JP2012531711A - イオン源洗浄の終点検出 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- イオン源チャンバの洗浄の終点を検出する方法であって、
洗浄ガスを電気的に導電性の材料からなる内壁を有する前記イオン源チャンバに所定の期間に亘って導入するステップ、
前記洗浄ガスを前記イオン源チャンバ内でイオン化するステップ、
前記イオン化されたガスを前記イオン源チャンバからイオンビームとして引き出すステップ、
前記イオンビーム内のイオンの質量スペクトルを検出するステップ、
前記イオンビーム内のイオンの前記質量スペクトルが、前記イオン源チャンバの前記電気的に導電性の材料が前記イオンビーム内に比較的一定の割合で前記所定の期間に亘って存在することを示すときを決定するステップ、
を備える、方法。 - 前記質量スペクトルが、前記電気的に導電性の材料が前記イオンビーム内に比較的一定の割合で存在することを示すときに、前記イオン源チャンバへの前記洗浄ガスの導入を停止するステップを更に備える、請求項1記載の方法。
- 前記イオンビーム内のイオンの質量スペクトルを検出するステップは、前記洗浄ガスを表す信号を発生するステップを含む、請求項1記載の方法。
- 前記イオンビーム内のイオンの質量スペクトルを検出するステップは、前記電気的に導電性の材料を表す信号を発生するステップを含む、請求項1記載の方法。
- 前記イオンビーム内のイオンの質量スペクトルを検出するステップは、前記イオンビーム内のイオンをファラデーカップを用いて検出するステップを含む、請求項1記載の方法。
- 前記イオン源チャンバからの前記イオン化されたガスは前記チャンバの内壁からの堆積物を含む、請求項1記載の方法。
- 前記電気的に導電性の材料はタングステンである、請求項4記載の方法。
- 前記電気的に導電性の材料はグラファイトである、請求項4記載の方法。
- 電気的に導電性の材料の内壁により画成されたチャンバを備え、該イチャンバに導入される洗浄ガスに応答してイオンを発生し、前記イオンを引き出す開口を有するイオン源チャンバ、
前記イオン源チャンバの下流に配置され、前記イオンビームから特定の質量対電荷比を有するイオンを選択するように構成された質量分析マグネット、
前記質量分析マグネットの下流に配置され、前記イオンビームを受けるように構成されたファラデーカップ、及び
前記ファラデーカップに結合され、前記ファラデーカップで受けたイオンを表す信号を出力するように構成された電流計を備え、前記信号は前記イオン源チャンバの前記電気的に導電性の材料及び前記洗浄ガスと関連するイオンを表し、前記イオン源チャンバの前記電気的に導電性の材料及び前記洗浄ガスと関連するイオンを表す前記信号が所定の期間に亘って比較的一定になるとき、前記洗浄ガスが前記チャンバに導入されなくなるように構成された、イオン注入システム。 - 前記洗浄ガスは三フッ化窒素(NF3)である、請求項9記載のシステム。
- 前記洗浄ガスは二塩素(Cl2)である、請求項9記載のシステム。
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