JP2012244043A - 反射型露光用マスクのパターン補正方法、反射型露光用マスクの製造方法およびプログラム - Google Patents
反射型露光用マスクのパターン補正方法、反射型露光用マスクの製造方法およびプログラム Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 反射型露光用マスクのパターン補正方法は、反射型露光用マスクのパターンが形成された主面に露光光を入射した場合における前記露光光を用いた場合のリソグラフィプロセスウィンドウを取得する際に、前記主面に対して入射角(θi)でもって入射する露光光を用いた場合のリソグラフィプロセスウィンドウ(Wi)を取得し、その後、前記iをi+1に変更して再びリソグラフィプロセスウィンドウ(Wi)を取得することを、前記iが所定の数N(≧2))に達するまで行うことにより、互い入射角が異なるN個のリソグラフィプロセスウィンドウを取得する工程(S1,S2)を含む。さらに、前記N個のリソグラフィプロセスウィンドウの重なりが一定値を超えるように、前記パターンを補正する工程(S3)を含む。
【選択図】 図1
Description
Claims (6)
- 反射型露光用マスクのパターンが形成された主面に露光光を入射した場合における前記露光光を用いた場合のリソグラフィプロセスウィンドウを取得する際に、前記主面に対して入射角(θi)でもって入射する露光光を用いた場合のリソグラフィプロセスウィンドウ(Wi)を取得し、その後、前記iをi+1に変更して再びリソグラフィプロセスウィンドウ(Wi)を取得することを、前記iが所定の数N(≧2))に達するまで行うことにより、互い入射角が異なるN個のリソグラフィプロセスウィンドウを取得する工程と、
前記N個のリソグラフィプロセスウィンドウの重なりが一定値を超えるように、前記パターンを補正する工程とを含み、
前記N個のリソグラフィプロセスウィンドウは、前記入射角が0°の場合のリソグラフィプロセスウィンドウを含み、かつ、N個のED−Treeに基づいたものであり、
前記パターンを補正する工程は、前記入射角が0°の場合の前記リソグラフィプロセスウィンドウを固定して、前記N個のリソグラフィプロセスウィンドウの重なりが前記一定値を超えるように、前記パターンを補正し、かつ、前記N個のED−Treeの共通プロセスウィンドウの重なりが前記一定値を超えるように、前記パターンの寸法を補正することを特徴とする反射型露光用マスクのパターン補正方法。 - 反射型露光用マスクのパターンが形成された主面に露光光を入射した場合における前記露光光を用いた場合のリソグラフィプロセスウィンドウを取得する際に、前記主面に対して入射角(θi)でもって入射する露光光を用いた場合のリソグラフィプロセスウィンドウ(Wi)を取得し、その後、前記iをi+1に変更して再びリソグラフィプロセスウィンドウ(Wi)を取得することを、前記iが所定の数N(≧2))に達するまで行うことにより、互い入射角が異なるN個のリソグラフィプロセスウィンドウを取得する工程と、
前記N個のリソグラフィプロセスウィンドウの重なりが一定値を超えるように、前記パターンを補正する工程と
を含むことを特徴する反射型露光用マスクのパターン補正方法。 - 前記N個のリソグラフィプロセスウィンドウは、前記入射角が0°の場合のリソグラフィプロセスウィンドウを含み、前記パターンを補正する工程は、前記入射角が0°の場合の前記リソグラフィプロセスウィンドウを固定して、前記N個のリソグラフィプロセスウィンドウの重なりが前記一定値を超えるように、前記パターンを補正することを特徴する請求項2に記載の反射型露光用マスクのパターン補正方法。
- 前記N個のリソグラフィプロセスウィンドウは、N個のED−Treeに基づいたものであり、
前記パターンを補正する工程は、前記N個のED−Treeの共通プロセスウィンドウの重なりが前記一定値を超えるように、前記パターンの寸法を補正することを特徴とする請求項2または3に記載の反射型露光用マスクのパターン補正方法。 - 請求項2ないし4のいずれか1項に記載の反射型露光用マスクのパターン補正方法により補正されたパターンを含むマスクパターンを形成する工程を含むことを特徴する反射型露光用マスクの製造方法。
- コンピュータに、反射型露光用マスクのパターンが形成された主面に露光光を入射した場合における前記露光光を用いた場合のリソグラフィプロセスウィンドウを取得させる際に、前記主面に対して入射角(θi)でもって入射する露光光を用いた場合のリソグラフィプロセスウィンドウ(Wi)を取得させ、その後、前記iをi+1に変更して再びリソグラフィプロセスウィンドウ(Wi)を取得させることを、前記iが所定の数N(≧2))に達するまで行わせることにより、互い入射角が異なるN個のリソグラフィプロセスウィンドウを取得させる手順と、前記N個のリソグラフィプロセスウィンドウの重なりが一定値を超えるように、前記パターンを補正させる手順とを実行させるためのプログラム。
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JP2011114623A JP2012244043A (ja) | 2011-05-23 | 2011-05-23 | 反射型露光用マスクのパターン補正方法、反射型露光用マスクの製造方法およびプログラム |
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CN113631983A (zh) * | 2019-02-06 | 2021-11-09 | 卡尔蔡司Smt有限责任公司 | 确定反射式光刻掩模在其操作环境中的图案元件的放置的装置和方法 |
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2011
- 2011-05-23 JP JP2011114623A patent/JP2012244043A/ja not_active Withdrawn
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CN113631983A (zh) * | 2019-02-06 | 2021-11-09 | 卡尔蔡司Smt有限责任公司 | 确定反射式光刻掩模在其操作环境中的图案元件的放置的装置和方法 |
CN113631983B (zh) * | 2019-02-06 | 2023-10-31 | 卡尔蔡司Smt有限责任公司 | 确定反射式光刻掩模的图案元件的放置的装置和方法 |
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