JP2012507754A - X−y調整可能な光学マウント - Google Patents
X−y調整可能な光学マウント Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012507754A JP2012507754A JP2011534798A JP2011534798A JP2012507754A JP 2012507754 A JP2012507754 A JP 2012507754A JP 2011534798 A JP2011534798 A JP 2011534798A JP 2011534798 A JP2011534798 A JP 2011534798A JP 2012507754 A JP2012507754 A JP 2012507754A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical element
- inner member
- element mount
- translational
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/023—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses permitting adjustment
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/026—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses using retaining rings or springs
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
- G02B7/1824—Manual alignment
- G02B7/1825—Manual alignment made by screws, e.g. for laser mirrors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
- B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
- B33Y80/00—Products made by additive manufacturing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
外側部材の内側に複数の撓み素子によって懸架された内側部材、ならびに
光軸に直交する並進運動平面内において上記内側部材を並進運動させるために配置された第1および第2の並進運動調整装置、
を備え、
各並進運動調整装置が、
(1)上記外側部材の内部において、上記並進運動平面に対して平行な直線的移動通路に沿って移動可能な1個のアクチュエータと、
(2)上記外側部材と上記内側部材との間に延びる1本のシャフトであって、第1のボール・ソケット・ジョイントによって上記アクチュエータに結合され、かつ第2のボール・ソケット・ジョイントによって上記内側部材に結合されたシャフトと、
を備え、
上記第1の並進運動調整装置のための上記アクチュエータの上記直線的移動通路が、上記第2の並進運動調整装置のための上記アクチュエータの上記直線的移動通路に対しほぼ直角をなしている。
機械的技術分野においては、種々のボール・ソケット・ジョイントが知られている。シャフト36の各端部におけるボール・ソケット・ジョイントに関しては多くの可能な実施の形態が存在する。図8の実施の形態は、球状素子38が着座するほぼ円錐形のソケットを有するシャフト36を示している。これは、内側部材22における対応するソケット42に対して低摩擦結合を提供する。シャフト36の他端部においても同様の結合部を採用することができる。別の実施の形態においては、例えば、シャフト36の一端部または両端部が丸められ、または丸められたまたは球状の接触面を備えている。
レンズまたはその他の光学素子のための運動学的マウント機構を提供する種々の光学素子マウント20の種々の実施の形態は、単一材料内に複数の空洞を配置した構造を形成することによって引き算的に形成されて、あるいは、材料を一つの模様に堆積させて単一部材に形成する多くの技法の何れかによって足し算的に形成されて、内側部材22、外側部材24および撓み素子26および32が一体的に構成された場合には、従来のレンズマウントを上回る利点を有する。この単一体アセンブリは、図2Aおよび2Bに関して先に説明されたように、内側部材すなわちレンズホルダを外側部材すなわちフレームから懸架する複数の撓み素子の配置を提供する。単一体構造は、熱膨張係数の差ならびに固定手段を用いた作製および組立てによって生じる諸問題を排除する利点を有する。全体的に見れば、単一体に機械加工されたレンズマウント・アセンブリは、他の形式のレンズマウントよりも機械的応力が低い。一体構造は、光学的アセンブリの構成に関して、より簡単な取扱い、組立て、および取付けを可能にする。一体的に形成された光学素子マウントは組込み構造を有することが有利である。
12 フレーム
20 光学素子マウント
22 内側部材
24 外側部材
26、32 撓み素子
28 開口部
30,30a,30b 並進運動調整装置
34 アクチェータ
36 シャフト
38 球状素子
40 室
42 ソケット
44 ガタ止め部材
48a,48b ボール・ソケット・ジョイント
Claims (10)
- 外側部材の内側に複数の撓み素子によって懸架された内側部材、ならびに
光軸に直交する並進運動平面内において前記内側部材を並進運動させるために配置された第1および第2の並進運動調整装置、
を備えた光学素子マウントであって、
各並進運動調整装置が、
(1)前記外側部材の内部において、前記並進運動平面に対して平行な直線的移動通路に沿って移動可能な1個のアクチュエータと、
(2)前記外側部材と前記内側部材との間に延びる1本のシャフトであって、第1のボール・ソケット・ジョイントによって前記アクチュエータに結合され、かつ第2のボール・ソケット・ジョイントによって前記内側部材に結合されたシャフトと、
を備え、
前記第1の並進運動調整装置のための前記アクチュエータの前記直線的移動通路が、前記第2の並進運動調整装置のための前記アクチュエータの前記直線的移動通路に対しほぼ直角をなしていることを特徴とする光学素子マウント。 - 前記内側部材および前記外側部材および前記複数の撓み素子が一体的に形成されていることを特徴とする請求項1記載の光学素子マウント。
- 前記外側部材がほぼ円柱状であることを特徴とする請求項1記載の光学素子マウント。
- 前記内側部材がほぼ円柱状であることを特徴とする請求項1記載の光学素子マウント。
- 前記内側部材が開口部を備えていることを特徴とする請求項1記載の光学素子マウント。
- 前記内側部材が、屈折性素子、反射性素子、プリズム、回折格子、およびフィルムからなる群から選択された一つの光学素子を保持していることを特徴とする請求項1記載の光学素子マウント。
- 前記内側部材が光軸の周りで対称的であることを特徴とする請求項1記載の光学素子マウント。
- ステンレス鋼およびアルミニウムからなる群から選択された一種類の材料から形成されていることを特徴とする請求項2記載の光学素子マウント。
- 前記内側部材を前記外側部材に向かって押し付ける付勢力を発生させるガタ止め部材をさらに備えていることを特徴とする請求項1記載の光学素子マウント。
- 前記ガタ止め部材がリーフスプリングまたはコイルスプリングであることを特徴とする請求項9記載の光学素子マウント。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/261,644 | 2008-10-30 | ||
US12/261,644 US7916408B2 (en) | 2008-10-30 | 2008-10-30 | X-Y adjustable optical mount |
PCT/US2009/062694 WO2010062670A2 (en) | 2008-10-30 | 2009-10-30 | X-y adjustable optical mount |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012507754A true JP2012507754A (ja) | 2012-03-29 |
JP5346090B2 JP5346090B2 (ja) | 2013-11-20 |
Family
ID=42131071
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011534798A Active JP5346090B2 (ja) | 2008-10-30 | 2009-10-30 | X−y調整可能な光学マウント |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7916408B2 (ja) |
JP (1) | JP5346090B2 (ja) |
KR (1) | KR101607724B1 (ja) |
CN (1) | CN102203929B (ja) |
WO (1) | WO2010062670A2 (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007014155A1 (de) * | 2007-03-20 | 2008-09-25 | Jenoptik Laser, Optik, Systeme Gmbh | Optikfassung und optisches Bauelement mit einer derartigen Optikfassung |
WO2010114466A1 (en) * | 2009-03-30 | 2010-10-07 | Ge Healthcare Bio-Sciences Ab | Holder for a holographic grating |
EP2388145A1 (de) * | 2010-05-20 | 2011-11-23 | NanoSec Gesellschaft für Nanotechnologie in der Sicherheitstechnik mbH | Umlenkspiegeleinheit und Vorrichtung zur Laserbeschriftung mit einer solchen Umlenkeinheit |
US8085482B2 (en) * | 2010-05-27 | 2011-12-27 | Corning Incorporated | X-Y adjustable optical mount with Z rotation |
KR101678065B1 (ko) * | 2010-12-09 | 2016-12-07 | 삼성전자 주식회사 | 위치 정렬 장치 및 이의 조인트 모듈 |
US8542450B2 (en) | 2011-02-08 | 2013-09-24 | Utah State University Research Foundation | Kinematic optic mount |
US20140240859A1 (en) * | 2013-02-28 | 2014-08-28 | Corning Incorporated | Optic obscuration assembly, method and system for working on an optical element, and resulting optical element |
CN103389554B (zh) * | 2013-07-29 | 2015-06-10 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 支撑高度可调式光学元件多点支撑结构 |
GB2520540A (en) * | 2013-11-25 | 2015-05-27 | European Molecular Biology Lab Embl | A removable objective lens arrangement |
US10025058B2 (en) * | 2014-10-13 | 2018-07-17 | National Applied Reserach Laboratories | Gap compensation mechanism for self adaptive posture adjustment |
DE102015101387B3 (de) * | 2015-01-30 | 2015-12-17 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Optische Fassung mit wenigstens einer Klemmeinheit mit einer Membranfeder |
DE102015101385B3 (de) | 2015-01-30 | 2016-01-21 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Optische Fassung mit wenigstens einer Klemmeinheit mit einer Zugschraube |
DE102015101384B3 (de) * | 2015-01-30 | 2015-11-12 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Optische Fassung mit wenigstens einer Klemmeinheit mit einer Druckschraube |
CN104749734B (zh) * | 2015-03-24 | 2017-04-05 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光学元件轴向位置精密调整装置 |
CN105467546B (zh) * | 2015-12-22 | 2017-12-26 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种狭缝柔性结构的光学元件微动调整装置 |
DE102016102469B3 (de) | 2016-02-12 | 2016-12-01 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Optische Fassung mit wenigstens einer Klemmeinheit mit Klebespalt |
CN108152913B (zh) * | 2017-12-14 | 2023-12-08 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种镜筒及调整主次镜同轴度的方法 |
JP7316500B2 (ja) * | 2019-06-03 | 2023-07-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ加工ヘッド及びそれを備えたレーザ加工装置 |
CN113009664B (zh) * | 2021-03-09 | 2022-08-26 | 中国人民解放军32801部队 | 用于调整光学元件的调整装置、光学元件及其调整方法 |
EP4137263A1 (de) * | 2021-08-20 | 2023-02-22 | Bystronic Laser AG | Halterung für ein transmissives optisches element, laserbearbeitungvorrichtung mit einer solchen halterung und verfahren zum verstellen der position eines transmissiven optischen elements unter verwendung einer solchen halterung |
CN114295005A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-04-08 | 航天科工微电子系统研究院有限公司 | 一种基准镜调节装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003337272A (ja) * | 2002-03-12 | 2003-11-28 | Nikon Corp | 光学系の保持装置、光学素子の位置調整方法、鏡筒及び露光装置並びにデバイスの製造方法 |
WO2007062794A1 (en) * | 2005-12-03 | 2007-06-07 | Carl Zeiss Smt Ag | Objective, in particular projection objective for semiconductor lithography |
JP2007310067A (ja) * | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Olympus Corp | 芯出し機構 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2937571A (en) | 1957-10-08 | 1960-05-24 | Ernest B Thompson | Optical lens mount |
US5172276A (en) * | 1989-08-29 | 1992-12-15 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Structure for stabilizing image in optical system |
US5428482A (en) * | 1991-11-04 | 1995-06-27 | General Signal Corporation | Decoupled mount for optical element and stacked annuli assembly |
US5249197A (en) | 1991-11-15 | 1993-09-28 | Amoco Corporation | Mounting for an optical component |
US5363244A (en) * | 1992-10-28 | 1994-11-08 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | High bandwidth optical mount |
JPH10325971A (ja) * | 1997-05-26 | 1998-12-08 | Minolta Co Ltd | レンズ駆動制御装置及び駆動制御装置を備えた機器 |
US5986827A (en) * | 1998-06-17 | 1999-11-16 | The Regents Of The University Of California | Precision tip-tilt-piston actuator that provides exact constraint |
DE19827603A1 (de) | 1998-06-20 | 1999-12-23 | Zeiss Carl Fa | Optisches System, insbesondere Projektions-Belichtungsanlage der Mikrolithographie |
DE19901295A1 (de) | 1999-01-15 | 2000-07-20 | Zeiss Carl Fa | Optische Abbildungsvorrichtung, insbesondere Objektiv, mit wenigstens einem optischen Element |
DE10039712A1 (de) | 2000-08-14 | 2002-02-28 | Zeiss Carl | Vorrichtung zum Verstellen der Lage zweier Bauelemente zueinander |
US6765733B1 (en) * | 2002-03-14 | 2004-07-20 | Nlight Photonics Corporation | System and method for mounting components using ball and socket structure |
JP2004093663A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Canon Inc | 光学要素の支持手段、該光学要素の支持手段による光学系、露光装置等の光学装置、デバイス製造方法 |
US6757113B1 (en) | 2003-03-18 | 2004-06-29 | Lucent Technologies Inc. | Optical grating mount |
US7604359B2 (en) * | 2004-05-04 | 2009-10-20 | Carl Zeiss Smt Ag | High positioning reproducible low torque mirror-actuator interface |
JP2008084368A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Funai Electric Co Ltd | 対物レンズアクチュエータ及びそれを備えた光ピックアップ装置 |
WO2008106182A1 (en) * | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Corning Incorporated | Optical mount pivotable about a single point |
-
2008
- 2008-10-30 US US12/261,644 patent/US7916408B2/en active Active
-
2009
- 2009-10-30 CN CN2009801437291A patent/CN102203929B/zh active Active
- 2009-10-30 KR KR1020117011944A patent/KR101607724B1/ko active IP Right Grant
- 2009-10-30 JP JP2011534798A patent/JP5346090B2/ja active Active
- 2009-10-30 WO PCT/US2009/062694 patent/WO2010062670A2/en active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003337272A (ja) * | 2002-03-12 | 2003-11-28 | Nikon Corp | 光学系の保持装置、光学素子の位置調整方法、鏡筒及び露光装置並びにデバイスの製造方法 |
WO2007062794A1 (en) * | 2005-12-03 | 2007-06-07 | Carl Zeiss Smt Ag | Objective, in particular projection objective for semiconductor lithography |
JP2007310067A (ja) * | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Olympus Corp | 芯出し機構 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102203929A (zh) | 2011-09-28 |
WO2010062670A2 (en) | 2010-06-03 |
CN102203929B (zh) | 2013-08-07 |
US20100110570A1 (en) | 2010-05-06 |
KR20110090953A (ko) | 2011-08-10 |
US7916408B2 (en) | 2011-03-29 |
WO2010062670A3 (en) | 2010-07-29 |
JP5346090B2 (ja) | 2013-11-20 |
KR101607724B1 (ko) | 2016-03-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5346090B2 (ja) | X−y調整可能な光学マウント | |
US8085482B2 (en) | X-Y adjustable optical mount with Z rotation | |
JP5588358B2 (ja) | キネマティック光学マウント | |
KR101374973B1 (ko) | 신호점에 대하여 회전가능한 광학 탑재 장치 | |
US7609467B2 (en) | Monolithic optical mount | |
US8514371B2 (en) | Imaging device in a projection exposure facility | |
US20030086751A1 (en) | Multiple degree of freedom compliant mechanism | |
US7486382B2 (en) | Imaging device in a projection exposure machine | |
US11947264B2 (en) | Guiding device | |
US20220252821A1 (en) | Joint guiding of movable optical elements | |
KR100660502B1 (ko) | 조립체, 리소그래피 장치 및 디바이스 제조방법 | |
Chen et al. | Longitudinal stitching of sub-micron periodic fringes on a roller | |
NL2025278A (en) | Guiding device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120907 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130723 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130815 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5346090 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |