この発明に係わる真空バルブは、絶縁容器の両端部を端板組立体により気密に封止した真空容器と、この真空容器内に接離可能に設けられた一対の電極を備えた真空バルブであって、両方又はいずれか一方の上記端板組立体は、上記電極を固定させた端板と、この端板と共に上記絶縁容器の端部に接合されシールド機能を有する端部金具とで構成されると共に、上記端板と上記端部金具とによって上記真空容器内に空間部を形成し、この空間部にゲッターを配置したものである。
Vacuum valve according to the present invention comprises a vacuum container that seals both ends of insulation container hermetically by end plate assembly, a vacuum valve having a pair of electrodes provided to be separable into the vacuum vessel a is, both or either one of the end plate assembly, in an end plate which is fixed to the electrode, an end fitting having a joined to an end portion of the insulating container with this end plate shielding function together constituted by an upper SL end plate and the end fitting to form a spatial unit in the vacuum vessel is obtained by placing a getter in the space portion.
この発明の真空バルブによれば、ゲッターの脱落物を、端部金具と端板との間の空間部に閉じ込めることができるため、ゲッターの脱落物が高電界部まで拡散することはなく、耐電圧性能を安定、向上することができる。
また、ゲッターは、空間部に閉じ込められるので、端部金具に固着させる必要はなく、ゲッター両面のガス吸着機能を活用できるため、真空度の信頼性を向上させることができる。また、ゲッターは、スポット溶接やロウ付けなどの取り付け作業をすることなく空間部内に封入することができるため、真空バルブの組立作業性を良くすることができる。
According to the vacuum valve of the present invention, since the getter fallout can be confined in the space between the end fitting and the end plate, the getter fallout does not diffuse to the high electric field portion and is resistant to damage. Voltage performance can be stabilized and improved.
Further, since the getter is confined in the space portion, it is not necessary to fix the getter to the end fitting, and the gas adsorption function on both sides of the getter can be utilized, so that the reliability of the degree of vacuum can be improved. In addition, since the getter can be enclosed in the space without performing attachment work such as spot welding or brazing, the assembly workability of the vacuum valve can be improved.
また、このゲッター１６は、固定側端部金具１５内に配置して、その後、円板状の固定側端板２の外端部と固定側端部金具１５の連結部をロウ付けすることで空間部１７に配置される。このゲッター１６は、例えばスポット溶接やロウ付けなどによって、固定側端部金具１５に固着する必要はない。ゲッター１６は、ボタンタイプ、板状タイプどちらでも適用でき、かつ複数個配置してもよい。この端部構造は、固定側のみならず、可動側に適用しても、固定側と固定側の両側に適用してもよい。ゲッター１６は、固定側の空間部にのみ、可動側の空間部にのみ、固定側と可動側の両方の空間部に配置してもよい。
Further, the getter 16 is disposed in the fixed side end fitting 15, and then the outer end portion of the disk-shaped fixed side end plate 2 and the connection portion of the fixed side end fitting 15 are brazed. Arranged in the space 17. The getter 16 need not be fixed to the fixed-side end fitting 15 by spot welding or brazing, for example. The getter 16 can be either a button type or a plate type, and a plurality of getters 16 may be arranged. This end structure may be applied not only to the fixed side but also to the movable side, or to both sides of the fixed side and the fixed side. The getter 16 may be arranged only in the space portion on the fixed side, only in the space portion on the movable side, and in both space portions on the fixed side and the movable side.
実施の形態２．
図２に示す実施の形態２における真空バルブは、固定側構造において、固定側電極棒４
と円板状の固定側端板２の間に固定側補強板１８が固着されており、固定側端板２に重ね合わせた固定側補強板１８の外周側先端（周縁部）が、固定側端部金具３の内周縁部と所定の間隔をおいて互いに平行して下向き先端まで延びており、かつその固定側補強板１８の先端延長先を固定側端部金具３の樋状の先端部（固定側端部金具３の先端部を内周方向に向かって曲率半径をもって折り曲げ形成した曲部）に突合させ極小の隙間Ｓを設けて、その固定側補強板１８と固定側端部金具３で形成される環状の空間部１９にゲッター１６を配置している。
Embodiment 2. FIG.
The vacuum valve in the second embodiment shown in FIG. 2 has a fixed-side electrode rod 4 in a fixed-side structure.
The fixed-side reinforcing plate 18 is fixed between the fixed-side end plate 2 and the disk-shaped fixed-side end plate 2, and the distal end (peripheral portion) of the fixed-side reinforcing plate 18 superimposed on the fixed-side end plate 2 is Extending parallel to each other at a predetermined distance from the inner peripheral edge of the end fitting 3 to the downward tip, and extending the tip of the fixed reinforcing plate 18 to the hook-shaped tip of the fixed end fitting 3 (A curved portion formed by bending the distal end portion of the fixed-side end fitting 3 with a radius of curvature toward the inner circumferential direction) is provided to provide a minimal gap S, and the fixed-side reinforcing plate 18 and the fixed-side end fitting 3 The getter 16 is disposed in an annular space 19 formed by
また、ゲッターは空間部２１に配置され、ガス吸着材がコーティングされている面が円板状の固定側端板２、固定側端部金具３、固定側補強板２０に接着することはない。固定側補強板２０の先端と固定側端部金具３の間に設けた隙間Ｓからゲッター１６がガスを吸着する。また、固定側補強板２０が固定側端板２に固着され固定側端板２の板厚が増えて、固定側端板２の機械的強度補強になっている。
Further, the getter is disposed in the space portion 21 and the surface coated with the gas adsorbent is not bonded to the disk-shaped fixed side end plate 2, fixed side end fitting 3, and fixed side reinforcing plate 20. The getter 16 adsorbs the gas from the gap S provided between the tip of the fixed side reinforcing plate 20 and the fixed side end fitting 3. Further, the fixed-side reinforcing plate 20 is fixed to the fixed-side end plate 2, and the thickness of the fixed-side end plate 2 is increased, thereby reinforcing the mechanical strength of the fixed-side end plate 2.
実施の形態４．
図５に示す実施の形態４における真空バルブは、固定側構造において、固定側電極棒４と円板状の固定側端板２の間に固定側補強板２２が固着されており、図６に示すように、その固定側補強板２２の外周縁部側に段差部２２ａを設けており、真空容器内において固定側補強板２２を固定側端板２に重ね合わせたとき、その段差部２２ａと固定側端板２との間に空間部を形成し、その空間部にゲッター２３を収納している。
Embodiment 4 FIG.
The vacuum valve according to Embodiment 4 shown in FIG. 5 has a fixed-side structure in which a fixed-side reinforcing plate 22 is fixed between the fixed-side electrode rod 4 and the disk-shaped fixed-side end plate 2. As shown, a stepped portion 22a is provided on the outer peripheral edge side of the fixed-side reinforcing plate 22, and when the fixed-side reinforcing plate 22 is superimposed on the fixed-side end plate 2 in the vacuum vessel, the stepped portion 22a A space is formed between the fixed end plate 2 and a getter 23 is accommodated in the space.