JP2013027142A - アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板101の上に離間して配置されて基板101に近づくほど間隔が狭く形成された2つの固定電極102,103と、2つの固定電極102,103の間に入り込んで基板101の法線方向に変位可能とされて2つの固定電極102,103に接触しない範囲の幅とされた可動電極104とを備える。固定電極102および固定電極103は、例えば、同電位とされ、また、可動電極104の延在方向の断面形状が、線対称となるように形成されている。
【選択図】 図1
Description
はじめに、本発明の実施の形態1について説明する。図1は、本発明の実施の形態1におけるアクチュエータの構成を示す構成図である。図1では、アクチュエータの断面を模式的に示している。このアクチュエータは、基板101の上に離間して配置されて基板101に近づくほど間隔が狭く形成された2つの固定電極102,103と、2つの固定電極102,103の間に入り込んで基板101の法線方向に変位可能とされて2つの固定電極102,103に接触しない範囲の幅とされた可動電極104とを備える。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。図3は、本発明の実施の形態2におけるアクチュエータの構成を示す断面図である。
次に、本発明の実施の形態3について説明する。図6は、本発明の実施の形態3におけるアクチュエータの構成を示す斜視図である。このアクチュエータは、基板601の上に離間して配置された2つの固定電極602,603と、2つの固定電極602,603の間に入り込んで基板601の法線方向に変位可能とされて2つの固定電極602,603に接触しない範囲の幅とされた可動電極604とを少なくとも備える。
Claims (4)
- 基板の上に離間して配置されて前記基板に近づくほど間隔が狭く形成された2つの固定電極と、
少なくとも一端がばね部で支持されて2つの前記固定電極の間に入り込んで前記基板の法線方向に変位可能とされて2つの前記固定電極に接触しない範囲の幅とされた可動電極と
を少なくとも備え、
前記可動電極は、前記固定電極に電圧を印加することで発生する静電引力により変位することを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1記載のアクチュエータにおいて、
2つの前記固定電極の間隔は、前記基板に近づくほど階段状に前記間隔が狭く形成されていることを特徴とするアクチュエータ。 - 基板の上に離間して配置された2つの固定電極と、
少なくとも一端がばね部で支持されて2つの前記固定電極の間に入り込んで前記基板の法線方向に変位可能とされて2つの前記固定電極に接触しない範囲の幅とされた可動電極と
を少なくとも備え、
2つの前記固定電極は、前記可動電極が延在する方向に配置された各々異なる高さの部分を備え、
前記可動電極は、前記固定電極に電圧を印加することで発生する静電引力により変位することを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項3記載のアクチュエータにおいて、
2つの前記固定電極の高さは、前記可動電極が延在する方向に階段状に形成されていることを特徴とするアクチュエータ。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03230779A (ja) * | 1990-02-02 | 1991-10-14 | Nec Corp | 微小可動機械機構 |
JPH09178494A (ja) * | 1995-10-28 | 1997-07-11 | Samsung Electron Co Ltd | 振動構造物及び振動構造物を備えるアクチュエータと振動構造物の固有振動数の制御方法 |
JP2008086067A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 可動構造体及びそれを備えた光学素子 |
-
2011
- 2011-07-21 JP JP2011159585A patent/JP5616297B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
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Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6014003693; Hah, D. ; Sophia Ting-Yu Huang ; Jui-che Tsai ; Toshiyoshi, H. ; Wu, M.C.: 'Low-voltage, large-scan angle MEMS analog micromirror arrays with hidden vertical comb-drive actuato' Journal of Microelectromechanical Systems Volume:13 Issue:2, 200404, p279-289, IEEE * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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