JP2012218255A - Liquid jetting head and liquid jetting apparatus - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid jetting head and a liquid jetting apparatus which can prevent liquid adhesion to a fixing member by surely joining the fixing member and a liquid jetting surface.SOLUTION: The liquid jetting head includes a head body 220 which has the liquid jetting surface A with an opening of a nozzle 21 formed thereon for jetting an ink and a cover head 240 which is fixed to the head body 220 and has an exposing opening part 241 where the nozzle 21 is exposed. A step 24 dented more than the liquid jetting surface A in an opposite direction to a direction for the ink to be ejected is prepared at an edge part of the liquid jetting surface A of the head body 220. A joining part 242 of the cover head 240 is joined to the step 24 of the head body 220. A liquid repellent tape 25 having liquid repellency to the ink is provided continuously from a surface of the cover head 240 to a part of the liquid jetting surface A.

Description

本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that eject liquid from nozzles, and more particularly to an ink jet recording head and an ink jet recording apparatus that eject ink as liquid.

液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、インクを吐出するノズルが開口する液体噴射面を有するノズルプレートと、ノズルプレートの液体噴射面に接着剤を介して固定される固定板等の固定部材とを具備するものがある(例えば、特許文献1参照)。   Examples of the ink jet recording head that ejects ink as liquid include a nozzle plate having a liquid ejecting surface in which a nozzle that ejects ink opens, and a fixed plate that is fixed to the liquid ejecting surface of the nozzle plate via an adhesive. (For example, refer patent document 1).

吐出したインクの一部が固定部材に付着し、固化すると、固定部材から突出した突起物となる。この突起物は、紙などの印刷媒体に接触し、紙面が擦られるなど不具合が生じる。   When a part of the ejected ink adheres to the fixing member and solidifies, it becomes a protrusion protruding from the fixing member. The protrusions come into contact with a print medium such as paper and cause problems such as rubbing the paper surface.

このような不具合を防止するために、固定板に撥液膜を設けたインクジェット式記録ヘッドが提案されている(例えば、特許文献2参照)。例えば、撥液性を有する溶液中に固定部材を浸すことで、固定部材の全面に撥液膜が設けられる。固定部材に撥液膜が設けられることで、固定部材にインクが付着することが防止され、インクが固化した突起物が生じることが防止される。   In order to prevent such problems, an ink jet recording head in which a liquid repellent film is provided on a fixed plate has been proposed (see, for example, Patent Document 2). For example, the liquid repellent film is provided on the entire surface of the fixing member by immersing the fixing member in a solution having liquid repellency. By providing the liquid-repellent film on the fixing member, it is possible to prevent the ink from adhering to the fixing member, and to prevent a protrusion that has solidified the ink from being generated.

また、固定部材として金属製のカバーを用い、突起を有する導電性部材及び導電性接着剤を介して、カバーとノズルプレートとを接合したインクジェット式記録ヘッドが提案されている(例えば、特許文献3参照)。   Further, an ink jet recording head in which a metal cover is used as a fixing member and the cover and the nozzle plate are joined via a conductive member having a protrusion and a conductive adhesive has been proposed (for example, Patent Document 3). reference).

特開2005−096419号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2005-096419 特開2008−221653号公報JP 2008-221653 A 特開2009−196328号公報JP 2009-196328 A

固定部材の全面に撥液膜が形成されると、ノズルプレートとの接合面にまで撥液膜が形成されることになる。このため、固定部材を接着剤などでノズルプレートに接着しても、接着力が弱く、接合不良が生じてしまう。   When the liquid repellent film is formed on the entire surface of the fixing member, the liquid repellent film is formed up to the joint surface with the nozzle plate. For this reason, even if the fixing member is bonded to the nozzle plate with an adhesive or the like, the adhesive force is weak and poor bonding occurs.

一方、固定部材のノズルプレートとの接合面にマスクを設け、ノズルプレートとの接合面に撥液膜を設けないことも可能である。しかし、固定部材に、選択的に撥液膜を設けるためにマスクを貼付する工程が必要となる。このような工程では、マスクを貼付する作業に精密さが要求されるため、手間やコストが掛かる。さらに、マスクの貼付・剥離を繰り返すと、固定部材が変形する虞もある。固定部材が変形してしまうと、固定部材に取り付けられるヘッド本体の位置にばらつきが生じてしまう。   On the other hand, it is possible to provide a mask on the joint surface of the fixing member with the nozzle plate and not provide a liquid repellent film on the joint surface with the nozzle plate. However, a step of attaching a mask to selectively provide a liquid repellent film on the fixing member is required. In such a process, precision is required for the work of attaching the mask, which takes time and cost. Furthermore, when the mask is repeatedly applied and peeled, the fixing member may be deformed. If the fixing member is deformed, the position of the head main body attached to the fixing member will vary.

また、固定部材とノズルプレートとの接合に、突起を有する導電性部材が介在していると、突起によってノズルプレートに亀裂等の破壊が発生してしまうという問題がある。   In addition, when a conductive member having a protrusion is interposed in the joint between the fixing member and the nozzle plate, there is a problem that the nozzle plate may be broken due to the protrusion.

本発明はこのような事情に鑑み、固定部材と液体噴射面とを確実に接合し、固定部材への液体の付着を防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is that it provides a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that can reliably bond a fixing member and a liquid ejecting surface to each other and prevent adhesion of liquid to the fixing member. To do.

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズルが設けられた液体噴射面を有するヘッド本体と、前記ヘッド本体に固定され、前記ノズルが露出する露出開口を有する固定部材とを備え、前記ヘッド本体の前記液体噴射面の縁部には、液体が吐出される方向と反対方向に前記液体噴射面よりも凹んだ段差が設けられ、前記固定部材は、前記ヘッド本体の前記段差に接合され、前記液体に対して撥液性を有する撥液部材が前記固定部材の少なくとも一部の表面から前記液体噴射面の一部まで連続して設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、液体が付着する可能性がある固定部材の表面を確実に撥液部材で保護することができる。すなわち、固定部材に液体が付着して固化した突起物が生じることが防止される。これにより、突起物が紙などの印刷媒体に接触し、印刷媒体の表面を擦ってしまうことが防止される。
また、従来技術のように固定部材の全表面に撥液膜を設ける必要が無い。これにより、固定部材と液体噴射面とを接着剤で接着する場合、その接着力が低下しないので、固定部材と液体噴射面とを確実に接合することができる。また、従来技術のように、固定部材の表面に選択的に撥液膜を形成するための手間やコストが不要となる。
さらに、液体噴射面の縁部に段差を設け、段差に固定部材を接合したことで、固定部材の表面と液体噴射面とを、ほぼ面一にすることができる。これにより、面一となった固定部材及び液体噴射面に撥液部材を折り曲げることなく平面的に貼付することができる。したがって、撥液部材は、固定部材及び液体噴射面から剥離し難い。
An aspect of the present invention that solves the above problem includes a head main body having a liquid ejection surface provided with a nozzle for ejecting liquid, and a fixing member that is fixed to the head main body and has an exposed opening through which the nozzle is exposed. The edge of the liquid ejecting surface of the head body is provided with a step that is recessed from the liquid ejecting surface in a direction opposite to the direction in which the liquid is ejected, and the fixing member is provided on the step of the head body. A liquid ejecting head, wherein a liquid repellent member bonded and having liquid repellency to the liquid is continuously provided from at least a part of the surface of the fixing member to a part of the liquid ejecting surface. It is in.
In this aspect, the surface of the fixing member on which the liquid may adhere can be reliably protected with the liquid repellent member. That is, it is possible to prevent the protrusions that are solidified due to the liquid adhering to the fixing member. This prevents the protrusions from coming into contact with a print medium such as paper and rubbing the surface of the print medium.
Further, it is not necessary to provide a liquid repellent film on the entire surface of the fixing member as in the prior art. Accordingly, when the fixing member and the liquid ejecting surface are bonded with an adhesive, the adhesive force is not reduced, so that the fixing member and the liquid ejecting surface can be reliably bonded. Further, as in the prior art, the labor and cost for selectively forming the liquid repellent film on the surface of the fixing member are not required.
Furthermore, by providing a step at the edge of the liquid ejecting surface and joining the fixing member to the step, the surface of the fixing member and the liquid ejecting surface can be substantially flush with each other. As a result, the liquid repellent member can be affixed in a planar manner to the fixing member and the liquid ejection surface that are flush with each other. Therefore, the liquid repellent member is difficult to peel from the fixing member and the liquid ejection surface.

ここで、前記固定部材は、前記ヘッド本体の前記段差に金属接合されていることが好ましい。これにより、撥液部材を、固定部材及び液体噴射面により確実に接合することができる。   Here, it is preferable that the fixing member is metal-bonded to the step of the head body. Thereby, a liquid repellent member can be reliably joined by a fixing member and a liquid ejection surface.

また、前記液体噴射面には、撥液膜が設けられた撥液領域と非撥液領域とを有し、前記撥液部材は、前記固定部材の少なくとも一部の表面から前記液体噴射面の非撥液領域まで連続して設けられていることが好ましい。これにより、撥液性のない非撥液領域に撥液部材が接合されるので、撥液部材をより確実に接合することができる。   Further, the liquid ejecting surface has a liquid repellent region and a non-liquid repellent region provided with a liquid repellent film, and the liquid repellent member extends from at least a part of the surface of the fixing member to the liquid ejecting surface. It is preferable that the non-liquid repellent region is continuously provided. As a result, the liquid repellent member is joined to the non-liquid repellent area having no liquid repellency, so that the liquid repellent member can be more reliably joined.

本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、固定部材と液体噴射面とを確実に接合し、固定部材への液体の付着を防止することができる液体噴射装置を実現できる。
According to another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head according to the above aspect.
In this aspect, it is possible to realize a liquid ejecting apparatus that can reliably bond the fixing member and the liquid ejecting surface and prevent the liquid from adhering to the fixing member.

一実施形態に係る記録ヘッドの分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of a recording head according to an embodiment. 一実施形態に係る記録ヘッドの組立斜視図である。FIG. 3 is an assembled perspective view of a recording head according to an embodiment. 一実施形態に係るヘッド本体の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the head main body which concerns on one Embodiment. 一実施形態に係る記録ヘッドの要部断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part of a recording head according to an embodiment. 一実施形態に係る記録ヘッドの要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part of a recording head according to an embodiment. 一実施形態に係る記録ヘッドの要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part of a recording head according to an embodiment. 一実施形態に係るインクジェット式記録装置を示す概略図である。1 is a schematic diagram illustrating an ink jet recording apparatus according to an embodiment.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。以下、インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単に記録ヘッドとも言う。   Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments. Hereinafter, the ink jet recording head is an example of a liquid ejecting head, and is also simply referred to as a recording head.

図1は、実施形態に係る記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、記録ヘッドの組立斜視図である。   FIG. 1 is an exploded perspective view of a recording head according to the embodiment, and FIG. 2 is an assembled perspective view of the recording head.

図1に示すように、記録ヘッド1を構成するカートリッジケース210は、インク供給手段であるインクカートリッジ(図示なし)がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部211を有する。例えば、本実施形態では、インクカートリッジは、ブラック及び3色のカラーインクが充填された別体で構成され、カートリッジケース210には、各色のインクカートリッジがそれぞれ装着される。また、カートリッジケース210には、インクの流路となるインク連通路(図示なし)が設けられている。インク連通路は、一端が各カートリッジ装着部211に開口し、他端がヘッドケース230側に開口している。インク連通路内には、インク内の気泡や異物を除去するフィルター(図示なし)が設けられている。さらに、カートリッジ装着部211には、インク連通路の開口部に連通し、インクカートリッジのインク供給口に挿入されるインク供給針213が固定されている。   As shown in FIG. 1, the cartridge case 210 constituting the recording head 1 has a cartridge mounting portion 211 to which an ink cartridge (not shown) as an ink supply means is mounted. For example, in this embodiment, the ink cartridge is configured as a separate body filled with black and three color inks, and the ink cartridges of the respective colors are mounted in the cartridge case 210. In addition, the cartridge case 210 is provided with an ink communication path (not shown) serving as an ink flow path. The ink communication path has one end opened to each cartridge mounting portion 211 and the other end opened to the head case 230 side. A filter (not shown) for removing bubbles and foreign matters in the ink is provided in the ink communication path. Furthermore, an ink supply needle 213 that is inserted into the ink supply port of the ink cartridge and that is connected to the opening of the ink communication path is fixed to the cartridge mounting portion 211.

カートリッジケース210の底面側(カートリッジ装着部211とは反対側)には、ヘッド本体220が固定されるヘッドケース230が設けられている。   A head case 230 to which the head main body 220 is fixed is provided on the bottom surface side of the cartridge case 210 (the side opposite to the cartridge mounting portion 211).

ヘッド本体220は、インクの色に対応して複数設けられており、各ヘッド本体220はインクカートリッジの各色のインクを吐出する。ヘッド本体220の詳細な構成は後述する。また、ヘッドケース230も各ヘッド本体220に対応してそれぞれ独立して設けられている。   A plurality of head main bodies 220 are provided corresponding to the ink colors, and each head main body 220 discharges ink of each color of the ink cartridge. The detailed configuration of the head main body 220 will be described later. A head case 230 is also provided independently for each head body 220.

また、記録ヘッド1は、複数のヘッド本体220を保持する固定部材の一例であるカバーヘッド240を備えている。カバーヘッド240は、箱形状を有し、金属材料から形成されている。具体的には、カバーヘッド240は、箱形状の底面を構成する接合部242を備えている。   The recording head 1 also includes a cover head 240 that is an example of a fixing member that holds a plurality of head main bodies 220. The cover head 240 has a box shape and is made of a metal material. Specifically, the cover head 240 includes a joint portion 242 that forms a box-shaped bottom surface.

接合部242は、中央部に開口を有する平板状の枠部243と、枠部243の開口を分割する梁部244とで構成されている。各梁部244により分割された枠部243の開口を露出開口部241と称する。露出開口部241には、接合部242に接合された各ヘッド本体220のノズル21が露出し、枠部243及び梁部244には、ヘッド本体220のノズルプレート20の表面の一部が接合されている。ヘッド本体220のノズルプレート20と接合部242(カバーヘッド240)との接合部分の詳細は後述する。   The joint portion 242 includes a flat frame portion 243 having an opening in the center portion and a beam portion 244 that divides the opening of the frame portion 243. The opening of the frame portion 243 divided by each beam portion 244 is referred to as an exposed opening portion 241. The nozzle 21 of each head body 220 joined to the joint 242 is exposed to the exposed opening 241, and a part of the surface of the nozzle plate 20 of the head body 220 is joined to the frame part 243 and the beam part 244. ing. Details of a joint portion between the nozzle plate 20 of the head main body 220 and the joint portion 242 (cover head 240) will be described later.

また、カバーヘッド240には、接合部242に連続し、ヘッド本体220の側面側(ノズルプレート20に連続した側面側)に、屈曲された側壁部245が設けられている。さらに、側壁部245には、側方に突出するフランジ部246が設けられ、フランジ部246には、厚さ方向に貫通した固定孔247が設けられている。固定孔247は、カートリッジケース210に設けられた突起部215が挿通される。固定孔247に突起部215が挿通され、突起部215の先端部が加熱によりかしめられることで、カバーヘッド240がカートリッジケース210に位置決め固定される。   Further, the cover head 240 is provided with a bent side wall portion 245 that is continuous with the joint portion 242 and is provided on the side surface side (side surface side continuous with the nozzle plate 20) of the head main body 220. Further, the side wall portion 245 is provided with a flange portion 246 projecting sideways, and the flange portion 246 is provided with a fixing hole 247 penetrating in the thickness direction. The fixing hole 247 is inserted with a protrusion 215 provided in the cartridge case 210. The protrusion 215 is inserted into the fixing hole 247 and the tip of the protrusion 215 is caulked by heating, so that the cover head 240 is positioned and fixed to the cartridge case 210.

図3は、ヘッド本体及びヘッドケースの分解斜視図であり、図4は、ヘッド本体、ヘッドケース及びカバーヘッドの断面図である。図3及び図4に示すように、ヘッド本体220を構成する流路形成基板10は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる弾性膜50が形成されている。この流路形成基板10には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室12が複数形成されている。圧力発生室12は、同じ色のインクを吐出する複数のノズル21が並設される方向に沿って並設されている。この圧力発生室12が並設された方向を第1方向とする。本実施形態では、第1方向に沿って並設された複数の圧力発生室12の一群が、第1方向とは直交する第2方向に並設されている。各列の圧力発生室12の第2方向の外側には、後述するマニホールド100を構成する連通部13が形成されている。また、連通部13は、インク供給路14を介して各圧力発生室12の一端部とそれぞれ連通されている。   FIG. 3 is an exploded perspective view of the head main body and the head case, and FIG. 4 is a cross-sectional view of the head main body, the head case, and the cover head. As shown in FIGS. 3 and 4, the flow path forming substrate 10 constituting the head body 220 is made of a silicon single crystal substrate in this embodiment, and one surface thereof is made of silicon dioxide previously formed by thermal oxidation. An elastic film 50 is formed. The flow path forming substrate 10 is formed with a plurality of pressure generating chambers 12 partitioned by a plurality of partition walls by anisotropic etching from the other side. The pressure generation chambers 12 are arranged side by side along a direction in which a plurality of nozzles 21 that eject ink of the same color are arranged in parallel. The direction in which the pressure generation chambers 12 are arranged side by side is defined as a first direction. In the present embodiment, a group of a plurality of pressure generating chambers 12 arranged in parallel along the first direction are arranged in parallel in a second direction orthogonal to the first direction. On the outer side in the second direction of the pressure generation chambers 12 in each row, a communication portion 13 constituting a manifold 100 described later is formed. The communication portion 13 is in communication with one end portion of each pressure generating chamber 12 via the ink supply path 14.

流路形成基板10の圧電素子300と反対側には、各圧力発生室12に連通するノズル21が穿設されたノズルプレート20が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。ノズルプレート20には、圧力発生室12に対応して複数のノズル21が第1方向に沿って列設されたノズル列21Aが設けられており、2つのノズル列21Aが第2方向に列設されている。   On the opposite side of the flow path forming substrate 10 from the piezoelectric element 300, a nozzle plate 20 having a nozzle 21 communicating with each pressure generating chamber 12 is fixed via an adhesive, a heat welding film, or the like. The nozzle plate 20 is provided with a nozzle row 21A in which a plurality of nozzles 21 are arranged along the first direction corresponding to the pressure generation chamber 12, and the two nozzle rows 21A are arranged in the second direction. Has been.

ノズルプレート20は、シリコン単結晶基板からなり、ノズル21は、例えば、異方性エッチングによって形成されている。なお、ノズルプレート20は、シリコン単結晶基板に限定されず、SUSから形成されていてもよい。   The nozzle plate 20 is made of a silicon single crystal substrate, and the nozzle 21 is formed by, for example, anisotropic etching. The nozzle plate 20 is not limited to a silicon single crystal substrate, and may be formed of SUS.

また、ノズルプレート20の液体噴射面A(ノズル21が開口し、インクが吐出される側の表面)の一部(ノズルプレート20の縁部を除いた領域)には、撥液膜23が設けられている。カバーヘッド240の表面及びノズルプレート20の液体噴射面Aの少なくとも一部の表面(液体噴射面Aに撥液膜23が設けられていない領域)には、撥液部材の一例である撥液テープが貼付されている。これらのカバーヘッド240とノズルプレート20との接合部分及び撥液テープに関する詳細は後述する。   In addition, a liquid repellent film 23 is provided on a part of the liquid ejection surface A of the nozzle plate 20 (the surface on the side where the nozzle 21 is opened and ink is ejected) (excluding the edge of the nozzle plate 20). It has been. A liquid repellent tape that is an example of a liquid repellent member is provided on the surface of the cover head 240 and at least a part of the liquid ejecting surface A of the nozzle plate 20 (a region where the liquid repellent film 23 is not provided on the liquid ejecting surface A). Is affixed. Details regarding the joint between the cover head 240 and the nozzle plate 20 and the liquid repellent tape will be described later.

一方、流路形成基板10の開口面とは反対側には、弾性膜50上に、金属からなる下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等からなる圧電体層と、金属からなる上電極膜とを順次積層することで形成された圧電素子300が形成されている。このような圧電素子300が形成された流路形成基板10上には、マニホールド100の少なくとも一部を構成するマニホールド部31を有する保護基板30が接合されている。このマニホールド部31は、保護基板30を厚さ方向に貫通して第1方向に亘って形成されており、流路形成基板10の連通部13と連通されている。このマニホールド部31と連通部13とから各圧力発生室12の共通のインク室となるマニホールド100が構成されている。   On the other hand, on the side opposite to the opening surface of the flow path forming substrate 10, on the elastic film 50, a lower electrode film made of metal, a piezoelectric layer made of lead zirconate titanate (PZT) or the like, and made of metal. A piezoelectric element 300 formed by sequentially laminating the upper electrode film is formed. On the flow path forming substrate 10 on which such a piezoelectric element 300 is formed, a protective substrate 30 having a manifold portion 31 constituting at least a part of the manifold 100 is bonded. The manifold portion 31 extends through the protective substrate 30 in the thickness direction and extends in the first direction, and communicates with the communication portion 13 of the flow path forming substrate 10. The manifold portion 31 and the communication portion 13 constitute a manifold 100 serving as an ink chamber common to the pressure generating chambers 12.

保護基板30の圧電素子300に対向する領域には、圧電素子300の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部32が設けられている。このような保護基板30としては、ガラス、セラミック、金属、プラスチック等を挙げることができるが、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板10と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。   A piezoelectric element holding portion 32 having a space that does not hinder the movement of the piezoelectric element 300 is provided in a region facing the piezoelectric element 300 of the protective substrate 30. Examples of such a protective substrate 30 include glass, ceramic, metal, plastic, and the like, but it is preferable to use a material that is substantially the same as the coefficient of thermal expansion of the flow path forming substrate 10. It was formed using a silicon single crystal substrate made of the same material as the path forming substrate 10.

保護基板30上には、各圧電素子300を駆動するための駆動IC110が設けられている。この駆動IC110の各端子は、図示しないボンディングワイヤー等を介して各圧電素子300の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動IC110の各端子には、図1に示すような、フレキシブルプリントケーブル(FPC)等の外部配線111を介して外部と接続され、外部から外部配線111を介して印刷信号等の各種信号を受け取る。   A drive IC 110 for driving each piezoelectric element 300 is provided on the protective substrate 30. Each terminal of the drive IC 110 is connected to a lead wire drawn from the individual electrode of each piezoelectric element 300 via a bonding wire or the like (not shown). Each terminal of the driving IC 110 is connected to the outside via an external wiring 111 such as a flexible printed cable (FPC) as shown in FIG. 1, and various signals such as a print signal from the outside via the external wiring 111. Receive.

さらに、保護基板30上には、コンプライアンス基板40が接合されている。コンプライアンス基板40のマニホールド100に対向する領域には、マニホールド100にインクを供給するためのインク導入口44が厚さ方向に貫通することで形成されている。また、コンプライアンス基板40のマニホールド100に対向する領域のインク導入口44以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部43となっており、マニホールド100は、可撓部43により封止されている。この可撓部43により、マニホールド100内にコンプライアンスを与えている。   Further, a compliance substrate 40 is bonded on the protective substrate 30. An ink introduction port 44 for supplying ink to the manifold 100 is formed in a region facing the manifold 100 of the compliance substrate 40 by penetrating in the thickness direction. Further, the region of the compliance substrate 40 other than the ink introduction port 44 in the region facing the manifold 100 is a flexible portion 43 formed thin in the thickness direction, and the manifold 100 is sealed by the flexible portion 43. Has been. The flexible portion 43 provides compliance within the manifold 100.

このように、本実施形態のヘッド本体220は、ノズルプレート20、流路形成基板10、保護基板30及びコンプライアンス基板40の4つの基板で構成されている。そして、このようなヘッド本体220のコンプライアンス基板40上には、ヘッドケース230が設けられている。   As described above, the head main body 220 according to the present embodiment includes the four substrates, that is, the nozzle plate 20, the flow path forming substrate 10, the protective substrate 30, and the compliance substrate 40. A head case 230 is provided on the compliance substrate 40 of the head main body 220.

ヘッドケース230には、インク供給連通路231が設けられている。インク供給連通路231は、インク導入口44に連通すると共にカートリッジケース210のインク連通路に連通し、カートリッジケース210からのインクをインク導入口44に供給する。   The head case 230 is provided with an ink supply communication path 231. The ink supply communication path 231 communicates with the ink introduction port 44 and also communicates with the ink communication path of the cartridge case 210, and supplies ink from the cartridge case 210 to the ink introduction port 44.

また、ヘッドケース230には、可撓部43に対向する領域に凹部232が形成され、可撓部43の撓み変形が適宜行われるようになっている。また、ヘッドケース230には、保護基板30上に設けられた駆動IC110に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動IC保持部233が設けられており、外部配線111は、駆動IC保持部233を挿通して駆動IC110と接続されている。   Further, the head case 230 is formed with a recess 232 in a region facing the flexible portion 43 so that the flexible portion 43 is flexibly deformed. The head case 230 is provided with a drive IC holding part 233 penetrating in the thickness direction in a region facing the drive IC 110 provided on the protective substrate 30, and the external wiring 111 is connected to the drive IC holding part 233. Is connected to the drive IC 110.

このようなヘッド本体220は、1枚のシリコンウェハー上に多数のチップを同時に形成し、ノズルプレート20及びコンプライアンス基板40を接着して一体化し、その後、1つのチップサイズの流路形成基板10毎に分割することによってヘッド本体220となる。   Such a head body 220 forms a large number of chips on one silicon wafer at the same time, and bonds and integrates the nozzle plate 20 and the compliance substrate 40, and then, for each flow path forming substrate 10 of one chip size. The head main body 220 is obtained by dividing the head main body 220.

ヘッドケース230及びヘッド本体220を構成する各部材には、組立時に各部材を位置決めするためのピンが挿入されるピン挿入孔234が角部の2箇所に設けられている。そして、ピン挿入孔234にピンを挿入して各部材の相対的な位置決めを行いながら部材同士を接合することで、ヘッド本体220及びヘッドケース230が一体的に形成される。   Each member constituting the head case 230 and the head main body 220 is provided with two pin insertion holes 234 into which pins for positioning the respective members are inserted at the time of assembly. The head body 220 and the head case 230 are integrally formed by inserting pins into the pin insertion hole 234 and joining the members while performing relative positioning of the members.

このような本実施形態のヘッド本体220は、インクカートリッジからのインクをインク連通路及びインク供給連通路231を介してインク導入口44から取り込み、マニホールド100からノズル21に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、ヘッド本体220は、駆動IC110からの記録信号に従い、圧力発生室12に対応するそれぞれの圧電素子300に電圧を印加し、弾性膜50及び圧電素子300をたわみ変形させる。この圧電素子300のたわみ変形により、各圧力発生室12内の圧力が高まりノズル21からインク滴が吐出する。   The head main body 220 according to this embodiment takes in ink from the ink cartridge from the ink introduction port 44 via the ink communication path and the ink supply communication path 231, and inks the inside of the flow path from the manifold 100 to the nozzle 21. Fill with. Thereafter, the head main body 220 applies a voltage to each piezoelectric element 300 corresponding to the pressure generating chamber 12 in accordance with a recording signal from the driving IC 110 to bend and deform the elastic film 50 and the piezoelectric element 300. Due to the bending deformation of the piezoelectric element 300, the pressure in each pressure generating chamber 12 is increased and ink droplets are ejected from the nozzle 21.

また、本実施形態の記録ヘッド1は、2列のノズル列21Aを備えるヘッド本体220を4つ備えるので、計8列のノズル列21Aを有する。このように記録ヘッド1の多列化を図ることで、1つのヘッド本体220にノズル列21Aを多列形成するのに比べて歩留まりの低下を防止することができる。また、ノズル列21Aの多列化を図るために複数のヘッド本体220を用いることで、1枚のシリコンウェハーから形成できるヘッド本体220の取り数を増大させることができ、シリコンウェハーの無駄な領域を減少させて製造コストを低減することができる。   Further, since the recording head 1 of the present embodiment includes four head bodies 220 including two nozzle arrays 21A, the recording head 1 includes eight nozzle arrays 21A in total. By increasing the number of recording heads 1 in this way, it is possible to prevent a decrease in yield as compared with the case where the nozzle arrays 21A are formed in multiple lines in one head body 220. Further, by using a plurality of head main bodies 220 in order to increase the number of nozzle arrays 21A, the number of head main bodies 220 that can be formed from a single silicon wafer can be increased. Can be reduced to reduce the manufacturing cost.

ここで、カバーヘッド240とノズルプレート20との接合部分及び撥液テープについて詳細に説明する。図5は、図4の要部拡大図である。   Here, the joint portion between the cover head 240 and the nozzle plate 20 and the liquid repellent tape will be described in detail. FIG. 5 is an enlarged view of a main part of FIG.

図示するように、ノズルプレート20の液体噴射面Aには、下地膜22を介して撥液膜23が設けられている。   As shown in the figure, a liquid repellent film 23 is provided on the liquid ejection surface A of the nozzle plate 20 via a base film 22.

下地膜22は、シリコン材料のプラズマ重合膜、SiO2、ZnO、NiO、SnO2、Al23、ZrO2、酸化銅、酸化銀、酸化クロム、または酸化鉄を用いることができる。本実施形態では、下地膜22として、シリコーンをアルゴンプラズマガスにより重合したプラズマ重合膜を用いた。そして、この下地膜22は、後述する分子膜である撥液膜23とシリコン単結晶基板からなるノズルプレート20との密着性を向上する役割がある。 The base film 22 can be a plasma polymerized film of silicon material, SiO 2 , ZnO, NiO, SnO 2 , Al 2 O 3 , ZrO 2 , copper oxide, silver oxide, chromium oxide, or iron oxide. In this embodiment, a plasma polymerization film obtained by polymerizing silicone with argon plasma gas is used as the base film 22. The base film 22 has a role of improving the adhesion between the liquid repellent film 23 which is a molecular film described later and the nozzle plate 20 made of a silicon single crystal substrate.

撥液膜23は、インクに対して撥液性を有する膜である。例えば、金属アルコキシドの分子膜からなる。当該分子膜は、アルコキシラン等のシランカップリング剤をシンナー等の溶媒と混合して金属アルコキシド溶液を形成し、この金属アルコキシド溶液にノズルプレート20を浸漬することで形成することができる。   The liquid repellent film 23 is a film having liquid repellency with respect to ink. For example, it consists of a metal alkoxide molecular film. The molecular film can be formed by mixing a silane coupling agent such as alkoxysilane with a solvent such as thinner to form a metal alkoxide solution, and immersing the nozzle plate 20 in the metal alkoxide solution.

当該分子膜からなる撥液膜23は、従来の撥液膜、例えば、共析メッキによる撥液膜よりも薄く形成できると共に、ヘッド面をクリーニングする際にワイピングによって液体噴射面Aが拭かれることによっても撥液性が劣化しない耐擦性及び耐液性を向上できるという利点を有する。勿論、耐擦性、撥液性は劣るが、従来の撥液膜を用いることもできる。   The liquid repellent film 23 made of the molecular film can be formed thinner than a conventional liquid repellent film, for example, a liquid repellent film formed by eutectoid plating, and the liquid ejecting surface A is wiped by wiping when cleaning the head surface. This also has the advantage that the rub resistance and liquid resistance can be improved without deteriorating the liquid repellency. Of course, although the abrasion resistance and liquid repellency are inferior, a conventional liquid repellent film can also be used.

撥液膜23及び下地膜22の端部、すなわち、後述するノズルプレート20の段差24近傍の領域は除去されており、ノズルプレート20の液体噴射面Aが露出している。この液体噴射面Aが露出した領域を非撥液領域26と称し、撥液膜23が表面に現れている領域を撥水領域27と称する。   The end portions of the liquid repellent film 23 and the base film 22, that is, the region in the vicinity of the step 24 of the nozzle plate 20 described later is removed, and the liquid ejection surface A of the nozzle plate 20 is exposed. The area where the liquid ejection surface A is exposed is referred to as a non-liquid-repellent area 26, and the area where the liquid-repellent film 23 appears on the surface is referred to as a water-repellent area 27.

ノズルプレート20の液体噴射面Aの縁部には、インクが吐出される方向(図中の下側)と反対方向に液体噴射面Aよりも凹んだ段差24が設けられている。段差24の深さは、接合部242の厚さとほぼ同じである。本実施形態では、ノズルプレート20の液体噴射面の縁部の全体に亘って段差24が設けられている。   At the edge of the liquid ejection surface A of the nozzle plate 20, a step 24 that is recessed from the liquid ejection surface A in the direction opposite to the direction in which ink is ejected (lower side in the figure) is provided. The depth of the step 24 is substantially the same as the thickness of the joint 242. In the present embodiment, the step 24 is provided over the entire edge of the liquid ejection surface of the nozzle plate 20.

段差24は、カバーヘッド240の接合部242(枠部243及び梁部244)が接合される平面状の領域である。この段差24に、接着剤28を介してカバーヘッド240の接合部242の表面の一部が接着されている。このように、各ヘッド本体220は、ノズルプレート20の段差24が接着剤28で接合部242に接着されることでカバーヘッド240に固定されている。   The step 24 is a planar region where the joint portion 242 (the frame portion 243 and the beam portion 244) of the cover head 240 is joined. A part of the surface of the joint portion 242 of the cover head 240 is bonded to the step 24 via an adhesive 28. Thus, each head body 220 is fixed to the cover head 240 by bonding the step 24 of the nozzle plate 20 to the joint 242 with the adhesive 28.

段差24に接合された接合部242の表面の一部には、撥液部材の一例である撥液テープ25が貼付されている。撥液テープ25は、カバーヘッド240の外面全体を覆う形状に形成されている。すなわち、カバーヘッド240の枠部243、梁部244及び側壁部245の形状に合わせて形成されている。これらの枠部243、梁部244及び側壁部245のヘッド本体220とは反対側の面に撥液テープ25が接着剤(図示せず)で貼付されている。   A liquid repellent tape 25, which is an example of a liquid repellent member, is attached to a part of the surface of the joint portion 242 joined to the step 24. The liquid repellent tape 25 is formed in a shape that covers the entire outer surface of the cover head 240. That is, the cover head 240 is formed in accordance with the shape of the frame part 243, the beam part 244 and the side wall part 245. A liquid repellent tape 25 is attached to the surface of the frame portion 243, the beam portion 244, and the side wall portion 245 opposite to the head body 220 with an adhesive (not shown).

さらに、撥液テープ25は、接合部242からノズルプレート20の非撥液領域26まで延設されている。具体的には、撥液テープ25は、露出開口部241よりも内側(ノズルプレート20の中心側)に延設された端部25aを有している。端部25aはノズルプレート20の非撥液領域26を覆い、接着剤(図示せず)で非撥液領域26(ノズルプレート20の少なくとも一部の表面。本実施形態では撥液膜23が設けられていない表面。)に貼付されている。   Further, the liquid repellent tape 25 extends from the joint portion 242 to the non-liquid repellent area 26 of the nozzle plate 20. Specifically, the liquid repellent tape 25 has an end portion 25 a that extends inward (center side of the nozzle plate 20) from the exposed opening 241. The end portion 25a covers the non-liquid-repellent area 26 of the nozzle plate 20, and an adhesive (not shown) provides the non-liquid-repellent area 26 (at least part of the surface of the nozzle plate 20. In this embodiment, the liquid-repellent film 23 is provided. The surface is not attached.)

このような撥液テープ25は、COF(チップオンフィルム)やFPC(フレキシブルプリント基板)で用いられるポリイミドやポリエステル等からなるフィルムから形成されている。なお、撥液テープ25としては、このようなフィルムから形成される場合に限らず、インクに対して撥液性を有する材料からテープ状に形成された部材であればよい。例えば、樹脂などからなるテープ状部材の一方面に、上述した撥液膜23と同様の膜を形成した撥液テープを用いることもできる。   Such a liquid repellent tape 25 is formed of a film made of polyimide, polyester, or the like used in COF (chip on film) or FPC (flexible printed circuit board). The liquid repellent tape 25 is not limited to being formed from such a film, but may be a member formed in a tape shape from a material having liquid repellency with respect to ink. For example, a liquid repellent tape in which a film similar to the liquid repellent film 23 described above is formed on one surface of a tape-shaped member made of resin or the like can also be used.

上述したように、カバーヘッド240の表面は、撥液テープ25が覆っているので、カバーヘッド240にインクが付着することが防止される。すなわち、カバーヘッド240の表面に、インクが付着し、固化することで突起物が生じることが防止される。さらに撥液テープ25は、ノズルプレート20の非撥液領域26まで連続しているので、カバーヘッド240の接合部242の表面全体を確実に覆うことができる。   As described above, since the surface of the cover head 240 is covered with the liquid repellent tape 25, ink is prevented from adhering to the cover head 240. That is, it is possible to prevent protrusions from being generated by the ink adhering to the surface of the cover head 240 and solidifying. Furthermore, since the liquid repellent tape 25 continues to the non-liquid repellent area 26 of the nozzle plate 20, the entire surface of the joint portion 242 of the cover head 240 can be reliably covered.

このように本実施形態に係る記録ヘッド1によれば、インクが付着する可能性があるカバーヘッド240の表面を確実に撥液テープ25で保護することができる。すなわち、カバーヘッド240にインクが付着して固化した突起物が生じることが防止される。これにより、突起物が紙などの印刷媒体に接触し、紙面を擦ってしまうことが防止される。   As described above, according to the recording head 1 according to the present embodiment, the surface of the cover head 240 to which ink may adhere can be reliably protected by the liquid repellent tape 25. In other words, it is possible to prevent protrusions that are solidified due to ink adhering to the cover head 240. This prevents the protrusions from coming into contact with a print medium such as paper and rubbing the paper surface.

なお、本実施形態では、ノズルプレート20にも撥液膜23が設けられているので、ノズルプレート20の表面に突起物が生じることも防止されている。   In the present embodiment, since the liquid repellent film 23 is also provided on the nozzle plate 20, it is possible to prevent protrusions from occurring on the surface of the nozzle plate 20.

さらに、本実施形態に係る記録ヘッド1では、カバーヘッド240の全表面に撥液膜を設けずに、ヘッド本体220とは反対側の表面(外表面)にのみ撥液テープ25が設けられている。これにより、カバーヘッド240とノズルプレート20とを接着する接着剤28は、その接着力が低下しないので、カバーヘッド240とノズルプレート20とを確実に接合することができる。なお、本実施形態では、接着性を高めるために、突起を有する導電性部材をカバーヘッド240とノズルプレート20との間に介在させないので、ノズルプレート20が突起で損傷することが生じ得ない。   Furthermore, in the recording head 1 according to the present embodiment, the liquid repellent tape 25 is provided only on the surface (outer surface) opposite to the head body 220 without providing the liquid repellent film on the entire surface of the cover head 240. Yes. Thereby, since the adhesive 28 that adheres the cover head 240 and the nozzle plate 20 does not have a reduced adhesive force, the cover head 240 and the nozzle plate 20 can be reliably bonded. In the present embodiment, since the conductive member having the protrusion is not interposed between the cover head 240 and the nozzle plate 20 in order to improve the adhesion, the nozzle plate 20 cannot be damaged by the protrusion.

また、従来技術に係る記録ヘッドでは、マスクを用いて、カバーヘッド240の外表面に選択的に撥液膜を形成すると、手間やコストが掛かる。またマスクの貼付・剥離によりカバーヘッド240が変形してしまう。   In the recording head according to the related art, if a liquid-repellent film is selectively formed on the outer surface of the cover head 240 using a mask, labor and cost are required. Further, the cover head 240 is deformed by applying / peeling the mask.

しかしながら、本実施形態に係る記録ヘッド1では、このような手間やコストが掛かることなく、また、カバーヘッド240の変形を伴うことなく、カバーヘッド240の外表面に撥液テープ25を設けるだけで、外表面にインクが付着することを防止できる。   However, in the recording head 1 according to the present embodiment, the liquid repellent tape 25 is simply provided on the outer surface of the cover head 240 without taking such labor and cost and without causing the cover head 240 to be deformed. Ink can be prevented from adhering to the outer surface.

ここで、仮に、接合部242と非撥液領域26とが面一でなく段差があると、撥液テープ25がその段差で折れ曲がった状態で接合部242及び非撥液領域26に接着されることになる。このため撥液テープ25は、折り曲げた状態から戻ろうとする復元力で接合部242又は非撥液領域26から剥離してしまう。   Here, if the joint 242 and the non-liquid-repellent region 26 are not flush with each other and there is a step, the liquid-repellent tape 25 is bonded to the joint 242 and the non-liquid-repellent region 26 with the step bent. It will be. For this reason, the liquid repellent tape 25 is peeled off from the joint portion 242 or the non-liquid repellent area 26 by a restoring force to return from the folded state.

しかしながら、本実施形態に係る記録ヘッド1は、ノズルプレート20に段差24を設け、段差24に接合部242を接合したことで、接合部242の表面がノズルプレート20の液体噴射面Aとほぼ面一になっている。このように面一となった接合部242及び非撥液領域26に撥液テープ25を折り曲げることなく平面的に貼付することができる。したがって、撥液テープ25は、接合部242及び非撥液領域26から剥離し難い。これにより、撥液テープ25の剥離が防止された記録ヘッド1が提供される。   However, in the recording head 1 according to the present embodiment, the nozzle plate 20 is provided with the step 24 and the joining portion 242 is joined to the step 24 so that the surface of the joining portion 242 is substantially the same as the liquid ejection surface A of the nozzle plate 20. It is one. The liquid repellent tape 25 can be applied in a planar manner to the joint portion 242 and the non-liquid repellent region 26 that are flush with each other without being bent. Therefore, the liquid repellent tape 25 is difficult to peel off from the joint portion 242 and the non-liquid repellent region 26. Thereby, the recording head 1 in which the peeling of the liquid repellent tape 25 is prevented is provided.

〈実施形態2〉
実施形態1では、撥液テープ25は、接着剤で非撥液領域26に接着されていたが、このような態様に限定されない。
<Embodiment 2>
In the first embodiment, the liquid repellent tape 25 is bonded to the non-liquid repellent area 26 with an adhesive, but is not limited to such a mode.

図6(a)は、実施形態2に係る記録ヘッドの要部拡大断面図である。なお、実施形態1と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。   FIG. 6A is an enlarged cross-sectional view of a main part of the recording head according to the second embodiment. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same thing as Embodiment 1, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

本実施形態に係る撥液テープ25は、金属からなる配線パターンが形成されたCOFフィルムである。撥液テープ25の端部25aには、ノズルプレート20の液体噴射面A側の表面に配線パターンの一部が露出している。その露出した配線パターンの一部には、半田29が設けられている。一方、ノズルプレート20は、SUSから形成されている。   The liquid repellent tape 25 according to this embodiment is a COF film on which a wiring pattern made of metal is formed. A part of the wiring pattern is exposed at the end 25 a of the liquid repellent tape 25 on the surface of the nozzle plate 20 on the liquid ejection surface A side. Solder 29 is provided on a part of the exposed wiring pattern. On the other hand, the nozzle plate 20 is made of SUS.

撥液テープ25は、実施形態1と同様に、カバーヘッド240の側壁部245及び接合部242を覆うと共に、端部25aが非撥液領域26にまで連続して覆っている。この端部25aと非撥液領域26とは、半田29により接合されている。   Similarly to the first embodiment, the liquid repellent tape 25 covers the side wall portion 245 and the joint portion 242 of the cover head 240, and the end portion 25 a continuously covers the non-liquid repellent region 26. The end 25 a and the non-liquid repellent region 26 are joined by solder 29.

このように半田29で金属接合することで、撥液テープ25をノズルプレート20により強固に接合することができる。なお、ノズルプレート20がシリコン単結晶基板から形成されている場合でも同様に半田による金属接合を行ってもよい。この場合、ノズルプレート20側にも、金属からなる配線パターンを形成しておく。そして、端部25aとノズルプレート20の双方にそれぞれ形成された配線パターン同士を半田29で金属接合する。   In this way, the liquid repellent tape 25 can be firmly bonded to the nozzle plate 20 by metal bonding with the solder 29. Even when the nozzle plate 20 is formed of a silicon single crystal substrate, metal bonding by soldering may be performed in the same manner. In this case, a metal wiring pattern is also formed on the nozzle plate 20 side. Then, the wiring patterns formed on both the end portion 25 a and the nozzle plate 20 are metal-bonded with solder 29.

また、実施形態1では、撥液テープ25は、ノズルプレート20の表面に接着されていたが、このような態様に限定されない。   In the first embodiment, the liquid repellent tape 25 is bonded to the surface of the nozzle plate 20, but is not limited to such a mode.

図6(b)は、実施形態2に係る記録ヘッドの要部拡大断面図である。なお、実施形態1と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。   FIG. 6B is an enlarged cross-sectional view of a main part of the recording head according to the second embodiment. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same thing as Embodiment 1, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

本実施形態に係るノズルプレート20には、液体噴射面Aに下地膜22が設けられ、下地膜22に撥液膜23が設けられている。   In the nozzle plate 20 according to this embodiment, a base film 22 is provided on the liquid ejection surface A, and a liquid repellent film 23 is provided on the base film 22.

ノズルプレート20の段差24近傍の端部は、撥液膜23が一部除去されて下地膜22が露出している。下地膜22と、段差24に接合された接合部242の表面とは、ほぼ面一となっている。この下地膜22が露出した部分が非撥液領域26である。   At the end of the nozzle plate 20 near the step 24, the liquid-repellent film 23 is partially removed, and the base film 22 is exposed. The base film 22 and the surface of the joint portion 242 joined to the step 24 are substantially flush with each other. A portion where the base film 22 is exposed is a non-liquid repellent region 26.

撥液テープ25は、カバーヘッド240の側壁部245及び接合部242の表面を覆い、非撥液領域26まで連続して覆っている。下地膜22は、撥液膜23と異なり、接着剤の接着力を低下させないので、確実に、撥液テープ25をノズルプレート20に接合することができる。   The liquid repellent tape 25 covers the surface of the side wall portion 245 and the joint portion 242 of the cover head 240 and continuously covers the non-liquid repellent region 26. Unlike the liquid repellent film 23, the base film 22 does not reduce the adhesive strength of the adhesive, so that the liquid repellent tape 25 can be reliably bonded to the nozzle plate 20.

〈実施形態3〉
実施形態1及び実施形態2に例示した記録ヘッド1は、インクジェット式記録装置Iに搭載される。図7は、本発明の実施形態に係るインクジェット式記録装置を示す概略図である。
<Embodiment 3>
The recording head 1 exemplified in the first and second embodiments is mounted on an ink jet recording apparatus I. FIG. 7 is a schematic view showing an ink jet recording apparatus according to an embodiment of the present invention.

図示するように、本実施形態の液体噴射装置であるインクジェット式記録装置Iは、例えば、ブラック(B)、シアン(C)、マゼンダ(M)、イエロー(Y)等の複数の異なる色のインクが貯留される貯留室を有するインクカートリッジ(液体貯留手段)2が装着された記録ヘッド1を具備する。記録ヘッド1はキャリッジ3に搭載されており、記録ヘッド1が搭載されたキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、キャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙装置等により給紙された紙等の被記録媒体Sがプラテン8上を搬送されるようになっている。   As shown in the drawing, an ink jet recording apparatus I that is a liquid ejecting apparatus according to the present embodiment includes, for example, a plurality of different color inks such as black (B), cyan (C), magenta (M), and yellow (Y). The recording head 1 is equipped with an ink cartridge (liquid storage means) 2 having a storage chamber in which is stored. The recording head 1 is mounted on a carriage 3, and the carriage 3 on which the recording head 1 is mounted is provided on a carriage shaft 5 attached to the apparatus body 4 so as to be movable in the axial direction. Then, the driving force of the driving motor 6 is transmitted to the carriage 3 through a plurality of gears and a timing belt 7 (not shown), so that the carriage 3 is moved along the carriage shaft 5. On the other hand, the apparatus body 4 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 5, so that a recording medium S such as paper fed by a paper feeding device (not shown) is conveyed on the platen 8. ing.

〈他の実施形態〉
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
<Other embodiments>
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above.

例えば、上述した実施形態1では、ヘッド本体220のノズルプレート20を保持する固定部材として、カバーヘッド240を例示したが、固定部材は特にこれに限定されるものではない。例えば、側壁部245を有さず、接合部242のみからなる平板状の固定部材であってもよい。また、一つのカバーヘッド240が複数のヘッド本体220に共通に取り付けられていたが、このような態様に限定されない。例えば、一つのカバーヘッド240が一つのヘッド本体220に設けられていてもよい。   For example, in Embodiment 1 described above, the cover head 240 is exemplified as the fixing member that holds the nozzle plate 20 of the head main body 220, but the fixing member is not particularly limited thereto. For example, it may be a flat plate-like fixing member that does not have the side wall portion 245 and is composed only of the joint portion 242. Further, although one cover head 240 is commonly attached to the plurality of head main bodies 220, the present invention is not limited to such a mode. For example, one cover head 240 may be provided on one head body 220.

撥液テープ25は、カバーヘッド240の外表面全体を覆う必要はなく、少なくとも一部の外表面に設けられていればよい。例えば、液体噴射面Aと面一となる接合部242の表面にのみ撥液テープ25が接合されてもよい。また、撥液テープ25は、液体噴射面Aの縁部全体に設けられていたが、このような態様に限定されない。例えば、ノズル21が封止されないように、液体噴射面Aの縁部の一部に撥液テープ25が接合されていてもよい。   The liquid repellent tape 25 does not need to cover the entire outer surface of the cover head 240, and may be provided on at least a part of the outer surface. For example, the liquid repellent tape 25 may be bonded only to the surface of the bonding portion 242 that is flush with the liquid ejection surface A. Moreover, although the liquid repellent tape 25 was provided in the whole edge part of the liquid ejection surface A, it is not limited to such an aspect. For example, the liquid repellent tape 25 may be joined to a part of the edge of the liquid ejection surface A so that the nozzle 21 is not sealed.

さらに、上述した実施形態1では、圧力発生室12に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、撓み振動型の圧電素子300を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子などを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルから液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるものなどを使用することができる。   Further, in the first embodiment described above, the flexural vibration type piezoelectric element 300 has been described as the pressure generating means for causing the pressure change in the pressure generating chamber 12, but the present invention is not particularly limited thereto. A longitudinal vibration type piezoelectric element that is alternately stacked with electrode forming materials and expands and contracts in the axial direction can be used. In addition, as a pressure generating means, a heating element is arranged in the pressure generating chamber, and droplets are ejected from the nozzle by bubbles generated by heat generation of the heating element, or static electricity is generated between the diaphragm and the electrode. In addition, it is possible to use a device in which a diaphragm is deformed by electrostatic force and droplets are ejected from a nozzle.

なお、液体噴射ヘッドとしてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録ヘッドユニット及びインクジェット式記録装置Iを一例として説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。   Note that the ink jet recording head, the ink jet recording head unit, and the ink jet recording apparatus I that discharge ink as the liquid ejecting head have been described as examples. However, the present invention is broadly described as a liquid ejecting head, a liquid ejecting head unit, and a liquid ejecting apparatus. It is intended for general use. Examples of the liquid ejecting head include a recording head used for an image recording apparatus such as a printer, a color material ejecting head used for manufacturing a color filter such as a liquid crystal display, an organic EL display, and an electrode formation such as an FED (field emission display). Electrode material ejecting heads used in manufacturing, bioorganic matter ejecting heads used in biochip production, and the like.

I インクジェット式記録装置(液体噴射装置)、 1 インクジェット式記録ヘッド(液体噴射ヘッド)、 10 流路形成基板、 20 ノズルプレート、 21 ノズル、 22 下地膜、 23 撥液膜、 24 段差、 25 撥液テープ、 25a 端部、 26 非撥液領域、 27 撥水領域、 28、 接着剤、 29 半田、 220 ヘッド本体、 240 カバーヘッド、 241 露出開口部、 242 接合部、 243 枠部、 244 梁部、 245 側壁部   I ink jet recording apparatus (liquid ejecting apparatus), 1 ink jet recording head (liquid ejecting head), 10 flow path forming substrate, 20 nozzle plate, 21 nozzle, 22 base film, 23 liquid repellent film, 24 step, 25 liquid repellent Tape, 25a end, 26 non-liquid repellent area, 27 water repellent area, 28, adhesive, 29 solder, 220 head body, 240 cover head, 241 exposed opening, 242 joint, 243 frame, 244 beam, 245 Side wall

Claims (4)

液体を噴射するノズルが設けられた液体噴射面を有するヘッド本体と、
前記ヘッド本体に固定され、前記ノズルが露出する露出開口を有する固定部材とを備え、
前記ヘッド本体の前記液体噴射面の縁部には、液体が吐出される方向と反対方向に前記液体噴射面よりも凹んだ段差が設けられ、
前記固定部材は、前記ヘッド本体の前記段差に接合され、
前記液体に対して撥液性を有する撥液部材が前記固定部材の少なくとも一部の表面から前記液体噴射面の一部まで連続して設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
A head body having a liquid ejection surface provided with a nozzle for ejecting liquid;
A fixing member fixed to the head body and having an exposed opening through which the nozzle is exposed,
At the edge of the liquid ejecting surface of the head body, a step that is recessed from the liquid ejecting surface in a direction opposite to the direction in which the liquid is ejected is provided,
The fixing member is joined to the step of the head body,
A liquid ejecting head, wherein a liquid repellent member having liquid repellency with respect to the liquid is continuously provided from at least a part of the surface of the fixing member to a part of the liquid ejecting surface.
請求項1に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記固定部材は、前記ヘッド本体の前記段差に金属接合されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
The liquid ejecting head according to claim 1,
The liquid ejecting head, wherein the fixing member is metal-bonded to the step of the head body.
請求項1又は請求項2に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記液体噴射面には、撥液膜が設けられた撥液領域と非撥液領域とを有し、
前記撥液部材は、前記固定部材少なくとも一部の表面から前記液体噴射面の非撥液領域まで連続して設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
The liquid ejecting head according to claim 1 or 2,
The liquid ejection surface has a liquid repellent region provided with a liquid repellent film and a non-liquid repellent region,
The liquid ejecting head, wherein the liquid repellent member is continuously provided from at least a part of the surface of the fixing member to a non-liquid repellent region of the liquid ejecting surface.
請求項1〜請求項3の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。   A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to claim 1.
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