JP2013020055A - Electro-optic device and electronic apparatus - Google Patents

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洋一 百瀬
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electro-optic device and an electronic apparatus in which conduction between substrates can be performed in a wide area without causing protrusion of a conducting material between substrates from a substrate edge, overlap of an electrode for conduction between substrates and a signal line, or the like.SOLUTION: When an electrode 6e on an element substrate side for conducting between substrates is formed on an element board 10 in an electro-optic device 100, a space 66 in a plurality of signal line formation regions 60 is used, where routing portions of a plurality of data lines 6a are extended from a substrate edge 10a into an image display region 100a. A sealing material 80 has a bent portion 85 formed to recess toward the image display region 100a, in a region where the electrode 6e in the element substrate side for conducting between substrates is disposed. A conducting material 90 between substrates is disposed inside the bent portion 85, the conducting material to extend along a substrate edge 20a of a counter substrate 20 opposing to the bent portion 85.

Description

本発明は、電気光学物質層を保持する一対の基板間に基板間導通材が設けられた電気光学装置、および該電気光学装置を備えた電子機器に関するものである。   The present invention relates to an electro-optical device in which an inter-substrate conducting material is provided between a pair of substrates that hold an electro-optical material layer, and an electronic apparatus including the electro-optical device.

各種の電気光学装置のうち、液晶装置は、画素電極等を一方面側に備えた素子基板と、共通電極等を備えた対向基板とがシール材で貼り合わされているとともに、素子基板と対向基板との間でシール材により囲まれた領域内に電気光学物質層としての液晶層が保持されている。かかる電気光学装置においては、素子基板と対向基板との間に基板間導通材を設けることにより、素子基板から基板間導通材を介して対向基板の共通電極に共通電位を供給するようになっている(特許文献1、2参照)。   Among various electro-optical devices, the liquid crystal device includes an element substrate having a pixel electrode or the like on one side and a counter substrate having a common electrode or the like bonded together with a sealing material, and the element substrate and the counter substrate. A liquid crystal layer as an electro-optical material layer is held in a region surrounded by a sealing material between the two. In such an electro-optical device, by providing an inter-substrate conductive material between the element substrate and the counter substrate, a common potential is supplied from the element substrate to the common electrode of the counter substrate via the inter-substrate conductive material. (See Patent Documents 1 and 2).

特許文献1、2のうち、特許文献1の図3等には、素子基板と対向基板との間のうち、対向基板の角に基板間導通材を点状に設けた構成が提案されている。また、特許文献2の図4には、シール材の屈曲部分に基板間導通材を点状に設けた構成が提案されている。   Among Patent Documents 1 and 2, FIG. 3 of Patent Document 1 proposes a configuration in which an inter-substrate conductive material is provided in the form of a dot at the corner of the counter substrate between the element substrate and the counter substrate. . Further, FIG. 4 of Patent Document 2 proposes a configuration in which the inter-substrate conducting material is provided in a dotted shape at the bent portion of the sealing material.

特開2006−259691号公報の図3等FIG. 3 and the like of JP-A-2006-259691 特開平10−228030号公報の図4等Japanese Patent Laid-Open No. 10-228030, FIG.

しかしながら、特許文献1、2に記載の構成のように、基板間導通材を点状に設けた場合、素子基板側と基板間導通材との接触面積、および対向基板側と基板間導通材との接触面積が狭いため、基板間導通材を利用した基板間導通部での抵抗が大きいという問題がある。一方、特許文献2の図2には、シール材の形成領域内に基板間導通材を線状に設けた構成が記載されているが、かかる構成では、シール材の幅寸法の一部を利用して基板間導通材を設けてあるため、基板間導通材の形成幅が極めて狭い。このため、上記の問題を解消することは困難である。   However, as in the configurations described in Patent Documents 1 and 2, when the inter-substrate conductive material is provided in a dot shape, the contact area between the element substrate side and the inter-substrate conductive material, and the counter substrate side and the inter-substrate conductive material Since the contact area is small, there is a problem that the resistance at the inter-substrate conductive portion using the inter-substrate conductive material is large. On the other hand, FIG. 2 of Patent Document 2 describes a configuration in which an inter-substrate conductive material is provided in a linear shape within a sealing material formation region. In such a configuration, a part of the width of the sealing material is used. Since the inter-substrate conductive material is provided, the formation width of the inter-substrate conductive material is extremely narrow. For this reason, it is difficult to solve the above problem.

かといって、基板間導通材の形成領域を広げることを目的に、シール材の外縁に沿って延在するように基板間導通材を設けると、対向基板を切断した際、対向基板の切断面から基板間導通材が張り出してしまう等の問題が発生する。また、データ線等の信号線が形成されている領域であれば基板間導通材を広い領域に設けることができるが、共通電位が印加される基板間導通用電極を信号線と重ねると、信号線と基板間導通用電極との間に寄生容量が発生する等の問題が発生し、信号の波形が歪む等の問題点がある。   However, when the inter-substrate conductive material is provided so as to extend along the outer edge of the sealing material for the purpose of expanding the formation region of the inter-substrate conductive material, the cut surface of the counter substrate is cut when the counter substrate is cut. This causes problems such as the conductive material between the substrates overhanging. In addition, the inter-substrate conducting material can be provided in a wide area as long as the signal line such as the data line is formed. However, when the inter-substrate conducting electrode to which a common potential is applied is overlapped with the signal line, There is a problem that a parasitic capacitance is generated between the line and the inter-substrate conduction electrode, and a signal waveform is distorted.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、基板縁からの基板間導通材の張り出しや基板間導通用電極と信号線との重なり等を発生させることなく、基板間導通を広い面積で行うことのできる電気光学装置、および該電気光学装置を備えた電子機器を提供することにある。   In view of the above problems, the problem of the present invention is that the inter-substrate conduction can be achieved over a wide area without causing the inter-substrate conduction material to protrude from the substrate edge or the overlap between the inter-substrate conduction electrode and the signal line. It is an object to provide an electro-optical device that can be performed, and an electronic apparatus including the electro-optical device.

上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置は、画像表示領域内に設けられた画素電極、基板縁と前記画像表示領域とを結ぶ方向に複数本の信号線が延在するとともに、前記基板縁の延在方向に存在する複数の信号線形成領域、および前記複数の信号線形成領域の間に設けられた素子基板側基板間導通用電極を一方面側に備えた素子基板と、共通電極、および前記素子基板側基板間導通用電極と重なる位置で前記共通電極に導通する対向基板側基板間導通用電極を一方面側に備えた対向基板と、前記対向基板の基板縁に沿って設けられて前記素子基板と前記対向基板とを貼り合わせているとともに、前記素子基板側基板間導通用電極が設けられた領域では前記画像表示領域に向けて凹むように屈曲した屈曲部分を備えたシール材と、前記素子基板と前記対向基板との間で前記シール材により囲まれた領域に設けられた電気光学物質層と、前記素子基板と前記対向基板との間において前記屈曲部分と該屈曲部分に対向する前記対向基板の基板縁とに挟まれた領域内で当該基板縁に沿って延在するように設けられて前記素子基板側基板間導通用電極と前記対向基板側基板間導通用電極とを導通させる基板間導通材と、を有することを特徴とする。   In order to solve the above problem, an electro-optical device according to the present invention includes a plurality of signal lines extending in a direction connecting a pixel electrode provided in an image display region, a substrate edge, and the image display region. A plurality of signal line forming regions existing in the extending direction of the substrate edge, and an element substrate provided on one surface side with an element substrate side inter-substrate conduction electrode provided between the plurality of signal line forming regions; A counter substrate provided on one side with a common electrode and a counter substrate side inter-substrate conduction electrode conducting to the common electrode at a position overlapping the element substrate side inter-substrate conduction electrode, and a substrate edge of the counter substrate The element substrate and the counter substrate are bonded to each other, and a bent portion bent so as to be recessed toward the image display region is provided in the region where the element substrate side inter-substrate conduction electrode is provided. Seal material provided An electro-optic material layer provided in a region surrounded by the sealing material between the element substrate and the counter substrate, and the bent portion and the bent portion are opposed between the element substrate and the counter substrate. Provided so as to extend along the substrate edge in a region sandwiched between the substrate edges of the counter substrate and to conduct the element substrate side inter-substrate conduction electrode and the counter substrate side inter-substrate conduction electrode. And a substrate-to-substrate conductive material.

本発明では、素子基板に素子基板側基板間導通用電極を設けるにあたって、基板縁から画像表示領域内に向けて複数本の信号線が延在する複数の信号線形成領域の間を利用している。また、シール材については、素子基板側基板間導通用電極が設けられた領域では画像表示領域に向けて凹むように屈曲した屈曲部分を設け、かかる屈曲部分の内側に基板間導通材を屈曲部分に対向する対向基板の基板縁に沿って延在するように設ける。このため、基板間導通材を広い領域に設けて基板間導通部での抵抗を低減した場合でも、対向基板の基板縁からの基板間導通材が張り出すことがないとともに、信号線と素子基板側基板間導通用電極とが重なることを防止することができる。   In the present invention, when the element substrate-side inter-substrate conduction electrode is provided on the element substrate, a plurality of signal line forming regions in which a plurality of signal lines extend from the substrate edge toward the image display region are used. Yes. As for the sealing material, a bent portion bent so as to be recessed toward the image display region is provided in the region where the element substrate side inter-substrate conductive electrode is provided, and the inter-substrate conductive material is bent inside the bent portion. Is provided so as to extend along the substrate edge of the counter substrate opposite to the substrate. Therefore, even when the inter-substrate conductive material is provided in a wide area to reduce the resistance at the inter-substrate conductive portion, the inter-substrate conductive material does not protrude from the substrate edge of the counter substrate, and the signal line and the element substrate It is possible to prevent the side-to-substrate conductive electrodes from overlapping.

本発明において、前記基板間導通材の前記画像表示領域と反対側の端部は、前記シール材において前記屈曲部分を挟む両側部分の外縁を直線的に結んだ仮想線より前記画像表示領域の側に位置することが好ましい。かかる構成によれば、シール材と対向基板の基板縁とが近接している場合でも、対向基板の基板縁からの基板間導通材が張り出すことがない。   In the present invention, the end portion of the inter-substrate conductive material opposite to the image display region is closer to the image display region than a virtual line that linearly connects outer edges of both side portions sandwiching the bent portion in the sealing material. It is preferable to be located at. According to such a configuration, even when the sealing material and the substrate edge of the counter substrate are close to each other, the inter-substrate conductive material does not protrude from the substrate edge of the counter substrate.

本発明では、前記複数の信号線形成領域において前記素子基板側基板間導通用電極の両側に位置する前記信号線の一対の端部は、互いに近接するように斜めに傾きながら前記画像表示領域に向かって延在しており、前記屈曲部分は、互いに近接するように斜めに傾きながら前記画像表示領域に向かって延在する斜辺を備えていることが好ましい。かかる構成によれば、屈曲部分で囲まれた領域を最大限広くすることができるので、基板間導通材を広い領域に設けることができる。   In the present invention, a pair of end portions of the signal lines located on both sides of the element substrate side inter-substrate conduction electrode in the plurality of signal line forming regions are inclined in the image display region so as to be close to each other. It is preferable that the bent portion has a hypotenuse extending toward the image display area while being inclined obliquely so as to be close to each other. According to such a configuration, the region surrounded by the bent portion can be maximized, so that the inter-substrate conductive material can be provided in a wide region.

本発明において、前記屈曲部分は、該屈曲部分と対向する前記対向基板の基板縁に並行して延在する辺を有し、前記基板間導通材は、当該辺に接するように延在していることが好ましい。かかる構成によれば、屈曲部分が画像表示領域に向けて凹む寸法を小さくしつつ、基板間導通材を広い領域に設けることができる。   In the present invention, the bent portion has a side extending in parallel with the substrate edge of the counter substrate facing the bent portion, and the inter-substrate conductive material extends so as to be in contact with the side. Preferably it is. According to such a configuration, the inter-substrate conductive material can be provided in a wide region while reducing the size of the bent portion that is recessed toward the image display region.

本発明において、前記素子基板側基板間導通用電極の一部は、前記シール材と平面視で重なっている構成を採用することができる。   In the present invention, it is possible to adopt a configuration in which a part of the element substrate side inter-substrate conduction electrode overlaps with the sealing material in plan view.

本発明において、前記シール材は、前記素子基板と前記対向基板との間隙を制御するギャップ材を含んでおり、前記素子基板側基板間導通用電極には、前記シール材と重なる領域に部分的に前記素子基板の表面からの高さが低い部分が設けられていることが好ましい。かかる構成によれば、シール材と信号線形成領域とが重なる領域と、シール材が素子基板側基板間導通用電極に重なる領域とにおいて、素子基板側基板間導通用電極や信号線を構成する導電パターンの形成密度差を小さくすることができる。それ故、シール材が含むギャップ材によって素子基板と対向基板との間隙を制御した際、シール材と信号線形成領域とが重なる領域と、シール材が素子基板側基板間導通用電極に重なる領域とにおいて、ギャップ材が導電パターンと接する度合いの差を小さくすることができる。それ故、素子基板と対向基板との間隙のばらつきを小さく抑えることができる。   In the present invention, the sealing material includes a gap material for controlling a gap between the element substrate and the counter substrate, and the element substrate side inter-substrate conduction electrode is partially in a region overlapping with the sealing material. It is preferable that a portion having a low height from the surface of the element substrate is provided. According to this configuration, the element substrate side inter-substrate conduction electrode and the signal line are configured in the region where the seal material and the signal line formation region overlap and the region where the seal material overlaps the element substrate side inter-substrate conduction electrode. The difference in formation density of the conductive pattern can be reduced. Therefore, when the gap between the element substrate and the counter substrate is controlled by the gap material included in the sealing material, the region where the sealing material and the signal line forming region overlap, and the region where the sealing material overlaps the element substrate side inter-substrate conduction electrode The difference in the degree of contact between the gap material and the conductive pattern can be reduced. Therefore, variation in the gap between the element substrate and the counter substrate can be reduced.

本発明において、前記信号線形成領域は、前記基板縁の延在方向に3以上設けられ、前記素子基板側基板間導通用電極は、2以上設けられていることが好ましい。   In the present invention, it is preferable that three or more signal line formation regions are provided in the extending direction of the substrate edge, and two or more element substrate side inter-substrate conduction electrodes are provided.

本発明を適用した電気光学装置は、例えば、液晶テレビ等の電子機器に用いられる。   An electro-optical device to which the present invention is applied is used in an electronic apparatus such as a liquid crystal television.

本発明を適用した電気光学装置(表示装置)の説明図である。It is explanatory drawing of the electro-optical apparatus (display apparatus) to which this invention is applied. 本発明を適用した電気光学装置の分解斜視図である。1 is an exploded perspective view of an electro-optical device to which the present invention is applied. 本発明を適用した電気光学装置(液晶装置)の電気的構成を示すブロック図である。1 is a block diagram showing an electrical configuration of an electro-optical device (liquid crystal device) to which the present invention is applied. 本発明を適用した電気光学装置の液晶パネルの説明図である。It is explanatory drawing of the liquid crystal panel of the electro-optical apparatus to which this invention is applied. 本発明を適用した電気光学装置の画素の説明図である。It is explanatory drawing of the pixel of the electro-optical apparatus to which this invention is applied. 本発明を適用した電気光学装置の基板間導通部の説明図である。It is explanatory drawing of the conduction | electrical_connection part between board | substrates of the electro-optical apparatus to which this invention is applied. 本発明を適用した電気光学装置に用いた素子基板の素子基板側基板間導通用電極やデータ線の引き回し部分の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the drawing part of the electrode for element board | substrate side board | substrates of the element board | substrate used for the electro-optical apparatus to which this invention is applied, and a data line. 本発明を適用した電気光学装置においてシール材のギャップ材で素子基板と対向基板との間隙を制御する様子を示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram illustrating a state in which a gap between an element substrate and a counter substrate is controlled by a gap material of a sealing material in an electro-optical device to which the invention is applied. 本発明を適用した電気光学装置に設けた素子基板側基板間導通用電極を拡大して示す説明図である。It is explanatory drawing which expands and shows the electrode for element substrate side board | substrate conduction | electrical_connection provided in the electro-optical apparatus to which this invention is applied. 本発明を適用した別の電気光学装置に設けた素子基板側基板間導通用電極等の説明図である。It is explanatory drawing of the electrode for element | substrate board | substrate side board | substrate conduction | electrical_connection etc. which were provided in another electro-optical apparatus to which this invention is applied.

図面を参照して、液晶テレビ用の電気光学装置に本発明を適用した形態を説明する。なお、以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。また、配線や端子の数等も、少なく図示してある。また、以下の説明では、導光板や液晶パネルの面内方向で互いに交差する方向をX軸方向およびY軸方向とし、X軸方向およびY軸方向に交差する方向をZ軸方向とする。また、以下に参照する図面では、X軸方向の一方側をX1側とし、他方側をX2側とし、Y軸方向の一方側をY1側とし、他方側をY2側とし、Z軸方向の一方側をZ1側(下側)とし、他方側(照明光や表示光が出射される側)をZ2側(上側)として表してある。   An embodiment in which the present invention is applied to an electro-optical device for a liquid crystal television will be described with reference to the drawings. In the drawings to be referred to in the following description, the scales are different for each layer and each member so that each layer and each member have a size that can be recognized on the drawing. In addition, the number of wirings and terminals is also small. In the following description, directions that intersect each other in the in-plane direction of the light guide plate or the liquid crystal panel are defined as an X-axis direction and a Y-axis direction, and a direction that intersects the X-axis direction and the Y-axis direction is defined as a Z-axis direction. In the drawings referred to below, one side in the X-axis direction is the X1 side, the other side is the X2 side, one side in the Y-axis direction is the Y1 side, the other side is the Y2 side, and one side in the Z-axis direction The side is represented as the Z1 side (lower side), and the other side (the side from which illumination light or display light is emitted) is represented as the Z2 side (upper side).

[電子機器の構成]
図1は、本発明を適用した電気光学装置(表示装置)の説明図であり、図1(a)、(b)は、電気光学装置が液晶テレビ(電子機器)に用いられた状態の説明図、および電気光学装置の斜視図である。図2は、本発明を適用した電気光学装置の分解斜視図である。
[Configuration of electronic equipment]
FIG. 1 is an explanatory diagram of an electro-optical device (display device) to which the present invention is applied. FIGS. 1A and 1B are diagrams illustrating a state in which the electro-optical device is used in a liquid crystal television (electronic device). FIG. 3 is a perspective view of the electro-optical device. FIG. 2 is an exploded perspective view of the electro-optical device to which the present invention is applied.

図1(a)に示す電子機器2000は液晶テレビであり、図1(b)に示す電気光学装置100やテレビ用のフレーム2010等を有している。図2に示すように、電気光学装置100は、表示パネル(電気光学パネル)としての透過型の液晶パネル100pと、液晶パネル100pに照明光を供給する照明装置180とを有している。照明装置180は、液晶パネル100pに重ねて配置された導光板185や、導光板185の側端面のうち、光入射部とされた側端面に沿って配置された複数の発光素子等(図示せず)を有している。電気光学装置100において、照明装置180は、樹脂フレームや下金枠等の下フレーム(図示せず)に保持されており、かかる照明装置180の上側に液晶パネル100pおよび上フレーム150が重ねて配置されている。上フレーム150は、SUS板等の薄い金属板に対するプレス加工等により形成されてなり、矩形の上板部155と、上板部155の外周縁から下方に折れ曲がった4つの側板部151〜154とを備えている。上板部155には、液晶パネル100pから出射された光を出射する矩形の窓156が形成されており、上板部155は、液晶パネル100pの表示光出射側のうち、外周端部を全周にわたって覆っている。   An electronic apparatus 2000 illustrated in FIG. 1A is a liquid crystal television, and includes the electro-optical device 100 illustrated in FIG. 1B, a television frame 2010, and the like. As shown in FIG. 2, the electro-optical device 100 includes a transmissive liquid crystal panel 100p as a display panel (electro-optical panel), and an illumination device 180 that supplies illumination light to the liquid crystal panel 100p. The illuminating device 180 includes a light guide plate 185 disposed so as to overlap the liquid crystal panel 100p, a plurality of light emitting elements disposed along a side end surface that is a light incident portion of the side end surfaces of the light guide plate 185, and the like (not shown). Z). In the electro-optical device 100, the illumination device 180 is held by a lower frame (not shown) such as a resin frame or a lower metal frame, and the liquid crystal panel 100p and the upper frame 150 are arranged on the upper side of the illumination device 180. Has been. The upper frame 150 is formed by pressing or the like on a thin metal plate such as a SUS plate, and has a rectangular upper plate portion 155 and four side plate portions 151 to 154 bent downward from the outer peripheral edge of the upper plate portion 155. It has. A rectangular window 156 that emits light emitted from the liquid crystal panel 100p is formed in the upper plate portion 155. The upper plate portion 155 covers the entire outer peripheral end portion of the display light emission side of the liquid crystal panel 100p. It covers all around.

液晶パネル100pは、四角形の平面形状を有しており、詳しくは後述するように、画素電極(図示せず)等が形成された素子基板10と、素子基板10に対して所定の隙間を介して対向配置された対向基板20と、この対向基板20と素子基板10とを貼り合わせるシール材とを備えている。素子基板10および対向基板20はガラス基板等の透光性基板からなる。本形態では、対向基板20が表示光の出射側に配置され、素子基板10は照明装置180の側に配置されている。液晶パネル100pは、TN(Twisted Nematic)方式、ECB(Electrically Controlled Birefringence)方式、あるいはVAN(Vertical Aligned Nematic)方式の液晶パネルとして構成されており、素子基板10に画素電極が形成され、対向基板20に共通電極(図示せず)が形成されている。液晶パネル100pの上面には上偏光板118が重ねて配置され、液晶パネル100pの下面と照明装置180との間には下偏光板117が配置されている。なお、素子基板10が対向基板20に対して表示光の出射側に配置されることもある。また、液晶パネル100pがIPS(In Plane Switching)方式や、FFS(Fringe Field Switching)方式の液晶パネルである場合、共通電極は、素子基板10の側に設けられる。なお、液晶パネル100pがIPS方式やFFS方式の液晶パネルであっても、対向基板20の側にシールド等を目的に共通電極を形成することもある。   The liquid crystal panel 100p has a quadrangular planar shape, and as will be described in detail later, the element substrate 10 on which pixel electrodes (not shown) and the like are formed, and a predetermined gap with respect to the element substrate 10. And the counter substrate 20 disposed opposite to each other, and a sealing material for bonding the counter substrate 20 and the element substrate 10 together. The element substrate 10 and the counter substrate 20 are made of a light-transmitting substrate such as a glass substrate. In this embodiment, the counter substrate 20 is disposed on the display light emitting side, and the element substrate 10 is disposed on the lighting device 180 side. The liquid crystal panel 100p is configured as a TN (Twisted Nematic) method, an ECB (Electrically Controlled Birefringence) method, or a VAN (Vertical Aligned Nematic) method liquid crystal panel. A common electrode (not shown) is formed. An upper polarizing plate 118 is disposed on the upper surface of the liquid crystal panel 100p, and a lower polarizing plate 117 is disposed between the lower surface of the liquid crystal panel 100p and the lighting device 180. The element substrate 10 may be disposed on the display light emitting side with respect to the counter substrate 20. When the liquid crystal panel 100p is an IPS (In Plane Switching) type or FFS (Fringe Field Switching) type liquid crystal panel, the common electrode is provided on the element substrate 10 side. Even if the liquid crystal panel 100p is an IPS liquid crystal panel or an FFS liquid crystal panel, a common electrode may be formed on the counter substrate 20 side for the purpose of shielding or the like.

ここで、素子基板10は対向基板20より大きい。このため、素子基板10は、対向基板20の端部からY軸方向の一方側Y1に張り出した張り出し領域110と、対向基板20の端部からX軸方向の他方側X2に張り出した張り出し領域120を有している。かかる張り出し領域110、120の上面にはフレキシブル配線基板200が接続されている。フレキシブル配線基板200は、複数枚が張り出し領域110、120に接続した構造を有しており、かかるフレキシブル配線基板200あるいはフレキシブル配線基板200に接続された回路基板(図示せず)には、液晶パネル100pにデータ信号や走査信号を供給する駆動用IC(図示せず)や、照明装置180の光源駆動用IC(図示せず)が実装されている。   Here, the element substrate 10 is larger than the counter substrate 20. For this reason, the element substrate 10 has an overhang region 110 projecting from the end portion of the counter substrate 20 to the one side Y1 in the Y-axis direction and an overhang region 120 projecting from the end portion of the counter substrate 20 to the other side X2 in the X-axis direction. have. A flexible wiring board 200 is connected to the upper surfaces of the overhang regions 110 and 120. The flexible wiring board 200 has a structure in which a plurality of flexible wiring boards 200 are connected to the overhanging regions 110 and 120. The flexible wiring board 200 or a circuit board (not shown) connected to the flexible wiring board 200 includes a liquid crystal panel. A driving IC (not shown) for supplying data signals and scanning signals to 100p and a light source driving IC (not shown) for the illumination device 180 are mounted.

[電気光学装置100の構成]
(全体構成)
図3は、本発明を適用した電気光学装置100(液晶装置)の電気的構成を示すブロック図である。図3において、電気光学装置100は、TN(Twisted Nematic)モードやVA(Vertical Alignment)モードの液晶パネル100pを有しており、液晶パネル100pは、その中央領域に複数の画素100cがマトリクス状に配列された画像表示領域100a(有効画素領域)を備えている。液晶パネル100pにおいて、後述する素子基板10(図4等を参照)では、画像表示領域100aの内側で複数本のデータ線6a(画像信号線)および複数本の走査線3aが縦横に延びており、それらの交差部分に対応する位置に画素100cが構成されている。複数の画素100cの各々には、電界効果型トランジスターからなる画素トランジスター100t、および後述する画素電極9aが形成されている。画素トランジスター100tのソースにはデータ線6aが電気的に接続され、画素トランジスター100tのゲートには走査線3aが電気的に接続され、画素トランジスター100tのドレインには、画素電極9aが電気的に接続されている。
[Configuration of the electro-optical device 100]
(overall structure)
FIG. 3 is a block diagram showing an electrical configuration of the electro-optical device 100 (liquid crystal device) to which the present invention is applied. In FIG. 3, the electro-optical device 100 has a liquid crystal panel 100p in a TN (Twisted Nematic) mode or a VA (Vertical Alignment) mode, and the liquid crystal panel 100p has a plurality of pixels 100c in a matrix in the central region. The image display area 100a (effective pixel area) is arranged. In the liquid crystal panel 100p, in an element substrate 10 (see FIG. 4 and the like) described later, a plurality of data lines 6a (image signal lines) and a plurality of scanning lines 3a extend vertically and horizontally inside the image display region 100a. The pixel 100c is configured at a position corresponding to the intersection. In each of the plurality of pixels 100c, a pixel transistor 100t made of a field effect transistor and a pixel electrode 9a described later are formed. The data line 6a is electrically connected to the source of the pixel transistor 100t, the scanning line 3a is electrically connected to the gate of the pixel transistor 100t, and the pixel electrode 9a is electrically connected to the drain of the pixel transistor 100t. Has been.

また、電気光学装置100は、フレキシブル配線基板200に実装された駆動用IC内に走査線駆動回路104やデータ線駆動回路101を備えており、データ線駆動回路101は各データ線6aにデータ信号(画像信号)を順次供給する。また、走査線駆動回路104は、各走査線3aに走査信号を順次供給する。   The electro-optical device 100 includes a scanning line driving circuit 104 and a data line driving circuit 101 in a driving IC mounted on the flexible wiring board 200. The data line driving circuit 101 transmits a data signal to each data line 6a. (Image signal) is sequentially supplied. The scanning line driving circuit 104 sequentially supplies a scanning signal to each scanning line 3a.

各画素100cにおいて、画素電極9aは、後述する対向基板20(図4等を参照)に形成された共通電極と電気光学物質層としての液晶層を介して対向し、液晶容量50aを構成している。また、各画素100cには、液晶容量50aで保持される画像信号の変動を防ぐために、液晶容量50aと並列に保持容量55が付加されている。本形態では、保持容量55を構成するために、複数の画素100cに跨って走査線3aと並行して延びた容量線5bが形成されている。本形態において、容量線5bには共通電位Vcomが印加されている。   In each pixel 100c, the pixel electrode 9a opposes a common electrode formed on a counter substrate 20 (see FIG. 4 and the like), which will be described later, via a liquid crystal layer as an electro-optical material layer, and forms a liquid crystal capacitor 50a. Yes. Each pixel 100c is provided with a holding capacitor 55 in parallel with the liquid crystal capacitor 50a in order to prevent fluctuations in the image signal held in the liquid crystal capacitor 50a. In this embodiment, in order to form the storage capacitor 55, the capacitor line 5b extending in parallel with the scanning line 3a is formed across the plurality of pixels 100c. In this embodiment, the common potential Vcom is applied to the capacitor line 5b.

(液晶パネル100pの具体的構成例)
図4は、本発明を適用した電気光学装置100の液晶パネル100pの説明図であり、図4(a)、(b)は各々、液晶パネル100pを各構成要素と共に対向基板20の側から見た平面図、およびそのH−H′断面図である。なお、図4において、画素電極9a、信号線、端子等の数については少なく示してある。
(Specific configuration example of the liquid crystal panel 100p)
FIG. 4 is an explanatory diagram of the liquid crystal panel 100p of the electro-optical device 100 to which the present invention is applied. FIGS. 4A and 4B show the liquid crystal panel 100p together with the respective components from the counter substrate 20 side. FIG. 6 is a plan view and a sectional view taken along the line HH ′. In FIG. 4, the number of pixel electrodes 9a, signal lines, terminals, and the like is small.

図4に示すように、液晶パネル100pにおいて、素子基板10および対向基板20はいずれも四角形の透光性基板である。従って、素子基板10は、4つの基板縁10a〜10dを備え、対向基板20は、素子基板10の4つの基板縁10a〜10dに沿って延在する4つの基板縁20a〜20dを備えている。素子基板10と対向基板20とは、対向基板20の4つの基板縁20a〜20dに沿うように四角枠状に設けられたシール材80によって貼り合わされており、シール材80は4つの辺80a〜80dを有している。シール材80は、光硬化性樹脂や熱硬化性樹脂等からなる接着剤であり、両基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバー、あるいはガラスビーズ等のギャップ材81が配合されている。本形態において、シール材80は、略同一の幅寸法をもって対向基板20の基板縁20a〜20dに沿うように延在している。なお、シール材80には、辺80bの一部が液晶注入口80rとして途切れており、かかる液晶注入口80rは液晶材料を注入した後、封止材88で塞がれている。   As shown in FIG. 4, in the liquid crystal panel 100p, the element substrate 10 and the counter substrate 20 are both rectangular translucent substrates. Therefore, the element substrate 10 includes four substrate edges 10a to 10d, and the counter substrate 20 includes four substrate edges 20a to 20d extending along the four substrate edges 10a to 10d of the element substrate 10. . The element substrate 10 and the counter substrate 20 are bonded together by a sealing material 80 provided in a square frame shape along the four substrate edges 20a to 20d of the counter substrate 20, and the sealing material 80 includes four sides 80a to 80a. 80d. The sealing material 80 is an adhesive made of a photo-curing resin, a thermosetting resin, or the like, and is blended with a gap material 81 such as glass fiber or glass beads for setting the distance between both substrates to a predetermined value. . In this embodiment, the sealing material 80 extends along the substrate edges 20 a to 20 d of the counter substrate 20 with substantially the same width dimension. Note that a part of the side 80b is cut off as a liquid crystal injection port 80r in the sealing material 80, and the liquid crystal injection port 80r is filled with a sealing material 88 after injecting a liquid crystal material.

かかる液晶パネル100pの略中央には、図1を参照して説明した画像表示領域100aが四角形の領域として設けられている。また、液晶パネル100pにおいて、対向基板20の基板縁20aから張り出した素子基板10の張り出し領域110、120では、基板縁10aに沿って複数の端子102aが配列されており、対向基板20の基板縁20dから張り出した素子基板10の張り出し領域120では、基板縁10dに沿って複数の端子102bが配列されている。かかる端子102a、102bは、フレキシブル配線基板200を接続するための端子である。本形態では、端子102aには、フレキシブル配線基板200として3枚のフレキシブル配線基板201、202、203が接続され、端子102bには、フレキシブル配線基板200として2枚のフレキシブル配線基板206、207が接されている。   In the approximate center of the liquid crystal panel 100p, the image display area 100a described with reference to FIG. 1 is provided as a rectangular area. In the liquid crystal panel 100p, in the projecting regions 110 and 120 of the element substrate 10 projecting from the substrate edge 20a of the counter substrate 20, a plurality of terminals 102a are arranged along the substrate edge 10a. In the projecting region 120 of the element substrate 10 projecting from 20d, a plurality of terminals 102b are arranged along the substrate edge 10d. The terminals 102 a and 102 b are terminals for connecting the flexible wiring board 200. In this embodiment, three flexible wiring boards 201, 202, and 203 are connected to the terminal 102a as the flexible wiring board 200, and two flexible wiring boards 206 and 207 are connected to the terminal 102b as the flexible wiring board 200. Has been.

素子基板10において、端子102a(基板縁10aの側)から画像表示領域100aに向けては複数のデータ線6aの引き回し部分が延在しており、データ線6aの引き回し部分は、基板縁10aと画像表示領域100aとを結ぶ方向に延在している。ここで、データ線6aの引き回し部分の形成領域は、3枚のフレキシブル配線基板201、202、203に対応して3つの信号線形成領域60(信号線形成領域61、62、63)に分割されている。このため、3つの信号線形成領域60の間66は、データ線6aが形成されていない空き領域になっている。また、データ線6aの引き回し部分は、画像表示領域100aの外側では斜めに延在しているが、画像表示領域100aの内側では、Y軸方向に直線的に延在し、かつ、X軸方向では等間隔である。   In the element substrate 10, extending portions of the plurality of data lines 6a extend from the terminal 102a (substrate edge 10a side) toward the image display region 100a, and the extending portions of the data lines 6a are connected to the substrate edge 10a. It extends in the direction connecting the image display area 100a. Here, the formation region of the routing portion of the data line 6a is divided into three signal line formation regions 60 (signal line formation regions 61, 62, 63) corresponding to the three flexible wiring boards 201, 202, 203. ing. For this reason, the space 66 between the three signal line forming regions 60 is an empty region where the data line 6a is not formed. Further, the drawn portion of the data line 6a extends obliquely outside the image display area 100a, but extends linearly in the Y-axis direction inside the image display area 100a and extends in the X-axis direction. Then, it is equally spaced.

また、素子基板10において、端子102b(基板縁10dの側)から画像表示領域100aに向けては複数の走査線3aの引き回し部分が延在しており、走査線3aの引き回し部分は、基板縁10dと画像表示領域100aとを結ぶ方向に延在している。ここで、走査線3aの引き回し部分の形成領域は、2枚のフレキシブル配線基板206、207に対応して2つの信号線形成領域30(信号線形成領域31、32)に分割されている。このため、2つ信号線形成領域30の間は、走査線3aが形成されていない空き領域になっている。また、走査線3aの引き回し部分は、画像表示領域100aの外側では斜めに延在しているが、画像表示領域100aの内側では、X軸方向に直線的に延在し、かつ、Y軸方向では等間隔である。   In the element substrate 10, a plurality of scanning lines 3 a are extended from the terminal 102 b (the substrate edge 10 d side) toward the image display region 100 a, and the scanning lines 3 a are connected to the substrate edge. 10d extends in a direction connecting the image display area 100a. Here, the formation region of the routing portion of the scanning line 3 a is divided into two signal line formation regions 30 (signal line formation regions 31 and 32) corresponding to the two flexible wiring boards 206 and 207. For this reason, a space between the two signal line formation regions 30 is an empty region where the scanning lines 3a are not formed. Further, the extended portion of the scanning line 3a extends obliquely outside the image display region 100a, but extends linearly in the X-axis direction inside the image display region 100a, and in the Y-axis direction. Then, it is equally spaced.

図4(b)に示すように、素子基板10の一方面10sおよび他方面10tのうち、対向基板20と対向する一方面10sにおいて、画像表示領域100aには、図3を参照して説明した画素トランジスター(図示せず)、および画素トランジスターに電気的に接続する透光性の画素電極9aがマトリクス状に形成されており、かかる画素電極9aの上層側には配向膜16が形成されている。なお、素子基板10の一方面10sにおいて、外周領域100rのうち、画像表示領域100aとシール材80とに挟まれた四角枠状の周辺領域100sには、画素電極9aと同時形成されたダミー画素電極9bが形成されている。ダミー画素電極9bは、隣り合うダミー画素電極9b同士が細幅の連結部で繋がっている。また、ダミー画素電極9bは、共通電位Vcomが印加されており、画像表示領域100aの外周側端部での液晶分子の配向の乱れを防止する。   As shown in FIG. 4B, the image display region 100a is described with reference to FIG. 3 on the one surface 10s of the element substrate 10 that faces the counter substrate 20 out of the one surface 10s and the other surface 10t. A pixel transistor (not shown) and a translucent pixel electrode 9a electrically connected to the pixel transistor are formed in a matrix, and an alignment film 16 is formed on the upper side of the pixel electrode 9a. . In addition, on one surface 10s of the element substrate 10, a dummy pixel formed simultaneously with the pixel electrode 9a in a rectangular frame-shaped peripheral region 100s sandwiched between the image display region 100a and the sealing material 80 in the outer peripheral region 100r. Electrode 9b is formed. In the dummy pixel electrode 9b, adjacent dummy pixel electrodes 9b are connected to each other by a narrow connecting portion. The dummy pixel electrode 9b is applied with the common potential Vcom, and prevents the disorder of the alignment of the liquid crystal molecules at the outer peripheral side end of the image display region 100a.

対向基板20において素子基板10と対向する一方面20s側には透光性の共通電極21(液晶駆動用電極)が形成されている。共通電極21は、対向基板20の略全面あるいは複数の帯状電極として複数の画素100cに跨って形成されている。   A translucent common electrode 21 (liquid crystal driving electrode) is formed on the opposite substrate 20 on the one surface 20 s side facing the element substrate 10. The common electrode 21 is formed across the plurality of pixels 100c as substantially the entire surface of the counter substrate 20 or a plurality of strip electrodes.

また、対向基板20の一方面20sおよび他方面20tのうち、素子基板10と対向する一方面20s側には、共通電極21の下層側に遮光層29が形成され、共通電極21の表面には配向膜26が積層されている。本形態において、遮光層29は、画像表示領域100aの外周縁に沿って延在する額縁部分29aと、隣り合う画素電極9aにより挟まれた画素間領域10fに重なるブラックマトリクス部29bとからなる。ここで、額縁部分29aはダミー画素電極9bと重なる位置に形成されており、額縁部分29aの外周縁は、シール材80の内周縁との間に隙間を隔てた位置にある。従って、額縁部分29aとシール材80とは重なっていない。なお、図5を参照して説明するように、対向基板20の一方面20s側にはカラーフィルター層等も形成されている。   A light shielding layer 29 is formed on the lower side of the common electrode 21 on the one surface 20 s side facing the element substrate 10 out of the one surface 20 s and the other surface 20 t of the counter substrate 20. An alignment film 26 is laminated. In this embodiment, the light shielding layer 29 includes a frame portion 29a extending along the outer peripheral edge of the image display region 100a, and a black matrix portion 29b overlapping the inter-pixel region 10f sandwiched between adjacent pixel electrodes 9a. Here, the frame portion 29 a is formed at a position overlapping the dummy pixel electrode 9 b, and the outer peripheral edge of the frame portion 29 a is at a position with a gap between the inner peripheral edge of the sealing material 80. Accordingly, the frame portion 29a and the sealing material 80 do not overlap. As described with reference to FIG. 5, a color filter layer and the like are also formed on the one surface 20 s side of the counter substrate 20.

このように構成した液晶パネル100pにおいては、詳しくは後述するように、素子基板10の基板縁10aと画像表示領域100aとの間(対向基板20の基板縁20aと画像表示領域100aとの間)には、素子基板10と対向基板20とを導通させる基板間導通部190が構成されている。   In the liquid crystal panel 100p configured as described above, as will be described in detail later, between the substrate edge 10a of the element substrate 10 and the image display region 100a (between the substrate edge 20a of the counter substrate 20 and the image display region 100a). The inter-substrate conducting portion 190 that conducts the element substrate 10 and the counter substrate 20 is configured.

より具体的には、素子基板10の一方面10sには、シール材80の外側において対向基板20と重なる位置に素子基板側基板間導通用電極6eが形成されており、かかる素子基板側基板間導通用電極6eには共通電位Vcomが印加されている。また、対向基板20の一方面20sには、素子基板側基板間導通用電極6eと重なる領域に対向基板側基板間導通用電極21eが形成されており、かかる対向基板側基板間導通用電極21eは共通電極21に導通している。本形態において、対向基板側基板間導通用電極21eは共通電極21の一部からなる。また、素子基板10と対向基板20との間において、素子基板側基板間導通用電極6eおよび対向基板側基板間導通用電極21eとの間には、導電粒子91を含む基板間導通材90が配置されている。このため、共通電極21は、素子基板10の側から共通電位Vcomが印加されている。導電粒子91は、金属粒子や、ガラスやプラスチックの粒子に銀層や金層の金属層が形成された構成を有している。   More specifically, the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e is formed on the one surface 10s of the element substrate 10 at a position overlapping the counter substrate 20 outside the sealing material 80, and between the element substrate side substrates. A common potential Vcom is applied to the conducting electrode 6e. Further, on one surface 20s of the counter substrate 20, a counter substrate side inter-substrate conduction electrode 21e is formed in a region overlapping with the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e, and the counter substrate side inter-substrate conduction electrode 21e. Is electrically connected to the common electrode 21. In this embodiment, the counter substrate side inter-substrate conduction electrode 21 e is formed of a part of the common electrode 21. Further, between the element substrate 10 and the counter substrate 20, an inter-substrate conductive material 90 including conductive particles 91 is provided between the element substrate-side inter-substrate conductive electrode 6e and the counter substrate-side inter-substrate conductive electrode 21e. Has been placed. Therefore, the common potential Vcom is applied to the common electrode 21 from the element substrate 10 side. The conductive particles 91 have a configuration in which a metal layer such as a silver layer or a gold layer is formed on metal particles or glass or plastic particles.

(画素の具体的構成)
図5は、本発明を適用した電気光学装置100の画素100cの説明図であり、図5(a)、(b)は、素子基板10において隣り合う複数の画素の平面図、およびF−F′線に相当する位置で電気光学装置100を切断したときの断面図である。なお、図5(a)では、半導体層1aは細くて短い点線で示し、走査線3aは太い実線で示し、データ線6aおよびそれと同時形成された薄膜は一点鎖線で示し、容量線5bは二点鎖線で示し、画素電極9aは長い破線で示し、下電極層4aは細い実線で示してある。なお、素子基板10では、誘電体層42aが形成されているが、誘電体層42aは容量線5bと重なる領域に形成されているため、図5(a)には図示を省略してある。また、下電極層4aの外周縁に沿ってエッチングストッパー層40aの開口縁が存在するが、図5(a)では、かかる開口縁の図示は省略してある。
(Specific pixel configuration)
5A and 5B are explanatory diagrams of the pixel 100c of the electro-optical device 100 to which the present invention is applied. FIGS. 5A and 5B are a plan view of a plurality of adjacent pixels in the element substrate 10, and FF. FIG. 6 is a cross-sectional view of the electro-optical device 100 cut at a position corresponding to the line '. In FIG. 5A, the semiconductor layer 1a is indicated by a thin and short dotted line, the scanning line 3a is indicated by a thick solid line, the data line 6a and a thin film formed simultaneously with it are indicated by a one-dot chain line, and the capacitance line 5b is indicated by two lines. The pixel electrode 9a is indicated by a long broken line, and the lower electrode layer 4a is indicated by a thin solid line. In the element substrate 10, the dielectric layer 42a is formed. However, since the dielectric layer 42a is formed in a region overlapping the capacitance line 5b, the illustration is omitted in FIG. Further, although there is an opening edge of the etching stopper layer 40a along the outer peripheral edge of the lower electrode layer 4a, the opening edge is not shown in FIG.

図5(a)に示すように、素子基板10において対向基板20と対向する一方面10sには、複数の画素100cの各々に矩形状の画素電極9aが形成されており、隣り合う画素電極9aにより挟まれた画素間領域10fと重なる領域に沿ってデータ線6aおよび走査線3aが形成されている。本形態において、画素間領域10fは縦横に延在しており、走査線3aおよびデータ線6aは画素間領域10fと重なるように直線的に形成されている。より具体的には、画素間領域10fのうち、第1方向(Y軸方向)に延在する第1画素間領域10gと重なる領域に沿ってデータ線6aが直線的に延在し、第2方向(X軸方向)に延在する第2画素間領域10hと重なる領域に沿って走査線3aが直線的に延在している。   As shown in FIG. 5A, a rectangular pixel electrode 9a is formed on each of the plurality of pixels 100c on one surface 10s of the element substrate 10 facing the counter substrate 20, and adjacent pixel electrodes 9a. A data line 6a and a scanning line 3a are formed along a region overlapping the inter-pixel region 10f sandwiched between the two. In this embodiment, the inter-pixel region 10f extends vertically and horizontally, and the scanning line 3a and the data line 6a are linearly formed so as to overlap the inter-pixel region 10f. More specifically, the data line 6a extends linearly along a region overlapping the first inter-pixel region 10g extending in the first direction (Y-axis direction) in the inter-pixel region 10f, and the second The scanning line 3a extends linearly along a region overlapping the second inter-pixel region 10h extending in the direction (X-axis direction).

また、データ線6aと走査線3aとの交差に対応して画素トランジスター100tが形成されており、本形態において、画素トランジスター100tは、データ線6aと走査線3aとが交差する領域に形成されている。素子基板10には、走査線3aと重なるように容量線5bが形成されており、かかる容量線5bには共通電位Vcomが印加されている。本形態において、容量線5bは、走査線3aと重なるように直線的に延びた主線部分と、データ線6aと走査線3aとの交差部分でデータ線6aに重なるように延びた副線部分とを備えている。   A pixel transistor 100t is formed corresponding to the intersection of the data line 6a and the scanning line 3a. In this embodiment, the pixel transistor 100t is formed in a region where the data line 6a and the scanning line 3a intersect. Yes. A capacitance line 5b is formed on the element substrate 10 so as to overlap the scanning line 3a, and a common potential Vcom is applied to the capacitance line 5b. In this embodiment, the capacitor line 5b includes a main line portion extending linearly so as to overlap the scanning line 3a, and a sub-line portion extending so as to overlap the data line 6a at the intersection of the data line 6a and the scanning line 3a. It has.

図5(b)に示すように、素子基板10は、石英基板やガラス基板等の透光性の基板本体10wの液晶層50側の基板面(対向基板20と対向する一方面10s)に形成された画素電極9a、画素スイッチング用の画素トランジスター100t、および配向膜16を主体として構成されている。対向基板20は、石英基板やガラス基板等の透光性の基板本体20w、その液晶層50側の表面(素子基板10と対向する一方面20s)に形成された遮光層29、共通電極21、および配向膜26を主体として構成されている。   As shown in FIG. 5B, the element substrate 10 is formed on the liquid crystal layer 50 side substrate surface (one surface 10s facing the counter substrate 20) of the translucent substrate body 10w such as a quartz substrate or a glass substrate. The pixel electrode 9a, the pixel transistor 100t for pixel switching, and the alignment film 16 are mainly used. The counter substrate 20 includes a translucent substrate body 20w such as a quartz substrate or a glass substrate, a light shielding layer 29 formed on a surface of the liquid crystal layer 50 side (one surface 20s facing the element substrate 10), a common electrode 21, And the alignment film 26 as a main component.

素子基板10において、複数の画素100cの各々には、半導体層1aを備えた画素トランジスター100tが形成されている。半導体層1aは、走査線3aの一部からなるゲート電極3cに対して透光性のゲート絶縁層2を介して対向するチャネル領域1gと、ソース領域1bと、ドレイン領域1cとを備えており、ソース領域1bおよびドレイン領域1cは各々、低濃度領域および高濃度領域を備えている。半導体層1aは、例えば、基板本体10w上に、シリコン酸化膜等からなる透光性の下地絶縁膜12上に形成された多結晶シリコン膜等によって構成され、ゲート絶縁層2は、CVD法等により形成されたシリコン酸化膜やシリコン窒化膜からなる。走査線3aには、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜、あるいは金属膜が用いられる。なお、基板本体10wと下地絶縁膜12の層間、あるいは2層にした下地絶縁膜12の層間に、走査線3aと重なる遮光層を形成する場合や、かかる遮光層を走査線3aとし、遮光層とゲート電極3cとを導通させた構造を採用することもある。   In the element substrate 10, a pixel transistor 100t including the semiconductor layer 1a is formed in each of the plurality of pixels 100c. The semiconductor layer 1a includes a channel region 1g, a source region 1b, and a drain region 1c that are opposed to the gate electrode 3c, which is a part of the scanning line 3a, via the translucent gate insulating layer 2. The source region 1b and the drain region 1c each have a low concentration region and a high concentration region. The semiconductor layer 1a is composed of, for example, a polycrystalline silicon film or the like formed on a transparent base insulating film 12 made of a silicon oxide film or the like on the substrate body 10w, and the gate insulating layer 2 is formed by a CVD method or the like. The silicon oxide film and the silicon nitride film formed by the above. For the scanning line 3a, a conductive polysilicon film, a metal silicide film, or a metal film is used. In the case where a light shielding layer overlapping the scanning line 3a is formed between the substrate body 10w and the base insulating film 12 or between the two layers of the base insulating film 12, the light shielding layer is referred to as the scanning line 3a. A structure in which the gate electrode 3c is electrically connected may be employed.

走査線3aの上層側にはシリコン酸化膜等からなる透光性の第1層間絶縁膜41が形成されており、第1層間絶縁膜41の上層には下電極層4aが形成されている。下電極層4aは、走査線3aとデータ線6aとの交差する位置を基点として走査線3aおよびデータ線6aに沿って延出する略L字型に形成されている。下電極層4aは、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜、あるいは金属膜等からなり、コンタクトホール7cを介してドレイン領域1cに電気的に接続されている。   A translucent first interlayer insulating film 41 made of a silicon oxide film or the like is formed on the upper layer side of the scanning line 3a, and a lower electrode layer 4a is formed on the upper layer of the first interlayer insulating film 41. The lower electrode layer 4a is formed in a substantially L-shape extending along the scanning line 3a and the data line 6a with a position where the scanning line 3a and the data line 6a intersect as a base point. The lower electrode layer 4a is made of a conductive polysilicon film, a metal silicide film, a metal film, or the like, and is electrically connected to the drain region 1c through the contact hole 7c.

下電極層4aの上層側には、アルミニウム酸化膜、チタン酸化膜、タンタル酸化膜、ニオブ酸化膜、ハフニウム酸化膜、ランタン酸化膜、ジルコニウム酸化膜等の高誘電率絶縁膜からなる誘電体層42aが形成されている。誘電体層42aの上層側には、誘電体層42aを介して下電極層4aと対向するように容量線5bが形成され、かかる容量線5b、誘電体層42aおよび下電極層4aによって、保持容量55が形成されている。容量線5bは、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜、あるいは金属膜等からなる。ここで、下電極層4a、誘電体層42aおよび容量線5bは、画素トランジスター100tの上層側に形成され、保持容量55は、画素トランジスター100tの上層側のうち、少なくとも画素トランジスター100tに対して平面視で重なる領域に形成されている。   On the upper layer side of the lower electrode layer 4a, a dielectric layer 42a made of an insulating film having a high dielectric constant such as an aluminum oxide film, a titanium oxide film, a tantalum oxide film, a niobium oxide film, a hafnium oxide film, a lanthanum oxide film, or a zirconium oxide film. Is formed. On the upper layer side of the dielectric layer 42a, a capacitor line 5b is formed so as to face the lower electrode layer 4a through the dielectric layer 42a. The capacitor line 5b, the dielectric layer 42a and the lower electrode layer 4a hold the capacitor line 5b. A capacitor 55 is formed. The capacitor line 5b is made of a conductive polysilicon film, a metal silicide film, a metal film, or the like. Here, the lower electrode layer 4a, the dielectric layer 42a, and the capacitor line 5b are formed on the upper layer side of the pixel transistor 100t, and the storage capacitor 55 is planar with respect to at least the pixel transistor 100t on the upper layer side of the pixel transistor 100t. It is formed in a region that overlaps visually.

本形態において、誘電体層42aは、容量線5bと略同一形状をもって同一の領域に形成されている。また、誘電体層42aの端縁42gおよび容量線5bの端縁5gは、下電極層4aと重なる位置にある。下電極層4aと誘電体層42aとの層間にはシリコン酸化膜等からなるエッチングストッパー層40aが形成されており、かかるエッチングストッパー層40aには、下電極層4aに対して部分的に重なる領域に開口部40bが形成されている。このため、下電極層4aと容量線5bとは、開口部40bにおいて誘電体層42aを介して対向し、保持容量55を構成している。また、エッチングストッパー層40aは、少なくとも誘電体層42aの端縁42gおよび容量線5bの端縁5gと重なる領域に形成されている。なお、エッチングストッパー層40aは、誘電体層42aの端縁42gおよび容量線5bの端縁5gと重なる領域のみに形成される場合もある。   In this embodiment, the dielectric layer 42a has substantially the same shape as the capacitor line 5b and is formed in the same region. In addition, the end edge 42g of the dielectric layer 42a and the end edge 5g of the capacitance line 5b are in a position overlapping the lower electrode layer 4a. An etching stopper layer 40a made of a silicon oxide film or the like is formed between the lower electrode layer 4a and the dielectric layer 42a, and the etching stopper layer 40a is a region partially overlapping the lower electrode layer 4a. An opening 40b is formed in the opening. For this reason, the lower electrode layer 4a and the capacitor line 5b are opposed to each other through the dielectric layer 42a in the opening 40b to form a storage capacitor 55. The etching stopper layer 40a is formed in a region that overlaps at least the edge 42g of the dielectric layer 42a and the edge 5g of the capacitance line 5b. In some cases, the etching stopper layer 40a is formed only in a region overlapping with the edge 42g of the dielectric layer 42a and the edge 5g of the capacitor line 5b.

容量線5bの上層側には、シリコン酸化膜等からなる透光性の第2層間絶縁膜43が形成され、第2層間絶縁膜43の上層にはデータ線6aおよびドレイン電極6bが形成されている。データ線6aはコンタクトホール7aを介してソース領域1bに電気的に接続している。ドレイン電極6bはコンタクトホール7bを介して下電極層4aに電気的に接続し、下電極層4aを介してドレイン領域1cに電気的に接続している。データ線6aおよびドレイン電極6bは、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜、あるいは金属膜等からなる。   A translucent second interlayer insulating film 43 made of a silicon oxide film or the like is formed on the upper side of the capacitor line 5b, and a data line 6a and a drain electrode 6b are formed on the upper layer of the second interlayer insulating film 43. Yes. Data line 6a is electrically connected to source region 1b through contact hole 7a. The drain electrode 6b is electrically connected to the lower electrode layer 4a through the contact hole 7b, and is electrically connected to the drain region 1c through the lower electrode layer 4a. The data line 6a and the drain electrode 6b are made of a conductive polysilicon film, a metal silicide film, a metal film, or the like.

データ線6aおよびドレイン電極6bの上層側には、シリコン酸化膜等からなる透光性の第3層間絶縁膜44が形成されている。第3層間絶縁膜44には、ドレイン電極6bへ通じるコンタクトホール7dが形成されている。第3層間絶縁膜44の上層には、ITO(Indium Tin Oxide)膜等の透光性導電膜からなる四角形の画素電極9aが形成されており、画素電極9aは、コンタクトホール7dを介してドレイン電極6bに電気的に接続されている。第3層間絶縁膜44の表面には、図4(b)等を参照して説明したダミー画素電極9b(図5(a)には図示せず)が形成されており、かかるダミー画素電極9bは、画素電極9aと同時形成された透光性導電膜からなる。   A light-transmitting third interlayer insulating film 44 made of a silicon oxide film or the like is formed on the upper side of the data line 6a and the drain electrode 6b. In the third interlayer insulating film 44, a contact hole 7d leading to the drain electrode 6b is formed. A rectangular pixel electrode 9a made of a light-transmitting conductive film such as an ITO (Indium Tin Oxide) film is formed on the third interlayer insulating film 44. The pixel electrode 9a is drained through a contact hole 7d. It is electrically connected to the electrode 6b. A dummy pixel electrode 9b (not shown in FIG. 5A) described with reference to FIG. 4B and the like is formed on the surface of the third interlayer insulating film 44, and the dummy pixel electrode 9b Consists of a translucent conductive film formed simultaneously with the pixel electrode 9a.

画素電極9aの表面には配向膜16が形成されている。本形態において、配向膜16は、SiOX(x<2)、SiO2、TiO2、MgO、Al23、In23、Sb23、Ta25等の斜方蒸着膜からなる無機配向膜(垂直配向膜)であり、本形態において、配向膜16は、シリコン酸化膜の斜方蒸着膜からなる。 An alignment film 16 is formed on the surface of the pixel electrode 9a. In this embodiment, the alignment film 16 is an obliquely deposited film of SiO x (x <2), SiO 2 , TiO 2 , MgO, Al 2 O 3 , In 2 O 3 , Sb 2 O 3 , Ta 2 O 5 or the like. In this embodiment, the alignment film 16 is an obliquely deposited film of a silicon oxide film.

対向基板20では、石英基板やガラス基板等の透光性の基板本体20wの液晶層50側の表面(素子基板10に対向する側の面)に、アルミニウム、チタン、モリブデン、タングステン、クロムやそれらの化合物や合金等からなる導電性の遮光層29が形成されており、かかる遮光層29のうち、画像表示領域100aに形成されているブラックマトリクス部29bは、画素間領域10f(図5(a)等を参照)と重なる位置で縦横に延在している。   In the counter substrate 20, aluminum, titanium, molybdenum, tungsten, chrome, and the like are formed on the surface of the translucent substrate body 20 w such as a quartz substrate or a glass substrate on the liquid crystal layer 50 side (surface facing the element substrate 10). A conductive light shielding layer 29 made of a compound, an alloy, or the like is formed. Of the light shielding layer 29, the black matrix portion 29b formed in the image display region 100a is an inter-pixel region 10f (FIG. 5A ) Etc.)) and extend vertically and horizontally.

本形態において、遮光層29にアルミニウム合金層(アルミニウム系金属層)が用いられている。また、遮光層29の上層(素子基板10に対向する側の面)には、カラーフィルター層27、保護膜28、共通電極21が形成されており、共通電極21はITO膜からなる。遮光層29の上層(素子基板10に対向する側の面)には配向膜26が形成されており、配向膜26は、配向膜16と同様、SiOX(x<2)、SiO2、TiO2、MgO、Al23、In23、Sb23、Ta25等の斜方蒸着膜からなる無機配向膜(垂直配向膜)である。本形態において、配向膜26は、シリコン酸化膜の斜方蒸着膜からなる。 In this embodiment, an aluminum alloy layer (aluminum metal layer) is used for the light shielding layer 29. A color filter layer 27, a protective film 28, and a common electrode 21 are formed on the upper layer of the light shielding layer 29 (the surface facing the element substrate 10), and the common electrode 21 is made of an ITO film. An alignment film 26 is formed on the upper layer of the light shielding layer 29 (the surface facing the element substrate 10). The alignment film 26 is similar to the alignment film 16, and is composed of SiO x (x <2), SiO 2 , TiO 2 . 2 , an inorganic alignment film (vertical alignment film) made of an obliquely deposited film such as MgO, Al 2 O 3 , In 2 O 3 , Sb 2 O 3 , Ta 2 O 5 . In this embodiment, the alignment film 26 is composed of an oblique vapor deposition film of a silicon oxide film.

このように構成した電気光学装置100において、液晶材料として誘電異方性が負のネマチック液晶化合物が用いられており、配向膜16、26は、液晶材料を垂直配向させ、液晶パネル100pは、ノーマリブラックのVAモードとして動作させる。   In the electro-optical device 100 configured as described above, a nematic liquid crystal compound having a negative dielectric anisotropy is used as the liquid crystal material. The alignment films 16 and 26 vertically align the liquid crystal material. Operate as a Mariblack VA mode.

(基板間導通部190の平面的構成)
図6は、本発明を適用した電気光学装置100の基板間導通部190の説明図であり、図6(a)、(b)は、素子基板10と対向基板20とを貼り合わせた状態における基板間導通部190等の平面構成を示す説明図、および対向基板20を貼り合わせる前の状態における素子基板10の基板間導通部190等の平面構成を示す説明図である。なお、図6において、素子基板側基板間導通用電極6eに形成した開口部6fの数について少なく表してある。
(Planar configuration of the inter-substrate conductive portion 190)
FIGS. 6A and 6B are explanatory diagrams of the inter-substrate conduction unit 190 of the electro-optical device 100 to which the present invention is applied. FIGS. 6A and 6B are diagrams in a state where the element substrate 10 and the counter substrate 20 are bonded to each other. It is explanatory drawing which shows planar structures, such as the board | substrate conduction | electrical_connection part 190, and explanatory drawing which shows planar structures, such as the board | substrate conduction | electrical_connection part 190 of the element substrate 10 in the state before bonding the opposing board | substrate 20. FIG. In FIG. 6, the number of openings 6f formed in the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e is reduced.

図4に示すように、本形態の電気光学装置100では、素子基板10の側から共通電極21に共通電位Vcomを供給するにあたって、シール材80の外側のうち、素子基板10と対向基板20とが重なっている領域に基板間導通部190が構成されている。本形態では、素子基板10の基板縁10aと画像表示領域100aとの間(対向基板20の基板縁20aと画像表示領域100aとの間)において、シール材80に近接する位置に基板間導通部190が2個所、構成されている。ここで、2個所の基板間導通部190の構成は同一であるため、フレキシブル配線基板202、203が接続されている付近に設けた基板間導通部190を例に説明し、フレキシブル配線基板201、202が接続されている付近に設けた基板間導通部190の説明は省略する。   As shown in FIG. 4, in the electro-optical device 100 of this embodiment, when supplying the common potential Vcom from the element substrate 10 side to the common electrode 21, the element substrate 10, the counter substrate 20, The inter-substrate conducting part 190 is configured in the region where the two overlap. In this embodiment, the inter-substrate conductive portion is located near the sealing material 80 between the substrate edge 10a of the element substrate 10 and the image display region 100a (between the substrate edge 20a of the counter substrate 20 and the image display region 100a). Two 190 are configured. Here, since the configuration of the two inter-substrate conductive portions 190 is the same, the inter-substrate conductive portion 190 provided in the vicinity where the flexible wiring substrates 202 and 203 are connected will be described as an example. The description of the inter-substrate conducting portion 190 provided in the vicinity where the 202 is connected is omitted.

本形態では、基板間導通部190を構成するにあたって、まず、図6に示すように、素子基板10において、基板縁10aから画像表示領域100a内に向けて複数本のデータ線6aの引き回し部分(信号線)が延在する信号線形成領域60の間66(信号線形成領域62、63の間66)には素子基板側基板間導通用電極6eが形成されている。かかる素子基板側基板間導通用電極6eの形成位置は、対向基板20と重なる領域である。また、対向基板20では、一方面20sの略全面に共通電極21が形成されているため、共通電極21のうち、素子基板側基板間導通用電極6eと重なる領域は、図4(b)に示す対向基板側基板間導通用電極21eとして利用される。   In this embodiment, when configuring the inter-substrate conducting portion 190, first, as shown in FIG. 6, in the element substrate 10, a plurality of data lines 6a are routed from the substrate edge 10a toward the image display region 100a ( An element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e is formed between the signal line forming regions 60 where the signal lines extend (66 between the signal line forming regions 62 and 63). The element substrate side inter-substrate conduction electrode 6 e is formed in a region overlapping the counter substrate 20. Further, in the counter substrate 20, the common electrode 21 is formed on the substantially entire surface of the one surface 20s. Therefore, a region of the common electrode 21 that overlaps the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e is illustrated in FIG. It is used as the counter substrate side inter-substrate conduction electrode 21e shown.

次に、シール材80は、対向基板20の基板縁20a〜20bに沿って設けられており、素子基板10と対向基板20とを貼り合わせている。ここで、シール材80は、素子基板側基板間導通用電極6eが設けられた領域では画像表示領域100aに向けて凹むように屈曲しており、かかる屈曲部分85は、信号線形成領域60の間66に位置し、データ線6aとは重なっていない。   Next, the sealing material 80 is provided along the substrate edges 20a to 20b of the counter substrate 20, and the element substrate 10 and the counter substrate 20 are bonded together. Here, the sealing material 80 is bent so as to be recessed toward the image display region 100 a in the region where the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6 e is provided, and the bent portion 85 is formed in the signal line forming region 60. It is located in the space 66 and does not overlap the data line 6a.

本形態では、素子基板側基板間導通用電極6eを両側で挟む信号線形成領域60の端部に位置するデータ線6aの引き回し部分(信号線)は、互いに近接するように斜めに傾きながら画像表示領域100aに向かって延在している。かかる形状に対応して、屈曲部分85は、信号線形成領域60の間66において、信号線形成領域60の端部に沿って斜めに延在する辺851、852(斜辺)を備えている。また、屈曲部分85は、屈曲部分85に対して対向する対向基板20の基板縁20aに並行して延在する辺853を有している。   In this embodiment, the data line 6a routing portion (signal line) located at the end of the signal line forming region 60 sandwiching the element substrate side inter-substrate conducting electrode 6e on both sides is inclined while being inclined so as to be close to each other. It extends toward the display area 100a. Corresponding to this shape, the bent portion 85 includes sides 851 and 852 (slanted sides) extending obliquely along the end portions of the signal line forming region 60 between the signal line forming regions 60. The bent portion 85 has a side 853 extending in parallel with the substrate edge 20 a of the counter substrate 20 facing the bent portion 85.

また、素子基板側基板間導通用電極6eは、基板縁20aに並行して延在する辺6e1と、辺6e1に対して画像表示領域100a側で辺6e1に並行に延在する辺6e2と、辺6e1の両端から画像表示領域100aに向けて延在する2つの辺6e3、6e5と、辺6e3と辺6e2の端部を繋ぐ辺6e4と、辺6e5と辺6e2の端部を繋ぐ辺6e6とを有している。ここで、素子基板側基板間導通用電極6eは、シール材80の屈曲部分85と重なる領域に形成されており、かつ、素子基板側基板間導通用電極6eのサイズは屈曲部分85より大である。このため、シール材80は、素子基板側基板間導通用電極6eのうち、画像表示領域100aの側に位置する部分と重なっている。   The element substrate side inter-substrate conducting electrode 6e includes a side 6e1 extending in parallel to the substrate edge 20a, a side 6e2 extending in parallel to the side 6e1 on the image display region 100a side with respect to the side 6e1, Two sides 6e3 and 6e5 extending from both ends of the side 6e1 toward the image display region 100a, a side 6e4 connecting the ends of the sides 6e3 and 6e2, and a side 6e6 connecting the ends of the sides 6e5 and 6e2 have. Here, the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e is formed in a region overlapping the bent portion 85 of the sealing material 80, and the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e is larger than the bent portion 85. is there. For this reason, the sealing material 80 overlaps with the part located on the image display region 100a side in the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e.

また、素子基板側基板間導通用電極6eには、X軸方向に延在するスリット状の開口部6fがY軸方向に複数、並列している。それ故、素子基板側基板間導通用電極6eは、開口部6fで挟まれた部分が細幅部分になっており、本形態において、シール材80は、素子基板側基板間導通用電極6eのうち、開口部6fによって細幅部分となっている領域に重なっている。かかる開口部6fは、図8を参照して後述するように、シール材80と重なる領域に、部分的に素子基板10の表面からの高さが低くなっている部分を形成しており、それより、シール材80と重なる領域における導電膜の密度を調整する。なお、スリット状の開口部6fに代えて、開口部6fを格子状に形成してもよい。   In addition, a plurality of slit-like openings 6f extending in the X-axis direction are arranged in parallel in the Y-axis direction on the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e. Therefore, the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e has a narrow portion sandwiched between the openings 6f. In this embodiment, the sealing material 80 is formed of the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e. Of these, the opening 6f overlaps the region that is the narrow portion. As will be described later with reference to FIG. 8, the opening 6 f forms a portion where the height from the surface of the element substrate 10 is partially reduced in a region overlapping the sealing material 80. Thus, the density of the conductive film in the region overlapping with the sealing material 80 is adjusted. Instead of the slit-shaped opening 6f, the openings 6f may be formed in a lattice shape.

次に、基板間導通材90は、シール材80の屈曲部分85と屈曲部分85に対向する対向基板20の基板縁20aとに挟まれた領域内で基板縁20aに沿って延在するように帯状に設けられている。本形態において、基板間導通材90は、屈曲部分85において基板縁20aに並行して延在する辺853に接するように延在している。このため、基板間導通材90の画像表示領域100aと反対側の端部は、シール材80において屈曲部分85を挟む両側部分の外縁80gを直線的に結んだ仮想線より画像表示領域100aの側に位置しており、基板間導通材90は、外縁80gを直線的に結んだ仮想線より基板縁20aの側に張り出していない。   Next, the inter-substrate conductive member 90 extends along the substrate edge 20 a in a region sandwiched between the bent portion 85 of the sealing material 80 and the substrate edge 20 a of the counter substrate 20 facing the bent portion 85. It is provided in a band shape. In the present embodiment, the inter-substrate conductive member 90 extends so as to be in contact with the side 853 that extends in parallel with the substrate edge 20 a at the bent portion 85. Therefore, the end of the inter-substrate conductive member 90 opposite to the image display region 100a is closer to the image display region 100a than the imaginary line that linearly connects the outer edges 80g of both side portions sandwiching the bent portion 85 in the sealant 80. The inter-substrate conductive member 90 does not protrude from the imaginary line that linearly connects the outer edges 80g toward the substrate edge 20a.

かかる構成によれば、例えば、素子基板10にシール材80および基板間導通材90を塗布した後、素子基板10との間にシール材80および基板間導通材90を挟むように対向基板20を重ねれば、素子基板10と対向基板20は、ギャップ材81を含有するシール材80で所定の間隙を介して貼り合わされるとともに、素子基板側基板間導通用電極6eと対向基板側基板間導通用電極21eとは、導電粒子91を含む基板間導通材90によって導通する。   According to such a configuration, for example, after the sealing material 80 and the inter-substrate conductive material 90 are applied to the element substrate 10, the counter substrate 20 is sandwiched between the element substrate 10 and the sealing material 80 and the inter-substrate conductive material 90. If overlapped, the element substrate 10 and the counter substrate 20 are bonded to each other with a sealing material 80 containing a gap material 81 through a predetermined gap, and the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e and the counter substrate side inter-substrate conductor are connected. The common electrode 21e is electrically connected by the inter-substrate conductive material 90 including the conductive particles 91.

なお、本形態では、素子基板側基板間導通用電極6eを両側で挟む信号線形成領域60の端部に形成されている配線6jは、隣り合う信号線形成領域60同士を電気的に接続している。かかる配線6jは、例えば、シールド線あるいは同期信号線である。   In this embodiment, the wiring 6j formed at the end of the signal line forming region 60 sandwiching the element substrate side inter-substrate conducting electrode 6e on both sides electrically connects the adjacent signal line forming regions 60 to each other. ing. The wiring 6j is, for example, a shield line or a synchronization signal line.

(素子基板側基板間導通用電極6eおよびデータ線6aの具体的構成)
図7は、本発明を適用した電気光学装置100に用いた素子基板10の素子基板側基板間導通用電極6eやデータ線6aの引き回し部分の構成を示す説明図であり、図7(a1)、(a2)は、素子基板側基板間導通用電極6eの平面構成を模式的に示す説明図、および断面構成を模式的に示すE−E′断面図であり、図7(b1)、(b2)は、データ線6aの平面構成を模式的に示す説明図、および断面構成を模式的に示すF−F′断面図である。図8は、本発明を適用した電気光学装置100においてシール材80のギャップ材81で素子基板10と対向基板20との間隙を制御する様子を示す説明図であり、図8(a)、(b)は、図6のA−A′断面図、およびB−B′断面図である。図9は、本発明を適用した電気光学装置100に設けた素子基板側基板間導通用電極6eを拡大して示す説明図である。なお、図7において、素子基板側基板間導通用電極6eに形成した開口部6fの数について少なく表してある。また、図8では、図7(a2)、(b2)等に示す下地絶縁膜12や第2層間絶縁膜43等の図示を省略してある。また、図9では、開口部6fが最低限必要な部分(シール材80と重なる部分)を右下がりの斜線を付した領域で示し、素子基板側基板間導通用電極6eのうち、導電性保護膜が必要な部分を右上がりの斜線を付した領域で示してある。
(Specific configuration of element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e and data line 6a)
FIG. 7 is an explanatory diagram showing the configuration of the routing portion of the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e and the data line 6a of the element substrate 10 used in the electro-optical device 100 to which the present invention is applied. , (A2) are an explanatory view schematically showing the planar configuration of the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e, and an EE ′ sectional view schematically showing the sectional configuration, FIG. 7 (b1), ( b2) is an explanatory view schematically showing a planar configuration of the data line 6a, and an FF ′ sectional view schematically showing a sectional configuration. FIG. 8 is an explanatory diagram showing a state in which the gap between the element substrate 10 and the counter substrate 20 is controlled by the gap material 81 of the sealing material 80 in the electro-optical device 100 to which the present invention is applied. b) AA 'sectional drawing of FIG. 6, and BB' sectional drawing. FIG. 9 is an explanatory diagram showing, in an enlarged manner, the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e provided in the electro-optical device 100 to which the present invention is applied. In FIG. 7, the number of openings 6f formed in the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e is reduced. In FIG. 8, the illustration of the base insulating film 12, the second interlayer insulating film 43, etc. shown in FIGS. 7A2 and 7B2 is omitted. Further, in FIG. 9, a portion where the opening 6 f is at least necessary (a portion overlapping with the sealing material 80) is indicated by a hatched area, and the conductive protection of the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6 e is shown. The part where the film is required is indicated by a hatched area.

図7に示すように、本形態の電気光学装置100において、素子基板側基板間導通用電極6eは、データ線6aの引き回し部分と同様、第2層間絶縁膜43上に形成された同一の導電膜から構成されている。ここで、素子基板側基板間導通用電極6eの高さ位置や、データ線6aの引き回し部分の高さ位置を調整することを目的に、素子基板側基板間導通用電極6eの下層側、およびデータ線6aの引き回し部分の下層側には、図4に示す走査線3a、下電極層4a、容量線5b等の同一の導電膜3e、3t、4e、4t、5e、5t等が形成されている。また、素子基板側基板間導通用電極6eの下層側、およびデータ線6aの引き回し部分の下層側には、下地絶縁膜12、ゲート絶縁層2、第1層間絶縁膜41、誘電体層42a、第2層間絶縁膜43等も形成されている。   As shown in FIG. 7, in the electro-optical device 100 according to the present embodiment, the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e is the same conductive material formed on the second interlayer insulating film 43 as in the routing portion of the data line 6a. It consists of a membrane. Here, for the purpose of adjusting the height position of the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e and the height position of the routing portion of the data line 6a, the lower side of the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e, and The same conductive films 3e, 3t, 4e, 4t, 5e, 5t, and the like such as the scanning line 3a, the lower electrode layer 4a, and the capacitor line 5b shown in FIG. 4 are formed on the lower layer side of the routing portion of the data line 6a. Yes. Further, on the lower layer side of the element substrate side inter-substrate conducting electrode 6e and the lower layer side of the routing portion of the data line 6a, the base insulating film 12, the gate insulating layer 2, the first interlayer insulating film 41, the dielectric layer 42a, A second interlayer insulating film 43 and the like are also formed.

素子基板側基板間導通用電極6eの上層側には第3層間絶縁膜44が形成されているが、かかる第3層間絶縁膜44には開口部44eが形成されているので、素子基板側基板間導通用電極6eの表面は露出している。かかる開口部44eは、第3層間絶縁膜44に対するエッチングにより形成され、その際、素子基板側基板間導通用電極6eはエッチングストッパーとして機能する。このため、エッチングストッパー層40aや第1層間絶縁膜41がエッチングされることはない。なお、本形態では、素子基板側基板間導通用電極6eの表面側のうち、基板間導通材90が設けられている領域には、図5(b)に示す画素電極9aと同時形成されたITO膜からなる導電性保護膜9gが形成されており、かかる導電性保護膜9gは、第3層間絶縁膜44の開口部44eを介して素子基板側基板間導通用電極6eに導通している。導電性保護膜9gは、素子基板側基板間導通用電極6eを構成する金属膜の表面が酸化して接触抵抗が高くなることを防止する機能を発揮する。また、本形態では、開口部44eを形成する際、素子基板側基板間導通用電極6eをエッチングストッパーとして機能させることにより、開口部44eを導電膜5eまで到達させ、素子基板側基板間導通用電極6eと導電膜5eとを導電性保護膜9gによって導通させる構造が採用されている。一方、データ線6aの引き回し部の上層側には、第3層間絶縁膜44が形成されており、かかる第3層間絶縁膜44の表面には、データ線6aの引き回し部等に起因する凸部44tが形成されている。   A third interlayer insulating film 44 is formed on the upper layer side of the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e. Since the opening 44e is formed in the third interlayer insulating film 44, the element substrate side substrate The surface of the inter-electrode 6e is exposed. The opening 44e is formed by etching the third interlayer insulating film 44. At this time, the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e functions as an etching stopper. Therefore, the etching stopper layer 40a and the first interlayer insulating film 41 are not etched. In this embodiment, in the surface side of the element substrate side inter-substrate conducting electrode 6e, the region where the inter-substrate conducting material 90 is provided is formed simultaneously with the pixel electrode 9a shown in FIG. A conductive protective film 9g made of an ITO film is formed, and the conductive protective film 9g is electrically connected to the element substrate side inter-substrate conductive electrode 6e through the opening 44e of the third interlayer insulating film 44. . The conductive protective film 9g exhibits a function of preventing the surface of the metal film constituting the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e from being oxidized to increase the contact resistance. In this embodiment, when the opening 44e is formed, the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e functions as an etching stopper, so that the opening 44e reaches the conductive film 5e and the element substrate side inter-substrate conduction. A structure is adopted in which the electrode 6e and the conductive film 5e are electrically connected by the conductive protective film 9g. On the other hand, a third interlayer insulating film 44 is formed on the upper side of the routing portion of the data line 6a, and a convex portion caused by the routing portion of the data line 6a is formed on the surface of the third interlayer insulating film 44. 44t is formed.

ここで、素子基板側基板間導通用電極6eはスリット状の開口部6fが形成されているため、素子基板側基板間導通用電極6eの表面側のうち、シール材80が設けられている領域にも第3層間絶縁膜44の表面に凸部44tが形成されている。このため、図8を参照して以下に説明するように、素子基板10と対向基板20との間隙をシール材80のギャップ材81で精度よく制御することができる。   Here, since the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e is formed with the slit-shaped opening 6f, the region where the sealing material 80 is provided on the surface side of the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e. In addition, a convex portion 44 t is formed on the surface of the third interlayer insulating film 44. Therefore, as described below with reference to FIG. 8, the gap between the element substrate 10 and the counter substrate 20 can be accurately controlled by the gap material 81 of the sealing material 80.

まず、図8(a)に示すように、素子基板10の素子基板側基板間導通用電極6eと対向基板20の共通電極21(対向基板側基板間導通用電極21e)との間には、シール材80のギャップ材81、および基板間導通材90の導電粒子91が介在するが、ギャップ材81としては、導電粒子91より硬い材料が用いられている。このため、素子基板側基板間導通用電極6eと共通電極21(対向基板側基板間導通用電極21e)との間にギャップ材81および導電粒子91が介在している場合でも、素子基板10と対向基板20との間隙をギャップ材81で制御することができる。   First, as shown in FIG. 8A, between the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e of the element substrate 10 and the common electrode 21 (opposite substrate side inter-substrate conduction electrode 21e) of the counter substrate 20, Although the gap material 81 of the sealing material 80 and the conductive particles 91 of the inter-substrate conductive material 90 are interposed, a material harder than the conductive particles 91 is used as the gap material 81. Therefore, even when the gap material 81 and the conductive particles 91 are interposed between the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e and the common electrode 21 (counter substrate side inter-substrate conduction electrode 21e), The gap with the counter substrate 20 can be controlled by the gap material 81.

次に、図8(a)、(b)に示すように、シール材80のギャップ材81は、素子基板10の素子基板側基板間導通用電極6eと対向基板20の共通電極21(対向基板側基板間導通用電極21e)との間に介在するとともに、素子基板10のデータ線6aの引き回し部分と対向基板20との間にも介在している。なお、本形態では、対向基板20において、データ線6aの引き回し部分が形成された信号線形成領域60と対向する領域には共通電極21は形成されていない。但し、共通電極21の厚さは100nmであり、素子基板側基板間導通用電極6eやデータ線6aの引き回し部分を構成する導電膜の厚さ(例えば、300nm〜500nm)からみれば薄いので、共通電極21の有無は、素子基板10と対向基板20との間隙に大きな影響を及ぼさない。   Next, as shown in FIGS. 8A and 8B, the gap material 81 of the sealing material 80 includes the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6 e of the element substrate 10 and the common electrode 21 (counter substrate) of the counter substrate 20. It is interposed between the side substrate conduction electrode 21 e) and also between the counter substrate 20 and the routing portion of the data line 6 a of the element substrate 10. In the present embodiment, the common electrode 21 is not formed on the counter substrate 20 in a region facing the signal line forming region 60 where the routing portion of the data line 6a is formed. However, the thickness of the common electrode 21 is 100 nm, which is thin when viewed from the thickness (for example, 300 nm to 500 nm) of the conductive film constituting the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e and the routing portion of the data line 6a. The presence or absence of the common electrode 21 does not significantly affect the gap between the element substrate 10 and the counter substrate 20.

ここで、データ線6aの引き回し部分が形成された信号線形成領域60では、データ線6aの引き回し部分が間にスペースをもって形成されているため、素子基板10のデータ線6aの引き回し部分によって第3層間絶縁膜44の表面に形成された凸部44tと対向基板20とに接触するギャップ材81の密度が低い。そこで、本形態では、素子基板側基板間導通用電極6eにスリット状の開口部6fを設け、素子基板側基板間導通用電極6eの表面側のうち、シール材80が設けられている領域にも第3層間絶縁膜44の表面に凸部44tが形成されている。このようにして、素子基板側基板間導通用電極6eにおいてギャップ材81と接する密度を低下させることにより、素子基板10の素子基板側基板間導通用電極6eと対向基板20の共通電極21(対向基板側基板間導通用電極21e)とに接触するギャップ材81の密度を低下させてある。従って、素子基板10の素子基板側基板間導通用電極6eと対向基板20の共通電極21(対向基板側基板間導通用電極21e)とに接触するギャップ材81の密度と、第3層間絶縁膜44の凸部44tと対向基板20とに接触するギャップ材81の密度とが同等である。また、データ線6aの引き回し部分と重なる部分の第3層間絶縁膜44の表面の高さと、素子基板側基板間導通用電極6eのうち、シール材80が設けられている領域の第3層間絶縁膜44の表面の高さとが同等である。それ故、本形態によれば、ギャップ材81が素子基板10の素子基板側基板間導通用電極6eと対向基板20の共通電極21(対向基板側基板間導通用電極21e)との間に介在するとともに、素子基板10のデータ線6aの引き回し部分と対向基板20との間にも介在している場合でも、素子基板10と対向基板20との間隙をギャップ材81で制御することができる。   Here, in the signal line formation region 60 in which the routing portion of the data line 6a is formed, the routing portion of the data line 6a is formed with a space in between, so that the third portion is formed by the routing portion of the data line 6a of the element substrate 10. The density of the gap material 81 in contact with the convex portion 44t formed on the surface of the interlayer insulating film 44 and the counter substrate 20 is low. Therefore, in this embodiment, the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e is provided with a slit-shaped opening 6f, and the surface side of the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e is provided in a region where the sealing material 80 is provided. Also, a convex portion 44 t is formed on the surface of the third interlayer insulating film 44. In this way, by reducing the density in contact with the gap material 81 in the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e, the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e of the element substrate 10 and the common electrode 21 (opposing the counter substrate 20). The density of the gap material 81 in contact with the substrate-side inter-substrate conduction electrode 21e) is reduced. Therefore, the density of the gap material 81 in contact with the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e of the element substrate 10 and the common electrode 21 (counter substrate side inter-substrate conduction electrode 21e) of the counter substrate 20, and the third interlayer insulating film The density of the gap material 81 in contact with the convex portion 44t of 44 and the counter substrate 20 is equal. Further, the third interlayer insulation in the region where the seal material 80 is provided in the height of the surface of the third interlayer insulating film 44 that overlaps with the routing portion of the data line 6a and the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e. The height of the surface of the film 44 is equivalent. Therefore, according to this embodiment, the gap member 81 is interposed between the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e of the element substrate 10 and the common electrode 21 (opposite substrate side inter-substrate conduction electrode 21e) of the counter substrate 20. In addition, the gap between the element substrate 10 and the counter substrate 20 can be controlled by the gap material 81 even when the data substrate 6 is interposed between the routing portion of the data line 6 a of the element substrate 10 and the counter substrate 20.

なお、図9には、開口部6fが最低限必要な部分(シール材80と重なる部分)を右下がりの斜線を付した領域で示してあり、素子基板側基板間導通用電極6eのうち、導電性保護膜9gが必要な部分を右上がりの斜線を付した領域で示してある。なお、導電性保護膜9gは、シール材80と重なるように形成してもよい。   In FIG. 9, a portion where the opening 6 f is the minimum necessary (portion overlapping with the sealing material 80) is indicated by a hatched region, and among the element substrate side inter-substrate conduction electrodes 6 e, A portion where the conductive protective film 9g is necessary is shown by a hatched region. The conductive protective film 9g may be formed so as to overlap the sealing material 80.

(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態の電気光学装置100では、素子基板10に素子基板側基板間導通用電極6eを設けるにあたって、基板縁10aから画像表示領域100a内に向けて複数本のデータ線6aの引き回し部分が延在する複数の信号線形成領域60の間66を利用している。また、シール材80については、素子基板側基板間導通用電極6eが設けられた領域では画像表示領域100aに向けて凹むように屈曲した屈曲部分85を設け、かかる屈曲部分85の内側に基板間導通材90を屈曲部分85に対向する対向基板20の基板縁20aに沿って延在するように設ける。このため、基板間導通材90を広い領域に設けて基板間導通部190での抵抗を低減した場合でも、対向基板20の基板縁20aから基板間導通材90が張り出すことがないとともに、データ線6aの引き回し部分と素子基板側基板間導通用電極6eとが重なって容量が寄生してしまうことを防止することができる。
(Main effects of this form)
As described above, in the electro-optical device 100 according to this embodiment, when the element substrate-side inter-substrate conduction electrode 6e is provided on the element substrate 10, a plurality of data lines 6a from the substrate edge 10a toward the image display region 100a. A plurality of signal line forming regions 60 between the extended portions 66 are utilized. As for the sealing material 80, a bent portion 85 bent so as to be recessed toward the image display region 100a is provided in the region where the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e is provided, and between the substrates is provided inside the bent portion 85. The conductive material 90 is provided so as to extend along the substrate edge 20 a of the counter substrate 20 facing the bent portion 85. For this reason, even when the inter-substrate conductive material 90 is provided in a wide area to reduce the resistance at the inter-substrate conductive portion 190, the inter-substrate conductive material 90 does not protrude from the substrate edge 20a of the counter substrate 20, and data It is possible to prevent parasitic capacitance from occurring due to overlapping between the lead-out portion of the line 6a and the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e.

また、基板間導通材90の画像表示領域100aと反対側の端部は、シール材80において屈曲部分85を挟む両側部分の外縁80gを直線的に結んだ仮想線より画像表示領域100aの側に位置している。このため、シール材80と対向基板20の基板縁20aとが近接している場合でも、対向基板20の基板縁20aからの基板間導通材90が張り出すことがない。   Further, the end of the inter-substrate conductive member 90 opposite to the image display region 100a is closer to the image display region 100a than the imaginary line that linearly connects the outer edges 80g of both side portions sandwiching the bent portion 85 in the sealant 80. positioned. For this reason, even when the sealing material 80 and the substrate edge 20a of the counter substrate 20 are close to each other, the inter-substrate conductive material 90 from the substrate edge 20a of the counter substrate 20 does not protrude.

また、複数の信号線形成領域60において素子基板側基板間導通用電極6eの両側に位置する一対の端部は、互いに近接するように斜めに傾きながら画像表示領域100aに向かって延在している形状に合わせて、屈曲部分85は、斜めに延在する辺851、852(斜辺)を備えている。このため、屈曲部分85で囲まれた領域を最大限広くすることができるので、基板間導通材90を広い領域に設けることができる。   Further, in the plurality of signal line forming regions 60, a pair of end portions located on both sides of the element substrate side inter-substrate conducting electrode 6e extend toward the image display region 100a while being inclined obliquely so as to be close to each other. The bent portion 85 includes sides 851 and 852 (slanted sides) extending obliquely in accordance with the shape. For this reason, since the area | region enclosed by the bending part 85 can be enlarged as much as possible, the board | substrate conduction | electrical_connection material 90 can be provided in a wide area | region.

また、屈曲部分85は、屈曲部分85と対向する対向基板20の基板縁20aに並行して延在する辺853を有し、基板間導通材90は、辺853に接するように延在している。このため、屈曲部分85が画像表示領域100aに向けて凹む寸法を小さくしつつ、基板間導通材90を広い領域に設けても、基板間導通材90が屈曲部分85から基板縁20aの側に張り出すことを防止することができる。   The bent portion 85 has a side 853 extending in parallel with the substrate edge 20a of the counter substrate 20 facing the bent portion 85, and the inter-substrate conductive member 90 extends so as to be in contact with the side 853. Yes. For this reason, even if the inter-substrate conductive material 90 is provided in a wide region while reducing the dimension in which the bent portion 85 is recessed toward the image display region 100a, the inter-substrate conductive material 90 moves from the bent portion 85 toward the substrate edge 20a. Overhang can be prevented.

また、本形態では、基板間導通部190を2個所に設けたため、基板間導通材90を広い領域に設けることができるので、基板間導通部190での抵抗を低減することができる。   Further, in this embodiment, since the inter-substrate conductive portion 190 is provided at two places, the inter-substrate conductive material 90 can be provided in a wide region, so that the resistance at the inter-substrate conductive portion 190 can be reduced.

[別の実施の形態]
図10は、本発明を適用した別の電気光学装置100に設けた素子基板側基板間導通用電極6e等の説明図であり、図8に対応する部分を示してある。より具体的には、図10(a)、(b)は、素子基板側基板間導通用電極6eが形成されている領域の断面図、およびデータ線6aの引き回し部分が形成されている領域の断面図である。図1〜図9には、画素トランジスター100tとして、半導体層1aにポリシリコン膜を用いたトップゲート構造の電界効果型トランジスターを構成したが、半導体層1aにアモルファスシリコン膜を用いたボトムゲート構造の電界効果型トランジスター等を画素トランジスター100tとして用いた電気光学装置100に本発明を適用してもよい。この場合、図10に示すように、データ線6aや素子基板側基板間導通用電極6eはゲート絶縁層2の表面に形成されることになる。
[Another embodiment]
FIG. 10 is an explanatory diagram of an element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e and the like provided in another electro-optical device 100 to which the present invention is applied, and shows a portion corresponding to FIG. More specifically, FIGS. 10A and 10B are a cross-sectional view of a region where the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e is formed, and a region where the routing portion of the data line 6a is formed. It is sectional drawing. In FIG. 1 to FIG. 9, a field effect transistor having a top gate structure using a polysilicon film as the semiconductor layer 1a is configured as the pixel transistor 100t, but a bottom gate structure using an amorphous silicon film as the semiconductor layer 1a. The present invention may be applied to the electro-optical device 100 using a field effect transistor or the like as the pixel transistor 100t. In this case, as shown in FIG. 10, the data line 6 a and the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6 e are formed on the surface of the gate insulating layer 2.

[他の実施の形態]
上記実施の形態では、基板間導通部190を2個所に設けたが、基板間導通部190を1個所、あるいは3個所以上に設ける場合に本発明を適用してもよい。また、例えば、上記実施の形態では、データ線6aが延在している側に基板間導通部190を設けたが、走査線3aが延在している側に基板間導通部190を設けてもよく、データ線6aが延在している側および走査線3aが延在している側の双方に基板間導通部190を設けてもよい。
[Other embodiments]
In the above embodiment, the inter-substrate conductive portion 190 is provided at two locations, but the present invention may be applied when the inter-substrate conductive portion 190 is provided at one location, or at three or more locations. Further, for example, in the above embodiment, the inter-substrate conductive portion 190 is provided on the side where the data line 6a extends, but the inter-substrate conductive portion 190 is provided on the side where the scanning line 3a extends. Alternatively, the inter-substrate conductive portion 190 may be provided on both the side where the data line 6a extends and the side where the scanning line 3a extends.

上記実施の形態では、素子基板10に接続した複数枚のフレキシブル配線基板200から信号を画像表示領域100aに供給することにより、複数本のデータ線6aの引き回し部分が延在する複数の信号線形成領域60を設け、かかる信号線形成領域60の間66を利用して素子基板側基板間導通用電極6eを設けたが、例えば、複数の駆動用ICを素子基板10に実装することにより、複数の信号線形成領域60を設けてもよい。また、素子基板10自身に駆動回路を内蔵させる場合でも、複数の駆動回路を素子基板10に内蔵させることにより、複数の信号線形成領域60を設けてもよい。   In the above embodiment, by supplying signals from the plurality of flexible wiring boards 200 connected to the element substrate 10 to the image display region 100a, a plurality of signal line formations in which the routing portions of the plurality of data lines 6a extend are formed. The region 60 is provided, and the element substrate side inter-substrate conduction electrode 6e is provided using the space 66 between the signal line forming regions 60. For example, by mounting a plurality of driving ICs on the element substrate 10, a plurality of driving ICs are mounted. The signal line forming region 60 may be provided. Even when the drive circuit is built in the element substrate 10 itself, a plurality of signal line formation regions 60 may be provided by incorporating a plurality of drive circuits in the element substrate 10.

上記実施の形態では、電気光学装置100として透過型の電気光学装置100を例示したが、反射型の液晶装置や、プラズマディスプレイ、電界放出型ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ、電気泳動型ディスプレイ等において基板間導通を行う場合に本発明を適用してもよい。   In the above embodiment, the transmissive electro-optical device 100 is exemplified as the electro-optical device 100. However, the substrate is used in a reflective liquid crystal device, a plasma display, a field emission display, an organic electroluminescence display, an electrophoretic display, or the like. The present invention may be applied to the case of conducting electrical conduction.

[電子機器への搭載例]
上述実施形態では、電気光学装置100を搭載した電子機器2000として、液晶テレビを例示したが、液晶テレビ以外にも、パーソナルコンピューターのディスプレイ、デジタルサイネージ、カーナビゲーション装置、携帯用情報端末等の電子機器の表示部に本発明を適用した電気光学装置100を用いてもよい。
[Example of mounting on electronic devices]
In the above-described embodiment, the liquid crystal television is exemplified as the electronic device 2000 on which the electro-optical device 100 is mounted. However, in addition to the liquid crystal television, electronic devices such as a display of a personal computer, a digital signage, a car navigation device, and a portable information terminal. The electro-optical device 100 to which the present invention is applied may be used for the display unit.

6e・・素子基板側基板間導通用電極、9a・・画素電極、10・・素子基板、20・・対向基板、21・・共通電極、21e・・対向基板側基板間導通用電極、50・・液晶層(電気光学物質層)、60・・信号線形成領域、80・・シール材、85・・屈曲部分、90・・基板間導通材、81・・ギャップ材、91・・導電粒子、100・・電気光学装置、100a・・画像表示領域 6e .. Electrode for substrate-to-substrate conduction, 9a .. Pixel electrode, 10 .. Element substrate, 20 .. Opposite substrate, 21 .. Common electrode, 21e. · Liquid crystal layer (electro-optic material layer), 60 ·· Signal line forming region, 80 ·· Sealing material, 85 · · Bending portion, 90 · · Inter-substrate conductive material, 81 · · Gap material, 91 · · Conductive particles, 100..Electro-optical device, 100a..Image display area

Claims (8)

画像表示領域内に設けられた画素電極、基板縁と前記画像表示領域とを結ぶ方向に複数本の信号線が延在するとともに、前記基板縁の延在方向に存在する複数の信号線形成領域、および前記複数の信号線形成領域の間に設けられた素子基板側基板間導通用電極を一方面側に備えた素子基板と、
共通電極、および前記素子基板側基板間導通用電極と重なる位置で前記共通電極に導通する対向基板側基板間導通用電極を一方面側に備えた対向基板と、
前記対向基板の基板縁に沿って設けられて前記素子基板と前記対向基板とを貼り合わせているとともに、前記素子基板側基板間導通用電極が設けられた領域では前記画像表示領域に向けて凹むように屈曲した屈曲部分を備えたシール材と、
前記素子基板と前記対向基板との間で前記シール材により囲まれた領域に設けられた電気光学物質層と、
前記素子基板と前記対向基板との間において前記屈曲部分と該屈曲部分に対向する前記対向基板の基板縁とに挟まれた領域内で当該基板縁に沿って延在するように設けられて前記素子基板側基板間導通用電極と前記対向基板側基板間導通用電極とを導通させる基板間導通材と、
を有することを特徴とする電気光学装置。
A plurality of signal lines extending in a direction connecting the pixel display, the substrate edge and the image display area provided in the image display area, and a plurality of signal line forming areas existing in the extending direction of the substrate edge And an element substrate including an element substrate side inter-substrate conduction electrode provided between the plurality of signal line forming regions on one surface side,
A counter substrate provided on one side with a common electrode and a counter substrate side inter-substrate conduction electrode conducting to the common electrode at a position overlapping the element substrate side inter-substrate conduction electrode;
Provided along the substrate edge of the counter substrate, the element substrate and the counter substrate are bonded together, and is recessed toward the image display region in the region where the element substrate side inter-substrate conduction electrode is provided. A sealing material having a bent portion bent like
An electro-optic material layer provided in a region surrounded by the sealing material between the element substrate and the counter substrate;
Provided between the element substrate and the counter substrate so as to extend along the substrate edge in a region sandwiched between the bent portion and the substrate edge of the counter substrate facing the bent portion. An inter-substrate conducting material for conducting the element substrate-side inter-substrate conducting electrode and the counter-substrate-side inter-substrate conducting electrode;
An electro-optical device comprising:
前記基板間導通材の前記画像表示領域と反対側の端部は、前記シール材において前記屈曲部分を挟む両側部分の外縁を直線的に結んだ仮想線より前記画像表示領域の側に位置することを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。   An end portion of the inter-substrate conductive material opposite to the image display region is positioned on the image display region side from an imaginary line that linearly connects outer edges of both side portions sandwiching the bent portion in the sealing material. The electro-optical device according to claim 1. 前記複数の信号線形成領域において前記素子基板側基板間導通用電極の両側に位置する前記信号線の一対の端部は、互いに近接するように斜めに傾きながら前記画像表示領域に向かって延在しており、
前記屈曲部分は、互いに近接するように斜めに傾きながら前記画像表示領域に向かって延在する斜辺を備えていることを特徴とする請求項1または2に記載の電気光学装置。
In the plurality of signal line formation regions, a pair of ends of the signal lines located on both sides of the element substrate side inter-substrate conduction electrode extend toward the image display region while being inclined obliquely so as to be close to each other. And
3. The electro-optical device according to claim 1, wherein the bent portion includes an oblique side extending toward the image display area while being inclined obliquely so as to be close to each other.
前記屈曲部分は、該屈曲部分と対向する前記対向基板の基板縁に並行して延在する辺を有し、
前記基板間導通材は、当該辺に接するように延在していることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の電気光学装置。
The bent portion has a side extending in parallel with the substrate edge of the counter substrate facing the bent portion;
The electro-optical device according to claim 1, wherein the inter-substrate conductive material extends so as to be in contact with the side.
前記素子基板側基板間導通用電極の一部は、前記シール材と平面視で重なっていることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載の電気光学装置。   5. The electro-optical device according to claim 1, wherein a part of the element substrate side inter-substrate conduction electrode overlaps the sealing material in a plan view. 前記シール材は、前記素子基板と前記対向基板との間隙を制御するギャップ材を含んでおり、
前記素子基板側基板間導通用電極には、前記シール材と重なる領域に部分的に前記素子基板の表面からの高さが低い部分が設けられていることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載の電気光学装置。
The sealing material includes a gap material that controls a gap between the element substrate and the counter substrate;
6. The element substrate-side inter-substrate conduction electrode is provided with a portion having a low height from the surface of the element substrate in a region overlapping with the sealing material. The electro-optical device according to any one of the above.
前記信号線形成領域は、前記基板縁の延在方向に3以上設けられ、
前記素子基板側基板間導通用電極は、2以上設けられていることを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の電気光学装置。
Three or more signal line forming regions are provided in the extending direction of the substrate edge,
The electro-optical device according to claim 1, wherein two or more element substrate-side inter-substrate conduction electrodes are provided.
請求項1乃至7の何れか一項に記載の電気光学装置を備えていることを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 1.
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