JPH09193380A - Ink jet head and manufacture thereof - Google Patents
Ink jet head and manufacture thereofInfo
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- JPH09193380A JPH09193380A JP2849196A JP2849196A JPH09193380A JP H09193380 A JPH09193380 A JP H09193380A JP 2849196 A JP2849196 A JP 2849196A JP 2849196 A JP2849196 A JP 2849196A JP H09193380 A JPH09193380 A JP H09193380A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、印刷記録装置用印
字ヘッドに係り、特にインク液滴を被印字面に噴射して
印刷するインクジェット式印字ヘッドの製造に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a print head for a printing / recording apparatus, and more particularly to the manufacture of an ink jet print head which prints by ejecting ink droplets onto a print surface.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、インク液滴を被印字面に噴射
して印刷するインクジェット式印字ヘッドは、分極され
た圧電部材にインク室を形成する複数本の溝が設けら
れ、その溝壁面に電極が設けられたアクチュエータと、
インク室へインクを供給するためのインク流路が形成さ
れアクチュエータに接合されるマニホールド部材とから
構成され、上記アクチュエータの溝の一端側に複数のノ
ズルを有するノズルプレートが装着され、アクチュエー
タの電極に電圧を印加することにより圧電部材が変形
し、それにより、ノズルからインク液滴が被印字面に噴
射されるようになっている。2. Description of the Related Art Conventionally, an ink jet type print head for ejecting and printing ink droplets on a surface to be printed has a plurality of grooves forming an ink chamber in a polarized piezoelectric member, and the wall surface of the groove is formed. An actuator provided with electrodes,
A nozzle plate having a plurality of nozzles is attached to one end side of the groove of the actuator, and a nozzle plate is attached to the actuator electrode. The piezoelectric member is deformed by applying a voltage, whereby ink droplets are ejected from the nozzle onto the printing surface.
【０００３】このような構成の印字ヘッドにおいて、イ
ンク流路は、インクの濡れ性を向上し、インクの初期導
入を容易とするため、特公平２−５４７８４号公報に開
示されているように染料処理を施すことが知られてい
る。In the print head having such a structure, the ink flow path improves the wettability of the ink and facilitates the initial introduction of the ink, so that the dye is disclosed in Japanese Patent Publication No. 2-54784. Known to be treated.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このイ
ンク流路内壁の染料処理はインク流路内壁に染料を付着
させてインク流路内壁を親水化しているので、染料がは
く離すると、インクの流れを妨げたり、ノズルをつまら
せたりして、インク噴射に悪影響を及ぼすおそれがあっ
た。However, this dye treatment of the inner wall of the ink flow path makes the inner wall of the ink flow path hydrophilic by adhering the dye to the inner wall of the ink flow path. There is a risk that the ink may be hindered or the nozzle may be clogged, which may adversely affect the ink ejection.
【０００５】本発明は、上記問題点を解消するためにな
されたもので、インク流路内をオゾン処理し、インクの
濡れ性を向上すると共に、アクチュエータとマニホール
ド部材との接合面に介在されるシール部材によるシール
性が良好で、インクがリークしたりすることのないイン
クジェットヘッド及びその製造方法を提供することを目
的とする。The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and improves the wettability of the ink by treating the inside of the ink flow path with ozone and intervenes at the joint surface between the actuator and the manifold member. It is an object of the present invention to provide an inkjet head that has good sealing properties by a sealing member and does not leak ink, and a method for manufacturing the inkjet head.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めになされた請求項１の発明のインクジェットヘッド
は、インク室が形成され該インク室内のインク液をノズ
ルより液滴として噴出させるアクチュエータと、インク
室へインクを供給するためのインク流路が形成されアク
チュエータに接合されるマニホールド部材とから成るイ
ンクジェットヘッドにおいて、インク流路壁面にオゾン
処理がされて成るマニホールド部材がシール部材を介し
てアクチュエータに接合されているものである。上記構
成においては、インク流路壁面にオゾン処理がされたマ
ニホールド部材がシール部材を介してアクチュエータに
接合されている。このため、インク流路壁面のインクの
濡れ性は良く、マニホールド部材からアクチュエータへ
のインク供給がスムースに行える。According to another aspect of the present invention, there is provided an ink jet head, wherein an ink chamber is formed and an ink liquid in the ink chamber is ejected as a droplet from a nozzle. In an inkjet head including an ink flow path for supplying ink to an ink chamber and a manifold member joined to an actuator, a manifold member formed by ozone treatment on a wall surface of the ink flow path is an actuator through a seal member. Is joined to. In the above configuration, the ozone treated manifold member is bonded to the actuator via the seal member on the wall surface of the ink flow path. Therefore, the wettability of the ink on the wall surface of the ink flow path is good, and the ink can be smoothly supplied from the manifold member to the actuator.
【０００７】また、請求項２の発明のインクジェットヘ
ッドは、請求項１に記載の構成において、マニホールド
部材のアクチュエータとの接合面及びシール部材が当接
する部位にはオゾン処理が施されていないものである。
上記構成においては、マニホールド部材のアクチュエー
タとの接合面及びシール部材が当接する部位にはオゾン
処理が施されていない。このため、マニホールド部材と
シール部材との密着性が優れ、インクがリークすること
はない。The ink jet head according to a second aspect of the present invention is the ink jet head according to the first aspect, wherein the joint surface of the manifold member with the actuator and the portion where the seal member abuts are not subjected to ozone treatment. is there.
In the above structure, the ozone treatment is not applied to the joint surface of the manifold member with the actuator and the portion where the seal member abuts. Therefore, the adhesion between the manifold member and the seal member is excellent and ink does not leak.
【０００８】また、請求項３の発明のインクジェットヘ
ッドは、請求項２に記載の構成において、シール部材が
シリコーン材料から成るものである。上記構成において
は、シール部でのシリコーン材料の密着性が低くなるこ
とはなく、上記と同じ作用が得られる。According to a third aspect of the invention, in the ink jet head according to the second aspect, the seal member is made of a silicone material. In the above configuration, the adhesiveness of the silicone material at the seal portion does not decrease, and the same effect as above can be obtained.
【０００９】また、請求項４の発明のインクジェットヘ
ッドの製造方法は、インク室が形成され該インク室内の
インク液をノズルより液滴として噴出させるアクチュエ
ータと、インク室へインクを供給するためのインク流路
が形成されアクチュエータに接合されるマニホールド部
材とから成るインクジェットヘッドの製造方法におい
て、マニホールド部材のアクチュエータとの接合面及び
シール部材が当接する部位を除いてオゾン処理を施す工
程と、このオゾン処理が施されたマニホールド部材をア
クチュエータに接合する工程と、この接合面をシール部
材によりシールする工程とを有する方法である。上記方
法においては、マニホールド部材のアクチュエータとの
接合面及びシール部材が当接する部位を除いてオゾン処
理を施し、このオゾン処理が施されたマニホールド部材
をアクチュエータに接合し、この接合面をシール部材に
よりシールする。このため、インク流路のインクの濡れ
性が良好で、しかも、接合面をシールするシール部材と
マニホールド部材との密着性が優れたものとなる。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an ink-jet head manufacturing method, wherein an ink chamber is formed, an actuator for ejecting the ink liquid in the ink chamber as a droplet from a nozzle, and an ink for supplying the ink to the ink chamber. In a method of manufacturing an inkjet head including a manifold member having a flow path formed therein and joined to an actuator, a step of performing ozone treatment except for a portion where a joint surface of the manifold member with the actuator and a seal member abut, and the ozone treatment. This is a method including a step of joining a manifold member subjected to the above to an actuator and a step of sealing the joint surface with a seal member. In the above method, ozone treatment is performed except for a portion of the manifold member that joins the actuator and the seal member, and the ozone-treated manifold member is joined to the actuator. Seal it. Therefore, the wettability of the ink in the ink flow path is good, and the adhesion between the seal member that seals the joint surface and the manifold member is excellent.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施の
形態を図面を参照して説明する。図１は本発明のインク
ジェットヘッドを採用してなるプリンタの外観図、図２
はインクジェットヘッドの部分破断斜視図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an external view of a printer using the inkjet head of the present invention, and FIG.
FIG. 3 is a partially cutaway perspective view of an inkjet head.
【００１１】図１において、プリンタ１は、印字機構
２、紙送り機構３、及びパージ装置４などから構成され
ている。印字機構２は、インクジェット式印字ヘッド５
を備えるヘッドユニット６と、印字ヘッド５にインクを
供給するインクカートリッジ７などからなり、ヘッドユ
ニット６とインクカートリッジ７は、キャリッジ８に搭
載されている。キャリッジ８は、ベルト９を介してキャ
リッジ・モータ１０により駆動されており、キャリッジ
軸１１に沿って水平移動するようになっている。なお、
印字ヘッド５は、複数個のノズルを縦一列に有してお
り、キャリッジ８の移動に対応して、ノズルからインク
を噴射する。In FIG. 1, the printer 1 comprises a printing mechanism 2, a paper feeding mechanism 3, a purging device 4 and the like. The printing mechanism 2 includes an inkjet print head 5
And the ink cartridge 7 for supplying ink to the print head 5, and the head unit 6 and the ink cartridge 7 are mounted on a carriage 8. The carriage 8 is driven by a carriage motor 10 via a belt 9 and horizontally moved along a carriage shaft 11. In addition,
The print head 5 has a plurality of nozzles in a vertical line, and ejects ink from the nozzles in response to the movement of the carriage 8.
【００１２】紙送り機構３は、給紙カセット又は手差し
給紙部から供給された印刷用紙ＰＡを印字ヘッド５に対
面させながら移動させるものであり、プラテンローラ１
２、圧ローラ１３、及びラインフィード（ＬＦ）モータ
（図示せず）などで構成されている。給紙カセットなど
から供給された印刷用紙ＰＡは、プラテンローラ１２と
圧ローラ１３に圧接されて保持され、ラインフィードモ
ータの回転に合わせて移動される。The paper feed mechanism 3 moves the print paper PA supplied from the paper feed cassette or the manual paper feed unit while facing the print head 5, and the platen roller 1
2, a pressure roller 13, and a line feed (LF) motor (not shown). The printing paper PA supplied from a paper feed cassette or the like is held in pressure contact with the platen roller 12 and the pressure roller 13, and is moved according to the rotation of the line feed motor.
【００１３】パージ装置４は、印字ヘッド５の使用中に
内部に気泡が発生したり、吐出面上にインクの液滴が付
着することにより吐出不良を起こすことを解消し、良好
な吐出状態に回復させるための装置である。パージ装置
４の先端には、キャップ１４が設けられていて、このキ
ャップ１４に印字ヘッド５が覆われている時に、ポンプ
により負圧を発生させて、印字ヘッド５の内部の不良イ
ンクを吸引して印字ヘッド５を回復させている。The purging device 4 eliminates the occurrence of ejection failure due to the generation of air bubbles inside the print head 5 and the deposition of ink droplets on the ejection surface, thereby achieving a good ejection state. It is a device for recovery. A cap 14 is provided at the tip of the purging device 4, and when the cap 14 covers the print head 5, a negative pressure is generated by a pump to suck the defective ink inside the print head 5. The print head 5 is recovered.
【００１４】図２において、インクジェット式印字ヘッ
ド５は、圧電素子である圧電セラミックス基板１６に、
ダイシング加工等によって互いに平行な溝加工がなさ
れ、インク室となる多数の溝１７が形成されている。こ
れらの溝１７の一方の端には、ノズル１８を持つノズル
プレート１９が装着されている。溝１７を構成する側壁
２１（圧電側壁という）は、矢印Ｂ方向に分極された圧
電素子により形成されており、圧電側壁２１の上半分の
表面にはこの分極方向と直角方向の電界を印加するため
の電極２２が形成されている。また、溝１７が形成され
た圧電セラミックス基板１６の上部は、カバープレート
２３によって蓋をされている。このような構成によっ
て、溝１７の断面形状は、圧電側壁２１とカバープレー
ト２３とで囲まれた長方形を呈することになる。In FIG. 2, the ink jet print head 5 is provided on a piezoelectric ceramic substrate 16 which is a piezoelectric element.
Grooves that are parallel to each other are formed by dicing or the like to form a large number of grooves 17 that will be ink chambers. A nozzle plate 19 having a nozzle 18 is attached to one end of each of the grooves 17. The side wall 21 (referred to as a piezoelectric side wall) forming the groove 17 is formed by a piezoelectric element polarized in the direction of arrow B, and an electric field in the direction perpendicular to this polarization direction is applied to the upper half surface of the piezoelectric side wall 21. An electrode 22 for forming is formed. Further, the upper portion of the piezoelectric ceramic substrate 16 in which the groove 17 is formed is covered with a cover plate 23. With such a configuration, the cross-sectional shape of the groove 17 becomes a rectangle surrounded by the piezoelectric side wall 21 and the cover plate 23.
【００１５】次に、このインクジェット式印字ヘッド５
の印字動作を説明する。インクジェット式印字ヘッド５
は、プリンタ１のキャリッジ８に搭載され、搬入された
印刷すべき用紙ＰＡに沿って往復移動され、図示しない
ホストコンピュータ等からインターフェースを介して転
送された印字データ（ドットデータ）に基づいて電極２
２に印加される電圧により動作する。すなわち、電極２
２に印加される電圧により、圧電側壁２１は剪断変形
し、この変形により溝１７の内圧が高まり、インクカー
トリッジから供給された該溝１７内のインクはノズル１
８から噴射され、印字動作が行われることになる。Next, the ink jet type print head 5
The printing operation will be described. Inkjet print head 5
Are mounted on the carriage 8 of the printer 1, reciprocally moved along the loaded paper PA to be printed, and the electrodes 2 based on print data (dot data) transferred from a host computer (not shown) or the like via an interface.
It operates by the voltage applied to 2. That is, the electrode 2
The piezoelectric side wall 21 is sheared and deformed by the voltage applied to the groove 2. This deformation increases the internal pressure of the groove 17, so that the ink in the groove 17 supplied from the ink cartridge is ejected from the nozzle 1.
8 is ejected and the printing operation is performed.
【００１６】次に、インク室となる溝１７へのインク供
給について説明する。図３はインク室が形成されてカバ
ープレートで蓋をされたアクチュエータ２４と該アクチ
ュエータ２４にインクを供給するために接合されるマニ
ホールド部材２６との接合を説明する図である。図４
は、接合されたアクチュエータ２４とマニホールド部材
２６に、ノズルプレート１９を装着してインクジェット
ヘッドを構成した状態の断面図である。Next, the ink supply to the groove 17 which will be the ink chamber will be described. FIG. 3 is a diagram for explaining the joining of the actuator 24 having an ink chamber formed therein and covered with a cover plate, and the manifold member 26 joined to supply ink to the actuator 24. FIG.
FIG. 4 is a cross-sectional view of a state in which the nozzle plate 19 is attached to the joined actuator 24 and manifold member 26 to form an inkjet head.
【００１７】これらの図において、マニホールド部材２
６は樹脂、金属、又はセラミックス材により形成され、
インク流路２７の内壁面２７ｗはオゾン処理され、アク
チュエータ２４の後端面２５と、マニホールド部材２６
のインク流路２７の開口端面２８とが接着剤により接合
される。この接合により、マニホールド部材２６のイン
ク流路２７とアクチュエータ２４の溝１７とは相互に繋
がり連続したインクの流路となる。また、この後端面２
５と開口端面２８との接合面は、インク流路２７の内壁
面２７ｗのオゾン処理に際してもオゾンにさらされるこ
となく、すなわち、オゾン処理されていない（その詳細
は図５及び図６により後述する）。そして、上記の両接
合面の周囲はシリコーンゴム２９によりシールされる。
このシーリングにより、アクチュエータ２４とマニホー
ルド部材２６との接合はより堅固となり、接合部からイ
ンクが漏出することがない。ここに、インクカートリッ
ジ７から供給されるインクはマニホールド部材２６のイ
ンク流路２７を経てアクチュエータ２４のインク室１７
へ供給される。In these figures, the manifold member 2
6 is made of resin, metal, or ceramic material,
The inner wall surface 27w of the ink flow path 27 is treated with ozone, and the rear end surface 25 of the actuator 24 and the manifold member 26 are processed.
The opening end surface 28 of the ink flow path 27 is bonded with an adhesive. By this joining, the ink flow path 27 of the manifold member 26 and the groove 17 of the actuator 24 are connected to each other to form a continuous ink flow path. Also, this rear end face 2
The joint surface between 5 and the opening end surface 28 is not exposed to ozone during ozone treatment of the inner wall surface 27w of the ink flow path 27, that is, is not subjected to ozone treatment (the details will be described later with reference to FIGS. 5 and 6). ). Then, the periphery of the both joint surfaces is sealed with silicone rubber 29.
By this sealing, the joint between the actuator 24 and the manifold member 26 becomes more rigid, and the ink does not leak from the joint. The ink supplied from the ink cartridge 7 passes through the ink flow path 27 of the manifold member 26 and the ink chamber 17 of the actuator 24.
Supplied to
【００１８】図５及び図６はそれぞれマニホールド部材
のオゾン処理工程を示す断面図である。オゾン処理と
は、被オゾン処理物に紫外線（ＵＶ）を照射することに
より、表面に付着している有機物を直接分解又は活性化
して酸化作用を起こしやすくし、かつ同時に、ＵＶの作
用で発生したオゾンから分離した活性化酸素の酸化作用
で有機物を揮発性の物質（例えば、Ｈ2Ｏ ，ＣＯ，ＣＯ
2 ，ＮＯ2 等）に分解変化させて除去する方法である。
マニホールド部材２６のシール部やアクチュエータ２４
との接合面となる開口端面２８は、オゾン処理により、
その表面の有機物が除去される。そして、このオゾン処
理条件（ＵＶ照度、時間等）及び被オゾン処理物の材質
によっては、オゾン処理の目的であるインクとの濡れ性
を向上するものの、接着強度が低下してマニホールド部
材２６と接着剤との間にすき間ができてインクが漏出す
ることがある。従って、オゾン処理に際しては、これら
シール部や開口端面２８がオゾンに晒されることを回避
する必要がある。5 and 6 are sectional views showing the ozone treatment process of the manifold member. Ozone treatment is a process of irradiating an object to be treated with ultraviolet rays (UV) to directly decompose or activate organic substances adhering to the surface to easily cause an oxidizing action, and at the same time, is generated by the action of UV. Organic substances are volatile substances (for example, H 2 O, CO, CO) by the oxidative action of activated oxygen separated from ozone.
2 , NO 2 etc.) and remove it.
The seal portion of the manifold member 26 and the actuator 24
The opening end surface 28, which is a joint surface with the
Organic substances on the surface are removed. Then, depending on the ozone treatment conditions (UV illuminance, time, etc.) and the material of the object to be ozone-treated, the wettability with the ink, which is the object of the ozone treatment, is improved, but the adhesive strength is lowered and the ozone is adhered to the manifold member 26. Ink may leak due to a gap between the agent and the agent. Therefore, during the ozone treatment, it is necessary to avoid exposing the seal portion and the opening end surface 28 to ozone.
【００１９】そこで、オゾン処理に際しては、図５に示
すように、支持台３０上に載置されたマニホールド部材
２６の外周面３１や開口端面２８を金属製の遮蔽部材３
２により遮蔽することにより、これらの部位をオゾンの
照射から回避させている。Therefore, in the ozone treatment, as shown in FIG. 5, the outer peripheral surface 31 and the opening end surface 28 of the manifold member 26 placed on the support 30 are covered with the metal shielding member 3.
By shielding with 2), these parts are prevented from being irradiated with ozone.
【００２０】こうして、オゾン処理を施すことにより、
マニホールド部材２６のインク流路２７は、その内壁面
２７ｗのみがオゾン処理される（オゾン洗浄）。図示の
多数の矢印はオゾンの照射を示す。このように、インク
流路２７の内壁面２７ｗをオゾン処理することにより、
内壁面２７ｗのインクの濡れ性が向上し、インク室への
インク供給がスムースとなる。By applying the ozone treatment in this way,
Only the inner wall surface 27w of the ink flow path 27 of the manifold member 26 is subjected to ozone treatment (ozone cleaning). A large number of arrows shown in the figure indicate irradiation of ozone. In this way, by treating the inner wall surface 27w of the ink flow path 27 with ozone,
Ink wettability of the inner wall surface 27w is improved, and ink is smoothly supplied to the ink chamber.
【００２１】また、マニホールド部材２６のインク流路
２７の内壁面２７ｗにオゾンを照射する際の対オゾン遮
蔽は、図６に示すように、マニホールド部材２６の外周
面３１や開口端面２８にシール部材たるシリコーンゴム
２９を予め添着した状態で、シリコーンゴム２９を遮蔽
部材として用いると共に、このシリコーンゴム２９を、
その後のマニホールド部材２６とアクチュエータ２４と
の接合状態ではシール部材として用いるようにしてもよ
い。Further, as shown in FIG. 6, when the inner wall surface 27w of the ink flow path 27 of the manifold member 26 is irradiated with ozone, as shown in FIG. 6, the outer peripheral surface 31 of the manifold member 26 and the opening end surface 28 are sealed with a sealing member. With the silicone rubber 29 attached in advance, the silicone rubber 29 is used as a shielding member, and the silicone rubber 29 is
After that, the manifold member 26 and the actuator 24 may be used as a seal member in the joined state.
【００２２】上記の、図５若しくは図６に示したいずれ
かの方法を採用することによって、マニホールド部材２
６の外周面３１や開口端面２８にはオゾンを照射するこ
となく、インク流路２７の内壁面２７ｗのみをオゾンに
さらすことにより、マニホールド部材２６の外周面３１
や開口端面２８のオゾンによる接着不良を来すことな
く、マニホールド部材２６とアクチュエータ２４との接
合が実現され、インク流路２７のインクの濡れ性を向上
することができる。このため、上記の実施の形態の製造
方法によればインクの濡れ性の良いインク流路２７が実
現され、かつ、接合部からのインク漏出を避けることが
可能となる。また、この方法により製造されたインクジ
ェットヘッドはインク流路２７のインクの濡れ性が良
く、かつ、接合部からのインク漏出がなく、インク室１
７へのインクの供給がスムースである。By adopting one of the methods shown in FIGS. 5 and 6 described above, the manifold member 2
The outer peripheral surface 31 of the manifold member 26 is exposed by exposing only the inner wall surface 27w of the ink flow path 27 to the ozone without irradiating the outer peripheral surface 31 and the opening end surface 28 of the nozzle 6 with ozone.
The bonding between the manifold member 26 and the actuator 24 is realized without causing adhesion failure due to ozone on the opening end surface 28, and the wettability of the ink in the ink flow path 27 can be improved. Therefore, according to the manufacturing method of the above-described embodiment, it is possible to realize the ink flow path 27 with good ink wettability, and it is possible to avoid ink leakage from the joint portion. Further, the ink jet head manufactured by this method has good wettability of the ink in the ink flow path 27, and there is no ink leakage from the joint portion, so that the ink chamber 1
Ink supply to 7 is smooth.
【００２３】なお、本発明のインクジェットヘッドは、
インク流路壁面２７ｗにオゾン処理がされて成るマニホ
ールド部材２６がシール部材２９を介してアクチュエー
タ２４に接合され、マニホールド部材２６のアクチュエ
ータ２４との接合面及びシール部材２９が当接する外周
面３１にオゾン処理が施されないようにしたものであれ
ばよく、図３乃至図６に示した構成に限られない。The ink jet head of the present invention is
The manifold member 26 formed by ozone treatment on the ink channel wall surface 27w is joined to the actuator 24 via the seal member 29, and ozone is attached to the joint surface of the manifold member 26 with the actuator 24 and the outer peripheral surface 31 with which the seal member 29 abuts. It is not limited to the configuration shown in FIGS. 3 to 6 as long as the processing is not performed.
【００２４】また、本発明のインクジェットヘッドの製
造方法は、マニホールド部材２６のアクチュエータ２４
との接合面及びシール部材２９が当接する部位を除いて
オゾン処理を施す工程と、この処理が施されたマニホー
ルド部材２６をアクチュエータ２４に接合する工程と、
接合面をシール部材２９によりシールする工程とから成
っておればよい。例えば、上記の実施の形態における、
マニホールド部材２６やアクチュエータ２４の材料、そ
れらの接着剤による接合の接着剤の種類さらには接合の
手法、シール部の遮蔽部材さらには遮蔽の手法、などは
上記の実施の形態に限られない。Further, in the method of manufacturing the ink jet head of the present invention, the actuator 24 of the manifold member 26 is used.
A step of performing ozone treatment except for a portion where the sealing surface and the sealing member 29 contact each other, and a step of joining the manifold member 26 subjected to this treatment to the actuator 24;
The step of sealing the joint surface with the seal member 29 may be included. For example, in the above embodiment,
The materials of the manifold member 26 and the actuator 24, the type of adhesive for joining them with an adhesive, the joining method, the shielding member for the sealing portion, and the shielding method are not limited to the above-described embodiments.
【００２５】[0025]
【発明の効果】以上のように、請求項１の発明に係るイ
ンクジェットヘッドによれば、インク流路壁面にオゾン
処理がされて成るマニホールド部材がシール部材を介し
てアクチュエータに接合されている。このため、インク
流路壁面のインクの濡れ性が良く、インク流路からアク
チュエータへのインク導入がスムースになり、しかも、
シール部材によるシール性が良好で接合部からのインク
漏出が防止される。As described above, according to the ink jet head of the first aspect of the invention, the manifold member formed by ozone treatment on the wall surface of the ink flow path is joined to the actuator via the seal member. Therefore, the wettability of the ink on the wall surface of the ink flow path is good, and the ink can be smoothly introduced from the ink flow path to the actuator.
The sealing property of the sealing member is good and ink leakage from the joint is prevented.
【００２６】また、請求項２の発明に係るインクジェッ
トヘッドよれば、請求項１の発明に加えて、マニホール
ド部材のアクチュエータとの接合面及びシール部材が当
接する部位にはオゾン処理が施されていない。このた
め、マニホールド部材のアクチュエータとの接合面及び
シール部材が当接する部位がオゾンによる劣化を受け
ず、接合部におけるシール部材の密着性が高くなり、接
合部からのインク漏出を確実に避けることができる。According to the ink jet head of the second aspect of the present invention, in addition to the first aspect of the invention, the ozone treatment is not applied to the joint surface of the manifold member with the actuator and the portion where the seal member abuts. . Therefore, the joint surface of the manifold member with the actuator and the portion where the seal member comes into contact are not deteriorated by ozone, the adhesion of the seal member at the joint portion is improved, and it is possible to reliably prevent ink leakage from the joint portion. it can.
【００２７】また、請求項３の発明に係るインクジェッ
トヘッドによれば、請求項２の発明において、シール部
材をシリコーン材料としたものである。このため、上記
の作用効果に加えて、シール部材自体が耐候性や耐薬品
性に優れ、接合部が一層堅固となる。According to the ink jet head of the third aspect of the invention, in the second aspect of the invention, the seal member is made of a silicone material. Therefore, in addition to the above-described effects, the seal member itself has excellent weather resistance and chemical resistance, and the joint portion becomes more solid.
【００２８】また、請求項４の発明に係るインクジェッ
トヘッドの製造方法によれば、マニホールド部材のアク
チュエータとの接合面及びシール部材が当接する部位を
除いてオゾン処理を施し、この処理が施されたマニホー
ルド部材をアクチュエータに接合し、この接合面をシー
ル部材によりシールするので、インク流路壁面のインク
の濡れ性が良好で、しかも接合部からのインク漏出のな
いインクジェットヘッドを提供することができる。Further, according to the method of manufacturing an ink jet head of the present invention, ozone treatment is performed except for a portion of the manifold member where the actuator is joined to the actuator and the seal member is in contact, and this treatment is performed. Since the manifold member is joined to the actuator and the joining surface is sealed by the seal member, it is possible to provide an inkjet head that has good wettability of ink on the wall surface of the ink flow path and does not leak ink from the joining portion.
【図１】本発明のインクジェットヘッドを採用したプリ
ンタの外観図である。FIG. 1 is an external view of a printer that employs an inkjet head of the present invention.
【図２】本発明のインクジェットヘッドの部分破断斜視
図である。FIG. 2 is a partially cutaway perspective view of the inkjet head of the present invention.
【図３】本発明の一実施の形態におけるマニホールド部
材とアクチュエータとの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of a manifold member and an actuator according to the embodiment of the present invention.
【図４】本発明のインクジェットヘッドの一実施の形態
を示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing an embodiment of an inkjet head of the present invention.
【図５】本発明のインクジェットヘッドの製造方法にお
けるオゾン処理過程の一実施の形態を示す断面図であ
る。FIG. 5 is a cross-sectional view showing one embodiment of an ozone treatment process in the method for manufacturing an inkjet head of the present invention.
【図６】本発明のインクジェットヘッドの製造方法にお
けるオゾン処理過程の他の実施の形態を示す断面図であ
る。FIG. 6 is a cross-sectional view showing another embodiment of the ozone treatment process in the method for manufacturing an inkjet head of the present invention.
５ インクジェット式印字ヘッド １７ 溝（インク室） ２４ アクチュエータ ２６ マニホールド部材 ２７ インク流路 ２８ 開口端面 ２９ シリコーンゴム（シール部材、シリコーン材
料） ３１ 外周面 ３２ 遮蔽部材5 Inkjet print head 17 Groove (ink chamber) 24 Actuator 26 Manifold member 27 Ink flow path 28 Open end face 29 Silicone rubber (seal member, silicone material) 31 Outer peripheral surface 32 Shielding member
Claims (4)
ク液をノズルより液滴として噴出させるアクチュエータ
と、前記インク室へインクを供給するためのインク流路
が形成され前記アクチュエータに接合されるマニホール
ド部材とから成るインクジェットヘッドにおいて、 インク流路壁面にオゾン処理がされて成るマニホールド
部材がシール部材を介して前記アクチュエータに接合さ
れていることを特徴とするインクジェットヘッド。1. An actuator in which an ink chamber is formed and ejects ink liquid in the ink chamber as a droplet from a nozzle, and an ink flow path for supplying ink to the ink chamber is formed and joined to the actuator. An inkjet head including a member, wherein a manifold member formed by ozone treatment on a wall surface of the ink flow path is joined to the actuator via a seal member.
ータとの接合面及び前記シール部材が当接する部位はオ
ゾン処理が施されていないことを特徴とする請求項１に
記載のインクジェットヘッド。2. The ink jet head according to claim 1, wherein the joint surface of the manifold member with the actuator and the portion where the seal member abuts are not subjected to ozone treatment.
ることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットヘ
ッド。3. The ink jet head according to claim 2, wherein the seal member is made of a silicone material.
ク液をノズルより液滴として噴出させるアクチュエータ
と、前記インク室へインクを供給するためのインク流路
が形成され前記アクチュエータに接合されるマニホール
ド部材とから成るインクジェットヘッドの製造方法にお
いて、 前記マニホールド部材の前記アクチュエータとの接合面
及び前記シール部材が当接する部位を除いてオゾン処理
を施す工程と、 前記の処理が施されたマニホールド部材を前記アクチュ
エータに接合する工程と、 前記接合面をシール部材によりシールする工程とから成
ることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。4. An actuator which forms an ink chamber and ejects an ink liquid in the ink chamber as a droplet from a nozzle, and an ink flow path for supplying ink to the ink chamber, and a manifold which is joined to the actuator. In a method of manufacturing an inkjet head including a member, a step of performing ozone treatment except for a portion of the manifold member that is in contact with the actuator and the seal member, and the manifold member that has been subjected to the treatment A method for manufacturing an inkjet head, comprising: a step of bonding to an actuator; and a step of sealing the bonding surface with a sealing member.
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-
1996
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