JP2013006297A - Method for manufacturing inkjet head - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing an inkjet head capable of preventing inflow into an ink flow path side even when a thermosetting composition provided between flow path members comprising an ink flow path is fluidized following rising temperature during heat curing.SOLUTION: The method includes: a step of forming a thermosetting composition, which arranges flow path members 3 and 1 at a predetermined mutual joint position, and forms the thermosetting composition C between joint surfaces 31c and 12a of the flow path members 3 and 1 from the ink flow path side to an external air side; and a step of heating which bonds between the flow path members 3 and 1 by heating and curing the thermosetting composition C afterwards, and seals the ink flow path between the flow path members 3 and 1. The thermosetting composition C is formed of the thermosetting composition which is temporarily fluidized following rising temperature by heating in the step of heating, and is irreversibly cured. In the step of heating, the pressure at the ink flow path side is held higher than the pressure at the external air side when the thermosetting composition is at least fluidized in the step of heating.

Description

本発明は、インクジェットヘッドの製造方法に関し、インク流路を構成する流路部材間を接着する熱硬化性組成物によるインク流路の閉塞を防止するインクジェットヘッドの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing an ink jet head, and more particularly to a method for manufacturing an ink jet head that prevents clogging of an ink flow path by a thermosetting composition that bonds between flow path members constituting the ink flow path.

従来、インクジェットヘッドとしては、インクに吐出圧を付与するためのチャネルが設けられたヘッドチップに対して、該チャネルにインクを供給するためのマニホールドや、該チャネルからのインクを吐出するノズルが形成されたノズルプレートを接着してなるものが知られている。   Conventionally, as an inkjet head, a manifold for supplying ink to the channel and a nozzle for discharging ink from the channel are formed on a head chip provided with a channel for applying discharge pressure to the ink. There are known ones obtained by adhering a nozzle plate.

特許文献1には、マニホールドとヘッドチップ等を接着する接着部を、熱硬化性組成物を加熱硬化させることにより形成する技術が記載されている。   Patent Document 1 describes a technique for forming an adhesive portion for bonding a manifold and a head chip by thermally curing a thermosetting composition.

一方、特許文献2には、エポキシ系の弾性接着剤を用いてヘッドチップとノズルプレートを接着すると共に、該弾性接着剤を保護層により保護することで、弾性接着剤が外気の湿度やガス成分と反応して劣化することを防止している。   On the other hand, in Patent Document 2, an elastic adhesive is bonded to a head chip and a nozzle plate using an epoxy-based elastic adhesive, and the elastic adhesive is protected by a protective layer so that the elastic adhesive can be used for humidity and gas components of outside air. It is prevented from reacting with and deteriorating.

また、特許文献3には、熱硬化性を示すフッ素系のゴム組成物であって、主鎖中にフッ素化ポリエーテル骨格を有するポリマーを主成分として含む組成物が開示されている。さらに、特許文献4には、このような組成物に、表面処理剤で処理したシリカを配合して粘度を向上させることが記載されている。   Patent Document 3 discloses a fluorine-based rubber composition exhibiting thermosetting properties, which includes a polymer having a fluorinated polyether skeleton in the main chain as a main component. Furthermore, Patent Document 4 describes that such a composition is mixed with silica treated with a surface treatment agent to improve the viscosity.

特開2006−291167号公報JP 2006-291167 A 特開2003−326708号公報JP 2003-326708 A 特開平9−95615号公報JP-A-9-95615 特開2006−52386号公報JP 2006-52386 A

熱硬化性組成物は、加熱することによってポリマー間が架橋されて硬化し、これにより接着性を発現する。   The thermosetting composition is cured by crosslinking between the polymers by heating, thereby exhibiting adhesiveness.

この過程について、更に詳述すると、熱硬化性組成物は、一般に、まず加熱開始(通常は室温)から一定の温度(硬化開始温度)に達するまでの間、粘性が低下する傾向にある。これは、熱エネルギーによりポリマーの運動が活発化されることによる。更に加熱を続け、熱硬化性組成物の温度が硬化開始温度を過ぎると、ポリマー間の架橋反応が始まり、粘度が不可逆的に増加していく。即ち硬化が開始される。   This process will be described in further detail. Generally, the thermosetting composition generally tends to decrease in viscosity from the start of heating (usually room temperature) until reaching a certain temperature (curing start temperature). This is because the movement of the polymer is activated by thermal energy. When the heating is further continued and the temperature of the thermosetting composition exceeds the curing start temperature, a cross-linking reaction between the polymers starts and the viscosity increases irreversibly. That is, curing is started.

このように、熱硬化性組成物は、低粘度化した状態、即ち流動化した状態を経て硬化するため、流動化した際に濡れ広がりを生じ、マニホールドとヘッドチップとの間に塗布された熱硬化性組成物が、ヘッドチップに細幅に設けられるチャネル内に、毛細管現象によって流入し易い問題があった。特に、マニホールドとヘッドチップとの間からのインク流出を確実に封止するために熱硬化性組成物の塗布量を多くすると、流入は更に起こり易くなる。   As described above, the thermosetting composition is cured through a low viscosity state, that is, a fluidized state, so that it wets and spreads when fluidized, and the heat applied between the manifold and the head chip. There has been a problem that the curable composition easily flows into a channel provided in a narrow width on the head chip due to a capillary phenomenon. In particular, when the amount of the thermosetting composition applied is increased in order to reliably seal the ink outflow from between the manifold and the head chip, the inflow is more likely to occur.

一方、マニホールドとヘッドチップを接続する接着部には、温度変化により、両部材間の線膨張率の違いに起因する応力が働く。具体的には、例えば、加熱接着時の残留応力や、インク等の加熱・冷却に伴う応力などである。   On the other hand, a stress caused by a difference in linear expansion coefficient between the two members acts on the bonding portion connecting the manifold and the head chip due to a temperature change. Specifically, for example, residual stress at the time of heat bonding, stress accompanying heating / cooling of ink or the like.

これらの応力に対して、高硬度の接着剤を用いると、応力を吸収することができないため、両部材間に歪みが生じ、インクの吐出精度を低下させる場合があった。   When an adhesive having a high hardness is used against these stresses, the stress cannot be absorbed, so that distortion occurs between the two members, and the ink ejection accuracy may be lowered.

そこで、本発明者は、弾性接着剤を用いることを検討したが、一般的な弾性接着剤は、湿度、溶剤や、酸又は塩基性を示すインクによって膨潤や溶出を起こしやすく、マニホールドとヘッドチップを接続する接着部のように、外気やインクに直接触れる箇所への使用は困難であった。   Therefore, the present inventor examined using an elastic adhesive, but a general elastic adhesive is easily swelled or eluted by humidity, solvent, acid or basic ink, and a manifold and a head chip. It has been difficult to use it in places where it directly touches the outside air or ink, such as an adhesive part connecting the two.

例えば、特許文献2のように、弾性接着剤を保護層によって外気から保護しても、エポキシ系の弾性接着剤は、溶剤や、酸又は塩基性を示すインクに対して耐久性が得られ難い。また、保護層を設けることは、工程が複雑化し、生産性を低下させる問題も生じる。   For example, as in Patent Document 2, even if the elastic adhesive is protected from the outside air by the protective layer, the epoxy-based elastic adhesive is difficult to obtain durability with respect to the solvent, acid or basic ink. . Providing the protective layer also complicates the process and causes a problem of reducing productivity.

本発明者は、インクジェットヘッドにおいて、特にマニホールドとヘッドチップ間等の接着に適した弾性接着剤を探索した結果、熱硬化性を示すフッ素系のゴム組成物、中でも好ましくは、フッ素化ポリエーテル骨格を有するポリマーを主成分とする熱硬化性組成物が、湿度、溶剤や、酸又は塩基性を示すインクに対する耐性に優れることを見出した。   As a result of searching for an elastic adhesive particularly suitable for bonding between a manifold and a head chip in an inkjet head, the present inventor has found that a fluorine-based rubber composition exhibiting thermosetting properties, particularly preferably a fluorinated polyether skeleton. It has been found that a thermosetting composition containing as a main component a polymer having excellent resistance to humidity, a solvent, and an ink exhibiting acidity or basicity.

しかるに、熱硬化性を示すフッ素系のゴム組成物は、加熱硬化時の昇温に伴う流動化が比較的激しく、上述したように、昇温過程において、マニホールドとヘッドチップとの間に塗布された熱硬化性組成物が、チャネル内に流入する問題が著しいものとなることがわかった。特許文献4に記載されるように、表面処理剤で処理したシリカを配合して粘度を向上させても、流入の防止には限界があることがわかった。   However, the fluorine-based rubber composition exhibiting thermosetting property is relatively fluidized as the temperature rises during heat curing, and as described above, it is applied between the manifold and the head chip during the temperature raising process. It has been found that the problem of the thermosetting composition flowing into the channel becomes significant. As described in Patent Document 4, it has been found that even if silica treated with a surface treatment agent is blended to improve viscosity, there is a limit in preventing inflow.

チャネル内に熱硬化性組成物が流入するとインク流路が接着剤により塞がれてしまうため、インクの吐出不良を生じることになる。インク流路に流入した熱硬化性組成物を除去することは極めて困難であり、このような流入を未然に防止する技術が強く求められている。   When the thermosetting composition flows into the channel, the ink flow path is blocked by the adhesive, resulting in ink ejection failure. It is extremely difficult to remove the thermosetting composition that has flowed into the ink flow path, and there is a strong demand for a technique that prevents such inflow.

また、マニホールドとヘッドチップとの間の接着の場合に限らず、インク流路を構成する流路部材間を、熱硬化性組成物を介して接着する場合は、加熱時の昇温に伴って流動化した熱硬化性組成物の流入により、インク流路が閉塞される問題が生じ易い。   Further, not only in the case of bonding between the manifold and the head chip, but also in the case where the flow path members constituting the ink flow path are bonded through the thermosetting composition, the temperature rises during heating. The inflow of the fluidized thermosetting composition tends to cause a problem that the ink flow path is blocked.

そこで、本発明の課題は、インク流路を構成する流路部材間に設けられた熱硬化性組成物が、加熱硬化時の昇温に伴って流動化しても、インク流路側に流入することを防止できるインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to allow the thermosetting composition provided between the flow path members constituting the ink flow path to flow into the ink flow path side even when fluidized as the temperature rises during heat curing. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing an ink jet head that can prevent the above.

また本発明の他の課題は、以下の記載によって明らかとなる。   Other problems of the present invention will become apparent from the following description.

上記課題は、以下の各発明によって解決される。   The above problems are solved by the following inventions.

請求項1記載の発明は、インク流路を構成する2つの流路部材同士を互いに所定の接合位置に配置すると共に、該2つの流路部材の接合面間にインク流路側から外気側にかけて熱硬化性組成物部を形成する熱硬化性組成物部形成工程と、
前記熱硬化性組成物部形成工程の後に、前記熱硬化性組成物部を加熱して硬化させることによって、前記2つの流路部材間を接着すると共に、該2つの流路部材間において前記インク流路を密封する加熱工程とを有し、
前記熱硬化性組成物部は、前記加熱工程における前記加熱による昇温に伴って一時的に流動化した後に不可逆的に硬化する熱硬化性組成物から形成されており、
前記加熱工程において前記熱硬化性組成物が少なくとも流動化した状態にある際に、前記インク流路側の圧力を前記外気側の圧力よりも高く保持することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
According to the first aspect of the present invention, the two flow path members constituting the ink flow path are arranged at a predetermined bonding position with each other, and heat is applied from the ink flow path side to the outside air between the bonding surfaces of the two flow path members. A thermosetting composition part forming step for forming a curable composition part;
After the thermosetting composition portion forming step, the thermosetting composition portion is heated and cured to bond the two flow path members, and the ink between the two flow path members. A heating step for sealing the flow path,
The thermosetting composition part is formed from a thermosetting composition that irreversibly cures after temporarily fluidizing with a temperature rise due to the heating in the heating step,
In the heating step, when the thermosetting composition is at least fluidized, the pressure on the ink flow path side is maintained higher than the pressure on the outside air side. .

請求項2記載の発明は、前記加熱工程において、前記インク流路内に流体を流入することにより、前記インク流路側の圧力を前記外気側の圧力よりも高く保持することを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   The invention according to claim 2 is characterized in that, in the heating step, the pressure on the ink flow path side is maintained higher than the pressure on the outside air side by flowing a fluid into the ink flow path. 1 is a method for producing an inkjet head according to item 1.

請求項3記載の発明は、前記加熱工程において、前記2つの流路部材のうち、何れか一方の流路部材から前記インク流路内に流体を流入し続けると共に、該インク流路を介して他方の流路部材から該流体を排出し続けることにより、前記インク流路側の圧力を前記外気側の圧力よりも高く保持することを特徴とする請求項2記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   According to a third aspect of the present invention, in the heating step, the fluid continues to flow into the ink flow path from one of the two flow path members and through the ink flow path. 3. The ink jet head manufacturing method according to claim 2, wherein the pressure on the ink flow path side is kept higher than the pressure on the outside air side by continuing to discharge the fluid from the other flow path member.

請求項4記載の発明は、前記加熱工程において、前記他方の流路部材はあらかじめノズルプレートを備えており、該ノズルプレートが有するノズルを介して前記流体を排出し続けることを特徴とする請求項3記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   According to a fourth aspect of the present invention, in the heating step, the other flow path member is provided with a nozzle plate in advance, and the fluid is continuously discharged through the nozzles of the nozzle plate. 3. A method for producing an ink jet head according to item 3.

請求項5記載の発明は、前記流体は、空気又は窒素ガスであることを特徴とする請求項2〜4の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   A fifth aspect of the present invention is the method of manufacturing an ink jet head according to any one of the second to fourth aspects, wherein the fluid is air or nitrogen gas.

請求項6記載の発明は、前記インク流路内に流入させる前記流体の温度と、前記外気の温度とを異ならせて、前記熱硬化性組成物部の前記加熱を行うことを特徴とする請求項2〜5の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   The invention according to claim 6 is characterized in that the heating of the thermosetting composition part is performed by making the temperature of the fluid flowing into the ink flow path different from the temperature of the outside air. Item 6. The method for producing an inkjet head according to any one of Items 2 to 5.

請求項7記載の発明は、前記インク流路内に流入させる前記流体の温度は前記熱硬化性樹脂の硬化開始温度未満であり、前記外気の温度は前記熱硬化性樹脂の硬化開始温度以上であり、前記外気によって前記熱硬化性組成物部の前記加熱を行うことを特徴とする請求項6記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   According to a seventh aspect of the present invention, the temperature of the fluid that flows into the ink flow path is lower than the curing start temperature of the thermosetting resin, and the temperature of the outside air is equal to or higher than the curing start temperature of the thermosetting resin. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 6, wherein the heating of the thermosetting composition part is performed by the outside air.

請求項8記載の発明は、前記インク流路内に流入させる前記流体の温度は室温であることを特徴とする請求項7記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   The invention according to claim 8 is the method of manufacturing an ink jet head according to claim 7, wherein the temperature of the fluid flowing into the ink flow path is room temperature.

請求項9記載の発明は、前記インク流路内に流入させる前記流体の温度は前記熱硬化性樹脂の硬化開始温度以上であり、前記外気の温度は前記熱硬化性樹脂の硬化開始温度未満であり、前記流体によって前記熱硬化性組成物部の前記加熱を行うことを特徴とする請求項6記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   According to a ninth aspect of the present invention, the temperature of the fluid that flows into the ink flow path is equal to or higher than the curing start temperature of the thermosetting resin, and the temperature of the outside air is less than the curing start temperature of the thermosetting resin. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 6, wherein the heating of the thermosetting composition portion is performed by the fluid.

請求項10記載の発明は、前記外気の温度は室温であることを特徴とする請求項9記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   The invention according to claim 10 is the method of manufacturing an ink jet head according to claim 9, wherein the temperature of the outside air is room temperature.

請求項11記載の発明は、前記加熱工程において、あらかじめ前記熱硬化性組成物部形成工程において形成された前記熱硬化性組成物部の形状を保持する範囲で、前記インク流路側の圧力を前記外気側の圧力よりも高く保持することを特徴とする請求項1〜10の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   The invention according to claim 11 is characterized in that, in the heating step, the pressure on the ink flow path side is set within a range in which the shape of the thermosetting composition portion previously formed in the thermosetting composition portion forming step is maintained. The method for manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein the pressure is maintained higher than the pressure on the outside air side.

請求項12記載の発明は、前記熱硬化性組成物部形成工程において、前記2つの流路部材の接合面間に形成された前記熱硬化性組成物部は、互いに対向する前記接合面間からはみ出すフィレット部を有していることを特徴とする請求項1〜11の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   The invention according to claim 12 is characterized in that, in the thermosetting composition portion forming step, the thermosetting composition portion formed between the joint surfaces of the two flow path members is formed between the joint surfaces facing each other. It has a fillet part which protrudes, It is a manufacturing method of the ink-jet head in any one of Claims 1-11 characterized by the above-mentioned.

請求項13記載の発明は、前記フィレット部は、前記互いに対向する前記接合面間から、前記インク流路側にはみ出すように形成されていることを特徴とする請求項12記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   According to a thirteenth aspect of the invention, the fillet portion is formed so as to protrude from the joint surfaces facing each other to the ink flow path side. It is.

請求項14記載の発明は、前記2つの流路部材のうち、何れか一方の流路部材は、インクに吐出圧を付与するための圧力室を有するヘッドチップを備えており、該一方の流路部材の前記接合面には該圧力室が開口しており、他方の流路部材の前記接合面との間に形成される前記熱硬化性組成物部を、該圧力室の開口を取り囲むように形成することを特徴とする請求項1〜13の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   According to a fourteenth aspect of the present invention, one of the two flow path members includes a head chip having a pressure chamber for applying a discharge pressure to the ink. The pressure chamber is open at the joint surface of the passage member, and the thermosetting composition portion formed between the joint surface of the other flow path member surrounds the opening of the pressure chamber. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein the ink jet head is formed as follows.

請求項15記載の発明は、前記他方の流路部材はマニホールドを備えており、該マニホールドが前記他方の流路部材の前記接合面を形成していることを特徴とする請求項14記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   According to a fifteenth aspect of the present invention, the other flow path member includes a manifold, and the manifold forms the joint surface of the other flow path member. It is a manufacturing method of a head.

請求項16記載の発明は、前記熱硬化性組成物部形成工程において、前記他方の流路部材を前記一方の流路部材に対して所定の接合位置に配置した後、前記接合面間に対して前記外気側から前記熱硬化性組成物を付着させて前記熱硬化性組成物部を形成することを特徴とする請求項15記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   The invention according to claim 16 is characterized in that, in the thermosetting composition portion forming step, after the other flow path member is arranged at a predetermined bonding position with respect to the one flow path member, the space between the bonding surfaces is set. The method according to claim 15, wherein the thermosetting composition portion is formed by attaching the thermosetting composition from the outside air side.

請求項17記載の発明は、前記熱硬化性組成物部形成工程において、前記他方の流路部材が備える前記マニホールドに前記熱硬化性組成物を付着させた後、該他方の流路部材を前記一方の流路部材に対して所定の接合位置に配置すると共に、該熱硬化性組成物を前記一方の流路部材の接合面との間で挟持した後、更に、前記接合面間に対して前記外気側から追加の熱硬化性組成物を付着させて前記熱硬化性組成物部を形成することを特徴とする請求項15記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   The invention according to claim 17 is the thermosetting composition part forming step, wherein after the thermosetting composition is attached to the manifold provided in the other flow path member, the other flow path member is After being disposed at a predetermined joining position with respect to one flow path member, and sandwiching the thermosetting composition with the joint surface of the one flow path member, further, between the joint surfaces 16. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 15, wherein the thermosetting composition portion is formed by attaching an additional thermosetting composition from the outside air side.

請求項18記載の発明は、前記熱硬化性組成物は、熱硬化性を示すフッ素系のゴム組成物であることを特徴とする請求項1〜17の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   The invention according to claim 18 is characterized in that the thermosetting composition is a fluorine-based rubber composition exhibiting thermosetting properties. It is.

請求項19記載の発明は、前記熱硬化性を示すフッ素系のゴム組成物は、主鎖中にフッ素化ポリエーテル骨格を有するポリマーを主成分として含むことを特徴とする請求項18記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   The invention according to claim 19 is characterized in that the thermosetting fluorinated rubber composition contains as a main component a polymer having a fluorinated polyether skeleton in the main chain. It is a manufacturing method of a head.

請求項20記載の発明は、前記フッ素化ポリエーテル骨格は、パーフルオロポリエーテルの繰り返し単位(−C2×aO−[aは1以上6以下の範囲の整数である。])を20以上600以下の範囲の整数回繰り返し含むパーフルオロポリエーテル骨格であることを特徴とする請求項19記載のインクジェットヘッドの製造方法である。 According to a twentieth aspect of the invention, the fluorinated polyether skeleton is a perfluoropolyether repeating unit (—C a F 2 × a O— [a is an integer in the range of 1 to 6]]. The inkjet head manufacturing method according to claim 19, wherein the inkjet head is a perfluoropolyether skeleton containing an integer number of times in the range of 20 to 600.

請求項21記載の発明は、前記熱硬化性組成物は、硬化開始温度が40℃以上120℃以下の範囲であることを特徴とする請求項1〜20の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   The invention according to claim 21 is the manufacture of an ink jet head according to any one of claims 1 to 20, wherein the thermosetting composition has a curing start temperature in a range of 40 ° C to 120 ° C. Is the method.

請求項22記載の発明は、前記熱硬化性組成物は、表面処理剤により表面処理した微粉シリカを1重量部以上30重量部以下の範囲で含有することを特徴とする請求項1〜21の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   The invention according to claim 22 is characterized in that the thermosetting composition contains 1 to 30 parts by weight of finely divided silica surface-treated with a surface treatment agent. A method for producing an inkjet head according to any one of the above.

請求項23記載の発明は、前記表面処理剤はシラン系表面処理剤であることを特徴とする請求項22記載のインクジェットヘッドの製造方法である。   The invention according to claim 23 is the method of manufacturing an ink jet head according to claim 22, wherein the surface treatment agent is a silane-based surface treatment agent.

本発明によれば、インク流路を構成する流路部材間に設けられた熱硬化性組成物が、加熱硬化時の昇温に伴って流動化しても、インク流路側に流入することを防止できるインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。   According to the present invention, the thermosetting composition provided between the flow path members constituting the ink flow path is prevented from flowing into the ink flow path side even when fluidized as the temperature rises during heat curing. An inkjet head manufacturing method that can be provided can be provided.

本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法によって得られるインクジェットヘッドの一例の縦断面を示す斜視図The perspective view which shows the longitudinal cross-section of an example of the inkjet head obtained by the manufacturing method of the inkjet head which concerns on this invention 熱硬化性組成物部形成工程の第1態様を示す断面図Sectional drawing which shows the 1st aspect of a thermosetting composition part formation process. 熱硬化性組成物部形成工程の第2態様を示す断面図Sectional drawing which shows the 2nd aspect of a thermosetting composition part formation process. 加熱工程の一例を説明する断面図Sectional drawing explaining an example of a heating process 加熱硬化時における経過時間に伴う熱硬化性組成物部の粘度変化の一例を示す図The figure which shows an example of the viscosity change of the thermosetting composition part accompanying the elapsed time at the time of heat-curing 加熱硬化時における経過時間に伴う熱硬化性組成物部の粘度変化の他の例を示す図The figure which shows the other example of the viscosity change of the thermosetting composition part accompanying the elapsed time at the time of heat-curing 図4の平面図Plan view of FIG. 本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法によって得られるインクジェットヘッドの他の例を示す断面図Sectional drawing which shows the other example of the inkjet head obtained by the manufacturing method of the inkjet head which concerns on this invention 本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法によって得られるインクジェットヘッドの更なる他の例を示す断面図Sectional drawing which shows the further another example of the inkjet head obtained by the manufacturing method of the inkjet head which concerns on this invention. 本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法により接着可能な流路部材間の一例を示す断面図Sectional drawing which shows an example between the flow path members which can be adhere | attached with the manufacturing method of the inkjet head which concerns on this invention

本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法が適用可能なインクジェットヘッドは、互いに接着されることによってインク流路を構成する少なくとも2つの流路部材を含んで構成されるものであれば、その具体的な構造は問わない。   The ink jet head to which the ink jet head manufacturing method according to the present invention can be applied is specific as long as it includes at least two flow path members that form an ink flow path by being bonded to each other. Any structure is acceptable.

例えば、溝状に形成された多数のチャネルと多数の隔壁とが交互に並設されると共に、隔壁の少なくとも一部が圧電材料によって形成され、隔壁を圧電効果によって変形させることにより、チャネル内のインクをノズルから吐出するための圧力を付与する構造のインクジェットヘッド、インクを収容する圧力室の一壁面を振動板とし、該振動板上に圧電材料を積層し、該圧電材料の機械的な変形動作によって振動板を振動させることにより、圧力室内のインクをノズルから吐出するための圧力を付与する構造のインクジェットヘッド、インクを収容する圧力室内に電気熱変換素子を配置し、電気熱変換素子の通電によるインクの加熱によって気泡を生成させ、該気泡の破裂作用によって圧力室内のインクをノズルから吐出するための圧力を付与する構造のインクジェットヘッド等があり、本発明は何れのインクジェットヘッドを製造する場合にも適用できる。   For example, a large number of channels and a large number of partition walls formed in a groove shape are alternately arranged, and at least a part of the partition walls is formed of a piezoelectric material. An inkjet head having a structure for applying pressure for ejecting ink from nozzles, and a wall of a pressure chamber containing ink as a vibration plate, a piezoelectric material is laminated on the vibration plate, and mechanical deformation of the piezoelectric material An ink-jet head having a structure for applying pressure for ejecting ink in the pressure chamber from the nozzle by vibrating the diaphragm by the operation, an electrothermal conversion element disposed in the pressure chamber containing the ink, Bubbles are generated by heating the ink by energization, and pressure is applied to discharge the ink in the pressure chamber from the nozzles by the bursting action of the bubbles. To have an ink-jet head or the like of the structure, the present invention can also be applied to the production of any of the ink jet head.

本発明において、インク流路とは、このようなインクジェットヘッドの内部におけるインクの供給経路を指し、具体的には、インクジェットヘッド内部にインクが供給されるインク供給管から各チャネル又は各圧力室に対して共通にインクを供給するためのインク室を経て、各チャネル又は各圧力室に至り、更に該各チャネル又は各圧力室から各ノズルに亘って形成されるインクの流路を指す。   In the present invention, the ink flow path refers to an ink supply path inside such an ink jet head, and specifically, from an ink supply pipe through which ink is supplied into the ink jet head to each channel or each pressure chamber. On the other hand, it refers to a flow path of ink formed through an ink chamber for supplying ink in common to each channel or each pressure chamber and further from each channel or each pressure chamber to each nozzle.

また、本発明において、流路部材とは、インクジェットヘッドにおいて、上記インク流路と接することによって該インク流路の壁面を構成する部材であり、具体的には、インク供給管、インク室を形成するための部材(以下、マニホールドという。)、チャネル又は圧力室を有するヘッドチップ、ノズルが形成されたノズルプレート等を例示することができる。また、ヘッドチップについて見ると、チャネル又は圧力室を構成する基板と、該チャネル又は圧力室の壁面を形成する基板もそれぞれを一つの流路部材と看做すことができる。   In the present invention, the flow path member is a member constituting the wall surface of the ink flow path in contact with the ink flow path in the ink jet head. Specifically, the ink supply pipe and the ink chamber are formed. For example, a member (hereinafter referred to as a manifold), a head chip having a channel or a pressure chamber, a nozzle plate on which nozzles are formed, and the like can be exemplified. In terms of the head chip, each of the substrate constituting the channel or the pressure chamber and the substrate forming the wall surface of the channel or the pressure chamber can be regarded as one flow path member.

本発明は、インク流路を構成するために、このような2つの流路部材間を、熱硬化性組成物を使用して接着すると共に、該流路部材間においてインク流路を密封する場合に好適に適用されるものである。   In the present invention, in order to form an ink flow path, such two flow path members are bonded using a thermosetting composition, and the ink flow path is sealed between the flow path members. It is suitably applied to.

以下、本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の一例について説明する。ここでは、インクジェットヘッドとして、溝状に形成された多数のチャネルと多数の隔壁とが交互に並設されると共に、隔壁の少なくとも一部が圧電材料によって形成され、隔壁を圧電効果によって変形させることにより、チャネル内のインクをノズルから吐出するための圧力を付与する構造のインクジェットヘッドを例示して説明する。   Hereinafter, an example of the manufacturing method of the ink jet head according to the present invention will be described. Here, as the inkjet head, a large number of channels and a large number of partition walls formed in a groove shape are alternately arranged, and at least a part of the partition walls is formed of a piezoelectric material, and the partition walls are deformed by the piezoelectric effect. Thus, an ink jet head having a structure for applying pressure for ejecting ink in a channel from a nozzle will be described as an example.

図1は、インクジェットヘッドを縦断面で示す斜視図である。   FIG. 1 is a perspective view showing an inkjet head in a longitudinal section.

図1において、H1はインクジェットヘッドであり、該インクジェットヘッドH1は、ヘッドチップ1と、ノズルプレート2と、マニホールド3とを一体に接合してなる。   In FIG. 1, H1 is an ink-jet head, and the ink-jet head H1 is formed by integrally joining a head chip 1, a nozzle plate 2, and a manifold 3.

ヘッドチップ1は、チャネル基板11と、カバー基板12とを備えている。   The head chip 1 includes a channel substrate 11 and a cover substrate 12.

チャネル基板11は、インクに吐出圧を付与するための圧力室であるチャネル110と、隔壁111とを交互に備えている。   The channel substrate 11 includes channels 110 that are pressure chambers for applying discharge pressure to the ink and partition walls 111 alternately.

ここでは、PZT等の圧電材料からなる隔壁111が電気信号を受けて駆動することにより、チャネル110内にインクを吐出するための吐出圧が発生するようにしている。   Here, the partition 111 made of a piezoelectric material such as PZT is driven in response to an electric signal so that an ejection pressure for ejecting ink into the channel 110 is generated.

カバー基板12は、チャネル基板11の上面に、チャネル110を覆うように積層されている。   The cover substrate 12 is laminated on the upper surface of the channel substrate 11 so as to cover the channel 110.

カバー基板12は開口部120を備えている。チャネル110は、カバー基板12の開口部120の位置に、該チャネル110内にインクを導入するためのチャネル入口110aを形成している。   The cover substrate 12 includes an opening 120. The channel 110 forms a channel inlet 110 a for introducing ink into the channel 110 at the position of the opening 120 of the cover substrate 12.

一方、チャネル110は、ヘッドチップ1の前面にインクを排出するチャネル出口110bを形成している。   On the other hand, the channel 110 forms a channel outlet 110 b for discharging ink on the front surface of the head chip 1.

ノズルプレート2は、インクを吐出するためのノズル21を備えている。ノズル21は、チャネル出口110bに隣接して設けられている。   The nozzle plate 2 includes nozzles 21 for ejecting ink. The nozzle 21 is provided adjacent to the channel outlet 110b.

このようにして、チャネル110内においてインクに吐出圧が印加されると、加圧されたインクが、チャネル出口110bを介してノズル21から吐出されるようにしている。   In this way, when an ejection pressure is applied to the ink in the channel 110, the pressurized ink is ejected from the nozzle 21 via the channel outlet 110b.

マニホールド3は、上壁31aと側壁31bとからなる箱状のマニホールド本体31と、該マニホールド本体31内のインク室32と、該インク室32内にインクを供給するためのインク供給口33とを備えている。34は、インク供給口33に接続され、該インク供給口33を介して、インク室32内にインクを供給するためのインク供給管である。   The manifold 3 includes a box-shaped manifold main body 31 composed of an upper wall 31a and a side wall 31b, an ink chamber 32 in the manifold main body 31, and an ink supply port 33 for supplying ink into the ink chamber 32. I have. An ink supply pipe 34 is connected to the ink supply port 33 and supplies ink into the ink chamber 32 through the ink supply port 33.

マニホールド3は、カバー基板12の開口部120から露出するインク導入口110aを覆うように、ヘッドチップ1に接着されている。ここでは、マニホールド3は、接着面である端面31cの全面をカバー基板12の上面12aに接着されている。これにより、ヘッドチップ1の上面側からインク導入口110aを介してチャネル110へインクが供給されるようにしている。   The manifold 3 is bonded to the head chip 1 so as to cover the ink introduction port 110 a exposed from the opening 120 of the cover substrate 12. Here, in the manifold 3, the entire end surface 31 c which is an adhesive surface is bonded to the upper surface 12 a of the cover substrate 12. Thereby, ink is supplied from the upper surface side of the head chip 1 to the channel 110 through the ink introduction port 110a.

ここでは、2つの流路部材として、多数のチャネル110を有するヘッドチップ1と、このチャネル110に対して共通にインクを供給するためのインク室32を形成しているマニホールド3とを、熱硬化性組成物を使用して接着する場合について説明する。   Here, as two flow path members, a head chip 1 having a large number of channels 110 and a manifold 3 forming an ink chamber 32 for supplying ink in common to the channels 110 are thermally cured. The case where it adhere | attaches using an adhesive composition is demonstrated.

図1において、Bは、それぞれ流路部材であるマニホールド3とヘッドチップ1とを接着する接着部であり、同時に、マニホールド3とヘッドチップ1との間からのインク流出を封止する機能を有している。   In FIG. 1, B is an adhesive portion that bonds the manifold 3 and the head chip 1, each of which is a flow path member, and at the same time, has a function of sealing ink outflow from between the manifold 3 and the head chip 1. is doing.

接着部Bは、熱硬化性組成物を加熱硬化させることにより形成されている。   The adhesion part B is formed by heat-curing a thermosetting composition.

まず、熱硬化性組成物を使用して接着部Bを形成するための熱硬化性組成物部形成工程の第1態様について、図2を参照して説明する。   First, the 1st aspect of the thermosetting composition part formation process for forming the adhesion part B using a thermosetting composition is demonstrated with reference to FIG.

図2(a)に示す通り、熱硬化性組成物部形成工程の第1態様では、まず、マニホールド3をヘッドチップ1上の所定の接合位置に位置合わせして配置する。   As shown in FIG. 2A, in the first aspect of the thermosetting composition portion forming step, first, the manifold 3 is positioned and arranged at a predetermined bonding position on the head chip 1.

次いで、図2(b)に示す通り、マニホールド3の外側におけるカバー基板12の上面12aと側壁31bの外面との角を満たすように、マニホールド3の外側から熱硬化性組成物を塗布する。塗布された熱硬化性組成物は、毛細管現象により、マニホールド3の端面31cとカバー基板12の上面12aとの間に浸透する。   Next, as shown in FIG. 2B, the thermosetting composition is applied from the outside of the manifold 3 so as to satisfy the corners of the upper surface 12 a of the cover substrate 12 and the outer surface of the side wall 31 b outside the manifold 3. The applied thermosetting composition permeates between the end surface 31c of the manifold 3 and the upper surface 12a of the cover substrate 12 by capillary action.

また、塗布された熱硬化性組成物の一部は、カバー基板12の上面12aから側壁31bの外面との角を満たすように、その表面が、カバー基板12の上面12aから側壁31bの外面にかけて滑らかな曲面を形成している。本明細書においては、このように、互いに対向する接合面間、つまり、ここではマニホールド3の端面31cとカバー基板12の上面12aとの間からはみ出す熱硬化性組成物の部分Cfをフィレット部と称する。   Further, a part of the applied thermosetting composition has a surface extending from the upper surface 12a of the cover substrate 12 to the outer surface of the side wall 31b so as to satisfy an angle between the upper surface 12a of the cover substrate 12 and the outer surface of the side wall 31b. A smooth curved surface is formed. In this specification, the portion Cf of the thermosetting composition that protrudes between the joint surfaces facing each other, that is, between the end surface 31c of the manifold 3 and the upper surface 12a of the cover substrate 12 is defined as the fillet portion. Called.

このようにして、マニホールド3とヘッドチップ1との間隙に、インク流路側から外気側にかけて熱硬化性組成物部Cを形成する。   In this manner, the thermosetting composition portion C is formed in the gap between the manifold 3 and the head chip 1 from the ink flow path side to the outside air side.

熱硬化性組成物部Cがフィレット部Cfを有することにより、熱硬化性組成物部Cが硬化した後の接着部Bに、インク圧に対する耐圧性を好適に付与できる。即ち、マニホールド3とヘッドチップ1との間隙からのインク漏れをより確実に封止することができる効果を奏する。   When the thermosetting composition part C has the fillet part Cf, the pressure resistance against the ink pressure can be suitably imparted to the adhesive part B after the thermosetting composition part C is cured. That is, there is an effect that ink leakage from the gap between the manifold 3 and the head chip 1 can be more reliably sealed.

上述の熱硬化性組成物部形成工程の第1態様では、接合面間から外気側にはみ出すフィレット部Cfを容易に形成できる効果を奏する。   In the 1st aspect of the above-mentioned thermosetting composition part formation process, there exists an effect which can form easily the fillet part Cf which protrudes to the outside air side between joining surfaces.

次に、熱硬化性組成物部形成工程の第2態様について、図3を参照して説明する。   Next, the 2nd aspect of a thermosetting composition part formation process is demonstrated with reference to FIG.

図3(a)に示す通り、熱硬化性組成物部形成工程の第2態様では、マニホールド3をヘッドチップ1上に配置する前に、あらかじめ、マニホールド3の端面31cから側壁31bの内面にかけて熱硬化性組成物を塗布する。   As shown in FIG. 3A, in the second aspect of the thermosetting composition part forming step, before the manifold 3 is placed on the head chip 1, heat is applied in advance from the end surface 31c of the manifold 3 to the inner surface of the side wall 31b. A curable composition is applied.

次いで、図3(b)に示す通り、マニホールド3をヘッドチップ1上の所定の接合位置に位置合わせして配置する。このとき、あらかじめ熱硬化性組成物がマニホールド3の端面31cから側壁31bの内面にかけて塗布されていることにより、マニホールド3のインク室32側におけるカバー基板12の上面12aと側壁31bの内面との角を満たすように、熱硬化性組成物が変形する。変形した熱硬化性組成物は、その表面が、カバー基板12の上面12aから側壁31bの内面にかけて滑らかな曲面を形成している。つまり、接合面間からインク流路側にはみ出すフィレット部Cfが形成される。   Next, as shown in FIG. 3 (b), the manifold 3 is positioned and arranged at a predetermined joining position on the head chip 1. At this time, since the thermosetting composition is applied in advance from the end surface 31c of the manifold 3 to the inner surface of the side wall 31b, the angle between the upper surface 12a of the cover substrate 12 and the inner surface of the side wall 31b on the ink chamber 32 side of the manifold 3 is obtained. The thermosetting composition is deformed to satisfy the above. The surface of the deformed thermosetting composition forms a smooth curved surface from the upper surface 12a of the cover substrate 12 to the inner surface of the side wall 31b. That is, a fillet portion Cf that protrudes from the joint surface to the ink flow path side is formed.

次いで、図3(c)に示す通り、マニホールド3の外側におけるカバー基板12の上面12aと側壁31bの外面との角を満たすように、マニホールド3の外側から熱硬化性組成物を塗布する。塗布された熱硬化性組成物は、毛細管現象により、マニホールド3の端面31cとカバー基板12の上面12aとの間に浸透する。   Next, as shown in FIG. 3C, the thermosetting composition is applied from the outside of the manifold 3 so as to fill the corners of the upper surface 12 a of the cover substrate 12 and the outer surface of the side wall 31 b outside the manifold 3. The applied thermosetting composition permeates between the end surface 31c of the manifold 3 and the upper surface 12a of the cover substrate 12 by capillary action.

また、塗布された熱硬化性組成物の一部は、カバー基板12の上面12aから側壁31bの外面との角を満たすように、その表面が、カバー基板12の上面12aから側壁31bの外面にかけて滑らかな曲面を形成している。つまり接合面間から外気側にはみ出すフィレット部Cfが形成される。   Further, a part of the applied thermosetting composition has a surface extending from the upper surface 12a of the cover substrate 12 to the outer surface of the side wall 31b so as to satisfy an angle between the upper surface 12a of the cover substrate 12 and the outer surface of the side wall 31b. A smooth curved surface is formed. That is, a fillet portion Cf that protrudes between the joint surfaces to the outside air side is formed.

このようにして、マニホールド3とヘッドチップ1との間隙に、インク流路側から外気側にかけて熱硬化性組成物部Cを形成する。   In this manner, the thermosetting composition portion C is formed in the gap between the manifold 3 and the head chip 1 from the ink flow path side to the outside air side.

熱硬化性組成物部形成工程の第2態様では、接合面間からインク流路側にはみ出すフィレット部Cfをも容易に形成できるため、外気側にはみ出すフィレット部Cfと合わせて、接合面間の両側にフィレット部Cf、Cfを設けることが容易である。   In the second aspect of the thermosetting composition portion forming step, since the fillet portion Cf that protrudes from the joint surface to the ink flow path side can be easily formed, both sides between the joint surfaces can be combined with the fillet portion Cf that protrudes to the outside air side. It is easy to provide the fillet portions Cf and Cf.

熱硬化性組成物部Cが接合面間の両側にフィレット部Cf、Cfを有することにより、熱硬化性組成物部Cが硬化した後の接着部Bに、インク圧に対する耐圧性をより好適に付与できる。即ち、マニホールド3とヘッドチップ1との間隙からのインク漏れを更により確実に封止することができる効果を奏する。   Since the thermosetting composition part C has the fillet parts Cf and Cf on both sides between the joining surfaces, the adhesive part B after the thermosetting composition part C is cured is more suitably resistant to ink pressure. Can be granted. That is, there is an effect that ink leakage from the gap between the manifold 3 and the head chip 1 can be sealed even more reliably.

熱硬化性組成物部形成工程の第1態様及び第2態様に説明したように、熱硬化性組成物部Cがフィレット部Cfを有している場合、インクの封止性には優れるものの、従来の技術では、加熱硬化時に流動化した熱硬化性組成物が、インク流路側に流入し易い問題を増加させる。特に、第2態様に説明したように、熱硬化性組成物部Cがインク流路側にはみ出すフィレット部Cfを有している場合は、更にインク流路側に流入し易いものとなる。   As explained in the first and second aspects of the thermosetting composition part forming step, when the thermosetting composition part C has a fillet part Cf, although it has excellent ink sealing properties, In the prior art, the problem that the thermosetting composition fluidized at the time of heat curing tends to flow into the ink flow path side increases. In particular, as described in the second embodiment, when the thermosetting composition portion C has a fillet portion Cf that protrudes to the ink flow path side, it easily flows into the ink flow path side.

これに対して、熱硬化性組成物部形成工程の後に行われる加熱工程では、特に熱硬化性組成物部Cがフィレット部Cfを備えている場合であっても、熱硬化性組成物部形成工程において形成された熱硬化性組成物部Cの形状を好適に保持したまま、該熱硬化性組成物部Cを硬化させることができる。   On the other hand, in the heating process performed after the thermosetting composition part forming process, even when the thermosetting composition part C includes the fillet part Cf, the thermosetting composition part formation is performed. The thermosetting composition part C can be cured while suitably maintaining the shape of the thermosetting composition part C formed in the process.

以下の説明では、熱硬化性組成物部形成工程によって、ヘッドチップ1上の所定の接合位置にマニホールド3が位置合わせされた状態で配置されると共に、接合面間に熱硬化性組成物部Cが形成された状態の流路部材の集合体をインクジェットヘッド前駆体と称する場合がある。   In the following description, the thermosetting composition portion C is disposed in a state where the manifold 3 is aligned with a predetermined bonding position on the head chip 1 by the thermosetting composition portion forming step, and between the bonding surfaces. An assembly of the flow path members in a state where is formed may be referred to as an inkjet head precursor.

以下に、加熱工程について図4を参照して説明する。   Below, a heating process is demonstrated with reference to FIG.

図4に示す通り、加熱工程においては、あらかじめ前段の熱硬化性組成物部形成工程によって、ヘッドチップ1上の所定の接合位置にマニホールド3が位置合わせされた状態で配置されると共に、接合面間に熱硬化性組成物部Cが形成された状態(インクジェットヘッド前駆体)とされている。加熱工程では、この状態において、加熱を開始して熱硬化性組成物部を硬化させる。なお、ここでは第2態様に係る熱硬化性組成物部形成工程によって、接合面間の両側に熱硬化性組成物によるフィレット部Cfを有するものを例示している。   As shown in FIG. 4, in the heating step, the manifold 3 is arranged in a state where the manifold 3 is aligned with a predetermined bonding position on the head chip 1 by the previous thermosetting composition portion forming step, and the bonding surface The thermosetting composition part C is formed between them (inkjet head precursor). In the heating step, in this state, heating is started to cure the thermosetting composition part. In addition, the thing which has the fillet part Cf by a thermosetting composition in the both sides between joining surfaces is illustrated by the thermosetting composition part formation process which concerns on a 2nd aspect here.

加熱手段としては、熱硬化性組成物部Cを硬化開始温度以上まで加熱可能であれば格別限定されず、例えばベーク炉等を好ましく例示できる。   The heating means is not particularly limited as long as the thermosetting composition part C can be heated to the curing start temperature or higher, and for example, a baking furnace or the like can be preferably exemplified.

本発明では、加熱工程において、加熱中に、インク流路側の圧力を外気側の圧力よりも高く保持する。   In the present invention, in the heating step, the pressure on the ink flow path side is maintained higher than the pressure on the outside air side during heating.

これにより、インク室32内の圧力が外気側の圧力よりも高く保持された状態で、マニホールド3とヘッドチップ1との間が接着される。ここで外気側とは、インク流路の外側であり、マニホールド3及びヘッドチップ1を外部から取り囲む空間側を指しており、具体的には、ヘッドチップ1及びマニホールド3を収容したベーク炉の空間などを指す。   Thus, the manifold 3 and the head chip 1 are bonded together in a state where the pressure in the ink chamber 32 is maintained higher than the pressure on the outside air side. Here, the outside air side is the outside of the ink flow path, and refers to the space side that surrounds the manifold 3 and the head chip 1 from the outside. Specifically, the space in the baking furnace that houses the head chip 1 and the manifold 3 is used. And so on.

図示の例では、インク室32内に流体を流入させることにより、インク室32内の圧力を外気側の圧力よりも高くなるようにしている。   In the illustrated example, the fluid in the ink chamber 32 is caused to flow so that the pressure in the ink chamber 32 becomes higher than the pressure on the outside air side.

流体としては、格別限定されず、気体や液体を用いることができるが、気体を用いることが好ましい。気体であれば、流体中への熱硬化性組成物部Cの溶出を好適に防止でき、加熱工程後に乾燥工程を設ける必要がなくなる。   The fluid is not particularly limited, and a gas or a liquid can be used, but a gas is preferably used. If it is gas, elution of the thermosetting composition part C into the fluid can be suitably prevented, and there is no need to provide a drying step after the heating step.

気体としては、格別限定されないが、空気、又は窒素やアルゴン等の不活性ガスを好ましく例示できる。空気を用いる場合は、好ましくは相対湿度が30%以下の乾燥空気を用いることにより、熱硬化性組成物部Cの濡れ広がりを防止できる効果が得られる。   Although it does not specifically limit as gas, Air or inert gas, such as nitrogen and argon, can be illustrated preferably. In the case of using air, the effect of preventing wetting and spreading of the thermosetting composition part C can be obtained preferably by using dry air having a relative humidity of 30% or less.

インク室32内への流体の流入経路は格別限定されず、チャネル出口110b側からであっても、インク供給口33からであってもよいが、図示のように、インク供給口33からインク室32内に向けて流体を流入させることが好ましい。具体的には、インク供給口33に接続された不図示のインクチューブなどを介してインク室32内に流体を流入させることができる。   The flow path of the fluid into the ink chamber 32 is not particularly limited, and may be from the channel outlet 110b side or from the ink supply port 33. However, as shown in the drawing, the ink chamber 33 is connected to the ink chamber. Preferably, the fluid is allowed to flow into 32. Specifically, the fluid can be caused to flow into the ink chamber 32 through an ink tube (not shown) connected to the ink supply port 33.

図5は、加熱硬化時における経過時間に伴う熱硬化性組成物部の粘度変化の一例を示す図である。   FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a change in viscosity of the thermosetting composition portion with the elapsed time during heat curing.

図中、Vで示される曲線は、熱硬化性組成物部Cの粘度変化を示している。   In the figure, the curve indicated by V indicates the viscosity change of the thermosetting composition part C.

本発明において熱硬化性組成物部Cは、加熱することによってポリマー間が架橋されて硬化し、これにより接着性を有する接着部Bを形成する。   In the present invention, the thermosetting composition part C is cured by crosslinking between the polymers by heating, thereby forming an adhesive part B having adhesiveness.

上述したが、この過程について、更に詳述すると、熱硬化性組成物は、一般に、まず加熱開始(通常は室温)から一定の温度(硬化開始温度)に達するまでの間、粘性が低下する、つまり流動化する傾向にある。これは、熱エネルギーによりポリマーの運動が活発化されることによる。更に加熱を続け、熱硬化性組成物の温度が硬化開始温度を過ぎると、ポリマー間の架橋反応が開始され、粘度が不可逆的に増加する。即ち硬化が開始される。   As described above, this process will be described in more detail. Generally, the thermosetting composition generally decreases in viscosity from the start of heating (usually room temperature) until reaching a certain temperature (curing start temperature). In other words, it tends to fluidize. This is because the movement of the polymer is activated by thermal energy. When the heating is further continued and the temperature of the thermosetting composition exceeds the curing start temperature, a cross-linking reaction between the polymers is started, and the viscosity increases irreversibly. That is, curing is started.

つまり、熱硬化性組成物は、曲線Vに示される通り、加熱の経過時間に伴って一時的に流動化した後に不可逆的に硬化する性質を示す。   That is, as shown by the curve V, the thermosetting composition exhibits a property of irreversibly curing after fluidizing temporarily with the elapsed time of heating.

従って、本発明によれば、上述したように、加熱中に、インク流路側の圧力を外気側の圧力よりも高く保持することにより、加熱硬化時の昇温過程において熱硬化性組成物部Cが流動化しても、インク室32内の圧力が外気側の圧力よりも高いために、熱硬化性組成物部はインク室32側から外気側に向けて押圧された状態となり、インク流路側への変形が防止されるため、熱硬化性組成物のチャネル110への流入が未然に防止される。   Therefore, according to the present invention, as described above, during the heating, the pressure on the ink flow path side is kept higher than the pressure on the outside air side, so that the thermosetting composition part C is heated in the temperature rising process during the heat curing. Since the pressure in the ink chamber 32 is higher than the pressure on the outside air side, the thermosetting composition portion is pressed from the ink chamber 32 side toward the outside air side to the ink flow path side. Therefore, inflow of the thermosetting composition into the channel 110 is prevented.

図5には、熱硬化性組成物が硬化開始温度に到達する時間をTsで示した。つまり、時間Tsにおいて、熱硬化性組成物が最も低粘度化し、即ち最も流動化することになる。   In FIG. 5, the time for the thermosetting composition to reach the curing start temperature is indicated by Ts. That is, at the time Ts, the thermosetting composition has the lowest viscosity, that is, the most fluidized composition.

本発明においては、加熱を開始してから少なくとも時間Tsの近傍まで、インク流路側の圧力を外気側の圧力よりも高く保持することが好ましい。さらに、加熱を開始後に時間Ts経過してから少なくとも粘度が所定の値以下である間は、継続して、インク流路側の圧力を外気側の圧力よりも高く保持することがより好ましい。あるいは、加熱の開始から、加熱の終了まで継続してインク流路側の圧力を外気側の圧力よりも高く保持することも好ましいことである。なお、加熱終了後の冷却段階においては、必ずしもインク流路側の圧力を外気側の圧力よりも高く保持する必要はない。   In the present invention, it is preferable that the pressure on the ink flow path side is kept higher than the pressure on the outside air side at least near the time Ts after the start of heating. Furthermore, it is more preferable to keep the pressure on the ink flow path side higher than the pressure on the outside air side at least as long as the viscosity is equal to or lower than a predetermined value after the time Ts has elapsed after the start of heating. Alternatively, it is also preferable to keep the pressure on the ink flow path side higher than the pressure on the outside air side from the start of heating to the end of heating. In the cooling stage after the heating is finished, it is not always necessary to maintain the pressure on the ink flow path side higher than the pressure on the outside air side.

本発明において、インク流路側の圧力と外気側の圧力との圧力差は、熱硬化性組成物部Cを形成する熱硬化性組成物の粘度等を考慮して、好ましくは熱硬化性組成物部Cの形状を保持できるように適宜設定された範囲で、インク流路側の圧力を外気側の圧力よりも高く保持することが好ましい。これにより、熱硬化性組成物部Cの変形や飛び散りによるインク流路の閉塞が防止できる効果が得られる。具体的には、インク流路への注入圧を、好ましくは0.01MPa以上0.20MPa以下の範囲とすることである。   In the present invention, the pressure difference between the pressure on the ink flow path side and the pressure on the outside air side is preferably a thermosetting composition in consideration of the viscosity of the thermosetting composition forming the thermosetting composition portion C. It is preferable to keep the pressure on the ink flow path side higher than the pressure on the outside air side within a range appropriately set so that the shape of the portion C can be maintained. Thereby, the effect which can block | close the ink flow path by the deformation | transformation and scattering of the thermosetting composition part C is acquired. Specifically, the injection pressure into the ink flow path is preferably in the range of 0.01 MPa to 0.20 MPa.

本発明において、インク供給口33から流入させる流体の温度は、外気の温度に対して温度差を有するものであることが好ましい。これにより、インク室32側の熱硬化性組成物部Cinと、外気側の熱硬化性組成物部Coutとの間で、昇温のタイミングに差を設けることができる。この効果について、以下に説明する。   In the present invention, it is preferable that the temperature of the fluid flowing from the ink supply port 33 has a temperature difference with respect to the temperature of the outside air. Thus, a difference in temperature rise timing can be provided between the thermosetting composition portion Cin on the ink chamber 32 side and the thermosetting composition portion Cout on the outside air side. This effect will be described below.

図6は、加熱硬化時における経過時間に伴う熱硬化性組成物部の粘度変化の他の例を示す図であり、インク供給口33から流入させる流体の温度が、外気の温度に対して温度差を有することによる効果を説明する図である。   FIG. 6 is a diagram showing another example of the viscosity change of the thermosetting composition portion with the elapsed time at the time of heat curing, in which the temperature of the fluid flowing from the ink supply port 33 is a temperature relative to the temperature of the outside air. It is a figure explaining the effect by having a difference.

図中、Vinで示される曲線は、インク室32側の熱硬化性組成物部Cinの粘度変化を示しており、Voutで示される曲線は、外気側の熱硬化性組成物部Coutの粘度変化を示している。   In the figure, a curve indicated by Vin indicates a change in viscosity of the thermosetting composition portion Cin on the ink chamber 32 side, and a curve indicated by Vout indicates a change in viscosity of the thermosetting composition portion Cout on the outside air side. Is shown.

また、ここでは加熱インク供給口33から流入させる流体の温度が、外気の温度よりも低い場合を例に説明する。   Here, a case where the temperature of the fluid flowing from the heated ink supply port 33 is lower than the temperature of the outside air will be described as an example.

つまり、加熱インク供給口33から流入させる流体の温度が、外気の温度よりも低いことにより、インク室32側の熱硬化性組成物部Cinの昇温のタイミングが、外気側の熱硬化性組成物部Coutに対して遅れを生じる。   That is, since the temperature of the fluid flowing from the heated ink supply port 33 is lower than the temperature of the outside air, the temperature rise timing of the thermosetting composition portion Cin on the ink chamber 32 side is the thermosetting composition on the outside air side. A delay occurs with respect to the object part Cout.

その結果、図6に示す通り、曲線Vinは、曲線Voutよりも遅いタイミングで粘度変化を生じる。つまり、熱硬化性組成物部Cin及びCoutとの間で、低粘度状態(流動化状態)がタイミングをずらして交互に形成される。これにより、熱硬化性組成物部Cin及びCout全体が一斉に流動化することが防止され、熱硬化性組成物部Cin及びCoutの層厚み等の形状が、昇温過程において安定化し、濡れ広がりが防止され、流動化した熱硬化性組成物によるチャネル110への流入が更に未然に防止される。   As a result, as shown in FIG. 6, the curve Vin changes in viscosity at a timing later than the curve Vout. That is, a low-viscosity state (fluidized state) is alternately formed at different timings between the thermosetting composition parts Cin and Cout. As a result, the thermosetting composition parts Cin and Cout are prevented from fluidizing all at once, and the shape of the thermosetting composition parts Cin and Cout, such as the layer thickness, is stabilized in the temperature rising process and spreads wet. And is prevented from flowing into the channel 110 by the fluidized thermosetting composition.

以上の説明では、インク供給口33から流入させる流体の温度が、外気の温度よりも低い場合を例に説明したが、本発明においては、加熱インク供給口33から流入させる流体の温度が、外気の温度よりも高い場合であってもよい。つまり、何れの場合であっても、熱硬化性組成物部Cin及びCoutを硬化できればよい。   In the above description, the case where the temperature of the fluid flowing from the ink supply port 33 is lower than the temperature of the outside air has been described as an example. However, in the present invention, the temperature of the fluid flowing from the heating ink supply port 33 is the outside air. It may be a case where the temperature is higher. That is, in any case, it is sufficient that the thermosetting composition parts Cin and Cout can be cured.

例えば、本発明においては、インク供給口33から流入させる流体の温度が、熱硬化性組成物の硬化開始温度未満であり、外気の温度が熱硬化性組成物の硬化開始温度以上であり、該外気によって熱硬化性組成物部Cの加熱を行うことが好ましい。このとき、インク供給口33から流入させる流体の温度は室温であることが好ましい。   For example, in the present invention, the temperature of the fluid flowing from the ink supply port 33 is less than the curing start temperature of the thermosetting composition, the temperature of the outside air is equal to or higher than the curing start temperature of the thermosetting composition, It is preferable to heat the thermosetting composition part C with outside air. At this time, the temperature of the fluid flowing from the ink supply port 33 is preferably room temperature.

あるいは、本発明においては、インク供給口33から流入させる流体の温度が、熱硬化性組成物の硬化開始温度以上であり、外気の温度が熱硬化性組成物の硬化開始温度未満であり、該流体によって熱硬化性組成物部Cの加熱を行うことも好ましいことである。このとき、外気の温度は室温であることが好ましい。   Alternatively, in the present invention, the temperature of the fluid flowing from the ink supply port 33 is equal to or higher than the curing start temperature of the thermosetting composition, and the temperature of the outside air is lower than the curing start temperature of the thermosetting composition, It is also preferable to heat the thermosetting composition part C with a fluid. At this time, the temperature of the outside air is preferably room temperature.

更に、本発明においては、インク室32内の流体を、インク供給口33からの新たな流体で置換しながら、加熱により熱硬化性組成物部Cを硬化させることが、より好ましい。例えば、図4に示したように、インク供給口33から流体を流入させると共に、チャネル出口110b側から流体を排出させることにより、インク室32内の流体を、インク供給口33からの新たな流体により置換することができる。図示の例では、ノズル21を介して流体を排出するようにしている。   Furthermore, in the present invention, it is more preferable to cure the thermosetting composition portion C by heating while replacing the fluid in the ink chamber 32 with a new fluid from the ink supply port 33. For example, as shown in FIG. 4, the fluid in the ink supply port 33 is caused to flow in and the fluid is discharged from the channel outlet 110 b side, whereby the fluid in the ink chamber 32 is changed to a new fluid from the ink supply port 33. Can be substituted. In the illustrated example, the fluid is discharged through the nozzle 21.

このような置換を行うことにより、外気の温度がインク室32内に伝播しても、インク室32内の流体と外気との温度差を好適に保持することが可能となる。これにより、チャネル110への熱硬化性組成物の流入が更に未然に防止される効果を奏する。   By performing such replacement, even if the temperature of the outside air propagates into the ink chamber 32, the temperature difference between the fluid in the ink chamber 32 and the outside air can be suitably maintained. Thereby, there is an effect that the inflow of the thermosetting composition into the channel 110 is further prevented.

本発明において、インク室32内に形成される圧力は、主に2つの圧力要素から形成することができる。即ち、流体自体の圧力と、流体の流速に依存する圧力である。   In the present invention, the pressure formed in the ink chamber 32 can be mainly formed from two pressure elements. That is, the pressure depending on the pressure of the fluid itself and the flow velocity of the fluid.

流体自体の圧力は、例えば、インク室32からチャネル110を介してノズル21までに亘って形成されるインク流路において、流体が受ける抵抗によって、流体自体が加圧されることにより生じる。この流体自体の圧力は、例えばノズル21を何らかの封止手段で封止することにより流体の流速を実質的にゼロにした状態であっても、形成することができる。以下、かかる流体自体の圧力を静圧と称する場合がある。   The pressure of the fluid itself is generated, for example, when the fluid itself is pressurized by a resistance received by the fluid in an ink flow path formed from the ink chamber 32 to the nozzle 21 through the channel 110. The pressure of the fluid itself can be formed even when the flow rate of the fluid is substantially zero by sealing the nozzle 21 with some sealing means, for example. Hereinafter, the pressure of the fluid itself may be referred to as static pressure.

一方、流体の流速に依存する圧力は、流体の流速がゼロの状態では生じず、流速の増加に伴って増加する圧力である。つまり、質量を有する流体の運動エネルギーに起因して生じる圧力である。以下、かかる流体の流速に依存する圧力を動圧と称する場合がある。   On the other hand, the pressure that depends on the flow rate of the fluid does not occur when the flow rate of the fluid is zero, but increases as the flow rate increases. That is, the pressure generated due to the kinetic energy of the fluid having mass. Hereinafter, the pressure depending on the flow rate of the fluid may be referred to as dynamic pressure.

本発明においては、インク室32内の圧力を外気側の圧力よりも高くできれば、それが静圧によるものであっても、または、動圧によるものであってもよい。   In the present invention, as long as the pressure in the ink chamber 32 can be higher than the pressure on the outside air side, it may be due to static pressure or due to dynamic pressure.

なお、インク供給口33から流入された流体は、流れやすい方向に向かって流れる性質を有するため、インク室32内の場所によって流速にバラつきが生じ易い。そのため、インク室32内において、静圧に対して動圧が占める割合が高いと、インク室32内における圧力が不均一化し易くなる。また、動圧は、流体の流れ方向に大きく作用し、流体の流れ方向と直交する方向に小さく作用するため、このこともインク室32内における圧力の不均一化の原因となる。   Note that the fluid that has flowed in from the ink supply port 33 has a property of flowing in a direction in which it easily flows, and thus the flow velocity tends to vary depending on the location in the ink chamber 32. For this reason, if the ratio of the dynamic pressure to the static pressure in the ink chamber 32 is high, the pressure in the ink chamber 32 tends to become non-uniform. In addition, the dynamic pressure acts largely in the fluid flow direction and acts small in the direction orthogonal to the fluid flow direction. This also causes non-uniform pressure in the ink chamber 32.

従って、流動化した熱硬化性組成物部Cを押圧する観点からは、流体の流速を低下させて、主に静圧によって、インク室32内の圧力を外気側の圧力よりも高くすることが好ましい。これにより、インク室32内に露出する熱硬化性組成物部Cの全周に亘って、これを押圧する圧力を均一化することが可能となる。   Therefore, from the viewpoint of pressing the fluidized thermosetting composition portion C, the flow rate of the fluid is decreased, and the pressure in the ink chamber 32 is made higher than the pressure on the outside air mainly by static pressure. preferable. Thereby, it is possible to make the pressure for pressing the thermosetting composition portion C exposed in the ink chamber 32 uniform over the entire circumference.

しかるに、本発明において、流動化した熱硬化性組成物部Cを押圧するだけでなく、上述したように、インク室32内の流体と外気との温度差を確保することも加味した観点からは、流体にある程度の流速を維持した状態で、インク室32内の流体を置換することが好ましい。   However, in the present invention, from the viewpoint of not only pressing the fluidized thermosetting composition portion C but also ensuring the temperature difference between the fluid in the ink chamber 32 and the outside air as described above. It is preferable to replace the fluid in the ink chamber 32 while maintaining a certain flow rate in the fluid.

つまり、本発明においては、流体の動圧に対して静圧が占める割合を高めると共に、インク室32内の流体置換のためのある程度の流速を維持することが好ましい。   In other words, in the present invention, it is preferable to increase the ratio of the static pressure to the fluid dynamic pressure and maintain a certain flow rate for fluid replacement in the ink chamber 32.

これを好適に実現する上で、本発明においては、ヘッドチップ1にノズルプレート2があらかじめ貼着された状態で、加熱による熱硬化性組成物部Cの硬化を行うことが好ましい。つまり、図4に示したように、インク供給口33から流入した流体が、比較的小径に形成されたノズル21を介して排出される状態にしておくことが好ましい。   In order to suitably realize this, in the present invention, it is preferable to cure the thermosetting composition part C by heating in a state where the nozzle plate 2 is attached to the head chip 1 in advance. That is, as shown in FIG. 4, it is preferable that the fluid flowing in from the ink supply port 33 is discharged through the nozzle 21 having a relatively small diameter.

ここで、ヘッドチップ1とノズルプレート2とは、接着剤によって接着されることによってあらかじめ貼着されていてもよいし、硬化前の熱硬化性組成物の粘着力によってあらかじめ貼着されていてもよい。流体からの圧力に対する安定性を得る上では、加熱工程の前にあらかじめ両者が接着剤によって接着されていることが好ましい。あらかじめ両者が、熱硬化性組成物の硬化によって接着されていることも好ましいことである。   Here, the head chip 1 and the nozzle plate 2 may be attached in advance by bonding with an adhesive, or may be attached in advance by the adhesive force of the thermosetting composition before curing. Good. In order to obtain stability against the pressure from the fluid, it is preferable that the two are bonded in advance by an adhesive before the heating step. It is also preferable that the two are bonded in advance by curing the thermosetting composition.

図7は、図4の平面図であり、インク供給口33から流入した流体が、ノズル21を介して排出されることによる効果を説明する図である。図7に示すように、ヘッドチップ1に形成された複数のチャネル110は、そのチャネル出口110bに、ノズル21を有している。   FIG. 7 is a plan view of FIG. 4, and is a diagram for explaining the effect of the fluid flowing in from the ink supply port 33 being discharged through the nozzle 21. As shown in FIG. 7, the plurality of channels 110 formed in the head chip 1 have a nozzle 21 at the channel outlet 110b.

細幅に形成されたチャネル110の幅よりも更に小径に形成されたノズル21は、チャネル110から移送されてくる流体に対して流路抵抗となるため、インク供給口33から流入させる流体の流速を低下させた状態であっても、インク室32内の流体を加圧することが可能となる。つまり、動圧に対して、静圧が占める割合を高めることが可能となる。   The nozzle 21 formed with a smaller diameter than the width of the channel 110 formed with a narrow width has a flow resistance against the fluid transferred from the channel 110, so the flow rate of the fluid flowing in from the ink supply port 33 Even in a state where the pressure is lowered, the fluid in the ink chamber 32 can be pressurized. That is, it is possible to increase the ratio of the static pressure to the dynamic pressure.

更に、流速を低減できることにより、インク室32内の場所による流速のバラつきの範囲も小とすることが可能となる。この結果、静圧をも均一化することが可能となる効果が得られる。   Furthermore, since the flow velocity can be reduced, the range of variation in the flow velocity depending on the location in the ink chamber 32 can be reduced. As a result, an effect that the static pressure can be made uniform can be obtained.

特に、本発明においては、複数のチャネル110毎に設けられるノズル21の形状が互いに同一であることにより、複数のチャネル110毎に、流体に対する抵抗が等しく発生する。その結果、複数のチャネル入口110aから各チャネル110に流入する流体の量が均一化する。これにより、静圧が更に均一化される。   In particular, in the present invention, since the shapes of the nozzles 21 provided for each of the plurality of channels 110 are the same, resistance to the fluid is equally generated for each of the plurality of channels 110. As a result, the amount of fluid flowing into each channel 110 from the plurality of channel inlets 110a is made uniform. Thereby, the static pressure is further uniformized.

これらの結果、インク室32内の全体に亘って圧力を均一化した状態で、インク室32内を加圧することが可能となる。これにより、熱硬化性組成物部Cの全周に亘って、これを押圧する圧力を精度良く均一化することが可能となる。つまり、局所的に熱硬化性組成物部Cに対して強い圧力が働くことを防止できるため、熱硬化性組成物のチャネル110への流入を顕著に防止する効果が得られる。   As a result, the inside of the ink chamber 32 can be pressurized in a state where the pressure is made uniform over the entire inside of the ink chamber 32. Thereby, it becomes possible to equalize the pressure which presses this over the perimeter of the thermosetting composition part C accurately. That is, since a strong pressure can be prevented from acting locally on the thermosetting composition portion C, an effect of remarkably preventing the inflow of the thermosetting composition into the channel 110 can be obtained.

更に、これらの効果と同時に、ノズル21から流体が排出されることにより、インク室32内の流体が置換され、インク室32内の流体と外気との温度差が確保されるため、熱硬化性組成物部Cin及びCoutとの間で、低粘度状態(流動化状態)がタイミングをずらして交互に形成され、熱硬化性組成物のチャネル110への流入は更に防止される。   Furthermore, simultaneously with these effects, the fluid in the ink chamber 32 is replaced by discharging the fluid from the nozzle 21, and a temperature difference between the fluid in the ink chamber 32 and the outside air is ensured. A low-viscosity state (fluidized state) is alternately formed between the composition parts Cin and Cout at different timings, and the inflow of the thermosetting composition into the channel 110 is further prevented.

また、ヘッドチップ1がノズルプレート2を備えていることにより、流速を遅くしても加圧が容易となるため、熱硬化性組成物部Cが流体の衝突によって変形したり、又は飛び散ったりすることを防止できる。その結果、熱硬化性組成物部Cの形状を、熱硬化性組成物部形成工程において形成された形状に好適に保持できる効果が得られる。特に、熱硬化性組成物部Cがインク室32内にフィレット部Cfを備える場合は、変形や飛び散りが比較的生じやすくなるが、このような場合でも、ヘッドチップ1がノズルプレート2を備えていれば変形や飛び散りを好適に防止できる。   Further, since the head chip 1 includes the nozzle plate 2, pressurization is facilitated even if the flow rate is slowed down, so that the thermosetting composition part C is deformed or scattered by the collision of fluid. Can be prevented. As a result, the effect that the shape of the thermosetting composition part C can be suitably maintained in the shape formed in the thermosetting composition part forming step is obtained. In particular, when the thermosetting composition portion C includes the fillet portion Cf in the ink chamber 32, deformation and scattering are relatively likely to occur. Even in such a case, the head chip 1 includes the nozzle plate 2. Then, deformation and scattering can be suitably prevented.

以上の説明では、マニホールド3が、ヘッドチップ1が有するカバー基板12の上面12aのみに接着されてなるインクジェットヘッドH1の場合について示したが、本発明によって得られるインクジェットヘッドは、これに限定されるものではない。   In the above description, the case where the manifold 3 is the ink-jet head H1 formed by being bonded only to the upper surface 12a of the cover substrate 12 of the head chip 1 has been described, but the ink-jet head obtained by the present invention is limited to this. It is not a thing.

例えば、図8に示すように、マニホールド3が、カバー基板12の端から露出するチャネル入口110aを覆うように、カバー基板12の上面12aと圧電基板11の上面11aとに亘って接着されてなるインクジェットヘッドH2の製造方法においても、本発明を好ましく適用でき、上述したインクジェットヘッドH1の場合と同様の効果を奏する。   For example, as shown in FIG. 8, the manifold 3 is bonded across the upper surface 12 a of the cover substrate 12 and the upper surface 11 a of the piezoelectric substrate 11 so as to cover the channel inlet 110 a exposed from the end of the cover substrate 12. The present invention can also be preferably applied to the method of manufacturing the inkjet head H2, and the same effects as those of the inkjet head H1 described above can be obtained.

また、以上の説明では、ヘッドチップ1の上面側に設けられたインク導入口110aを介してチャネル110に対し、該チャネル110の長さ方向と交叉する方向からインクが供給されるタイプのインクジェットヘッドH1又はH2の場合について示したが、例えば、図9に示すように、チャネル110の長さ方向に沿ってインクが供給される所謂ハーモニカタイプのインクジェットヘッドH3を製造する場合においても好適に適用でき、上述したインクジェットヘッドH1又はH2の場合と同様の効果を奏する。   Further, in the above description, an ink jet head of a type in which ink is supplied to the channel 110 from the direction intersecting the length direction of the channel 110 via the ink introduction port 110 a provided on the upper surface side of the head chip 1. Although the case of H1 or H2 has been described, for example, as shown in FIG. 9, it can be suitably applied to the case of manufacturing a so-called harmonica type inkjet head H3 in which ink is supplied along the length direction of the channel 110. The same effects as those of the ink jet head H1 or H2 described above can be obtained.

即ち、図9に示す通り、ハーモニカタイプのインクジェットヘッドH3では、ヘッドチップ1の後面にチャネル入口110aが形成されている。   That is, as shown in FIG. 9, in the harmonica type inkjet head H3, the channel inlet 110a is formed on the rear surface of the head chip 1.

また、ヘッドチップ1の後面には、チャネル入口110aに対応する位置に開口部40を有する配線基板4が接着されている。配線基板40には、チャネル110毎に駆動電位を印加するための配線(不図示)を備えている。   A wiring substrate 4 having an opening 40 is bonded to the rear surface of the head chip 1 at a position corresponding to the channel inlet 110a. The wiring board 40 includes wiring (not shown) for applying a driving potential for each channel 110.

マニホールド3は、配線基板4の開口部40から露出するチャネル入口110aを覆うように、配線基板4の上面4aに接着される。つまり、マニホールド3は、配線基板4を介して、ヘッドチップ1に対して接着される。   The manifold 3 is bonded to the upper surface 4 a of the wiring board 4 so as to cover the channel inlet 110 a exposed from the opening 40 of the wiring board 4. That is, the manifold 3 is bonded to the head chip 1 via the wiring board 4.

また、本発明のインクジェットヘッドの製造方法により接着される流路部材は、上述したマニホールド3とヘッドチップ1の場合に限定されるものではない。   Further, the flow path member to be bonded by the method of manufacturing an inkjet head of the present invention is not limited to the case of the manifold 3 and the head chip 1 described above.

図10は、本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法により接着可能な流路部材間の一例を示す断面図である。   FIG. 10 is a cross-sectional view showing an example between flow path members that can be bonded by the method of manufacturing an inkjet head according to the present invention.

図示の例では、加熱工程の様子を示しており、2つのヘッドチップ1、1が、各々のチャネル基板11、11の背面同士を対向させるように配置されている。また、それぞれのヘッドチップ1、1の前面(図示の例では下方に配向した面)には、両ヘッドチップ1、1の各々のチャネル110列に対応する位置に1列ずつノズル21を有する1枚のノズルプレート2が配置されている。   In the illustrated example, the heating process is shown, and the two head chips 1 and 1 are arranged so that the back surfaces of the channel substrates 11 and 11 face each other. In addition, on the front surface of each head chip 1, 1 (surface oriented downward in the illustrated example), the nozzles 21 are provided one row at a position corresponding to each channel 110 row of both head chips 1, 1. A single nozzle plate 2 is arranged.

そして、各々のヘッドチップ1、1に対しては、インク入口110aを覆うように、マニホールド3、3が配置されている。   For each head chip 1, 1, manifolds 3, 3 are arranged so as to cover the ink inlet 110 a.

即ち、図示の例では、2列のノズル21列を備えるインクジェットヘッドH4の製造方法の一例を示している。   That is, in the illustrated example, an example of a method for manufacturing the inkjet head H4 including two rows of nozzles 21 is shown.

さらに、5は、インクジェットヘッドH4を固定して収納するための箱状の筐体であり、例えばアルミ等から形成されている。   Furthermore, 5 is a box-shaped housing for fixing and storing the inkjet head H4, and is made of, for example, aluminum.

図示の例では、熱硬化性組成物が、あらかじめ前段の熱硬化性組成物部形成工程において、マニホールド3とヘッドチップ1との間だけでなく、他の流路部材間にも形成されている。   In the illustrated example, the thermosetting composition is previously formed not only between the manifold 3 and the head chip 1 but also between other flow path members in the former thermosetting composition portion forming step. .

即ち、まず、図中、C1、C1は、マニホールド3とヘッドチップ1との間に形成された熱硬化性組成物部を示している。   That is, first, in the drawing, C1 and C1 indicate thermosetting composition portions formed between the manifold 3 and the head chip 1.

この例において、熱硬化性組成物部C1、C1は、マニホールド3とヘッドチップ1との間から、マニホールド3と筐体5の内面との間にかけて連続的に形成されている。つまり、熱硬化性組成物部C1、C1は、それぞれマニホールド3とヘッドチップ1との間を接着してインク封止すると共に、インクジェットヘッドH4を筐体5に固定して収納するために設けられている。   In this example, the thermosetting composition parts C <b> 1 and C <b> 1 are continuously formed from between the manifold 3 and the head chip 1 to between the manifold 3 and the inner surface of the housing 5. In other words, the thermosetting composition portions C1 and C1 are provided to bond the ink between the manifold 3 and the head chip 1 to seal the ink, and to fix the ink jet head H4 to the housing 5 for storage. ing.

また、C2は、ヘッドチップ1、1とノズルプレート2との間に形成された熱硬化性組成物部を示している。   C2 indicates a thermosetting composition portion formed between the head chips 1 and 1 and the nozzle plate 2.

また、C3、C3は、マニホールド3のインク供給口33とインク供給管34に形成された熱硬化性組成物部を示している。   C3 and C3 indicate thermosetting composition portions formed in the ink supply port 33 and the ink supply pipe 34 of the manifold 3.

更に、C4、C4は、ヘッドチップ1を構成するチャネル基板11とカバー基板12との間に形成された熱硬化性組成物部を示している。   Further, C4 and C4 indicate thermosetting composition portions formed between the channel substrate 11 and the cover substrate 12 constituting the head chip 1.

これら流路部材間に設けられた熱硬化性組成物部C1〜C4の加熱硬化は、あらかじめ全ての熱硬化性組成物部C1〜C4を形成した後に行ってもよいし、ヘッドチップH4の組み立ての段階で、1又は2以上の流路部材間ごとに、順次熱硬化性組成物部を設けた後、加熱硬化させて接着し、これを繰り返すことにより全ての熱硬化性組成物部C1〜C4を加熱硬化させるようにしてもよい。   Heat curing of the thermosetting composition portions C1 to C4 provided between the flow path members may be performed after all the thermosetting composition portions C1 to C4 are formed in advance, or the head chip H4 is assembled. In this stage, a thermosetting composition portion is sequentially provided between one or two or more flow path members, and then heat-cured and bonded. By repeating this, all the thermosetting composition portions C1 to C1 are provided. C4 may be cured by heating.

このように、マニホールド3とヘッドチップ1との間以外の場合であっても、インク流路側の圧力を、外気側の圧力よりも高く保持した状態で、加熱による熱硬化性組成物部Cの硬化を行うことにより、インク流路側への熱硬化性組成物の流入を防止する効果が得られる。   As described above, even in a case other than between the manifold 3 and the head chip 1, the pressure of the thermosetting composition portion C by heating is maintained in a state where the pressure on the ink flow path side is kept higher than the pressure on the outside air side. By performing the curing, an effect of preventing the thermosetting composition from flowing into the ink flow path side can be obtained.

特に、図示したように、熱硬化性組成物部C1を、マニホールド3とヘッドチップ1との間から、マニホールド3と筐体5との間にかけて連続的に形成する場合は、熱硬化性組成物の付着量が多くなるため、従来、インク流路側への流入が生じやすくなるが、本発明によれば、このような場合であっても好適に流入を防止できる効果が得られる。   In particular, as shown in the figure, when the thermosetting composition portion C1 is continuously formed between the manifold 3 and the head chip 1 and between the manifold 3 and the housing 5, the thermosetting composition is used. However, according to the present invention, it is possible to suitably prevent the inflow even in such a case.

また、図9に示したハーモニカタイプのヘッドチップH3の場合であれば、ヘッドチップ1と配線基板4との間の接着についても、上述した熱硬化性組成物部C1〜C4の場合と同様に、本発明を好適に適用することができ、インク流路側、特に、チャネル110内への熱硬化性組成物の流入を防止する効果が得られる。   Further, in the case of the harmonica type head chip H3 shown in FIG. 9, the adhesion between the head chip 1 and the wiring board 4 is the same as in the case of the thermosetting composition parts C1 to C4 described above. The present invention can be preferably applied, and the effect of preventing the thermosetting composition from flowing into the ink flow path side, particularly into the channel 110 can be obtained.

本発明において、熱硬化性組成物としては、格別限定されないが、上述したように、昇温に伴って低粘度化した後に硬化する性質を示す熱硬化性組成物であれば、本発明の硬化を顕著に得ることができるため好ましい。   In the present invention, the thermosetting composition is not particularly limited. However, as described above, the thermosetting composition can be cured as long as the thermosetting composition exhibits the property of being cured after being reduced in viscosity with increasing temperature. Can be remarkably obtained, which is preferable.

このような熱硬化性組成物として、熱硬化性を示すフッ素系のゴム組成物を用いることにより、硬化後の接着剤層に、弾性を付与でき、更に、湿度や溶剤、酸・塩基性インクに対する耐性を付与することができるため好ましい。   By using a fluorine-based rubber composition exhibiting thermosetting as such a thermosetting composition, elasticity can be imparted to the cured adhesive layer, and further, humidity, solvent, acid / basic ink can be provided. It is preferable because it can impart resistance to.

フッ素系ゴム組成物としては、格別限定されないが、主鎖中にフッ素化ポリエーテル骨格を有するポリマーを主成分とするものが、硬化後の弾性に優れ、且つ湿度や溶剤、酸・塩基性インクに対する高い耐性を付与することができるため、特に好適である。   The fluorine-based rubber composition is not particularly limited, but the main component is a polymer having a fluorinated polyether skeleton in the main chain, and has excellent elasticity after curing, and humidity, solvent, acid / basic ink. It is particularly suitable because it can impart high resistance to the above.

フッ素化ポリエーテル骨格としては、パーフルオロポリエーテルの繰り返し単位(−C2×aO−[aは1以上6以下の範囲の整数である。])を20以上600以下の範囲の整数回繰り返し含むパーフルオロポリエーテル骨格等を好ましく例示できる。このようなフッ素化ポリエーテル骨格を有するポリマーを主成分とする熱硬化性組成物としては、市販品では、例えば、信越化学工業社製「SIFEL2614」、信越化学工業社製「X−71−6046」等を好ましく用いることができる。 As the fluorinated polyether skeleton, a perfluoropolyether repeating unit (—C a F 2 × a O— [a is an integer in the range of 1 to 6]] is an integer in the range of 20 to 600. Preferred examples include perfluoropolyether skeletons repeatedly included. As a thermosetting composition mainly composed of a polymer having such a fluorinated polyether skeleton, commercially available products such as “SIFEL 2614” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. and “X-71-6046” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Etc. "can be preferably used.

熱硬化性組成物は、ポリマー内に架橋反応基を有することにより、加熱硬化して接着性を発現する。架橋反応基としては、加熱によってポリマー間を架橋可能であれば格別限定されず、例えば、ヒドロシリル基等のケイ素含有基、ビニル基等のアルケニル基等の1種又は2種以上を含むことができる。   The thermosetting composition has a cross-linking reactive group in the polymer, and thus heat-cures to develop adhesiveness. The crosslinking reactive group is not particularly limited as long as the polymers can be crosslinked by heating, and may include one or more of silicon-containing groups such as hydrosilyl groups and alkenyl groups such as vinyl groups. .

本発明において、熱硬化性組成物は、加熱硬化工程を短縮する上で、高温で硬化するものが好ましく用いられるが、高温で硬化させると、当該圧電材料で脱分極が生じて当該圧電材料の性能が低下する。その為、具体的には、硬化開始温度が40℃以上120℃以下の範囲であることが好ましい。これにより、工程に要する時間を短縮でき、生産性を向上する効果が得られる。   In the present invention, the thermosetting composition is preferably one that cures at a high temperature in order to shorten the heat curing step. However, when cured at a high temperature, depolarization occurs in the piezoelectric material, and Performance decreases. Therefore, specifically, the curing start temperature is preferably in the range of 40 ° C. or higher and 120 ° C. or lower. Thereby, the time which a process requires can be shortened and the effect which improves productivity is acquired.

また、本発明においては、硬化開始温度が室温以下の熱硬化性組成物を用いることもできる。この場合、限定されるものではないが、例えば、インク流路内に、室温以下の冷却流体又は室温以上の加熱流体を流入させながら、室温下にて熱硬化性組成物を硬化させることで、本発明を好適に適用することができる。   In the present invention, a thermosetting composition having a curing start temperature of room temperature or lower can also be used. In this case, although not limited, for example, by allowing a cooling fluid below room temperature or a heating fluid above room temperature to flow into the ink flow path, the thermosetting composition is cured at room temperature, The present invention can be preferably applied.

本発明において、熱硬化性組成物は、微粉シリカを1重量部以上30重量部以下の範囲で含有することが好ましい。これにより、熱硬化性組成物部の濡れ広がりや、変形、飛び散りを防止する効果が得られる。   In the present invention, the thermosetting composition preferably contains finely divided silica in the range of 1 to 30 parts by weight. Thereby, the effect which prevents the wetting spread of a thermosetting composition part, a deformation | transformation, and scattering is acquired.

微粉シリカとしては、表面処理が施されたものを好ましく用いることができる。特に、シラン系表面処理剤を用いて表面処理された微粉シリカであれば、熱硬化性組成物の凝集力を高め、変形、熱硬化性組成物部の飛び散りを防止すると共に、インク流路への流れ込みを防止する効果を奏する。   As finely divided silica, those subjected to surface treatment can be preferably used. In particular, finely divided silica surface-treated with a silane-based surface treatment agent enhances the cohesive strength of the thermosetting composition, prevents deformation and scattering of the thermosetting composition portion, and enters the ink flow path. This has the effect of preventing the inflow.

以下に、本発明の実施例を説明するが、本発明はかかる実施例によって限定されない。   Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to such examples.

(実施例1)
<熱硬化性組成物部形成工程>
熱硬化性組成物として信越化学工業社製「SIFEL2614」(フッ素化ポリエーテル骨格を有するポリマーを主成分とし、該フッ素化ポリエーテル骨格は、(−C2×aO−[aは3である。])で示されるパーフルオロポリエーテルの繰り返し単位を88回繰り返し含む。微粉シリカ配合量:1重量部未満、粘度:20[Pa・s]、硬化開始温度:100℃)を用い、図2に示した熱硬化性組成物部形成工程の第1態様に従って、外気側にフィレット部を有する熱硬化性組成物部を、あらかじめノズルプレートが貼着されたヘッドチップとマニホールドとの間に形成し、ヘッドチップ前駆体を得た。
Example 1
<Thermosetting composition part formation process>
“SIFEL 2614” (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a thermosetting composition (mainly a polymer having a fluorinated polyether skeleton, the fluorinated polyether skeleton is (—C a F 2 × a O— [a is 3 ]) Repeating unit of perfluoropolyether represented by 88), fine silica content: less than 1 part by weight, viscosity: 20 [Pa · s], curing start temperature: 100 ° C.) In accordance with the first aspect of the thermosetting composition portion forming step shown in FIG. 2, a thermosetting composition portion having a fillet portion on the outside air side is placed between the head chip on which the nozzle plate is previously attached and the manifold. The head chip precursor was obtained.

<加熱工程>
得られたヘッドチップ前駆体を、図4に示したように、100℃に維持されたオーブン内に入れ、マニホールド3のインク供給口からインク流路内に、常温(25℃)の空気を10L/minの流量で、注入圧.0.1MPaで流入させると共にノズルから排出させながら、4時間加熱して熱硬化性組成物部を硬化させ、インクジェットヘッドを得た。
<Heating process>
As shown in FIG. 4, the obtained head chip precursor was placed in an oven maintained at 100 ° C., and 10 L of normal temperature (25 ° C.) air was supplied from the ink supply port of the manifold 3 into the ink flow path. Injection pressure at a flow rate of / min. While flowing at 0.1 MPa and discharging from the nozzle, the thermosetting composition was cured by heating for 4 hours to obtain an ink jet head.

[評価方法]
1.出射試験
得られたインクジェットヘッドについて、色材を含まない出射評価用のダミーインク(酢酸2−ブトキシエチル90重量%とシクロヘキサノン10重量%とからなる。)を用いて出射試験を行い、インクジェットヘッドが備える複数のノズルからの各出射速度を測定した。
[Evaluation method]
1. Emission test The obtained inkjet head was subjected to an emission test using a dummy ink for evaluation of emission that does not contain a coloring material (consisting of 90% by weight of 2-butoxyethyl acetate and 10% by weight of cyclohexanone). Each emission speed from a plurality of nozzles provided was measured.

1−1.評価基準
まず、インクジェットヘッドが備える複数のノズルからの出射速度が、各ノズル間で最大と最小の差が8%以内の場合のヘッドを合格、それを超える場合のヘッドを不合格と判定する。得られた10個のインクジェットヘッドについて判定を行う。
◎:10個中10個のヘッドが合格である。
○:10個中8〜9個のヘッドのみ合格である。
△:10個中5〜7個のヘッドのみ合格である。
×:10個中5個未満のヘッドのみ合格である。
1-1. Evaluation Criteria First, the head when the ejection speed from the plurality of nozzles included in the inkjet head has a maximum and minimum difference of 8% or less between the nozzles is determined to be acceptable, and the head when the difference exceeds the maximum is determined to be rejected. Judgment is performed for the obtained 10 inkjet heads.
A: 10 out of 10 heads passed.
○: Only 8 to 9 heads out of 10 pass.
Δ: Only 5 to 7 heads out of 10 pass.
X: Only less than 5 heads out of 10 pass.

2.加圧・リーク試験
得られたインクジェットヘッドが備えるマニホールドのインク供給口より、0.2MPaの圧力を加えて水を導入し、全ノズル穴より水を1分間流出させた。
2. Pressure / Leak Test Water was introduced by applying a pressure of 0.2 MPa from an ink supply port of a manifold provided in the obtained ink jet head, and water was allowed to flow out from all nozzle holes for 1 minute.

次いで、インク流路内の水を空気で押し出し乾燥させた後、ノズルプレートに粘着テープを貼り、全ノズル穴を塞いだ。   Next, after water in the ink flow path was extruded and dried with air, an adhesive tape was attached to the nozzle plate to close all nozzle holes.

インク供給口にゴムチューブを介してシリンジを取り付け、シリンジのピストンを目盛5mlまで引張り流路内部を減圧させた後、該ピストンを放し、シリンジがもとの位置目盛0mlまで戻るか否かについて確認し、リークの有無を調べた。   Attach a syringe to the ink supply port via a rubber tube, pull the piston of the syringe to a scale of 5 ml, depressurize the inside of the flow path, release the piston, and check whether the syringe returns to the original position scale of 0 ml Then, the presence or absence of a leak was examined.

2−1.評価基準
○:リーク無し(シリンジがもとの位置まで戻った。)
×:リーク発生(シリンジがもとの位置まで戻らなかった。)
2-1. Evaluation criteria ○: No leak (the syringe returned to its original position)
X: Leakage occurred (the syringe did not return to the original position)

3.溶剤耐久性試験
得られたインクジェットヘッドのインク流路内に、N−メチルピロリジノン(NMP)のみからなるインクを導入した。
3. Solvent durability test An ink consisting only of N-methylpyrrolidinone (NMP) was introduced into the ink flow path of the obtained inkjet head.

マニホールドのインク供給口に栓をし、更に、ノズルプレートに蓋をしてノズルを閉塞し、60℃のオーブン内で1カ月間保管した。   The ink supply port of the manifold was capped, and the nozzle plate was capped to close the nozzle, and stored in an oven at 60 ° C. for 1 month.

1カ月後、インク供給口の栓とノズルプレートの蓋を外し、インク供給口より0.2MPaの圧力で水を導入し、全ノズル穴より水を1分間流出させた。   One month later, the plug of the ink supply port and the lid of the nozzle plate were removed, water was introduced from the ink supply port at a pressure of 0.2 MPa, and water was allowed to flow out from all nozzle holes for 1 minute.

次いで、インク流路内の水を空気で押し出し乾燥させた後、ノズルプレートに粘着テープを貼って、全ノズル穴を塞いだ。   Next, the water in the ink flow path was extruded with air and dried, and then an adhesive tape was applied to the nozzle plate to close all the nozzle holes.

インク供給口にゴムチューブを介してシリンジを取り付け、シリンジのピストンを目盛5mlまで引張り流路内部を減圧させた後、該ピストンを放し、シリンジがもとの位置目盛0mlまで戻るか否かについて観察し、リークの有無を調べた。   Attach a syringe to the ink supply port via a rubber tube, pull the piston of the syringe to a scale of 5 ml, depressurize the inside of the flow path, release the piston, and observe whether the syringe returns to the original position scale of 0 ml Then, the presence or absence of a leak was examined.

以上の操作を、60℃での保管期間が6カ月になるまで6回繰り返した。   The above operation was repeated 6 times until the storage period at 60 ° C. reached 6 months.

3−1.評価基準
◎◎:6カ月後までリーク無し
◎:6カ月目でリーク発生
○:5カ月目でリーク発生
△:3〜4カ月目でリーク発生
×:1〜2カ月目でリーク発生
3-1. Evaluation criteria ◎◎: No leak until 6 months ◎: Leakage occurred at 6th month ○: Leakage occurred at 5th month △: Leakage occurred at 3rd to 4th month ×: Leakage occurred at 1st to 2nd month

以上の評価結果を表1に示す。   The above evaluation results are shown in Table 1.

(実施例2)
実施例1において、熱硬化性組成物部形成工程の第1態様に代えて、図3に示した熱硬化性組成物部形成工程の第2態様に従って、外気側とインク流路側の両側にフィレット部を有する熱硬化性組成物部を形成したこと以外は、実施例1と同様にしてインクジェットヘッドを得、実施例1と同様の評価方法で評価した。評価結果を表1に示す。
(Example 2)
In Example 1, instead of the first mode of the thermosetting composition portion forming step, fillets are formed on both sides of the outside air side and the ink flow path side according to the second mode of the thermosetting composition portion forming step shown in FIG. An ink jet head was obtained in the same manner as in Example 1 except that a thermosetting composition part having a part was formed, and evaluated by the same evaluation method as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 1.

(実施例3)
実施例1において、熱硬化性組成物として信越化学工業社製「X−71−6046」(フッ素化ポリエーテル骨格を有するポリマーを主成分とし、該フッ素化ポリエーテル骨格は、(−C2×aO−[aは3である。])で示されるパーフルオロポリエーテルの繰り返し単位を90回繰り返し含む。微粉シリカ配合量:5重量部、粘度:220[Pa・s]、硬化開始温度:100℃)を用いたこと、及び、熱硬化性組成物部形成工程の第1態様に代えて、図3に示した熱硬化性組成物部形成工程の第2態様に従って、外気側とインク流路側の両側にフィレット部を有する熱硬化性組成物部を形成したこと以外は、実施例1と同様にしてインクジェットヘッドを得、実施例1と同様の評価方法で評価した。評価結果を表1に示す。
(Example 3)
In Example 1, “X-71-6046” (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) (a polymer having a fluorinated polyether skeleton as a main component, the fluorinated polyether skeleton being (—C a F 2 × a 2 O— [a is 3])) perfluoropolyether repeating unit represented by 90 times, fine silica content: 5 parts by weight, viscosity: 220 [Pa · s], start of curing Temperature: 100 ° C.) and in place of the first mode of the thermosetting composition part forming step, according to the second mode of the thermosetting composition part forming step shown in FIG. An ink jet head was obtained in the same manner as in Example 1 except that a thermosetting composition part having a fillet part was formed on both sides on the ink flow path side, and evaluated by the same evaluation method as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 1.

(実施例4)
実施例1において、熱硬化性組成物として信越化学工業社製「X−71−6046」を用いたこと、及び、熱硬化性組成物部形成工程の第1態様に代えて、図3に示した熱硬化性組成物部形成工程の第2態様に従って、外気側とインク流路側の両側にフィレット部を有する熱硬化性組成物部を形成したこと、及び、インク供給口から流入する流体として空気に代えて窒素を用いたこと以外は、実施例1と同様にしてインクジェットヘッドを得、実施例1と同様の評価方法で評価した。評価結果を表1に示す。
Example 4
In Example 1, instead of using “X-71-6046” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. as the thermosetting composition, and instead of the first embodiment of the thermosetting composition part forming step, shown in FIG. According to the second aspect of the thermosetting composition portion forming step, the thermosetting composition portion having the fillet portions on both the outside air side and the ink flow path side is formed, and air is supplied as the fluid flowing from the ink supply port. An ink jet head was obtained in the same manner as in Example 1 except that nitrogen was used in place of, and evaluated by the same evaluation method as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 1.

(比較例1)
実施例1において、加熱中にインク供給口から空気を流入させなかったこと以外は、実施例1と同様にしてインクジェットヘッドを得、実施例1と同様の評価方法で評価した。評価結果を表1に示す。
(Comparative Example 1)
In Example 1, an ink jet head was obtained in the same manner as in Example 1 except that air was not introduced from the ink supply port during heating, and evaluation was performed in the same evaluation method as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 1.

(参考例1)*溶剤耐久性比較
実施例1において、熱硬化性組成物としてジャパンエポキシレジン社製「エピコート807」(組成:ビスフェノールF型エポキシ樹脂)60重量%とジャパンエポキシレジン社製「エピコート152」(組成:フェノールノボラック型エポキシ樹脂)40重量%との混合物にイミダゾール系硬化剤を添加してなるエポキシ系接着剤(粘度:25[Pa・s]、硬化開始温度40℃)を用いたこと、及び、オーブン内の温度を60℃としたこと、及び、加熱中にインク供給口から空気を流入させなかったこと以外は、実施例1と同様にしてインクジェットヘッドを得、実施例1と同様の溶剤耐久性試験で評価した。評価結果を表1に示す。
(Reference Example 1) * Comparison of solvent durability In Example 1, 60% by weight of “Epicoat 807” (composition: bisphenol F type epoxy resin) manufactured by Japan Epoxy Resin and “Epicoat” manufactured by Japan Epoxy Resin as the thermosetting composition 152 ”(composition: phenol novolac epoxy resin) 40 wt% of an epoxy adhesive (viscosity: 25 [Pa · s], curing start temperature 40 ° C.) obtained by adding an imidazole curing agent was used. In addition, an ink jet head was obtained in the same manner as in Example 1 except that the temperature in the oven was set to 60 ° C. and air was not allowed to flow from the ink supply port during heating. The same solvent durability test was evaluated. The evaluation results are shown in Table 1.

(参考例2)*溶剤耐久性比較
実施例1において、熱硬化性組成物として信越化学工業社製「FE−61」(フッ素化されたシリコーン(フロロシリコーン)を主成分とする。粘度:60[Pa・s]、硬化開始温度:100℃)を用いたこと、及び、加熱中にインク供給口から空気を流入させなかったこと以外は、実施例1と同様にしてインクジェットヘッドを得、実施例1と同様の溶剤耐久性試験で評価した。評価結果を表1に示す。
(Reference Example 2) * Comparison of solvent durability In Example 1, as a thermosetting composition, "FE-61" (fluorinated silicone (fluorosilicone) made by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a main component. Viscosity: 60 The ink jet head was obtained in the same manner as in Example 1 except that [Pa · s], curing start temperature: 100 ° C.) was used, and air was not allowed to flow from the ink supply port during heating. Evaluation was made in the same solvent durability test as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 1.

(参考例3)*溶剤耐久性比較
実施例1において、熱硬化性組成物として信越化学工業社製
「KE4895」(シリコーン接着剤。粘度:5[Pa・s]、常温硬化型)を用いたこと、及び、硬化を常温で行ったこと、及び、硬化中にインク供給口から空気を流入させなかったこと以外は、実施例1と同様にしてインクジェットヘッドを得、実施例1と同様の溶剤耐久性試験で評価した。評価結果を表1に示す。
(Reference Example 3) * Comparison of solvent durability In Example 1, “KE4895” (silicone adhesive, viscosity: 5 [Pa · s], room temperature curing type) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. was used as the thermosetting composition. In addition, the ink jet head was obtained in the same manner as in Example 1 except that the curing was performed at room temperature and no air was allowed to flow from the ink supply port during the curing, and the same solvent as in Example 1 was obtained. It was evaluated by a durability test. The evaluation results are shown in Table 1.

Figure 2013006297
Figure 2013006297

<評価>
表1の出射試験の結果より、加熱硬化中にインク供給口から流体を流入させた実施例1〜4では、流入を行わなかった比較例1に比べて、インク出射の速度異常を生じることが防止されることがわかる。このことから、熱硬化性組成物のインク流路側への流入が好適に防止されていることがわかる。
<Evaluation>
From the results of the ejection test in Table 1, in Examples 1 to 4 in which the fluid was allowed to flow from the ink supply port during the heat curing, the ink ejection speed abnormality may occur compared to Comparative Example 1 in which the inflow was not performed. It can be seen that it is prevented. This shows that the flow of the thermosetting composition to the ink flow path side is suitably prevented.

また、熱硬化性組成物部形成工程の第2態様に従って、外気側とインク流路側の両側にフィレット部を有する熱硬化性組成物部を形成した実施例2〜4では、溶剤耐久性に優れることがわかる。   Further, in Examples 2 to 4 in which the thermosetting composition part having fillet parts on both the outside air side and the ink flow path side was formed according to the second aspect of the thermosetting composition part forming step, the solvent durability was excellent. I understand that.

さらに、熱硬化性組成物が微粉シリカを5重量部配合してなる実施例3、4では、微粉シリカの配合量が1重量部未満の実施例1、2に比べて、出射試験において更に良好な結果を示すことがわかる。   Furthermore, in Examples 3 and 4 in which the thermosetting composition is formulated with 5 parts by weight of finely divided silica, it is even better in the emission test than Examples 1 and 2 in which the amount of finely divided silica is less than 1 part by weight It can be seen that the results are correct.

一方、表1より、何れも加熱中に流体の流入を行わなかった比較例1及び参考例1〜3について、溶剤耐久性を対比してみると、フッ素化ポリエーテル骨格を有するポリマーを主成分とする熱硬化性組成物を用いた比較例1では、他の熱硬化性組成物(参考例1:エポキシ系、参考例2:フッ素化シリコーン、参考例3:シリコーン)を用いた参考例1〜3に対して、溶剤耐久性が向上することがわかる。   On the other hand, from Table 1, when comparing the solvent durability of Comparative Example 1 and Reference Examples 1 to 3 in which no fluid was introduced during heating, the polymer having a fluorinated polyether skeleton was the main component. In Comparative Example 1 using the thermosetting composition as described above, Reference Example 1 using another thermosetting composition (Reference Example 1: Epoxy, Reference Example 2: Fluorinated Silicone, Reference Example 3: Silicone) It can be seen that with respect to ˜3, the solvent durability is improved.

本発明によれば、このようなフッ素化ポリエーテル骨格を有するポリマーを主成分とする熱硬化性組成物が有する溶剤耐久性を、実施例1〜3に示される通り、極めて効果的に利用することができ、且つ、インク流路への熱硬化性組成物の流入を顕著に防止することができる効果を奏する。   According to the present invention, the solvent durability of the thermosetting composition mainly composed of a polymer having such a fluorinated polyether skeleton is utilized very effectively as shown in Examples 1 to 3. And the effect that the inflow of the thermosetting composition into the ink flow path can be remarkably prevented.

1:ヘッドチップ(流路部材)
11:チャネル基板
110:チャネル(圧力室、インク流路)
110a:チャネル入口
110b:チャネル出口
12:カバー基板
12a:上面(接合面)
120:開口部(インク流路)
2:ノズルプレート
21:ノズル
3:マニホールド(流路部材)
31:マニホールド本体
31a:上壁
31b:側壁
31c:端面(接合面)
32:インク室(流路部材)
33:インク供給口
34:インク供給管
4:筐体
B:接着部
C:熱硬化性組成物部
H1〜H4:インクジェットヘッド
1: Head chip (channel member)
11: Channel substrate 110: Channel (pressure chamber, ink flow path)
110a: channel inlet 110b: channel outlet 12: cover substrate 12a: upper surface (bonding surface)
120: Opening (ink channel)
2: Nozzle plate 21: Nozzle 3: Manifold (channel member)
31: Manifold body 31a: Upper wall 31b: Side wall 31c: End face (joint face)
32: Ink chamber (channel member)
33: Ink supply port 34: Ink supply tube 4: Housing B: Adhesive part C: Thermosetting composition part H1-H4: Inkjet head

Claims (23)

インク流路を構成する2つの流路部材同士を互いに所定の接合位置に配置すると共に、該2つの流路部材の接合面間にインク流路側から外気側にかけて熱硬化性組成物部を形成する熱硬化性組成物部形成工程と、
前記熱硬化性組成物部形成工程の後に、前記熱硬化性組成物部を加熱して硬化させることによって、前記2つの流路部材間を接着すると共に、該2つの流路部材間において前記インク流路を密封する加熱工程とを有し、
前記熱硬化性組成物部は、前記加熱工程における前記加熱による昇温に伴って一時的に流動化した後に不可逆的に硬化する熱硬化性組成物から形成されており、
前記加熱工程において前記熱硬化性組成物が少なくとも流動化した状態にある際に、前記インク流路側の圧力を前記外気側の圧力よりも高く保持することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
The two flow path members constituting the ink flow path are arranged at predetermined joining positions with each other, and a thermosetting composition portion is formed between the joint surfaces of the two flow path members from the ink flow path side to the outside air side. A thermosetting composition part forming step;
After the thermosetting composition portion forming step, the thermosetting composition portion is heated and cured to bond the two flow path members, and the ink between the two flow path members. A heating step for sealing the flow path,
The thermosetting composition part is formed from a thermosetting composition that irreversibly cures after temporarily fluidizing with a temperature rise due to the heating in the heating step,
A method of manufacturing an ink jet head, wherein the pressure on the ink flow path side is maintained higher than the pressure on the outside air side when the thermosetting composition is in a fluidized state in the heating step.
前記加熱工程において、前記インク流路内に流体を流入することにより、前記インク流路側の圧力を前記外気側の圧力よりも高く保持することを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドの製造方法。   2. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein, in the heating step, the pressure on the ink flow path side is maintained higher than the pressure on the outside air side by flowing a fluid into the ink flow path. . 前記加熱工程において、前記2つの流路部材のうち、何れか一方の流路部材から前記インク流路内に流体を流入し続けると共に、該インク流路を介して他方の流路部材から該流体を排出し続けることにより、前記インク流路側の圧力を前記外気側の圧力よりも高く保持することを特徴とする請求項2記載のインクジェットヘッドの製造方法。   In the heating step, the fluid continues to flow into the ink flow path from one of the two flow path members and from the other flow path member through the ink flow path. 3. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 2, wherein the pressure on the ink flow path side is kept higher than the pressure on the outside air side by continuing to discharge the water. 前記加熱工程において、前記他方の流路部材はあらかじめノズルプレートを備えており、該ノズルプレートが有するノズルを介して前記流体を排出し続けることを特徴とする請求項3記載のインクジェットヘッドの製造方法。   4. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 3, wherein, in the heating step, the other flow path member is provided with a nozzle plate in advance, and the fluid is continuously discharged through the nozzles of the nozzle plate. . 前記流体は、空気又は窒素ガスであることを特徴とする請求項2〜4の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。   The ink jet head manufacturing method according to claim 2, wherein the fluid is air or nitrogen gas. 前記インク流路内に流入させる前記流体の温度と、前記外気の温度とを異ならせて、前記熱硬化性組成物部の前記加熱を行うことを特徴とする請求項2〜5の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。   The temperature of the fluid flowing into the ink flow path and the temperature of the outside air are made different to perform the heating of the thermosetting composition part. The manufacturing method of the inkjet head of description. 前記インク流路内に流入させる前記流体の温度は前記熱硬化性樹脂の硬化開始温度未満であり、前記外気の温度は前記熱硬化性樹脂の硬化開始温度以上であり、前記外気によって前記熱硬化性組成物部の前記加熱を行うことを特徴とする請求項6記載のインクジェットヘッドの製造方法。   The temperature of the fluid flowing into the ink flow path is lower than the curing start temperature of the thermosetting resin, the temperature of the outside air is equal to or higher than the curing start temperature of the thermosetting resin, and the thermosetting is performed by the outside air. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 6, wherein the heating of the composition part is performed. 前記インク流路内に流入させる前記流体の温度は室温であることを特徴とする請求項7記載のインクジェットヘッドの製造方法。   8. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 7, wherein the temperature of the fluid flowing into the ink flow path is room temperature. 前記インク流路内に流入させる前記流体の温度は前記熱硬化性樹脂の硬化開始温度以上であり、前記外気の温度は前記熱硬化性樹脂の硬化開始温度未満であり、前記流体によって前記熱硬化性組成物部の前記加熱を行うことを特徴とする請求項6記載のインクジェットヘッドの製造方法。   The temperature of the fluid flowing into the ink flow path is equal to or higher than the curing start temperature of the thermosetting resin, the temperature of the outside air is lower than the curing start temperature of the thermosetting resin, and the thermosetting is performed by the fluid. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 6, wherein the heating of the composition part is performed. 前記外気の温度は室温であることを特徴とする請求項9記載のインクジェットヘッドの製造方法。   10. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 9, wherein the temperature of the outside air is room temperature. 前記加熱工程において、あらかじめ前記熱硬化性組成物部形成工程において形成された前記熱硬化性組成物部の形状を保持する範囲で、前記インク流路側の圧力を前記外気側の圧力よりも高く保持することを特徴とする請求項1〜10の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。   In the heating step, the pressure on the ink flow path side is maintained higher than the pressure on the outside air side within a range in which the shape of the thermosetting composition portion previously formed in the thermosetting composition portion forming step is maintained. The method for manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein: 前記熱硬化性組成物部形成工程において、前記2つの流路部材の接合面間に形成された前記熱硬化性組成物部は、互いに対向する前記接合面間からはみ出すフィレット部を有していることを特徴とする請求項1〜11の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。   In the thermosetting composition part forming step, the thermosetting composition part formed between the joint surfaces of the two flow path members has a fillet part protruding from between the joint surfaces facing each other. The method for producing an ink jet head according to claim 1, wherein 前記フィレット部は、前記互いに対向する前記接合面間から、前記インク流路側にはみ出すように形成されていることを特徴とする請求項12記載のインクジェットヘッドの製造方法。   13. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 12, wherein the fillet portion is formed so as to protrude to the ink flow path side from between the joint surfaces facing each other. 前記2つの流路部材のうち、何れか一方の流路部材は、インクに吐出圧を付与するための圧力室を有するヘッドチップを備えており、該一方の流路部材の前記接合面には該圧力室が開口しており、他方の流路部材の前記接合面との間に形成される前記熱硬化性組成物部を、該圧力室の開口を取り囲むように形成することを特徴とする請求項1〜13の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。   Of the two flow path members, one of the flow path members includes a head chip having a pressure chamber for applying ejection pressure to the ink, and the joint surface of the one flow path member The pressure chamber is open, and the thermosetting composition portion formed between the joint surface of the other flow path member is formed so as to surround the opening of the pressure chamber. The manufacturing method of the inkjet head in any one of Claims 1-13. 前記他方の流路部材はマニホールドを備えており、該マニホールドが前記他方の流路部材の前記接合面を形成していることを特徴とする請求項14記載のインクジェットヘッドの製造方法。   15. The method of manufacturing an inkjet head according to claim 14, wherein the other flow path member includes a manifold, and the manifold forms the joint surface of the other flow path member. 前記熱硬化性組成物部形成工程において、前記他方の流路部材を前記一方の流路部材に対して所定の接合位置に配置した後、前記接合面間に対して前記外気側から前記熱硬化性組成物を付着させて前記熱硬化性組成物部を形成することを特徴とする請求項15記載のインクジェットヘッドの製造方法。   In the thermosetting composition part forming step, after the other flow path member is disposed at a predetermined bonding position with respect to the one flow path member, the thermosetting from the outside air side between the bonding surfaces. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 15, wherein the thermosetting composition portion is formed by adhering an adhesive composition. 前記熱硬化性組成物部形成工程において、前記他方の流路部材が備える前記マニホールドに前記熱硬化性組成物を付着させた後、該他方の流路部材を前記一方の流路部材に対して所定の接合位置に配置すると共に、該熱硬化性組成物を前記一方の流路部材の接合面との間で挟持した後、更に、前記接合面間に対して前記外気側から追加の熱硬化性組成物を付着させて前記熱硬化性組成物部を形成することを特徴とする請求項15記載のインクジェットヘッドの製造方法。   In the thermosetting composition portion forming step, after the thermosetting composition is attached to the manifold included in the other channel member, the other channel member is attached to the one channel member. After being disposed at a predetermined bonding position and sandwiching the thermosetting composition with the bonding surface of the one flow path member, additional thermosetting is performed from the outside air side between the bonding surfaces. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 15, wherein the thermosetting composition portion is formed by adhering an adhesive composition. 前記熱硬化性組成物は、熱硬化性を示すフッ素系のゴム組成物であることを特徴とする請求項1〜17の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。   The method of manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein the thermosetting composition is a fluorine-based rubber composition exhibiting thermosetting. 前記熱硬化性を示すフッ素系のゴム組成物は、主鎖中にフッ素化ポリエーテル骨格を有するポリマーを主成分として含むことを特徴とする請求項18記載のインクジェットヘッドの製造方法。   19. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 18, wherein the fluorine-based rubber composition exhibiting thermosetting contains a polymer having a fluorinated polyether skeleton in the main chain as a main component. 前記フッ素化ポリエーテル骨格は、パーフルオロポリエーテルの繰り返し単位(−C2×aO−[aは1以上6以下の範囲の整数である。])を20以上600以下の範囲の整数回繰り返し含むパーフルオロポリエーテル骨格であることを特徴とする請求項19記載のインクジェットヘッドの製造方法。 The fluorinated polyether skeleton includes perfluoropolyether repeating units (—C a F 2 × a O— [a is an integer in the range of 1 to 6]] in the range of 20 to 600. 20. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 19, wherein the perfluoropolyether skeleton is repeatedly contained. 前記熱硬化性組成物は、硬化開始温度が40℃以上120℃以下の範囲であることを特徴とする請求項1〜20の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。   21. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein the thermosetting composition has a curing start temperature in a range of 40 ° C. or higher and 120 ° C. or lower. 前記熱硬化性組成物は、表面処理剤により表面処理した微粉シリカを1重量部以上30重量部以下の範囲で含有することを特徴とする請求項1〜21の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。   The said thermosetting composition contains the fine powder silica surface-treated with the surface treating agent in the range of 1 to 30 parts by weight, The inkjet head according to any one of claims 1 to 21 Production method. 前記表面処理剤はシラン系表面処理剤であることを特徴とする請求項22記載のインクジェットヘッドの製造方法。   The method of manufacturing an ink jet head according to claim 22, wherein the surface treatment agent is a silane-based surface treatment agent.
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