JP2013035960A - Resin composition for printed circuit board, prepreg and laminate - Google Patents

Resin composition for printed circuit board, prepreg and laminate Download PDF

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Takafumi Omori
貴文 大森
Keiichi Hasebe
恵一 長谷部
Seiji Yotsuya
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin composition for printed circuit boards, excellent in adhesiveness to conductive layers formed by plating in spite of small surface unevennesses, heat resistance, moisture heat resistance and combustion resistance, and suitable for forming fine circuits.SOLUTION: The resin composition includes an aralkyl type epoxy resin (A), an aralkyl type phenolic resin (B), boehmite (C), silicone powder (D) and polyvinyl acetal (E).

Description

本発明は、プリント配線板に使用される樹脂組成物、これを用いた金属箔張積層板およびプリント配線板に関する。   The present invention relates to a resin composition used for a printed wiring board, a metal foil-clad laminate using the same, and a printed wiring board.

近年、小型、薄型、軽量化する電子機器において、プリント配線板の高密度化の要求がますます増加しており、それに伴い、細密回路の形成が必要となっている。従来、回路形成方法としては、金属箔をエッチングして回路を形成するサブトラクティブ法又はめっきにより絶縁層上に導体層を形成するセミアディティブ法等が行われている。
しかし、サブトラクティブ法では、使用する金属箔として、絶縁層との接着力が良好な金属箔マット面の凹凸が大きいものが使用されており、細密回路を形成する際に、金属箔マット面の凹凸の影響により、凸部の一部が、積層板の樹脂表面に残り易いという問題があり、これを完全に除去するためにエッチング時間を伸ばすと回路がオーバーエッチングされ、回路の位置精度や接着力が低下する等の問題があった。
一方セミアディティブ法では、絶縁層と導体層との接着力を得るために、めっき前に絶縁層の粗化処理を行うか、または銅箔マット面等の転写跡を用いて、表面に大きな凹凸を形成し、導体層が剥離しない様に接着力を高める必要がある。しかし、細密回路を形成する場合には、表面の凹凸が大き過ぎると回路形成の精度が低下し易くなる等の問題があった(例えば特許文献1、2参照)。
In recent years, there has been an increasing demand for higher density printed wiring boards in electronic devices that are becoming smaller, thinner, and lighter, and accordingly, formation of fine circuits is required. Conventionally, as a circuit forming method, a subtractive method in which a metal foil is etched to form a circuit, a semi-additive method in which a conductor layer is formed on an insulating layer by plating, or the like is performed.
However, in the subtractive method, the metal foil to be used has a large unevenness on the surface of the metal foil mat that has good adhesion to the insulating layer. Due to the effect of unevenness, there is a problem that a part of the convex part tends to remain on the resin surface of the laminated board, and if the etching time is extended to completely remove this, the circuit is over-etched, and the positional accuracy and adhesion of the circuit There were problems such as a drop in power.
On the other hand, in the semi-additive method, in order to obtain an adhesive force between the insulating layer and the conductor layer, roughening of the insulating layer is performed before plating, or a large trace is formed on the surface by using a transfer mark such as a copper foil mat surface. It is necessary to increase the adhesion so that the conductor layer does not peel off. However, in the case of forming a fine circuit, there is a problem that the accuracy of circuit formation tends to be lowered if the surface irregularities are too large (see, for example, Patent Documents 1 and 2).

特許文献3には、絶縁層にポリイミド樹脂を用いることで導体層と絶縁層との接着力を向上させ、従来必要とされていた絶縁層を粗化処理する工程を用いないことにより、表層絶縁層の表面凹凸を極めて小さく保つことを可能にする手法が記載されている。しかし、特定の樹脂が付着した銅箔を用いているため通常の銅箔に比べて高価であること、銅箔をエッチングで除去した後に粗化処理すると接着力が低下してしまうこと等の問題があった。
また、絶縁層に特殊なフェノール硬化剤を使用して表面凹凸を小さくする手法も知られている(特許文献4参照)。しかし、この方法は、適切な粗化条件を選ぶ必要があり、粗化条件により接着力が大きくばらついてしまうこと、めっきで形成した導体層の吸湿後の耐熱性(吸湿耐熱性)が劣ること等の問題があった。
またさらに、球状シリカの表面にイミダゾールシラン処理をした無機充填材を用いるという手法が知られている(特許文献5参照)。しかし、この手法は粒子表面が球状でめっき銅のアンカー効果が得られにくく十分な密着強度を得ることが困難であるだけでなく、十分な耐燃焼性を得ることが困難であった。
In Patent Document 3, by using a polyimide resin for the insulating layer, the adhesive force between the conductor layer and the insulating layer is improved, and the step of roughening the insulating layer, which has been conventionally required, is not used. A technique is described which makes it possible to keep the surface irregularities of the layer very small. However, since copper foil with a specific resin attached is used, it is more expensive than ordinary copper foil, and the adhesive strength is reduced when the roughening treatment is performed after removing the copper foil by etching. was there.
In addition, a technique for reducing surface irregularities by using a special phenol curing agent for the insulating layer is also known (see Patent Document 4). However, in this method, it is necessary to select appropriate roughening conditions, the adhesive strength varies greatly depending on the roughening conditions, and the heat resistance (moisture absorption heat resistance) of the conductor layer formed by plating after moisture absorption is poor. There was a problem such as.
Furthermore, a technique is known in which an inorganic filler obtained by treating imidazole silane on the surface of spherical silica is used (see Patent Document 5). However, this technique has a spherical particle surface and the anchor effect of plated copper is difficult to obtain, and it is difficult to obtain sufficient adhesion strength, and it is difficult to obtain sufficient combustion resistance.

特開2003−69218号公報JP 2003-69218 A 特開2003−249751号公報JP 2003-249751 A 特開2007−335448号公報JP 2007-335448 A 特開2007−254710号公報JP 2007-254710 A 国際公開第07/032424号パンフレットInternational Publication No. 07/032424 Pamphlet

本発明の目的は、表面凹凸が小さいにもかかわらず、めっきで形成した導体層との密着性、耐熱性、吸湿耐熱性および耐燃焼性に優れ、細密回路の形成に適したプリント配線板用樹脂組成物を提供することにある。また、その樹脂組成物を使用したプリント配線板材料およびプリント配線板を提供することにある。   The object of the present invention is for a printed wiring board that is excellent in adhesion to a conductor layer formed by plating, heat resistance, moisture absorption heat resistance and combustion resistance, and suitable for forming a fine circuit, although the surface unevenness is small. The object is to provide a resin composition. Moreover, it is providing the printed wiring board material and printed wiring board which use the resin composition.

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、アラルキル型エポキシ樹脂、アラルキル型フェノール樹脂、ベーマイト、シリコーンパウダーおよびポリビニルアセタールを含む樹脂組成物を使用することにより、表面凹凸が小さいにもかかわらず、めっきで形成した導体層との密着に優れ、耐熱性、吸湿耐熱性および耐燃焼性に優れ、細密回路の形成に適したプリント配線板が得られることを見出し、本発明に到達した。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have reduced surface irregularities by using a resin composition containing an aralkyl epoxy resin, an aralkyl phenol resin, boehmite, silicone powder, and polyvinyl acetal. Nevertheless, the present inventors have found that a printed wiring board having excellent adhesion to a conductor layer formed by plating, excellent heat resistance, moisture absorption heat resistance and combustion resistance and suitable for forming a fine circuit can be obtained. did.

本発明の樹脂組成物を硬化して得られるプリント配線板は、導体層との密着性、耐熱性、吸湿耐熱性および耐燃焼性に優れる。   The printed wiring board obtained by curing the resin composition of the present invention is excellent in adhesion to the conductor layer, heat resistance, moisture absorption heat resistance and combustion resistance.

本発明の樹脂組成物は、アラルキル型エポキシ樹脂(A)、アラルキル型フェノール樹脂(B)、ベーマイト(C)、シリコーンパウダー(D)およびポリビニルアセタール(E)からなる。   The resin composition of the present invention comprises an aralkyl epoxy resin (A), an aralkyl phenol resin (B), boehmite (C), silicone powder (D), and polyvinyl acetal (E).

また、本発明の樹脂組成物の別の態様においては、アラルキル型エポキシ樹脂(A)、フェノール樹脂(B)、ベーマイト(C)、シリコーンパウダー(D)、ポリビニルアセタール(E)およびマレイミド化合物(F)からなる。   In another embodiment of the resin composition of the present invention, an aralkyl epoxy resin (A), a phenol resin (B), boehmite (C), silicone powder (D), polyvinyl acetal (E), and a maleimide compound (F ).

更に本発明の別の態様においては、上記硬化性樹脂組成物を硬化させてなるプリプレグ、金属箔張積層板およびプリント配線板も提供される。   Furthermore, in another aspect of the present invention, a prepreg obtained by curing the curable resin composition, a metal foil-clad laminate, and a printed wiring board are also provided.

本発明に使用されるアラルキル型エポキシ樹脂(A)は耐燃焼性を向上させる効果がある。アラルキル型エポキシ樹脂(A)としては、フェノールフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、フェノールビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂等が挙げられる。さらにアラルキル型エポキシ樹脂(A)の中でも、フェノールビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂およびそれらを併用することが、耐燃焼性に優れ、硬化物の熱膨張率が低いことから特に好ましい。これらのエポキシ樹脂は、1種もしくは2種以上を適宜混合して使用することが可能である。   The aralkyl type epoxy resin (A) used in the present invention has an effect of improving the combustion resistance. Examples of the aralkyl type epoxy resin (A) include phenol phenyl aralkyl type epoxy resins, phenol biphenyl aralkyl type epoxy resins, and naphthol aralkyl type epoxy resins. Furthermore, among the aralkyl type epoxy resins (A), it is particularly preferable to use a phenol biphenyl aralkyl type epoxy resin, a naphthol aralkyl type epoxy resin, and a combination thereof because of excellent combustion resistance and a low thermal expansion coefficient of the cured product. These epoxy resins can be used alone or in combination of two or more.

アラルキル型エポキシ樹脂(A)の配合量は特に限定されないが、成分(A)、(B)および(E)の合計100質量部、マレイミド化合物(F)を使用する場合は、成分(A)、(B)、(E)および(F)の合計100質量部に対し、20〜60質量部であることが、熱膨張率の観点から好ましい。   The blending amount of the aralkyl type epoxy resin (A) is not particularly limited, but when a total of 100 parts by mass of the components (A), (B) and (E) and the maleimide compound (F) are used, the component (A), It is preferable from a viewpoint of a thermal expansion coefficient that it is 20-60 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of (B), (E), and (F).

本発明に使用されるアラルキル型フェノール樹脂(B)としては、1分子内で芳香族性の環に結合する水素原子が水酸基で2以上置換されたものであれば特に限定されず、例えばナフトールアラルキル型フェノール樹脂、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂、フェニルアラルキル型フェノール樹脂などが挙げられる。
これらのアラルキル型フェノール樹脂は、単独あるいは2種以上組み合わせて使用することができる。
この中でもナフトールアラルキル型フェノール樹脂およびビフェニルアラルキル型フェノール樹脂が好適に使用される。ナフトールアラルキル型フェノール樹脂は一般式(1)で示され、耐熱性、耐水性の特に好ましい。
The aralkyl-type phenol resin (B) used in the present invention is not particularly limited as long as two or more hydrogen atoms bonded to an aromatic ring in one molecule are substituted with a hydroxyl group, for example, naphthol aralkyl. Type phenol resin, biphenyl aralkyl type phenol resin, phenyl aralkyl type phenol resin and the like.
These aralkyl type phenol resins can be used alone or in combination of two or more.
Among these, naphthol aralkyl type phenol resins and biphenyl aralkyl type phenol resins are preferably used. The naphthol aralkyl type phenol resin is represented by the general formula (1), and is particularly preferable in terms of heat resistance and water resistance.

Figure 2013035960
(式中、Rは水素原子又はメチル基を示し、nは1から50までの整数を示す。)
Figure 2013035960
(In the formula, R represents a hydrogen atom or a methyl group, and n represents an integer of 1 to 50.)

また、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂は、一般式(2)で示され、耐熱性および吸水性の観点から特に好ましい。   Moreover, biphenyl aralkyl type phenol resin is shown by General formula (2), and is especially preferable from a heat resistant and water-absorbing viewpoint.

Figure 2013035960
(式中、複数存在するRはそれぞれ独立して存在し、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基もしくはフェニル基を表す。nは平均値であり1<n≦20を表す。)
Figure 2013035960
(In the formula, a plurality of R's are present independently and each represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms or a phenyl group. N is an average value and 1 <n ≦ 20.)

アラルキル型フェノール樹脂の配合量は、成分(A)、(B)および(E)の合計100質量部、マレイミド化合物(F)を使用する場合は、成分(A)、(B)、(E)および(F)の合計100質量部に対し、5〜55質量部であることが、耐熱性の観点から好ましい。   The blending amount of the aralkyl type phenol resin is 100 parts by mass in total of the components (A), (B) and (E). When the maleimide compound (F) is used, the components (A), (B) and (E) And it is preferable from a heat resistant viewpoint that it is 5-55 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of (F).

本発明においては、無機充填材としてベーマイト(C)が使用される。その中でも不定形状のベーマイトが特に好ましい。不定形状のベーマイトを使用した場合、粗化処理後の表面形状が不定形となり、アンカー効果によりめっき後の接着力または、めっき後の吸湿耐熱性が良好となる。   In the present invention, boehmite (C) is used as the inorganic filler. Among them, amorphous boehmite is particularly preferable. When an irregular shape boehmite is used, the surface shape after the roughening treatment becomes irregular, and the anchoring effect provides good adhesion after plating or moisture absorption heat resistance after plating.

ベーマイト(C)の平均粒径(D50)は特に限定されないが、分散性および粗化処理後の表面凹凸を考慮すると、平均粒径が0.1〜5μmが好ましく、より好ましくは0.2〜2μmである。平均粒径が前記の範囲内であれば、成形性が良好であり、且つ粗化処理後に脱離しやすく、微細な表面凹凸の形成が可能となる。
ここでD50とはメジアン径(メディアン径)であり、測定した粉体の粒度分布を2つに分けたときの大きい側と小さい側の質量が等量となる径である。一般的には湿式レーザー回折・散乱法により測定される。
また、平均粒径の異なるベーマイトを適宜混合して使用することも、成形性を維持しながら配合量を高める上で効果的である。
The average particle size (D50) of boehmite (C) is not particularly limited, but considering the dispersibility and surface roughness after the roughening treatment, the average particle size is preferably 0.1 to 5 μm, more preferably 0.2 to 2 μm. If the average particle diameter is within the above range, the moldability is good, and it is easy to detach after the roughening treatment, and fine surface irregularities can be formed.
Here, D50 is the median diameter (median diameter), which is the diameter at which the masses on the large side and the small side are equal when the particle size distribution of the measured powder is divided into two. Generally, it is measured by a wet laser diffraction / scattering method.
Further, it is effective to appropriately mix and use boehmite having different average particle diameters in order to increase the blending amount while maintaining moldability.

ベーマイト(C)の配合量は、成分(A)、(B)および(E)の合計100質量部、マレイミド化合物(F)を使用する場合は、成分(A)、(B)、(E)および(F)の合計100質量部に対し、20〜500質量部が好ましく、より好ましくは30〜300質量部、さらに好ましくは50〜150質量部である。前記の配合量であれば、成形性と吸湿耐熱性の両立が可能である。   The amount of boehmite (C) is 100 parts by mass in total of components (A), (B) and (E). When maleimide compound (F) is used, components (A), (B) and (E) And 20-500 mass parts is preferable with respect to a total of 100 mass parts of (F), More preferably, it is 30-300 mass parts, More preferably, it is 50-150 mass parts. If it is the said compounding quantity, both moldability and moisture absorption heat resistance are possible.

また、本発明におけるベーマイト(C)は、イミダゾールシランで表面処理されたものであることが、接着力の観点から好ましい。イミダゾールシランとしては、イミダゾール基を有するシランカップリング剤であれば特に限定されない。具体的には、日鉱金属(株)製のIS−1000、IM−1000、SP−10、IA−100A、IA−100F、IM−100F、IS−3000等が挙げられる。   Moreover, it is preferable from a viewpoint of adhesive force that the boehmite (C) in this invention is surface-treated with imidazole silane. The imidazole silane is not particularly limited as long as it is a silane coupling agent having an imidazole group. Specific examples include IS-1000, IM-1000, SP-10, IA-100A, IA-100F, IM-100F, IS-3000, and the like manufactured by Nikko Metal Co., Ltd.

イミダゾールシランでの無機充填材の表面処理方法としては、湿式法もしくは乾式法など公知の方法で予め無機充填材の表面をイミダゾールシランで処理しておく方法と、ワニス中に添加して処理する方法(インテグラルブレンド法)があり、本発明で無機充填材をイミダゾールシランで表面処理する際は、どちらの方法を用いても良い。インテグラルブレンド法で処理した場合、イミダゾールシランが樹脂の硬化促進剤として働きやすく、樹脂組成物の硬化時間(ゲルタイム)が短くなる問題があるため、無機充填材の表面を予めイミダゾールシランで処理しておく方法がより好ましい。   As a surface treatment method of the inorganic filler with imidazole silane, a method of treating the surface of the inorganic filler with imidazole silane in advance by a known method such as a wet method or a dry method, and a method of adding and treating in the varnish (Integral blend method), and when the inorganic filler is surface-treated with imidazole silane in the present invention, either method may be used. When treated with the integral blend method, imidazole silane tends to work as a curing accelerator for the resin, and there is a problem that the curing time (gel time) of the resin composition is shortened. Therefore, the surface of the inorganic filler is treated with imidazole silane in advance. This method is more preferable.

イミダゾールシランの処理量(配合量)としては、予め無機充填材の表面を処理しておく場合には、無機充填材100質量部に対し、0.1〜5質量部が好ましく、より好ましくは0.3〜3質量部である。インテグラルブレンド法で処理する場合は、無機充填材100質量部に対し、0.1〜2質量部が好ましく、より好ましくは0.1〜1質量部である。イミダゾールシランで処理した無機充填材を使用した場合、めっきで形成した導体層とイミダゾール基が錯体を形成するため、アンカー効果と錯体形成による化学的な相互作用で優れた接着力を発揮することができる。イミダゾールシランの処理量(配合量)が少ないとこの効果が薄れ、多すぎると前述のように樹脂組成物の硬化時間(ゲルタイム)が短くなってしまう問題がある。   As a processing amount (blending amount) of imidazole silane, when the surface of the inorganic filler is previously treated, 0.1 to 5 parts by mass is preferable with respect to 100 parts by mass of the inorganic filler, and more preferably 0. .3 to 3 parts by mass. When processing by an integral blend method, 0.1-2 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of inorganic fillers, More preferably, it is 0.1-1 mass part. When an inorganic filler treated with imidazole silane is used, the conductor layer formed by plating and the imidazole group form a complex, so that the anchor effect and chemical interaction due to the complex formation can exhibit excellent adhesion. it can. If the amount of imidazole silane treated (blending amount) is small, this effect is reduced. If the amount is too large, the curing time (gel time) of the resin composition is shortened as described above.

また本発明の樹脂組成物には、所期の特性が損なわれない範囲において、ベーマイト以外の無機充填材を加えることもできる。他の無機充填材としては、更に耐燃焼性、耐熱性、吸湿耐熱性を高める観点から、天然シリカ、溶融シリカ、アモルファスシリカ、中空シリカ等のシリカ類、酸化モリブデン、モリブデン酸亜鉛等のモリブデン化合物、アルミナ、水酸化アルミニウム、タルク、焼成タルク、マイカ、ガラス短繊維、球状ガラス(EガラスやTガラス、Dガラスなどのガラス微粉末類)、などを添加することもできる。これらは1種または2種以上を併用してもよい。   In addition, an inorganic filler other than boehmite can be added to the resin composition of the present invention as long as the desired properties are not impaired. As other inorganic fillers, silicas such as natural silica, fused silica, amorphous silica and hollow silica, molybdenum compounds such as molybdenum oxide and zinc molybdate, from the viewpoint of further improving the flame resistance, heat resistance and moisture absorption heat resistance Alumina, aluminum hydroxide, talc, fired talc, mica, short glass fiber, spherical glass (glass fine powders such as E glass, T glass, D glass), and the like can also be added. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明で用いる無機充填材に関して、イミダゾールシラン以外のシランカップリング剤や表面処理剤、湿潤分散剤を併用することも可能である。
シランカップリング剤としては、一般に無機物の表面処理に使用されているシランカップリング剤であれば、特に限定されるものではない。具体例としては、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランなどのアミノシラン系、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランなどのエポキシシラン系、γ−メタアクリロキシプロピルトリメトキシシランなどのビニルシラン系、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン塩酸塩などのカチオニックシラン系、フェニルシラン系などが挙げられ、1種もしくは2種以上を適宜組み合わせて使用することも可能である。
また湿潤分散剤は、塗料用に使用されている分散安定剤であれば、特に限定されるものではない。例えばビッグケミー・ジャパン(株)製のDisperbyk−110、111、180、161、BYK−W996、W9010、W903等の湿潤分散剤が挙げられる。
With respect to the inorganic filler used in the present invention, a silane coupling agent other than imidazole silane, a surface treatment agent, and a wetting and dispersing agent can be used in combination.
The silane coupling agent is not particularly limited as long as it is a silane coupling agent generally used for surface treatment of inorganic substances. Specific examples include aminosilanes such as γ-aminopropyltriethoxysilane, N-β- (aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, epoxysilanes such as γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ -Vinyl silanes such as methacryloxypropyltrimethoxysilane, cationic silanes such as N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride, phenylsilanes, etc. It is also possible to use one kind or a combination of two or more kinds as appropriate.
The wetting and dispersing agent is not particularly limited as long as it is a dispersion stabilizer used for coatings. For example, wet dispersers such as Disperbyk-110, 111, 180, 161, BYK-W996, W9010, W903 manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd. may be mentioned.

本発明に使用するシリコーンパウダー(D)としては、シロキサン結合が三次元網目状に架橋したポリメチルシルセスキオキサンを微粉末化したもの、ビニル基含有ジメチルポリシロキサンとメチルハイドロジェンポリシロキサンの付加重合物を微粉末化したもの、ビニル基含有ジメチルポリシロキサンとメチルハイドロジェンポリシロキサンの付加重合物による微粉末の表面にシロキサン結合が三次元網目状に架橋したポリメチルシルセスキオキサンを被覆させたもの、無機担持体表面にシロキサン結合が三次元網目状に架橋したポリメチルシルセスキオキサンを被服させたもの等が挙げられる。
シリコーンパウダーには、シリコーンゴムパウダー、シリコーンレジンパウダー、シリコーン複合パウダーなどがあるがそのいずれでも使用可能である。シリコーンパウダーは、粗化処理時に脱離しやすく、アンカー効果により、導体層の接着強度を高める効果がある。粒子の形状としては、特に限定されるものではないが、粗化処理での脱離しやすさの観点から、球状のものが好ましい。
As the silicone powder (D) used in the present invention, polymethylsilsesquioxane having a siloxane bond crosslinked in a three-dimensional network is finely powdered, and vinyl group-containing dimethylpolysiloxane and methylhydrogenpolysiloxane are added. The surface of a fine powder made of a polymerized fine powder or an addition polymer of vinyl group-containing dimethylpolysiloxane and methylhydrogenpolysiloxane is coated with polymethylsilsesquioxane in which a siloxane bond is crosslinked in a three-dimensional network. And those coated with polymethylsilsesquioxane in which siloxane bonds are crosslinked in a three-dimensional network on the surface of the inorganic carrier.
Silicone powder includes silicone rubber powder, silicone resin powder, and silicone composite powder, any of which can be used. Silicone powder is easily detached during the roughening treatment, and has an effect of increasing the adhesive strength of the conductor layer by an anchor effect. The shape of the particle is not particularly limited, but a spherical shape is preferable from the viewpoint of easy detachment in the roughening treatment.

シリコーンパウダー(D)の粒径としては、脱離後の表面凹凸を考慮すると、平均粒子径(D50)が0.1〜5μmが好ましく、より好ましくは0.2〜2μmである。   As the particle diameter of the silicone powder (D), the average particle diameter (D50) is preferably from 0.1 to 5 μm, more preferably from 0.2 to 2 μm, considering the surface irregularities after desorption.

シリコーンパウダー(D)の配合量としては、成分(A)、(B)および(E)の合計100質量部、マレイミド化合物(F)を使用する場合は、成分(A)、(B)、(E)および(F)の合計100質量部に対し、1〜50質量部が好ましく、より好ましくは3〜30質量部である。前記の配合量であれば、成形性と接着性の向上効果を併せ持つことができる。また、平均粒子径が上記範囲内にあれば、成形性が良好であり、且つ粗化後に脱離しやすく、微細な表面凹凸の形成が可能となる。   As a compounding quantity of silicone powder (D), when using a total of 100 mass parts of component (A), (B) and (E), and a maleimide compound (F), component (A), (B), ( 1-50 mass parts is preferable with respect to a total of 100 mass parts of E) and (F), More preferably, it is 3-30 mass parts. If it is the said compounding quantity, it can have the improvement effect of a moldability and adhesiveness. Further, if the average particle diameter is within the above range, the moldability is good, and it is easy to detach after roughening, and fine surface irregularities can be formed.

本発明で使用するポリビニルアセタール(E)としては、ポリビニルブチラール、ポリビニルアセトアセタールなど公知の化合物が使用できる。市販されているものとしては、エスレックBL−1、BL−5、BL−SなどのBLシリーズ、BM−1、BM−2、BM−SなどのBMシリーズ、BX−1、BX−3などのBXシリーズ、BH−3、BH−AなどのBHシリーズ、KS−10、KS−1、KS−3、KS−5、KS−5ZなどのKSシリーズ(いずれも積水化学工業(株)製)や、電化ブチラール3000−1、3000−4、3000−K、4000−2,5000−A,5000−D、6000−C,6000−EP、6000−ASなど(いずれも電気化学工業(株)製)が使用可能である。この中でも、接着性の観点から、KS−10、KS−1、KS−3、KS−5、KS−5Z等のKSシリーズ(いずれも積水化学工業(株)製)や、5000−D、6000−ASなど(いずれも電気化学工業(株)製)一般式(3)で表されるポリビニルアセトアセタールが好ましく、加熱時の熱溶融性の観点から、計算分子量で5万以下が好ましい。

Figure 2013035960
ここで計算分子量とは、ポリビニルアルコールの重合度(原料メーカーからの報告)を元に、アセタール基、アセチル基、水酸基でそれぞれの分子量とそれぞれの比率から1ユニットの平均分子量を計算し、これに重合度をかけたものである。 As the polyvinyl acetal (E) used in the present invention, known compounds such as polyvinyl butyral and polyvinyl acetoacetal can be used. Commercially available products include BL series such as S-REC BL-1, BL-5, BL-S, BM series such as BM-1, BM-2, BM-S, BX-1, BX-3, etc. BX series, BH series such as BH-3, BH-A, KS series such as KS-10, KS-1, KS-3, KS-5, KS-5Z (all manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) , Electrified butyral 3000-1, 3000-4, 3000-K, 4000-2, 5000-A, 5000-D, 6000-C, 6000-EP, 6000-AS, etc. (all manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd.) Can be used. Among these, from the viewpoint of adhesiveness, KS series (all manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) such as KS-10, KS-1, KS-3, KS-5, and KS-5Z, 5000-D, and 6000 -AS etc. (both manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd.) are preferred, and polyvinyl acetoacetal represented by the general formula (3) is preferable, and the calculated molecular weight is preferably 50,000 or less from the viewpoint of heat melting property during heating.
Figure 2013035960
Here, the calculated molecular weight is based on the degree of polymerization of polyvinyl alcohol (reported by the raw material manufacturer), and calculates the average molecular weight of 1 unit from the respective molecular weights and the respective ratios for the acetal group, acetyl group, and hydroxyl group. The degree of polymerization is multiplied.

ポリビニルアセタール(E)の配合量としては、成分(A)、(B)および(E)の合計100質量部、マレイミド化合物(F)を使用する場合は、耐熱性の観点から、成分(A)、(B)、(E)および(F)の合計100質量部に対し、1〜30質量部が好ましく、より好ましくは2〜10質量部である。   As a compounding quantity of polyvinyl acetal (E), when using a total of 100 mass parts of component (A), (B) and (E) and a maleimide compound (F), from a heat resistant viewpoint, component (A) , (B), (E) and (F) are preferably 1 to 30 parts by mass, more preferably 2 to 10 parts by mass, with respect to 100 parts by mass in total.

本発明に使用されるマレイミド化合物(F)としては、1分子中に1個以上のマレイミド基を有する化合物であれば、特に限定されず、N−フェニルマレイミド、N−ヒドロフェニルマレイミド、ビス(4−マレイミドフェニル)メタン、2,2−ビス{4−(4−マレイミドフェノキシ)−フェニル}プロパン、ビス(3,5−ジメチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3,5−ジエチル−4−マレイミドフェニル)メタンなどが挙げられる。なお、これらビスマレイミド化合物のプレポリマー、もしくはビスマレイミド化合物とアミン化合物のプレポリマー、トリアジンとの反応物であるビスマレイミドトリアジン樹脂などの形で配合する事もでき、1種もしくは2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
この中でもより好適なものとしては、耐熱性の観点から、ビス(4−マレイミドフェニル)メタン、2,2−ビス{4−(4−マレイミドフェノキシ)−フェニル}プロパン、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタンが挙げられる。
The maleimide compound (F) used in the present invention is not particularly limited as long as it is a compound having one or more maleimide groups in one molecule. N-phenylmaleimide, N-hydrophenylmaleimide, bis (4 -Maleimidophenyl) methane, 2,2-bis {4- (4-maleimidophenoxy) -phenyl} propane, bis (3,5-dimethyl-4-maleimidophenyl) methane, bis (3-ethyl-5-methyl- 4-maleimidophenyl) methane, bis (3,5-diethyl-4-maleimidophenyl) methane, and the like. These bismaleimide compound prepolymers, bismaleimide compound and amine compound prepolymers, bismaleimide triazine resin, which is a reaction product of triazine, and the like can be blended, and one or two or more types can be appropriately selected. It is also possible to use a mixture.
Among these, more preferred are bis (4-maleimidophenyl) methane, 2,2-bis {4- (4-maleimidophenoxy) -phenyl} propane, bis (3-ethyl-5) from the viewpoint of heat resistance. -Methyl-4-maleimidophenyl) methane.

マレイミド化合物(F)の配合量は、成分(A)、(B)、(E)および(F)の合計100質量部に対し、5〜50質量部が好ましく、より好ましくは、樹脂合計配合量100質量部中、5〜20質量部である。マレイミド化合物の含有量をこの範囲とすることにより、吸湿耐熱性と、耐熱性とを両立させることができる。また、マレイミド化合物は、硬化に必要な温度が高く、低温では反応が進みにくいが、マレイミド化合物の含有量をこの範囲とすることにより、樹脂組成物の表面を粗化処理し、めっきによりパターン形成する際、積層成形時の硬化度の調整が容易になり、粗化処理後の表面粗度の調整を容易にすることができる。   As for the compounding quantity of a maleimide compound (F), 5-50 mass parts is preferable with respect to a total of 100 mass parts of component (A), (B), (E), and (F), More preferably, resin total compounding quantity It is 5-20 mass parts in 100 mass parts. By making content of a maleimide compound into this range, moisture absorption heat resistance and heat resistance can be made compatible. The maleimide compound has a high temperature required for curing, and the reaction does not proceed easily at low temperatures. By setting the content of the maleimide compound within this range, the surface of the resin composition is roughened and a pattern is formed by plating. In this case, it is easy to adjust the degree of curing at the time of lamination molding, and it is possible to easily adjust the surface roughness after the roughening treatment.

また本発明の樹脂組成物においては、所期の特性が損なわれない範囲において、硬化促進剤を併用しても差し使えない。用いうる硬化促進剤としては、例えば、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、トリフェニルイミダゾール等のイミダゾール類、2−(ジメチルアミノメチル)フェノール、トリエチレンジアミン、トリエタノールアミン、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7等の三級アミン類、トリフェニルホスフィン、ジフェニルホスフィン、トリブチルホスフィン等の有機ホスフィン類、オクチル酸亜鉛などの金属化合物、テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート、テトラフェニルホスホニウム・エチルトリフェニルボレート、2−エチル−4−メチルイミダゾール・テトラフェニルボレート、N−メチルモルホリン・テトラフェニルボレート等のテトラフェニルボロン塩などが挙げられ、1種もしくは2種以上を適宜混合して使用することが可能である。   Moreover, in the resin composition of this invention, even if it uses a hardening accelerator together in the range by which the desired characteristic is not impaired, it cannot be used. Examples of the curing accelerator that can be used include imidazoles such as 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, and triphenylimidazole, and 2- (dimethylaminomethyl) phenol. , Tertiary amines such as triethylenediamine, triethanolamine, 1,8-diazabicyclo (5,4,0) undecene-7, organic phosphines such as triphenylphosphine, diphenylphosphine, tributylphosphine, zinc octylate, etc. Metal compounds, tetraphenylphosphonium / tetraphenylborate, tetraphenylphosphonium / ethyltriphenylborate, 2-ethyl-4-methylimidazole / tetraphenylborate, N-methylmorpholine / tetraphenyl Rate, and the like, such as tetraphenyl boron salts may be mentioned of, it is possible to use a mixture of one or more appropriate.

硬化促進剤の配合量は、成分(A)、(B)および(E)の合計100質量部、マレイミド化合物(F)を使用する場合は、成分(A)、(B)、(E)および(F)の合計100質量部に対し、0.01〜15質量部であることがプリプレグの保存安定性の観点から好ましい。   The blending amount of the curing accelerator is 100 parts by mass in total of the components (A), (B) and (E). When the maleimide compound (F) is used, the components (A), (B), (E) and From the viewpoint of storage stability of the prepreg, it is preferably 0.01 to 15 parts by mass with respect to 100 parts by mass in total of (F).

本発明の樹脂組成物においては、所期の特性が損なわれない範囲において、他の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂及びそのオリゴマー、エラストマー類などの種々の高分子化合物、他の耐燃焼性の高い化合物、添加剤などの併用も可能である。これらは一般に使用されているものであれば、特に限定されるものではない。例えば、耐燃焼性の高い化合物は、メラミンやベンゾグアナミン、アミノトリアジン骨格を含むフェノール樹脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂などの窒素含有化合物、オキサジン環含有化合物などが挙げられる。添加剤としては、紫外線吸収剤、酸化防止剤、光重合開始剤、蛍光増白剤、光増感剤、染料、顔料、増粘剤、滑剤、消泡剤、分散剤、レベリング剤、光沢剤、重合禁止剤等、所望に応じて適宜組み合わせて使用することも可能である。   In the resin composition of the present invention, other thermosetting resins, thermoplastic resins and oligomers thereof, various polymer compounds such as elastomers, and other combustible resistances, as long as the desired properties are not impaired. Combinations of high compounds and additives are also possible. These are not particularly limited as long as they are generally used. For example, examples of the compound having high combustion resistance include melamine, benzoguanamine, a phenol resin containing an aminotriazine skeleton, a nitrogen-containing compound such as a bismaleimide triazine resin, and an oxazine ring-containing compound. Additives include UV absorbers, antioxidants, photopolymerization initiators, optical brighteners, photosensitizers, dyes, pigments, thickeners, lubricants, antifoaming agents, dispersants, leveling agents, brighteners In addition, a polymerization inhibitor or the like can be used in appropriate combination as desired.

本発明の樹脂組成物は、必要に応じて、有機溶剤に溶解した樹脂組成物の溶液として用いることが可能である。有機溶剤としては本発明における各種成分の混合物を溶解するものであれば、特に限定されるものではない。具体的には、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド等の極性溶剤類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素溶剤類等が例示され、単独或いは2種以上混合して用いられる。   The resin composition of the present invention can be used as a solution of a resin composition dissolved in an organic solvent, if necessary. The organic solvent is not particularly limited as long as it dissolves a mixture of various components in the present invention. Specific examples include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, and methyl isobutyl ketone, polar solvents such as dimethylacetamide and dimethylformamide, and aromatic hydrocarbon solvents such as toluene and xylene. Used.

本発明のプリプレグの製造方法は、上記の樹脂組成物と基材とを組み合わせてプリプレグを製造する方法であれば、特に限定されない。具体的には、本発明の樹脂組成物を基材に含浸または塗布させ、100〜200℃の乾燥機中で、1〜60分加熱させる方法などにより半硬化させ、プリプレグを製造する方法などが挙げられる。基材に対する樹脂組成物の付着量は、プリプレグの樹脂量(無機充填材を含む)で20〜95質量%の範囲が好ましい。   The method for producing a prepreg of the present invention is not particularly limited as long as it is a method for producing a prepreg by combining the above resin composition and a substrate. Specifically, a method for producing a prepreg by impregnating or applying the resin composition of the present invention to a substrate and semi-curing it by a method of heating for 1 to 60 minutes in a dryer at 100 to 200 ° C. Can be mentioned. The amount of the resin composition attached to the substrate is preferably in the range of 20 to 95% by mass in terms of the resin amount of the prepreg (including the inorganic filler).

本発明においてプリプレグを製造する際に使用する基材としては、各種プリント配線板材料に用いられている公知のものを使用することができる。例えば、Eガラス、Dガラス、Sガラス、Tガラス、NEガラス、クォーツ、液晶ポリエステル等の織布が挙げられる。織布の厚みは特に限定されないが、0.01〜0.3mmの範囲の積層板用途に使用されるもので、特に超開繊処理や目詰め処理を施した織布が、寸法安定性の面から好適である。またエポキシシラン処理、アミノシラン処理などのシランカップリング剤などで表面処理したガラス織布は吸湿耐熱性の面から好ましい。また液晶ポリエステル織布は、電気特性の面から好ましい。   As a base material used when manufacturing a prepreg in this invention, the well-known thing used for various printed wiring board materials can be used. Examples thereof include woven fabrics such as E glass, D glass, S glass, T glass, NE glass, quartz, and liquid crystal polyester. Although the thickness of the woven fabric is not particularly limited, it is used for laminated plate applications in the range of 0.01 to 0.3 mm. Particularly, the woven fabric subjected to the ultra-opening treatment and the plugging treatment has dimensional stability. From the aspect, it is preferable. A glass woven fabric surface-treated with a silane coupling agent such as epoxy silane treatment or amino silane treatment is preferred from the viewpoint of moisture absorption heat resistance. A liquid crystal polyester woven fabric is preferable from the viewpoint of electrical characteristics.

本発明の樹脂シートは、当業者に公知の方法、例えば、有機溶剤に樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、支持フィルムを支持体として、この樹脂ワニスを塗布し、更に加熱、あるいは熱風吹きつけ等により有機溶剤を乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。   The resin sheet of the present invention is prepared by a method known to those skilled in the art, for example, by preparing a resin varnish obtained by dissolving a resin composition in an organic solvent, applying the resin varnish using a support film as a support, and further heating or hot air. The organic solvent can be dried by spraying or the like to form a resin composition layer.

乾燥条件は特に限定されないが、樹脂組成物層への有機溶剤の含有割合が通常10質量部以下、好ましくは5質量部以下となるように乾燥させる。ワニス中の有機溶媒量によっても異なるが、例えば30〜60質量部の有機溶剤を含むワニスを50〜150℃で3〜10分程度乾燥させることができる。   The drying conditions are not particularly limited, but the drying is performed so that the content of the organic solvent in the resin composition layer is usually 10 parts by mass or less, preferably 5 parts by mass or less. Although it depends on the amount of organic solvent in the varnish, for example, a varnish containing 30 to 60 parts by mass of an organic solvent can be dried at 50 to 150 ° C. for about 3 to 10 minutes.

樹脂シートにおいて形成される樹脂組成物層の厚さは、通常、導体層の厚さ以上とする。回路基板が有する導体層の厚さは通常5〜70μmの範囲であるので、樹脂組成物層の厚さは10〜100μmの厚みを有するのが好ましい。   The thickness of the resin composition layer formed in the resin sheet is usually not less than the thickness of the conductor layer. Since the thickness of the conductor layer of the circuit board is usually in the range of 5 to 70 μm, the thickness of the resin composition layer is preferably 10 to 100 μm.

本発明の金属箔張積層板は上述のプリプレグを用いて積層成形したものである。具体的には、前述のプリプレグを一枚あるいは複数枚重ね、その片面もしくは両面に金属箔を配置して、例えば温度180〜220℃、加熱時間100〜300分、面圧20〜40kgf/cmで積層成形することにより製造する。使用する金属箔の厚みは、プリント配線板材料に使用されるものであれば特に限定はないが、好適には3〜35μmである。
また金属箔マット面を絶縁層表面に転写させ、絶縁層表面に転写された凹凸のアンカー効果によって絶縁層上に形成するめっき導体層との密着を高めることができる観点から、マット面のRzが1.5μm〜2.5μmの金属箔が好適である。ここで、Rzとは、金属箔マット面の表面粗さを表す指標であり、通常レーザー顕微鏡により粗さ曲線を測定し平均線から高い山頂から順に5つ、低い谷底から順に5つ抽出しそれぞれの絶対値の平均を算出して表す。
また多層板の製造方法としては、例えば、本発明のプリプレグ1枚の両面に、35μmの銅箔を配置して、上記条件にて積層形成した後、内層回路を形成し、この回路に黒化処理を実施して、内層回路板とする。この内層回路板と本発明のプリプレグを組み合わせ積層成形することにより多層板とすることも可能である。
The metal foil-clad laminate of the present invention is formed by lamination using the above prepreg. Specifically, one or a plurality of the prepregs described above are stacked, and a metal foil is disposed on one or both sides thereof. For example, the temperature is 180 to 220 ° C., the heating time is 100 to 300 minutes, and the surface pressure is 20 to 40 kgf / cm 2. It is manufactured by laminating and molding. Although the thickness of the metal foil to be used will not be specifically limited if it is used for printed wiring board material, it is 3-35 micrometers suitably.
Further, from the viewpoint that the metal foil mat surface is transferred to the surface of the insulating layer, and the adhesion with the plated conductor layer formed on the insulating layer can be enhanced by the uneven anchor effect transferred to the surface of the insulating layer, the Rz of the mat surface is A metal foil of 1.5 μm to 2.5 μm is suitable. Here, Rz is an index representing the surface roughness of the metal foil mat surface, and a roughness curve is usually measured by a laser microscope, and five from the average line are extracted in order from the highest peak, and five from the lowest valley are extracted in order. The average of the absolute values of is calculated and expressed.
As a method for producing a multilayer board, for example, a 35 μm copper foil is disposed on both surfaces of one prepreg of the present invention, laminated under the above conditions, an inner layer circuit is formed, and this circuit is blackened. Processing is performed to obtain an inner layer circuit board. It is also possible to form a multilayer board by combining and molding this inner layer circuit board and the prepreg of the present invention.

本発明のプリプレグ及び樹脂シートはビルドアップ材料として使用することができる。ここで、ビルドアップとは、プリプレグまたは樹脂シートを一層ごとに孔あけ加工、配線形成などを繰り返すことによって多層構造のプリント配線板を作製することである。
具体的方法としては、内層回路板若しくは銅やアルミ等金属の支持体の片面又は両面に、本発明のプリプレグ又は樹脂シートを配置し、その後銅やアルミニウム等の金属箔若しくは離型フィルムをその外側に配置するという操作を繰り返すことで積層成形する。
その後、一般的には配線回路上に形成された絶縁層に孔開けを行い、ビアホール、スルーホールを形成する。穴あけは、NCドリル、炭酸ガスレーザー、UVレーザー、YAGレーザー、プラズマ等の公知の方法により行い、また必要によりこれらの方法を組み合わせて行う。
積層成形条件としては、通常のプリント配線板用積層板及び多層板の手法が適用でき、例えば多段プレス、多段真空プレス、ラミネーター、真空ラミネーター、オートクレーブ成形機などを使用し、温度は100〜300℃、圧力は0.1〜100kgf/cm、加熱時間は30秒〜5時間の範囲で適宜選択し成形する。また、必要に応じて150〜300℃の温度で後硬化を行い、硬化度を調整しても良い。
その後、絶縁層表面にめっきをするが、めっきの密着性、スミア除去の観点から絶縁層に表面処理をすることが好ましい。表面処理としては、粗化処理、シランカップリング処理等があるが、特にめっきの密着性を高める観点から、粗化処理を行う。この場合、樹脂組成物の硬化度の違いにより、粗化状態が異なるため、積層成形条件は、その後の粗化処理条件やめっき条件との組み合わせで最適な条件を選ぶことが好ましい。
The prepreg and resin sheet of the present invention can be used as a build-up material. Here, the build-up is to produce a printed wiring board having a multilayer structure by repeating drilling, wiring formation, etc. for each layer of the prepreg or resin sheet.
As a specific method, the prepreg or the resin sheet of the present invention is arranged on one side or both sides of an inner layer circuit board or a metal support such as copper or aluminum, and then a metal foil or release film such as copper or aluminum is placed on the outer side thereof. Lamination is performed by repeating the operation of disposing the material.
Thereafter, generally, a hole is formed in an insulating layer formed on the wiring circuit to form a via hole and a through hole. Drilling is performed by a known method such as an NC drill, a carbon dioxide laser, a UV laser, a YAG laser, or plasma, or a combination of these methods if necessary.
As a lamination molding condition, a method of a general laminated board for printed wiring boards and a multilayer board can be applied, for example, using a multistage press, a multistage vacuum press, a laminator, a vacuum laminator, an autoclave molding machine, and the temperature is 100 to 300 ° C. The pressure is suitably selected in the range of 0.1 to 100 kgf / cm 2 , and the heating time is in the range of 30 seconds to 5 hours. Further, if necessary, post-curing may be performed at a temperature of 150 to 300 ° C. to adjust the degree of curing.
Thereafter, the surface of the insulating layer is plated, but it is preferable to subject the insulating layer to a surface treatment from the viewpoint of adhesion of plating and removal of smear. As the surface treatment, there are a roughening treatment, a silane coupling treatment, and the like. In particular, the roughening treatment is performed from the viewpoint of improving the adhesion of plating. In this case, since the roughening state varies depending on the difference in the degree of cure of the resin composition, it is preferable to select optimum conditions for the lamination molding conditions in combination with the subsequent roughening treatment conditions and plating conditions.

次に、前記粗化処理について詳細に説明する。該工程は、孔あけ工程により生じたスミア除去も兼ねる。粗化処理としては、濡れ性を向上させるための膨潤剤による表面絶縁層膨潤工程、酸化剤による表面粗化及びスミア溶解工程及び還元剤による中和工程からなる。
膨潤工程における膨潤剤としては表面絶縁層の濡れ性が向上し、次の粗化工程において酸化分解が促進する程度にまで膨潤させることができるものであればよく、例えばアルカリ溶液、界面活性剤溶液等が用いられる。
酸化剤による表面粗化及びスミア溶解工程における酸化剤としては、過マンガン酸塩溶液等が用いられる。また、これらのウェットデスミアと呼ばれる方法に加えて、プラズマ処理やUV処理によるドライデスミア、バフ等による機械研磨、サンドブラスト等、公知の粗化処理も組み合わせて使用できる。過マンガン酸塩溶液の具体例としては、過マンガン酸カリウム水溶液、過マンガン酸ナトリウム水溶液が好適に用いられる。
中和工程における還元剤としては、アミン系還元剤を用いることができ、例えばヒドロキシルアミン硫酸塩水溶液、エチレンジアミン四酢酸水溶液、ニトリロ三酢酸水溶液等の酸性還元剤が挙げられる。
Next, the roughening process will be described in detail. This process also serves to remove smears generated by the drilling process. The roughening treatment includes a surface insulating layer swelling step with a swelling agent for improving wettability, a surface roughening and smear dissolving step with an oxidizing agent, and a neutralizing step with a reducing agent.
As the swelling agent in the swelling step, any material may be used as long as it improves the wettability of the surface insulating layer and can swell to the extent that oxidative decomposition is promoted in the next roughening step. Etc. are used.
A permanganate solution or the like is used as the oxidizing agent in the surface roughening and smear dissolving step with the oxidizing agent. In addition to these methods called wet desmearing, known roughening treatments such as dry desmear by plasma treatment or UV treatment, mechanical polishing by buffing, sandblasting, etc. can also be used in combination. As specific examples of the permanganate solution, a potassium permanganate aqueous solution and a sodium permanganate aqueous solution are preferably used.
As the reducing agent in the neutralization step, an amine-based reducing agent can be used, and examples thereof include acidic reducing agents such as hydroxylamine sulfate aqueous solution, ethylenediaminetetraacetic acid aqueous solution, and nitrilotriacetic acid aqueous solution.

微細配線を形成する上で、粗化処理後の表面凹凸は小さいほうが好ましい。具体的には、Rz値で4.0μm以下が好ましく、より好ましくは2.0μm以下である。粗化処理後の表面凹凸は、樹脂組成物の硬化度と、粗化処理条件で決まるため、所望の表面凹凸を得るための最適条件を選ぶことが好ましい。   In forming fine wiring, it is preferable that the surface roughness after the roughening treatment is small. Specifically, the Rz value is preferably 4.0 μm or less, more preferably 2.0 μm or less. Since the surface irregularities after the roughening treatment are determined by the degree of cure of the resin composition and the roughening treatment conditions, it is preferable to select optimum conditions for obtaining the desired surface irregularities.

次に、粗化処理後のめっき工程について詳細に説明する。めっきによるパターン形成方法としては、セミアディティブ法、フルアディティブ法、予めめっきで導体層を形成しておきサブトラクティブ法でパターンを形成する方法など、公知の方法が利用できるが、微細配線形成には、セミアディティブ法が好ましい。   Next, the plating process after the roughening treatment will be described in detail. As a pattern forming method by plating, known methods such as a semi-additive method, a full additive method, a method of forming a conductor layer by plating in advance and forming a pattern by a subtractive method can be used. The semi-additive method is preferred.

めっきによるパターン形成は、めっき後に乾燥を行うことにより、接着強度が増すため、めっき後に乾燥を行うことが好ましい。セミアディティブ法によるパターン形成では、無電解めっきと電解めっきを組み合わせて行うが、その際、無電解めっきの後と、電解めっきの後に、それぞれ乾燥を行うことが好ましい。無電解後の乾燥は80〜180℃で10〜120分の乾燥を行うことが好ましく、電解めっき後の乾燥は130〜220℃で10〜120分の乾燥を行うことが好ましい。   The pattern formation by plating is preferably performed after plating because the adhesive strength is increased by drying after plating. The pattern formation by the semi-additive method is performed by combining electroless plating and electrolytic plating. In this case, it is preferable to perform drying after the electroless plating and after the electrolytic plating. Drying after electroless is preferably performed at 80 to 180 ° C. for 10 to 120 minutes, and drying after electrolytic plating is preferably performed at 130 to 220 ° C. for 10 to 120 minutes.

以下に実施例、比較例を示し、本発明を詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited thereto.

(実施例1)
式(1)で示されるナフトールアラルキル樹脂(SN495V2、新日鉄化学製)15質量部、式(2)で示されるビフェニルアラルキル型フェノール樹脂(KAYAHARD GPH−103、日本化薬製、水酸基当量:231g/eq.)15質量部、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(NC−3000−FH、エポキシ当量:321g/eq.、日本化薬製)45質量部、ナフタレン4官能エポキシ樹脂(EXA−4710、DIC製)4質量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、ベーマイト(APYRAL AOH60、Nabaltec製)120質量部、シリコーンレジンパウダー(MSP−N050、日興リカ製)10質量部を加え、ホモジェナイザーにて1時間撹拌しながら分散させた。さらに、ポリビニルアセトアセタール(KS−10、積水化学工業(株)製)3質量部をトルエンに溶解させてから加え、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤(LA3018、DIC社製)3質量部、イミダゾール(2E4MZ、四国化成工業(株)製)0.02質量部を加えて撹拌し、ワニス1を得た。このワニス1をメチルエチルケトンで希釈し、厚さ0.1mmのEガラス織布に含浸塗工し、160℃で5分間加熱乾燥して、樹脂含有量47.5質量%のプリプレグを得た。
Example 1
15 parts by mass of naphthol aralkyl resin represented by formula (1) (SN495V2, manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), biphenyl aralkyl type phenol resin represented by formula (2) (KAYAHARD GPH-103, manufactured by Nippon Kayaku, hydroxyl equivalent: 231 g / eq .) 15 parts by mass, biphenyl aralkyl type epoxy resin (NC-3000-FH, epoxy equivalent: 321 g / eq., Manufactured by Nippon Kayaku), 45 parts by mass, naphthalene tetrafunctional epoxy resin (EXA-4710, manufactured by DIC) 4 parts by mass Parts are dissolved and mixed with methyl ethyl ketone, 120 parts by weight of boehmite (APYRAL AOH60, manufactured by Nabaltec) and 10 parts by weight of silicone resin powder (MSP-N050, manufactured by Nikko Rica) are added and dispersed with stirring for 1 hour using a homogenizer. It was. Furthermore, 3 parts by mass of polyvinyl acetoacetal (KS-10, manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) was dissolved in toluene and added, and 3 parts by mass of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent (LA3018, manufactured by DIC), imidazole ( Varnish 1 was obtained by adding 0.02 parts by mass of 2E4MZ (manufactured by Shikoku Chemicals Co., Ltd.) and stirring. This varnish 1 was diluted with methyl ethyl ketone, impregnated and coated on a 0.1 mm thick E glass woven fabric, and heated and dried at 160 ° C. for 5 minutes to obtain a prepreg having a resin content of 47.5 mass%.

(実施例2)
ナフトールアラルキル樹脂30質量部、クレゾールノボラック樹脂(KA−1165、DIC社製)15質量部、ノボラック型エポキシ樹脂(N770、DIC社製)15質量部、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂30質量部、ナフタレン4官能エポキシ樹脂4質量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、ベーマイト(APYRAL AOH60、Nabaltec製)120質量部、シリコーンレジンパウダー5質量部を加え、ホモジェナイザーにて1時間撹拌しながら分散させた。さらに、ポリビニルアセトアセタール5質量部をトルエンに溶解させてから加え、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤3質量部、イミダゾール0.02質量部を加えて撹拌し、ワニス2を得た。このワニス2をメチルエチルケトンで希釈し、厚さ0.1mmのEガラス織布に含浸塗工し、160℃で5分間加熱乾燥して、樹脂含有量47.5質量%のプリプレグを得た。
(Example 2)
30 parts by mass of naphthol aralkyl resin, 15 parts by mass of cresol novolac resin (KA-1165, manufactured by DIC), 15 parts by mass of novolac type epoxy resin (N770, manufactured by DIC), 30 parts by mass of biphenyl aralkyl type epoxy resin, 4-functional naphthalene 4 parts by mass of epoxy resin was dissolved and mixed with methyl ethyl ketone, 120 parts by mass of boehmite (APYRAL AOH60, manufactured by Nabaltec) and 5 parts by mass of silicone resin powder were added and dispersed with stirring for 1 hour in a homogenizer. Furthermore, 5 parts by mass of polyvinyl acetoacetal was dissolved in toluene and added, and 3 parts by mass of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent and 0.02 parts by mass of imidazole were added and stirred to obtain varnish 2. This varnish 2 was diluted with methyl ethyl ketone, impregnated and coated on a 0.1 mm thick E glass woven fabric, and heated and dried at 160 ° C. for 5 minutes to obtain a prepreg having a resin content of 47.5 mass%.

(実施例3)
ナフトールアラルキル樹脂15質量部、フェノールノボラック樹脂(TD−2090、DIC社製)15質量部、クレゾールノボラック樹脂15質量部、ノボラック型エポキシ樹脂15質量部、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂30質量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、ベーマイト(APYRAL AOH60、Nabaltec製)150質量部、シリコーンレジンパウダー5質量部を加え、ホモジェナイザーにて1時間撹拌しながら分散させた。さらに、ポリビニルアセトアセタール5質量部をトルエンに溶解させてから加え、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤3質量部、イミダゾール0.02質量部を加えて撹拌し、ワニス3を得た。このワニス3をメチルエチルケトンで希釈し、厚さ0.1mmのEガラス織布に含浸塗工し、160℃で5分間加熱乾燥して、樹脂含有量47.5質量%のプリプレグを得た。
(Example 3)
15 parts by mass of naphthol aralkyl resin, 15 parts by mass of phenol novolac resin (TD-2090, manufactured by DIC), 15 parts by mass of cresol novolac resin, 15 parts by mass of novolac type epoxy resin, and 30 parts by mass of biphenyl aralkyl type epoxy resin are dissolved in methyl ethyl ketone. After mixing, 150 parts by mass of boehmite (APYRAL AOH60, manufactured by Nabaltec) and 5 parts by mass of silicone resin powder were added, and the mixture was dispersed with stirring for 1 hour using a homogenizer. Furthermore, 5 parts by mass of polyvinyl acetoacetal was dissolved in toluene and then added, and 3 parts by mass of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent and 0.02 parts by mass of imidazole were added and stirred to obtain varnish 3. This varnish 3 was diluted with methyl ethyl ketone, impregnated and coated on a 0.1 mm thick E glass woven fabric, and heated and dried at 160 ° C. for 5 minutes to obtain a prepreg having a resin content of 47.5 mass%.

(実施例4)
ナフトールアラルキル樹脂15質量部、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂15質量部、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂45質量部、ナフタレン4官能エポキシ樹脂4質量部、マレイミド化合物(BMI−70、ケイアイ化成製)17質量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、ベーマイト(APYRAL AOH60、Nabaltec製)120質量部、シリコーンレジンパウダー10質量部を加え、ホモジェナイザーにて1時間撹拌しながら分散させた。さらに、ポリビニルアセトアセタール3質量部をトルエンに溶解させてから加え、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤3質量部、イミダゾール0.02質量部を加えて撹拌し、ワニス4を得た。このワニス4をメチルエチルケトンで希釈し、厚さ0.1mmのEガラス織布に含浸塗工し、160℃で5分間加熱乾燥して、樹脂含有量47.5質量%のプリプレグを得た。
Example 4
15 parts by mass of naphthol aralkyl resin, 15 parts by mass of biphenyl aralkyl type phenol resin, 45 parts by mass of biphenyl aralkyl type epoxy resin, 4 parts by mass of naphthalene tetrafunctional epoxy resin, 17 parts by mass of maleimide compound (BMI-70, manufactured by KAI Kasei) Then, 120 parts by mass of boehmite (APYRAL AOH60, manufactured by Nabaltec) and 10 parts by mass of silicone resin powder were added and dispersed with stirring for 1 hour in a homogenizer. Furthermore, 3 parts by mass of polyvinyl acetoacetal was dissolved in toluene and then added, and 3 parts by mass of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent and 0.02 parts by mass of imidazole were added and stirred to obtain varnish 4. This varnish 4 was diluted with methyl ethyl ketone, impregnated and coated on a 0.1 mm thick E glass woven fabric, and heated and dried at 160 ° C. for 5 minutes to obtain a prepreg having a resin content of 47.5 mass%.

(実施例5)
ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂15質量部、フェノールノボラック樹脂15質量部、クレゾールノボラック樹脂15質量部、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂25質量部、ノボラック型エポキシ樹脂25質量部、ナフタレン4官能エポキシ樹脂4質量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、ベーマイト(APYRAL AOH60、Nabaltec製)150質量部、シリコーンレジンパウダー10質量部を加え、ホモジェナイザーにて1時間撹拌しながら分散させた。さらに、ポリビニルアセトアセタール5質量部をトルエンに溶解させてから加え、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤3質量部、イミダゾール0.02質量部を加えて撹拌し、ワニス5を得た。このワニス5をメチルエチルケトンで希釈し、厚さ0.1mmのEガラス織布に含浸塗工し、160℃で5分間加熱乾燥して、樹脂含有量47.5質量%のプリプレグを得た。
(Example 5)
15 parts by mass of biphenyl aralkyl type phenol resin, 15 parts by mass of phenol novolac resin, 15 parts by mass of cresol novolac resin, 25 parts by mass of biphenyl aralkyl type epoxy resin, 25 parts by mass of novolac type epoxy resin, 4 parts by mass of naphthalene tetrafunctional epoxy resin Then, 150 parts by mass of boehmite (APYRAL AOH60, manufactured by Nabaltec) and 10 parts by mass of silicone resin powder were added and dispersed with stirring for 1 hour in a homogenizer. Furthermore, 5 parts by mass of polyvinyl acetoacetal was dissolved in toluene and then added, and 3 parts by mass of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent and 0.02 parts by mass of imidazole were added and stirred to obtain varnish 5. This varnish 5 was diluted with methyl ethyl ketone, impregnated and coated on a 0.1 mm thick E glass woven fabric, and heated and dried at 160 ° C. for 5 minutes to obtain a prepreg having a resin content of 47.5 mass%.

(実施例6)
ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂15質量部、クレゾールノボラック樹脂15質量部、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂15質量部、ノボラック型エポキシ樹脂30質量部、ナフタレン4官能エポキシ樹脂4質量部、マレイミド化合物17質量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、無機充填材に対して0.5質量%のイミダゾールシラン(IS−1000日鉱金属製)で表面処理したベーマイト(APYRAL AOH60、Nabaltec製)150質量部、シリコーンレジンパウダー5質量部を加え、ホモジェナイザーにて1時間撹拌しながら分散させた。さらに、ポリビニルアセトアセタール3質量部をトルエンに溶解させてから加え、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤3質量部、イミダゾール0.02質量部を加えて撹拌し、ワニス6を得た。このワニス6をメチルエチルケトンで希釈し、厚さ0.1mmのEガラス織布に含浸塗工し、160℃で5分間加熱乾燥して、樹脂含有量47.5質量%のプリプレグを得た。
(Example 6)
15 parts by mass of biphenyl aralkyl type phenol resin, 15 parts by mass of cresol novolac resin, 15 parts by mass of biphenyl aralkyl type epoxy resin, 30 parts by mass of novolac type epoxy resin, 4 parts by mass of naphthalene tetrafunctional epoxy resin, 17 parts by mass of maleimide compound with methyl ethyl ketone 150 parts by weight of boehmite (APYRAL AOH60, manufactured by Nabaltec), which was surface-treated with 0.5% by mass of imidazole silane (manufactured by IS-1000 Nikko Metal), and 5 parts by weight of silicone resin powder were added after dissolution and mixing. The mixture was dispersed with a homogenizer with stirring for 1 hour. Further, 3 parts by mass of polyvinyl acetoacetal was dissolved in toluene and then added, and 3 parts by mass of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent and 0.02 part by mass of imidazole were added and stirred to obtain varnish 6. This varnish 6 was diluted with methyl ethyl ketone, impregnated and coated on a 0.1 mm thick E glass woven fabric, and heated and dried at 160 ° C. for 5 minutes to obtain a prepreg having a resin content of 47.5 mass%.

(実施例7)
ナフトールアラルキル樹脂15質量部、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂15質量部、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂45質量部、ナフタレン4官能エポキシ樹脂4質量部、マレイミド化合物17質量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、ベーマイト(APYRAL AOH60、Nabaltec製)120質量部、シリコーンレジンパウダー10質量部を加え、ホモジェナイザーにて1時間撹拌しながら分散させた。さらに、ポリビニルアセトアセタール3質量部をトルエンに溶解させてから加え、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤3質量部、イミダゾール0.02質量部を加えて撹拌し、ワニス7を得た。このワニス7をメチルエチルケトンで希釈し、厚さ0.1mmのEガラス織布に含浸塗工し、160℃で5分間加熱乾燥して、樹脂含有量47.5質量%のプリプレグを得た。
(Example 7)
15 parts by mass of naphthol aralkyl resin, 15 parts by mass of biphenyl aralkyl type phenol resin, 45 parts by mass of biphenyl aralkyl type epoxy resin, 4 parts by mass of naphthalene tetrafunctional epoxy resin and 17 parts by mass of maleimide compound are dissolved and mixed with methyl ethyl ketone, and boehmite (APYRAL AOH60 120 parts by mass of Nabaltec) and 10 parts by mass of silicone resin powder were added and dispersed with stirring with a homogenizer for 1 hour. Furthermore, 3 parts by mass of polyvinyl acetoacetal was dissolved in toluene and then added, and 3 parts by mass of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent and 0.02 parts by mass of imidazole were added and stirred to obtain varnish 7. This varnish 7 was diluted with methyl ethyl ketone, impregnated and coated on a 0.1 mm thick E glass woven fabric, and heated and dried at 160 ° C. for 5 minutes to obtain a prepreg having a resin content of 47.5 mass%.

(比較例1)
ナフトールアラルキル樹脂15質量部、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂15質量部、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂45質量部、ナフタレン4官能エポキシ樹脂4質量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、球状シリカ(SFP−130MCデンカ製)120質量部、シリコーンレジンパウダー10質量部を加え、ホモジェナイザーにて1時間撹拌しながら分散させた。さらに、ポリビニルアセトアセタール3質量部をトルエンに溶解させてから加え、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤3質量部、イミダゾール0.02質量部を加えて撹拌し、ワニス8を得た。このワニス8をメチルエチルケトンで希釈し、厚さ0.1mmのEガラス織布に含浸塗工し、160℃で5分間加熱乾燥して、樹脂含有量47.5質量%のプリプレグを得た。
(Comparative Example 1)
15 parts by mass of naphthol aralkyl resin, 15 parts by mass of biphenyl aralkyl type phenolic resin, 45 parts by mass of biphenyl aralkyl type epoxy resin, and 4 parts by mass of naphthalene tetrafunctional epoxy resin are dissolved and mixed with methyl ethyl ketone, and spherical silica (SFP-130MC Denka) 120 Part by mass and 10 parts by mass of silicone resin powder were added and dispersed with stirring by a homogenizer for 1 hour. Furthermore, 3 parts by mass of polyvinyl acetoacetal was dissolved in toluene and then added, and 3 parts by mass of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent and 0.02 parts by mass of imidazole were added and stirred to obtain varnish 8. This varnish 8 was diluted with methyl ethyl ketone, impregnated and coated on a 0.1 mm thick E glass woven fabric, and heated and dried at 160 ° C. for 5 minutes to obtain a prepreg having a resin content of 47.5 mass%.

(比較例2)
フェノールノボラック樹脂30質量部、クレゾールノボラック樹脂15質量部、ノボラック型エポキシ樹脂45質量部、ナフタレン4官能エポキシ樹脂4質量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、無機充填材に対し0.5質量%のイミダゾールシラン(IS−1000日鉱金属製)で表面処理した球状シリカ(SFP−130MCデンカ製)120質量部、シリコーンレジンパウダー5質量部を加え、ホモジェナイザーにて1時間撹拌しながら分散させた。さらに、ポリビニルアセトアセタール3質量部をトルエンに溶解させてから加え、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤3質量部、イミダゾール0.02質量部を加えて撹拌し、ワニス9を得た。このワニス9をメチルエチルケトンで希釈し、厚さ0.1mmのEガラス織布に含浸塗工し、160℃で5分間加熱乾燥して、樹脂含有量47.5質量%のプリプレグを得た。
(Comparative Example 2)
30 parts by mass of phenol novolac resin, 15 parts by mass of cresol novolac resin, 45 parts by mass of novolac type epoxy resin, and 4 parts by mass of naphthalene tetrafunctional epoxy resin are dissolved and mixed with methyl ethyl ketone, and 0.5% by mass of imidazole silane with respect to the inorganic filler. 120 parts by mass of spherical silica (SFP-130MC Denka) that was surface-treated with (IS-1000 Nikko Metal) and 5 parts by mass of silicone resin powder were added and dispersed with stirring for 1 hour in a homogenizer. Furthermore, 3 parts by mass of polyvinyl acetoacetal was added after being dissolved in toluene, and 3 parts by mass of a triazine skeleton-containing phenol-based curing agent and 0.02 parts by mass of imidazole were added and stirred to obtain varnish 9. This varnish 9 was diluted with methyl ethyl ketone, impregnated and coated on a 0.1 mm-thick E glass woven fabric, and heated and dried at 160 ° C. for 5 minutes to obtain a prepreg having a resin content of 47.5 mass%.

(比較例3)
ナフトールアラルキル樹脂15質量部、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂15質量部、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂45質量部、ナフタレン4官能エポキシ樹脂4質量部、マレイミド化合物17質量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、比較例2で用いた球状シリカ120質量部、シリコーンレジンパウダー10質量部を加え、ホモジェナイザーにて1時間撹拌しながら分散させた。さらに、ポリビニルアセトアセタール3質量部をトルエンに溶解させてから加え、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤3質量部、イミダゾール0.02質量部を加えて撹拌し、ワニス10を得た。このワニス10をメチルエチルケトンで希釈し、厚さ0.1mmのEガラス織布に含浸塗工し、160℃で5分間加熱乾燥して、樹脂含有量47.5質量%のプリプレグを得た。
(Comparative Example 3)
In Comparative Example 2, 15 parts by mass of naphthol aralkyl resin, 15 parts by mass of biphenyl aralkyl type phenol resin, 45 parts by mass of biphenyl aralkyl type epoxy resin, 4 parts by mass of naphthalene tetrafunctional epoxy resin, and 17 parts by mass of maleimide compound were dissolved and mixed with methyl ethyl ketone. 120 parts by weight of the spherical silica used and 10 parts by weight of the silicone resin powder were added and dispersed with stirring by a homogenizer for 1 hour. Furthermore, 3 parts by weight of polyvinyl acetoacetal was dissolved in toluene and then added, and 3 parts by weight of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent and 0.02 parts by weight of imidazole were added and stirred to obtain varnish 10. This varnish 10 was diluted with methyl ethyl ketone, impregnated and coated on a 0.1 mm thick E glass woven fabric, and heated and dried at 160 ° C. for 5 minutes to obtain a prepreg having a resin content of 47.5 mass%.

(比較例4)
ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂15質量部、フェノールノボラック樹脂15質量部、ノボラック型エポキシ樹脂45質量部、ナフタレン4官能エポキシ樹脂4質量部、マレイミド化合物17質量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、比較例2で用いた球状シリカ150質量部、シリコーンレジンパウダー5質量部を加え、ホモジェナイザーにて1時間撹拌しながら分散させた。さらに、ポリビニルアセトアセタール5質量部をトルエンに溶解させてから加え、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤3質量部、イミダゾール0.02質量部を加えて撹拌し、ワニス11を得た。このワニス11をメチルエチルケトンで希釈し、厚さ0.1mmのEガラス織布に含浸塗工し、160℃で5分間加熱乾燥して、樹脂含有量47.5質量%のプリプレグを得た。
(Comparative Example 4)
15 parts by mass of a biphenyl aralkyl type phenol resin, 15 parts by mass of a phenol novolac resin, 45 parts by mass of a novolac type epoxy resin, 4 parts by mass of a naphthalene tetrafunctional epoxy resin, and 17 parts by mass of a maleimide compound are dissolved and mixed with methyl ethyl ketone. 150 parts by weight of spherical silica and 5 parts by weight of silicone resin powder were added and dispersed with stirring with a homogenizer for 1 hour. Furthermore, 5 parts by mass of polyvinyl acetoacetal was dissolved in toluene and then added, and 3 parts by mass of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent and 0.02 parts by mass of imidazole were added and stirred to obtain varnish 11. This varnish 11 was diluted with methyl ethyl ketone, impregnated and coated on a 0.1 mm thick E glass woven fabric, and heated and dried at 160 ° C. for 5 minutes to obtain a prepreg having a resin content of 47.5 mass%.

(比較例5)
ナフトールアラルキル樹脂16質量部、フェノールノボラック樹脂15質量部、クレゾールノボラック樹脂15質量部、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂45質量部、ナフタレン4官能エポキシ樹脂4質量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、ベーマイト(APYRAL AOH60、Nabaltec製)120質量部を加え、ホモジェナイザーにて1時間撹拌しながら分散させた。さらに、ポリビニルアセトアセタール3質量部をトルエンに溶解させてから加え、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤3質量部、イミダゾール0.02質量部を加えて撹拌し、ワニス12を得た。このワニス12をメチルエチルケトンで希釈し、厚さ0.1mmのEガラス織布に含浸塗工し、160℃で5分間加熱乾燥して、樹脂含有量47.5質量%のプリプレグを得た。
(Comparative Example 5)
16 parts by mass of naphthol aralkyl resin, 15 parts by mass of phenol novolac resin, 15 parts by mass of cresol novolac resin, 45 parts by mass of biphenyl aralkyl type epoxy resin, and 4 parts by mass of naphthalene tetrafunctional epoxy resin are dissolved and mixed with methyl ethyl ketone, and boehmite (APYRAL AOH60, 120 parts by mass) (manufactured by Nabaltec) was added and dispersed with stirring with a homogenizer for 1 hour. Furthermore, 3 parts by weight of polyvinyl acetoacetal was dissolved in toluene and then added, and 3 parts by weight of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent and 0.02 parts by weight of imidazole were added and stirred to obtain varnish 12. This varnish 12 was diluted with methyl ethyl ketone, impregnated onto a 0.1 mm thick E glass woven fabric, and heated and dried at 160 ° C. for 5 minutes to obtain a prepreg having a resin content of 47.5 mass%.

(比較例6)
ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂15質量部、フェノールノボラック樹脂15質量部、クレゾールノボラック樹脂15質量部、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂45質量部、ナフタレン4官能エポキシ樹脂4質量部をメチルエチルケトンで溶解混合し、ベーマイト(APYRAL AOH60、Nabaltec製)150質量部、シリコーンレジンパウダー10質量部を加え、ホモジェナイザーにて1時間撹拌しながら分散させた。さらに、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤3質量部、イミダゾール0.02質量部を加えて撹拌し、ワニス13を得た。このワニス13をメチルエチルケトンで希釈し、厚さ0.1mmのEガラス織布に含浸塗工し、160℃で5分間加熱乾燥して、樹脂含有量47.5質量%のプリプレグを得た。
(Comparative Example 6)
15 parts by mass of a biphenyl aralkyl type phenol resin, 15 parts by mass of a phenol novolac resin, 15 parts by mass of a cresol novolac resin, 45 parts by mass of a biphenyl aralkyl type epoxy resin, and 4 parts by mass of a naphthalene tetrafunctional epoxy resin are dissolved and mixed with methyl ethyl ketone, and boehmite (APYRAL 150 parts by mass of AOH 60 (manufactured by Nabaltec) and 10 parts by mass of silicone resin powder were added and dispersed with stirring by a homogenizer for 1 hour. Furthermore, 3 parts by mass of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent and 0.02 parts by mass of imidazole were added and stirred to obtain varnish 13. This varnish 13 was diluted with methyl ethyl ketone, impregnated and coated on a 0.1 mm thick E glass woven fabric, and dried by heating at 160 ° C. for 5 minutes to obtain a prepreg having a resin content of 47.5 mass%.

<金属箔張積層板の作成>
実施例1〜7および比較例1〜6で得られたプリプレグを、それぞれ8枚重ねて12μm厚の電解銅箔(JTC−LP、日鉱金属(株)製)のシャイニー面をプリプレグ側に配置し、圧力30kgf/cm、温度 200℃で50分間の積層成形を行い、絶縁層厚さ0.8mmの銅張積層板を得た。
<Creation of metal foil-clad laminate>
Eight prepregs obtained in Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 6 were stacked, and the shiny surface of 12 μm thick electrolytic copper foil (JTC-LP, manufactured by Nikko Metal Co., Ltd.) was placed on the prepreg side. Lamination was performed at a pressure of 30 kgf / cm 2 and a temperature of 200 ° C. for 50 minutes to obtain a copper clad laminate having an insulating layer thickness of 0.8 mm.

<湿式粗化処理と導体層めっき>
上の銅張積層板の表層銅箔をエッチングにより除去し、奥野製薬工業製の膨潤処理液(OPC−B103プリエッチ400ml/L、水酸化ナトリウム13g/L)に60℃で5分間浸漬した。次に、奥野製薬工業製の粗化処理液(OPC−1540MN100ml/L、OPC−1200エポエッチ100ml/L)に80℃で25分間浸漬した。最後に、奥野製薬工業製の中和処理液(OPC−1300ニュートライザー200ml/L)に45℃で5分間し、湿式粗化処理を行った。その後、奥野製薬工業製の無電解銅メッキプロセス(使用薬液名:OPC−370コンディクリーンM、OPC−SAL M、OPC−80キャタリスト、OPC−555アクセレーターM、ATSアドカッパーIW)にて、約0.5μの無電解銅メッキを施し、130℃で1時間の乾燥を行った。続いて、電解銅メッキをメッキ銅の厚みが20μになるように施し、180℃で1時間の乾燥を行った。
<Wet roughening treatment and conductor layer plating>
The surface copper foil of the upper copper clad laminate was removed by etching, and immersed in a swelling treatment solution (OPC-B103 pre-etched 400 ml / L, sodium hydroxide 13 g / L) manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. at 60 ° C. for 5 minutes. Next, it was immersed for 25 minutes at 80 ° C. in a roughening treatment solution (OPC-1540MN 100 ml / L, OPC-1200 Epochetch 100 ml / L) manufactured by Okuno Pharmaceutical. Finally, a wet roughening treatment was performed in a neutralization treatment solution (OPC-1300 Neutrizer 200 ml / L) manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. for 5 minutes at 45 ° C. Thereafter, in an electroless copper plating process manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. (used chemical names: OPC-370 Condyclean M, OPC-SAL M, OPC-80 Catalyst, OPC-555 Accelerator M, ATS Ad Copper IW) About 0.5 μm of electroless copper plating was applied, followed by drying at 130 ° C. for 1 hour. Subsequently, electrolytic copper plating was performed so that the thickness of the plated copper was 20 μm, and drying was performed at 180 ° C. for 1 hour.

上記操作により得られた積層板の評価結果を表1に示す。測定方法は以下に記載した方法を用いた。
(測定方法)
1)ガラス転移温度
上の銅張積層板の表層銅箔をエッチングにより除去し、220℃で1時間、ベーキング後のサンプルをJIS C6481のDMA法に準じて測定した。
2)耐燃焼性
上の銅張積層板の表層銅箔をエッチングにより除去したサンプルを、UL94垂直燃焼試験法に準拠して評価した。
3)メッキ銅接着力
メッキ銅を施した積層板を準備し、メッキ銅の接着力をJIS C6481に準じて測定した。3回測定した平均値。電解銅メッキ後の乾燥で膨れたサンプルに関しては、膨れていない部分を用いて評価を行った。
4)メッキ銅耐熱性
メッキ銅接着力の測定と同様にして、メッキ銅を施した積層板を準備し、50mm×50mm角にカットした後、280℃半田に30分間フロートさせて、デラミネーションの有無を目視判定により行った。
○:全く異常なし×:0〜30分間フロートさせている間にデラミネーション発生
5)メッキ銅吸湿耐熱性
メッキ銅接着力の測定と同様にして、メッキ銅を施した積層板を準備し、50mm×50mm角にカットした後、片面の半分以外のメッキ銅をエッチングにより除去したサンプルを作製した。そのサンプルを、プレッシャークッカー試験機(平山製作所製PC−3型)で、121℃、2気圧で1、3、5時間処理した後、260℃の半田槽に30秒間浸漬させて、外観変化の異常の有無を目視にて観察した。3枚試験を行い、一枚ごとに、異常が無いものを○、膨れが発生したものを×と表記した。
6)表面粗さ
作製した銅張積層板の表層銅箔をエッチングにより除去し、上のデスミア処理を行ったサンプルを、130℃で1時間乾燥した後、レーザー顕微鏡(キーエンス製VK−9500)を用いて、3000倍の画像により、絶縁層表面のRa(10点平均粗さ)を求めた。
The evaluation results of the laminate obtained by the above operation are shown in Table 1. The measurement method used was the method described below.
(Measuring method)
1) The surface layer copper foil of the copper clad laminate above the glass transition temperature was removed by etching, and the sample after baking at 220 ° C. for 1 hour was measured according to the JIS C6481 DMA method.
2) The sample from which the surface copper foil of the copper clad laminate on the flame resistance was removed by etching was evaluated according to the UL94 vertical combustion test method.
3) Plated copper adhesive strength A laminated plate coated with plated copper was prepared, and the adhesive strength of the plated copper was measured according to JIS C6481. Average value measured three times. Regarding the sample swollen by drying after electrolytic copper plating, the evaluation was performed using the non-swollen portion.
4) Plating copper heat resistant plating In the same way as the measurement of copper adhesive strength, a laminated plate with plated copper was prepared, cut into 50 mm x 50 mm square, floated on 280 ° C solder for 30 minutes, and delamination Presence / absence was determined by visual judgment.
○: No abnormality at all ×: Delamination occurred while floating for 0 to 30 minutes 5) Plating copper hygroscopic heat resistant plating In the same manner as the measurement of copper adhesive strength, a laminated plate with plated copper was prepared, and 50 mm After cutting to × 50 mm square, a sample was prepared by removing plated copper other than half of one side by etching. The sample was treated with a pressure cooker tester (PC-3 type manufactured by Hirayama Seisakusho) at 121 ° C. and 2 atm for 1, 3, and 5 hours, and then immersed in a solder bath at 260 ° C. for 30 seconds to change the appearance. The presence or absence of abnormality was visually observed. A three-sheet test was performed, and for each sheet, a mark indicating no abnormality was indicated as “◯”, and a mark indicating blistering was indicated as “X”.
6) Surface roughness The surface copper foil of the produced copper clad laminate was removed by etching, and after the desmeared sample was dried at 130 ° C. for 1 hour, a laser microscope (VK-9500 made by Keyence) was used. The Ra (10-point average roughness) of the surface of the insulating layer was determined from the 3000-fold image.

Figure 2013035960
Figure 2013035960

アラルキル型エポキシ樹脂(A)、アラルキル型フェノール樹脂(B)、ベーマイト(C)、シリコーンパウダー(D)およびポリビニルアセタール(E)をすべて含む実施例により得られた金属箔張積層板の評価結果は、上記成分が1以上欠ける比較例により得られた金属箔張積層板の評価結果に比べて優れたものとなった。   The evaluation results of the metal foil-clad laminate obtained by the examples including all of the aralkyl type epoxy resin (A), the aralkyl type phenol resin (B), boehmite (C), silicone powder (D) and polyvinyl acetal (E) are The metal foil-clad laminate obtained by the comparative example lacking one or more of the above components was superior to the evaluation results.

Claims (23)

アラルキル型エポキシ樹脂(A)、アラルキル型フェノール樹脂(B)、ベーマイト(C)、シリコーンパウダー(D)およびポリビニルアセタール(E)を含む樹脂組成物。   A resin composition comprising an aralkyl epoxy resin (A), an aralkyl phenol resin (B), boehmite (C), silicone powder (D), and polyvinyl acetal (E). 前記アラルキル型フェノール樹脂(B)が、ナフトールアラルキル型フェノール樹脂である請求項1に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, wherein the aralkyl type phenol resin (B) is a naphthol aralkyl type phenol resin. 前記アラルキル型フェノール樹脂(B)が、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂である請求項1に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, wherein the aralkyl type phenol resin (B) is a biphenyl aralkyl type phenol resin. 前記アラルキル型フェノール樹脂(B)が、ナフトールアラルキル型フェノール樹脂およびビフェニルアラルキル型フェノール樹脂を併用するものである請求項1に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, wherein the aralkyl type phenol resin (B) is a combination of a naphthol aralkyl type phenol resin and a biphenyl aralkyl type phenol resin. 前記ポリビニルアセタール樹脂(E)が、ポリビニルアセトアセタール樹脂である請求項1〜4のいずれかに記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the polyvinyl acetal resin (E) is a polyvinyl acetoacetal resin. マレイミド化合物(F)をさらに含んでなる、請求項1〜5のいずれかに記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, further comprising a maleimide compound (F). 前記ベーマイト(C)が、イミダゾールシランで表面処理されたものである請求項1〜6のいずれかに記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 6, wherein the boehmite (C) is surface-treated with imidazole silane. 前記アラルキル型エポキシ樹脂(A)の配合量が、成分(A)、(B)および(E)の合計100質量部、マレイミド化合物(F)を使用する場合は、成分(A)、(B)、(E)および(F)の合計100質量部に対し、20〜60質量部である請求項1〜7のいずれかに記載の樹脂組成物。   When the blending amount of the aralkyl epoxy resin (A) is 100 parts by mass of the components (A), (B) and (E), and the maleimide compound (F) is used, the components (A) and (B) The resin composition according to claim 1, wherein the resin composition is 20 to 60 parts by mass with respect to 100 parts by mass in total of (E) and (F). 前記アラルキル型フェノール樹脂(B)の配合量が、成分(A)、(B)および(E)の合計100質量部、マレイミド化合物(F)を使用する場合は、成分(A)、(B)、(E)および(F)の合計100質量部に対し、5〜55質量部である請求項1〜8のいずれかに記載の樹脂組成物。   When the blending amount of the aralkyl type phenol resin (B) is 100 parts by mass of the components (A), (B) and (E) and the maleimide compound (F) is used, the components (A) and (B) The resin composition according to claim 1, wherein the resin composition is 5 to 55 parts by mass with respect to 100 parts by mass in total of (E) and (F). 前記ベーマイト(C)の配合量が、成分(A)、(B)および(E)の合計100質量部、マレイミド化合物(F)を使用する場合は、成分(A)、(B)、(E)および(F)の合計100質量部に対し、20〜500質量部である請求項1〜9のいずれかに記載の樹脂組成物。   When the amount of the boehmite (C) is 100 parts by mass in total of the components (A), (B) and (E) and the maleimide compound (F) is used, the components (A), (B), (E The resin composition according to any one of claims 1 to 9, which is 20 to 500 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total of (A) and (F). 前記シリコーンパウダー(D)の配合量が、成分(A)、(B)および(E)の合計100質量部、マレイミド化合物(F)を使用する場合は、成分(A)、(B)、(E)および(F)の合計100質量部に対し、1〜50質量部である請求項1〜10のいずれかに記載の樹脂組成物。   When the blending amount of the silicone powder (D) is 100 parts by mass of the components (A), (B) and (E), and the maleimide compound (F) is used, the components (A), (B), ( The resin composition according to any one of claims 1 to 10, which is 1 to 50 parts by mass relative to 100 parts by mass of E) and (F) in total. 前記ポリビニルアセタール(E)の配合量が、成分(A)、(B)および(E)の合計100質量部、マレイミド化合物(F)を使用する場合は、成分(A)、(B)、(E)および(F)の合計100質量部に対し、1〜30質量部である請求項1〜11のいずれかに記載の樹脂組成物。   When the blending amount of the polyvinyl acetal (E) is 100 parts by mass in total of the components (A), (B) and (E), and the maleimide compound (F) is used, the components (A), (B), ( It is 1-30 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of E) and (F), The resin composition in any one of Claims 1-11. 請求項1〜12のいずれかに記載の樹脂組成物を基材に含浸または塗布してなるプリプレグ。   A prepreg obtained by impregnating or coating the base material with the resin composition according to claim 1. 請求項1〜12のいずれかに記載の樹脂組成物の溶液を金属箔またはフィルムの表面に塗工、乾燥させてなる樹脂シート。   A resin sheet obtained by coating the solution of the resin composition according to any one of claims 1 to 12 on a surface of a metal foil or film and drying the solution. 請求項13に記載のプリプレグを少なくとも1枚以上重ね、その片面もしくは両面に金属箔を配して積層成形してなる金属箔張積層板。   A metal foil-clad laminate obtained by laminating at least one prepreg according to claim 13 and placing a metal foil on one or both sides thereof. 金属箔マット面のRzが1.5μm〜2.5μmである請求項15に記載の金属箔張積層板。   The metal foil-clad laminate according to claim 15, wherein Rz of the metal foil mat surface is 1.5 μm to 2.5 μm. 請求項13に記載のプリプレグをビルドアップ材料に用いるプリント配線板。   A printed wiring board using the prepreg according to claim 13 as a build-up material. 請求項15に記載の金属箔張積層板の金属箔をエッチングし、表面処理してめっきによりパターン形成したプリント配線板。   A printed wiring board obtained by etching a metal foil of the metal foil-clad laminate according to claim 15, subjecting the metal foil to a pattern treatment by plating. 請求項14に記載の樹脂シートをビルドアップ材料に用いるプリント配線板。   A printed wiring board using the resin sheet according to claim 14 as a build-up material. 表面処理してめっきによりパターン形成した請求項19に記載のプリント配線板。   The printed wiring board according to claim 19, wherein the printed wiring board is surface-treated and patterned by plating. 請求項18又は請求項20に記載の表面処理が、膨潤剤、アルカリ性酸化剤による粗化処理、酸性還元剤による中和処理からなるデスミア処理であるプリント配線板。   21. A printed wiring board, wherein the surface treatment according to claim 18 or 20 is a desmear treatment comprising a roughening treatment with a swelling agent, an alkaline oxidizing agent, and a neutralization treatment with an acidic reducing agent. めっきによるパターン形成が、無電解銅めっき後、電解銅めっきを行い、その後、セミアディティブ法によるものである、請求項18又は20に記載のプリント配線板。   The printed wiring board according to claim 18 or 20, wherein the pattern formation by plating is performed by electrolytic copper plating after electroless copper plating, and then by a semi-additive method. めっきによるパターン形成が、無電解銅めっき後、電解銅めっきを行い、その後、サブトラクティブ法によるものである、請求項18又は20に記載のプリント配線板。   The printed wiring board according to claim 18 or 20, wherein pattern formation by plating is performed by electrolytic copper plating after electroless copper plating and then by a subtractive method.
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