の噴出口14bと、流体通路12の噴出口12bが、この発明の流体の流れに対して直列に配置した複数の噴出口であり、上記噴出口14bが上流側に位置する噴出口、上記噴出口12bが下流側の噴出口である。また、上記導入口12aが、上流側の噴出口14bから噴出される流体を下流側の噴出口12bへ導く導入口である。
Furthermore, a gap is secured between the jet outlet 14b of the
In this 1st Embodiment, the jet nozzle 14b of the said
このような保持具は、上記流入口6に流体源Pからの流体を供給し、その保持面9側を被保持体であるワークWに近づけると、ノズル部材14、流体通路12、負圧生成室8、及び保持面9とワークWとの間隙を介して本体の外方へ流れ、負圧生成室8への噴出流によって負圧生成室8に負圧を生成し、上記エジェクタ機構によって減圧エリア15に負圧を生成する。
このように生成された上記負圧生成室8の負圧と、減圧エリア15の負圧が吸引力となり、この吸引力と、流体噴出による正圧と、ワーク重量とのバランスした位置で、ワークWが保持される。
Such a holder supplies the fluid from the fluid source P to the
The negative pressure generated in this way in the negative
この第1実施形態では、負圧生成室8の負圧と、減圧エリア15の負圧とが相まって、ワークWを保持するようにしている。従来のように、負圧生成室8に生成された負圧のみによる吸引力でワークWを保持する場合と比べて大きな保持力を実現でき安定した保持ができる。
In the first embodiment, the negative pressure in the negative
また、この第1実施形態では、エジェクタ機構によって減圧エリア15に負圧が生成されると、ワークWと保持面9との間隙から本体外部の流体が吸い込まれるので、上記第1噴出部材11の流体通路12には、流体源Pから供給された流体に外部の流体が合流して供給されることになる。
そのため、流体通路12の噴出口12bからは、上記流体源Pからの供給量よりも多くの流体が噴出され、負圧生成室8内により大きな負圧を生成することができる。
その結果、安定した保持力を得ることができ、より大きなワークにも対応できる。
In the first embodiment, when a negative pressure is generated in the
Therefore, a larger amount of fluid than the amount supplied from the fluid source P is ejected from the ejection port 12 b of the
As a result, a stable holding force can be obtained and a larger workpiece can be handled.
さらに、上記負圧生成室8への噴出流には、上記エジェクタ機構によって減圧エリア15を介して吸い込まれた流体が合流するので、負圧生成室8に噴出させる流体量が同じなら、エジェクタ機構で吸い込む流体分だけ流体源Pからの供給流量を少なくでき、消費流量を節約することもできる。
Further, since the fluid sucked by the ejector mechanism through the
図2,3に示す第2実施形態は、ベース部材1の凹部2に、上記第1実施形態の第1、第2噴出部材11,13に替えて噴出部材16を設け、この噴出部材16とベース部材1とによって本体を構成した保持具である。なお、上記第1実施形態と同じ構成要素には、図1と同じ符号を用い、個々の構成要素の詳細な説明は省略する。
上記噴出部材16は、ワークWに対向する保持面9側を底面16aとした円筒状部材である。上記底面16aにはその外周に沿って起立した円筒側面状の第1支持部16bと、この第1支持部16bの内側に起立した第2支持部16cとを備えている。
In the second embodiment shown in FIGS. 2 and 3, an
The
上記第1支持部16bは、複数、この第2実施形態では4個の第1ノズル部材17を支持し、第2支持部16cは、上記第1ノズル部材17と同数の第2ノズル部材18を支持している。
また、上記第1ノズル部材17の噴出口17bと、第2ノズル部材18の噴出口18bとを流体の流れに対して直列に配置し、流体流れに対して上流側の第2ノズル部材の噴出口18bと下流側の第1ノズル部材17の導入口17aとの間に隙間を維持し、エジェクタ機構を構成するとともに、その周囲を減圧エリア15としている。
The first support portion 16b supports a plurality of
Further, the ejection port 17b of the
そして、第2ノズル部材18の導入口18aが図示しない流体源に接続する流入口6に接続するとともに、上記導入口18a側空間と、噴出口18b側の減圧エリア15とを上記第2支持部16cで区画している。
また、上記減圧エリア15と上記負圧生成室8とを、上記第1支持部16bで区画している。
但し、第1支持部16bには、図3に示すように複数の連通路19を形成している。
The
The
However, a plurality of
上記連通路19は、上記減圧エリア15と本体外部とを、上記負圧生成室8を経由して連通させるための通路であり、上記エジェクタ機構が減圧エリア15の流体を吸い込む際に、この連通路19及び負圧生成室8を介して減圧エリア15に外部の流体が供給される。
なお、上記連通路19は、上記第1ノズル部材17の噴出口17bから負圧生成室8内に噴出した流体を直接吸い込むことがないように、その吸入口19aと上記噴出口17bとの間には所定の距離を保つようにしている。
これにより、上記エジェクタ機構によって減圧室15には負圧が生成されるとともに、本体外部の流体が負圧生成室8及び減圧エリア15を経由し、第1ノズル部材18の噴出口18bから噴出した流体と合流して第1ノズル部材17へ導入されることになる。
The
The
Thereby, a negative pressure is generated in the
この第2実施形態の保持具も、流入口6に接続した流体源から流体を供給し、第1ノズル部材17の噴出口17bから流体を噴出することによって、負圧生成室8に負圧を生成し、この負圧によって保持面9側にワークWを保持することがでる。
また、第1ノズル部材17の噴出口17bから噴出される流体の流量は、上記流体源から供給された流量に上記エジェクタ機構によって外部から吸い込まれた流量との合計になるため、流体源からの供給流量よりも大きな流量を噴出させてより大きな負圧によって大きな保持力を得ることができる。
The holder of the second embodiment also supplies a negative pressure to the negative
Further, the flow rate of the fluid ejected from the ejection port 17b of the
さらに、上記負圧生成室8への噴出流には、上記エジェクタ機構によって減圧エリア15を介して吸い込まれた外部流体が合流するので、負圧生成室8に噴出させる流体量が同じなら、エジェクタ機構で吸い込む流体分だけ流体源からの供給流量を少なくでき、消費流量を節約することもできる。
さらにまた、この第2実施形態では、上記減圧エリア15とワークWとの間に、噴出部材16の底面16aを介在させて減圧エリア15を露出させていないため、ワークの中央部分が減圧エリア15に吸引されて、変形することを防止できる。
Furthermore, since the external fluid sucked through the
Furthermore, in the second embodiment, since the
この第2実施形態の保持具は、他の実施形態と同様に負圧生成室8で生成された負圧と、エジェクタ機構によって生成された負圧とが相まって保持力となるが、エジェクタ機構によって負圧が生成される減圧エリア15は、負圧生成室8とは違って流体の噴出がない。そのため、上記減圧エリア15に生成される負圧が大きくなると、その負圧による吸引力でワークWが吸引されて、変形するだけでなく、吸着してしまうことがある。
しかし、上記のように、噴出部材16の底面16aが、上記減圧エリア15とワークWとの間に介在して、両者の間を遮断していれば、ワークWが減圧エリア15の負圧によって変形するようなことはない。この第2実施形態では、上記底面16aが、この発明の遮断部材を構成する。
In the holder of the second embodiment, the negative pressure generated in the negative
However, as described above, if the bottom surface 16a of the
図4に示す第3実施形態は、ベース部材1に、流量制御バルブを接続するための接続孔20を形成した以外は図2、3に示す第2実施形態と同じである。この実施形態において、第2実施形態と同じ構成要素には、上記第2実施形態と同じ符号を用いる。そして、第2実施形態と同じ構成要素については各要素の詳細な説明は省略し、以下には第2実施形態と異なる構成を中心に説明する。
The third embodiment shown in FIG. 4 is the same as the second embodiment shown in FIGS. 2 and 3 except that a
上記接続孔20は、第2ノズル部材18の噴出口18bと第1ノズル部材17の導入口17aとで構成されるエジェクタ機構によって負圧が生成される減圧エリア15と本体外部とを連通する貫通孔で、この接続孔20には、図示しない流量制御バルブを直接あるいは配管を介して接続し、この流量制御バルブを介して、上記減圧エリア15と外部とを連通させるようにする。
このように、上記減圧エリア15が本体外部と連通すれば、本体外部の圧力が減圧エリア15に導かれ、減圧エリア15内の圧力が外部圧力に近づき、すなわち減圧エリア15に生成される負圧が小さくなる。
The
Thus, if the
このように、減圧エリア15内の負圧が小さくなれば、負圧生成室8への噴出流体によって生成される負圧と、減圧エリア15に生成される負圧とが相まって生成される吸引力が小さくなり、保持状態のワークWのうち、上記減圧生成室8に対向した部分のみが強く吸引されて、ワークWが変形してしまうことを防止できる。
なお、上記接続孔20に接続した流量制御バルブの開度を調整することによって吸引力の基となる負圧の大きさを調整し、適度な保持力を得ることができる。
上記接続孔20とこの接続孔20に接続した流量制御バルブとによってこの発明の負圧調整用の調整孔を構成しているが、上記バルブはその開度が調整可能なものであれば、どのようなものでも構わない。
Thus, when the negative pressure in the
In addition, by adjusting the opening degree of the flow rate control valve connected to the
The
なお、この第3実施形態においても、負圧生成室8に噴出する流体によって生成される負圧と、上記エジェクタ機構によって減圧エリア15に生成される負圧とに基づいて、安定した保持力を得ることができるとともに、流体源から供給される流体にエジェクタ機構によって吸い込まれた流体を合流させて噴出流量を大きくすることができ、その結果負圧を大きくすることができる点は、他の実施形態と同じである。
また、エジェクタ機構によって吸い込む外部流体の分だけ、流体源の消費流量を節約できる点も上記他の実施形態と同じである。
In the third embodiment, a stable holding force is also obtained based on the negative pressure generated by the fluid ejected into the negative
The point that the consumption flow rate of the fluid source can be saved by the amount of the external fluid sucked by the ejector mechanism is the same as in the other embodiments.
図5に示す第4実施形態は、図4に示す第3実施形態の接続孔20に替えて、ベース本体1に直接負圧調整用の調整孔であるオリフィス21を形成したものである。
その他の構成は、上記第3実施形態と同じである。第3実施形態と同じ構成要素には、図4と同じ符号を用い、それらの詳細な説明は省略する。
この第4実施形態では、上記ベース部材1に形成したオリフィス21を、第2ノズル部材18の噴出口18bと第1ノズル部材17の導入口17aとで構成されるエジェクタ機構によって負圧が生成される減圧エリア15と本体外部とを連通する位置に貫通させている。
In the fourth embodiment shown in FIG. 5, instead of the
Other configurations are the same as those of the third embodiment. The same reference numerals as those in FIG. 4 are used for the same components as those in the third embodiment, and detailed descriptions thereof are omitted.
In the fourth embodiment, the negative pressure is generated in the
このように、上記減圧エリア15が上記オリフィス21を介して本体外部と連通すれば、本体外部の圧力が減圧エリア15に導かれ、減圧エリア15内の圧力が外部圧力に近づき、すなわち減圧エリア15に生成される負圧が小さくなる。
その結果、上記第3実施形態と同様に、上記エジェクタ機構によって生成する負圧が大きくなり過ぎないように調整し、ワークWの吸着を防止できる。
この第4実施形態では、減圧エリア15内の負圧を調整するためのオリフィス21をベース部材1に直接形成し、オリフィスの開度を一定にしているが、この開度はワーク重量や供給流体の流量など、保持具の使用条件に応じて最適値を選択する必要がある。
但し、開度の変更が可能な可変オリフィスを別部材として、ベース本体1に組み付け、その開度を変えて、上記減圧エリア15に生成される負圧を調整するようにしてもよい。
Thus, if the
As a result, similarly to the third embodiment, the negative pressure generated by the ejector mechanism is adjusted so as not to become too large, and the adsorption of the workpiece W can be prevented.
In the fourth embodiment, the
However, it is also possible to adjust the negative pressure generated in the
なお、この第4実施形態においても、負圧生成室8に噴出する流体によって生成される負圧と、上記エジェクタ機構によって減圧エリア15に生成される負圧とに基づいて、安定した保持力を得ることができるとともに、流体源から供給される流体にエジェクタ機構によって吸い込まれた流体を合流させて噴出流量を大きくすることができ、その結果負圧を大きくすることができる点は上記他の実施形態と同じである。
また、エジェクタ機構によって吸い込む外部流体の分だけ、流体源の消費流量を節約できる点も上記他の実施形態と同じである。
In the fourth embodiment as well, a stable holding force is obtained based on the negative pressure generated by the fluid ejected into the negative
The point that the consumption flow rate of the fluid source can be saved by the amount of the external fluid sucked by the ejector mechanism is the same as in the other embodiments.
また、上記第3、第4実施形態では、この発明の調整孔である接続孔20あるいはオリフィス21を、上記減圧エリア15に開口させているが、これら接続孔20あるいはオリフィス21などの調整孔は、減圧エリア15ではなく、上記負圧生成室8に開口させてもよい。上記調整孔を負圧生成室8に開口させれば、負圧生成室8に本体外部の圧力を直接導いて、負圧生成室8内の負圧を小さく調整することができ、上記第3、第4実施形態と同様の効果を得られる。
Further, in the third and fourth embodiments, the
さらに、上記第1〜第4実施形態の保持具は、流体源から供給される流れに沿って、二つの噴出口を直列に配置して一つのエジェクタ機構を構成しているが、噴出口の数及びエジェクタ機構の数は上記実施形態に限らず、複数のエジェクタ機構を構成するようにしてもよい。
また、上記保持具は、空気などの気体中だけでなく、液体中で用いることもできる。
Furthermore, in the holders of the first to fourth embodiments, two ejectors are arranged in series along the flow supplied from the fluid source to constitute one ejector mechanism. The number and the number of ejector mechanisms are not limited to the above embodiment, and a plurality of ejector mechanisms may be configured.
Moreover, the holder can be used not only in a gas such as air but also in a liquid.
この発明の保持具は、変形しやすい柔軟性を有するワークの保持に適している。 The holder of the present invention is suitable for holding a workpiece having flexibility that easily deforms.
1 ベース部材
6 流入口
8 負圧生成室
11 第1噴出部材
12 流体通路
12a 導入口
12b 噴出口
13 第2噴出部材
14 ノズル部材
14a 導入口
14b 噴出口
15 減圧エリア
16 噴出部材
16a (遮断部材である)底面
17 第1ノズル部材
17a 導入口
17b 噴出口
18 第2ノズル部材
18a 導入口
18b 噴出口
19 連通路
20 接続孔
21 オリフィス
P 流体源
W (被保持体である)ワーク
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Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011186326A JP5875294B2 (en) | 2011-08-29 | 2011-08-29 | Retainer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011186326A JP5875294B2 (en) | 2011-08-29 | 2011-08-29 | Retainer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013048184A true JP2013048184A (en) | 2013-03-07 |
JP5875294B2 JP5875294B2 (en) | 2016-03-02 |
Family
ID=48011031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011186326A Active JP5875294B2 (en) | 2011-08-29 | 2011-08-29 | Retainer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5875294B2 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101737293B1 (en) | 2015-03-03 | 2017-05-17 | 가부시키가이샤 하모테크 | Suction equipment |
KR20170087477A (en) * | 2014-12-11 | 2017-07-28 | 아틀라스 콥코 인더스트리얼 테크니크 에이비 | Screw driver with vacuum screw pick-up feature |
JP7467259B2 (en) | 2020-06-30 | 2024-04-15 | テルモ株式会社 | Medical Positioner |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0542077A (en) * | 1991-08-19 | 1993-02-23 | Mitsubishi Electric Home Appliance Co Ltd | Floor brush for electric cleaner |
JP2005219922A (en) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Koganei Corp | Non-contact carrying device |
JP2008087910A (en) * | 2006-10-02 | 2008-04-17 | Smc Corp | Non-contact conveying device |
JP2010253636A (en) * | 2009-04-27 | 2010-11-11 | Murata Machinery Ltd | Article holding device |
JP2011521793A (en) * | 2008-05-13 | 2011-07-28 | コリア ニューマティック システム カンパニー リミテッド | Non-contact type vacuum pad |
-
2011
- 2011-08-29 JP JP2011186326A patent/JP5875294B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0542077A (en) * | 1991-08-19 | 1993-02-23 | Mitsubishi Electric Home Appliance Co Ltd | Floor brush for electric cleaner |
JP2005219922A (en) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Koganei Corp | Non-contact carrying device |
JP2008087910A (en) * | 2006-10-02 | 2008-04-17 | Smc Corp | Non-contact conveying device |
JP2011521793A (en) * | 2008-05-13 | 2011-07-28 | コリア ニューマティック システム カンパニー リミテッド | Non-contact type vacuum pad |
JP2010253636A (en) * | 2009-04-27 | 2010-11-11 | Murata Machinery Ltd | Article holding device |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170087477A (en) * | 2014-12-11 | 2017-07-28 | 아틀라스 콥코 인더스트리얼 테크니크 에이비 | Screw driver with vacuum screw pick-up feature |
KR102437924B1 (en) * | 2014-12-11 | 2022-08-29 | 아틀라스 콥코 인더스트리얼 테크니크 에이비 | Screw driver with vacuum screw pick-up feature |
KR101737293B1 (en) | 2015-03-03 | 2017-05-17 | 가부시키가이샤 하모테크 | Suction equipment |
KR101737300B1 (en) | 2015-03-03 | 2017-05-17 | 가부시키가이샤 하모테크 | Suction equipment |
JP7467259B2 (en) | 2020-06-30 | 2024-04-15 | テルモ株式会社 | Medical Positioner |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5875294B2 (en) | 2016-03-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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