JP2012246063A - Belt cleaning device and continuous furnace - Google Patents
Belt cleaning device and continuous furnace Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012246063A JP2012246063A JP2011116458A JP2011116458A JP2012246063A JP 2012246063 A JP2012246063 A JP 2012246063A JP 2011116458 A JP2011116458 A JP 2011116458A JP 2011116458 A JP2011116458 A JP 2011116458A JP 2012246063 A JP2012246063 A JP 2012246063A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- brush member
- mesh belt
- belt
- cleaning device
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 44
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 17
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 11
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Tunnel Furnaces (AREA)
Abstract
Description
本発明は、メッシュベルトの汚れを除去するためのベルトクリーニング装置およびこのベルトクリーニング装置を備える連続炉に関する。 The present invention relates to a belt cleaning device for removing dirt on a mesh belt and a continuous furnace equipped with the belt cleaning device.
連続熱処理炉は、被処理物の搬送方法により熱処理炉のタイプが分類され、一例としてメッシュベルト式の熱処理炉があげられる(例えば、特許文献1参照。)。 As for the continuous heat treatment furnace, the type of the heat treatment furnace is classified according to the method of conveying the object to be processed, and a mesh belt type heat treatment furnace can be given as an example (see, for example, Patent Document 1).
メッシュベルト式の熱処理炉は、メッシュベルト上に被処理物を搭載して、加熱室、冷却室を経て出口まで搬送する構成である。したがって、メッシュベルトは、メッシュベルトの摩耗粉、被処理物からの発生成分およびメッシュベルトの酸化スケール等の汚れが付着する。 The mesh belt type heat treatment furnace has a configuration in which an object to be processed is mounted on a mesh belt and conveyed to an outlet through a heating chamber and a cooling chamber. Therefore, the mesh belt is contaminated with abrasion powder of the mesh belt, components generated from the object to be processed, and oxidized scale of the mesh belt.
そこで、メッシュベルトの汚れを除去するために、洗浄水槽内の洗浄水にメッシュベルトを通過させて超音波洗浄を行う技術が開発されている。 Therefore, in order to remove dirt on the mesh belt, a technique for ultrasonic cleaning by passing the mesh belt through the cleaning water in the cleaning water tank has been developed.
しかし、メッシュベルトを超音波洗浄する場合には、洗浄水の給排水が必要であるが、工場の設備の関係で、それが不可能な場合がある。 However, when the mesh belt is subjected to ultrasonic cleaning, it is necessary to supply and drain cleaning water, but this may not be possible due to factory equipment.
そこで、本発明の目的は、上記課題に鑑み、洗浄水を必要とせずにメッシュベルトの汚れを除去することができるベルトクリーニング装置を提供することにある。 In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a belt cleaning device capable of removing dirt on a mesh belt without requiring cleaning water.
本発明のベルトクリーニング装置は、無端状に形成され、被処理物を搭載して搬送するためのメッシュベルトをクリーニングする。また、本発明のベルトクリーニング装置は、第1ブラシ部材および第2ブラシ部材を備える。第1ブラシ部材は、被処理物が搭載されない領域に配置され、メッシュベルトにおける被処理物の搭載面に摺接する。第2ブラシ部材は、第1ブラシ部材に対向して配置され、メッシュベルトにおける被処理物の非搭載面に摺接する。 The belt cleaning device of the present invention is formed in an endless shape and cleans a mesh belt for loading and transporting an object to be processed. The belt cleaning device of the present invention includes a first brush member and a second brush member. The first brush member is disposed in a region where the object to be processed is not mounted, and is in sliding contact with the mounting surface of the object to be processed in the mesh belt. The second brush member is disposed to face the first brush member and is in sliding contact with the non-mounting surface of the object to be processed in the mesh belt.
この構成では、第1ブラシ部材をメッシュベルトにおける被処理物の搭載面に摺接させ、第2ブラシ部材をメッシュベルトにおける被処理物の非搭載面に摺接させるだけで、メッシュベルトの汚れを除去することができる。したがって、洗浄水を必要とせずにメッシュベルトの汚れを除去することができる。 In this configuration, the mesh belt can be cleaned by simply bringing the first brush member into sliding contact with the surface of the mesh belt on which the workpiece is mounted and merely bringing the second brush member into sliding contact with the surface of the mesh belt on which the workpiece is not mounted. Can be removed. Therefore, it is possible to remove the dirt on the mesh belt without requiring cleaning water.
本発明におけるベルトクリーニング装置は、洗浄水を必要とせずにメッシュベルトの汚れを除去することができる。 The belt cleaning device according to the present invention can remove dirt on the mesh belt without the need for washing water.
以下、本発明の実施形態に係るベルトクリーニング装置を、図面を参照しつつ詳細に説明する。 Hereinafter, a belt cleaning device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
最初に、本発明の第1実施形態について説明する。 First, a first embodiment of the present invention will be described.
図1は、本発明の第1実施形態に係るベルトクリーニング装置200を備える連続炉100の構成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of a
連続炉100は、加熱室110、冷却室120、テーブルローラ130,140、フリーローラ150、ベルト駆動機構160、ベルトクリーニング装置200およびメッシュベルト210を備える。
The
加熱室110は、室内を900度程度に維持することで、被処理物Wに対して加熱処理を施し、被処理物Wを熱処理する。冷却室120は、水冷または空冷されており、その内部は中性雰囲気から構成されている。冷却室120は、加熱室110によって加熱処理された被処理物Wを冷却する。
The
テーブルローラ130,140は、無端状のメッシュベルト210を張架している。フリーローラ150は、メッシュベルト210の回転に従動して回転し、後述するプッシャーローラ163との間に、メッシュベルト210の遊び211を形成している。
The
ベルト駆動機構160は、駆動ドラム161、プッシャーローラ162,163、チェーン164および駆動モータ165を有する。駆動ドラム161は、その外周部分にメッシュベルト210を巻きつけ、駆動モータ165によって駆動回転されることにより、メッシュベルト210を回転させる。プッシャーローラ162は、メッシュベルト210にテンションをかけつつ、メッシュベルト210を駆動ドラム161に導く。
The
プッシャーローラ163は、フリーローラ150との間に、メッシュベルト210の遊び211を形成している。チェーン164は、一例として金属から構成されており、駆動ドラム161と駆動モータ165とを張架する。駆動モータ165は、チェーン164を介して駆動ドラム161を駆動させる。駆動モータ165は、チェーン164を矢印166方向に回転させることで、メッシュベルト210を矢印212方向に回転させる。したがって、メッシュベルト210に搭載された被処理物Wは、矢印170方向へ、すなわち、加熱室110から冷却室120へ移動する。
The
ベルトクリーニング装置200は、加熱室110および冷却室120を通過した無端状のメッシュベルト210をクリーニングするための装置である。その詳細については後述する。
The
メッシュベルト210は、一例として耐腐食性および耐熱性の高い金属から構成されている。前述したように、メッシュベルト210は、被処理物Wを搭載し、高温に維持された加熱室110を通過する必要があるからである。メッシュベルト210は、無端状に形成され、被処理物Wを搭載して搬送するためのベルトである。
As an example, the
前述したように、メッシュベルト210は、フリーローラ150とプッシャーローラ163との間に遊び211を形成している。メッシュベルト210は、高温に維持された加熱室110を通過し、その後冷却室120を通過するため、メッシュベルト210自身が伸縮する。したがって、遊び211を形成することにより、メッシュベルト210の伸縮に対応させている。
As described above, the
図2は、本発明の第1実施形態に係るベルトクリーニング装置200の構成を示す図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of the
ベルトクリーニング装置200は、第1円柱ブラシ部材220および第2円柱ブラシ部材230を備える。
The
第1円柱ブラシ部材220は、被処理物Wが搭載されない領域に配置され、メッシュベルト210における被処理物Wの搭載面に摺接する。第2円柱ブラシ部材230は、第1円柱ブラシ部材230に対向して配置され、メッシュベルト210における被処理物Wの非搭載面に摺接する。なお、被処理物Wが搭載されない領域とは、図1に示す領域180のことである。
The first
本実施形態では、第1円柱ブラシ部材220および第2円柱ブラシ部材230は、中心軸が固定された状態で使用される。すなわち、第1円柱ブラシ部材220および第2円柱ブラシ部材230は、固定ブラシとして使用される。固定ブラシを円柱形状とすると、メッシュベルト210との摺接面が劣化してきた場合に、円柱形状の他の部分を摺接面にもってこればよいため、固定ブラシとして長期間の使用が可能である。
In the present embodiment, the first
なお、図3に示すように、固定ブラシとして平面ブラシを用いてもよい。すなわち、第1平面ブラシ部材220Aは、被処理物Wが搭載されない領域に配置され、メッシュベルト210における被処理物Wの搭載面に摺接し、また、第2平面ブラシ部材230Aは、第1平面ブラシ部材220Aに対向して配置され、メッシュベルト210における被処理物Wの非搭載面に摺接する。
In addition, as shown in FIG. 3, you may use a plane brush as a fixed brush. That is, the first
この構成では、第1円柱ブラシ部材220(第1平面ブラシ部材220A)をメッシュベルト210における被処理物Wの搭載面に摺接させ、第2円柱ブラシ部材230(第2平面ブラシ部材230A)をメッシュベルト210における被処理物Wの非搭載面に摺接させるだけで、メッシュベルト210の汚れを除去することができる。したがって、洗浄水を必要とせずにメッシュベルト210の汚れを除去することができる。
In this configuration, the first cylindrical brush member 220 (first
次に、本発明の第2実施形態について説明する。なお、第2実施形態以降の各実施形態においては、第1実施形態と重複する説明は省略する。 Next, a second embodiment of the present invention will be described. In each of the embodiments after the second embodiment, the description overlapping with that of the first embodiment is omitted.
図4は、本発明の第2実施形態に係るベルトクリーニング装置200の構成を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a configuration of a
本実施形態の第1円柱ブラシ部材221および第2円柱ブラシ部材231は、回転自在に構成されている。ベルトクリーニング装置200は、第1円柱ブラシ部材221および第2円柱ブラシ部材231をその中心軸周りに回転駆動するための駆動機構240をさらに備える。
The 1st
駆動機構240は、チェーン241および駆動モータ242を有する。チェーン241は、無端状に形成され、一例として金属から構成されている。チェーン241は、駆動モータ242のスプロケット242A、第1円柱ブラシ部材221のスプロケット222および第2円柱ブラシ部材231のスプロケット232に張架され、かつ、スプロケット242A、スプロケット222およびスプロケット232と噛合している。駆動モータ242は、チェーン241を介して第1円柱ブラシ部材221および第2円柱ブラシ部材231に駆動力を伝達する。
The
本実施形態では、チェーン241は、駆動モータ242からの駆動力を受けて、矢印243方向に回転する。したがって、第1円柱ブラシ部材221は、矢印223方向に回転し、第2円柱ブラシ部材231は、矢印233方向に回転する。すなわち、駆動機構240は、第1円柱ブラシ部材221と第2円柱ブラシ部材231とを同方向に回転させることで第1円柱ブラシ部材221および第2円柱ブラシ部材231の外周面をメッシュベルト210に摺動させる。
In the present embodiment, the
また、メッシュベルト210は、矢印212方向に移動するため、第1円柱ブラシ部材221は、メッシュベルト210との摺接面においてメッシュベルト210の移動方向と反対方向に回転し、第2円柱ブラシ部材231は、メッシュベルト210との摺接面においてメッシュベルト210の移動方向と同方向に回転する。なお、第2円柱ブラシ部材231の周速とメッシュベルト210の移動速度とは異なる。
Further, since the
メッシュベルト210における被処理物Wの搭載面は、メッシュベルトの摩耗粉、被処理物Wからの発生成分およびメッシュベルトの酸化スケール等の汚れが付着しやすい。したがって、第1円柱ブラシ部材221は、メッシュベルト210との摺接面においてメッシュベルト210の移動方向と反対方向に回転するため、メッシュベルト210における被処理物Wの搭載面を効率的にクリーニングすることができる。
On the surface of the
また、メッシュベルト210における被処理物Wの非搭載面は、被処理物Wからの発生成分およびメッシュベルトの酸化スケール等の汚れが、被処理物Wの搭載面ほど付着しない。したがって、第2円柱ブラシ部材231は、メッシュベルト210との摺接面においてメッシュベルト210の移動方向と同方向に回転するため、メッシュベルト210における被処理物Wの非搭載面を適切にクリーニングすることができ、かつ、第1円柱ブラシ部材221の劣化よりも第2円柱ブラシ部材231の劣化を抑えることができる。
Further, the non-mounting surface of the object to be processed W in the
すなわち、この構成では、メッシュベルト210の汚れやすさに応じて、効率的にメッシュベルト210をクリーニングすることができる。
In other words, in this configuration, the
次に、本発明の第3実施形態について説明する。なお、本実施形態においては、第2実施形態と重複する説明は省略する。 Next, a third embodiment of the present invention will be described. In addition, in this embodiment, the description which overlaps with 2nd Embodiment is abbreviate | omitted.
図5は、本発明の第3実施形態に係るベルトクリーニング装置200の構成を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a configuration of a
本実施形態では、第1円柱ブラシ部材221のスプロケット222と第2円柱ブラシ部材231のスプロケット234との径の大きさが異なる。具体的には、スプロケット222の径のほうがスプロケット234の径よりも小さい。したがって、この構成において、駆動機構240は、第1円柱ブラシ部材221を第2円柱ブラシ部材231よりも高速回転させる。
In the present embodiment, the diameters of the
この構成では、第1円柱ブラシ部材221は、メッシュベルト210との摺接面においてメッシュベルト210の移動方向と反対方向に高速回転するため、メッシュベルト210における被処理物Wの搭載面をさらに効率的にクリーニングすることができる。
In this configuration, the first
次に、本発明の第4実施形態について説明する。 Next, a fourth embodiment of the present invention will be described.
図6は、本発明の第4実施形態に係るベルトクリーニング装置200の構成を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a
ベルトクリーニング装置200は、ケース250および吸引部260を備える。
The
ケース250は、第1円柱ブラシ部材220および第2円柱ブラシ部材230を覆う。吸引部260は、ケース250内の粉塵を吸引する。
The
吸引部260は、吸引ブロア261、ダクト262および集塵フィルター263を有する。吸引ブロア261は、吸引力を発生させる装置である。ダクト262は、ケース250と吸引ブロア261とを連結する。集塵フィルター263は、ダクト262内に設けられ、ケース250から吸引ブロア261へ移動する粉塵を集塵する。
The
この構成では、ケース250が第1円柱ブラシ部材220および第2円柱ブラシ部材230を覆うことで、第1円柱ブラシ部材220および第2円柱ブラシ部材230によって除去されたメッシュベルト210の粉塵が周囲に飛散することを防止できる。また、吸引部260がケース250内の粉塵を吸引することで、ケース250内に粉塵が溜まることを防止できる。
In this configuration, the
ここまで、本発明の構成について第1実施形態から第4実施形態まで説明してきたが、本発明の構成は、第1実施形態から第4実施形態のそれぞれに限定されることはない。例えば、図7に示すように、複数の実施形態を組み合わせて本発明を適用することができる。 So far, the configuration of the present invention has been described from the first embodiment to the fourth embodiment. However, the configuration of the present invention is not limited to each of the first embodiment to the fourth embodiment. For example, as shown in FIG. 7, the present invention can be applied by combining a plurality of embodiments.
最後に、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 Finally, the description of the above-described embodiment is to be considered in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above embodiments but by the claims. Furthermore, the scope of the present invention is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of the claims.
W−被処理物
100 −連続炉
110 −加熱室
120 −冷却室
200 −ベルトクリーニング装置
210 −メッシュベルト
220 −第1円柱ブラシ部材
220A−第1平面ブラシ部材
221 −第1円柱ブラシ部材
230 −第2円柱ブラシ部材
230A−第2平面ブラシ部材
231 −第2円柱ブラシ部材
240 −駆動機構
250 −ケース
260 −吸引部
W-processed object 100-continuous furnace 110-heating chamber 120-cooling chamber 200-belt cleaning device 210-mesh belt 220-first
Claims (6)
前記被処理物が搭載されない領域に配置され、前記メッシュベルトにおける前記被処理物の搭載面に摺接する第1ブラシ部材と、
前記第1ブラシ部材に対向して配置され、前記メッシュベルトにおける前記被処理物の非搭載面に摺接する第2ブラシ部材と、
を備えるベルトクリーニング装置。 A belt cleaning device for cleaning a mesh belt that is formed in an endless shape and carries a workpiece to be conveyed,
A first brush member that is disposed in a region where the object to be processed is not mounted and is in sliding contact with a mounting surface of the object to be processed in the mesh belt;
A second brush member disposed opposite the first brush member and in sliding contact with a non-mounting surface of the workpiece in the mesh belt;
A belt cleaning device comprising:
前記第1ブラシ部材および前記第2ブラシ部材をその中心軸周りに回転駆動するための駆動機構
をさらに備え、
前記駆動機構は、前記第1ブラシ部材と前記第2ブラシ部材とを同方向に回転させることで前記第1ブラシ部材および前記第2ブラシ部材の外周面を前記メッシュベルトに摺動させる
請求項1に記載のベルトクリーニング装置。 The first brush member and the second brush member have a cylindrical shape,
A drive mechanism for rotating the first brush member and the second brush member around a central axis thereof;
The said drive mechanism slides the outer peripheral surface of the said 1st brush member and the said 2nd brush member on the said mesh belt by rotating the said 1st brush member and the said 2nd brush member in the same direction. A belt cleaning device according to claim 1.
請求項2に記載のベルトクリーニング装置。 The belt cleaning device according to claim 2, wherein the first brush member is rotated in a direction opposite to a moving direction of the mesh belt by the driving mechanism.
請求項2または3に記載のベルトクリーニング装置。 The belt cleaning device according to claim 2, wherein the drive mechanism rotates the first brush member at a higher speed than the second brush member.
前記ケース内の粉塵を吸引する吸引部と、
をさらに備える請求項1〜4のいずれか1項に記載のベルトクリーニング装置。 A case covering the first brush member and the second brush member;
A suction part for sucking dust in the case;
The belt cleaning device according to claim 1, further comprising:
前記被処理物に対して加熱処理を施すための加熱室と、
前記加熱室を通過した前記被処理物を冷却するための冷却室と、
前記加熱室および前記冷却室を通過した前記メッシュベルトをクリーニングするための請求項1〜5のいずれか1項に記載のベルトクリーニング装置と、
を備える連続炉。 A mesh belt that is formed in an endless shape for carrying and transporting a workpiece;
A heating chamber for performing a heat treatment on the workpiece;
A cooling chamber for cooling the object to be processed that has passed through the heating chamber;
The belt cleaning device according to any one of claims 1 to 5, for cleaning the mesh belt that has passed through the heating chamber and the cooling chamber;
A continuous furnace.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011116458A JP5827035B2 (en) | 2011-05-25 | 2011-05-25 | Belt cleaning device and continuous furnace |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011116458A JP5827035B2 (en) | 2011-05-25 | 2011-05-25 | Belt cleaning device and continuous furnace |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015204017A Division JP6096264B2 (en) | 2015-10-15 | 2015-10-15 | Continuous furnace |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012246063A true JP2012246063A (en) | 2012-12-13 |
JP5827035B2 JP5827035B2 (en) | 2015-12-02 |
Family
ID=47466926
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011116458A Active JP5827035B2 (en) | 2011-05-25 | 2011-05-25 | Belt cleaning device and continuous furnace |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5827035B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104860033A (en) * | 2015-04-10 | 2015-08-26 | 北华航天工业学院 | Conveying belt cleaning device |
CN110406892A (en) * | 2019-08-27 | 2019-11-05 | 德州仁信印染机械有限公司 | The filtering net automatic cleaning device of forming machine |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6134528U (en) * | 1984-07-31 | 1986-03-03 | 岡崎工業株式会社 | Belt conveyor vacuum dust collector |
JPH04272018A (en) * | 1991-02-27 | 1992-09-28 | Mitsui Toatsu Chem Inc | Continuous belt cleaning device |
JP3109000U (en) * | 2004-11-29 | 2005-04-28 | 有限会社立原工業所 | Egg collection belt cleaning device |
JP2009014227A (en) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Finesinter Co Ltd | Heat treatment furnace |
JP2010275026A (en) * | 2009-05-26 | 2010-12-09 | Toppan Printing Co Ltd | Sheet substrate conveying apparatus |
-
2011
- 2011-05-25 JP JP2011116458A patent/JP5827035B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6134528U (en) * | 1984-07-31 | 1986-03-03 | 岡崎工業株式会社 | Belt conveyor vacuum dust collector |
JPH04272018A (en) * | 1991-02-27 | 1992-09-28 | Mitsui Toatsu Chem Inc | Continuous belt cleaning device |
JP3109000U (en) * | 2004-11-29 | 2005-04-28 | 有限会社立原工業所 | Egg collection belt cleaning device |
JP2009014227A (en) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Finesinter Co Ltd | Heat treatment furnace |
JP2010275026A (en) * | 2009-05-26 | 2010-12-09 | Toppan Printing Co Ltd | Sheet substrate conveying apparatus |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104860033A (en) * | 2015-04-10 | 2015-08-26 | 北华航天工业学院 | Conveying belt cleaning device |
CN110406892A (en) * | 2019-08-27 | 2019-11-05 | 德州仁信印染机械有限公司 | The filtering net automatic cleaning device of forming machine |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5827035B2 (en) | 2015-12-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3919464B2 (en) | Conveying device, cleaning device and developing device | |
JP5050945B2 (en) | Coating and developing apparatus and coating and developing method | |
TWI810160B (en) | Flat glass cleaning device | |
TW201250771A (en) | Substrate cleaning apparatus | |
JP5827035B2 (en) | Belt cleaning device and continuous furnace | |
JP6329813B2 (en) | Transfer robot | |
JP5253481B2 (en) | Substrate cleaning device | |
TWI576174B (en) | Automatic cleaning device | |
JP2013206993A5 (en) | ||
JP2015054170A (en) | Cleaning device | |
TW201701960A (en) | Cleaning device for roller member and cleaning method | |
JP6096264B2 (en) | Continuous furnace | |
US10131166B2 (en) | Printing apparatus | |
JP7104580B2 (en) | Substrate cleaning equipment and substrate cleaning method | |
JP2018041754A5 (en) | ||
JP2004203688A (en) | Glass bottle treatment apparatus | |
JP4908316B2 (en) | Cleaning apparatus, flat panel display manufacturing apparatus and flat panel display | |
JP2010017658A (en) | Apparatus and method for cleaning end surface of substrate | |
JP2004241552A (en) | Apparatus and method for treatment substrate | |
JP6370578B2 (en) | Substrate cleaning device | |
JP2004089807A (en) | Cleaning devices and cleaning method | |
JP2004319547A (en) | Equipment and method for automatically carrying and draining of article, and equipment and method for automatically cleaning article | |
KR20140118253A (en) | Microfiber cleaning device for small panels with cleaner | |
CN114515717B (en) | Deoiling device before immersion gold of circuit board | |
JP2006080187A (en) | Roll brush, substrate washing device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140508 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150224 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150423 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150915 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151015 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5827035 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |