JP2012220202A - Tester supporting tool - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、テスターを用いて各種電気機器に備えた端子の電圧、電流等を測定する作業を容易とするテスター補助具に関する。 The present invention relates to a tester auxiliary tool that facilitates work of measuring voltage, current, and the like of terminals provided in various electric devices using a tester.
格子状に形成された分割予定ラインによってIC、LSI等の複数のデバイスが区画されて表面に形成された半導体ウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに加工された後、ダイシング装置によって個々のデバイスに分割され、分割されたデバイスは携帯電話機、パソコン等の各種電気機器に利用されている。 A semiconductor wafer formed on the front surface by dividing a plurality of devices such as ICs and LSIs by dividing lines formed in a lattice shape, the back surface is ground by a grinding device and processed to a predetermined thickness, and then a dicing device Are divided into individual devices, and the divided devices are used in various electric devices such as mobile phones and personal computers.
例えば、研削装置やダイシング装置等の各種加工装置には、装置の各部位を制御するための制御手段を構成するCPU、配電盤等の電装品を収容する電装ボックスを備えており、電装品に接続された複数のケーブルが電装ボックスに形成された端子に接続されている(例えば特許文献1参照)。 For example, various processing equipment such as grinding equipment and dicing equipment are equipped with a control box for controlling each part of the equipment, and an electrical equipment box that houses electrical equipment such as switchboards. The plurality of cables thus connected are connected to terminals formed in the electrical box (see, for example, Patent Document 1).
そして、各種装置においては、電装ボックスの端子にテスターを接続して当該端子における電圧や電流の値をチェックすることにより、その装置が適正に作動するようにメンテナンスが行われている。 And in various apparatuses, the maintenance is performed so that the apparatus may operate | move properly by connecting the tester to the terminal of an electrical equipment box and checking the value of the voltage and electric current in the said terminal.
しかし、電装ボックスには接続端子が複数形成されているため、特に未熟な技術者にとっては電圧又は電流を検出すべき接続端子がわからなくなり、適切なメンテナンスができなくなるという問題がある。 However, since a plurality of connection terminals are formed in the electrical box, there is a problem that an unskilled engineer cannot know a connection terminal for detecting voltage or current and cannot perform proper maintenance.
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、未熟な技術者であっても、測定対象となる電気機器の端子を確実に認識して確実に電圧または電流の測定を行うことができるようにすることを目的とする。 The present invention has been considered in view of such problems, and even an unskilled engineer can reliably recognize a terminal of an electric device to be measured and reliably measure voltage or current. The purpose is to do so.
本発明は、テスターによる測定を補助するテスター補助具に関するもので、テスターの一方の端子に連結する第一の連結具と、テスターの他方の端子に連結する第二の連結具と、第一の連結具に導通し電圧または電流を測定すべき電気機器の一方の被測定端子に連結する第一の測定端子と、第二の連結具に導通し電圧または電流を測定すべき電気機器の他方の被測定端子に連結する第二の測定端子とを備え、電気機器の一方の被測定端子と他方の被測定端子とは、所定の位置関係で配設されるとともに複数の端子が配設された一方のコネクタに収容されていて、第一の測定端子と第二の測定端子とは、一方のコネクタと対をなし連結する他方のコネクタに該所定の位置関係で配設され収容されている。 The present invention relates to a tester assisting tool that assists measurement by a tester, and includes a first connector that is connected to one terminal of the tester, a second connector that is connected to the other terminal of the tester, A first measuring terminal connected to one of the terminals to be measured for voltage or current to be connected to the connector, and the other of the electric apparatus to be measured for voltage or current connected to the second connector. A second measurement terminal connected to the terminal to be measured, wherein one of the terminals to be measured and the other terminal to be measured of the electrical device are arranged in a predetermined positional relationship and a plurality of terminals are arranged The first measurement terminal and the second measurement terminal are accommodated in one connector, and are arranged and accommodated in the predetermined positional relationship with the other connector that forms a pair with one connector.
本発明では、第一の被測定端子及び第二の被測定端子にテスター補助具の第一の測定端子及び第二の測定端子を嵌入させるとともに、第一の連結具及び第二の連結具をテスターの端子に連結することで、第一の被測定端子及び第二の被測定端子に対してテスターの端子を直接当てることなく、第一の被測定端子及び第二の被測定端子の電圧、電流等を測定することができ、第一の測定端子及び第二の測定端子は、第一の被測定端子及び第二の被測定端子に対応する位置関係に形成されているため、第一の測定端子及び第二の測定端子を第一の被測定端子及び第二の被測定端子に嵌入させる際に嵌入位置を間違えることがなく、未熟な技術者であっても、確実に電圧又は電流の測定を行うことができる。 In the present invention, the first measuring terminal and the second measuring terminal of the tester auxiliary tool are inserted into the first measured terminal and the second measured terminal, and the first connecting tool and the second connecting tool are provided. By connecting to the terminal of the tester, the voltage of the first measured terminal and the second measured terminal is not directly applied to the first measured terminal and the second measured terminal, Current and the like can be measured, and the first measurement terminal and the second measurement terminal are formed in a positional relationship corresponding to the first measurement terminal and the second measurement terminal. When inserting the measurement terminal and the second measurement terminal into the first measurement terminal and the second measurement terminal, there is no mistake in the insertion position. Measurements can be made.
図1に示す切削装置1は、半導体ウェーハ等の各種被加工物(ワーク)を切削加工する装置であり、ワークを保持する保持手段2と、保持手段2に対して切削加工を行う切削手段3とを備えている。
A cutting apparatus 1 shown in FIG. 1 is an apparatus for cutting various workpieces (workpieces) such as a semiconductor wafer, and includes a
切削装置1の前面側には、被加工物を収容するカセット40が載置されている。また、カセット40の後方には、カセット40からのワークの搬出及びカセット40へのワークの搬入を行う搬出入手段41が配設されている。カセット40と搬出入手段41との間には仮置き領域42が設けられており、搬出入手段41によるカセット40からのワークの搬出及びカセット40へのワークの搬入は、仮置き領域42を介して行われる。
On the front side of the cutting apparatus 1, a
仮置き領域42の近傍には、仮置き領域42と保持手段2との間でワークを搬送する第一の搬送手段43aが配設されている。
In the vicinity of the
保持手段2は、第一の搬送手段43aによるワークの着脱が行われる領域である着脱領域Aと、切削手段3によるワークの切削が行われる領域である切削領域Bとの間を水平方向に移動可能となっている。以下では、保持手段2の移動方向をX軸方向とする。 The holding means 2 moves in a horizontal direction between an attachment / detachment area A where the workpiece is attached / detached by the first conveying means 43a and a cutting area B where the workpiece is cut by the cutting means 3. It is possible. Hereinafter, the moving direction of the holding means 2 is assumed to be the X-axis direction.
保持手段2の移動経路の上方には、ワークの切削すべき位置を撮像して検出するための撮像手段44が配設されている。
Above the movement path of the
切削手段3は、切削領域Bに配設されており、X軸方向に対して水平方向に直交するY軸方向の軸心を有するスピンドル30の先端部に装着された回転可能な切削ブレード31を備えている。
The cutting means 3 is disposed in the cutting region B, and includes a
着脱領域Aの後方側には、切削後のワークを洗浄する洗浄手段45が配設されている。また、洗浄手段45の上方には、保持手段2から洗浄手段45へワークを搬送する第二の搬送手段43bが配設されている。第二の搬送手段43bの水平移動の方向は、Y軸方向である。また、X軸方向及びY軸方向に対して直交する方向をZ方向とする。
On the rear side of the attachment / detachment region A, cleaning means 45 for cleaning the workpiece after cutting is disposed. Above the cleaning means 45, a second transport means 43b for transporting the workpiece from the
図1に示すように、切削対象のワークWは、テープTに貼着されてリング状のフレームFに支持された状態で保持手段2に保持される。そして、保持手段2がX軸方向に移動し、撮像手段44によって被加工物の表面が撮像されて切削すべき位置が検出され、その位置と切削ブレード31とのY軸方向の位置合わせがなされる。
As shown in FIG. 1, the workpiece W to be cut is held by the
次に、保持手段2がさらにX軸方向に移動するとともに、切削ブレード31を高速回転させながら切削手段3をZ軸方向に降下させることにより、検出された位置が切削される。また、切削手段3を所定間隔ずつY軸方向に割り出し送りしながら同様の切削を行う。さらに、保持手段2を90度回転させた後、同様の切削を行うと、被加工物Wが個々のチップに分割される。
Next, the holding means 2 further moves in the X-axis direction, and the detected position is cut by lowering the cutting means 3 in the Z-axis direction while rotating the
このように構成される切削装置1には、上記各手段を駆動制御するための制御手段を構成するCPU等が収容された電気機器である電装ボックス5を備えている。 The cutting apparatus 1 configured as described above includes an electrical box 5 that is an electrical device in which a CPU and the like that constitute control means for driving and controlling the above-described means are accommodated.
図2に示すように、電装ボックス5は、各手段を動作させるための端子が複数形成されたコネクタ50を備えている。コネクタ50を構成する各端子は、例えばメス型に形成されており、これら複数の端子の中には、切削装置1の各部位を適正に作動させるための端子、例えば、少なくとも第一の端子51と第二の端子52とを有している。第一の端子51と第二の端子52とは所定の位置関係を有して配設されている。換言すれば、どの端子が被測定端子となるかによって所定の位置関係が定まる。
As shown in FIG. 2, the electrical box 5 includes a
図3に示すテスター補助具6は、図2に示した端子群5の各端子の電圧や電流の値をチェックするために、チェック対象の端子とテスターとの間に介在させるもので、テスターの一方の端子に連結する第一の連結具60と、テスターの他方の端子に連結する第二の連結具61とを備えている。第一の連結具60及び第二の連結具61は、コネクタ62の第一面620から延出された導電線60a、61aの先端にそれぞれ連結されている。第一の連結具60及び第二の連結具61としては、例えばワニグチクリップのように、テスターの端子に固定できるものが使用される。
The tester auxiliary tool 6 shown in FIG. 3 is interposed between the terminal to be checked and the tester in order to check the voltage and current values of each terminal of the terminal group 5 shown in FIG. A
コネクタ62の第一面620の裏側の面である第二面621からは、オス型の第一の測定端子63と第二の測定端子64とがそれぞれ突出形成されている。第一の測定端子63は、導電線60a及びコネクタ62の内部を介して第一の連結具60に導通しており、第二の測定端子64は、導電線61a及びコネクタ62の内部を介して第二の連結具61に導通している。なお、コネクタ50に形成された第一の端子51及び第二の端子52がオス型の端子である場合は、第一の測定端子63及び第二の測定端子64はメス型に形成される。
A male
第一の測定端子63は、電圧または電流を測定すべき電気機器の一方の被測定端子、例えば図2に示した電装ボックス5の第一の端子51に嵌入して連結される。また、第二の測定端子64は、電圧または電流を測定すべき電気機器の一方の被測定端子、例えば図2に示した電装ボックス5の第二の端子52に嵌入して連結される。
The
テスター補助具6を構成するコネクタ62は、電装ボックス5のコネクタ50と対をなすもので、第一の測定端子63及び第二の測定端子64は、図2に示した第一の端子51と第二の端子52との所定の位置関係に対応しており、第一の測定端子63を第一の端子51に嵌入できるとともに第二の測定端子64を第二の端子52に嵌入できる所定の位置関係で配設され、コネクタ62に収容されている。
The
電装ボックス5の第一の端子51と第二の端子52から電流又は電圧の値をチェックする際には、図4に示すように、第一の端子51に第一の測定端子63を嵌入させるとともに、第二の端子52に第二の測定端子64を嵌入させる。また、第一の測定端子63に導通する第一の連結具60はテスターの一方の端子に連結し、第二の測定端子64に導通する第二の連結具61はテスターの一方の端子に連結する。このようにして接続を行うことにより、第一の端子51及び第二の端子52から測定を行うことができる。
When the current or voltage value is checked from the
このように、第一の端子51及び第二の端子52にテスター補助具6の第一の測定端子63及び第二の測定端子64をそれぞれ嵌入させるとともに、第一の連結具60及び第二の連結具61をテスターの端子に連結することで、コネクタ50の第一の端子51及び第二の端子52に対してテスターの端子を直接当てることなく、第一の端子51及び第二の端子52から電圧又は電流の値を測定することができる。しかも、第一の測定端子63及び第二の測定端子64は、第一の端子51及び第二の端子52に対応する位置関係に形成されているため、第一の測定端子63及び第二の測定端子64を第一の端子51及び第二の端子52に嵌入させる際に嵌入位置を間違えることがない。したがって、未熟な技術者であっても、容易かつ確実に電圧又は電流の測定を行うことができる。
In this manner, the
なお、上記例ではコネクタ50の被測定端子を2つとしたが、3つ以上であってもよい。その場合は、テスター補助具の測定端子も、コネクタ50の被測定端子と同数かつ対応した位置関係を有する。また、電装ボックスが収容される装置は切削装置には限られず、さらに、測定対象となる電気機器は、電装ボックスには限られない。
In the above example, the number of measured terminals of the
1:切削装置
2:保持手段
3:切削手段
30:スピンドル 31:切削ブレード
40:カセット 41:搬出入手段 42:仮置き領域
43a:第一の搬送手段 43b:第二の搬送手段
44:撮像手段
45:洗浄手段
5:電装ボックス
50:コネクタ 51:第一の端子 52:第二の端子
6:テスター補助具 60:第一の連結具 61:第二の連結具
62:コネクタ 63:第一の測定端子 64:第二の測定端子
1: Cutting device 2: Holding means 3: Cutting means 30: Spindle 31: Cutting blade 40: Cassette 41: Loading / unloading means 42:
Claims (1)
テスターの一方の端子に連結する第一の連結具と、該テスターの他方の端子に連結する第二の連結具と、該第一の連結具に導通し電圧または電流を測定すべき電気機器の一方の被測定端子に連結する第一の測定端子と、該第二の連結具に導通し電圧または電流を測定すべき電気機器の他方の被測定端子に連結する第二の測定端子とを備え、
該電気機器の一方の被測定端子と他方の被測定端子とは、所定の位置関係で配設されるとともに複数の端子が配設された一方のコネクタに収容されていて、
該第一の測定端子と該第二の測定端子とは、該一方のコネクタと対をなし連結する他方のコネクタに該所定の位置関係で配設され収容されている
テスター補助具。 A tester aid,
A first connector connected to one terminal of the tester, a second connector connected to the other terminal of the tester, and an electrical device to be connected to the first connector and to measure voltage or current. A first measurement terminal connected to one measured terminal, and a second measurement terminal connected to the other measured terminal of an electrical device to be connected to the second connector to measure voltage or current. ,
One of the terminals to be measured and the other terminal to be measured of the electrical equipment are accommodated in one connector in which a plurality of terminals are disposed with a predetermined positional relationship,
The tester auxiliary tool, wherein the first measurement terminal and the second measurement terminal are disposed and accommodated in the predetermined positional relationship with the other connector paired with the one connector.
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Citations (2)
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JPH0245464U (en) * | 1988-09-21 | 1990-03-28 | ||
JPH10197585A (en) * | 1997-01-09 | 1998-07-31 | Hitachi Building Syst Co Ltd | Test device for elevator control circuit board |
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