JP2013036903A - Fault spot estimation system, fault spot estimation method and program for fault spot estimation - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent an increase in test time, facilitate fault diagnosis of scan chain and reduce fault diagnosis time for fault spot estimation.SOLUTION: A system for narrowing a range of fault on a scan chain comprises: means 24 for narrowing a fault candidate scan FF with both of a test pattern in a bypass test mode and a test pattern in a compression test mode; means 23 for identifying a fault scan chain in the compression test mode from a difference in a scan chain structure between the compression test mode and the bypass test mode, and storing the identified scan chain into a storage unit; means 27 for converting a range of fault candidate in the bypass test mode into a range of scan FF in the compression test mode; and means 25 for using the test pattern in the compression test mode to apply fault simulation to the scan chain including the fault candidate, conducting collation with a test result in the compression test mode and outputting a collation result to an output device.

Description

本発明は、故障診断技術に関し、特に、故障箇所推定システム、故障箇所推定方法及び故障箇所推定用プログラムに関する。   The present invention relates to a failure diagnosis technique, and more particularly, to a failure location estimation system, a failure location estimation method, and a failure location estimation program.

半導体集積回路(論理回路)の大規模化、微細化、多層化によって、故障箇所の物理的な特定が困難になってきており、物理解析前に予め故障箇所を絞り込むことが重要である。その事前の絞り込み手法の1つとして、テスト用回路(スキャンチェーン)を組み込んだスキャン設計回路(スキャン回路)では、論理的な故障診断手法が利用される。スキャン・テストモード時に、LSI回路内に設けられた複数のスキャン・フリップフロップ(「スキャンFF」と略記される)をシリアルに接続してテスト用回路(スキャンチェーン)を構成し、外部スキャン入力(Scan In)端子からパタンをシリアルに供給し(ロード)、検査対象の論理回路の入力に出力が接続された複数のスキャンFFからパタンがパラレルに印加され、論理回路の出力に入力が接続された複数のスキャンFFに、論理回路の出力が取り込まれ、当該複数のスキャンFFの出力を外部スキャンアウト(Scan Out)端子よりシリアルに出力し(アンロード)、LSIテスタで当該出力パタンを取り込み期待値パタンと比較する。   As the semiconductor integrated circuit (logic circuit) is increased in scale, miniaturized, and multi-layered, it is difficult to physically identify the failure location. It is important to narrow down the failure location in advance before physical analysis. As one of the prior narrowing methods, a logical failure diagnosis method is used in a scan design circuit (scan circuit) incorporating a test circuit (scan chain). In the scan test mode, a plurality of scan flip-flops (abbreviated as “scan FF”) provided in the LSI circuit are serially connected to form a test circuit (scan chain), and an external scan input ( A pattern is supplied serially from a (Scan In) terminal (load), a pattern is applied in parallel from a plurality of scan FFs whose outputs are connected to the inputs of the logic circuit to be inspected, and inputs are connected to the outputs of the logic circuit The output of the logic circuit is captured by a plurality of scan FFs, the output of the plurality of scan FFs is serially output (unloaded) from an external scan-out (Scan Out) terminal, and the output pattern is captured by an LSI tester. Compare with pattern.

論理的な故障診断手法は、スキャン回路のスキャンチェーンが正常に動作することを前提として、スキャンチェーンの入出力期待値、及び、テスタから得られるスキャンチェーンを利用したテスト結果(ロジックテスト結果)と、回路の設計情報とを利用してテスト対象としているロジック部分の故障箇所を推定する。この診断を「ロジック故障診断」と呼ぶ。   The logical fault diagnosis method is based on the assumption that the scan chain of the scan circuit operates normally, and the input / output expected value of the scan chain and the test result (logic test result) using the scan chain obtained from the tester. Then, the failure location of the logic part to be tested is estimated using circuit design information. This diagnosis is called “logic failure diagnosis”.

スキャンチェーン自体が故障していた場合、データ入力時(ロード動作)、データ出力時(アンロード動作)で故障の影響を受けるため、論理回路への入力値が入力期待値と異なること、及び、スキャンチェーンの出力値がロジックテスト結果をそのまま示していないことにより、通常の論理的な故障診断手法は利用できない。そこで、スキャンチェーン上の故障箇所を特定する論理的な故障診断(スキャンチェーン故障診断)システムが開発されている。近時、論理回路に占めるスキャンチェーンの割合(チェーン本数、チェーン長)が増大し、それに伴いスキャンチェーン自体が動作不良を起こすサンプル(SC不良サンプル)の割合が増える傾向にある。このため、スキャンチェーン故障診断の重要性が増している。   If the scan chain itself is faulty, it will be affected by the fault at the time of data input (load operation) and at the time of data output (unload operation), so the input value to the logic circuit is different from the expected input value, and Since the output value of the scan chain does not indicate the logic test result as it is, a normal logical failure diagnosis method cannot be used. In view of this, a logical failure diagnosis (scan chain failure diagnosis) system for identifying a failure location on the scan chain has been developed. Recently, the proportion of scan chains (number of chains, chain length) occupying the logic circuit has increased, and along with this, the proportion of samples (SC failure samples) in which the scan chain itself malfunctions tends to increase. For this reason, the importance of scan chain fault diagnosis is increasing.

また、近時、スキャン回路では、テスト時間の短縮のため、スキャンチェーンを圧縮化した圧縮回路を組み込んだ構成が増えている。回路内部の複数のスキャンチェーンを圧縮回路を使ってテスト結果を束ねることで圧縮し、1本のスキャンチェーンのテスト結果として出力する。圧縮回路を利用したテストでは、複数本のスキャンチェーンを同時にテストすることになるため、圧縮回路を利用しないテストに比べて、テスト時間を短縮することができる。   In recent years, the number of scan circuits incorporating a compression circuit in which a scan chain is compressed is increasing in order to shorten the test time. A plurality of scan chains in the circuit are compressed by bundling test results using a compression circuit, and output as test results for one scan chain. In the test using the compression circuit, a plurality of scan chains are tested at the same time, so that the test time can be shortened compared to the test not using the compression circuit.

しかしながら、故障診断では、LSIテスタ等によるテスト結果を、半導体集積回路内部のスキャンチェーン上の故障検出箇所(「故障スキャンFF」という)に置き換える必要がある。すなわち、スキャンチェーン上のスキャンFFに、テスト結果のフェイル情報に割り当てる必要がある。テスト結果が圧縮されていると、テスト結果のスキャンチェーン上の故障検出箇所への置き換え時に、複数の仮定が発生し(複数本のスキャンチェーンのうちのどれを故障とするか等に関して複数の仮定が存在する)、診断結果の故障候補数が増加する。このため、故障診断は、非圧縮テストによるフェイル情報を用いることが多い。   However, in the failure diagnosis, it is necessary to replace the test result by the LSI tester or the like with a failure detection location (referred to as “failure scan FF”) on the scan chain inside the semiconductor integrated circuit. That is, it is necessary to assign the fail information of the test result to the scan FF on the scan chain. If the test results are compressed, multiple assumptions will occur when the test results are replaced with fault detection locations on the scan chain (multiple assumptions regarding which of the multiple scan chains will be faulty, etc.) The number of failure candidates in the diagnosis result increases. For this reason, failure diagnosis often uses fail information from an uncompressed test.

デバイス内部に組み込まれたスキャン回路が不良の場合、当該デバイスはデータのロード、アンロード動作時に、必ず、スキャン回路の故障箇所の影響を受ける。この結果、デバイスのテストにおいて、本来の被検査対象のロジック部(論理回路)の故障よりも、スキャン回路の不良によるフェイルの数が増大する場合もある。これに伴い、テスト時間、及び、フェイル情報を格納する出力ファイル(ログ)の容量が増大する。その結果、当該デバイスのフェイルの後に行われるスキャンチェーンの故障診断の処理時間も長くなる。このため、故障診断用に、圧縮回路を利用したテスト結果を用いることは、一般に、敬遠される。   If the scan circuit incorporated in the device is defective, the device is always affected by the failure location of the scan circuit during data loading and unloading operations. As a result, in the device test, the number of failures due to defective scan circuits may increase more than the failure of the original logic part (logic circuit) to be inspected. Along with this, the test time and the capacity of the output file (log) for storing fail information increase. As a result, the processing time for scan chain failure diagnosis performed after the failure of the device also becomes longer. For this reason, it is generally avoided to use a test result using a compression circuit for failure diagnosis.

以上のことから、テスト時間を短縮し、かつ、故障スキャンチェーンを特定することが可能な故障診断手法(システム)を確立することが望まれている。   From the above, it is desired to establish a failure diagnosis method (system) that can shorten the test time and specify the failure scan chain.

スキャン回路(非圧縮スキャン回路)の動作、圧縮スキャン回路との違い、スキャンチェーン上に故障が及ぼす影響について以下に説明する。   The operation of the scan circuit (uncompressed scan circuit), the difference from the compressed scan circuit, and the influence of the failure on the scan chain will be described below.

圧縮器を利用したスキャン回路のテストを「圧縮テストモード」という。圧縮器を利用しないスキャン回路のテストを「バイパステストモード」という。また、各モードのテスト時に用いるテストパタン(被試験デバイスに印加される活性化(入力)パタンと、当該活性化(入力)パタンに対する被試験デバイスからの出力パタンと比較される期待値パタンを含む)は、複数のテストベクタから構成される。テストベクタとはデータの入力、動作実行、データ出力までの一連の動作の流れの最小単位である。   The test of the scan circuit using the compressor is called “compression test mode”. The test of the scan circuit that does not use the compressor is called “bypass test mode”. In addition, the test pattern used in each mode test (including an activation (input) pattern applied to the device under test and an expected value pattern compared with the output pattern from the device under test for the activation (input) pattern. ) Is composed of a plurality of test vectors. A test vector is a minimum unit of a series of operation flow from data input, operation execution to data output.

以下では、スキャン回路に関する用語、及び、バイパステストモードにおける、通常のスキャン回路の動作について図9を用いて説明する。図9は、バイパステストモードのスキャン回路を模式的に示す図である。図9には、1本のスキャンチェーンが存在するスキャン回路が例示されており、外側の実線は回路全体を表し、回路内の点線がスキャンチェーンを表している。スキャンチェーンは、スキャンFF、信号線、及びセルからなる。図9において、破線上の四角がスキャンFFを表し、点線で囲まれた長方形部分がスキャンチェーンで区切られたUser回路(組み合わせ回路)がテスト対象回路となる。   Hereinafter, the terminology relating to the scan circuit and the operation of the normal scan circuit in the bypass test mode will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a diagram schematically showing a scan circuit in the bypass test mode. FIG. 9 illustrates a scan circuit in which one scan chain exists, the outer solid line represents the entire circuit, and the dotted line in the circuit represents the scan chain. The scan chain includes a scan FF, a signal line, and a cell. In FIG. 9, a square on the broken line represents a scan FF, and a User circuit (combination circuit) in which a rectangular portion surrounded by a dotted line is divided by a scan chain is a test target circuit.

バイパステスト動作は、スキャンチェーンの上流側(スキャン入力端子SIN側)のスキャンFFからパタン値が入力転送され(シフトイン)、各スキャンFFに値が順次設定される(ロード動作)。   In the bypass test operation, a pattern value is input and transferred from the scan FF upstream of the scan chain (scan input terminal SIN side) (shift-in), and the value is sequentially set to each scan FF (load operation).

その後、システムクロック(キャプチャクロック)を印加して、User回路(組み合わせ論理回路)の入力にデータを印加する。User回路の出力はUser回路後段のスキャンFFに取り込まれる(キャプチャ動作)。   Thereafter, a system clock (capture clock) is applied, and data is applied to the input of the User circuit (combinatorial logic circuit). The output of the User circuit is taken into a scan FF at the latter stage of the User circuit (capture operation).

スキャンチェーンの下流側(SOUT側)のスキャンFFからスキャンFF内に取り込まれた状態値を出力(シフトアウト)することで(アンロード動作)、User回路(組み合わせ論理回路)の内部情報を得ることができる。   By outputting (shifting out) the state value taken into the scan FF from the scan FF on the downstream side (SOUT side) of the scan chain (unload operation), internal information of the User circuit (combining logic circuit) is obtained. Can do.

この通常のスキャン回路の動作を「ロジック部動作テスト」という。この動作を実行するためのパタンを「ロジック部動作テストパタン」という。また、ロジック部動作テストからキャプチャ動作を除いたテストを「スキャンチェーン動作確認テスト」という。スキャンチェーン上に正常にデータが印加され、出力されることを確かめるためのテストとする。この動作を実行するためのパタンを「スキャンチェーン動作確認テストパタン」という。   This normal operation of the scan circuit is referred to as “logic section operation test”. A pattern for executing this operation is referred to as a “logic unit operation test pattern”. A test in which the capture operation is excluded from the logic unit operation test is referred to as a “scan chain operation confirmation test”. This is a test for confirming that data is normally applied and output on the scan chain. A pattern for executing this operation is referred to as a “scan chain operation check test pattern”.

スキャンチェーンが正常であり、User回路(テスト対象回路)内に故障が存在する場合、ロード動作によってスキャンチェーンに正しい状態値を設定し、キャプチャ動作によってUser回路内の故障から生じた誤り状態を伝搬させスキャンFF(図9ではF1、F2、F3、F4)に取り込み、アンロード動作によって、User回路内の故障によって生じた誤りの振る舞いを、バイパステストモード結果として得ることができる。   When the scan chain is normal and a failure exists in the User circuit (test target circuit), the correct state value is set in the scan chain by the load operation, and the error state resulting from the failure in the User circuit is propagated by the capture operation Then, the error behavior caused by the failure in the User circuit can be obtained as a result of the bypass test mode by taking in the scan FF (F1, F2, F3, and F4 in FIG. 9) and performing the unload operation.

次に、図10を用いて、圧縮テストモードの動作と、圧縮テストモードの特徴、利点等を説明する。圧縮テストモードの動作は、シフトイン時に、展開器によって外部入力端子の数から内部のスキャンチェーンの数に対応して、データが展開される。   Next, the operation of the compression test mode and the features and advantages of the compression test mode will be described with reference to FIG. In the operation of the compression test mode, data is expanded by the expander corresponding to the number of internal scan chains from the number of external input terminals at the time of shift-in.

図10の例では、テスタからSIN端子にテストパタンが入力され、展開器では、No.1−1〜3の3つのチェーンに展開し、それぞれのスキャンチェーンにパタンがシフトインされる。次に、キャプチャ動作を実行し、User回路内の故障から生じた誤り状態を伝搬させ、スキャンチェーンNo.1−1のスキャンFF(図10では、F1、F2)、スキャンチェーンNo.1−2、3のスキャンFF(F3、F4)にそれぞれ取り込む。その後、シフトアウト時に、圧縮器にはチェーンNo1−1〜3の3本のスキャンチェーンのシフトアウト結果が入力され、圧縮器ではこれらを外部出力端子数(SOUT)の数に圧縮しテスト結果をテスタ等に出力する。   In the example of FIG. 10, a test pattern is input from the tester to the SIN terminal. The three chains 1-1 to 1-3 are developed, and the patterns are shifted into the respective scan chains. Next, the capture operation is executed to propagate the error state resulting from the failure in the User circuit. 1-1 scan FF (F1, F2 in FIG. 10), scan chain No. The data are taken into the scan FFs 1-2 and 3 (F3 and F4), respectively. After that, at the time of shift-out, the shift-out results of the three scan chains of chains No. 1-1 to No. 1-3 are input to the compressor, and the compressor compresses them to the number of external output terminals (SOUT) and displays the test results. Output to a tester.

バイパステストモードと圧縮テストモードでは、スキャンチェーンの繋がり方が異なり、チェーンの本数、チェーン長が異なるが、スキャンチェーンに用いるスキャンFFは、2つのテストモードで同じものが利用される。なお、特に制限されないが、展開器と圧縮器を備え、圧縮テストモード機能を備えた半導体デバイスでは、通常、バイパステストモードでのテストに切替可能な構成とされる。   The bypass test mode and the compression test mode differ in how the scan chains are connected, and the number of chains and the chain length differ, but the same scan FFs used for the scan chains are used in the two test modes. Although not particularly limited, a semiconductor device including a decompressor and a compressor and having a compression test mode function is normally configured to be switchable to a test in the bypass test mode.

圧縮テストモードでは、展開器と圧縮器を用いることで、外部端子よりも多くのスキャンチェーンにデータを設定してテストすることできる。すなわち、バイパステストモードに比べて、スキャンチェーン本数が増える。また、各スキャンチェーンのチェーン長が短くなる。   In the compression test mode, by using a decompressor and a compressor, it is possible to set and test data in more scan chains than external terminals. That is, the number of scan chains increases as compared to the bypass test mode. In addition, the chain length of each scan chain is shortened.

例えば、図9のバイパステストモードでは、1本のスキャンチェーンでチェーン長が7bit(シリアル接続されるスキャンFFが7個)であるが、図10の圧縮テストモードでは、3本のスキャンチェーンでチェーン長は2または3bitとなる。テスト時間は、シリアルに接続されたスキャンFFで構成されるシフトレジスタのシフト回数に依存する。圧縮テストモードでは、チェーン長が短くなった分、テスト時間が短くなる。   For example, in the bypass test mode of FIG. 9, one scan chain has a chain length of 7 bits (seven serially connected scan FFs), but in the compression test mode of FIG. 10, the chain is composed of three scan chains. The length is 2 or 3 bits. The test time depends on the number of shifts of a shift register composed of serially connected scan FFs. In the compression test mode, the test time is shortened as the chain length is shortened.

ロジック故障診断は、上記のテスト結果と、スキャン回路の構成情報や信号線の期待値等を利用して、故障シミュレーションを行う方法や故障の伝搬経路を遡る方法によって、故障箇所を推定する。   In the logic fault diagnosis, a fault location is estimated by a method of performing a fault simulation or a method of tracing a fault propagation path using the test result, scan circuit configuration information, an expected value of a signal line, and the like.

ロジック故障診断の前提条件として、テストにおいて、ロード動作時に、スキャンFFに正しく状態値(テストパタン)を設定し、アンロード動作時に、スキャンFFに取り込まれた状態値(User回路の出力値)がスキャンチェーン上の故障の影響を受けることなく出力される必要がある。   As a precondition for logic fault diagnosis, the state value (test pattern) is correctly set in the scan FF during the load operation in the test, and the state value (the output value of the User circuit) captured in the scan FF during the unload operation is It must be output without being affected by a failure on the scan chain.

スキャンチェーン上に故障が存在していると、スキャンシフト中に当該故障箇所を通過した論理値は、その故障の影響を受ける。ロード動作において、故障箇所の下流に位置するスキャンFFには、当該故障箇所を通過した値が設定される。このため、故障箇所の下流側のスキャンFFには正しい値を設定することができない。アンロード動作では、故障箇所の上流側のスキャンFFの論理値が、故障箇所を通過してシフトアウトするため、スキャンFFの保持していた論理値がそのまま出力されない場合がある。故障箇所のFFの出力がStuck at−1故障の場合、上流のスキャンFFの値0はシフトアウト時、全て、値1に置き換えられる。この場合、スキャンチェーンが正常動作をしていることを前提としている、ロジック故障診断は適用できない。   If a fault exists on the scan chain, the logical value that has passed through the fault location during the scan shift is affected by the fault. In the load operation, a value passing through the failure location is set in the scan FF located downstream of the failure location. For this reason, a correct value cannot be set for the scan FF downstream of the failure location. In the unload operation, the logical value of the scan FF upstream of the failure location passes through the failure location and is shifted out, so the logical value held by the scan FF may not be output as it is. When the output of the FF at the failure location is a Stuck at-1 failure, the value 0 of the upstream scan FF is all replaced with the value 1 when shifted out. In this case, the logic fault diagnosis based on the assumption that the scan chain is operating normally cannot be applied.

しかし、実際の製品の故障は、スキャンチェーン上に故障が存在することもあり、不良と判定された半導体集積回路(半導体デバイス)の故障診断において、スキャンチェーン上の故障箇所の絞込みが必要となる。   However, an actual product failure may exist on the scan chain, and it is necessary to narrow down the failure location on the scan chain in the failure diagnosis of the semiconductor integrated circuit (semiconductor device) determined to be defective. .

スキャン設計回路におけるスキャンチェーン上の故障の推定を行う故障箇所推定システムとして、例えば特許文献1の故障箇所推定方式を利用することができる。このシステムは、スキャンチェーン動作確認用のテストパタンにおいて、フェイルした論理回路の内、単一スキャンチェーン故障と確認されたものを対象として、特定のロジック部動作テストパタンで不良品をテストし、得られたテスト結果から、故障スキャンFFの故障範囲を絞り込み、その後、故障シミュレーションで詳細に故障箇所を特定する故障箇所推定システムである。   As a failure location estimation system that estimates a failure on a scan chain in a scan design circuit, for example, the failure location estimation method of Patent Document 1 can be used. This system tests a defective product with a specific logic unit operation test pattern for the one that has been confirmed as a single scan chain failure among the failed logic circuits in the test chain operation confirmation test pattern. This is a failure location estimation system that narrows down the failure range of the failure scan FF from the obtained test results and then specifies the failure location in detail by failure simulation.

以下、ロジック(論理回路)故障診断において、最初の絞込みで求めた候補を「1次故障候補」、最終的に故障シミュレーションで求めた候補を「最終故障候補」と呼ぶ。   Hereinafter, in the logic (logic circuit) failure diagnosis, a candidate obtained by first narrowing down is called a “primary failure candidate”, and a candidate finally obtained by failure simulation is called a “final failure candidate”.

スキャンチェーン上に故障が生じたときの現象と用語の定義について、図11を用いて説明する。図11には、説明の簡単のため、10個のスキャンFFからなるスキャンチェーンが示されている。スキャンFFは、SOUT側から順番にIndex番号が付けられる。この例では、Index番号0−9が付けられている。あるスキャンFFに注目すると、そのスキャンFFのSIN側を「上流」(upstream)、SOUT側を「下流」(downstream)と呼ぶ。例えば、図11のスキャンFF5の上流にはスキャンFF6、7、8、9があり、下流にはスキャンFF4、3、2、1、0がある。注目しているスキャンFF自身を下流に含めることもある。   A phenomenon and a definition of terms when a failure occurs on the scan chain will be described with reference to FIG. FIG. 11 shows a scan chain including 10 scan FFs for the sake of simplicity. Index numbers are assigned to the scan FFs in order from the SOUT side. In this example, Index numbers 0-9 are assigned. When attention is paid to a certain scan FF, the SIN side of the scan FF is referred to as “upstream” and the SOUT side is referred to as “downstream”. For example, there are scan FFs 6, 7, 8, 9 upstream of the scan FF 5 in FIG. 11, and scan FFs 4, 3, 2, 1, 0 downstream. The focused scan FF itself may be included downstream.

図11において、スキャン入力端子SINからのシリアルテストパターンを、スキャン入力端子SIN側のスキャンFFから入力しスキャンクロック信号に同期させて順次シフトさせて値を入力する(状態値を印加する)ことを「ロード動作」という。スキャンFFの値をスキャン出力端子SOUTから出力することを「アンロード動作」という。「ロード」は「スキャンイン」または「シフトイン」ともいう。「アンロード」は、「スキャンアウト」又は「シフトアウト」という場合もある。ロード/アンロード動作時には、スキャンチェーン上の状態値は、スキャン入力端子SINからスキャン出力端子SOUTに向かってスキャンシフトする。   In FIG. 11, the serial test pattern from the scan input terminal SIN is input from the scan FF on the scan input terminal SIN side and sequentially shifted in synchronization with the scan clock signal to input a value (apply a state value). This is called “load operation”. Outputting the value of the scan FF from the scan output terminal SOUT is called “unload operation”. “Load” is also referred to as “scan-in” or “shift-in”. “Unload” may be referred to as “scan-out” or “shift-out”. During the load / unload operation, the state value on the scan chain is scan-shifted from the scan input terminal SIN toward the scan output terminal SOUT.

ロード動作、及びロード動作のデータ(設定値)の表記方法としては、スキャン入力端子SINに近いスキャンFFから論理値が列挙される。例えば、{00110011}という表記があった場合、左端が、スキャン入力端子SIN側で右側がスキャン出力端子SOUT側のデータを表している。   As the notation method of the load operation and the data (set value) of the load operation, logical values are listed from the scan FF close to the scan input terminal SIN. For example, in the case of {00110011}, the left end represents data on the scan input terminal SIN side, and the right end represents data on the scan output terminal SOUT side.

スキャンチェーンが正常動作しているか否かの確認は、スキャンチェーン動作確認テスト(「フラッシュテスト」、「スキャンチェック」ともいう)を利用するスキャンチェーン動作確認テストは、ロード動作時に、
{00000000}(all−0)、
{11111111}(all−1)、
{00110011}
等の特別なパタンのテストベクタを印加し、キャプチャ動作は行わず、そのまま、アンロード動作で状態値を出力する。
The scan chain operation check test using the scan chain operation check test (also called “flash test” or “scan check”) is used to check whether the scan chain is operating normally.
{00000000} (all-0),
{11111111} (all-1),
{00110011}
A test vector having a special pattern such as the above is applied, the capture operation is not performed, and the state value is output as it is by the unload operation.

スキャンチェーン動作確認テストにおいて、正常動作した場合(不良が検出されない場合)、キャプチャ動作を行わないため、テスタからスキャン入力端子SINへのロードしたデータが、そのままスキャン出力端子SOUTからシリアルに出力される。一方、スキャンチェーン上に故障がある場合(正常動作しない場合)には、テスタからシリアル入力端子SINへのロードしたデータと、シリアル出力端子SOUTからシリアルに出力されるデータの値が異なる。このため、故障スキャンチェーンを特定できる。   In the scan chain operation check test, when the operation is normal (when no defect is detected), the capture operation is not performed, so the data loaded from the tester to the scan input terminal SIN is directly output from the scan output terminal SOUT as it is. . On the other hand, when there is a fault on the scan chain (when the scan chain does not operate normally), the value of the data loaded from the tester to the serial input terminal SIN and the data output serially from the serial output terminal SOUT are different. For this reason, a fault scan chain can be specified.

ここで、スキャンチェーンの不良動作を、固定故障と不定故障の2つに分けて考える。スキャンチェーンの固定故障は、スキャンチェーン動作確認テストにおいて、いなかるテストベクタを印加しても、得られるテスト結果の出力値がすべて‘0’又は‘1’に固定されている状態である。出力値が‘0’に固定されている場合、故障種別を、スキャンチェーン上の「stuck−at 0故障」という。出力値が‘1’に固定されている場合、故障種別を、スキャンチェーン上の「stuck−at 1故障」という。   Here, the scan chain defective operation is considered to be divided into a fixed failure and an indefinite failure. The scan chain fixed failure is a state in which all output values of the obtained test results are fixed to ‘0’ or ‘1’ even if any test vector is applied in the scan chain operation check test. When the output value is fixed to “0”, the failure type is referred to as “stack-at 0 failure” on the scan chain. When the output value is fixed to “1”, the failure type is referred to as “stack-at 1 failure” on the scan chain.

スキャンチェーンの不定故障は、スキャンチェーンの動作確認テストでテスト結果の出力値が‘0’でも‘1’でも、フェイル信号を検出する状態とする。   The scan chain indefinite failure is a state in which a fail signal is detected regardless of whether the output value of the test result in the scan chain operation check test is ‘0’ or ‘1’.

図12は、非特許文献1に開示された構成を説明するための図である。テスタ、キーボードまたは外部とのインターフェース部がある入力装置1と、プログラム制御により動作するデータ処理装置2と、ハードディスクやメモリなどの情報を記憶する記憶装置3と、外部とのインターフェース部であるディスプレイ装置や印刷装置などの出力装置4を備える。図12を参照して、各構成要素と各実行手段について説明する。なお詳細は非特許文献1が参照される。   FIG. 12 is a diagram for explaining the configuration disclosed in Non-Patent Document 1. An input device 1 having an interface unit with a tester, a keyboard, or the outside, a data processing device 2 that operates by program control, a storage device 3 that stores information such as a hard disk and a memory, and a display device that is an interface unit with the outside And an output device 4 such as a printing device. With reference to FIG. 12, each component and each execution means will be described. Refer to Non-Patent Document 1 for details.

記憶装置3は、テスタで取得したテスト結果を記憶するテスト結果記憶部31と、論理回路のネットリスト情報、テストパタン情報、スキャンチェーン情報やテスト結果情報を記憶する論理回路情報記憶部32と、故障スキャンチェーン、故障種別、を記憶する故障スキャンチェーン記憶部33と、故障候補スキャンFF番号、スキャンチェーン上の信号線名、信号線の分岐位置番号を記憶した故障候補スキャンFF記憶部34と、を備える。   The storage device 3 includes a test result storage unit 31 that stores a test result acquired by a tester, a logic circuit information storage unit 32 that stores net list information, test pattern information, scan chain information, and test result information of a logic circuit, A fault scan chain storage unit 33 that stores a fault scan chain and a fault type; a fault candidate scan FF storage unit 34 that stores a fault candidate scan FF number, a signal line name on the scan chain, and a branch position number of the signal line; Is provided.

既存テスタを用いて被疑回路用のテストパタンで、パス/フェイルテストを実行し、テストパタン内のスキャンチェーン動作確認テストパタンのテスト結果を用いて、故障スキャンチェーンと故障種別を特定し、テストパタン内のロジック部動作テストのテスト結果を用いて、各スキャンFFの期待値と、不良品のテスト結果との比較から、故障スキャンFFの可能性が高い範囲(1次候補)を絞り込み、故障候補内の信号線の分岐毎に、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行して、テスト結果と照合し、照合結果を出力する。   Execute the pass / fail test with the test pattern for the suspicious circuit using the existing tester, identify the fault scan chain and the fault type using the test result of the scan chain operation check test pattern in the test pattern, and test pattern Using the test result of the logic unit operation test, the expected value of each scan FF is compared with the test result of the defective product to narrow down the range (primary candidate) where the possibility of failure scan FF is high, and failure candidates For each branch of the signal line, a scan chain fault simulation is executed, collated with the test result, and the collation result is output.

図12のテスト結果取得手段21において、テスタやDFT(Design For Testablity)テスタなどのLSIテスト装置5を用いて、被疑サンプルの全スキャンチェーンに対して、“0000”、“1111”、“0101”、“0011”や“000111”のような特定の論理値を繰り返し、そのまま結果を出力するスキャンチェーン動作確認テストと、被疑サンプルのロジック部動作テストを実行し、その結果をテスト結果記憶部31に記憶する。   In the test result acquisition means 21 of FIG. 12, using the LSI test apparatus 5 such as a tester or a DFT (Design For Testability) tester, “0000”, “1111”, “0101” for all scan chains of the suspicious sample. , A specific logical value such as “0011” or “000111” is repeated, a scan chain operation confirmation test for outputting the result as it is, and a logic part operation test for the suspected sample are executed, and the result is stored in the test result storage unit 31. Remember.

例えば、スキャンチェーン上に、stuck−at故障が存在すると、スキャンチェーン上のスキャンFFの約半分が故障値となる場合がある。近時、論理回路は、非圧縮テストモード、スキャンチェーン長が例えば1万bit以上の製品が一般的に存在している。このような製品(半導体装置)において、スキャンチェーン故障が生じると、テスト時間の長期化、出力ファイル容量の増大を招く。   For example, if a stuck-at fault exists on the scan chain, about half of the scan FFs on the scan chain may have a fault value. Recently, as the logic circuit, a product having an uncompressed test mode and a scan chain length of, for example, 10,000 bits or more generally exists. In such a product (semiconductor device), when a scan chain failure occurs, the test time is prolonged and the output file capacity is increased.

診断初期設定手段22において、被疑サンプルのネットリスト情報、テストパタン情報、スキャンチェーン情報やテスト結果情報を読み込み、所定の情報を設定する。   The diagnosis initial setting means 22 reads the suspect sample netlist information, test pattern information, scan chain information and test result information, and sets predetermined information.

次に、故障スキャンチェーン特定手段23において、テスト結果取得手段21のスキャンチェーン動作確認テストのテスト結果を基に、故障が生じているスキャンチェーンを特定し、特定された故障スキャンチェーンの出力値と出力期待値と比較して、故障種別を特定し、故障スキャンチェーン情報と故障種別情報を、故障スキャンチェーン記憶部33に記憶する。   Next, the fault scan chain specifying means 23 specifies the scan chain in which the fault has occurred based on the test result of the scan chain operation confirmation test of the test result acquisition means 21, and outputs the output value of the specified fault scan chain. The failure type is specified by comparison with the expected output value, and the failure scan chain information and the failure type information are stored in the failure scan chain storage unit 33.

バイパステストモードの場合、故障スキャンFF絞り込み手段24において、故障スキャンチェーン記憶部33に記憶された故障スキャンチェーンと故障種別を用いて、図14に示すように、各スキャンFFの出力期待値と、被疑サンプルのロジック部動作テスト結果から得られる各スキャンFFの出力値とを比較して、1次故障候補を絞り込み、故障スキャンチェーン記憶部33に記憶する。このとき、故障スキャンFFの絞り込み方法は、例えば、同一論理の連続性を利用して、同一論理が始まる最も下流(SOUT)側のスキャンFFから、最も上流(SIN)側のスキャンFFとしてもよい。   In the case of the bypass test mode, the failure scan FF narrowing means 24 uses the failure scan chain and the failure type stored in the failure scan chain storage unit 33, as shown in FIG. The output value of each scan FF obtained from the logic part operation test result of the suspicious sample is compared to narrow down primary fault candidates and store them in the fault scan chain storage unit 33. At this time, the method of narrowing down the failure scan FFs may be, for example, using the continuity of the same logic, from the most downstream (SOUT) side scan FF where the same logic starts to the most upstream (SIN) side scan FF. .

また、シフトイン時の入力値を故障値と同値とすることで、シフトイン時の故障の影響をキャンセルし、シフトアウトすることで、故障の範囲を絞り込む場合もある。   Further, by making the input value at the time of shift-in the same value as the failure value, the influence of the failure at the time of shift-in is canceled and the range of the failure may be narrowed down by shifting out.

圧縮テストモードの場合、故障スキャンFF絞り込み手段24において、外部スキャンチェーンから推定される内部スキャンチェーンのすべてを1次故障候補と推定して、故障スキャンチェーン記憶部33に記憶する。   In the compression test mode, the fault scan FF narrowing means 24 estimates all the internal scan chains estimated from the external scan chain as primary fault candidates and stores them in the fault scan chain storage unit 33.

スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段25において、診断初期設定手段22、故障スキャンFF絞り込み手段24によって推定された故障候補スキャンFFの範囲に対して、故障スキャンチェーン特定手段23で特定した故障種別に従って、それぞれ故障を仮定し、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行し、故障シミュレーション結果と、不良品のテスト結果とを比較し、最も一致率の高い箇所を、最終故障候補として出力する。   In the scan chain failure simulation checking means 25, the failure candidate scan FF ranges estimated by the diagnosis initial setting means 22 and the failure scan FF narrowing means 24 are determined according to the failure type specified by the failure scan chain specifying means 23, respectively. As a result, a scan chain failure simulation is executed, the failure simulation result is compared with the test result of the defective product, and a portion having the highest coincidence rate is output as a final failure candidate.

図13は、図12の関連技術の故障診断動作を示す流れ図である。   FIG. 13 is a flowchart showing the failure diagnosis operation of the related technology of FIG.

テスト結果取得手段21がデバイスのテスト結果を取得する(A1)。   The test result acquisition unit 21 acquires the test result of the device (A1).

診断初期設定手段22が初期設定する(A2)。   The diagnosis initial setting means 22 performs initial setting (A2).

故障スキャンチェーン特定手段23において故障スキャンチェーンと故障モードを特定する(A3)。   The fault scan chain specifying unit 23 specifies the fault scan chain and the fault mode (A3).

バイパステストモードの場合(図13の判定「圧縮?」のno分岐)、故障スキャンFF絞り込み手段24において、故障スキャンFFの範囲を絞り込む(A4)。   In the bypass test mode (no branch of determination “compression?” In FIG. 13), the fault scan FF narrowing means 24 narrows down the range of fault scan FFs (A4).

スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段25において、故障スキャンFF絞り込み手段24によって推定された故障候補スキャンFFの範囲に対して、故障スキャンチェーン特定手段23で特定した故障種別に従って故障を仮定し、スキャンチェーンの故障シミュレーションの結果と照合する。   In the scan chain fault simulation checking means 25, a fault is assumed for the range of fault candidate scan FFs estimated by the fault scan FF narrowing means 24 according to the fault type specified by the fault scan chain specifying means 23, and the scan chain fault is detected. Check with simulation results.

圧縮テストモードの場合、故障スキャンFF絞り込み手段24において、故障が特定できない場合(図13の判定「特定?」のno分岐)、スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段25において、故障シミュレーションの結果と照合する。   In the case of the compression test mode, when a failure cannot be identified in the failure scan FF narrowing means 24 (no branch of determination “specific?” In FIG. 13), the scan chain failure simulation collating means 25 collates with the result of the failure simulation.

図14(B)は、バイパステストモードにおけるスキャンチェーン動作確認テストのパタンと、不良品でのテスト時の動作を模式的に示している。スキャンチェーンテスト、「不良品」のスキャンチェーンの破線矢印で示す箇所に「stuck−at1故障」があるものとする。「不良品」内の3行(各7個の箱)の中の値は、スキャンFF(の値)を示している。右側の出力パタンの2行目の下流から4個目のスキャンFFから上流側が1とされており、このスキャンFFよりも上流側に故障が存在することが推定される。   FIG. 14B schematically shows a scan chain operation confirmation test pattern in the bypass test mode and an operation at the time of a test with a defective product. Assume that there is a “stack-at1 failure” at the location indicated by the dashed arrow in the scan chain of the scan chain test, “defective product”. The values in the three rows (seven boxes each) in the “defective product” indicate the scan FF (value). The upstream side of the fourth scan FF from the downstream of the second row of the right output pattern is set to 1, and it is estimated that a fault exists upstream of the scan FF.

図14(A)は、左側の「ロードの下」に示すパタンを入力したときのシミュレーション結果(右側の「アンロード」の下のパタン)である。なお、パタンXは、コンペアをマスクするパタンであり、したがって、1又は0のいずれでもよい(すなわち、「Don’t Care」パタンである)。   FIG. 14A shows a simulation result (a pattern under “Unload” on the right side) when the pattern shown under “Unload” on the left side is input. Note that the pattern X is a pattern for masking the compare, and thus may be either 1 or 0 (that is, the “Do n’t Care” pattern).

圧縮テストモードの場合は、図15に示すように、出力値が正常スキャンチェーンの出力値と故障スキャンチェーンの出力値とで圧縮された値として出力される。このため、圧縮スキャンチェーンの各スキャンFFの状態値を一意に特定することが難しい。そのため、圧縮テストモードのスキャンチェーン故障診断は、1次候補の故障範囲を絞り込むために、パスしたスキャンFFに対しても、圧縮器によってフェイル情報がマスクされたと仮定して推定する必要があり、診断が複雑化する。実際は仮定数が膨大なため実用的な絞り込みは不可能である。   In the compression test mode, as shown in FIG. 15, the output value is output as a value compressed by the output value of the normal scan chain and the output value of the fault scan chain. For this reason, it is difficult to uniquely specify the state value of each scan FF in the compressed scan chain. Therefore, the scan chain fault diagnosis in the compression test mode needs to be estimated on the assumption that the fail information is masked by the compressor even for the passed scan FF in order to narrow down the failure range of the primary candidates. Diagnosis is complicated. Actually, since the number of assumptions is enormous, practical narrowing down is impossible.

なお、図15(B)は、圧縮テストモードにおいて、「不良品」内の展開器と圧縮器の間の3行(7個)の箱の中の値は3本のスキャンチェーンの各スキャンFFの値を示している。「不良品」の中央のスキャンチェーンの破線矢印で示す箇所(下流から4個目)に、「stuck−at1故障」があるものとする。圧縮器から出力されたパタンの下流から4個目のスキャンFFより上流側は、中央のスキャンチェーンの故障箇所(stuck−at1故障)の影響を受けているが、圧縮器で圧縮された結果であるため、出力期待値(図15(A)のシミュレーションの出力パタン)と比較しても、故障と判断することはできない。   In FIG. 15B, in the compression test mode, the values in the three rows (seven) boxes between the expander and the compressor in the “defective product” are the scan FFs of the three scan chains. The value of is shown. It is assumed that there is a “stack-at1 failure” at a location (fourth from the downstream) indicated by a broken line arrow in the center of the “defective product”. The upstream side of the fourth scan FF from the downstream of the pattern output from the compressor is affected by the failure point (stuck-at1 failure) of the central scan chain, but as a result of being compressed by the compressor Therefore, even if compared with the expected output value (the simulation output pattern of FIG. 15A), it cannot be determined that there is a failure.

圧縮器では、3本のスキャンチェーンから入力される対応する段の3つのスキャンFFの値が同一の場合、0、1つでも異なる場合、1、X(コンペアマスク)の1つでも存在する場合、Xを出力する。   In the compressor, when the values of the three scan FFs of the corresponding stages input from the three scan chains are the same, 0 or 1 is different, or 1 or X (compare mask) is present. , X is output.

なお、スキャンチェーン故障診断に関連して特許文献1等も参照される。   Note that Patent Document 1 and the like are also referred to in connection with scan chain failure diagnosis.

特開2010−286383号公報JP 2010-286383 A

船津他、“スキャンチェーン故障診断手法の診断精度の向上”、 LSIテスティングシンポジウム2009、Nov.2009Funatsu et al., “Improvement of diagnostic accuracy of scan chain fault diagnosis method”, LSI Testing Symposium 2009, Nov. 2009

以下に関連技術の分析を与える。   The analysis of related technology is given below.

(A)スキャンチェーン不良の被試験デバイスに対して、圧縮テストモードでテストを実行すると、複数本のスキャンチェーン上のフェイル情報が圧縮されるため、故障によっては、テスト結果のフェイル情報が正しく外部に出力されない場合がある。このため、テスト結果を用いた故障診断において、故障の1次候補の絞り込みができず、例えば複数本のスキャンチェーンが全て故障候補となる場合もある。この場合、故障シミュレーション回数が増大し、実用的な時間での故障診断が難しい。 (A) When a test is performed on a device under test with a defective scan chain in the compression test mode, fail information on a plurality of scan chains is compressed. May not be output. For this reason, in failure diagnosis using test results, primary failure candidates cannot be narrowed down, and for example, a plurality of scan chains may all become failure candidates. In this case, the number of failure simulations increases, and failure diagnosis in a practical time is difficult.

(B)スキャンチェーン不良の被試験デバイスに対して、バイパステストモードを実行すると、チェーン長が長い。このため、スキャンチェーンの故障診断時の故障シミュレーションの時間(回数)が増大し、診断時間が長くなる。 (B) When the bypass test mode is executed for a device under test having a scan chain defect, the chain length is long. For this reason, the time (number of times) of failure simulation at the time of scan chain failure diagnosis increases, and the diagnosis time becomes longer.

(C)スキャンチェーン不良の被試験デバイスに対して、バイパステストモードを実行すると、1本のスキャンチェーンあたりのスキャンFF数が圧縮テストモードの場合よりも多くなる。このため、1本のスキャンチェーンあたり、フェイルするスキャンFFの数も多くなり、故障診断のためのフェイル情報のログ(フェイル・ログ)を記憶する出力ファイルの容量が増大する。この結果、テスト時間が長くなる。この結果、実用的な時間で、診断のためのフェイル・ログを取得することが容易ではない。 (C) When the bypass test mode is executed for a device under test having a scan chain defect, the number of scan FFs per scan chain is larger than that in the compression test mode. For this reason, the number of scan FFs to fail per scan chain increases, and the capacity of an output file that stores a log of fail information for failure diagnosis (fail log) increases. As a result, the test time becomes longer. As a result, it is not easy to obtain a fail log for diagnosis in a practical time.

上記問題点の少なくとも1つを解決するため、本発明によれば、概略以下の構成とされる(ただし、以下に制限されない)。   In order to solve at least one of the above problems, according to the present invention, the following configuration is generally used (but is not limited to the following).

本発明によれば、スキャン・フリップフロップからなるスキャンチェーンのテスト結果のフェイル情報からスキャンチェーン上の故障の範囲を絞り込む故障箇所推定システムであって、バイパステストモードでスキャンチェーン故障診断用のテストパタンを作成して記憶部に記憶するスキャンチェーン診断パタン作成手段と、
前記バイパステストモードでのスキャンチェーン故障診断用テストパタンと、圧縮テストモードでのスキャンチェーン用のテストパタンの両方でのテスト結果から、故障候補スキャン・フリップフロップを絞り込む故障スキャン・フリップフロップ絞り込み手段と、
圧縮テストモードのスキャンチェーン用のテストパタンを用いたテスト結果と比較し、圧縮テストモードとバイパステストモードでのスキャンチェーン構造の差異から、圧縮テストモードにおける故障スキャンチェーンを特定して記憶部に記憶する故障スキャンチェーン特定手段と、
バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの対応関係に基づき、バイパステストモードの故障候補の範囲を圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの範囲に変換する故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段と、
圧縮テストモードのテストパタンを用いて、故障候補のスキャン・フリップフロップを含むスキャンチェーンの故障シミュレーションを実行し、圧縮テストモードでのテスト結果と照合し照合結果を出力装置に出力するスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段と、を備えた故障箇所推定システムが提供される。
According to the present invention, there is provided a failure location estimation system that narrows down a failure range on a scan chain from fail information of a scan chain test result composed of a scan flip-flop, and a test pattern for scan chain failure diagnosis in a bypass test mode. Scan chain diagnostic pattern creation means for creating and storing in the storage unit,
Fault scan / flip-flop narrowing means for narrowing down fault candidate scan flip-flops from test results in both the scan chain fault diagnosis test pattern in the bypass test mode and the scan chain test pattern in the compression test mode; ,
Compared with the test results using the test pattern for the scan chain in the compression test mode, the fault scan chain in the compression test mode is identified and stored in the storage unit based on the difference in the scan chain structure between the compression test mode and the bypass test mode. Fault scan chain identification means to perform,
A failure scan flip-flop compression conversion means for converting the range of failure candidates in the bypass test mode into the range of scan flip-flops in the compression test mode based on the correspondence relationship between the scan flip-flops in the bypass test mode and the compression test mode;
Scan chain fault simulation that uses the test pattern of the compressed test mode to perform fault simulation of the scan chain that includes the scan flip-flops of the fault candidates, collates with the test result in the compressed test mode, and outputs the collation result to the output device And a failure location estimation system including a verification unit.

本発明によれば、スキャン・フリップフロップからなるスキャンチェーンのテスト結果のフェイル情報から、故障スキャンチェーン上の故障の範囲を絞り込む故障箇所推定システムは、バイパステストモードと圧縮テストモードとのスキャンチェーン情報を比較して、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの対応関係を算出する手段と、
圧縮テストモードのスキャンチェーンの入力端、出力端にそれぞれ位置する第1、第2のスキャン・フリップフロップと、前記第1、第2のスキャン・フリップフロップの前後の所定ビットに対応するバイパステストモードのスキャンチェーン上のスキャン・フリップフロップの番号を特定し、
バイパステストモードのテストパタンに対して、前記番号を特定した前記スキャン・フリップフロップに出力値を設定し、前記第1、第2のスキャン・フリップフロップの前後の所定ビット以外のスキャン・フリップフロップの出力値を期待値との比較をマスクする値に設定し、スキャンチェーン故障診断用テストパタンとして記憶するスキャンチェーン診断パタン作成手段と、
前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるスキャンチェーンのテスト結果を取得し、テスト結果記憶部に記憶するテスト結果取得手段と、
回路の設計情報とテスト結果を読み込み、故障診断の初期設定を行う初期設定手段と、
前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるテスト結果から得られるスキャン・フリップフロップの出力値と出力期待値とを比較して、バイパステストモードでの故障スキャンチェーンおよび故障種別を特定し、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する故障スキャンチェーン特定手段と、
前記テスト結果記憶部に記憶された前記スキャンチェーン診断用テストパタンのロジック部のテスト結果を参照し、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶された故障スキャンチェーンと故障種別を用いて、各スキャン・フリップフロップの出力期待値と前記ロジック部のテスト結果から得られる各スキャン・フリップフロップの出力値とを比較して、1次故障候補を絞り込み、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する故障スキャン・フリップフロップ絞り込み手段と、
前記バイパステストモードの1次故障候補のスキャン・フリップフロップの範囲と、前記スキャン・フリップフロップ対応関係情報とを参照して、バイパステストモードのスキャン・フリップフロップを対応する圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップ情報に変換し前記バイパステストモードの1次故障候補を圧縮テストモードでの1次故障候補に書き換え、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶する前記故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段と、
前記故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段で書き換えられた前記1次故障候補の範囲に対して、前記故障種別に従って、スキャン・フリップフロップ間の信号線が分岐していた場合、分岐前後を故障候補として区別してそれぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行し、故障シミュレーション結果と圧縮テストモードのテスト結果とを比較し、一致率に基づき、スキャン・フリップフロップと信号線を故障種別と共に出力するスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段と、
前記スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段からの出力を受け、前記故障スキャンチェーンと、前記故障スキャン・フリップフロップと、前記故障種別と、故障信号線と、故障信号線の故障分岐位置とを出力する出力装置とを備える。
According to the present invention, the failure location estimation system that narrows down the failure range on the failure scan chain from the fail information of the scan chain test result composed of the scan flip-flop includes the scan chain information between the bypass test mode and the compression test mode. And calculating a correspondence relationship between the scan flip-flops in the bypass test mode and the compression test mode,
First and second scan flip-flops positioned at the input and output ends of the scan chain in the compression test mode, and a bypass test mode corresponding to predetermined bits before and after the first and second scan flip-flops Identify the scan flip-flop number on the scan chain
For the test pattern in the bypass test mode, an output value is set in the scan flip-flop that specifies the number, and scan flip-flops other than the predetermined bits before and after the first and second scan flip-flops are set. A scan chain diagnostic pattern creating means for setting the output value to a value masking comparison with the expected value and storing it as a test pattern for scan chain fault diagnosis;
Test result acquisition means for acquiring a test result of a scan chain by the test pattern for scan chain failure diagnosis and storing it in a test result storage unit;
Initial setting means for reading circuit design information and test results, and for initial setting of fault diagnosis,
Comparing the output value of the scan flip-flop obtained from the test result by the test pattern for the scan chain fault diagnosis and the expected output value, the fault scan chain and the fault type in the bypass test mode are specified, and the fault scan chain is stored. Fault scan chain specifying means to be stored in the unit,
Each scan flip-flop is referred to by using a fault scan chain and a fault type stored in the fault scan chain storage unit with reference to a test result of the logic part of the test pattern for scan chain diagnosis stored in the test result storage unit By comparing the expected output value of the group and the output value of each scan flip-flop obtained from the test result of the logic unit, the primary fault candidates are narrowed down, and the fault scan flip-flops are stored in the fault scan chain storage unit Means,
By referring to the range of scan flip-flops of primary failure candidates in the bypass test mode and the scan flip-flop correspondence information, the scan flip-flops in the compressed test mode corresponding to the scan flip-flops in the bypass test mode The fault scan flip-flop compression conversion means for converting into the fault information, rewriting the primary fault candidate in the bypass test mode to the primary fault candidate in the compression test mode, and storing it in the fault scan chain storage unit;
If the signal line between the scan flip-flops is branched according to the failure type with respect to the range of the primary failure candidates rewritten by the failure scan flip-flop compression conversion means, before and after the branch as failure candidates Assuming that each fault is distinct, scan chain fault simulation is performed using the test pattern in the compressed test mode, and the fault simulation result is compared with the test result in the compressed test mode. And a scan chain fault simulation verification means for outputting the signal line together with the fault type,
An output device that receives an output from the scan chain fault simulation verification means and outputs the fault scan chain, the fault scan flip-flop, the fault type, a fault signal line, and a fault branch position of the fault signal line With.

本発明によれば、テスト時間の増大を抑制し、スキャンチェーンの故障診断を容易化するとともに、故障箇所推定用の故障診断時間の短縮を図ることができる。   According to the present invention, it is possible to suppress an increase in test time, facilitate scan chain failure diagnosis, and shorten failure diagnosis time for failure location estimation.

本発明の一実施形態の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態の手順を示す流れ図である。It is a flowchart which shows the procedure of one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態におけるスキャンチェーン診断パタン作成手段の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the scan chain diagnostic pattern preparation means in one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態におけるスキャンチェーン診断パタン作成手段の動作を説明する図である。It is a figure explaining operation | movement of the scan chain diagnostic pattern preparation means in one Embodiment of this invention. スキャンチェーン回路例を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the example of a scan chain circuit. (A)はバイパステストモードのスキャンチェーン構成、(B)は出力期待値、(C)は出力値を示す図である。(A) is a scan chain configuration in bypass test mode, (B) is an expected output value, and (C) is a diagram showing an output value. 故障スキャンFF圧縮変換手段27の構成を示す図である。3 is a diagram showing a configuration of a failure scan FF compression conversion means 27. FIG. バイパステストモードから圧縮テストモードへのスキャンFF変換を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the scan FF conversion from a bypass test mode to a compression test mode. バイパステストモードで故障が生じた論理回路を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the logic circuit which a failure generate | occur | produced in bypass test mode. 圧縮テストモードのスキャン回路を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the scanning circuit of a compression test mode. スキャンチェーン上に故障が生じたときの現象と用語の定義について説明する図である。It is a figure explaining the phenomenon when a failure arises on a scan chain, and the definition of a term. 関連技術として非特許文献1に開示された構成を示す図である。It is a figure which shows the structure disclosed by the nonpatent literature 1 as related technology. 図12の関連技術の故障診断動作を説明する流れ図である。13 is a flowchart for explaining a failure diagnosis operation of the related technique of FIG. 12. (A)はバイパステストモードでのシミュレーション、(B)はバイパステストモードのテスト時の動作を模式的に示す図である。(A) is a simulation in the bypass test mode, (B) is a diagram schematically showing the operation during the test in the bypass test mode. (A)は圧縮テストモードでのシミュレーション、(B)は圧縮テストモードのテスト時の動作を模式的に示す図である。(A) is a simulation in compression test mode, (B) is a figure which shows typically operation | movement at the time of the test in compression test mode. 本発明の一実施形態におけるスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the scan chain failure simulation collation means in one Embodiment of this invention.

本発明の実施形態について説明する。好ましい形態によれば、バイパステストモードでスキャンチェーン故障診断用のテストパタンを作成し、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンと、圧縮テストモードでのスキャンチェーン用のテストパタンの両方で、テストを行い、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンのテスト結果から、故障候補スキャンFFを絞り込み、さらに、圧縮テストモードスキャンチェーン用のテストパタンを用いたテスト結果と比較して、圧縮テストモードとバイパステストモードでのスキャンチェーン構造の差異から圧縮テストモードにおける故障スキャンチェーンを特定し、前記故障スキャンチェーンの故障候補スキャンFFの範囲を絞り込み、前記故障候補スキャンFFに繋がる信号線の分岐毎に、圧縮テストモードのテストパタンを用いてスキャンチェーンの故障シミュレーションを実行し、テスト結果と照合して該照合結果を出力する。   An embodiment of the present invention will be described. According to a preferred embodiment, a test pattern for scan chain fault diagnosis is created in the bypass test mode, and the test is performed using both the test pattern for scan chain fault diagnosis and the test pattern for scan chain in the compressed test mode. From the test results of the scan chain failure diagnosis test pattern, the failure candidate scan FFs are narrowed down, and compared with the test result using the test pattern for the compression test mode scan chain, in the compression test mode and the bypass test mode. The failure scan chain in the compression test mode is identified from the difference in the scan chain structure, the range of the failure candidate scan FF of the failure scan chain is narrowed down, and the compression test mode Test pattern There running fault simulation of the scan chain, and outputs the collating result by matching the test results.

図1は、本発明の一実施形態の構成を示す図である。キーボード、または外部とのインターフェース部がある入力装置と、プログラム制御により動作するデータ処理装置と、ハードディスクやメモリなどの情報を記憶する記憶装置と、外部とのインターフェース部であるディスプレイ装置や印刷装置などの出力装置と備える。図1を参照して、各構成要素と各実行手段について説明する。記憶装置3は、テスタ(不図示)で得たテスト結果を記憶するテスト結果記憶部31と、論理回路のネットリスト情報、テストパタン情報、スキャンチェーン情報やテスト結果情報を記憶する論理回路情報記憶部32と、故障スキャンチェーン情報、故障種別情報、を記憶する故障スキャンチェーン記憶部33と、故障候補スキャンFF番号、スキャンチェーン上の信号線名、信号線の分岐位置番号を記憶した故障候補スキャンFF記憶部34と、を備える。   FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an embodiment of the present invention. Input device with interface unit with keyboard or outside, data processing device operated by program control, storage device for storing information such as hard disk and memory, display device and printing device as interface unit with outside, etc. Output device. With reference to FIG. 1, each component and each execution means will be described. The storage device 3 includes a test result storage unit 31 that stores a test result obtained by a tester (not shown), and a logical circuit information storage that stores net list information, test pattern information, scan chain information, and test result information of the logic circuit. Unit 32, fault scan chain storage unit 33 for storing fault scan chain information and fault type information, fault candidate scan storing fault candidate scan FF number, signal line name on scan chain, and branch position number of signal line FF storage unit 34.

スキャンチェーン診断パタン作成手段26は、ネットリスト情報、バイパステストモードのスキャンチェーン構成情報、圧縮テストモードのスキャンチェーン構成情報を元に、バイパステストモードのスキャンFF情報と、圧縮テストモードのスキャンFF情報との対応情報を作成して記憶する。そして、スキャンチェーン診断パタン作成手段26は、圧縮テストモードの各スキャンチェーンの最もSIN側のスキャンFF(SINに入力端子が接続するスキャンFF)及び最もSOUT側のスキャンFF(SOUTに出力端子が接続するスキャンFF)と同一のスキャンFFを、バイパステストモードのスキャンチェーン上で検索し、バイパステストモードのテストパタンに対して、検索結果のスキャンFF情報を元に、出力期待値を設定するスキャンFFと、Don’t care(‘X’)でマスクするスキャンFFに分類し、スキャンチェーン故障診断用のバイパステストパタンを作成し、論理回路情報記憶部32に記憶する。   The scan chain diagnostic pattern creation means 26 is based on the netlist information, the scan chain configuration information in the bypass test mode, and the scan chain configuration information in the compression test mode, and the scan FF information in the bypass test mode and the scan FF information in the compression test mode. Is created and stored. Then, the scan chain diagnostic pattern creation means 26 connects the scan FF on the most SIN side (scan FF whose input terminal is connected to SIN) and the scan FF on the most SOUT side (output terminal is connected to SOUT) of each scan chain in the compression test mode. Scan FF that scans the same scan FF on the bypass test mode scan chain and sets the expected output value based on the scan FF information of the search result for the test pattern in the bypass test mode Are classified into scan FFs masked by Don't care ('X'), a bypass test pattern for scan chain fault diagnosis is created, and stored in the logic circuit information storage unit 32.

テスト結果取得手段21は、テスタやDFT(Design For Testability)テスタなどのLSIテスト装置を用いて、被疑サンプルに対して、被疑サンプルの全スキャンチェーンに対して、スキャンチェーン動作確認テストと、ロジック部動作テストを実行し、その結果をテスト結果記憶部31に記憶する。   The test result acquisition unit 21 uses an LSI test apparatus such as a tester or a DFT (Design For Testability) tester to perform a scan chain operation check test on a suspect sample, a scan chain operation check test on all scan chains of the suspect sample, and a logic unit. The operation test is executed, and the result is stored in the test result storage unit 31.

診断初期設定手段22は、被疑サンプルのネットリスト情報、テストパタン情報、スキャンチェーン情報やテスト結果情報を読み込み、所定の情報を設定する。   The diagnosis initial setting means 22 reads the suspicious sample netlist information, test pattern information, scan chain information and test result information, and sets predetermined information.

故障スキャンチェーン特定手段23は、テスト結果記憶部31に記憶されたスキャンチェーン故障診断用テストパタンを用いたスキャンチェーン動作の確認テスト結果から得られる各スキャンFFの出力値と、各スキャンFFの出力期待値とを比較して、バイパステストモードの故障スキャンチェーン及びその故障種別を特定し、故障スキャンチェーン記憶部33に記憶する。   The fault scan chain specifying unit 23 outputs the output value of each scan FF obtained from the scan chain operation confirmation test result using the test pattern for scan chain fault diagnosis stored in the test result storage unit 31 and the output of each scan FF. The failure scan chain in the bypass test mode and its failure type are identified by comparing with the expected value, and stored in the failure scan chain storage unit 33.

故障スキャンFF絞り込み手段24は、テスト結果記憶部31に記憶されたスキャンチェーン診断用テストパタンのロジック部動作テスト結果を参照し、故障スキャンチェーン記憶部33に記憶された故障スキャンチェーンと故障種別を用いて、各スキャンFFの出力期待値とロジック部動作テスト結果から得られる各スキャンFFの出力値とを比較して、1次故障候補を絞り込み、故障スキャンチェーン記憶部33に記憶する。   The failure scan FF narrowing means 24 refers to the logic unit operation test result of the test pattern for scan chain diagnosis stored in the test result storage unit 31, and determines the failure scan chain and failure type stored in the failure scan chain storage unit 33. Using the output expected value of each scan FF and the output value of each scan FF obtained from the logic unit operation test result, the primary fault candidates are narrowed down and stored in the fault scan chain storage unit 33.

故障スキャンFF圧縮変換手段27は、故障スキャンチェーン記憶部33に記憶されたバイパステストモードの1次故障候補情報から得られたスキャンFFの範囲に対して、論理回路情報記憶部32に記憶されたバイパステストモードと圧縮テストモードのスキャンFF対応関係情報に基づき、バイパステストモードのスキャンFFを算出し、当該スキャンFFに対応する圧縮テストモードのスキャンFF情報に変換し、前記1次故障候補を書き換えた上で故障スキャンチェーン記憶部33に記憶する。   The failure scan FF compression conversion unit 27 stores the range of scan FFs obtained from the primary failure candidate information in the bypass test mode stored in the failure scan chain storage unit 33 and stored in the logic circuit information storage unit 32. Based on the scan FF correspondence information of the bypass test mode and the compression test mode, the scan FF of the bypass test mode is calculated, converted into the scan FF information of the compression test mode corresponding to the scan FF, and the primary failure candidate is rewritten Then, it is stored in the fault scan chain storage unit 33.

スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段25は、故障スキャンFF圧縮変換手段27で推定した1次故障候補の範囲に対して、故障スキャンチェーン特定手段23で特定した故障種別に従って、スキャンFF間の信号線が分岐していた場合、該分岐の前後を故障候補として区別して、それぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行する。そして、圧縮テストモードのパタンを用いたスキャンチェーンの故障シミュレーション結果と、圧縮テストモードのテスト結果とを比較し、例えば、最も一致率の高いスキャンFF及び信号線を故障種別と共に出力する。   The scan chain fault simulation verification unit 25 branches the signal line between the scan FFs according to the fault type specified by the fault scan chain specifying unit 23 with respect to the primary fault candidate range estimated by the fault scan FF compression conversion unit 27. In such a case, before and after the branch is distinguished as a failure candidate, a failure is assumed, and a scan chain failure simulation is executed using a test pattern in the compressed test mode. Then, the failure simulation result of the scan chain using the compression test mode pattern is compared with the test result of the compression test mode, and, for example, the scan FF and the signal line having the highest matching rate are output together with the failure type.

図2は、図1の実施形態の故障診断の全体の手順を説明する流れ図である。   FIG. 2 is a flowchart for explaining the entire procedure of the fault diagnosis of the embodiment of FIG.

スキャンチェーン診断パタン作成手段26は、スキャンチェーン診断用のテストパタンを生成する(A0)。   The scan chain diagnosis pattern creation means 26 generates a test pattern for scan chain diagnosis (A0).

テスト結果取得手段21はテスト結果を取得する(A1)。   The test result acquisition unit 21 acquires a test result (A1).

診断初期設定手段22は、故障診断初期設定を行う(A2)。   The diagnosis initial setting means 22 performs failure diagnosis initial setting (A2).

故障スキャンチェーン特定手段23は、スキャンチェーン動作の確認テスト結果から得られる各スキャンFFの出力値と、各スキャンFFの出力期待値に基づき、故障スキャンチェーンと故障モードを特定する(A3)。   The failure scan chain specifying unit 23 specifies the failure scan chain and the failure mode based on the output value of each scan FF obtained from the scan chain operation confirmation test result and the expected output value of each scan FF (A3).

故障スキャンFF絞り込み手段24は、故障スキャンFFの範囲の絞り込みを行う(A4)。   The failure scan FF narrowing means 24 narrows down the range of the failure scan FF (A4).

故障スキャンFF圧縮変換手段27は、バイパステストモードのスキャンFFを算出し、当該スキャンFFに対応する圧縮テストモードのスキャンFF情報に変換し1次故障候補を書き換える(A6)。   The failure scan FF compression conversion means 27 calculates the scan FF in the bypass test mode, converts it into scan FF information in the compression test mode corresponding to the scan FF, and rewrites the primary failure candidate (A6).

スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段25は、スキャンFF間の信号線が分岐していた場合、分岐前後で前記分岐に故障を仮定し(A8)、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行し、故障シミュレーション結果と圧縮テストモードのテスト結果とを照合し、故障スキャンFFを特定する(A5)。   When the signal line between the scan FFs is branched, the scan chain failure simulation verification unit 25 assumes a failure in the branch before and after the branch (A8), and uses the test pattern in the compression test mode to perform the scan chain failure simulation. Is executed, the failure simulation result is compared with the test result in the compression test mode, and the failure scan FF is specified (A5).

なお、図1の各手段はコンピュータ上で動作するプログラムによりその機能・処理を実現するようにしてもよい。この場合、当該コンピュータプログラム、該プログラムを記録したコンピュータで読み出し可能な記録媒体が本発明により提供される。   Note that the functions and processing of each unit in FIG. 1 may be realized by a program operating on a computer. In this case, the present invention provides the computer program and a computer-readable recording medium that records the program.

次に、図1のスキャンチェーン診断パタン作成手段26を説明する。図3は、スキャンチェーン診断パタン作成手段26の構成例を示す図である。図3に示すように、スキャンチェーン診断パタン作成手段26は、スキャンチェーン情報解析手段261と、スキャンFF分類特定手段262と、診断パタン作成手段263を備えている。各手段の処理を以下に説明する。   Next, the scan chain diagnostic pattern creation means 26 of FIG. 1 will be described. FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration example of the scan chain diagnostic pattern creation unit 26. As shown in FIG. 3, the scan chain diagnostic pattern creating unit 26 includes a scan chain information analyzing unit 261, a scan FF classification specifying unit 262, and a diagnostic pattern creating unit 263. The processing of each means will be described below.

スキャンチェーン情報解析手段261は、バイパステストモードのスキャンチェーンのスキャンFF情報と、圧縮テストモードのスキャンチェーンのスキャンFF情報の対応関係情報を算出し、スキャンFF対応関係情報として、論理回路情報記憶部32に記憶する。   The scan chain information analysis unit 261 calculates correspondence information between the scan FF information of the scan chain in the bypass test mode and the scan FF information of the scan chain in the compression test mode, and uses the logic circuit information storage unit as the scan FF correspondence information 32.

スキャンFF検索特定手段262は、スキャンチェーン情報解析手段261で算出され論理回路情報記憶部32に記憶されたスキャンFF対応関係情報を基に、圧縮テストモードの全スキャンチェーンの最もSIN側に位置するスキャンFFと、最もSOUT側に位置するスキャンFFにそれぞれ対応する、バイパステストモードのスキャンチェーン上のスキャンFFと特定し、バイパステストモードの各スキャンチェーンのチェーン長を基に、より少ないスキャンFF数にて当該スキャンチェーンの故障種別が特定できる出力期待値を算出し、‘0’または‘1’に設定するスキャンFFと、Don’t care(‘X’)によって期待値との比較(コンペア)をマスクするスキャンFFとに分類する。   The scan FF search specifying unit 262 is located on the most SIN side of all scan chains in the compression test mode based on the scan FF correspondence information calculated by the scan chain information analysis unit 261 and stored in the logic circuit information storage unit 32. Identify the scan FF and the scan FF on the scan chain in the bypass test mode corresponding to the scan FF located closest to the SOUT side, and based on the chain length of each scan chain in the bypass test mode, the smaller number of scan FFs The output expected value that can identify the failure type of the scan chain is calculated by comparing the scan FF set to '0' or '1' with the expected value by Don't care ('X') (compare) Are classified into scan FFs for masking.

診断パタン作成手段263は、スキャンFF検索特定手段262で取得されたスキャンFF分類情報を基に、バイパステストモードのスキャンチェーンのテストパタンの値を編集し、スキャンチェーン診断用のテストパタンとして、論理回路情報記憶部32に記憶する。   Based on the scan FF classification information acquired by the scan FF search specifying unit 262, the diagnostic pattern creation unit 263 edits the value of the scan chain test pattern in the bypass test mode, and uses the logical pattern as a test pattern for scan chain diagnosis. The information is stored in the circuit information storage unit 32.

図4は、スキャンチェーン診断パタン作成手段26の動作を説明する図である。図4(A)、(B)は、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャンチェーン構成を表している。図4(A)を参照すると、バイパステストモードのスキャンチェーン構成は、
チェーン本数:1本
チェーン長:24bit
チェーン名:C1
である。スキャンチェーンにおいて、SOUT側からのスキャンFF番号をS1、S2、…S24とする。
FIG. 4 is a diagram for explaining the operation of the scan chain diagnostic pattern creation means 26. 4A and 4B show scan chain configurations in the bypass test mode and the compression test mode. Referring to FIG. 4A, the scan chain configuration in the bypass test mode is
Number of chains: 1 Chain length: 24 bits
Chain name: C1
It is. In the scan chain, the scan FF numbers from the SOUT side are S1, S2,... S24.

図4(B)を参照すると、圧縮テストモードのスキャンチェーン構成は、
チェーン本数:3本
チェーン長:各8bit
チェーン名:C1−1、C1−2、C1−3
である。3本のチェーンの各々において、SOUT側からのスキャンFF番号をS1、S2、…、S24とする。
Referring to FIG. 4B, the scan chain configuration in the compression test mode is
Number of chains: 3 Chain length: 8 bits each
Chain name: C1-1, C1-2, C1-3
It is. In each of the three chains, the scan FF numbers from the SOUT side are S1, S2,..., S24.

バイパステストモードのスキャンチェーン構成と、圧縮テストモードのスキャンチェーン構成とを照合し、スキャンチェーン上の全てのスキャンFFに対して、バイパステストモードと、圧縮テストモードの対応情報を作成して記憶する。   The scan chain configuration in the bypass test mode and the scan chain configuration in the compression test mode are collated, and correspondence information between the bypass test mode and the compression test mode is created and stored for all scan FFs on the scan chain. .

例えば図4において、S17は、バイパステストモードのチェーン名C1、17bit目のスキャンFFであると同時に、図4(B)の圧縮テストモードのチェーン名C1−1、1bit目のスキャンFFと同一であるという対応情報を算出し、全スキャンFFに対する両者の対応情報を作成して記憶する。   For example, in FIG. 4, S17 is the chain name C1 of the bypass test mode and the scan FF of the 17th bit, and at the same time is the same as the scan name of the chain name C1-1 and the 1st bit of the compression test mode of FIG. Corresponding information is calculated, and the corresponding information for both scan FFs is created and stored.

次に、圧縮テストモードのスキャンチェーン構成から、各スキャンチェーンの最もスキャン入力端子SIN、スキャン出力端子SOUT側のスキャンFF(SINに入力が接続されるS8とSOUTに出力が接続されるS1)をキーポイント・スキャンFFとして検索し、前記対応情報に基づき、バイパステストモードのスキャンチェーン上における圧縮テストモードのキーポイント・スキャンFFを特定する。   Next, from the scan chain configuration in the compression test mode, the scan FF (S8 whose input is connected to SIN and S1 whose output is connected to SOUT) on the most scan input terminal SIN and scan output terminal SOUT side of each scan chain is set. Search as a keypoint scan FF, and identify a keypoint scan FF in the compression test mode on the scan chain in the bypass test mode based on the correspondence information.

例えば図4(B)におけるチェーン名C1−1のキーポイント・スキャンFFのS8、S1は、図4(A)におけるチェーン名C1のS24、S17にそれぞれ対応し、
図4(B)におけるチェーン名C1−2のキーポイント・スキャンFFのS8、S1は、図4(A)におけるチェーン名C1のS9、S16にそれぞれ対応し、
図4(B)におけるチェーン名C1−3のキーポイント・スキャンFFS8、S1は、図4(A)におけるチェーン名C1のS8、S1にそれぞれ対応する。
For example, S8 and S1 of the keypoint scan FF of the chain name C1-1 in FIG. 4B correspond to S24 and S17 of the chain name C1 in FIG.
S8 and S1 of the keypoint scan FF of the chain name C1-2 in FIG. 4B correspond to S9 and S16 of the chain name C1 in FIG.
Keypoint scans FFS8 and S1 of the chain name C1-3 in FIG. 4B correspond to S8 and S1 of the chain name C1 in FIG. 4A, respectively.

最後に、診断パタン作成手段263は、前記キーポイント・スキャンFF情報に基づき、バイパステストパタンに対して、キーポイント・スキャンFFと、その前後の数bit分のスキャンFFの出力期待値が‘0’または‘1’の任意の値となるように設定し、それ以外のスキャンFFは出力期待値が‘X’となるように編集する。   Finally, based on the keypoint / scan FF information, the diagnostic pattern creation means 263 sets the output expected value of the keypoint / scan FF and the scan FFs for several bits before and after the bypass test pattern to “0”. It is set so that it becomes an arbitrary value of “or” “1”, and other scan FFs are edited so that the expected output value becomes “X”.

図4(C)は、完成したスキャンチェーン故障診断用バイパステストパタンの出力期待値のイメージ図である。バイパステストモードの長いスキャンチェーンのポイントごとに期待値が設定されることになる。   FIG. 4C is an image diagram of an expected output value of the completed scan chain failure diagnosis bypass test pattern. An expected value is set for each point of a long scan chain in the bypass test mode.

診断パタンの作成には、最も簡単な方法として、既存のバイパステストモードのテストパタンから、所望の出力期待値を持つテストベクタを抽出して、不必要な情報を、マスクする方法がある。しかし、この方法では、シフトイン動作とキャプチャ動作で故障状態となるスキャンFFと、シフトアウト動作で故障状態となるスキャンFFとを区別することができないことから、故障スキャンFFの絞り込み精度が悪くなる。   The simplest method for creating a diagnostic pattern is to extract a test vector having a desired output expectation value from a test pattern in an existing bypass test mode and mask unnecessary information. However, in this method, since it is impossible to distinguish between a scan FF that becomes a failure state in the shift-in operation and the capture operation and a scan FF that becomes a failure state in the shift-out operation, the accuracy of narrowing down the failure scan FFs deteriorates. .

最良の診断パタン作成方法は、キーポイント・スキャンFFとする任意のスキャンFF(ターゲット スキャンFFとする)に対して、ターゲット スキャンFFのデータ入力側の前段のスキャンFFのなかから、別スキャンチェーン上のスキャンFFを検索し、前段スキャンFFの期待値を自由に設定し、ターゲット スキャンFFの出力値を決定することで(既存の設計ツール等が利用できる)、シフトイン動作と、キャプチャ動作で故障状態となるスキャンFFの影響を受けないパタンを作成することができる。   The best method for creating a diagnostic pattern is to select a keypoint scan FF from any scan FF (target scan FF) on the other scan chain from the previous scan FF on the data input side of the target scan FF. Search scan FFs, set the expected value of the previous scan FF freely, and determine the output value of the target scan FF (existing design tools etc. can be used). It is possible to create a pattern that is not affected by the scan FF that is in the state.

このとき、スキャンチェーンが十分長い場合は、
スキャン入力端子SIN側のキーポイント・スキャンFFから8bit分を“00110011”、
スキャン出力端子SOUT側のキーポイント・スキャンFFから8bit分を“11001100”とすることで、一つのテストパタンで、stuck−at故障だけでなく、不定故障や遷移故障の故障種別の特定をより効率的に行うことができる。
At this time, if the scan chain is long enough,
"00110011" for 8 bits from the keypoint scan FF on the scan input terminal SIN side,
By setting 8 bits from the key point scan FF on the scan output terminal SOUT side to “11001100”, it is more efficient to specify the failure type of not only a stuck-at failure but also an indefinite failure or transition failure with one test pattern Can be done automatically.

バイパステストモードのスキャンチェーンは、チェーン長が極めて長いことが多く、チェーン上に故障が存在すると、フェイル数が多くなり、テスト時間が長くなるという問題があるが、本実施形態によれば、スキャンチェーン上の故障をマスクすることで、診断に不必要なフェイル情報を出力しないため、テスト時間を格段に短縮でき、かつ、フェイル情報量を少なくすることができる。   The scan chain in the bypass test mode often has an extremely long chain length, and if there is a fault on the chain, there is a problem that the number of failures increases and the test time increases. By masking the failure on the chain, fail information unnecessary for diagnosis is not output, so that the test time can be remarkably shortened and the amount of fail information can be reduced.

スキャンチェーン故障診断用のテストパタンは、予め作成しておくことで、テストパタン生成手順(図2のA0)をスキップしてもよい。   The test pattern generation procedure (A0 in FIG. 2) may be skipped by creating a test pattern for scan chain failure diagnosis in advance.

図1の故障スキャンFF絞り込み手段24の動作について図5と図6を参照して以下に詳しく説明する。図5は、回路例を模式的に示す図である。図5に示すように、回路内に24個のスキャンFFが配置されており、上から2段目、右から3番目のスキャンFFに「stuck−at1故障」が存在するものと仮定する。図6(A)は、図5のバイパステストモードのスキャンチェーン構成を示し、図5のstuck−at1故障の箇所がチェーン名C1、スキャンFF番号S13であることを示している。図6(B)はバイパステストモードの出力期待値、図6(C)はバイパステストモードの出力値の例である。   1 will be described in detail below with reference to FIGS. 5 and 6. FIG. FIG. 5 is a diagram schematically showing a circuit example. As shown in FIG. 5, it is assumed that 24 scan FFs are arranged in the circuit, and the “stack-at1 failure” exists in the second scan FF from the top and the third scan FF from the right. FIG. 6A shows the scan chain configuration in the bypass test mode of FIG. 5 and shows that the portion of the stack-at1 failure in FIG. 5 is the chain name C1 and the scan FF number S13. FIG. 6B shows an example of an expected output value in the bypass test mode, and FIG. 6C shows an example of an output value in the bypass test mode.

図6(B)に示すように、出力期待値は、S1が‘0’、S2が‘1’、S7が‘0’、S8が‘1’、S9が‘0’、S10が‘1’、S15が‘0’、S16が‘1’、S17が‘0’、S18が‘1’、S23が‘0’、S24が‘1’、他は‘X’とする。   As shown in FIG. 6B, the expected output values are: S1 is “0”, S2 is “1”, S7 is “0”, S8 is “1”, S9 is “0”, and S10 is “1”. , S15 is “0”, S16 is “1”, S17 is “0”, S18 is “1”, S23 is “0”, S24 is “1”, and others are “X”.

図6(C)に示すように、出力値は、S1が‘0’、S2が‘1’、S7が‘1’、S8が‘1’、S9が‘0’、S10が‘1’、S15が‘1’、S16が‘1’、S17が‘1’、S18が‘1’、S23が‘1’、S24が‘1’、他は‘X’である。   As shown in FIG. 6 (C), the output values are S1 “0”, S2 “1”, S7 “1”, S8 “1”, S9 “0”, S10 “1”, S15 is “1”, S16 is “1”, S17 is “1”, S18 is “1”, S23 is “1”, S24 is “1”, and others are “X”.

故障スキャンチェーン特定手段23を用いて、故障種別がstuck−at1故障であることが予め分かっているため、スキャンチェーン回路(圧縮テストモード)のシフトアウト動作時に、stuck−at1故障の影響を受けた可能性がある範囲は、図6(C)に示すように、出力値‘X’を除いて、出力値‘1’が連続している範囲である図6(A)のスキャンFF S10からS24までと推定することができる。   Since it is known in advance that the failure type is a stuck-at1 failure using the failure scan chain specifying means 23, the scan chain circuit (compression test mode) was affected by the stuck-at1 failure during the shift-out operation. As shown in FIG. 6C, the possible range is a range where the output value “1” is continuous except for the output value “X”, and the scan FFs S10 to S24 in FIG. 6A. Can be estimated.

図6では、2bit分のスキャンFFしか値(パタン)が設定されていないが(すなわち、‘01’、他は‘X’)、‘0101’や‘0011’などの設定値を用いてもよい。複数テストパタンを使用することで、より狭い範囲に故障スキャンFFの範囲を絞り込むことができる。   In FIG. 6, the value (pattern) is set only for 2-bit scan FFs (that is, “01” and “X” for others), but setting values such as “0101” and “0011” may be used. . By using a plurality of test patterns, the range of the fault scan FF can be narrowed down to a narrower range.

図7は、図1の故障スキャンFF圧縮変換手段27の構成を示す図である。図7を参照すると、故障スキャンFF圧縮変換手段27は、バイパス故障候補算出手段271と、圧縮スキャンFF変換手段272を備えている。バイパス故障候補算出手段271は、故障スキャンチェーン記憶部33に記憶されたバイパステストモードの1次故障候補情報から得られたスキャンFFの範囲に対して、論理回路情報記憶部32に記憶されたスキャンFF対応関係情報に基づき、バイパステストモードのスキャンFFを算出し、圧縮スキャンFF変換手段272は、そのスキャンFFに対応する圧縮テストモードのスキャンFF情報に変換し、1次故障候補を書き換えて故障スキャンチェーン記憶部33に記憶する。   FIG. 7 is a diagram showing a configuration of the failure scan FF compression conversion means 27 of FIG. Referring to FIG. 7, the failure scan FF compression conversion unit 27 includes a bypass failure candidate calculation unit 271 and a compression scan FF conversion unit 272. The bypass failure candidate calculation means 271 scans the logic circuit information storage unit 32 for the range of scan FFs obtained from the primary failure candidate information in the bypass test mode stored in the failure scan chain storage unit 33. Based on the FF correspondence information, the scan FF in the bypass test mode is calculated, and the compressed scan FF conversion unit 272 converts the scan FF information into the compressed test mode FF corresponding to the scan FF, rewrites the primary failure candidate, and the failure Store in the scan chain storage unit 33.

図8は、故障スキャンFF圧縮変換手段27の具体的な動作を説明する図である。図8(A)は、バイパステストモードのスキャンチェーンの構成を示す図である。スキャンチェーン名、スキャンFF番号は、図6と同一であるものとする。   FIG. 8 is a diagram for explaining a specific operation of the failure scan FF compression conversion means 27. FIG. 8A is a diagram showing the configuration of the scan chain in the bypass test mode. The scan chain name and the scan FF number are the same as those in FIG.

図8(B)は、圧縮テストモードのスキャンチェーンの構成を示す図である。スキャンチェーン名は、上段からC1−1、C1−2、C1−3とし、各スキャンチェーンの左から順にS1、S2、・・・と番号付けする。スキャンチェーン故障診断パタンの作成時に得られたスキャンFF対応関係情報を用いると、バイパステストモードのC1、S17が、圧縮テストモードのC1−1、S2に対応し、その他のスキャンFFについても同様に対応関係がわかる。図6に示したように、stuck−at1故障の影響を受けた可能性がある範囲であるスキャンFF S10からS24は、圧縮テストモードのチェーン名C1−2のスキャンチェーンのS7からチェーン名C1−1のスキャンチェーンのS8であることが分かる。   FIG. 8B is a diagram illustrating the configuration of the scan chain in the compression test mode. The scan chain names are C1-1, C1-2, C1-3 from the top, and are numbered S1, S2,... Sequentially from the left of each scan chain. Using the scan FF correspondence information obtained when creating the scan chain failure diagnosis pattern, C1 and S17 in the bypass test mode correspond to C1-1 and S2 in the compression test mode, and the same applies to other scan FFs as well. You can see the correspondence. As shown in FIG. 6, the scan FFs S10 to S24 that may be affected by the stuck-at1 failure are the scan chain S7 to the chain name C1- of the scan chain of the chain name C1-2 in the compression test mode. It can be seen that this is S8 of one scan chain.

故障スキャンFF圧縮変換手段27は、この対応関係情報を用いて、故障スキャンFF絞り込み手段24で得られたバイパステストモードの故障スキャンFFの範囲に対して、圧縮テストモードのスキャンFF情報に変換し、変換結果を、1次故障候補として書き換え、故障スキャンチェーン記憶部33に記憶する。   The failure scan FF compression conversion means 27 converts the range of the failure scan FF in the bypass test mode obtained by the failure scan FF narrowing means 24 into the scan FF information in the compression test mode using this correspondence information. The conversion result is rewritten as a primary failure candidate and stored in the failure scan chain storage unit 33.

図16に、図1のスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段25の構成の一例を示す。なお、故障候補スキャンFFに繋がる信号線の分岐を考慮したスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段25は、特許文献1の記載が参照される(特許文献1の図1の分岐考慮故障シミュレーション照合部26に一部対応している(図16は、特許文献1の図5に基づく)。   FIG. 16 shows an example of the configuration of the scan chain failure simulation verification means 25 of FIG. Note that the scan chain fault simulation verification means 25 that considers the branch of the signal line connected to the fault candidate scan FF is referred to the description in Patent Document 1 (one in the branch consideration fault simulation verification unit 26 in FIG. 1 of Patent Document 1). (FIG. 16 is based on FIG. 5 of Patent Document 1).

図16において、スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段25は、故障スキャンFF選択部251、信号線分岐区別部252、スキャンチェーン故障シミュレーション部253及びシミュレーション結果照合部254を備えている。   In FIG. 16, the scan chain fault simulation verification unit 25 includes a fault scan FF selection unit 251, a signal line branch distinction unit 252, a scan chain fault simulation unit 253, and a simulation result verification unit 254.

故障スキャンFF選択部251は、故障スキャンチェーン記憶部33の故障スキャンチェーンと、故障スキャンFF圧縮変換手段27で変換された圧縮テストモードのスキャンFF情報を参照して、圧縮テストモードでのスキャンチェーン故障シミュレーションを行うための1次故障候スキャンFFの中から故障仮定スキャンFFを選択する。   The failure scan FF selection unit 251 refers to the scan scan chain in the compression test mode with reference to the failure scan chain in the failure scan chain storage unit 33 and the scan FF information in the compression test mode converted by the failure scan FF compression conversion unit 27. A failure assumption scan FF is selected from primary failure symptom scan FFs for performing failure simulation.

信号線分岐区別部252は、論理回路情報記憶部32を参照して、故障仮定スキャンFFのスキャン出力から下流のスキャンFFまでの間の信号線群を、分岐ごとに区別する。   The signal line branch distinguishing unit 252 refers to the logic circuit information storage unit 32 and distinguishes the signal line group from the scan output of the fault assumption scan FF to the downstream scan FF for each branch.

スキャンチェーン故障シミュレーション部253は、論理回路情報記憶部31と、故障スキャンチェーン記憶部33に記録された、故障スキャンチェーンの故障種別を参照して、分岐を考慮した信号線に対して、分岐前後のそれぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを行う。   The scan chain failure simulation unit 253 refers to the failure type of the failure scan chain recorded in the logic circuit information storage unit 31 and the failure scan chain storage unit 33, and before and after branching the signal line considering branching. Assuming each failure, a scan chain failure simulation is performed using the compression test mode pattern.

シミュレーション結果照合部254は、スキャンチェーン故障シミュレーション結果と、テスト結果記憶部31に記録されたテスト結果(圧縮テストモードのテスト結果)を照合し、両者が一致している割合を算出する。シミュレーション結果照合部254は、両者が最も一致している割合が高いスキャンFFおよび信号線を故障種別と共に出力する。なお、所定の閾値を設けて、一致又は不一致の判定結果を出力してもよいし、一致する割合を故障可能性の度合いとして出力してもよい。なお、故障シミュレーション結果とテスト結果の一致率の算出方法は、上記した特許文献1の方法のほか、既存の一致率算出方法をそのまま利用しても良いし、独自に算出方法を組み込んでもよい。   The simulation result collation unit 254 collates the scan chain failure simulation result with the test result recorded in the test result storage unit 31 (the test result in the compression test mode), and calculates the ratio of the two. The simulation result matching unit 254 outputs the scan FF and the signal line having the highest ratio of the two together with the failure type. Note that a predetermined threshold value may be provided to output a matching or mismatching determination result, or a matching ratio may be output as the degree of failure possibility. As a method for calculating the coincidence rate between the failure simulation result and the test result, in addition to the method described in Patent Document 1, the existing coincidence rate calculating method may be used as it is, or a calculation method may be incorporated independently.

なお、上記の特許文献、非特許文献の各開示を、本書に引用をもって繰り込むものとする。本発明の全開示(請求の範囲を含む)の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素の多様な組み合わせないし選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。   It should be noted that the disclosures of the above-mentioned patent documents and non-patent documents are incorporated herein by reference. Within the scope of the entire disclosure (including claims) of the present invention, the embodiments and examples can be changed and adjusted based on the basic technical concept. Various combinations and selections of various disclosed elements are possible within the scope of the claims of the present invention. That is, the present invention of course includes various variations and modifications that could be made by those skilled in the art according to the entire disclosure including the claims and the technical idea.

1 入力装置
2 データ処理装置
3 記憶装置
4 出力装置
5 LSIテスト装置
21 テスト結果取得手段
22 故障初期設定手段
23 故障スキャンチェーン特定手段
24 故障スキャンFF絞り込み手段
25 スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段
26 スキャンチェーン診断パタン作成手段
27 故障スキャンFF圧縮変換手段
31 テスト結果記憶部
32 論理回路情報記憶部
33 故障スキャンチェーン記憶部
34 故障候補スキャンFF記憶部
251 故障スキャンFF選択部
252 信号線分岐区別部
263 スキャンチェーン故障シミュレーション部
254 シミュレーション結果照合部
261 スキャンチェーン情報解析手段
262 スキャンFF検索特定手段
263 診断パタン作成手段
271 バイパス故障候補算出手段
272 圧縮スキャンFF変換手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Input device 2 Data processing device 3 Memory | storage device 4 Output device 5 LSI test device 21 Test result acquisition means 22 Fault initial setting means 23 Fault scan chain specific means 24 Fault scan FF narrowing means 25 Scan chain fault simulation verification means 26 Scan chain diagnosis Pattern creation means 27 Fault scan FF compression conversion means 31 Test result storage section 32 Logic circuit information storage section 33 Fault scan chain storage section 34 Fault candidate scan FF storage section 251 Fault scan FF selection section 252 Signal line branch distinction section 263 Scan chain fault Simulation unit 254 Simulation result checking unit 261 Scan chain information analysis unit 262 Scan FF search specifying unit 263 Diagnostic pattern creation unit 271 Bypass failure candidate calculation unit 72 compressed scan FF converting means

Claims (8)

スキャン・フリップフロップからなるスキャンチェーンのテスト結果のフェイル情報からスキャンチェーン上の故障の範囲を絞り込む故障箇所推定システムであって、
バイパステストモードでスキャンチェーン故障診断用のテストパタンを作成して記憶部に記憶するスキャンチェーン診断パタン作成手段と、
前記バイパステストモードでのスキャンチェーン故障診断用テストパタンと、圧縮テストモードでのスキャンチェーン用のテストパタンの両方でのテスト結果から、故障候補スキャン・フリップフロップを絞り込む故障スキャン・フリップフロップ絞り込み手段と、
圧縮テストモードのスキャンチェーン用のテストパタンを用いたテスト結果と比較し、圧縮テストモードとバイパステストモードでのスキャンチェーン構造の差異から、圧縮テストモードにおける故障スキャンチェーンを特定して記憶部に記憶する故障スキャンチェーン特定手段と、
バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの対応関係に基づき、バイパステストモードの故障候補の範囲を圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの範囲に変換する故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段と、
圧縮テストモードのテストパタンを用いて、前記故障候補のスキャン・フリップフロップを含むスキャンチェーンの故障シミュレーションを実行し、圧縮テストモードでのテスト結果と照合し照合結果を出力装置に出力するスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段と、
を備えたことを特徴とする、故障箇所推定システム。
A failure location estimation system that narrows down the failure range on a scan chain from fail information of a scan chain test result comprising a scan flip-flop,
A scan chain diagnostic pattern creating means for creating a test pattern for scan chain fault diagnosis in the bypass test mode and storing the test pattern in the storage unit;
Fault scan / flip-flop narrowing means for narrowing down fault candidate scan flip-flops from the test results in both the scan chain fault diagnosis test pattern in the bypass test mode and the scan chain test pattern in the compression test mode; ,
Compared with the test results using the test pattern for the scan chain in the compression test mode, the fault scan chain in the compression test mode is identified and stored in the storage unit based on the difference in the scan chain structure between the compression test mode and the bypass test mode. Fault scan chain identification means to perform,
A failure scan flip-flop compression conversion means for converting the range of failure candidates in the bypass test mode into the range of scan flip-flops in the compression test mode based on the correspondence relationship between the scan flip-flops in the bypass test mode and the compression test mode;
A scan chain fault that executes a fault simulation of the scan chain including the scan flip-flop of the fault candidate using a test pattern of the compression test mode, collates with a test result in the compression test mode, and outputs a collation result to an output device Simulation verification means;
A failure location estimation system comprising:
バイパステストモードと圧縮テストモードとのスキャンチェーン情報を比較して、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの対応関係を算出し、
圧縮テストモードのスキャンチェーンの入力端、出力端にそれぞれ位置する第1、第2のスキャン・フリップフロップと、前記第1、第2のスキャン・フリップフロップの前後の所定ビットに対応するバイパステストモードのスキャンチェーン上のスキャン・フリップフロップの番号を特定し、
バイパステストモードのテストパタンに対して、前記番号を特定した前記スキャン・フリップフロップに出力値を設定し、前記第1、第2のスキャン・フリップフロップの前後の所定ビット以外のスキャン・フリップフロップの出力値を、期待値との比較をマスクする値に設定し、スキャンチェーン故障診断用テストパタンとして記憶する前記スキャンチェーン診断パタン作成手段と、
前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるスキャンチェーンのテスト結果を取得し、テスト結果記憶部に記憶するテスト結果取得手段と、
回路の設計情報とテスト結果を読み込み、故障診断の初期設定を行う初期設定手段と、
前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるテスト結果から得られるスキャン・フリップフロップの出力値と出力期待値とを比較して、バイパステストモードでの故障スキャンチェーンおよび故障種別を特定し、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する前記故障スキャンチェーン特定手段と、
前記テスト結果記憶部に記憶された前記スキャンチェーン診断用テストパタンのロジック部のテスト結果を参照し、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶された故障スキャンチェーンと故障種別を用いて、各スキャン・フリップフロップの出力期待値と前記ロジック部のテスト結果から得られる各スキャン・フリップフロップの出力値とを比較して、1次故障候補を絞り込み、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する前記故障スキャン・フリップフロップ絞り込み手段と、
前記バイパステストモードの1次故障候補のスキャン・フリップフロップの範囲と、前記スキャン・フリップフロップ対応関係情報とを参照して、バイパステストモードのスキャン・フリップフロップを対応する圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップ情報に変換し前記バイパステストモードの1次故障候補を圧縮テストモードでの1次故障候補に書き換え、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶する前記故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段と、
前記故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段で書き換えられた前記1次故障候補の範囲に対して前記故障種別に従って、スキャン・フリップフロップ間の信号線が分岐していた場合、分岐前後を故障候補として区別してそれぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行し、故障シミュレーション結果と、圧縮テストモードのテスト結果とを比較し、前記比較での一致率に基づき、スキャン・フリップフロップと信号線を故障種別と共に出力する前記スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段と、
前記スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段からの出力を受け、前記故障スキャンチェーンと、前記故障スキャン・フリップフロップと、前記故障種別と、故障信号線と、故障信号線の故障分岐位置とを出力する出力装置と
を備えたことを特徴とする、請求項1記載の故障箇所推定システム。
By comparing the scan chain information between the bypass test mode and the compression test mode, the correspondence between the scan flip-flops in the bypass test mode and the compression test mode is calculated,
First and second scan flip-flops positioned at the input and output ends of the scan chain in the compression test mode, and a bypass test mode corresponding to predetermined bits before and after the first and second scan flip-flops Identify the scan flip-flop number on the scan chain
For the test pattern in the bypass test mode, an output value is set in the scan flip-flop that specifies the number, and scan flip-flops other than the predetermined bits before and after the first and second scan flip-flops are set. The scan chain diagnostic pattern creating means for setting an output value to a value that masks comparison with an expected value and storing it as a test pattern for scan chain fault diagnosis;
Test result acquisition means for acquiring a test result of a scan chain by the test pattern for scan chain failure diagnosis and storing it in a test result storage unit;
Initial setting means for reading circuit design information and test results, and for initial setting of fault diagnosis,
Comparing the output value of the scan flip-flop obtained from the test result by the test pattern for the scan chain fault diagnosis and the expected output value, the fault scan chain and the fault type in the bypass test mode are specified, and the fault scan chain is stored. The fault scan chain specifying means to be stored in a section;
Each scan flip-flop is referred to by using a fault scan chain and a fault type stored in the fault scan chain storage unit with reference to a test result of the logic part of the test pattern for scan chain diagnosis stored in the test result storage unit The failure scan flip-flop that compares the expected output value of the group and the output value of each scan flip-flop obtained from the test result of the logic unit to narrow down primary failure candidates and stores them in the failure scan chain storage unit Narrowing means;
By referring to the range of scan flip-flops of primary failure candidates in the bypass test mode and the scan flip-flop correspondence information, the scan flip-flops in the compressed test mode corresponding to the scan flip-flops in the bypass test mode The fault scan flip-flop compression conversion means for converting into the fault information, rewriting the primary fault candidate in the bypass test mode to the primary fault candidate in the compression test mode, and storing it in the fault scan chain storage unit;
When the signal line between the scan flip-flops branches according to the failure type with respect to the range of the primary failure candidates rewritten by the failure scan flip-flop compression conversion means, the pre- and post-branch signal lines are classified as failure candidates. Separately, assuming each failure, using the test pattern of the compression test mode, the scan chain failure simulation is performed, the failure simulation result is compared with the test result of the compression test mode, and based on the matching rate in the comparison, The scan chain fault simulation verification means for outputting a scan flip-flop and a signal line together with a fault type;
An output device that receives an output from the scan chain fault simulation verification means and outputs the fault scan chain, the fault scan flip-flop, the fault type, a fault signal line, and a fault branch position of the fault signal line The failure location estimation system according to claim 1, further comprising:
前記スキャンチェーン診断パタン作成手段が、バイパステストモードのスキャンチェーンのスキャン・フリップフロップ情報と圧縮テストのスキャンチェーンのスキャン・フリップフロップ情報を比較して、両者のスキャン・フリップフロップ番号の対応関係情報を算出し、スキャン・フリップフロップ対応関係情報として記憶するスキャンチェーン情報解析手段と、
前記スキャン・フリップフロップ対応関係情報を基に、圧縮テストモードのスキャンチェーンのスキャン入力端に接続するスキャン・フリップフロップとスキャン出力端に接続するスキャン・フリップフロップをキーポイント・スキャン・フリップフロップとして記憶し、前記キーポイント・スキャン・フリップフロップのバイパステストモードでのスキャン・フリップフロップ番号を特定し、
所与のバイパステストモードのテストパタンからキーポイント・スキャン・フリップフロップとその前後の所定ビット分のスキャン・フリップフロップの出力期待値が所望の値となっているテストベクタを抽出し、
キーポイント・スキャン・フリップフロップとその前後の所定ビット分のスキャン・フリップフロップの出力期待値は、前記テストベクタに規定されたままの状態値決定スキャン・フリップフロップとし、それ以外のスキャンチェーン上のスキャン・フリップフロップの出力期待値をDon’t care(‘X’)でマスクする状態値未決定スキャン・フリップフロップとして分類するスキャン・フリップフロップ検索特定手段と、
前記スキャン・フリップフロップの分類情報を基に、バイパステストのテストパタンの値を編集し、スキャンチェーン故障診断用のテストパタンとして、論理回路情報記憶部に記憶する診断パタン作成手段と、
を備えたことを特徴とする、請求項1又は2記載の故障箇所推定システム。
The scan chain diagnostic pattern creation means compares the scan flip-flop information of the scan chain of the bypass test mode with the scan flip-flop information of the scan chain of the compression test, and obtains correspondence information of the scan flip-flop numbers of both. Scan chain information analysis means for calculating and storing as scan flip-flop correspondence information;
Based on the scan flip-flop correspondence information, the scan flip-flop connected to the scan input end of the scan chain in the compression test mode and the scan flip-flop connected to the scan output end are stored as a key point scan flip-flop. And specifying a scan flip-flop number in the bypass test mode of the keypoint scan flip-flop,
A test vector in which a keypoint scan flip-flop and an expected output value of a scan flip-flop for a predetermined bit before and after the keypoint scan flip-flop are desired values is extracted from a test pattern of a given bypass test mode,
The expected output value of the keypoint scan flip-flop and the scan flip-flop for a predetermined number of bits before and after the key-point scan flip-flop is the state value determination scan flip-flop as specified in the test vector, and on the other scan chains Scan flip-flop search specifying means for classifying the expected output value of the scan flip-flop as a state value undetermined scan flip-flop for masking with Don't care ('X');
Based on the classification information of the scan flip-flop, edits the value of the test pattern of the bypass test, and stores as a test pattern for scan chain fault diagnosis in the logic circuit information storage unit,
The failure location estimation system according to claim 1 or 2, further comprising:
前記故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段が、
前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶されたバイパステストモードの1次故障候補情報から得られたスキャン・フリップフロップの範囲に対して、前記論理回路情報記憶部2に記憶されたスキャン・フリップフロップ対応関係情報を基に、バイパステストモードのスキャン・フリップフロップを算出するバイパス故障候補算出手段と、
前記スキャン・フリップフロップに対応する圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップ情報に変換し、1次故障候補を書き換えて前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶する圧縮スキャン・フリップフロップ変換手段と、
を備えたことを特徴とする、請求項3記載の故障箇所推定システム。
The failure scan flip-flop compression conversion means,
The scan flip-flop correspondence stored in the logic circuit information storage unit 2 with respect to the range of the scan flip-flop obtained from the primary failure candidate information in the bypass test mode stored in the fault scan chain storage unit Bypass failure candidate calculation means for calculating a scan flip-flop in bypass test mode based on the information,
A compressed scan flip-flop conversion means for converting into scan flip-flop information in a compressed test mode corresponding to the scan flip-flop, rewriting a primary failure candidate and storing it in the failed scan chain storage unit;
The failure location estimation system according to claim 3, further comprising:
スキャン・フリップフロップからなるスキャンチェーンのテスト結果のフェイル情報からスキャンチェーン上の故障の範囲を絞り込む故障箇所推定装置が、
バイパステストモードでスキャンチェーン故障診断用のテストパタンを作成して記憶部に記憶し、
前記バイパステストモードでのスキャンチェーン故障診断用テストパタンと、圧縮テストモードでのスキャンチェーン用のテストパタンの両方でのテスト結果から、故障候補スキャン・フリップフロップを絞り込み、
圧縮テストモードのスキャンチェーン用のテストパタンを用いたテスト結果と比較し、圧縮テストモードとバイパステストモードでのスキャンチェーン構造の差異から、圧縮テストモードにおける故障スキャンチェーンを特定して記憶部に記憶し、
バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの対応関係に基づき、バイパステストモードの故障候補の範囲を圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの範囲に変換し、
圧縮テストモードのテストパタンを用いて、前記故障候補のスキャン・フリップフロップを含むスキャンチェーンの故障シミュレーションを実行し、圧縮テストモードでのテスト結果と照合し照合結果を出力装置に出力する、
ことを特徴とする故障箇所推定方法。
A failure location estimation device that narrows down the failure range on the scan chain from the fail information of the scan chain test result consisting of scan flip-flops,
Create a test pattern for scan chain fault diagnosis in bypass test mode and store it in the storage unit.
From the test results of both the scan chain fault diagnosis test pattern in the bypass test mode and the scan chain test pattern in the compression test mode, the failure candidate scan flip-flops are narrowed down.
Compared with the test results using the test pattern for the scan chain in the compression test mode, the fault scan chain in the compression test mode is identified and stored in the storage unit based on the difference in the scan chain structure between the compression test mode and the bypass test mode. And
Based on the correspondence between the scan flip-flops in the bypass test mode and the compressed test mode, the range of failure candidates in the bypass test mode is converted into the range of scan flip-flops in the compressed test mode.
Using the test pattern of the compression test mode, the failure simulation of the scan chain including the scan flip-flop of the failure candidate is executed, the test result in the compression test mode is collated, and the collation result is output to the output device.
A fault location estimation method characterized by the above.
前記故障箇所推定装置のスキャンチェーン診断パタン作成手段が、バイパステストモードと圧縮テストモードとのスキャンチェーン情報を比較して、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの対応関係を算出し、
圧縮テストモードのスキャンチェーンの入力端、出力端にそれぞれ位置する第1、第2のスキャン・フリップフロップと、前記第1、第2のスキャン・フリップフロップの前後の所定ビットに対応するバイパステストモードのスキャンチェーン上のスキャン・フリップフロップの番号を特定し、
バイパステストモードのテストパタンに対して、前記番号を特定した前記スキャン・フリップフロップに出力値を設定し、前記第1、第2のスキャン・フリップフロップの前後の所定ビット以外のスキャン・フリップフロップの出力値を期待値との比較をマスクする値に設定し、スキャンチェーン故障診断用テストパタンとして記憶し、
前記故障箇所推定装置のテスト結果取得手段が、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるスキャンチェーンのテスト結果を取得し、テスト結果記憶部に記憶し、
前記故障箇所推定装置の故障スキャンチェーン特定手段が、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるテスト結果から得られるスキャン・フリップフロップの出力値と出力期待値とを比較して、バイパステストモードでの故障スキャンチェーンおよび故障種別を特定し、故障スキャンチェーン記憶部に記憶し、
前記故障箇所推定装置の故障スキャン・フリップフロップ絞り込み手段が、前記テスト結果記憶部に記憶された前記スキャンチェーン診断用テストパタンのロジック部のテスト結果を参照し、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶された故障スキャンチェーンと故障種別を用いて、各スキャン・フリップフロップの出力期待値と前記ロジック部のテスト結果から得られる各スキャン・フリップフロップの出力値とを比較して、1次故障候補を絞り込み、故障スキャンチェーン記憶部に記憶し、
前記故障箇所推定装置の故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段が、前記バイパステストモードの1次故障候補のスキャン・フリップフロップの範囲と、前記スキャン・フリップフロップ対応関係情報とを参照して、バイパステストモードのスキャン・フリップフロップを対応する圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップ情報に変換し前記バイパステストモードの1次故障候補を圧縮テストモードでの1次故障候補に書き換え、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶し、
前記故障箇所推定装置のスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段が、前記故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段で書き換えられた前記1次故障候補の範囲に対して前記故障種別に従って、スキャン・フリップフロップ間の信号線が分岐していた場合、分岐前後を故障候補として区別してそれぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行し、故障シミュレーション結果と圧縮テストモードのテスト結果とを比較し、一致率に基づき、スキャン・フリップフロップと信号線を故障種別と共に出力し、前記故障スキャンチェーンと、前記故障スキャン・フリップフロップと、前記故障種別と、故障信号線と、故障信号線の故障分岐位置とを出力装置に出力する、ことを特徴とする、請求項5記載の故障箇所推定方法。
The scan chain diagnostic pattern creation means of the failure location estimation device compares the scan chain information between the bypass test mode and the compression test mode, calculates the correspondence between the scan flip-flops in the bypass test mode and the compression test mode,
First and second scan flip-flops positioned at the input and output ends of the scan chain in the compression test mode, and a bypass test mode corresponding to predetermined bits before and after the first and second scan flip-flops Identify the scan flip-flop number on the scan chain
For the test pattern in the bypass test mode, an output value is set in the scan flip-flop that specifies the number, and scan flip-flops other than the predetermined bits before and after the first and second scan flip-flops are set. Set the output value to a value that masks the comparison with the expected value, store it as a test pattern for scan chain fault diagnosis,
The test result acquisition means of the failure location estimation device acquires the test result of the scan chain by the test pattern for scan chain failure diagnosis, and stores it in the test result storage unit,
The failure scan chain specifying means of the failure location estimating device compares the output value of the scan flip-flop obtained from the test result by the test pattern for the scan chain failure diagnosis with the expected output value, and the failure in the bypass test mode Identify the scan chain and fault type, store them in the fault scan chain storage unit,
The failure scan flip-flop narrowing means of the failure location estimation device refers to the test result of the logic part of the scan chain diagnostic test pattern stored in the test result storage unit, and is stored in the failure scan chain storage unit. Using the fault scan chain and fault type, the expected output value of each scan flip-flop is compared with the output value of each scan flip-flop obtained from the test result of the logic unit to narrow down the primary fault candidates , Store it in the fault scan chain storage unit,
The failure scan flip-flop compression conversion means of the failure location estimating apparatus refers to a bypass flip test mode primary flip candidate scan flip-flop range and the scan flip-flop correspondence information, and performs a bypass test. The mode scan flip-flop is converted into the corresponding scan flip-flop information of the compressed test mode, the primary failure candidate in the bypass test mode is rewritten to the primary failure candidate in the compression test mode, and stored in the failure scan chain storage unit Remember,
The scan chain fault simulation verification means of the fault location estimation device is configured to provide a signal line between the scan flip-flops according to the fault type with respect to the primary fault candidate range rewritten by the fault scan flip-flop compression conversion means. , Branching before and after branching as failure candidates, assuming each failure, using the test pattern in the compressed test mode, and executing the scan chain failure simulation, the failure simulation result and the compression test mode test result Based on the coincidence rate, the scan flip-flop and the signal line are output together with the fault type, and the fault scan chain, the fault scan flip-flop, the fault type, the fault signal line, and the fault signal line are output. Output the failure branch position of And wherein, fault location estimation method according to claim 5, wherein.
スキャン・フリップフロップからなるスキャンチェーンのテスト結果のフェイル情報からスキャンチェーン上の故障の範囲を絞り込む故障箇所推定装置を構成するコンピュータに、
バイパステストモードでスキャンチェーン故障診断用のテストパタンを作成して記憶部に記憶する処理と、
前記バイパステストモードでのスキャンチェーン故障診断用テストパタンと、圧縮テストモードでのスキャンチェーン用のテストパタンの両方でのテスト結果から、故障候補スキャン・フリップフロップを絞り込む処理と、
圧縮テストモードのスキャンチェーン用のテストパタンを用いたテスト結果と比較し、圧縮テストモードとバイパステストモードでのスキャンチェーン構造の差異から、圧縮テストモードにおける故障スキャンチェーンを特定して記憶部に記憶し、
バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの対応関係に基づき、バイパステストモードの故障候補の範囲を圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの範囲に変換する処理と、
圧縮テストモードのテストパタンを用いて、前記故障候補のスキャン・フリップフロップを含むスキャンチェーンの故障シミュレーションを実行し、圧縮テストモードでのテスト結果と照合し照合結果を出力装置に出力する処理と、
を実行させるプログラム。
To the computer that constitutes the failure location estimation device that narrows down the failure range on the scan chain from the fail information of the scan chain test result consisting of scan flip-flops,
A process of creating a test pattern for scan chain fault diagnosis in the bypass test mode and storing it in the storage unit;
A process for narrowing down failure candidate scan flip-flops from the test results in both the scan chain failure diagnosis test pattern in the bypass test mode and the scan chain test pattern in the compression test mode;
Compared with the test results using the test pattern for the scan chain in the compression test mode, the fault scan chain in the compression test mode is identified and stored in the storage unit based on the difference in the scan chain structure between the compression test mode and the bypass test mode. And
Based on the correspondence between the scan test flip-flops in the bypass test mode and the compression test mode, the process of converting the range of failure candidates in the bypass test mode into the scan flip-flop range in the compression test mode;
Using the test pattern in the compressed test mode, executing a failure simulation of the scan chain including the scan flip-flop of the failure candidate, checking the test result in the compressed test mode, and outputting the matching result to the output device;
A program that executes
バイパステストモードと圧縮テストモードとのスキャンチェーン情報を比較して、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの対応関係を算出し、
圧縮テストモードのスキャンチェーンの入力端、出力端にそれぞれ位置する第1、第2のスキャン・フリップフロップと、前記第1、第2のスキャン・フリップフロップの前後の所定ビットに対応するバイパステストモードのスキャンチェーン上のスキャン・フリップフロップの番号を特定し、
バイパステストモードのテストパタンに対して、前記番号を特定した前記スキャン・フリップフロップに出力値を設定し、前記第1、第2のスキャン・フリップフロップの前後の所定ビット以外のスキャン・フリップフロップの出力値を期待値との比較をマスクする値に設定し、スキャンチェーン故障診断用テストパタンとして記憶する処理と、
前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるスキャンチェーンのテスト結果を取得し、テスト結果記憶部に記憶する処理と、
前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるテスト結果から得られるスキャン・フリップフロップの出力値と出力期待値とを比較して、バイパステストモードでの故障スキャンチェーンおよび故障種別を特定し、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する処理と、
前記テスト結果記憶部に記憶された前記スキャンチェーン診断用テストパタンのロジック部のテスト結果を参照し、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶された故障スキャンチェーンと故障種別を用いて、各スキャン・フリップフロップの出力期待値と前記ロジック部のテスト結果から得られる各スキャン・フリップフロップの出力値とを比較して、1次故障候補を絞り込み、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する処理と、
前記バイパステストモードの1次故障候補のスキャン・フリップフロップの範囲と、前記スキャン・フリップフロップ対応関係情報とを参照して、バイパステストモードのスキャン・フリップフロップを対応する圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップ情報に変換し前記バイパステストモードの1次故障候補を圧縮テストモードでの1次故障候補に書き換え、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶する処理と、
前記圧縮テストモードに書き換えられた前記1次故障候補の範囲に対して前記故障種別に従って、スキャン・フリップフロップ間の信号線が分岐していた場合、分岐前後を故障候補として区別してそれぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行し、故障シミュレーション結果と圧縮テストモードのテスト結果とを比較し、一致率に基づき、スキャン・フリップフロップと信号線を故障種別と共に出力し、前記故障スキャンチェーンと、前記故障スキャン・フリップフロップと、前記故障種別と、故障信号線と、故障信号線の故障分岐位置とを出力装置に出力する処理と、
を前記コンピュータに実行させる請求項7記載のプログラム。
By comparing the scan chain information between the bypass test mode and the compression test mode, the correspondence between the scan flip-flops in the bypass test mode and the compression test mode is calculated,
First and second scan flip-flops positioned at the input and output ends of the scan chain in the compression test mode, and a bypass test mode corresponding to predetermined bits before and after the first and second scan flip-flops Identify the scan flip-flop number on the scan chain
For the test pattern in the bypass test mode, an output value is set in the scan flip-flop that specifies the number, and scan flip-flops other than the predetermined bits before and after the first and second scan flip-flops are set. A process of setting the output value to a value that masks comparison with the expected value and storing it as a test pattern for scan chain fault diagnosis,
A process for acquiring a test result of a scan chain by the test pattern for scan chain failure diagnosis and storing it in a test result storage unit;
Comparing the output value of the scan flip-flop obtained from the test result by the test pattern for the scan chain fault diagnosis and the expected output value, the fault scan chain and the fault type in the bypass test mode are specified, and the fault scan chain is stored. Processing to be stored in the department,
Each scan flip-flop is referred to by using a fault scan chain and a fault type stored in the fault scan chain storage unit with reference to a test result of the logic part of the test pattern for scan chain diagnosis stored in the test result storage unit Comparing the expected output value of the group and the output value of each scan flip-flop obtained from the test result of the logic unit, narrowing down the primary failure candidates and storing them in the failure scan chain storage unit;
By referring to the range of scan flip-flops of primary failure candidates in the bypass test mode and the scan flip-flop correspondence information, the scan flip-flops in the compressed test mode corresponding to the scan flip-flops in the bypass test mode Processing to convert the primary failure candidate in the bypass test mode into a primary failure candidate in the compressed test mode and store it in the failure scan chain storage unit,
When the signal line between the scan flip-flops branches according to the failure type with respect to the range of the primary failure candidates rewritten to the compressed test mode, the failure is distinguished by distinguishing before and after the branch as failure candidates. Execute the scan chain fault simulation using the test pattern in the compression test mode, compare the fault simulation result with the test result in the compression test mode, and select the scan flip-flop and signal line as the fault type based on the match rate. Output together with the fault scan chain, the fault scan flip-flop, the fault type, the fault signal line, and the fault branch position of the fault signal line to an output device;
The program according to claim 7, wherein the computer is executed.
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