JP2012216534A - Organic el element manufacturing method and organic el element - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of an organic EL element in which an organic light-emitting layer is formed by a printing method and an organic EL element, which cause less occurrence of film defect such as a difference in film thickness between pixels and awkward film shape, and no emission unevenness.SOLUTION: In a manufacturing method of an organic EL element, in which pixel electrodes on a substrate, barriers for defining the neighboring pixel electrodes from one another as a pixel that is a subpixel, and at least one layer of an organic EL layer composed of an organic compound for the pixel are formed by a letterpress printing method, a letterpress pattern for printing used in patterning is a striped pattern or a dot pattern and an acute angle θ among angles between a direction of a long side of the pattern and a printing direction is 45° or more and 90° or less.

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス(以下、ELと略称する)材料膜が凸版印刷法によって形成された有機EL素子の製造方法及びそれにより製造された有機EL素子に関し、特に有機EL素子製造に用いられる印刷用凸版に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing an organic EL element in which an organic electroluminescence (hereinafter abbreviated as EL) material film is formed by a relief printing method, and an organic EL element manufactured thereby, and is particularly used for manufacturing an organic EL element. It relates to a letterpress for printing.

有機EL素子は、二つの対向する電極間に有機EL材料を有する有機発光層が形成された構造をもつ発光素子であり、電圧の印加により発光するものである。効率の良い発光を得るためには、有機発光層の膜厚が重要な要素であり、数nmから数十nm程度で膜厚をコントロールする必要がある。   An organic EL element is a light emitting element having a structure in which an organic light emitting layer having an organic EL material is formed between two opposing electrodes, and emits light when a voltage is applied. In order to obtain efficient light emission, the film thickness of the organic light emitting layer is an important factor, and it is necessary to control the film thickness from several nm to several tens of nm.

有機発光層に用いられる有機EL材料は、低分子系材料と高分子系材料に区分されており、有機発光層の形成方法は材料の種類によって異なる。   The organic EL material used for the organic light emitting layer is classified into a low molecular material and a high molecular material, and the formation method of the organic light emitting layer differs depending on the type of the material.

一般に低分子系材料は、基板に抵抗加熱蒸着法(真空蒸着法)等によって薄膜形成される。この方法は、均一な薄膜形成には優れた方法であるが、基板が大型になるとパターン精度を保ち難くなるという問題がある。   Generally, a low molecular weight material is formed into a thin film on a substrate by resistance heating vapor deposition (vacuum vapor deposition) or the like. Although this method is an excellent method for forming a uniform thin film, there is a problem that it becomes difficult to maintain pattern accuracy when the substrate becomes large.

一方、高分子系材料では、有機発光材料を溶剤に溶解あるいは分散させてインキ化し、ウェットコーティング法によって薄膜を形成する。ウェットコーティング法としては、スピンコート法、バーコート法、突出コート法、ディップコート法等があるが、パターニングや色の塗り分けに用いることは困難であり、高精細なパターニング等を行うには、インキジェット法や印刷法等によるパターン印刷を用いることが必要となる。   On the other hand, in a polymer material, an organic light emitting material is dissolved or dispersed in a solvent to form an ink, and a thin film is formed by a wet coating method. As the wet coating method, there are a spin coating method, a bar coating method, a protruding coating method, a dip coating method, etc., but it is difficult to use for patterning and color coating, and in order to perform high-definition patterning, etc. It is necessary to use pattern printing by an ink jet method or a printing method.

例えば、特許文献1には、インキジェット法によるパターン形成方法が開示されている。この方法では、インキジェットノズルから溶剤に溶かした有機発光材料を基板上に噴出させ、基板上で乾燥させることでパターンを形成する。しかしながら、ノズルから噴出されたインキ液滴は球状をしている為、基板上に着弾する際にインキが円形状に広がり、形成されたパターンの形状が直線性に欠けたり、あるいは着弾精度が悪くなってパターンの直線性が得られなかったりするという問題点がある。   For example, Patent Document 1 discloses a pattern forming method using an ink jet method. In this method, a pattern is formed by ejecting an organic light emitting material dissolved in a solvent from an ink jet nozzle onto a substrate and drying it on the substrate. However, since the ink droplets ejected from the nozzle are spherical, the ink spreads in a circular shape when landing on the substrate, and the shape of the formed pattern lacks linearity or the landing accuracy is poor. Therefore, there is a problem that the linearity of the pattern cannot be obtained.

また、印刷法によるパターン形成方法には様々な種類があるが、基板としてガラス基板を用いることが多い有機EL素子については、ゴム製の印刷用ブランケットを用いたオフセット印刷法や、ゴムやその他の樹脂を主成分とした感光性樹脂版を用いる凸版印刷法等が適正な印刷法と考えられる。例えば、特許文献2には、オフセット印刷によるパターン印刷方法が、また、特許文献3には凸版印刷によるパターン印刷方法が開示されている。中でも、特に凸版印刷による方法はパターン形成精度や膜厚均一性などに優れ、印刷による有機EL素子の製造方法として最も適している。   In addition, there are various types of pattern forming methods by printing methods. For organic EL elements that often use glass substrates as substrates, offset printing methods using rubber printing blankets, rubber and other A letterpress printing method using a photosensitive resin plate mainly composed of a resin is considered an appropriate printing method. For example, Patent Document 2 discloses a pattern printing method using offset printing, and Patent Document 3 discloses a pattern printing method using relief printing. Among them, the method by letterpress printing is excellent in pattern formation accuracy and film thickness uniformity, and is most suitable as a method for producing an organic EL element by printing.

凸版印刷法による、有機EL素子の有機発光層を形成する工程の一例としては、まず有機EL材料を溶剤に溶解あるいは分散させてインキ化し、微細な孔を有するアニロックスロールのロール表面に塗布する。次に、アニロックスロール表面の余分なインキをドクターブレードで掻き取るによって、アニロックスロールの単位面積あたりのインキの塗布量を均一にする。そして、有機EL素子の画素の形状に対応して設けられている画像形成部を有する印刷版の画像形成部にアニロックスロール上のインキを転移させ、最後にこの印刷版の画像形成部上のインキ薄膜を転移させることで基板上に有機EL素子の有機発光層を形成する。   As an example of the step of forming the organic light emitting layer of the organic EL element by the relief printing method, first, an organic EL material is dissolved or dispersed in a solvent to form an ink, which is applied to the roll surface of an anilox roll having fine holes. Next, excess ink on the surface of the anilox roll is scraped off with a doctor blade, so that the amount of ink applied per unit area of the anilox roll is made uniform. Then, the ink on the anilox roll is transferred to the image forming portion of the printing plate having the image forming portion provided corresponding to the shape of the pixel of the organic EL element, and finally the ink on the image forming portion of this printing plate. The organic light emitting layer of the organic EL element is formed on the substrate by transferring the thin film.

図1は、凸版印刷法によって発光部を形成するための印刷工程の一例を断面で示した模式図である。有機EL材料などを溶媒に溶解あるいは分散させてなるインキ5が、アニロックスロール6、印刷用凸版8の画像形成部、基板2の順に転移させられ、その上の発光部の形成個所に所望の発光部が形成される。   FIG. 1 is a schematic view showing in cross section an example of a printing process for forming a light emitting portion by a relief printing method. Ink 5 obtained by dissolving or dispersing an organic EL material or the like in a solvent is transferred in the order of anilox roll 6, image forming portion of printing relief plate 8, and substrate 2, and desired light emission is formed on the light emitting portion formed thereon. Part is formed.

また、図2は、ディスプレイ等のカラー表示用デバイスに用いられる隔壁基板の一例を平面で示した模式図である。隔壁基板は、基板上に隔壁を設けて各色の発光領域として画素領域が画定されている。通常は、赤色発光用画素領域10と、緑色発光用画素領域11と、青色発光用画素領域12の一組を画素13としてマトリックス状に配置される。画素領域の短辺方向に各色の画素領域が並び、長辺方向に同色発光用の画素領域が並んだ配列をとる。   FIG. 2 is a schematic view showing an example of a partition wall substrate used in a color display device such as a display in a plan view. In the partition substrate, a partition region is provided on the substrate, and pixel regions are defined as light emitting regions of the respective colors. Usually, a set of red light emitting pixel area 10, green light emitting pixel area 11, and blue light emitting pixel area 12 is arranged in a matrix as pixels 13. The pixel area of each color is arranged in the short side direction of the pixel area, and the pixel area for light emission of the same color is arranged in the long side direction.

隔壁基板に有機EL素子を作製する場合、通常、複数の線状パターンから構成されるストライプパターンを有する凸版を用いて、画素領域の長辺方向、即ち印刷方向とストライプパターンとが平行な方向に有機EL材料を転写することで、同色発光画素領域列に有機EL膜の形成を行う。図3に、印刷の様子を説明する模式図を示す。図4(a)に印刷後の隔壁基板の模式図、(b)に印刷後の隔壁基板の断面図、(c)
に画素領域の膜厚形状を示す。
When producing an organic EL element on a partition substrate, usually, a relief plate having a stripe pattern composed of a plurality of linear patterns is used, and the long side direction of the pixel region, that is, the direction in which the printing direction and the stripe pattern are parallel to each other. By transferring the organic EL material, an organic EL film is formed in the same color light emitting pixel region row. FIG. 3 is a schematic diagram for explaining how printing is performed. 4A is a schematic diagram of the partition wall substrate after printing, FIG. 4B is a cross-sectional view of the partition wall substrate after printing, and FIG.
Shows the film thickness of the pixel region.

印刷法による有機EL材料の転写は、被転写部の表面性質の影響を顕著に受ける。そのため、隔壁と画素領域とで表面性質が異なった隔壁基板にストライプパターンを有する凸版で印刷を行った場合、膜厚、膜形状に不良が発生しやすい。図5に、その不良現象を説明する模式図を示す。図5(a)は印刷後の隔壁基板の模式図、(b)は印刷後の隔壁基板の断面図、(c)は画素内の膜厚形状を示している。隔壁と画素領域とで表面性質が大きく異なる場合、図5(a)に示すように、画素と隔壁でインキの濡れ広がり方に差が発生する。それにより、図5(b)に示すように、隔壁とそれに隣接する画素との間で転写されるインキ量がばらつき、画素領域間での膜厚差や膜形状の偏りといった不良が発生する。隔壁基板に対し、正常に膜形成が行われた場合、図4(c)に示したように、膜形状は中央部分が最薄の凹形状になるが、上記の不良が発生した場合、図5(c)に示すように、最薄部の位置が画素毎に変化することになる。   The transfer of the organic EL material by the printing method is significantly affected by the surface properties of the transferred portion. Therefore, when printing is performed with a relief plate having a stripe pattern on a partition wall substrate having different surface properties between the partition walls and the pixel region, defects in film thickness and film shape are likely to occur. FIG. 5 is a schematic diagram for explaining the defect phenomenon. 5A is a schematic diagram of the partition wall substrate after printing, FIG. 5B is a cross-sectional view of the partition wall substrate after printing, and FIG. 5C shows the film thickness shape in the pixel. When the surface properties are greatly different between the partition walls and the pixel region, as shown in FIG. 5A, a difference occurs in the way in which the ink spreads between the pixels and the partition walls. As a result, as shown in FIG. 5B, the amount of ink transferred between the partition walls and adjacent pixels varies, and defects such as film thickness differences and film shape deviations occur between pixel areas. When the film formation is normally performed on the partition substrate, as shown in FIG. 4C, the film shape becomes the thinnest concave shape at the center, but when the above defects occur, As shown in FIG. 5C, the position of the thinnest part changes for each pixel.

また、上記のような印刷不良は画素領域と隔壁の高低差が大きい場合、インキの濡れ広がり差の影響が大きくなるためにより顕著に発生する。さらに、上記のような膜不良が画素に発生すると、画素毎の発光強度や寿命等に差が生じるため、発光ムラが観察される。   In addition, the above-described printing failure occurs more remarkably when the difference in height between the pixel area and the partition wall is large, because the influence of the difference in wetting and spreading of the ink increases. Further, when such a film defect occurs in a pixel, a difference occurs in the light emission intensity and life of each pixel, so that light emission unevenness is observed.

特開平10−12377号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-12377 特開2001−93668号公報JP 2001-93668 A 特開2001−155858号公報JP 2001-155858 A

本発明は、上述のような問題を解決するためになされたものであり、印刷法を用いて有機発光層が形成された有機EL素子の製造方法について、画素間での膜厚差や膜形状の偏りといった膜不良の発生が少ない、発光ムラの無い有機EL素子の製造法及び有機EL素子を提供することを課題としている。   The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and relates to a method for manufacturing an organic EL element in which an organic light emitting layer is formed using a printing method. It is an object of the present invention to provide an organic EL device manufacturing method and an organic EL device that are less likely to cause film defects such as unevenness of light and have no light emission unevenness.

本発明の請求項1に係る発明は、基板上に画素電極と、隣接する前記が素電極同士をサブピクセルである画素に画定する隔壁と、前記画素に有機化合物からなる有機EL層の少なくとも一層を凸版印刷法によって、形成してなる有機EL素子の製造方法において、
前記パターニングに用いられる印刷用凸版のパターンがストライプもしくはドットパターンであって、前記パターンの長辺の方向と印刷方向とがなす角度のうち、鋭角θが45°以上90°以下である事を特徴とする有機EL素子の製造方法である。
According to a first aspect of the present invention, there is provided at least one layer of a pixel electrode on a substrate, a partition wall defining the adjacent element electrodes as pixels which are subpixels, and an organic EL layer made of an organic compound in the pixel. In the method of manufacturing an organic EL element formed by letterpress printing,
The pattern of the printing relief plate used for the patterning is a stripe or dot pattern, and the acute angle θ is 45 ° or more and 90 ° or less among the angles formed by the direction of the long side of the pattern and the printing direction. It is the manufacturing method of the organic EL element which makes it.

また、本発明の請求項2に係る発明は、前記パターンの短辺方向が前記画素の短辺方向に対して平行であることを特徴とする請求項1に記載する有機EL素子の製造方法である。   The invention according to claim 2 of the present invention is the method for manufacturing an organic EL element according to claim 1, wherein the short side direction of the pattern is parallel to the short side direction of the pixel. is there.

また、本発明の請求項3に係る発明は、前記パターンで転写される前記有機EL層が、少なくとも二つ以上の画素の長辺方向につながって形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載する有機EL素子の製造方法である。   The invention according to claim 3 of the present invention is characterized in that the organic EL layer transferred in the pattern is formed to be connected in the long side direction of at least two or more pixels. 2 is a method for producing an organic EL device described in 2.

また、本発明の請求項4に係る発明は、前記パターンで転写される前記有機EL層が、前記隔壁上と前記画素の両方に形成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載する有機EL素子の製造方法である。   In the invention according to claim 4 of the present invention, the organic EL layer transferred in the pattern is formed on both the partition and the pixel. It is a manufacturing method of the organic EL element described in item 1.

また、本発明の請求項5に係る発明は、前前記パターンの短辺幅が20μm以上100μm以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載する有機EL素子の製造方法である。   Further, in the invention according to claim 5 of the present invention, the short side width of the previous pattern is 20 μm or more and 100 μm or less, The manufacture of the organic EL element according to any one of claims 1 to 4 Is the method.

また、本発明の請求項6に係る発明は、隣接する前記画素の長辺方向の隔壁幅が10μm以上画素長辺距離以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載する有機EL素子の製造方法である。   The invention according to claim 6 of the present invention is characterized in that the partition width in the long side direction of the adjacent pixels is 10 μm or more and not more than the pixel long side distance. It is a manufacturing method of the organic EL element to describe.

また、本発明の請求項7に係る発明は、前記隔壁と前記画素電極との高低差が0.1μm以上5μm以下であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載する有機EL素子の製造方法である。   In the invention according to claim 7 of the present invention, a difference in height between the partition wall and the pixel electrode is 0.1 μm or more and 5 μm or less. It is a manufacturing method of an organic EL element.

また、本発明の請求項8に係る発明は、印刷される前記有機EL層の少なくとも一層が、ウェットコート法で形成される前記有機EL層のうちの最下層であることを特徴とする請求項1乃至4の記載の有機EL素子の製造方法である。   The invention according to claim 8 of the present invention is characterized in that at least one of the organic EL layers to be printed is the lowest layer of the organic EL layers formed by a wet coating method. It is a manufacturing method of the organic EL element as described in 1-4.

次に、本発明の請求項9に係る発明は、請求項1乃至8のいずれか1項に記載する有機EL素子の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする有機EL素子である。   Next, an invention according to claim 9 of the present invention is an organic EL element manufactured by using the method for manufacturing an organic EL element according to any one of claims 1 to 8.

次に、本発明の請求項10に係る発明は、請求項9に記載する有機EL素子を備えることを特徴とする有機ELディスプレイである。   Next, an invention according to claim 10 of the present invention is an organic EL display including the organic EL element according to claim 9.

また、本発明の請求項11に係る発明は、請求項9に記載する有機EL素子を備えることを特徴とする有機EL照明である。   The invention according to claim 11 of the present invention is an organic EL illumination comprising the organic EL element according to claim 9.

また、本発明の請求項12に係る発明は、基板上に画素電極と、隣接する前記が素電極同士をサブピクセルである画素に画定する隔壁と、前記画素に有機化合物からなる有機EL層の少なくとも一層を凸版印刷法によって、形成してなる有機EL素子の製造方法において、前記パターニングに用いられる印刷用凸版のパターンがストライプもしくはドットパターンであって、前記パターンの長辺と印刷方向とがなす角度のうち、鋭角θが45°以上90°以下である事を特徴とする有機EL素子の製造装置である。   According to a twelfth aspect of the present invention, there is provided a pixel electrode on a substrate, a partition that defines the adjacent element electrodes as pixels that are subpixels, and an organic EL layer made of an organic compound in the pixel. In the method of manufacturing an organic EL element, in which at least one layer is formed by a relief printing method, the printing relief pattern used for the patterning is a stripe or a dot pattern, and a long side of the pattern and a printing direction are formed. Among the angles, the acute angle θ is 45 ° or more and 90 ° or less, and the organic EL device manufacturing apparatus is characterized in that

本発明によれば、画素間での膜厚差や膜形状の偏りといった膜不良の発生を発生させずに、表面性質の異なる画素と隔壁に有機EL膜を形成できるため、発光ムラの無い有機EL素子を印刷法によって製造することができる。   According to the present invention, an organic EL film can be formed on a pixel and a partition having different surface properties without causing film defects such as film thickness differences and film shape deviations between pixels. The EL element can be manufactured by a printing method.

本発明に係る、凸版印刷法で用いられる印刷装置の一例を示す概略断面図で ある。It is a schematic sectional drawing which shows an example of the printing apparatus used by the relief printing method based on this invention. 本発明に係る、隔壁基板の一例を平面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the partition board | substrate based on this invention in the plane. 従来の印刷工程の一例の様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the mode of an example of the conventional printing process. 従来の印刷後の隔壁基板の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the partition board | substrate after the conventional printing. 従来の印刷後の隔壁基板の不良現象一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the defect phenomenon of the partition board | substrate after the conventional printing. 本発明に係る印刷用凸版の一実施形態例を断面で示す模式図である。It is a schematic diagram which shows one embodiment of the relief printing plate concerning this invention in a cross section. 本発明に係る印刷工程の一例の様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the mode of an example of the printing process which concerns on this invention. 本発明に係る印刷工程の一例の上面視による様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a mode by the top view of an example of the printing process which concerns on this invention. 本発明の製造方法で印刷を行った隔壁基板の一実施形態例を示す説明図であ る。It is explanatory drawing which shows one embodiment of the partition board | substrate printed by the manufacturing method of this invention. 本発明の製造方法で印刷を行った基板の一実施形態例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows one embodiment of the board | substrate which printed with the manufacturing method of this invention. 本発明の製造方法で印刷を行った基板の一実施形態の他の例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the other example of one Embodiment of the board | substrate which printed by the manufacturing method of this invention. 本発明に係る有機EL素子の一実施形態例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows one Embodiment of the organic EL element which concerns on this invention. 本発明に係る有機EL素子の製造に用いるアクティブマトリックス方式の基板の一実施形態例の断面図である。1 is a cross-sectional view of an embodiment of an active matrix substrate used for manufacturing an organic EL element according to the present invention.

以下、本発明の有機EL素子の製造法を、その一実施形態に基づいて図面を参照して説明する。なお、本発明はこれに限るものではない。   Hereinafter, the manufacturing method of the organic EL element of this invention is demonstrated with reference to drawings based on the one embodiment. The present invention is not limited to this.

本発明の有機EL素子の製造法は、有機材料からなる発光層と発光補助層からなる有機EL層のうち少なくとも1層を、有機EL材料を溶媒に溶解、または分散させたインキを用い、基板上に樹脂からなる凸部パターンを有する樹脂凸版を印刷版とした凸版印刷法により形成する際に適用することができる。発光補助層としては、正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層、電荷発生層等を積層させて用いる。以降、本発明において、有機EL材料を溶媒に溶解、または分散させた有機EL材料インキを用いた場合について示す。   The organic EL device manufacturing method of the present invention uses an ink in which at least one of a light emitting layer made of an organic material and a light emitting auxiliary layer made of an organic material is dissolved or dispersed in a solvent. It can be applied when forming by a relief printing method using a resin relief plate having a projection pattern made of a resin as a printing plate. As the light emission auxiliary layer, a hole transport layer, a hole injection layer, an electron transport layer, an electron injection layer, a charge generation layer, and the like are stacked and used. Hereinafter, in the present invention, a case where an organic EL material ink in which an organic EL material is dissolved or dispersed in a solvent is used will be described.

従来の印刷工程の一例を図3に、本発明に係る印刷工程の一例を図7に示した。印刷用凸版は、複数画素配置に対応したストライプパターンを有する凸版(以下、単にストライプパターンという場合には凸版のストライプパターンを指す)と、短いストライプパターンを複数個配置したドットパターン版のどちらも使用することができる。   An example of a conventional printing process is shown in FIG. 3, and an example of a printing process according to the present invention is shown in FIG. The letterpress for printing uses either a letterpress having a stripe pattern corresponding to a plurality of pixel arrangements (hereinafter simply referred to as a letterpress stripe pattern) or a dot pattern version having a plurality of short stripe patterns. can do.

しかしながら、ドットパターンは、ストライプパターンを用いる場合に比べて、パターン一つ一つに高いアライメント精度が要求されることや凸部上でのインキ流動が出来ないことによってインキ供給時のムラがより強く現れることなどの短所がある。   However, the dot pattern has a higher level of unevenness when supplying ink due to the high alignment accuracy required for each pattern and the inability to flow ink on the protrusions compared to the case of using a stripe pattern. There are disadvantages such as appearing.

ストライプパターンを用いた場合、複数の画素を一つのパターンで印刷できるため、アライメント精度や凸部上のインキ均一性の面でドットパターンに比べ有利である。しかしながら、印刷法による有機EL材料の転写は、被転写部の表面性質の影響を顕著に受けやすく、隔壁基板に印刷を行った場合、画素と隔壁でインキの濡れ広がり方に差が生じ、画素領域間での膜厚差や膜形状の偏りが発生しやすい。   When the stripe pattern is used, a plurality of pixels can be printed in one pattern, which is advantageous in comparison with the dot pattern in terms of alignment accuracy and ink uniformity on the convex portion. However, the transfer of the organic EL material by the printing method is remarkably affected by the surface properties of the transferred portion, and when printing is performed on the partition substrate, there is a difference in how the ink spreads between the pixel and the partition, and the pixel Differences in film thickness between regions and uneven film shapes are likely to occur.

ここで、隔壁は、画素電極の周囲を囲むことにより、画素(サブピクセル)に対応した発光領域を区画するように形成されている。即ち、本発明では、サブピクセル=(発光領域+発光領域を画定している隔壁)としている。高精細な表示を得るためには、画素(サブピクセル)の短辺幅は20μm以上100μm以下の範囲内である。20μm未満では凸版印刷法での製造が精度的に困難であり、100μmを越える大きさでは求める表示品質が得られない。また、隔壁は、それぞれの画素ができるだけ広い面積を占有しようとするため、画素電極の端部(側面)を覆うように形成され、隔壁の幅は10μm以上で画素の長辺方向の距離以下の範囲内である。隔壁の幅が10μm未満では画素の分離が不十分で表示のコントラストが不十分となり、画素の長辺方向の距離を超える場合には発光する画素領域が狭くなる。また、隔壁の好適な高さは、0.1μm以上5μm以下の範囲内であり、より好適には、0.5μm以上2μm以下の範囲内である。その理由は、隔壁の高
さが高すぎる場合は、第二電極(対向電極)の形成及び封止が妨げられ、隔壁の高さが低すぎる場合は、画素電極の端部を覆い切れず、また、発光媒体層の形成時に隣接する画素と混色してしまうためである。
Here, the partition wall is formed so as to partition a light emitting region corresponding to a pixel (subpixel) by surrounding the periphery of the pixel electrode. That is, in the present invention, subpixel = (light emitting area + partition defining the light emitting area). In order to obtain a high-definition display, the short side width of the pixel (subpixel) is in the range of 20 μm to 100 μm. If it is less than 20 μm, it is difficult to manufacture with the relief printing method with accuracy, and if it exceeds 100 μm, the desired display quality cannot be obtained. The partition wall is formed so as to cover the end portion (side surface) of the pixel electrode so that each pixel occupies as large an area as possible. The partition wall width is 10 μm or more and less than the distance in the long side direction of the pixel. Within range. If the partition wall width is less than 10 μm, the pixel separation is insufficient and the display contrast is insufficient, and if the distance in the long side direction of the pixel is exceeded, the light emitting pixel region is narrowed. Moreover, the suitable height of a partition is in the range of 0.1 micrometer or more and 5 micrometers or less, More preferably, it exists in the range of 0.5 micrometer or more and 2 micrometers or less. The reason is that if the height of the partition wall is too high, formation and sealing of the second electrode (counter electrode) is hindered, and if the height of the partition wall is too low, the end of the pixel electrode cannot be covered, Further, this is because the adjacent pixels are mixed when forming the light emitting medium layer.

ここで、本願出願人は、印刷方向とストライプパターン方向がなす角度のうち、鋭角θが45°以上90°以下の時にインキの濡れ広がりの差による偏りに起因するムラの発生を低減する効果を発揮することを見いだした。これは、基板上に転写されるインキは既に塗工されたインキとレベリングするが、印刷方向とストライプパターン方向がなす角度が平行に近い場合にはストライプパターンと基板が接触している付近のインキとしかレベリングできない。一方、印刷方向とストライプパターン方向がなす角度が直交に近い場合にはストライプパターンと基板が接触している箇所は転写パターンの全長と等しいので、転写パターン全体でレベリングすることが出来るためである。
また、印刷方向とストライプパターン方向がなす角度が平行に近い場合には印刷が進むにつれてストライプパターン上のインキが徐々に押し出されるため、印刷終了間際の版上には印刷開始時よりも多くの量が残り、印刷終了側で膜厚が厚くなる等に起因する発光ムラとして認識されてしまう。一方、印刷方向とストライプパターン方向がなす角度が直交に近い場合には前述のインキが徐々に押し出されないため、ムラ等の発生がない。
Here, the applicant of the present application has the effect of reducing the occurrence of unevenness due to the deviation due to the difference in wetting and spreading of the ink when the acute angle θ is 45 ° or more and 90 ° or less among the angles formed by the printing direction and the stripe pattern direction. I found it to work. This is because the ink transferred onto the substrate is leveled with the ink already applied, but if the angle between the printing direction and the stripe pattern direction is almost parallel, the ink in the vicinity where the stripe pattern and the substrate are in contact with each other Can only be leveled. On the other hand, when the angle formed by the printing direction and the stripe pattern direction is close to orthogonal, the portion where the stripe pattern and the substrate are in contact is equal to the entire length of the transfer pattern, so that the entire transfer pattern can be leveled.
In addition, when the angle between the printing direction and the stripe pattern direction is almost parallel, the ink on the stripe pattern is gradually pushed out as printing progresses, so a larger amount is printed on the plate just before the end of printing than at the start of printing. Remains, and is recognized as uneven light emission due to the film thickness becoming thicker on the printing end side. On the other hand, when the angle formed by the printing direction and the stripe pattern direction is close to orthogonal, the above-described ink is not gradually pushed out, so that unevenness does not occur.

上述の通り、本発明では、印刷方向に対してストライプパターン方向に角度(45°以上90°以下)をつけることによって、隔壁の影響による画素領域間での膜厚差や膜形状の偏りの不良発生を緩和するものである。本発明に係る印刷工程の一例の上面視図を図8に示した。しかしながら、印刷方向とストライプパターン方向とが直交(90°)に近づくほど本発明による効果がより強く現れるため、可能な限り直交であることが好ましい。
一方、印刷方向とストライプパターン方向がなす角度のうち、鋭角θが45°未満の場合には、従来の印刷方向である図3のように印刷方向とストライプパターンとが平行である場合に近くなるため、本願発明のムラを低減する効果が得られにくくなる。
As described above, in the present invention, by forming an angle (45 ° or more and 90 ° or less) in the stripe pattern direction with respect to the printing direction, a film thickness difference between pixel regions due to the influence of a partition wall or a deviation in film shape is defective. This is to mitigate the occurrence. A top view of an example of the printing process according to the present invention is shown in FIG. However, the closer the printing direction and the stripe pattern direction are to the orthogonality (90 °), the stronger the effect of the present invention appears.
On the other hand, when the acute angle θ is less than 45 ° among the angles formed by the print direction and the stripe pattern direction, the print direction and the stripe pattern are close to each other as shown in FIG. 3, which is the conventional print direction. Therefore, it becomes difficult to obtain the effect of reducing the unevenness of the present invention.

さらに、本発明において、ストライプパターンの短辺幅が狭い場合の印刷の説明図を図10に、短辺幅が広い場合の説明図を図11に示す。パターンの短辺幅が広い場合、印刷方向に対して前から後ろ側に向かって膜厚差が発生する。そのため、本発明においては、上記した画素の精細度とあわせて、ストライプパターンの短辺幅は100μm以下であることが望ましい。しかしながら、プロセスパラメータや材料、インキの調整によって上記の不良を防ぐことができる場合は、制限の必要はない。   Furthermore, in the present invention, FIG. 10 is an explanatory diagram of printing when the short side width of the stripe pattern is narrow, and FIG. 11 is an explanatory diagram when the short side width is wide. When the short side width of the pattern is wide, a film thickness difference occurs from the front side to the rear side with respect to the printing direction. Therefore, in the present invention, it is desirable that the short side width of the stripe pattern is 100 μm or less in combination with the above-described pixel definition. However, there is no need to limit if the above-mentioned defects can be prevented by adjusting process parameters, materials, and ink.

図1に本発明に係る、印刷物の製造に用いられる一例の凸版印刷装置の概略図を示した。ステージ1には被印刷基板2が固定されており、本発明によってパターン形成された印刷用凸版8は版胴7に固定され、印刷用凸版はインキ供給体であるアニロックスロール6と接しており、アニロックスロールはインキ補充装置3とドクター4を備えている。   FIG. 1 shows a schematic diagram of an example relief printing apparatus used for producing printed matter according to the present invention. The printing substrate 2 is fixed to the stage 1, the printing relief plate 8 patterned according to the present invention is fixed to the plate cylinder 7, and the printing relief plate is in contact with the anilox roll 6 which is an ink supply, The anilox roll includes an ink replenishing device 3 and a doctor 4.

まず、インキ補充装置3からアニロックスロール6へインキ5を補充し、アニロックスロール6に供給されたインキ5のうち余分なインキは、ドクター4により除去される。アニロックスロールへのインキ補充が適切に行われるのであれば、インキ補充装置3はどのようなものを選択してもよい。また、余分なインキの除去が適切に行われるのであれば、ドクター4にはドクターロール等どのようなものを選択してもよい。   First, the ink 5 is replenished from the ink replenishing device 3 to the anilox roll 6, and excess ink out of the ink 5 supplied to the anilox roll 6 is removed by the doctor 4. Any ink replenishing device 3 may be selected as long as the anilox roll is appropriately refilled with ink. Moreover, as long as the excess ink is appropriately removed, the doctor 4 may be selected from a doctor roll or the like.

印刷用凸版8へのインキ供給体であるアニロックスロール表面にドクター4によって均一に保持されたインキ5は、版胴7に取り付けられた印刷用凸版8の凸パターンに転移、供給される。そして、版胴の回転に合わせて印刷用凸版8の凸パターンと基板2は接しながら相対的に移動し、インキ5はステージ1上にある被印刷基板2の所定位置に転移し被印刷基板2に転写パターン9を形成する。パターン形成後は、必要に応じてオーブンなどによる乾燥工程を設けることができる。   The ink 5 uniformly held by the doctor 4 on the surface of the anilox roll which is an ink supply body to the printing relief plate 8 is transferred and supplied to the convex pattern of the printing relief plate 8 attached to the plate cylinder 7. Then, the convex pattern of the printing relief plate 8 and the substrate 2 move relatively in contact with the rotation of the plate cylinder, and the ink 5 is transferred to a predetermined position of the printing substrate 2 on the stage 1 to be printed. Then, a transfer pattern 9 is formed. After the pattern formation, a drying process using an oven or the like can be provided as necessary.

なお、図1は1枚毎に被印刷基板にインキパターンを形成する枚葉式の凸版印刷装置であるが、被印刷基板が対応する場合には、ロール・トゥー・ロール方式の凸版印刷装置を用いることもできる。また、印刷用凸版は版胴に巻きつける形ではなく、平板凸版で用いてもかまわない。   FIG. 1 shows a sheet-fed letterpress printing apparatus that forms an ink pattern on a substrate to be printed one by one. However, if the substrate to be printed is compatible, a roll-to-roll letterpress printing apparatus is used. It can also be used. Further, the printing relief plate may be used in the form of a flat relief plate instead of being wound around the plate cylinder.

図6に、本発明に係る、印刷用凸版の一実施例の説明断面図を示した。版基材16上に樹脂層により形成される凸パターン15が形成されている。版基材は、必要に応じて凸パターンと版基材との間に可視光線反射防止効果など機能性を付与するための層を加えて積層体としても良い。   FIG. 6 shows an explanatory cross-sectional view of one embodiment of the relief printing plate according to the present invention. A convex pattern 15 formed of a resin layer is formed on the plate substrate 16. The plate base material may be a laminate by adding a layer for imparting functionality such as a visible light reflection preventing effect between the convex pattern and the plate base material as necessary.

本発明に係る印刷用凸版に用いられる版材において、凸パターンが形成される版基材としては、印刷に対する機械的強度を有すれば良く、合成樹脂、金属、またはそれらの積層体を用いることができ、中でも寸法安定性を保持するものが望ましい。   In the plate material used for the printing relief plate according to the present invention, as the plate substrate on which the convex pattern is formed, it is only necessary to have mechanical strength against printing, and a synthetic resin, a metal, or a laminate thereof is used. Among them, those that maintain dimensional stability are desirable.

本発明に係る印刷用凸版の凸パターンを形成する樹脂の一成分となるポリマーは、合成樹脂やそれらの共重合体、セルロースなどの天然高分子などから一種類以上を選択することができるが、有機発光材料などといった塗工液を塗布する場合、有機溶剤に対する耐溶剤性の観点から、フッ素系樹脂が望ましい。   The polymer that is one component of the resin that forms the convex pattern of the printing relief printing plate according to the present invention can be selected from one or more types of synthetic resins, copolymers thereof, natural polymers such as cellulose, etc. When applying a coating solution such as an organic light emitting material, a fluororesin is desirable from the viewpoint of solvent resistance to organic solvents.

また、少なくとも、ポリビニルアルコール、ポリアミド、ポリウレタン、酢酸セルロースコハク酸エステル、部分ケン化ポリ酢酸ビニル、カチオン型ピペラジン含有ポリアミドやこれらの誘導体といった水溶性溶剤に可溶なものを一種類以上含有することによっても耐溶剤性を付与することが可能となるため、これらの内から一つ以上を選択し用いることも望ましい。   In addition, by containing at least one kind soluble in water-soluble solvents such as polyvinyl alcohol, polyamide, polyurethane, cellulose acetate succinate, partially saponified polyvinyl acetate, cationic piperazine-containing polyamide and derivatives thereof Since it is possible to impart solvent resistance, it is also desirable to select and use one or more of these.

本発明の製造方法における樹脂層による凸パターンは、フォトリソグラフィー法、印刷法等の種々のパターン成型法を用いることができるが、パターンの高精細さの観点から、感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィー法が望ましい。   For the convex pattern by the resin layer in the production method of the present invention, various pattern molding methods such as a photolithography method and a printing method can be used. From the viewpoint of high definition of the pattern, photolithography using a photosensitive resin is possible. The law is desirable.

感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィー法を凸部の形成方法として適用する場合、基材層、感光性樹脂層が順次積層されている板状感光性樹脂積層体から印刷用凸版の凸パターンを形成することが最も望ましい。感光性樹脂層の成型方法は、公知の方法を用いることができる。   When applying a photolithographic method using a photosensitive resin as a method for forming convex portions, a convex pattern of a relief printing plate is formed from a plate-shaped photosensitive resin laminate in which a base material layer and a photosensitive resin layer are sequentially laminated. It is most desirable to do. A known method can be used as a method for molding the photosensitive resin layer.

本発明に係る板状感光性樹脂積層体の成型方法を示す。基材上に反射防止層等を形成する場合には、ウェットコーティング法もしくはドライコーティング法により成膜し、積層体とする。次に積層体または基材に感光性樹脂層を公知の方法で成膜し、板状感光性樹脂積層体とする。   The molding method of the plate-shaped photosensitive resin laminated body which concerns on this invention is shown. When an antireflection layer or the like is formed on a substrate, a film is formed by a wet coating method or a dry coating method to form a laminate. Next, a photosensitive resin layer is formed on the laminate or substrate by a known method to obtain a plate-like photosensitive resin laminate.

形成された板状感光性樹脂積層体に対してフォトリソグラフィー法を用い、公知の露光、現像の工程を経て、目的とする凸パターンを形成する。   A photolithography method is used for the formed plate-shaped photosensitive resin laminate, and a desired convex pattern is formed through known exposure and development processes.

次に、本発明による隔壁基板を用いた有機EL素子の製造工程の一例を説明する。図12に本発明に係る一例の有機EL素子を、また図13に本発明に係る一例の隔壁基板の説明断面図を示す。なお、本発明はこれに限るものではない
基板上に薄型トランジスタ(TFT)34を形成することで、アクティブマトリックス方式の有機EL素子用の基板とすることが可能である。本発明の駆動方式はアクティブマトリックスに限るものではない。
Next, an example of the manufacturing process of the organic EL element using the partition board | substrate by this invention is demonstrated. FIG. 12 shows an example of an organic EL element according to the present invention, and FIG. 13 shows an explanatory sectional view of an example of a partition wall substrate according to the present invention. Note that the present invention is not limited to this, and by forming a thin transistor (TFT) 34 on a substrate, an active matrix organic EL element substrate can be obtained. The drive system of the present invention is not limited to the active matrix.

TFTや、その上層は支持体25で支持される。支持体としては機械的強度や、寸法安定性に優れていることが好ましい。支持体としては、絶縁性を有する基板であればいかなる基板も使用することができる。この支持体側から光を取り出すボトムエミッション方式の有機EL素子とする場合には、支持体として透明なものを使用する必要がある。   The TFT and its upper layer are supported by a support 25. The support is preferably excellent in mechanical strength and dimensional stability. Any substrate can be used as the support as long as it is an insulating substrate. In the case of a bottom emission type organic EL device that extracts light from the support side, it is necessary to use a transparent support.

例えば、ガラス基板や石英基板が支持体として使用できる。また、フレキシブル性を求める場合などにはプラスチックフィルムやシートを用いても良い。これらに水分等の侵入を防ぐことを目的として、金属酸化物薄膜や高分子樹脂膜等を積層してもよい。   For example, a glass substrate or a quartz substrate can be used as the support. Further, when demanding flexibility, a plastic film or sheet may be used. A metal oxide thin film, a polymer resin film, or the like may be laminated for the purpose of preventing moisture and the like from entering these.

支持体上に設けるTFTは、公知の薄膜トランジスタを用いることができる。具体的には、主として、ソース/ドレイン領域及びチャネル領域が形成される活性層26、ゲート絶縁膜27及びゲート電極28から構成される薄膜トランジスタが挙げられる。薄膜トランジスタの構造としては、特に限定されるものではない。   As the TFT provided on the support, a known thin film transistor can be used. Specifically, a thin film transistor composed mainly of an active layer 26 in which a source / drain region and a channel region are formed, a gate insulating film 27 and a gate electrode 28 can be mentioned. The structure of the thin film transistor is not particularly limited.

本発明の有機EL素子用の隔壁基板としては、TFTに平坦化層31が形成してあるとともに、平坦化層上に有機EL素子の下部電極(第一電極17)が設けられており、かつ、TFTと第一電極17とが平坦化層31に設けたコンタクトホール32を介して電気接続してあることが好ましい。このように構成することにより、TFTと、有機EL素子との間で、優れた導電性を得ることができる。   As the partition substrate for the organic EL element of the present invention, the planarization layer 31 is formed on the TFT, the lower electrode (first electrode 17) of the organic EL element is provided on the planarization layer, and It is preferable that the TFT and the first electrode 17 are electrically connected via a contact hole 32 provided in the planarization layer 31. By comprising in this way, the outstanding electroconductivity can be obtained between TFT and an organic EL element.

活性層26は、特に限定されるものではなく、例えば、非晶質シリコン、多結晶シリコン等の無機半導体材料やチオフェンオリゴマー等の有機半導体材料により形成することができる。   The active layer 26 is not particularly limited, and can be formed of, for example, an inorganic semiconductor material such as amorphous silicon or polycrystalline silicon, or an organic semiconductor material such as thiophene oligomer.

ゲート絶縁膜27としては、通常、ゲート絶縁膜として使用されているものを用いることができ、例えば、PECVD法、LPCVD法等により形成されたSiN、SiO、ポリシリコン膜を熱酸化して得られるSiO等を用いることができる。 As the gate insulating film 27, a film normally used as a gate insulating film can be used. For example, the gate insulating film 27 is obtained by thermally oxidizing a SiN, SiO 2 or polysilicon film formed by a PECVD method, an LPCVD method or the like. SiO 2 or the like can be used.

ゲート電極28としては、通常、ゲート電極として使用されているものを用いることができ、例えば、アルミ、銅、チタン、タンタル、タングステン、ポリシリコン、シリサイド、ポリサイド等が挙げられる。   As the gate electrode 28, those usually used as the gate electrode can be used, and examples thereof include aluminum, copper, titanium, tantalum, tungsten, polysilicon, silicide, and polycide.

表示装置は薄膜トランジスタ(TFT)が有機EL素子のスイッチング素子として機能するように接続されている必要があり、トランジスタのドレイン電極30と有機EL素子の画素電極(第一電極17)が電気的に接続されている。   The display device needs to be connected so that the thin film transistor (TFT) functions as a switching element of the organic EL element, and the drain electrode 30 of the transistor and the pixel electrode (first electrode 17) of the organic EL element are electrically connected. Has been.

TFTとドレイン電極30と有機EL素子の画素電極(第一電極17)との接続は、平坦化膜31を貫通するコンタクトホール32内に形成された接続配線を介して行われる。   The TFT, the drain electrode 30, and the pixel electrode (first electrode 17) of the organic EL element are connected through a connection wiring formed in a contact hole 32 that penetrates the planarization film 31.

平坦化膜の材料についてはSiO、スピンオンガラス、SiN(Si)、TaO(Ta)等の無機材料、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、フォトレジスト材料、ブラックマトリックス材料等の有機材料等を用いることができる。形成方法については、材料に合わせて選択する。 Regarding the material of the planarizing film, inorganic materials such as SiO 2 , spin-on glass, SiN (Si 3 N 4 ), TaO (Ta 2 O 5 ), organic materials such as polyimide resin, acrylic resin, photoresist material, and black matrix material Etc. can be used. The formation method is selected according to the material.

基板上には画素電極としての第一電極が設けられる。第一電極を陽極とした場合、その材料としては、ITO(インジウムスズ複合酸化物)、IZO(インジウム亜鉛複合酸化物)等の金属複合酸化物や金、クロムなどの金属材料を単層または積層したものをいずれも使用できる。第一電極の形成方法は、材料に応じて選択される。   A first electrode as a pixel electrode is provided on the substrate. When the first electrode is used as an anode, the material is a single layer or stacked layers of metal composite oxides such as ITO (indium tin composite oxide) and IZO (indium zinc composite oxide), and gold and chromium. Any of these can be used. The method for forming the first electrode is selected according to the material.

低抵抗であること、溶剤耐性があること、また、ボトムミッション方式としたときには透明性が高いことなどからITOが好ましく使用できる。ITOはスパッタ法によりガラス基板上に形成され、フォトリソ法によりパターニングされて第一電極となる。   ITO is preferably used because of its low resistance, solvent resistance, and high transparency when the bottom mission method is adopted. ITO is formed on a glass substrate by a sputtering method, and is patterned by a photolithography method to form a first electrode.

第一電極17を形成後、第一電極縁部を覆うようにして隔壁14が形成される。隔壁は絶縁性を有する必要があり、感光性材料等を用いることができる。感光性材料としては、ポジ型であってもネガ型であってもよく、光ラジカル重合系、光カチオン重合系の光硬化性樹脂、あるいはアクリロニトリル成分を含有する共重合体、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコール、ノボラック樹脂、ポリイミド樹脂、及びシアノエチルプルラン等を用いることができる。また、隔壁形成材料として、SiO、SiN、TiO等を用いることもできる。 After the first electrode 17 is formed, the partition wall 14 is formed so as to cover the first electrode edge. The partition wall needs to have insulating properties, and a photosensitive material or the like can be used. The photosensitive material may be a positive type or a negative type, a photo-curing resin of a photo radical polymerization system, a photo cationic polymerization system, or a copolymer containing an acrylonitrile component, polyvinyl phenol, polyvinyl alcohol. , Novolac resin, polyimide resin, cyanoethyl pullulan, and the like can be used. Further, as a partition wall forming material, it is also possible to use SiO 2, SiN, TiO 2 or the like.

隔壁形成材料が感光性材料の場合、形成材料溶液をスリットコート法やスピンコート法により全面コーティングしたあと、露光、現像といったフォトリソ法によりパターニングがおこなわれる。感光性材料を用いてフォトリソ法により隔壁を形成する場合、その形状は露光、現像条件により制御可能である。   When the partition wall forming material is a photosensitive material, the entire surface of the forming material solution is coated by a slit coating method or a spin coating method, and then patterning is performed by a photolithography method such as exposure and development. When the partition is formed by a photolithography method using a photosensitive material, its shape can be controlled by exposure and development conditions.

また、隔壁形成材料がSiO、SiN、TiOの場合、スパッタリング法、CVD法といった乾式成膜法で形成可能である。この場合、隔壁のパターニングはマスクやフォトリソ法により行うことができる。 Further, when the partition wall forming material is SiO 2 , SiN, TiO 2 , it can be formed by a dry film forming method such as a sputtering method or a CVD method. In this case, patterning of the partition walls can be performed by a mask or a photolithography method.

次に、発光層及び発光補助層からなる有機EL層を形成する。電極間に挟まれる有機EL層としては、発光層単独から構成されたものでもよいし、発光層に正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層、電荷発生層といった発光補助層を加えた積層構造としてもよい。なお、発光補助層の有無は、必要に応じて適宜選択される。それぞれ用いられる材料は、特性に応じて選択ができる。   Next, an organic EL layer including a light emitting layer and a light emission auxiliary layer is formed. The organic EL layer sandwiched between the electrodes may be composed of a light emitting layer alone, or a light emission assisting layer such as a hole transport layer, a hole injection layer, an electron transport layer, an electron injection layer, or a charge generation layer. It is good also as a laminated structure which added the layer. In addition, the presence or absence of the light emission auxiliary layer is appropriately selected as necessary. The material used for each can be selected according to the characteristics.

有機EL材料とそれを溶解または分散する溶媒は、それぞれインキ化が可能な組み合わせであればどれを用いてもよく、特性に応じて単独又は混合して用いる。また、溶媒には必要に応じて界面活性剤、粘度調整剤等を添加してもよい。   The organic EL material and the solvent for dissolving or dispersing the organic EL material may be any combination that can be converted into an ink, and are used alone or in combination depending on the characteristics. Moreover, you may add surfactant, a viscosity modifier, etc. to a solvent as needed.

次に、第二電極22を形成する。第二電極を陰極とした場合、その材料としては電子注入効率の高い物質を用いる。形成方法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、スパッタリング法等の乾式成膜法を用いることができる。また、第二電極をパターンとする必要がある場合には、マスク等によりパターニングすることができる。なお、本発明では第一の電極を陰極、第二の電極を陽極とすることも可能である。   Next, the second electrode 22 is formed. When the second electrode is a cathode, a material having a high electron injection efficiency is used as the material. As a forming method, a dry film forming method such as a resistance heating evaporation method, an electron beam evaporation method, or a sputtering method can be used depending on the material. Moreover, when it is necessary to make a 2nd electrode into a pattern, it can pattern by a mask etc. In the present invention, the first electrode can be a cathode and the second electrode can be an anode.

有機EL素子としては電極間に発光層を挟み、電流を流すことで発光させることが可能であるが、有機EL材料や電極形成材料の一部は大気中の水分や酸素によって容易に劣化してしまうため通常は外部と遮断するための封止体24を設ける。   As an organic EL element, it is possible to emit light by sandwiching a light emitting layer between electrodes and passing an electric current. However, some organic EL materials and electrode forming materials are easily deteriorated by moisture and oxygen in the atmosphere. For this reason, a sealing body 24 is usually provided for shielding from the outside.

封止体24は、例えば第一電極、発光層、発光補助層、第二電極が形成された基板に対して、凹部を有するガラスキャップ、金属キャップを用いて、第一電極、有機EL層、第二電極上空に凹部があたるようにして、その周辺部についてガラスキャップと基板2とを接着剤23を介して接着させることにより封止がおこなわれる。パッシベーション膜として、CVD法等を用いて、窒化珪素膜等を成膜することで、無機薄膜による封止体とすることも可能であり、またこれらを組み合わせることも可能である。   The sealing body 24 includes, for example, a first electrode, an organic EL layer, a glass cap having a recess, and a metal cap with respect to the substrate on which the first electrode, the light emitting layer, the light emission auxiliary layer, and the second electrode are formed. Sealing is performed by adhering the glass cap and the substrate 2 with an adhesive 23 around the periphery of the second electrode so that the recess is in the air. As a passivation film, a silicon nitride film or the like is formed using a CVD method or the like, whereby a sealing body made of an inorganic thin film can be formed, or these can be combined.

以下に、本発明の具体的実施例について説明する。なお、本発明はこれに限られるものではない。   Specific examples of the present invention will be described below. The present invention is not limited to this.

<実施例1>
(感光性樹脂凸版の作製)
厚さ250μmの42ニッケル材を印刷用凸版の版基材として、この基材の上に黒色顔料を混錬したアクリルバインダー樹脂溶液を乾燥膜厚が10μmになるように塗布して乾燥し、反射防止層を形成した。
<Example 1>
(Preparation of photosensitive resin letterpress)
A 42-mm nickel material with a thickness of 250 μm was used as a relief printing plate base material, and an acrylic binder resin solution kneaded with a black pigment was applied on the base material so as to have a dry film thickness of 10 μm and dried. A prevention layer was formed.

水溶性ポリアミドを主成分とし、ラジカル重合性モノマーとしてとしてジペンタエリスリトールヘキサキスアクリレート、光重合開始剤として2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)を混錬した感光性樹脂組成物を、基材の表面に版材の総厚が310μmとなるように溶融塗工したものを感光性樹脂層とした。これに、ポリビニルアルコール溶液を乾燥膜厚1μmになるように塗布したポリエチレンテレフタレートフィルム(フィルム厚み125μm:帝人デュポンフィルム社製)をラミネートした。   Mainly water-soluble polyamide, dipentaerythritol hexakisacrylate as radical polymerizable monomer, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one as photopolymerization initiator (manufactured by Ciba Specialty Chemicals) ) Was kneaded and applied to the surface of the base material so that the total thickness of the plate material was 310 μm, which was used as the photosensitive resin layer. A polyethylene terephthalate film (film thickness 125 μm: manufactured by Teijin DuPont Films) coated with a polyvinyl alcohol solution so as to have a dry film thickness of 1 μm was laminated thereon.

合成石英基材のクロムマスクを樹脂凸版パターンの原版とし、このマスクをプロキシミティ露光装置にセットしたものを用いて樹脂凸版を露光し、図6のようなパターン形状の印刷用凸版を作製した。作製した凸部幅は30μmである。   The resin relief printing plate was exposed using a synthetic quartz substrate chromium mask as the original plate of the resin relief pattern, and this mask was set in a proximity exposure apparatus, and a relief printing plate having a pattern shape as shown in FIG. 6 was produced. The produced convex width is 30 μm.

(被印刷基板の作製)
被印刷基板として、支持体上に設けられたスイッチング素子として機能する薄膜トランジスタと、その上方に形成された平坦化層と、平坦化層状にコンタクトホールによって前記薄膜トランジスタと導通が図られている画素電極とを備えたアクティブマトリクス基板を用いた。画素サイズの1辺は、150μm角であり、RGBのサブピクセルのサイズは50×150μmである。
(Preparation of printed substrate)
As a substrate to be printed, a thin film transistor functioning as a switching element provided on a support, a planarization layer formed thereabove, and a pixel electrode that is connected to the thin film transistor by a contact hole in the form of a planarization layer An active matrix substrate provided with One side of the pixel size is 150 μm square, and the size of the RGB sub-pixel is 50 × 150 μm.

このアクティブマトリクス基板の上に設けられている画素電極の端部を被覆し、画素を区画するような形状で隔壁を形成した。この隔壁の形成は、日本ゼオン社製ポジレジストZWD6216−6をスピンコータにてアクティブマトリクス基板の全面に乾燥厚みが2μmであるように塗布した後、フォトリソグラフィーによって各隣接するサブピクセルの短辺方向に線幅25μm、長辺方向に線幅75μmの隔壁を形成した。このとき、開口率は25%となる。   A partition wall was formed so as to cover the end of the pixel electrode provided on the active matrix substrate and partition the pixel. The partition is formed by applying a positive resist ZWD6216-6 manufactured by ZEON Corporation on the entire surface of the active matrix substrate with a spin coater so that the dry thickness is 2 μm, and then by photolithography in the short side direction of each adjacent subpixel. A partition wall having a line width of 25 μm and a line width of 75 μm was formed in the long side direction. At this time, the aperture ratio is 25%.

画素電極の上にスピンコート法により正孔輸送層として、ポリ−(3,4)−エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルホン酸(PEDOT/PSS)1.5質量%水溶液を塗布し、100nmの膜厚で成膜した。さらに、この成膜されたPEDOT/PSS薄膜は、減圧下100℃で1時間乾燥することで、被印刷基板を作製した。   A poly- (3,4) -ethylenedioxythiophene / polystyrene sulfonic acid (PEDOT / PSS) 1.5 mass% aqueous solution is applied as a hole transport layer on the pixel electrode by a spin coat method, and the film thickness is 100 nm. The film was formed. Further, the PEDOT / PSS thin film thus formed was dried at 100 ° C. for 1 hour under reduced pressure to produce a substrate to be printed.

(有機発光層形成用のインキの作製)
赤色、緑色、青色(R、G、B)の3色からなる以下の有機発光インキは、キシレンに溶解し調整した。赤色発光インキ(R)は、ポリフルオレン系誘導体のトルエン溶液(住友化学社製赤色発光材料、商品名Red 1100)である。緑色発光インキ(G)は、ポリフルオレン系誘導体のトルエン溶液(住友化学社製緑色発光材料、商品名Green 1300)である。青色発光インキ(B)は、ポリフルオレン系誘導体のトルエン溶液(住友化学社製青色発光材料、商品名Blue 1100)である。それぞれのインキ溶液の粘度は、おおよそ40mPa・sである。
(Preparation of ink for forming an organic light emitting layer)
The following organic luminescent inks consisting of three colors of red, green and blue (R, G, B) were prepared by dissolving in xylene. The red light-emitting ink (R) is a toluene solution of a polyfluorene derivative (red light-emitting material manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., trade name Red 1100). The green light emitting ink (G) is a toluene solution of a polyfluorene derivative (green light emitting material manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., trade name Green 1300). The blue light emitting ink (B) is a toluene solution of a polyfluorene derivative (blue light emitting material manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., trade name Blue 1100). The viscosity of each ink solution is approximately 40 mPa · s.

(印刷工程)
印刷用凸版を枚葉式の凸版印刷機の版胴に固定した。次に、上記の有機発光インキを凸版印刷機のインキタンクに供給し、インキ吐出部から600ライン/2.54cmのハニカムアニロックスロールに塗工し、ドクターでかき取られた後、印刷用凸版の凸部をインキングした。さらにインキングされた印刷用凸版は被印刷基板に押し当てて、転動され被印刷基板の上にストライプパターンを印刷した。その際、ストライプパターンが印刷方向に対して直交するようにした。この工程を赤色有機発光層、緑色有機発光層、青色有機発光層それぞれに繰り返すことで有機発光層パターンを得た。各色について印刷をおこなった後、オーブン内にて130℃で1時間乾燥を行った。
(Printing process)
The relief printing plate was fixed to the plate cylinder of a sheet-fed relief printing press. Next, the organic light-emitting ink is supplied to an ink tank of a relief printing press, coated on a 600 line / 2.54 cm honeycomb anilox roll from the ink discharge section, scraped with a doctor, and then printed on the relief printing plate. The convex part was inked. Further, the inked printing relief plate was pressed against the substrate to be printed and rolled to print a stripe pattern on the substrate to be printed. At that time, the stripe pattern was orthogonal to the printing direction. By repeating this step for each of the red organic light emitting layer, the green organic light emitting layer, and the blue organic light emitting layer, an organic light emitting layer pattern was obtained. After printing for each color, drying was performed in an oven at 130 ° C. for 1 hour.

乾燥の後、印刷により形成した有機発光層の上にカルシウムを10nm成膜し、さらにその上に銀を300nm真空蒸着し、最後にガラスキャップを用い封止をおこない、実施例1の有機EL素子を作製した。   After drying, a 10 nm calcium film is formed on the organic light-emitting layer formed by printing, and then silver is vacuum-deposited by 300 nm thereon, and finally sealing is performed using a glass cap. Was made.

<実施例2>
実施例2として、ストライプパターンと印刷方向の角度θが45°になるようにしたこと以外は実施例1と同様にして有機EL素子を作製した。
<Example 2>
As Example 2, an organic EL element was produced in the same manner as Example 1 except that the angle θ between the stripe pattern and the printing direction was 45 °.

<実施例3>
実施例3として、ストライプパターンと印刷方向の角度θが60°になるようにしたこと以外は実施例1と同様にして有機EL素子を作製した。
<Example 3>
As Example 3, an organic EL element was produced in the same manner as Example 1 except that the angle θ between the stripe pattern and the printing direction was 60 °.

<実施例4>
実施例4として、隣接するサブピクセルの長辺方向の隔壁幅を5μmとした以外は実施例1と同様にして有機EL素子を作製した。
素子を作製した。
<Example 4>
As Example 4, an organic EL device was produced in the same manner as in Example 1 except that the partition wall width in the long side direction of adjacent subpixels was set to 5 μm.
An element was produced.

<実施例5>
実施例5として、隔壁高さを0.05μmとした以外は実施例1と同様にして有機EL素子を作製した。
<Example 5>
As Example 5, an organic EL element was produced in the same manner as in Example 1 except that the partition wall height was 0.05 μm.

<比較例1>
比較例1として、ストライプパターンが印刷方向に対して平行になるようにしたこと以外は、実施例1と同様にして有機EL素子を作製した。
<Comparative Example 1>
As Comparative Example 1, an organic EL element was produced in the same manner as in Example 1 except that the stripe pattern was parallel to the printing direction.

<比較例2>
比較例2として、ストライプパターンと印刷方向の角度θが30°になるようにしたこと以外は、実施例1と同様にして有機EL素子を作製した。
<Comparative example 2>
As Comparative Example 2, an organic EL element was produced in the same manner as in Example 1 except that the stripe pattern and the printing direction angle θ were 30 °.

実施例1〜5と、比較例1、2について、作製した有機EL素子のパネル面内10点の膜厚測定結果と、膜形状の観察結果と、点灯表示の特性について測定した結果を表1に示す。   Tables 1 to 5 and Comparative Examples 1 and 2 show the results of measurement of film thickness measurement results at 10 points in the panel surface of the manufactured organic EL elements, film shape observation results, and lighting display characteristics. Shown in

Figure 2012216534
Figure 2012216534

表1によると、実施例1〜5と比較例1、2との比較から印刷方向とストライプパターン方向がなす角度のうち、鋭角θが45°以上90°以下でない場合は、膜厚バラツキ値の悪化と膜形状不良の発生が起き、それによる発光ムラが起こることがわかる。また、実施例同士の結果の比較から、鋭角θが90°に近いほど望ましく、ストライプパターンの短辺幅は100μm以下であることが望ましく、隔壁の幅が広いほうが望ましく、隔壁の高さが高いほうが望ましいことがわかる。   According to Table 1, when the acute angle θ is not 45 ° or more and 90 ° or less among the angles formed by the printing direction and the stripe pattern direction from the comparison between Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 and 2, the film thickness variation value is It can be seen that deterioration and film shape defects occur, resulting in uneven light emission. Further, from the comparison of the results of the examples, it is desirable that the acute angle θ is closer to 90 °, the short side width of the stripe pattern is desirably 100 μm or less, the wider partition wall is desirable, and the partition wall height is higher. It turns out that is better.

1・・・ステージ
2・・・基板
3・・・インキ補充装置
4・・・ドクター
5・・・インキ
6・・・アニロックスロール
7・・・版胴
8・・・印刷用凸版
9・・・転写パターン
10・・・第一画素
11・・・第二画素
12・・・第三画素
13・・・画素
14・・・隔壁
15・・・版基材
16・・・凸部
17・・・第一電極
18・・・正孔輸送層
19・・・赤色発光層
20・・・緑色発光層
21・・・青色発光層
22・・・第二電極
23・・・接着剤
24・・・封止体
25・・・支持体
26・・・活性層
27・・・ゲート絶縁膜
28・・・ゲート電極
29・・・トランジスタ絶縁膜
30・・・ドレイン電極
31・・・平坦化層
32・・・コンタクトホール
33・・・走査線
34・・・TFT
1 ... Stage
2 ... Board
3 ... Ink replenisher
4 ... Doctor
5 ... Ink
6 ... Anilox roll
7 ... plate cylinder
8 ... Letter for printing
9 ... Transfer pattern
10 ... 1st pixel
11 ... second pixel
12 ... Third pixel
13 ... Pixel 14 ... Partition
15 ... Plate base material
16 ... convex part
17 ... 1st electrode
18 ... Hole transport layer
19 ... Red light emitting layer
20 ... Green light emitting layer
21 ... Blue light emitting layer
22 ... Second electrode
23 ... Adhesive
24 ... Sealing body
25 ... Support
26 ... Active layer
27 ... Gate insulating film
28 ... Gate electrode
29 ... Transistor insulating film
30 ... Drain electrode
31 ... Planarization layer
32 ... Contact hole
33 Scanning line
34 ... TFT

Claims (12)

基板上に画素電極と、隣接する前記が素電極同士をサブピクセルである画素に画定する隔壁と、前記画素に有機化合物からなる有機EL層の少なくとも一層を凸版印刷法によって、形成してなる有機EL素子の製造方法において、
前記パターニングに用いられる印刷用凸版のパターンがストライプもしくはドットパターンであって、
前記パターンの長辺の方向と印刷方向とがなす角度のうち、鋭角θが45°以上90°以下である事を特徴とする有機EL素子の製造方法。
An organic material formed by forming a pixel electrode on a substrate, at least one layer of an organic EL layer made of an organic compound on the pixel by a relief printing method, and a partition wall that defines the adjacent element electrodes as sub-pixel pixels. In the method for manufacturing an EL element,
The pattern of the relief printing plate used for the patterning is a stripe or dot pattern,
Of the angles formed by the direction of the long side of the pattern and the printing direction, the acute angle θ is 45 ° or more and 90 ° or less, and the method for manufacturing an organic EL element.
前記パターンの短辺方向が前記画素の短辺方向に対して平行であることを特徴とする請求項1に記載する有機EL素子の製造方法。   2. The method of manufacturing an organic EL element according to claim 1, wherein a short side direction of the pattern is parallel to a short side direction of the pixel. 前記パターンで転写される前記有機EL層が、少なくとも二つ以上の画素の長辺方向につながって形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載する有機EL素子の製造方法。   3. The method of manufacturing an organic EL element according to claim 1, wherein the organic EL layer transferred in the pattern is formed to be connected in a long side direction of at least two or more pixels. 4. 前記パターンで転写される前記有機EL層が、前記隔壁上と前記画素の両方に形成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載する有機EL素子の製造方法。   4. The method of manufacturing an organic EL element according to claim 1, wherein the organic EL layer transferred in the pattern is formed on both the partition and the pixel. 5. 前記パターンの短辺幅が20μm以上100μm以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載する有機EL素子の製造方法。   5. The method of manufacturing an organic EL element according to claim 1, wherein a short side width of the pattern is 20 μm or more and 100 μm or less. 隣接する前記画素の長辺方向の隔壁幅が10μm以上画素長辺距離以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載する有機EL素子の製造方法。   6. The method of manufacturing an organic EL element according to claim 1, wherein a partition wall width in a long side direction of the adjacent pixels is 10 μm or more and a pixel long side distance or less. 前記隔壁と前記画素電極との高低差が0.1μm以上5μm以下であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載する有機EL素子の製造方法。   7. The method of manufacturing an organic EL element according to claim 1, wherein a difference in height between the partition wall and the pixel electrode is 0.1 μm or more and 5 μm or less. 印刷される前記有機EL層の少なくとも一層が、ウェットコート法で形成される前記有機EL層のうちの最下層であることを特徴とする請求項1乃至4の記載の有機EL素子の製造方法。   5. The method of manufacturing an organic EL element according to claim 1, wherein at least one layer of the organic EL layer to be printed is a lowermost layer of the organic EL layers formed by a wet coat method. 請求項1乃至8のいずれか1項に記載する有機EL素子の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする有機EL素子。   An organic EL device manufactured using the method for manufacturing an organic EL device according to claim 1. 請求項9に記載する有機EL素子を備えることを特徴とする有機ELディスプレイ。   An organic EL display comprising the organic EL element according to claim 9. 請求項9に記載する有機EL素子を備えることを特徴とする有機EL照明。   An organic EL illumination comprising the organic EL element according to claim 9. 基板上に画素電極と、隣接する前記が素電極同士をサブピクセルである画素に画定する隔壁と、前記画素に有機化合物からなる有機EL層の少なくとも一層を凸版印刷法によって、形成してなる有機EL素子の製造方法において、
前記パターニングに用いられる印刷用凸版のパターンがストライプもしくはドットパターンであって、
前記パターンの長辺と印刷方向とがなす角度のうち、鋭角θが45°以上90°以下である事を特徴とする有機EL素子の製造装置。
An organic material formed by forming a pixel electrode on a substrate, at least one layer of an organic EL layer made of an organic compound on the pixel by a relief printing method, and a partition wall that defines the adjacent element electrodes as sub-pixel pixels. In the method for manufacturing an EL element,
The pattern of the relief printing plate used for the patterning is a stripe or dot pattern,
Of the angles formed by the long side of the pattern and the printing direction, the acute angle θ is 45 ° or more and 90 ° or less, and the organic EL element manufacturing apparatus.
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004317968A (en) * 2003-04-18 2004-11-11 Toppan Printing Co Ltd Printing method and color filter manufacturing method
JP2007227023A (en) * 2006-02-21 2007-09-06 Toppan Printing Co Ltd Method of printing coating liquid containing organic electroluminescent material
JP2009099440A (en) * 2007-10-18 2009-05-07 Toppan Printing Co Ltd Manufacturing method of organic electroluminescent element
JP2010103317A (en) * 2008-10-23 2010-05-06 Sumitomo Chemical Co Ltd Transmitter for illuminating light communication system
WO2010092931A1 (en) * 2009-02-16 2010-08-19 凸版印刷株式会社 Organic electroluminescence display and manufacturing method therefor
JP2010287319A (en) * 2009-06-09 2010-12-24 Toppan Printing Co Ltd Structure and its manufacturing method of organic el display

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004317968A (en) * 2003-04-18 2004-11-11 Toppan Printing Co Ltd Printing method and color filter manufacturing method
JP2007227023A (en) * 2006-02-21 2007-09-06 Toppan Printing Co Ltd Method of printing coating liquid containing organic electroluminescent material
JP2009099440A (en) * 2007-10-18 2009-05-07 Toppan Printing Co Ltd Manufacturing method of organic electroluminescent element
JP2010103317A (en) * 2008-10-23 2010-05-06 Sumitomo Chemical Co Ltd Transmitter for illuminating light communication system
WO2010092931A1 (en) * 2009-02-16 2010-08-19 凸版印刷株式会社 Organic electroluminescence display and manufacturing method therefor
JP2010287319A (en) * 2009-06-09 2010-12-24 Toppan Printing Co Ltd Structure and its manufacturing method of organic el display

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