JP2013041637A - 熱アシスト磁気記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光導波路を酸化膜からなるコアと酸化膜からなるクラッド層で構成し、コアと接するクラッド層の酸素含有量を化学量論的組成より高く設定する。
【選択図】図5
Description
(1)コア材及びクラッド材の不純物で、光が熱に変換される熱損失
(2)微小凹凸で、光が全反射せずにコアからクラッドへ逃げる放射損失
(3)コアとクラッドの構造の不完全性で生じる、光の散乱損失
このような損失に対して、通常の光ファイバの製造過程においては、コア及びクラッドを結晶化することで不純物を除去して屈折率を制御し、凹凸を最小限に低減して損失を管理している。
図6は磁気記録装置の概念図であり、図6(a)は平面模式図、図6(b)は断面模式図である。磁気記録媒体11は、モータ28により回転駆動される。情報の入出力時に、回転する磁気記録媒体11上の所定位置へサスペンションアーム12の先端に固定されたスライダ13が移動して、スライダ13に形成された磁気ヘッドにより磁化信号の記録再生を行う。ロータリアクチュエータ15を駆動することにより、磁気ヘッドが磁気記録媒体の半径方向の位置(トラック)を選択することができる。磁気ヘッドへの記録信号及び磁気ヘッドからの読み出し信号は信号処理回路35にて処理される。
図15(a)に示すように、長溝の浮上面側にフォトリソグラフィー法で感光性レジスト101を形成する。この感光レジストの高さによる影を利用して、IM法のイオンビームの照射を制限することでハードマスク104と近接場発生体となる金103の不要部が除去されて、近接場光発生体の厚さが規定され、酸素アッシング等の酸素処理で長溝底部に残る遮光膜105の不要DLCを除去して感光性レジストを剥離する。
Claims (7)
- 記録磁界を発生する磁極と、近接場光を発生する近接場光発生体と、前記近接場光発生体に照射する光を導く光導波路とを有する熱アシスト磁気記録ヘッドにおいて、
前記光導波路は、第1の酸化膜からなるコアと、前記コアの外周を被覆し前記コアより屈折率の小さい第2の酸化膜からなるクラッド層とを備え、
前記クラッド層は、前記第2の酸化膜の化学量論的組成より高い濃度の酸素を含有することを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド。 - 請求項1記載の熱アシスト磁気記録ヘッドにおいて、前記コアと接するクラッド層は、化学量論的組成より3%〜20%高い濃度の酸素を含有することを特徴とする光熱アシスト磁気記録ヘッド。
- 請求項1記載の熱アシスト磁気記録ヘッドにおいて、前記コアの側壁と接するクラッド層は、前記コア及び他のクラッド層より不活性ガスの含有量が少ないことを特徴する熱アシスト磁気記録ヘッド。
- 請求項1記載の熱アシスト磁気記録ヘッドにおいて、前記クラッド層は多層構造を有し、当該多層構造のクラッド層は前記コアに近い層ほど屈折率が高いことを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド。
- 請求項1記載の熱アシスト磁気記録ヘッドにおいて、前記コアの側壁と接するクラッド層は、原子層堆積法により成膜されたことを特徴する熱アシスト磁気ヘッド。
- 記録磁界を発生する磁極と、近接場光を発生する近接場光発生体と、前記近接場光発生体に照射する光を導く光導波路とを有する熱アシスト磁気記録ヘッドの製造方法において、
前記光導波路を形成する工程は、
下層クラッド層となる第1の酸化膜を形成する工程と、
前記下層クラッド層の上にコアとなる第2の酸化膜を形成する工程と、
前記第2の酸化膜をパターニングしてコアを形成する工程と、
前記コアの側壁を被覆する中間クラッド層となる第3の酸化膜を形成する工程と、
前記コアの上面を被覆する上層クラッド層となる第4の酸化膜を形成する工程とを有し、
前記第3の酸化膜及び前記第4の酸化膜として、各酸化膜の化学量論的組成より高い濃度の酸素を含有する酸化膜を形成することを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッドの製造方法。 - 記録磁界を発生する磁極と、近接場光を発生する近接場光発生体と、前記近接場光発生体に照射する光を導く光導波路とを有する熱アシスト磁気記録ヘッドの製造方法において、
前記光導波路を形成する工程は、
下層クラッド層となる第1の酸化膜を形成する工程と、
前記下層クラッド層の上にコアとなる第2の酸化膜を形成する工程と、
前記第2の酸化膜をパターニングしてコアを形成する工程と、
前記第1の酸化膜を構成する原子を少なくとも一種類含む、前記コアの側壁に付着した混在層を除去する工程と、
前記混在層を除去した前記コアの側壁に接するクラッド層となる第3の酸化膜を形成する工程と
を有することを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッドの製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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