JP2012231025A - Thermoelectric conversion module - Google Patents

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弘優 徳留
Naoya Takeuchi
直哉 竹内
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermoelectric conversion module whose bonding interface is prevented from oxidizing to reduce loss of output power.SOLUTION: The thermoelectric conversion module comprises: thermoelectric conversion elements (5, 6) which convert a temperature difference into power and are made of a metal oxide; an electrode member (3) for extracting power converted by the thermoelectric conversion elements; and a conductive bonding layer (4) bonding the thermoelectric conversion elements to the electrode member. The bonding layer has oxygen intrusion prevention means (11) for preventing oxygen from intruding into the bonding layer.

Description

本発明は、熱電変換モジュールに係わり、酸化物を用いた熱電変換材料と電極金属との接合に関する。   The present invention relates to a thermoelectric conversion module, and relates to joining of a thermoelectric conversion material using an oxide and an electrode metal.

熱電変換材料は、熱を直接、電気に変換することのできる材料として広く知られている。熱電変換材料の一端を高温として、他端を低温とすると、高温部と低温部の温度差に応じて端部の間に起電力が発生する。この材料の端部の間に発生した起電力を熱起電力と呼び、このような効果はゼーベック効果といわれている。ゼーベック効果は、熱電変換素子の接合部を高温にしたり低温にしたりすることで電流の方向は逆になる。また、熱電変換材料の他端から電流を流すと、両端に温度差が生じる現象はペルチェ効果といわれており、これらの効果を持つ素子を熱電変換素子と呼んでいる。熱電変換材料は、一般的に、熱によって励起されるキャリアが電子であるn型半導体と、ホールであるp型半導体が知られている。これらの材料を、電極を介して交互に接合してπ型モジュールとする構成がよく知られている。このπ型モジュールは、p型半導体の一端とn型半導体の一端とを電極により接合して構成され、この接合部を高温として、p型半導体及びn型半導体の他端を低温にすると、高温部と低温部の温度差に応じてp型半導体及びn型半導体の端部の間に発生する起電力が効率よく取り出せる。また、温度差が大きくなるほど大きな起電力が得られる。 Thermoelectric conversion materials are widely known as materials that can directly convert heat into electricity. When one end of the thermoelectric conversion material is set to a high temperature and the other end is set to a low temperature, an electromotive force is generated between the end portions according to the temperature difference between the high temperature portion and the low temperature portion. An electromotive force generated between the end portions of this material is called a thermoelectromotive force, and such an effect is called a Seebeck effect. The Seebeck effect reverses the direction of the current by increasing or decreasing the temperature of the junction of the thermoelectric conversion element. In addition, when a current is passed from the other end of the thermoelectric conversion material, a phenomenon in which a temperature difference occurs between both ends is called a Peltier effect, and an element having these effects is called a thermoelectric conversion element. In general, n-type semiconductors in which carriers excited by heat are electrons and p-type semiconductors in which holes are holes are known as thermoelectric conversion materials. A configuration in which these materials are alternately joined via electrodes to form a π-type module is well known. This π-type module is configured by joining one end of a p-type semiconductor and one end of an n-type semiconductor with an electrode. When this junction is at a high temperature and the other end of the p-type semiconductor and the n-type semiconductor is at a low temperature, the temperature is high. The electromotive force generated between the end portions of the p-type semiconductor and the n-type semiconductor can be efficiently extracted according to the temperature difference between the portion and the low temperature portion. Moreover, a larger electromotive force can be obtained as the temperature difference increases.

熱電変換材料は、様々なものがあり、金属が主成分のビスマス・テルル(BiTe)、鉛テルル(PbTe)、シリコン・ゲルマニウム(SiGe)、鉄シリサイド(FeSi)などが、知られている。これら金属系の熱電変換材料は、高い熱電変換性能を持つものが報告されているが、例えば400℃以上の高温で用いた場合、大気中などの酸素のある雰囲気下では、材料の酸化が進行して使用できなくなるため、大気中での使用には向いていない。 There are various thermoelectric conversion materials, and bismuth tellurium (BiTe), lead tellurium (PbTe), silicon germanium (SiGe), iron silicide (FeSi), and the like, which are mainly composed of metals, are known. These metal-based thermoelectric conversion materials have been reported to have high thermoelectric conversion performance. For example, when used at a high temperature of 400 ° C. or higher, oxidation of the material proceeds in an atmosphere containing oxygen such as in the air. Therefore, it is not suitable for use in the atmosphere.

一方、上記材料以外にも酸化物が主成分の酸化亜鉛(ZnO)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)、コバルト酸ナトリウム(NaCo)などの酸化物系の材料も広く知られている。これら酸化物系の熱電変換材料は、大気中で安定なので金属系の材料は使用できない高温で高い熱電性能が発揮できる。 On the other hand, oxide materials such as zinc oxide (ZnO), strontium titanate (SrTiO 3 ), and sodium cobaltate (NaCo 2 O 4 ) whose main component is oxide are also widely known in addition to the above materials. Since these oxide-based thermoelectric conversion materials are stable in the atmosphere, high thermoelectric performance can be exhibited at high temperatures where metal-based materials cannot be used.

酸化亜鉛を主成分とした熱電変換材料は、三価もしくは四価の金属イオンをドープすることによってn型熱電変換材料の中でも高い無次元性能指数ZT(=SσT/κ:Sはゼーベック係数、σは導電率、Tは絶対温度、κは熱伝導率)を示すことが知られている。このZTが熱電変換材料の性能は表す指標として、評価され大きいほど熱電性能が優れる。上記金属イオンは、亜鉛(Zn)よりも多くの価電子を有することから、亜鉛のサイトと置換することで、キャリアとなる自由電子を生成する。好ましくは、Al3+、Ca3+、In3+、Y3+、Ti4+、Sn4+、Zr4+、Si4+、Ce4+、La3+から選択する1種を少なくとも含む。 A thermoelectric conversion material mainly composed of zinc oxide is a high dimensionless figure of merit ZT (= S 2 σT / κ: S is a Seebeck coefficient) among n-type thermoelectric conversion materials by doping trivalent or tetravalent metal ions. , Σ is a conductivity, T is an absolute temperature, and κ is a thermal conductivity). As ZT is evaluated as an index representing the performance of the thermoelectric conversion material, the larger the value, the better the thermoelectric performance. Since the metal ion has more valence electrons than zinc (Zn), it substitutes for a zinc site to generate free electrons serving as carriers. Preferably, at least one selected from Al 3+ , Ca 3+ , In 3+ , Y 3+ , Ti 4+ , Sn 4+ , Zr 4+ , Si 4+ , Ce 4+ and La 3+ is included.

これらの材料をモジュール化する際の接合部は、高温にする接合部と低温にする接合部の両方ともに、機械的および電気的に良好な接合が必要となる。金属系の材料をモジュール化する際は、はんだ付けやろう付け、溶射など様々な手段が用いられている。金属系の熱電変換材料は、性能を発揮する使用温度域が数百度と比較的低い温度であり、かつ金属であることから、電極との接合が比較的容易である。 As for the joints when these materials are modularized, both mechanically and electrically favorable joints are required for both the joints that are heated and the joints that are cooled. When modularizing metal materials, various means such as soldering, brazing, and thermal spraying are used. Since the metal-based thermoelectric conversion material has a relatively low operating temperature range of several hundred degrees to exhibit performance and is a metal, it is relatively easy to bond to the electrode.

一方、酸化物系の熱電変換材料は、使用温度域がより高い範囲で熱電変換性能が高く、かつ大気中での使用が期待され、接合部には耐熱性および耐酸化性が要求されるが、ハンダ等による接合は耐熱性が低く不適当である。また、一般的に導電性を有する金属で構成される電極とは、濡れ性が悪い事もあり接合が難しいとされている。その中でも、酸化物系の熱電材料として知られている酸化亜鉛を用いた熱電変換モジュールの接合方法は、いくつか報告例がある。 On the other hand, oxide-based thermoelectric conversion materials have high thermoelectric conversion performance in a higher operating temperature range and are expected to be used in the atmosphere, and the joints are required to have heat resistance and oxidation resistance. Bonding with solder or the like is not suitable because of its low heat resistance. Further, it is generally considered that joining with an electrode made of a metal having conductivity is difficult due to poor wettability. Among them, there are some reported examples of a method for joining thermoelectric conversion modules using zinc oxide, which is known as an oxide-based thermoelectric material.

特許文献1は、酸化物からなる熱電変換材料を低抵抗で接続するため貴金属粉末と特定の複合酸化物とを配合した導電性ペーストを熱電変換材料の接続用材料とすると接続部分の剥離が生じにくく、良好な熱電変換性能を長期間維持することが可能となったと報告している。 In Patent Document 1, when connecting a thermoelectric conversion material made of oxide with a low resistance and a conductive paste containing a noble metal powder and a specific composite oxide is used as a connection material for the thermoelectric conversion material, peeling of the connection portion occurs. It is difficult to maintain good thermoelectric conversion performance for a long time.

また、特許文献2は熱電変換材料である酸化亜鉛を溶射および真空中にてろう付けすると、表面への濡れ性が低いことや、亜鉛の蒸発が起こることによって接合困難であったため、溶射法および無電解メッキ法によって熱電変換材料の一部を接合部として電極と熱電変換素子を機械的にかしめ、電気抵抗を向上させずに接合する方法である。つまり、溶射および無電解メッキは大掛かりな溶射装置およびめっき装置を必要とする。   Patent Document 2 discloses that when zinc oxide, which is a thermoelectric conversion material, is thermally sprayed and brazed in a vacuum, it is difficult to join due to low wettability to the surface or evaporation of zinc. In this method, an electrode and a thermoelectric conversion element are mechanically caulked using a part of a thermoelectric conversion material as a bonding portion by an electroless plating method and bonded without improving the electric resistance. That is, thermal spraying and electroless plating require a large thermal spraying apparatus and plating apparatus.

また、特許文献3は熱電変換素子は高温で使用されると性能が低下することがあるため、シリカ、アルミナ、又は炭化珪素などによって熱電変換素子の表面の特に稜や頂点にも皮膜し覆うことによって、高温雰囲気下で例えば酸化性ガスの使用によっても特性低下を抑制することができるとある。   Further, in Patent Document 3, since the performance of the thermoelectric conversion element may deteriorate when used at a high temperature, the surface of the thermoelectric conversion element is particularly covered and covered with silica, alumina, silicon carbide or the like. Therefore, it is possible to suppress deterioration of characteristics even by using, for example, an oxidizing gas in a high temperature atmosphere.

国際公開番号WO05/036661号公報(図5)International Publication Number WO05 / 036661 (FIG. 5) 特開2005−19783号公報(図4)Japanese Patent Laying-Open No. 2005-19783 (FIG. 4) 特開2009−32893号公報(図9)JP 2009-32893 A (FIG. 9)

熱電変換材料として用いられる酸化亜鉛は、ドーパントとなる金属元素を含み、結晶格子中の亜鉛のサイトに金属イオンが置換されている。この結晶格子中では、イオン価で二価である亜鉛の代わりに三価のアルミニウムが置換されているため、二価の酸素と価数の相違が生じるため、導電性が付与される。また、結晶格子には酸素欠陥が生じており、そのため導電性が付与される。大気中で安定な酸化物だが、高温の大気下での使用においては、バルクは安定で熱電性能を維持するのだが、表面にはわずかながら再酸化が起こることがある。この再酸化により酸化亜鉛層は導電性が低くなる。特に、電極との接合界面が大気との接触が起こりうる構造、例えば微細な孔を有し空気が侵入することがある接合界面である場合、再酸化によって、接合界面も絶縁化していき電気伝導性が悪くなっていくことがある。   Zinc oxide used as a thermoelectric conversion material contains a metal element serving as a dopant, and metal ions are substituted at zinc sites in a crystal lattice. In this crystal lattice, trivalent aluminum is substituted in place of zinc that is ionic in terms of valence, so that a difference in valence from that of divalent oxygen occurs, and thus conductivity is imparted. In addition, oxygen defects are generated in the crystal lattice, and therefore conductivity is imparted. Although it is an oxide that is stable in the atmosphere, when used in a hot atmosphere, the bulk is stable and maintains thermoelectric performance, but a slight reoxidation may occur on the surface. This reoxidation makes the zinc oxide layer less conductive. In particular, if the bonding interface with the electrode is a structure that can come into contact with the atmosphere, for example, a bonding interface that has fine pores and air may enter, the re-oxidation will also insulate the bonding interface and conduct electricity. Sexuality may get worse.

上記特許文献1および特許文献2においては、良好な接合ができたとあるが、接合界面の形状および状態に言及しているものではなく、例えば、空孔の存在する接合界面であった場合に、熱電材料および電極材料の接合界面の酸化による変性が原因となる性能劣化には対応するものではない。 In the above Patent Document 1 and Patent Document 2, although it is said that good bonding has been made, it does not refer to the shape and state of the bonding interface, for example, when it is a bonding interface in which pores exist, It does not correspond to the performance degradation caused by the denaturation due to oxidation of the interface between the thermoelectric material and the electrode material.

貴金属ペースト、例えば銀(Ag)ペーストを用いて接合し焼成した後の接合界面は、塗布方法によっては電極との接合界面に空孔ができ絶縁層を形成することがある。これは、一般的な有機溶剤をバインダーとした銀ペーストを用いて熱電変換材料を接合しようとすると、熱電変換素子と電極材料の接合界面に、乾燥工程で有機溶媒を揮発させる際に、細孔が形成される。この結果、焼成後に電極との接合界面にできた空孔が、酸素を含む大気成分の経路となって素子表面の酸化を起こし、経時的に電気抵抗が上昇し、高い電気抵抗となる。つまり、機械的には良好な接合であっても電気的には不良な接合となる。   Depending on the application method, the bonding interface after bonding with a noble metal paste, for example, silver (Ag) paste and firing, may have a void at the bonding interface with the electrode, thereby forming an insulating layer. This is because when a thermoelectric conversion material is bonded using a silver paste containing a general organic solvent as a binder, pores are generated when the organic solvent is volatilized at the bonding interface between the thermoelectric conversion element and the electrode material in the drying process. Is formed. As a result, vacancies formed at the bonding interface with the electrode after firing cause oxidation of the element surface as a route for atmospheric components including oxygen, and the electrical resistance increases with time, resulting in a high electrical resistance. That is, even if the bonding is mechanically good, the bonding is poor electrically.

また、銀ペーストであっても銀粒子が完全に溶解する程の高温、例えば銀の融点960℃付近で大気中にて焼成すると、良好な接合界面を形成できると考えられるが、酸化亜鉛の表面再酸化が容易に起こりやすく、かつ不純物層の形成も考えられ、焼成後の接合界面は高い電気抵抗を示すことがある。   Further, even if it is a silver paste, it is considered that a good bonding interface can be formed by firing in air at a high temperature at which silver particles are completely dissolved, for example, at a silver melting point of about 960 ° C. Re-oxidation easily occurs and an impurity layer may be formed, and the bonded interface after firing may exhibit high electrical resistance.

また、特許文献3においては表面からの酸化による熱電性能の低下の抑制を行っているが、熱電変換素子と電極の接合界面から酸化ガスが侵入した場合には、結果的に接合界面から熱電変換素子が酸化されてしまい熱電特性の低下が起こってしまう。   Further, in Patent Document 3, the deterioration of thermoelectric performance due to oxidation from the surface is suppressed. However, when an oxidizing gas enters from the bonding interface between the thermoelectric conversion element and the electrode, the thermoelectric conversion results from the bonding interface. The element is oxidized and the thermoelectric characteristics are degraded.

そこで、本発明では、熱電変換モジュールの接合界面に生じる酸化を防止し、出力電力のロスが少ない熱電変換モジュールを提供することを目的とした。   Therefore, an object of the present invention is to provide a thermoelectric conversion module that prevents oxidation generated at the junction interface of the thermoelectric conversion module and that has little loss of output power.

上記目的を達成するために、本発明は、熱電変換モジュールにおいて、温度差を電力に変換するための、金属酸化物からなる熱電変換素子と、前記熱電変換素子により変換された電力を取り出すための電極部材と、前記熱電変換素子と前記電極部材とを接合する導電性の接合層と、からなり、前記接合層は、前記接合層に酸素が侵入することを防止するための、酸素侵入防止手段を有することを特徴としている。 In order to achieve the above object, in the thermoelectric conversion module, the present invention provides a thermoelectric conversion element made of a metal oxide for converting a temperature difference into electric power, and for extracting electric power converted by the thermoelectric conversion element. Oxygen intrusion prevention means for preventing the invasion of oxygen into the joining layer, comprising an electrode member and a conductive joining layer for joining the thermoelectric conversion element and the electrode member. It is characterized by having.

このように構成された本発明においては、熱電変換モジュールの使用中において、雰囲気中の酸素が接合層に侵入することがない。このため、接合層に侵入した酸素が熱電変換素子や電極部材に到達し、これらを酸化させ、電気抵抗を増大させてしまうことを防止することができる。   In the present invention configured as described above, oxygen in the atmosphere does not enter the bonding layer during use of the thermoelectric conversion module. For this reason, it can prevent that the oxygen which penetrate | invaded into the joining layer reaches | attains a thermoelectric conversion element and an electrode member, oxidizes these, and increases an electrical resistance.

本発明において、好ましくは、酸素侵入防止手段は、接合層の外周面全体を覆うように形成された緻密質被膜である。
このように構成された本発明によれば、
接合層の外周面全体が緻密質被膜で覆われ、大気に露出しないため、接合層への酸素の侵入を確実に防止することができる。
In the present invention, preferably, the oxygen intrusion prevention means is a dense film formed so as to cover the entire outer peripheral surface of the bonding layer.
According to the present invention configured as described above,
Since the entire outer peripheral surface of the bonding layer is covered with a dense film and is not exposed to the atmosphere, oxygen can be reliably prevented from entering the bonding layer.

本発明において、好ましくは、緻密質皮膜は、シリケートを主成分とするアモルファス酸化物からなる。
このように構成された本発明によれば、接合層の外周に形成された緻密質被膜がアモルファス構造のシリケート酸化物であるため、酸素が侵入するような細孔が形成されずに、接合層を確実に大気に露出しない。
In the present invention, preferably, the dense film is made of an amorphous oxide containing silicate as a main component.
According to the present invention configured as described above, since the dense film formed on the outer periphery of the bonding layer is a silicate oxide having an amorphous structure, the bonding layer does not form pores that allow oxygen to enter. Are not exposed to the atmosphere.

本発明において、好ましくは、電極部材は、熱電変換素子の接合面に対応する凹部を有する。
このように構成された本発明によれば、接合層が凹部内に収容されるため、緻密質皮膜のうち外気に曝された部分と、接合層との距離を長く取ることができる。この結果、接合層の一部に欠損が生じた場合でも、酸素が接合層に到達する可能性を低く抑えることが可能となる。
In this invention, Preferably, an electrode member has a recessed part corresponding to the joint surface of a thermoelectric conversion element.
According to the present invention configured as described above, since the bonding layer is accommodated in the recess, the distance between the portion of the dense film exposed to the outside air and the bonding layer can be increased. As a result, even when a defect occurs in a part of the bonding layer, the possibility of oxygen reaching the bonding layer can be reduced.

本発明によれば、熱電変換モジュールの接合界面に生じる酸化を防止し、出力電力のロスが少ない熱電変換モジュールを提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the oxidation which arises in the joining interface of a thermoelectric conversion module can be prevented, and the thermoelectric conversion module with little loss of output electric power can be provided.

本発明の第1の実施形態であるユニカップル(熱電変換素子を一対ずつ用いた熱電変換モジュール)の構成および実施形態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure and embodiment of the uni couple (thermoelectric conversion module using a pair of thermoelectric conversion elements) which is the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態であるユニカップルの構成および実施形態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure and embodiment of the unicouple which is the 2nd Embodiment of this invention.

以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(n型素子材料)
n型酸化物熱電材料としては、電子がキャリアとなり熱電材料として機能するものであればよい。具体的には、酸化亜鉛、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)、マンガン酸カルシウム(CaMnO)を主成分とするものが好ましい。最も好ましくは、酸化亜鉛を主成分とするものであり、ドーパントとして、Al、Ga、In、希土類金属(Y、Sc、ランタノイド)から選ばれる少なくとも1種を含み、室温(20℃)で100S/cm以上の導電性を示すものを用いることができる。
(N-type element material)
Any n-type oxide thermoelectric material may be used as long as electrons function as carriers and function as the thermoelectric material. Specifically, those containing zinc oxide, strontium titanate (SrTiO 3 ), and calcium manganate (CaMnO 3 ) as main components are preferable. Most preferably, the main component is zinc oxide, which contains at least one selected from Al, Ga, In, and rare earth metals (Y, Sc, lanthanoid) as a dopant, and is 100 S / at room temperature (20 ° C.). Those having conductivity of cm or more can be used.

(p型素子材料)
p型酸化物熱電材料としては、正孔がキャリアとなり熱電材料として機能するものであればよい。具体的には、コバルトを含む層状酸化物を主成分とするものが好ましい。最も好ましくは、コバルト酸ナトリウム(NaCoO2(x=0〜1))あるいはコバルト酸カルシウム([Ca2CoO9]xCoO2)を含む材料である。
(P-type element material)
Any p-type oxide thermoelectric material may be used as long as holes serve as carriers and function as the thermoelectric material. Specifically, what has a layered oxide containing cobalt as a main component is preferable. Most preferred is a material containing sodium cobaltate (Na x CoO 2 (x = 0 to 1)) or calcium cobaltate ([Ca 2 CoO 9 ] x CoO 2 ).

(モジュール作製法)
本発明における代表的な熱電変換モジュールの構成となる模式図を図1に示す。高温側絶縁基板1と電極3は絶縁性接合層2で接合されている。電極3とn型熱電変換素子5は、導電性接合層4で接合され、n型熱電変換素子−導電性接合層接合界面7aを形成する。電極3とp型熱電変換素子6は、導電性接合層4で接合され、p型熱電変換素子−導電性接合層接合界面7bを形成する。低温側絶縁基板10と電極3は絶縁性接合層2で接合されている。
(Module manufacturing method)
The schematic diagram used as the structure of the typical thermoelectric conversion module in this invention is shown in FIG. The high temperature side insulating substrate 1 and the electrode 3 are bonded by an insulating bonding layer 2. The electrode 3 and the n-type thermoelectric conversion element 5 are joined by the conductive bonding layer 4 to form an n-type thermoelectric conversion element-conductive bonding layer bonding interface 7a. The electrode 3 and the p-type thermoelectric conversion element 6 are joined by the conductive bonding layer 4 to form a p-type thermoelectric conversion element-conductive bonding layer bonding interface 7b. The low temperature side insulating substrate 10 and the electrode 3 are joined by the insulating joining layer 2.

(温度差付与)
高温側絶縁基板1には、高温熱源8が接触しており投入熱量Qinが加わることで高温となる。一方、低温側絶縁基板10には低温冷却源9が接触しており熱量Qoutが流出していき、低温となる。このため、熱電変換モジュールAは投入された熱量Qinに応じた高温と、流出した熱量Qoutに応じた低温となり温度差が付与される。
(Temperature difference provided)
The high temperature-side insulating substrate 1, a high temperature to join the heat quantity Q in are in contact high temperature heat source 8. On the other hand, the low-temperature side insulating substrate 10 is in contact with the low-temperature cooling source 9, and the amount of heat Q out flows out, resulting in a low temperature. Therefore, the thermoelectric conversion module A and the high temperature corresponding to the heat quantity Q in, the temperature difference becomes low in accordance with the leaked heat Q out is given.

(基板)
絶縁基板は、電気的絶縁性の保持や均熱性および機械強度の向上等の目的で用いる。本来、基板の材質は特に限定されないが、高温において、溶融、破損等を生じることが無く、化学的に安定であり、しかも熱電変換材料、接合材等と反応しない、熱伝導性の高い材料を考えると絶縁材料を用いることが好ましい。熱伝導性が高い基板を用いることによって、素子の高温部分の温度を高温熱源の温度に近づけることができ、熱起電圧を高くすることが可能となる。また、本発明で用いる熱電変換材料が酸化物であることから、熱膨張率などを考慮すると、基板材料としては、アルミナ等の酸化物セラミックスを用いることが好ましい。
(substrate)
The insulating substrate is used for the purpose of maintaining electrical insulation, improving thermal uniformity and mechanical strength. Originally, the material of the substrate is not particularly limited, but a material having high thermal conductivity that does not cause melting or breakage at high temperatures, is chemically stable, and does not react with thermoelectric conversion materials, bonding materials, etc. Considering it, it is preferable to use an insulating material. By using a substrate having high thermal conductivity, the temperature of the high temperature portion of the element can be brought close to the temperature of the high temperature heat source, and the thermal electromotive voltage can be increased. In addition, since the thermoelectric conversion material used in the present invention is an oxide, it is preferable to use oxide ceramics such as alumina as the substrate material in consideration of the coefficient of thermal expansion.

(接合方法)
熱電変換素子を電極に接合する場合には、低抵抗で接続可能な接合剤を用いることが好
ましい。例えば、銀(Ag)、金(Au)、白金(Pt)等の貴金属ペースト、銀ろう、はんだ等を好適に用いることができる。本発明では焼成によって機械的および電気的に良好な接合が容易に得られ、取り扱いも容易な銀ペーストを用いることが好ましい。このように形成した接合層の外周面全体を覆うように、アモルファス酸化物を主成分とした緻密質被膜を形成した。
(Joining method)
When the thermoelectric conversion element is bonded to the electrode, it is preferable to use a bonding agent that can be connected with low resistance. For example, a noble metal paste such as silver (Ag), gold (Au), platinum (Pt), silver solder, solder, or the like can be suitably used. In the present invention, it is preferable to use a silver paste that can easily obtain mechanical and electrical good bonding by firing and is easy to handle. A dense coating composed mainly of amorphous oxide was formed so as to cover the entire outer peripheral surface of the bonding layer thus formed.

(焼成温度)
本発明の銀ペーストの焼成温度としては、500〜800℃が好ましい。この温度で焼成することにより、本発明で用いた銀ペーストは溶解し、確実な接合が可能となる。尚、大気中で400℃付近では、酸化亜鉛の表面酸化は起こらないため、界面は良好な導電性を持っているものと考えられるが、銀粒子の溶解が不十分なため、接合するには不適当である。
(Baking temperature)
As a baking temperature of the silver paste of this invention, 500-800 degreeC is preferable. By baking at this temperature, the silver paste used in the present invention is dissolved and reliable bonding is possible. In addition, since the surface oxidation of zinc oxide does not occur at around 400 ° C. in the atmosphere, it is considered that the interface has good conductivity. Inappropriate.

(n型熱電素子の作製)
n型熱電変換素子の製法を示す。酸化亜鉛粉末(高純度化学研究所製 粒径約1μm)、γ-アルミナ粉末(高純度化学研究所製 粒径約2〜3μm)、イットリア粉末(信越化学製 粒径約0.2μm)を用意し、これらの原料を所定のモル比Zn:Al:Y=95:3:2の割合となるように秤量した。これをポリエチレン製ボトルに投入し、ナイロン被覆した直径10mm鉄球ボールを粉末重量の10倍となるように加え、乾式ボールミル処理を15時間行った。金属メッシュふるいにより粉末を分取した後、一軸プレス成型でプレス処理し、さらに冷間静水等方圧プレス(CIP)処理することにより、直径約25mmで厚み約7mmの円盤状ペレットを作製した。この円盤状ペレットを大気中で1400 ℃で約10時間焼成することで焼結させ作製した。このように作製したn熱電変換材料をダイヤモンドカッター(ビューラー社製アイソメット4000)を用いて4×4×10mmの柱状の素子とした。
(Production of n-type thermoelectric elements)
The manufacturing method of an n-type thermoelectric conversion element is shown. Zinc oxide powder (made by High Purity Chemical Laboratory, particle size of about 1 μm), γ-alumina powder (made by High Purity Chemical Laboratory, particle size of about 2 to 3 μm), yttria powder (made by Shin-Etsu Chemical, particle size of about 0.2 μm) are available These raw materials were weighed so as to have a predetermined molar ratio of Zn: Al: Y = 95: 3: 2. This was put into a polyethylene bottle, and a 10 mm diameter iron ball ball coated with nylon was added so as to be 10 times the weight of the powder, followed by a dry ball mill treatment for 15 hours. After separating the powder with a metal mesh sieve, it was pressed by uniaxial press molding and further subjected to cold isostatic pressing (CIP) to produce a disk-shaped pellet having a diameter of about 25 mm and a thickness of about 7 mm. This disk-shaped pellet was sintered and produced by firing at 1400 ° C. in the atmosphere for about 10 hours. The n thermoelectric conversion material produced in this way was used as a 4 × 4 × 10 mm 3 columnar element using a diamond cutter (Ibet 4000 manufactured by Buehler).

(p型熱電素子の作製)
p型熱電変換素子の製法を示す。酸化コバルト粉末(高純度化学研究所製)、炭酸ナトリウム(和光純薬製)を用意し、これらの原料を所定のモル比Na:Co=1.1:2の割合となるように秤量した、炭酸ナトリウム粉末は焼成過程でNaが飛散し量論比どおりの焼結体が得られないため、10%ほど過剰に入れることが望ましい。これをポリエチレン製ボトルに投入し、ナイロン被覆した直径10mm鉄球ボールを粉末重量の10倍となるように加え、乾式ボールミル処理を24時間行った。得られた粉末を分取した後、大気中で800℃で12時間焼成した。得られた粉末にさらに10%過剰な炭酸ナトリウムを加え、上記のように乾式ボールミル処理し、大気中で800℃で12時間焼成した。これを一軸プレス成型でプレス処理し、さらに冷間静水等方圧プレス(CIP)処理し、直径約25mmで厚み約7mmの円盤状ペレットを作製した。この円盤状ペレットを大気雰囲気中900 ℃で約12 時間焼成することで焼結させ作製した。このように作製したp熱電変換材料をダイヤモンドカッター(ビューラー社製アイソメット)を用いて4×4×10mmの柱状の素子とした。
(Production of p-type thermoelectric element)
The manufacturing method of a p-type thermoelectric conversion element is shown. Cobalt oxide powder (manufactured by High Purity Chemical Laboratory) and sodium carbonate (manufactured by Wako Pure Chemical Industries) were prepared, and these raw materials were weighed so as to have a predetermined molar ratio of Na: Co = 1.1: 2. Sodium carbonate powder is desirably added in an excess of about 10% because Na is scattered during the firing process and a sintered body having a stoichiometric ratio cannot be obtained. This was put into a polyethylene bottle, and a 10 mm diameter iron ball ball coated with nylon was added so as to be 10 times the weight of the powder, followed by a dry ball mill treatment for 24 hours. The obtained powder was collected and then fired at 800 ° C. for 12 hours in the air. A 10% excess of sodium carbonate was further added to the obtained powder, followed by a dry ball mill treatment as described above, followed by firing at 800 ° C. for 12 hours in the air. This was pressed by uniaxial press molding, and further subjected to cold isostatic pressing (CIP) to produce a disk-shaped pellet having a diameter of about 25 mm and a thickness of about 7 mm. This disk-shaped pellet was sintered and produced by firing at 900 ° C. for about 12 hours in an air atmosphere. The p thermoelectric conversion material produced in this way was used as a 4 × 4 × 10 mm 3 columnar element using a diamond cutter (Ibet made by Buehler).

(モジュールの作製)
上記製法で作製した熱電変換素子を電極3に接合させて、さらにこの電極をアルミナ基板上に接合させた。電極3は、銀板(ニラコ製)を用いて12×6×1 mmに切断し、サンドペーパーでバリ取りおよび表面を研磨して用いた。上記n型熱電変換素子5と電極3の間の導電性接合層4は、銀ペーストを用いて作製し、電極3と高温側絶縁基板1および低温側絶縁基板10との接合に用いた。絶縁性接合層2はセラミックボンド(アレムコ社製セラマボンド)を用いて作製した。素子の一面に銀ペーストを各々適量塗布し、電極上に圧をかけながら接合し、100℃付近で乾燥させた。これを、800℃2時間で焼成した。上記n型熱電変換素子5と電極3の間の導電性接合層4の外周部には、ガラス溶液(クラリオン社製 アクアミカNN310)を塗布し溶媒除去のため乾燥後、800℃2時間で焼成し緻密質被膜11を形成した。
(Manufacture of modules)
The thermoelectric conversion element produced by the above production method was joined to the electrode 3, and this electrode was further joined onto the alumina substrate. The electrode 3 was cut into 12 × 6 × 1 mm 3 using a silver plate (manufactured by Niraco), deburred with sandpaper, and the surface was polished. The conductive bonding layer 4 between the n-type thermoelectric conversion element 5 and the electrode 3 was prepared using a silver paste and used for bonding the electrode 3 to the high temperature side insulating substrate 1 and the low temperature side insulating substrate 10. The insulating bonding layer 2 was prepared using a ceramic bond (Ceramabond manufactured by Alemco). An appropriate amount of silver paste was applied to one surface of the device, bonded onto the electrode while applying pressure, and dried at around 100 ° C. This was baked at 800 ° C. for 2 hours. On the outer periphery of the conductive bonding layer 4 between the n-type thermoelectric conversion element 5 and the electrode 3, a glass solution (Aquarica NN310 manufactured by Clarion Co., Ltd.) is applied, dried for solvent removal, and baked at 800 ° C. for 2 hours. A dense coating 11 was formed.

次に、本発明の実施形態である熱電変換モジュールの接合方法の作用を説明する。本発明の接合方法によれば、緻密質被膜11は、導電性接合層4を大気に露出することなく、細孔のない接合界面保護層となる。このため、大気中にて高温で使用した場合でも、酸化亜鉛の界面であるn型熱電変換素子−導電性接合層接合界面7aを再酸化させる酸素が到達しないので、酸化せずに電気抵抗の上昇がなく、接合界面にて電流のロスが少ないため、出力電力を効果的に向上および維持することができる。   Next, the effect | action of the joining method of the thermoelectric conversion module which is embodiment of this invention is demonstrated. According to the bonding method of the present invention, the dense coating 11 becomes a bonding interface protective layer having no pores without exposing the conductive bonding layer 4 to the atmosphere. For this reason, even when used at high temperature in the atmosphere, oxygen for re-oxidizing the n-type thermoelectric conversion element-conductive bonding layer bonding interface 7a, which is the interface of zinc oxide, does not reach, so that the electric resistance is not oxidized. Since there is no increase and there is little current loss at the junction interface, the output power can be effectively improved and maintained.

また、形成する緻密質被膜11はその厚みが十分厚ければ、n型熱電変換素子−導電性接合層接合界面7aの外周面全体を覆い、導電性接合層4とも機械的に良好な接合が形成されてなるため、熱電変換素子を機械的に良好な接合とすることができる。   Further, if the dense coating 11 to be formed is sufficiently thick, it covers the entire outer peripheral surface of the n-type thermoelectric conversion element-conductive bonding layer bonding interface 7a, and mechanically good bonding with the conductive bonding layer 4 is achieved. Since it is formed, the thermoelectric conversion element can be mechanically excellently bonded.

また、ガラス溶液を塗布し空気中にて乾燥して形成された緻密質被膜11は、アモルファス構造のシリケート酸化物であるため、酸素が侵入するような細孔が形成されずに、接合層を確実に大気に露出しない。   The dense film 11 formed by applying a glass solution and drying in the air is a silicate oxide having an amorphous structure. Do not expose to atmosphere.

図2に本発明の第2の実施形態を示す。第2の実施形態は、図1に示す本発明の第1の実施形態であるユニカップルと同様の構成であり図2に示す構成のみが異なる。
n型熱電変換素子5は、n型熱電変換素子−導電性接合層接合界面7aを介し、導電性接合層4と接合することにより電気的接合を形成するが、導電性接合層4が前記熱電変換素子の接合面に対応する凹部を有し、この凹部にて前記n型熱電変換素子−導電性接合層接合界面7aを緻密質被膜11が覆っている。 このように構成すれば、接合層が凹部内に収容されるため、緻密質皮膜のうち外気に曝された部分と、接合層との距離を長く取ることができる。この結果、接合層の一部に欠損が生じた場合でも、酸素が接合層に到達する可能性を低く抑えることが可能となる。
FIG. 2 shows a second embodiment of the present invention. The second embodiment has the same configuration as the unicouple according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 1, and only the configuration shown in FIG. 2 is different.
The n-type thermoelectric conversion element 5 forms an electrical bond by bonding to the conductive bonding layer 4 via the n-type thermoelectric conversion element-conductive bonding layer bonding interface 7a. A concave portion corresponding to the bonding surface of the conversion element is provided, and the dense film 11 covers the n-type thermoelectric conversion element-conductive bonding layer bonding interface 7a in the concave portion. If comprised in this way, since a joining layer is accommodated in a recessed part, the distance of the part exposed to external air among dense films and a joining layer can be taken long. As a result, even when a defect occurs in a part of the bonding layer, the possibility of oxygen reaching the bonding layer can be reduced.

以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。例えば、上記実施形態において、電極の材質は銀板以外にもSUS材、絶縁基板上に銀ペーストを直接、回路形状をスクリーン印刷した電極であってもよい。また実施例中の焼成工程は、大気で行っているが、窒素やアルゴン雰囲気などの不活性ガス中で行ってもよい。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope of the invention described in the claims. Needless to say, these are also included within the scope of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the material of the electrode may be an SUS material other than a silver plate, or an electrode obtained by screen printing a circuit shape directly on an insulating substrate with a silver paste. Moreover, although the baking process in an Example is performed in air | atmosphere, you may carry out in inert gas, such as nitrogen and argon atmosphere.

A 熱電変換モジュール
1 高温側絶縁基板
2 絶縁性接合層
3 電極
4 導電性接合層
5 n型熱電変換素子
6 p型熱電変換素子
7a n型熱電変換素子−導電性接合層接合界面
7b p型熱電変換素子−導電性接合層接合界面
8 高温熱源
9 低温冷却源
10 低温側絶縁基板
11 緻密質被膜
Qin 熱量
Qout 熱量
A thermoelectric conversion module 1 high temperature side insulating substrate 2 insulating bonding layer 3 electrode 4 conductive bonding layer 5 n-type thermoelectric conversion element 6 p-type thermoelectric conversion element 7a n-type thermoelectric conversion element-conductive bonding layer bonding interface 7b p-type thermoelectric Conversion element-conductive bonding layer bonding interface 8 High temperature heat source 9 Low temperature cooling source 10 Low temperature side insulating substrate 11 Dense coating Qin Heat quantity
Qout heat quantity

Claims (4)

熱電変換モジュールにおいて、
温度差を電力に変換するための、金属酸化物からなる熱電変換素子と、
前記熱電変換素子により変換された電力を取り出すための電極部材と、
前記熱電変換素子と前記電極部材とを接合する導電性の接合層と、
からなり、
前記接合層は、前記接合層内部に酸素が侵入することを防止するための、酸素侵入防止手段を有することを特徴とする熱電変換モジュール。
In thermoelectric conversion module,
A thermoelectric conversion element made of a metal oxide for converting a temperature difference into electric power;
An electrode member for taking out the electric power converted by the thermoelectric conversion element;
A conductive bonding layer for bonding the thermoelectric conversion element and the electrode member;
Consists of
The thermoelectric conversion module according to claim 1, wherein the bonding layer has oxygen intrusion prevention means for preventing oxygen from entering the bonding layer.
前記酸素侵入防止手段は、
前記接合層の外周面全体を覆うように形成された緻密質被膜であることを特徴とする、請求項1に記載の熱電変換モジュール。
The oxygen intrusion prevention means includes
The thermoelectric conversion module according to claim 1, wherein the thermoelectric conversion module is a dense film formed to cover the entire outer peripheral surface of the bonding layer.
前記緻密質皮膜は、シリケートを主成分とするアモルファス酸化物からなることを特徴とする、請求項2に記載の熱電変換モジュール。 The thermoelectric conversion module according to claim 2, wherein the dense film is made of an amorphous oxide mainly composed of silicate. 前記電極部材は、前記熱電変換素子の接合面に対応する凹部を有していることを特徴とする、請求項3に記載の熱電変換モジュール。 The thermoelectric conversion module according to claim 3, wherein the electrode member has a recess corresponding to a joint surface of the thermoelectric conversion element.
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