JP2012247568A - Mirror holder - Google Patents
Mirror holder Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012247568A JP2012247568A JP2011118252A JP2011118252A JP2012247568A JP 2012247568 A JP2012247568 A JP 2012247568A JP 2011118252 A JP2011118252 A JP 2011118252A JP 2011118252 A JP2011118252 A JP 2011118252A JP 2012247568 A JP2012247568 A JP 2012247568A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- holding member
- mirror holding
- mount
- seat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、例えばレーザ発振器などの光学装置において、ミラーを保持するミラーホルダに係り、詳しくは、ミラーの傾動角を調整する機構に関する。 The present invention relates to a mirror holder that holds a mirror in an optical device such as a laser oscillator, and more particularly to a mechanism that adjusts the tilt angle of the mirror.
一般に、レーザ発振器は、相対向して配置された全反射ミラー及び出力ミラーの間にレーザ媒体を設け、該レーザ媒体に励起光を照射して得られた光をミラー間で反射増幅させた後、その一部を出力ミラーによりレーザ光として取り出している。 In general, a laser oscillator is provided with a laser medium between total reflection mirrors and output mirrors arranged opposite to each other, and after the light obtained by irradiating the laser medium with excitation light is reflected and amplified between the mirrors A part of it is taken out as laser light by an output mirror.
このようなレーザ発振器においては、上述した一対のミラーの平行度を保つと共に安定したレーザ出力を得るために、ミラーを保持しその傾動角を調整可能なミラーホルダが知られている。この種のミラーホルダは、レーザ発振器等の光学装置のベースに固定されるマウント部材と、ミラーを一体に保持して上記マウント部材に対して傾動自在に支持されたミラー保持部材と、を有し、上記マウント部材とミラー保持部材との間にネジ機構を設け、複数の調整ネジの進退運動によって上記マウント部材に対するミラーの傾きを調整している（特許文献１、２参照）。
In such a laser oscillator, in order to maintain the parallelism of the above-described pair of mirrors and to obtain a stable laser output, a mirror holder is known that can hold a mirror and adjust its tilt angle. This type of mirror holder has a mount member fixed to the base of an optical device such as a laser oscillator, and a mirror holding member that holds the mirror integrally and is supported to be tiltable with respect to the mount member. A screw mechanism is provided between the mount member and the mirror holding member, and the inclination of the mirror with respect to the mount member is adjusted by advancing and retreating movements of a plurality of adjustment screws (see
特許文献１記載のものは、図７（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、マウント部材１０１とミラー１０２を備えたミラー保持部材１０３とを引張コイルバネ１０４で接続し、該引張コイルバネ１０４の付勢力に抗して調整ネジ１０５を進退させることで、ミラー１０２のマウント部材１０１に対する傾動角を調整する。
7A and 7B, a
特許文献２記載のものは、マウント部材に圧縮バネの圧縮応力を受ける係止部を設け、連結ネジが上記圧縮バネ、マウント部材、及びミラー保持部材を順に貫通して、上記マウント部材が上記ミラー保持部材に付勢されると共に接続され、該圧縮バネの付勢力に抗して調整ネジを進退させてマウント部材に対するミラーの傾動角を調整する。
In the device described in
上記のように、特許文献１及び２記載のものは、マウント部材１０１とミラー１０２を保持するミラー保持部材１０３とを引張コイルバネ１０４や圧縮バネといった付勢部材を用いて接続及び保持する構造となっているが、何れも付勢部材１０４が、ミラー保持部材１０３をマウント部材１０１に対して傾動自在に支持する支点１０６と調整ネジ１０５との間に位置している（図７（Ａ）及び（Ｂ）参照）。この場合、特許文献１記載のもののように、引張バネ１０４の強い付勢力がミラー保持部材１０３に作用すると、該ミラー保持部材１０３が撓み、該ミラー保持部材１０３に保持されたミラー１０２の角度を正確に設定することが困難となって、例えばレーザ発振器等の光学装置における相対向して配置されるミラー間での反射増幅に重要な平面度を損なう虞がある（図８参照）。
As described above, the devices described in
上記マウント部材に圧縮バネの圧縮応力を受ける係止部を設けた特許文献２記載のものも、上記マウント部材にある係止部だけでなく、上記連結ネジを介してミラー保持部材にも圧縮バネの付勢力が作用するので、上記ミラー保持部材に装着されたミラーが撓む虞がある。
The mounting member described in
なお、マウント部材とミラー保持部材を接続する付勢部材には、例えば調整ネジを動かして上記マウント部材に対するミラーの傾動角を調整する場合において、ブレなくミラーを保持するために強い付勢力が必要であるので、付勢力の弱い付勢部材に換えることはできない。 Note that the urging member that connects the mount member and the mirror holding member needs a strong urging force to hold the mirror without blur when, for example, the adjustment screw is moved to adjust the tilt angle of the mirror with respect to the mount member. Therefore, it cannot be replaced with a biasing member having a weak biasing force.
また、支点と調整ネジの間に付勢部材を配置する必要から小型化に制限があった。 In addition, there is a limit to downsizing because it is necessary to dispose the biasing member between the fulcrum and the adjusting screw.
そこで、本発明は、ミラーを保持するミラー保持部材が撓むことなく、傾動可能に構成したミラーホルダを提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a mirror holder that can be tilted without bending a mirror holding member that holds the mirror.
本発明は、ミラー（４）を一体的に保持するミラー保持部材（３）と、
該ミラー保持部材（３）に対向配置されるマウント部材（２）と、
前記ミラー保持部材（３）を前記マウント部材（２）に対して傾動自在に支持する支点部（８）と、
前記ミラー保持部材（３）及び前記マウント部材（２）のいずれか一方に螺合され、他方に先端が当接して、前記マウント部材（３）に対する前記ミラー保持部材（２）の傾動角を調整する調整ネジ（６）と、
前記ミラー保持部材（３）と前記マウント部材（２）とが、前記支点部（８）及び前記調整ネジ（６）を介して当接するように付勢する付勢部材（１０，１１），（１０１，１１１）と、
を備えてなるミラーホルダ（１）において、
前記付勢部材（１０，１１），（１０１，１１１）が、前記支点部（８）及び前記調整ネジ（６）と一軸上に配置されてなる、
ことを特徴とするミラーホルダ（１）にある。
The present invention includes a mirror holding member (3) that integrally holds the mirror (4),
A mount member (2) disposed opposite to the mirror holding member (3);
A fulcrum part (8) for supporting the mirror holding member (3) in a tiltable manner with respect to the mount member (2);
The tip of the mirror holding member (3) or the mount member (2) is screwed and the other end abuts to adjust the tilt angle of the mirror holding member (2) with respect to the mount member (3). Adjusting screw (6) to be
Energizing members (10, 11), which energize the mirror holding member (3) and the mount member (2) so as to abut via the fulcrum portion (8) and the adjusting screw (6). 10 1, 11 1 ),
In the mirror holder (1) comprising:
The urging members (10, 11), (10 1, 11 1 ) are arranged on one axis with the fulcrum part (8) and the adjustment screw (6).
The mirror holder (1) is characterized in that.
なお、支点部は、ボール（８）でも、マウント部材（２）及びミラー保持部材（３）のいずれか一方（例えばマウント部材）に螺合したネジの先端に設けた半球状の当接部でもよい。また、付勢部材は、圧縮バネ等のバネでも、互いに反発又は吸引する磁石でもよい。 The fulcrum portion may be a ball (8) or a hemispherical abutting portion provided at the tip of a screw screwed to one of the mount member (2) and the mirror holding member (3) (for example, the mount member). Good. The biasing member may be a spring such as a compression spring or a magnet that repels or attracts each other.
例えば図１を参照して、前記調整ネジ（６）が螺合されている、前記マウント部材（２）及び前記ミラー保持部材（３）のいずれか一方に、前記付勢部材（１０，１１）を支持する座（１２，１３）を一体に設け、
該座（１２，１３）と前記マウント部材（２）及び前記ミラー保持部材（３）のいずれか他方との間に、前記付勢部材（１０，１１）をその付勢力に抗するように配置し、
前記座（１２，１３）と前記付勢部材（１０，１１）と前記調整ネジ（６）又は前記支点部（８）とが一軸上に配置されてなる。
For example, referring to FIG. 1, the urging member (10, 11) is attached to one of the mount member (2) and the mirror holding member (3) to which the adjustment screw (6) is screwed. The seats (12, 13) that support the
The urging member (10, 11) is disposed between the seat (12, 13) and the mount member (2) or the mirror holding member (3) so as to resist the urging force. And
The seat (12, 13), the urging member (10, 11), the adjustment screw (6) or the fulcrum part (8) are arranged on one axis.
なお、調整ネジ（６）は、マウント部材（２）に螺合されて、その先端の当接部（５）がミラー支持部材（３）に当接することが好ましいが、逆でもよい。 The adjustment screw (6) is preferably screwed into the mount member (2), and the contact portion (5) at the tip thereof is in contact with the mirror support member (3).
例えば図３を参照して、前記調整ネジ（６）の先端から、前記マウント部材（２）及び前記ミラー保持部材（３）のいずれか他方を貫通して延出するロッド（１４）に座（１２）を設け、
該座（１２）と前記マウント部材（２）及び前記ミラー保持部材（３）のいずれか他方との間に、前記付勢部材（１０）をその付勢力に抗して配置し、
前記座（１２）と前記付勢部材（１０）と前記調整ネジ（６）が一軸上に配置されてなる。
For example, referring to FIG. 3, a seat (on a rod (14) extending from the tip of the adjustment screw (6) through the other one of the mount member (2) and the mirror holding member (3) ( 12)
Between the seat (12) and the other one of the mount member (2) and the mirror holding member (3), the biasing member (10) is disposed against the biasing force,
The seat (12), the biasing member (10), and the adjustment screw (6) are arranged on one axis.
例えば図３を参照して、前記支点部（８）から、前記マウント部材（２）及び前記ミラー保持部材（３）の少なくとも一方を貫通して延出するロッド（１５）に座（１３）を設け、
該座（１３）と前記マウント部材（２）及び前記ミラー保持部材（３）の少なくとも一方との間に、前記付勢部材（１１）をその付勢力に抗するように配置し、
前記座（１３）と前記付勢部材（１１）と前記支点部（８）とが一軸上に配置されてなる。
For example, referring to FIG. 3, a seat (13) is attached to a rod (15) extending from the fulcrum (8) through at least one of the mount member (2) and the mirror holding member (3). Provided,
Between the seat (13) and at least one of the mount member (2) and the mirror holding member (3), the biasing member (11) is disposed so as to resist the biasing force,
The seat (13), the urging member (11), and the fulcrum part (8) are arranged on one axis.
なお、支点部が上述したネジ先端の半球状の当接部により構成される場合、上記ロッド（１５）は、前記当接部に接する側の前記マウント部材（２）又は前記ミラー保持部材（３）（例えばミラー保持部材）を貫通して延びる１個で足りる。 When the fulcrum portion is constituted by the above-described hemispherical abutting portion of the screw, the rod (15) is configured such that the mount member (2) or the mirror holding member (3) on the side in contact with the abutting portion. ) (For example, a mirror holding member) that extends through one piece is sufficient.
例えば図１及び図３を参照して、前記付勢部材（１０，１１）は、圧縮バネであることが好ましいが、互いに反発する１対の磁石でもよい。 For example, referring to FIGS. 1 and 3, the biasing members (10, 11) are preferably compression springs, but may be a pair of magnets that repel each other.
例えば図６を参照して、前記座（１２，１３）における前記付勢部材（１０，１１）の反対側からロックボルト（２０）を螺合し、該座（１０，１１）と前記マウント部材（２）及び前記ミラー保持部材（３）のいずれか他方との間を前記ロックボルト（２０）で固定してなる。 For example, referring to FIG. 6, a lock bolt (20) is screwed from the opposite side of the urging member (10, 11) in the seat (12, 13), and the seat (10, 11) and the mount member (2) and the mirror holding member (3) are fixed between the other with the lock bolt (20).
例えば図４を参照して、前記付勢部材が吸着方向に付勢される磁石（１０１，１１１）からなり、
該磁石（１０１，１１１）が、前記マウント部材（２）及び前記ミラー保持部材（３）のいずれか他方に配置されて前記調整ネジ（６）の先端を吸着すると共に、前記マウント部材（２）及び前記ミラー保持部材（３）の少なくとも一方に配置されて前記支点部（８）を吸着してなる。
For example, referring to FIG. 4, the biasing member is composed of magnets (10 1 , 11 1 ) biased in the attracting direction,
The magnets (10 1 , 11 1 ) are arranged on the other of the mount member (2) and the mirror holding member (3) to attract the tip of the adjustment screw (6), and the mount member ( 2) and at least one of the mirror holding member (3) and adsorbs the fulcrum part (8).
なお、上記カッコ内の符号は、図面と対照するためのものであるが、これにより特許請求の範囲の記載に何等影響を及ぼすものではない。 In addition, although the code | symbol in the said parenthesis is for contrast with drawing, it does not have any influence on description of a claim by this.
請求項１に係る本発明によると、ミラー保持部材とマウント部材は支点部及び調整ネジを介して当接し、該支点部及び調整ネジと一軸上に付勢力が作用するので、該付勢力により、ミラー保持部材が撓むことがなく、比較的強い付勢力でミラー保持部材を保持するものでありながら、ミラーを高い精度に保持することができる。これによって、例えばレーザ発振器等の光学装置において、安定したレーザ出力を得ることができる。また、前記支点部及び調整ネジと一軸上に付勢部材を設けたので、調整ネジと支点部の間を詰めることができ、小型化が可能になる。 According to the first aspect of the present invention, the mirror holding member and the mount member are in contact with each other via the fulcrum portion and the adjustment screw, and the urging force acts on the fulcrum portion and the adjustment screw on one axis. Although the mirror holding member is not bent and the mirror holding member is held with a relatively strong biasing force, the mirror can be held with high accuracy. Thereby, a stable laser output can be obtained in an optical device such as a laser oscillator. In addition, since the urging member is provided on one axis with the fulcrum part and the adjustment screw, the space between the adjustment screw and the fulcrum part can be reduced, and the size can be reduced.
請求項２に係る本発明によると、調整ネジが螺合されているマウント部材及びミラー保持部材のいずれか一方に、付勢部材を支持する座を、付勢部材と上記調整ネジ又は支点部とが一軸上かつ一体に設けたので、ミラーの高い平面度を維持すると共に、構造が簡単で信頼性がある。 According to the second aspect of the present invention, the seat for supporting the urging member is mounted on either the mount member or the mirror holding member into which the adjustment screw is screwed, and the urging member and the adjustment screw or the fulcrum portion. Are provided on one axis and integrally, so that the high flatness of the mirror is maintained and the structure is simple and reliable.
請求項３及び請求項４に係る本発明によると、上記座を設けるために、調整ネジが螺合されているマウント部材及びミラー保持部材のいずれか一方が、例えばそれらのいずれか他方を囲むようにして延設する必要がないので、更なる小型化が可能になる。 According to the third and fourth aspects of the present invention, in order to provide the seat, one of the mount member and the mirror holding member into which the adjusting screw is screwed, for example, surrounds one of them. Since it is not necessary to extend, further downsizing becomes possible.
請求項５に係る本発明によると、付勢部材が圧縮バネであるので、比較的簡易な構造で、安定してミラー保持部材を保持することができる。
According to the present invention of
請求項６に係る本発明によると、付勢部材と調整ネジ又は支点部と一軸上で、マウント部材及びミラー保持部材のいずれか他方がロックボルト及び上記調整ネジによって挟持されるので、ミラーの平面度は維持したままでマウント部材にミラー保持部材を確実に固定することができる。 According to the sixth aspect of the present invention, the urging member and the adjusting screw or the fulcrum portion and the other one of the mount member and the mirror holding member are clamped by the lock bolt and the adjusting screw. The mirror holding member can be reliably fixed to the mount member while maintaining the degree.
請求項７に係る本発明によると、調整ネジ又は支点部と一軸上に配置される付勢部材が磁石からなり、上記調整ネジ及び支点部を吸着するので、ミラーの平面度は維持したままで、簡易でコンパクトな構造でマウント部材に対するミラー保持部材の傾動角を調整することができる。 According to the seventh aspect of the present invention, the biasing member arranged on one axis with the adjustment screw or the fulcrum portion is made of a magnet and adsorbs the adjustment screw and the fulcrum portion, so that the flatness of the mirror is maintained. The tilt angle of the mirror holding member relative to the mount member can be adjusted with a simple and compact structure.
以下、図面に沿って、本発明の実施の形態に係るミラーホルダについて説明する。 Hereinafter, a mirror holder according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
（第１の実施の形態）
図１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、第１の実施の形態によるミラーホルダ１は、例えば図示されないレーザ発振器のベース部分に固定される側面視略々コ字状のマウント部材２と、該マウント部材２のコ字部内に対向配置されて、該マウント部材２に対して後述のごとく傾動自在に支持されるミラー保持部材３と、を有する。該ミラー保持部材３は、上記マウント部材２の反対側にミラー４を装着する。
(First embodiment)
As shown in FIGS. 1A and 1B, a
上記マウント部材２には、上記ミラー保持部材３の反対側から、先端に半球状の当接部５，５を有する２本の調整ネジ６，６が螺合され、該調整ネジ６，６の先端の当接部５，５は上記ミラー保持部材３を押圧する。該ミラー保持部材３は、押圧される面に受部７を有し、該受部７は硬度の高い材料からなり上記当接部５が嵌合するように凹部を形成する。
Two
なお、本実施例においては２本の調整ネジを配置したが、２本以上でもよく、調整ネジと一軸上の部材は２本の調整ネジにおいて互いに同一なので、一方の調整ネジ及びそれと一軸上の部材のみを説明して、他方の説明は省略する。 In this embodiment, two adjustment screws are arranged. However, two or more adjustment screws may be used, and the adjustment screw and the uniaxial member are identical to each other in the two adjustment screws. Only the members will be described, and the other description will be omitted.
正面視（図１（Ａ）参照）において、上記調整ネジ６，６が配置されている位置から延びる線が直交する位置にボール８が設けられ、該ボール８は、上記マウント部材２及びミラー保持部材３に挟持されている。上記マウント部材２及びミラー保持部材３の上記ボール８と当接する位置において、断面三角形状のすり鉢形状からなる窪部９が形成され、上記ボール８は、上記窪部９に位置決めされて上記ミラー保持部材３を傾動自在に支持する支点部を構成する。
In a front view (see FIG. 1 (A)), a
また、上記マウント部材２は、上記ミラー保持部材３が調整ねじ６又はボール８とで挟持するように、かつ上記調整ネジ６又は上記ボール８と一軸上に圧縮バネ１０，１１を係止する座１２，１３を一体に設ける。該座１２，１３とミラー保持部材３との間に圧縮バネ１０，１１が縮されており、調整ネジ６と同一軸線上に配置された圧縮バネ１０は、ミラー保持部材の受部７を調整ネジ６の先端の当接部５に当接するように付勢し、支点部であるボール８の正面図における中心点と同一軸線上に配置された圧縮バネ１１は、ミラー保持部材をボール８に当接するように付勢して、ミラー保持部材３をマウント部材２に一体に支持している。
The
なお、上記座１２，１３は、上記マウント部材２と一体加工しても、別部材で取付けてもよい。
The
なお、上記座１２，１３及びそれらとの上記ミラー保持部材３の対向面に配置される付勢部材である圧縮バネ１０，１１の代わりに、互いに反発する磁石を備えてもよい。
In addition, you may provide the magnets which repel each other instead of the compression springs 10 and 11 which are the urging | biasing members arrange | positioned to the said seats 12 and 13 and the
本実施の形態は、以上のような構成からなるので、ミラーホルダ１は、上記座１２に係止された圧縮バネ１０が、上記ミラー保持部材３を上記調整ネジ６の先端の当接部５に付勢し、該付勢力に抗するように調整ネジ６を回転して上記ミラー保持部材３を押圧することで、上記圧縮バネ１１によりマウント部材２とミラー保持部材３との間で位置決め・挟持された上記ボール８を支点として、上記マウント部材２に対する上記ミラー４と一体の上記ミラー保持部材３の傾動角を調整する。
Since the present embodiment is configured as described above, the
また、上記当接部５又はボール８と上記圧縮バネ１０，１１は、圧縮バネの作用線上にて一軸上に配置され、図２に示すように、圧縮バネ１０，１１による付勢力Ｘが上記ミラー保持部材３を介して上記当接部５及びボール８に作用するので、上記ミラー保持部材３が該付勢力により撓むことがなく、上記ミラー４の高い平面度を維持したまま、該ミラー４の上記マウント部材に対する傾動角を調整することができる。
Further, the
（第２の実施の形態）
ついで、図３（Ａ）及び（Ｂ）に沿って、第２の実施の形態について説明するが、上記第１の実施の形態と重複する部分については、図に同一符号を付して説明を省略する。
(Second Embodiment)
Next, the second embodiment will be described with reference to FIGS. 3A and 3B, and the same reference numerals are given to the same portions as those in the first embodiment. Omitted.
本実施の形態は、第１の実施の形態における上記座１２の代わりに、上記当接部５から上記ミラー保持部材３を貫通してロッド１４を延出して設け、該ロッド１４の先端に座１２を設ける。更に、上記支点となるボール８から両側に、上記マウント部材２及び上記ミラー保持部材３を貫通するロッド１５，１５を延出して設け、各ロッド１５，１５の先端に座１３，１３を設ける。上記座１２，１３，１３に圧縮バネ１０，１１，１１を係止する。
In this embodiment, instead of the
なお、上記支点は、上述したボールに限らず、上記マウント部材２及びミラー保持部材３のいずれか一方（例えばマウント部）に螺合したネジの先端に形成した半球状の当接面でもよく、この場合、上記支点となるボール８の両側から延びるロッド１５，１５は、上記ネジが螺合していない他方の側（例えばミラー保持部材）にのみに延びるもので足りる。
Note that the fulcrum is not limited to the above-described ball, and may be a hemispherical contact surface formed at the tip of a screw screwed into one of the
なお、上記座１２，１３，１３及びそれらとの上記ミラー保持部材３及び上記マウント部材２の対向面に、互いに反発する磁石を備えてもよい。
It should be noted that magnets that repel each other may be provided on the facing surfaces of the
本実施の形態は、以上のような構成からなるので、ミラーホルダ１は、上記座１２，１３，１３に係止された圧縮バネ１０，１１，１１が、上記マウント部材２及びミラー保持部材３を上記当接部５及びボール８に付勢し、該付勢力に抗するように調整ネジ６を回転して上記ミラー保持部材を押圧する。これにより、上記圧縮バネ１１，１１によりマウント部材２とミラー保持部材３との間で位置決め・挟持された上記ボール８を支点として、上記マウント部材に対する上記ミラー４と一体の上記ミラー保持部材３の傾動角を調整する。この場合も上記第１の実施の形態と同様に、圧縮バネ１０，１１等の付勢部材によりミラー保持部材３が撓むことはない。
Since the present embodiment is configured as described above, the
（第３の実施の形態）
ついで、図４（Ａ）及び（Ｂ）に沿って、第３の実施の形態について説明するが、上記第２の実施の形態と重複する部分については、図に同一符号を付して説明を省略する。
(Third embodiment)
Next, the third embodiment will be described with reference to FIGS. 4A and 4B, and the same reference numerals are given to the same portions as those in the second embodiment. Omitted.
本実施の形態は、付勢部材として、圧縮バネ１０，１１，１１に代わり、磁石を設けたものである。 In the present embodiment, a magnet is provided as an urging member instead of the compression springs 10, 11, and 11.
ミラーホルダ１は、上記調整ネジ６の先端の当接部５が磁性体からなり、かつ上記ミラー保持部材３には、上記当接部５に当接する受部７を挟むようにして磁石１０１を配置する。
また、上記マウント部材２及びミラー保持部材３に、上記ボール８が挟持されるように互いに吸着する磁石１１１，１１１を配置する。該磁石１１１，１１１には、断面三角形状のすり鉢形状からなる窪部９，９が形成され、上記ボール８は、上記窪部９，９に位置決めされて上記ミラー保持部材３を傾動自在に支持する支点部を構成する。
Further,
上記磁石１０１は、受部７を介して調整ネジ６の先端の当接部５を吸引し、上記磁石１１１、１１１は、支点部となるボール８を挟んで互いに吸引して、ミラー保持部材３をマウント部材２に支持する付勢部材を構成し、上記磁石１０１は、調整ネジ６の軸線と同一軸上に配置され、上記磁石１１１、１１１は、支点部であるボール８の正面図における中心点と同一軸上に配置されている。
The
本実施の形態は、以上のような構成からなるので、ミラーホルダ１は、上記当接部５と磁石１０１、及び上記磁石１１１，１１１が互いに吸着し、上記調整ネジ６を回転して上記ミラー保持部材３を押圧することで、上記窪部９，９に位置決め・挟持された上記ボール８を支点として、上記マウント部材２に対する上記ミラー保持部材３の傾動角を調整する。この際、先の実施の形態と同様に、各磁石１０１、１１１、１１１の吸引方向（付勢方向）が調整ネジ６及び支点部８の当接方向と同一軸線に位置して、ミラー保持部材３は、上記磁石の吸引力がモーメントとして作用することはない。
Since the present embodiment is configured as described above, the
（第４の実施の形態）
ついで、図５（Ａ）及び（Ｂ）に沿って、第４の実施の形態について説明するが、上記第１の実施の形態と重複する部分については、図に同一符号を付して説明を省略する。
(Fourth embodiment)
Next, the fourth embodiment will be described with reference to FIGS. 5A and 5B, and the same reference numerals are given to the same portions as those in the first embodiment. Omitted.
本実施の形態は、第１の実施の形態において、上記マウント部材２に対する上記ミラー保持部材３の傾動角を一度所定の角度に設定したときに、その角度で上記ミラー保持部材３を固定するためのロック部材を追加したものである。
In this embodiment, when the tilt angle of the
ミラーホルダ１において、ミラー保持部材３は、正面視上記ミラー４の中心と同軸上におけるマウント部材２側にネジ孔１６を形成し、マウント部材２の上記ネジ孔１６に対向する位置に丸孔１７を形成する。そして、丸孔１７を貫通してネジ孔１６に螺合し得るロックボルト１８を備える。
In the
本実施の形態は、上記マウント部材２に対する上記ミラー４と一体の上記ミラー保持部材３の傾動角を調整した状態で、上記ロックボルト１８を、マウント部材２側から上記丸孔１７を貫通してネジ孔１６に螺合する。これにより、ロックボルト１８が、該ロックボルト１８の頭部１８ａとネジ孔１６との間で、ミラー保持部材３をマウント部材２にロックされて、ミラー４は、上記調整された位置に維持される。
In this embodiment, with the tilt angle of the
（第５の実施の形態）
ついで、図６（Ａ）及び（Ｂ）に沿って、第５の実施の形態について説明するが、上記第４の実施の形態と重複する部分については、図に同一符号を付して説明を省略する。
(Fifth embodiment)
Next, the fifth embodiment will be described with reference to FIGS. 6A and 6B. The same parts as those in the fourth embodiment will be described with the same reference numerals. Omitted.
本実施の形態は、第４の実施の形態において、上記ロックボルト１８が、正面視上記ミラー４の中心と同軸上に上記ミラー保持部材３と螺合するために、強く締めると該ミラー保持部材３が撓む虞があることから、該ミラー保持部材３の撓みを避けつつ、ロックを達成するものである。
In this embodiment, in the fourth embodiment, when the
ミラーホルダ１は、上記座１２，１３にネジ孔１９，１９を形成する。そして、ロックボルト２０，２０を、上記圧縮バネ１０，１１の反対側から上記ネジ孔１９，１９に螺合して、上記圧縮バネ１０，１１の中心を貫通してその先端を上記ミラー保持部材３に押圧する。
The
本実施の形態は、以上のような構成からなるので、ミラーホルダ１は、上記ロックボルト２０，２０を上記座１２，１３のネジ孔１９，１９に螺合していない状態で、上記調整ネジ６を回転して、上記ミラー保持部材３の傾動角を調整する。この状態で、上記座１２，１３のネジ孔１９，１９に上記ロックボルト２０，２０を螺合し、上記調整ネジ６及びボール８と一軸上でそれらの反対側から上記ミラー保持部材３を押圧して、上記ミラー保持部材３を撓むことなく固定する。この状態では、ロックボルト２０，２０の締付力は、調整ネジ６及び支点であるボール８と同一線上に作用するので、ミラー保持部材３が撓むことはない。
Since the present embodiment is configured as described above, the
なお、上述した実施の形態は、調整ネジ６をマウント部材２に螺合して配置したが、該調整ネジをミラー保持部材３に螺合して、該調整ネジの先端をマウント部材２に当接して上記ミラー保持部材３の傾動角を調整自在に設けてもよい。
In the embodiment described above, the
１ ミラーホルダ
２ マウント部材
３ ミラー保持部材
４ ミラー
６ 調整ネジ
８ ボール（支点部）
１０，１１ 圧縮バネ
１０１，１１１ 磁石
１２，１３ 座
１４，１５ ロッド
１８，２０ ロックボルト
DESCRIPTION OF
10, 11
Claims (7)
該ミラー保持部材に対向配置されるマウント部材と、
前記ミラー保持部材を前記マウント部材に対して傾動自在に支持する支点部と、
前記ミラー保持部材及び前記マウント部材のいずれか一方に螺合され、他方に先端が当接して、前記マウント部材に対する前記ミラー保持部材の傾動角を調整する調整ネジと、
前記ミラー保持部材と前記マウント部材とが、前記支点部及び前記調整ネジを介して当接するように付勢する付勢部材と、
を備えてなるミラーホルダにおいて、
前記付勢部材が、前記支点部及び前記調整ネジと一軸上に配置されてなる、
ことを特徴とするミラーホルダ。 A mirror holding member that integrally holds the mirror;
A mount member disposed opposite to the mirror holding member;
A fulcrum portion that supports the mirror holding member in a tiltable manner with respect to the mount member;
An adjustment screw that is screwed into one of the mirror holding member and the mount member, the tip of which contacts the other, and adjusts the tilt angle of the mirror holding member with respect to the mount member;
An urging member that urges the mirror holding member and the mount member to abut via the fulcrum portion and the adjustment screw;
In a mirror holder comprising:
The biasing member is arranged on one axis with the fulcrum part and the adjustment screw.
A mirror holder characterized by that.
該座と前記マウント部材及び前記ミラー保持部材のいずれか他方との間に、前記付勢部材をその付勢力に抗するように配置し、
前記座と前記付勢部材と前記調整ネジ又は前記支点部とが一軸上に配置されてなる、
請求項１記載のミラーホルダ。 A seat for supporting the biasing member is integrally provided on any one of the mount member and the mirror holding member to which the adjustment screw is screwed.
Between the seat and the other one of the mount member and the mirror holding member, the biasing member is disposed so as to resist the biasing force,
The seat, the biasing member, the adjustment screw or the fulcrum portion are arranged on one axis.
The mirror holder according to claim 1.
該座と前記マウント部材及び前記ミラー保持部材のいずれか他方との間に、前記付勢部材をその付勢力に抗して配置し、
前記座と前記付勢部材と前記調整ネジが一軸上に配置されてなる、
請求項１記載のミラーホルダ。 From the tip of the adjustment screw, a seat is provided on a rod extending through the other of the mount member and the mirror holding member,
The biasing member is disposed against the biasing force between the seat and the other one of the mount member and the mirror holding member,
The seat, the biasing member, and the adjustment screw are arranged on one axis.
The mirror holder according to claim 1.
該座と前記マウント部材及び前記ミラー保持部材の少なくとも一方との間に、前記付勢部材をその付勢力に抗するように配置し、
前記座と前記付勢部材と前記支点部とが一軸上に配置されてなる、
請求項１記載のミラーホルダ。 From the fulcrum portion, a seat is provided on a rod extending through at least one of the mount member and the mirror holding member,
Between the seat and at least one of the mount member and the mirror holding member, the biasing member is disposed so as to resist the biasing force,
The seat, the urging member, and the fulcrum portion are arranged on one axis.
The mirror holder according to claim 1.
請求項１ないし４のいずれか記載のミラーホルダ。 The biasing member is a compression spring;
The mirror holder according to any one of claims 1 to 4.
請求項２記載のミラーホルダ。 A lock bolt is screwed from the opposite side of the urging member in the seat, and the seat and the other one of the mount member and the mirror holding member are fixed with the lock bolt.
The mirror holder according to claim 2.
該磁石が、前記マウント部材及び前記ミラー保持部材のいずれか他方に配置されて前記調整ネジの先端を吸着すると共に、前記マウント部材及び前記ミラー保持部材の少なくとも一方に配置されて前記支点部を吸着してなる、
請求項１記載のミラーホルダ。 The biasing member is composed of a magnet biased in the attracting direction,
The magnet is disposed on one of the mount member and the mirror holding member to attract the tip of the adjustment screw, and is disposed on at least one of the mount member and the mirror holding member to attract the fulcrum portion. Become
The mirror holder according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011118252A JP2012247568A (en) | 2011-05-26 | 2011-05-26 | Mirror holder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011118252A JP2012247568A (en) | 2011-05-26 | 2011-05-26 | Mirror holder |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012247568A true JP2012247568A (en) | 2012-12-13 |
Family
ID=47468063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011118252A Withdrawn JP2012247568A (en) | 2011-05-26 | 2011-05-26 | Mirror holder |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2012247568A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014105975A1 (en) * | 2012-12-26 | 2014-07-03 | Thorlabs, Inc. | Low wavefront distortion optical mount |
| JP2016180935A (en) * | 2015-03-25 | 2016-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | Projection optical device and projector |
| JPWO2015151152A1 (en) * | 2014-03-31 | 2017-04-13 | ギガフォトン株式会社 | Mirror device |
| CN111999838A (en) * | 2020-07-10 | 2020-11-27 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | Adjusting component for adjusting distance between connected pieces and connecting device |
-
2011
- 2011-05-26 JP JP2011118252A patent/JP2012247568A/en not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014105975A1 (en) * | 2012-12-26 | 2014-07-03 | Thorlabs, Inc. | Low wavefront distortion optical mount |
| US9599786B2 (en) | 2012-12-26 | 2017-03-21 | Thorlabs, Inc. | Low wavefront distortion optical mount |
| JPWO2015151152A1 (en) * | 2014-03-31 | 2017-04-13 | ギガフォトン株式会社 | Mirror device |
| JP2016180935A (en) * | 2015-03-25 | 2016-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | Projection optical device and projector |
| CN111999838A (en) * | 2020-07-10 | 2020-11-27 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | Adjusting component for adjusting distance between connected pieces and connecting device |
| CN111999838B (en) * | 2020-07-10 | 2022-03-25 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | Adjusting component for adjusting distance between connected pieces and connecting device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5955347B2 (en) | Linear ultrasonic motor and optical apparatus using the same | |
| JP2012247568A (en) | Mirror holder | |
| US20100296188A1 (en) | Kinematic mirror mount adjustable from two directions | |
| EP0558743A1 (en) | Adjustable mount for cylindrical lens. | |
| JP2013161050A (en) | Optical element holder | |
| JP2011133459A (en) | Mirror actuator and beam irradiation device | |
| JP2006223081A (en) | Actuator structure and actuator block using it, and electronic equipment | |
| JP2013158165A (en) | Oscillatory wave driver, two-dimensional driver and image blur correction device | |
| JP4847746B2 (en) | Mirror holder with angle adjustment mechanism | |
| JP2007156204A (en) | Mirror holder | |
| KR101776985B1 (en) | Adjustable lens mount for a strip lens | |
| JP4051881B2 (en) | Braking mechanism and electron microscope sample stage | |
| JP2007025374A (en) | Reflection mirror support adjusting mechanism | |
| WO2016067697A1 (en) | Tilt adjustment device | |
| JP2017015799A (en) | Optical device, lens device, and imaging apparatus | |
| JP5614478B2 (en) | Mirror tilt actuator | |
| JP2010237273A (en) | Mirror tilt actuator | |
| WO2019181445A1 (en) | Vibration-type actuator having hinge structure, and device | |
| JP2019211639A (en) | Lens holding mechanism, optical system, and mounting method of interchangeable lens | |
| KR20190045988A (en) | Piezo actuator type axis precision control module and piezo actuator type axis precision control device | |
| TWI356209B (en) | Lens holder | |
| JP4534570B2 (en) | Optical scanning device | |
| JP2010123597A (en) | Laser optical apparatus | |
| JP2010281976A (en) | Mechanism for adjusting position of optical element | |
| JP2023119115A (en) | Actuator and method for manufacturing actuator |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20140805 |