JP2012532550A - プリント回路に組み込まれたウィルキンソン・カプラおよびそのようなカプラを含むマイクロ波装置 - Google Patents
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Abstract
プリント回路上にマウントされたウィルキンソン・カプラは、同じ長さの2つの金属伝送線(4,5)を経由して、第2アクセス・ポート(2)および第3アクセス・ポート(3)に接続された第1アクセス・ポート(1)と、第2および第3アクセス・ポート(2,3)の間に短絡配置でマウントされた負荷抵抗(Rc)とを含み、負荷抵抗(Rc)が、共に連結された独立して隣接する3つの抵抗(R1,R2,R3)からなることを特徴とする。
このカプラは、特にサテライト・アンテナの分野に、およびより具体的にはアンテナ・ビームフォーミング・アレイに適合する。
【選択図】 図2
このカプラは、特にサテライト・アンテナの分野に、およびより具体的にはアンテナ・ビームフォーミング・アレイに適合する。
【選択図】 図2
Description
本発明は、プリント回路に組み込まれたウィルキンソン・カプラおよびそのようなカプラを含むマイクロ波装置に関する。これは、例えばサテライト上に配置されたアンテナなど、特に無線周波数チェーンおよび送受信アンテナのビームフォーミング・アレイのような、特にマイクロ波信号電気通信の分野に当てはまる。
無線周波数信号を結合または分割するために、ウィルキンソン・カプラを使用することが知られている。図1に概略的に表わされるように、ディバイダ構成においては、この種のカプラは、入力ポート1および2つの出力ポート2、3を構成する3つのアクセス経路1、2、3を含み、カプラがコンバイナ構成で使用される場合においては、入力および出力ポートは反転した状態となる。カプラは、2つの出力ポート2、3の間にマウントされる負荷抵抗Rcで終端される。負荷抵抗Rcの値は、カプラの平衡が保たれ、かつ入力または出力で反射が無いように決定される。送受信アンテナの分野では、ビームフォーミング・アレイのようなある種の機器は、負荷抵抗の値に1〜数パーセントの精度を必要とする。
現在のところ、二重エッチングを含むフォトリソグラフィ法によって、負荷抵抗を多層プリント回路に挿入することが知られている。この種の方法では、必要精度を有する抵抗を得ることが可能ではない。それ故に、この負荷抵抗を必要精度と比較し、調節可能とすることが必須である。
例えば、米国特許出願公開第2007/0012666号明細書で述べられているように、レーザ設備によって抵抗の値を調節し、かつレーザ加工の間にこの値を測定することが知られている。しかしながら、ウィルキンソン・カプラの負荷抵抗は、2つの出力ポートの間に短絡配置で設置されているので、いかなる電流が横断することもなく、そのため現在のところ、抵抗を測定可能にする工程がない。したがって、調節中に負荷抵抗の値を測定する方法が知られておらず、それ故に現在のところ、この方法はウィルキンソン・カプラに適用できない。
この問題を解決するために、フォトリソグラフィ法によって抵抗Rcを製造する代わりに、正確な値の抵抗を含む電子部品(チップと呼ばれる)を用い、プリント回路の組み立ての間に多層プリント回路の1つの層内で、カプラの2つのアクセス・ポート2と3の間に抵抗をハンダ付けすることが知られている。しかしながら、ウィルキンソン・カプラがマウントされる多層プリント回路に抵抗Rcを挿入可能とするためには、プリント回路を開き、次に誘電体材料に抵抗を埋め込むことが必要である。更に、多層プリント回路の製造中に、ハンダ材料を高温のハンダ付け温度に熱しなければならないが、多層プリント回路の誘電体のような有機基板上でこれを達成するのは困難である。例えば、そのような抵抗の金被覆終端に適合した金−錫合金のハンダ材料のハンダ付け温度は、約290℃である。この方法は実施するには複雑かつ高価であり、また質に関してリスクが生じる。これは特に、これらの作業は一般に非常に多数の、例えば1000のオーダーの、個別の抵抗に対して実行されなければならないからである。更に、電子部品が十分な誘電体材料に覆われなければならず、その厚みのために、得られるプリント回路の総厚みは、大幅に増加することになる。最後に、ウィルキンソン・カプラの2つのポート間で抵抗をハンダ付けした後は、抵抗の測定を実行することはもはや可能ではない。そのために、質の観点からはリスクが生じるが、特にそれは多層プリント回路の組み立て中に、ハンダ接合部が圧力および温度からのストレスを受けるためである。
米国特許第5705962号明細書に述べられている別の解決策は、負荷抵抗を、金属トラックを備えた2つの抵抗に分離することによって、中間点を利用するものである。これによって、測定のために、並列にある2つの抵抗を有することが可能となる。しかしながら、この解決策では、抵抗の値を個別に測定できず、並列にある2つの抵抗の比率のみが測定できる。それ故に、このシステムでは十分な精度が可能ではなく、また全負荷抵抗の正確な測定も可能ではない。更に、この解決策では、金属化した穴部をプリント回路に形成する必要があるが、かなり多数のウィルキンソン・カプラを含む複雑な回路を扱う場合、これによって多くのスペースが占められることになる。
本発明の目的は、プリント回路に組み込まれたウィルキンソン・カプラを製造することである。これは、既存の装置の欠点を含まず、負荷抵抗測定のためにプリント回路内に金属化した穴部を加工する必要がなく、抵抗値が必要精度に調節可能で、かつ調節中に測定可能な負荷抵抗を有するものである。
それ故に、本発明は、プリント回路上にマウントされたウィルキンソン・カプラに関する。これは、同じ長さの2つの金属伝送線経由で第2および第3アクセス・ポートに接続された第1アクセス・ポートと、第2および第3アクセス・ポートの間に短絡配置でマウントされた負荷抵抗とを含み、負荷抵抗が、互いに連結された独立した隣接する3つの抵抗からなることを特徴とする。
利点として、各抵抗は、個々に調節可能で測定可能な値を有している。
利点として、各抵抗は調節中に測定可能である。
利点として、独立した3つの抵抗は2つの横断金属トラック経由で連結されており、各横断金属トラックは隣接する2つの抵抗の間に配設されている。
利点として、第1抵抗は、第3ポートにアクセスするための金属線に連結された第1金属端部端子と第1横断トラックとの間で接続されており、更に第3抵抗は、第2横断トラックと第2ポートにアクセスするための金属線に連結された第2金属端部端子との間で連結されている。
利点として、第1および第2金属端部端子は、第1ポートに接続された2つの金属伝送線経由で互いに連結されており、2つの伝送線はループ状に連結された金属トラックを形成する。
利点として、独立した3つの抵抗は三角形状に接続されている。
特定の実施例によれば、独立した3つの抵抗は、望ましい負荷抵抗の値の1/3に等しい同一の値を有する。
本発明は、そのようなウィルキンソン・カプラを少なくとも1つ含むマイクロ波装置にも関する。
本発明の他の特徴および利点は、添付された概略図に関し、純粋に実例的かつ非限定的な例を通してなされるこの後の記述の中で、疑いもなく明らかとなるであろう。
図2に概略的に表わされた、本発明による典型的なカプラは、ディバイダ構成においては、入力ポート1および2つの出力ポート2、3を構成する3つのアクセス経路1、2、3を含む。入力ポート1は、長さ(λ/4)で特性インピーダンスZ=21/2Rの2つの金属伝送線4、5を経由して2つの出力ポート2、3と連結されており、ここでλはカプラの動作周波数に相当する波長、Rは入力アクセス経路1および出力アクセス経路2、3のインピーダンスである。ポート1に入る入射パワーが、出力ポート2および3の間で等しい方法で分割され、その後相互に分離されるように、カプラは負荷抵抗Rcで終端される必要がある。負荷抵抗Rcはカプラのアクセス経路のインピーダンスRの2倍に等しくRc=2Rであり、かつ抵抗Rcは2つの出力ポート2、3の間にマウントされる。カプラおよび負荷抵抗は、レジスト層および例えば銅などの金属層で覆われた基板を含む多層プリント回路上のフォトリソグラフィという既知の方法で製造される。第1エッチングによってカプラの伝送線の製造が可能となり、第2エッチングによってカプラの負荷抵抗の製造が可能となる。
短絡配置でマウントされた負荷抵抗Rcは、正確に測定かつ調節することが可能でなければならない。それ故に、本発明に従えば、カプラの負荷抵抗Rcは、2つの横断金属トラック9、10によって分離された隣接する3つの抵抗R1、R2、R3のアレイから成っており、例えば金属は銅であると考えられる。第1抵抗R1は、ポート3にアクセスするための金属線12に連結された第1金属端部端子11と第1横断トラック9との間で接続され、第2抵抗R2は第1横断トラック9と第2横断トラック10との間で接続され、第3抵抗R3は、第2横断トラック10と第2ポートへのアクセスのための金属線14に連結された第2金属端部端子13との間で連結されている。更に、第1および第2金属端部端子11、13は、ポート1に接続された2つの伝送線4、5を経由して互いに連結されており、2つの伝送線4,5はループ状に連結された金属トラックを形成している。抵抗アレイの抵抗R1、R2、R3の各々は、固有の値を有しており、3つの独立した抵抗R1、R2、R3の値の合計が負荷抵抗Rcの値と等しくなるような条件となっている。例えば、これは不可欠ではないが、3つの抵抗R1、R2、R3は同一であり、負荷抵抗Rcの値の1/3と等しい値であってもよい。
負荷抵抗Rcを3つの抵抗R1、R2、R3に分割することは、カプラに供給されるマイクロ波の観点からは、何も変更することなく可能であり、3つの隣接する抵抗R1、R2、R3は単一の短絡された抵抗Rcとして機能し、その値は3つの抵抗の値の合計と等しい。短絡であるため、3つの抵抗R1、R2、R3は、三角形に接続された抵抗のアレイと考えてもよい。負荷抵抗Rcを3つの抵抗R1、R2、R3に分割することによるカプラ性能への影響は、シミュレーションによって確認された。
カプラの3つのアクセス経路に対する透過および反射のパワー曲線は、図4a、4b、4cに表されている。図4aは、ポート1、2、3にそれぞれ印加された信号の反射係数S11、S22、S33が、カプラの中心動作周波数で非常に低いことを示している。特に、図4aにおいて、係数S11は、1.6GHzの周波数で約−48dBである。従って、信号が入力ポート1に印加された時、この信号の反射は無く、信号はポート2、3に完全に伝送される。
図4bは、動作周波数で、ポート2からポート3への信号の伝送係数S23、およびこの逆の場合の係数S32がほぼゼロである、ことを示している。それ故に、ポート2および3は、互いに完全に分離されている。
図4cは、ポート1および2の間の、ならびにポート1および3の間の伝送係数S21およびS31を示している。出力2および3と入力1との間で伝送されるパワーはほぼ等しく、したがって、カプラが正しく平衡していることが示される。2つの曲線の間で観察される相違は、使用したシミュレータの計算の発散によるものである。
負荷抵抗測定の可能性の観点からは、負荷抵抗Rcを隣接する3つの抵抗に分割すること、および隣接する2つの抵抗R1、R2およびR2、R3との間に2つの金属トラック9、10を加えることによって、金属接続ピンを横断トラック9、10の各々に接続すること、および負荷抵抗Rcを短絡するトラック11、13の1つに金属ピンを接続することが可能になる。その結果、3つの接続端子11、9、10の間に、例えばオーム計タイプの測定機器を配線し、3つの抵抗R1、R2、R3の各値を連続して正確に測定することが可能となる。
測定を行なうために、3つの接続端子のうちの1つはガード・ポイントと呼ばれる。図5の典型的な電気回路図の中で表わされるように、電圧が測定され、3つの抵抗の中で測定されない抵抗の1つに電流が流れないように、このガード・ポイントで電圧が印加される。この図において、ガード・ポイントは、第1抵抗R1と第2抵抗R2との間に位置するポイントAであり、測定される抵抗は第3抵抗R3である。抵抗R3は、ポイントBで抵抗R1に接続される第1端部と、ポイントCで抵抗R2に接続される第2端部とを含む。電流源Iは、ポイントBに加えられる。ポイントBに接続された第1入力、ポイントAに接続された第2入力およびポイントAに接続された出力を有するガード増幅器Gは、抵抗R3の第1端部Bでの電圧を検出し、かつガード・ポイントAにこの電圧を印加する。その結果、ガード・ポイントAおよびポイントBにおける電圧は等しく、それ故に抵抗R1には電流が流れない。またその結果、抵抗R3およびR2は従来の測定ブリッジを形成する。Imが抵抗R3を流れる電流であり、Igが抵抗R2を流れる電流とすれば、以下のようになる。
R3.Im=R2.Ig
R3.Im=R2.Ig
ポイントBとCとの間に接続される増幅器20によって、ポイントBで注入され、かつ抵抗R3を横切る電流Iに比例する電圧が、ポイントCでのその出力において、回復することが可能となる。その結果、コンバータ21は、それが測定するポイントCでの電圧と電流Iの既知の値との比率から、抵抗R3の値を決定する。
抵抗R1の値は、ガード・ポイントと測定ポイントを交換することにより、同じ方法で決定することが可能である。
その結果、抵抗R1、R2、R3の各値は、望ましい負荷抵抗値Rcに等しい値を有する合計抵抗を持つように、他の2つの抵抗と独立に調節可能である。抵抗R1、R2、R3の各々を独立に測定し、かつそれらの1つのみを調節することも可能である。抵抗の値の調節は、レーザ・ビームによる既知の調節方法によって実行可能であり、調節を受ける抵抗の測定は、この抵抗の調節中に連続的に実行される。例えばレーザは、薄膜または厚膜の抵抗の調節に使用されるものと類似であってもよい。その波長は、例えば約1.07マイクロメートルを選ぶことができる。レーザ・ビームのパワーは、調節されるべき材料および抵抗の支持体に応じてプログラムされる。例えば、赤外光で動作し、かつ約3ワットのパワーを有する小規模のYAGレーザを選ぶことが可能であろう。抵抗の支持体は、例えばセラミックまたは有機材料、もしくはプリント回路の分野で慣習的に使用される他の何らかのタイプの材料であってもよい。
ウィルキンソン・カプラは、例えば電気通信信号の送受信無線周波数チェーンの機器において、特にマルチビームアンテナのビームフォーミング・アレイにおいて、または電気通信信号を増幅するための回路に適合した線形化モジュールにおいてなど、いかなるタイプのマイクロ波装置においても使用可能である。非限定的な例として、図6は、2つのウィルキンソン・カプラ61、62を含むリニアライザの図を示したものである。第1カプラ61は、2つの出力伝送経路63、64の間での入力信号のパワーのディバイダであるのに対し、第2カプラ62は、経路の各々で単一出力信号へと処理される信号のパワーを再結合するものである。
本発明を特別な実施例と共に記述してきたが、本発明が決してそれらに限定されないこと、および本発明が、記述された手段の全ての技術的均等物およびそれらの組合せも同様に含むことは極めて明白である。ただし後者は、本発明の枠組み内にあることが前提となっている。
Claims (10)
- プリント回路に組み込まれたウィルキンソン・カプラであって、
同じ長さの2つの金属伝送線(4,5)を経由して第2アクセス・ポート(2)および第3アクセス・ポート(3)に接続された第1アクセス・ポート(1)と、
前記第2および第3アクセス・ポート(2,3)との間に短絡配置でマウントされた負荷抵抗(Rc)と、
を含み、
前記負荷抵抗(Rc)が、共に連結された独立して隣接する3つの抵抗(R1,R2,R3)からなることを特徴とする、ウィルキンソン・カプラ。 - 各抵抗(R1,R2,R3)が、個々に調節可能かつ測定可能な値を有することを特徴とする、請求項1に記載のウィルキンソン・カプラ。
- 各抵抗(R1,R2,R3)が、前記調節中に測定可能であることを特徴とする、請求項2に記載のウィルキンソン・カプラ。
- 前記隣接する3つの抵抗(R1,R2,R3)の値の合計が、前記負荷抵抗(Rc)の値に等しいことを特徴とする、請求項3に記載のウィルキンソン・カプラ。
- 前記独立した3つの抵抗(R1,R2,R3)が2つの横断金属トラック(9,10)を経由して連結されており、各横断金属トラック(9,10)が2つの隣接する抵抗(R1,R2)および(R2,R3)の間に配設されていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載のウィルキンソン・カプラ。
- 前記第1抵抗(R1)が、前記第3ポート(3)にアクセスするための金属線(12)に連結されている第1金属端部端子(11)と前記第1横断トラック(9)との間で接続され、かつ、前記第3抵抗(R3)が、前記第2横断トラック(10)と前記第2ポートにアクセスするための金属線(14)に連結された第2金属端部端子(13)との間で連結されていることを特徴とする、請求項5に記載のウィルキンソン・カプラ。
- 前記第1および第2金属端部端子(11,13)が、前記第1ポート(1)に接続された前記2つの金属伝送線(4,5)を経由して共に連結されており、前記2つの伝送線(4,5)が、ループ状に連結された金属トラックを形成することを特徴とする、請求項6に記載のウィルキンソン・カプラ。
- 前記独立した3つの抵抗(R1,R2,R3)が、三角形状に接続されることを特徴とする、請求項1〜7の1つに記載のウィルキンソン・カプラ。
- 前記独立した3つの抵抗(R1,R2,R3)が、前記望ましい負荷抵抗(Rc)の値の1/3に等しい同一の値を有することを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載のウィルキンソン・カプラ。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載された、少なくとも1つのウィルキンソン・カプラを含むことを特徴とするマイクロ波装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0903345A FR2947959B1 (fr) | 2009-07-07 | 2009-07-07 | Coupleur de wilkinson integre dans un circuit imprime et dispositif hyperfrequence comportant un tel coupleur |
FR0903345 | 2009-07-07 | ||
PCT/EP2010/058707 WO2011003724A1 (fr) | 2009-07-07 | 2010-06-21 | Coupleur de wilkinson intégré dans un circuit imprimé et dispositif hyperfréquence comportant un tel coupleur |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012532550A true JP2012532550A (ja) | 2012-12-13 |
Family
ID=41683304
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012518866A Pending JP2012532550A (ja) | 2009-07-07 | 2010-06-21 | プリント回路に組み込まれたウィルキンソン・カプラおよびそのようなカプラを含むマイクロ波装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120098617A1 (ja) |
EP (1) | EP2452394A1 (ja) |
JP (1) | JP2012532550A (ja) |
FR (1) | FR2947959B1 (ja) |
WO (1) | WO2011003724A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5910963B2 (ja) * | 2012-01-27 | 2016-04-27 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | カプラおよび半導体装置 |
CN102709662A (zh) * | 2012-06-05 | 2012-10-03 | 摩比天线技术(深圳)有限公司 | 紧凑型Wilkinson功分器及阵列天线的馈电网络 |
WO2014193051A1 (ko) * | 2013-05-29 | 2014-12-04 | 주식회사 굿텔 | 멀티 밴드 안테나 시스템 |
CN104966867A (zh) * | 2015-06-29 | 2015-10-07 | 南京理工大学 | 一种s波段微型双微波自负载正交功分器 |
CN104993197A (zh) * | 2015-07-13 | 2015-10-21 | 南京理工大学 | 一种uhf波段外负载功分平衡滤波器 |
CN107464980A (zh) * | 2017-09-07 | 2017-12-12 | 南京理工大学 | 一种超宽带六十四路功分器 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4367445A (en) * | 1981-03-30 | 1983-01-04 | Motorola Inc. | Impedance transforming three port power divider |
US4851795A (en) * | 1988-03-04 | 1989-07-25 | Motorola, Inc. | Miniature wide-band microwave power divider |
US5097233A (en) * | 1990-12-20 | 1992-03-17 | Hughes Aircraft Company | Coplanar 3dB quadrature coupler |
US5847625A (en) * | 1997-04-02 | 1998-12-08 | Tx Rx Systems Inc. | Power Divider directional coupler |
US6201439B1 (en) * | 1997-09-17 | 2001-03-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Power splitter/ combiner circuit, high power amplifier and balun circuit |
JP2007027192A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Denso Corp | レーザトリミング方法 |
EP1906484A1 (en) * | 2006-09-28 | 2008-04-02 | Selex Communications S.P.A. | Distributed capacitive component in strip lines, filter, transformer, resonator and divider arrangements |
-
2009
- 2009-07-07 FR FR0903345A patent/FR2947959B1/fr active Active
-
2010
- 2010-06-21 EP EP10725754A patent/EP2452394A1/fr not_active Withdrawn
- 2010-06-21 JP JP2012518866A patent/JP2012532550A/ja active Pending
- 2010-06-21 US US13/377,562 patent/US20120098617A1/en not_active Abandoned
- 2010-06-21 WO PCT/EP2010/058707 patent/WO2011003724A1/fr active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20120098617A1 (en) | 2012-04-26 |
WO2011003724A1 (fr) | 2011-01-13 |
FR2947959A1 (fr) | 2011-01-14 |
FR2947959B1 (fr) | 2011-07-29 |
EP2452394A1 (fr) | 2012-05-16 |
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