キャリア４はワークＷの仕上げ寸法よりも薄い薄板状の円板であって、ワークＷが着脱自在に装着される装着孔９を略同心状に有する。キャリア４は図１〜図４に示すように、その外周に略同心状に配置されたキャリアリング５と、キャリアリング５内に固定され且つキャリア４の外周をキャリアリング５側に押える押えリング１０とにより支持されている。キャリアリング５は円筒面状に形成された外周面１２をキャリア４の回転中心に対して略同心状に有し、また軸心方向の両側の端面は静圧パッド１の静圧面の外周側の段部１１と隙間をおいて対向している。キャリア４、キャリアリング、押えリング１０によりキャリア手段７が構成されている。
The carrier 4 is a thin plate-like disk that is thinner than the finished dimensions of the workpiece W, and has mounting holes 9 in which the workpiece W is detachably mounted. As shown in FIGS. 1 to 4, the carrier 4 has a carrier ring 5 disposed substantially concentrically on the outer periphery thereof, and a holding ring 10 that is fixed in the carrier ring 5 and presses the outer periphery of the carrier 4 toward the carrier ring 5. And is supported by. The carrier ring 5 has a cylindrical outer peripheral surface 12 formed concentrically with respect to the center of rotation of the carrier 4, and both end surfaces in the axial direction are on the outer peripheral side of the static pressure surface of the static pressure pad 1. It faces the step 11 with a gap. The carrier 4, the carrier ring, and the presser ring 10 constitute carrier means 7 .
固定手段１６ａは静圧キャリアガイド６ａの一方のピン孔２１に圧入された固定ピン３９と、固定ピン３９が嵌脱するピン孔３８ｂを有し且つ支持アーム３４の側面に着脱自在に装着された固定ブラケット３８とを有する。固定ブラケット３８は基部側の固定ボルト４０により支持アーム３４に着脱自在に枢着され、その長孔３８ａを貫通して支持アーム３４側に螺合する調整ボルト４１により固定ボルト４０廻りに角度調整可能である。ピン孔３８ｂは固定ブラケット３８の先端部に設けられ、このピン孔３８ｂに固定ピン３９が嵌脱自在に嵌合している。規制手段１７ａは静圧キャリアガイド６ａの他方のピン孔２１と、収容部３５を貫通してピン孔２１に挿通された規制ピン４２とにより構成され、規制ピン４２とピン孔２１との間にフローティング範囲に相当する隙間が設けられている。
The fixing means 16a has a fixing pin 39 press-fitted into one pin hole 21 of the static pressure carrier guide 6a, and a pin hole 38b into which the fixing pin 39 fits and is detachably mounted on the side surface of the support arm 34. And a fixing bracket 38. The fixing bracket 38 is detachably pivotally attached to the support arm 34 by a fixing bolt 40 on the base side, and the angle of the fixing bracket 38 can be adjusted around the fixing bolt 40 by an adjustment bolt 41 that passes through the long hole 38a and is screwed to the support arm 34 side. It is. The pin hole 38b is provided at the tip of the fixed bracket 38, and the fixed pin 39 is fitted in the pin hole 38b so as to be detachable. The restricting means 17 a is configured by the other pin hole 21 of the static pressure carrier guide 6 a and a restricting pin 42 that passes through the accommodating portion 35 and is inserted into the pin hole 21, and between the restricting pin 42 and the pin hole 21. A gap corresponding to the floating range is provided.
静圧キャリアガイド６ｂを固定するときの固定手段１６ｂは、図３、図５、図１０に示すように、係合ピン５５と固定ブラケット５０の固定孔５３とにより構成され、係合ピン５５を固定孔５３に挿入することにより、静圧キャリアガイド６ｂを固定するようになっている。
As shown in FIGS. 3, 5, and 10, the fixing means 16 b for fixing the static pressure carrier guide 6 b is configured by the engaging pin 55 and the fixing hole 53 of the fixing bracket 50. The static pressure carrier guide 6b is fixed by being inserted into the fixing hole 53 .
またキャリアリング５の外周に略四等配に配置された各静圧キャリアガイド６ａ，６ｂの内、キャリアリング５の直径方向の両側に配置された静圧キャリアガイド６ａ，６ｂは、図９に示すように、静圧流体の圧力及び流量が十分大である同一回路２７に接続されているため、静圧キャリアガイド６ａ，６ｂの静圧面２２とキャリアリング５の外周面１２との間の隙間が変動したときには、同一回路２７内の圧力を揃えようとする力が働き、キャリアリング５が定位置を保とうとするため、安定した回転精度を得ることができる。
The respective hydrostatic carrier guides 6a disposed substantially square uniformly arranged on the outer periphery of the carrier ring 5, among 6b, hydrostatic carrier guide 6a that is disposed on both sides of the diameter direction of the carrier ring 5, 6b are in FIG. 9 As shown, the gap between the static pressure surface 22 of the static pressure carrier guides 6a and 6b and the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5 is connected to the same circuit 27 where the pressure and flow rate of the static pressure fluid are sufficiently large. When the pressure fluctuates, a force that tries to equalize the pressure in the same circuit 27 works and the carrier ring 5 tries to maintain a fixed position, so that stable rotation accuracy can be obtained.
図３、図５、図６、図１０は各静圧キャリアガイド６ａ，６ｂを固定した状態を示す。上側の静圧キャリアガイド６ａを固定する場合には、図３、図６に示すように静圧キャリアガイド６ａの固定ピン３９を固定ブラケット３８のピン孔３８ｂに挿入し、また固定ブラケット３８を固定ボルト４０で支持アーム３４に枢着する。この状態で固定ボルト４０廻りに長孔３８ａの範囲内で固定ブラケット３８を回動させると、静圧キャリアガイド６ａがフローティング軸１５ａ廻りに回動して、フローティング軸１５ａの両側で静圧キャリアガイド６ａの静圧面２２とキャリアリング５の外周面１２との隙間が変化するので、フローティング軸１５ａの両側でその隙間が略均等になった位置で調整ボルト４１を締め付けて固定すれば良い。
3, FIG. 5, FIG. 6 , and FIG. 10 show a state in which the static pressure carrier guides 6a and 6b are fixed. When the upper static pressure carrier guide 6a is fixed, the fixing pin 39 of the static pressure carrier guide 6a is inserted into the pin hole 38b of the fixing bracket 38 and the fixing bracket 38 is fixed as shown in FIGS. The bolt 40 is pivotally attached to the support arm 34. In this state, when the fixing bracket 38 is rotated around the fixing bolt 40 within the range of the long hole 38a, the static pressure carrier guide 6a is rotated around the floating shaft 15a, and the static pressure carrier guide is formed on both sides of the floating shaft 15a. Since the gap between the static pressure surface 22 of 6a and the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5 changes, the adjustment bolt 41 may be fastened and fixed at the positions where the gap is substantially uniform on both sides of the floating shaft 15a.
