JP2012215297A - Ignition prevention structure in installation handling combustible fluid - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、高温環境下において着火する危険性が高い可燃性を有する流体を取り扱う設備に適用される着火防止構造に関する。 The present invention relates to an ignition prevention structure applied to a facility that handles a flammable fluid that has a high risk of ignition under a high temperature environment.
アセトアルデヒドやトリクロロシランに代表される着火点が低く、可燃性を有する流体を取り扱う際は、それらが漏洩した場合、火災の発生や大事故に繋がるため、着火防止対策をとる必要がある。
この種の可燃性を有する流体の漏洩時の着火を回避するためには、流体と高温の熱源との間の距離を確保することが必要であるが、その他、接触自体を防止して着火を回避する、または、万一着火した場合の延焼を阻止するなどの構造とする必要がある。
When handling flammable fluids that have low ignition points, such as acetaldehyde and trichlorosilane, if they leak, they can lead to fire and major accidents, so it is necessary to take measures to prevent ignition.
In order to avoid ignition at the time of leakage of this kind of flammable fluid, it is necessary to secure a distance between the fluid and a high-temperature heat source. It is necessary to avoid or to prevent the spread of fire in the event of ignition.
流体と高温の熱源との接触を防止する構造としては、例えば、特許文献1に示された耐火二層管がある。この耐火二層管では、配管用管の外周に耐火用の繊維混入モルタル製の短管が挿通され、その外周に耐火性繊維材料や接着剤が塗布含浸された耐火性の布帛、耐火性繊維のメッシュが被覆されている。 As a structure for preventing contact between a fluid and a high-temperature heat source, for example, there is a fireproof double-layer tube disclosed in Patent Document 1. In this fireproof two-layer pipe, a fireproof fiber-mixed mortar short pipe is inserted into the outer circumference of the pipe pipe, and a fireproof fabric, fireproof fiber in which a fireproof fiber material or adhesive is applied and impregnated on the outer circumference. The mesh is covered.
一方、万一着火した場合の延焼を阻止する有効な手段として、フレームアレスタがある。
フレームアレスタは、例えば、金網等で形成された細く長い空間を燃焼ガスを通過させる構造をとることで、火炎はこの細長い空間を通過することにより、伝搬速度が抑制されるとともに、金網などの熱容量によって放熱、冷却され、消炎する効果がある。特許文献2に示されるフレームアレスタでは、バーナと燃料混合器とを結ぶ配管の途中に金網を収容した殻体が挿入され、金網により気体の逆流を阻止するとともに、逆流気体の温度を低下させる構造が提示されている。
On the other hand, there is a flame arrester as an effective means for preventing the spread of fire in the event of ignition.
The flame arrester, for example, has a structure that allows combustion gas to pass through a narrow and long space formed of a wire mesh, etc., and the flame passes through this elongated space, so that the propagation speed is suppressed and the heat capacity of the wire mesh etc. It has the effect of heat dissipation, cooling, and extinguishing. In the flame arrester shown in
ところで、多結晶シリコン製造プラントで取り扱われるトリクロロシランは、可燃性流体であり、沸点が31℃、引火点が−28℃、着火点が185℃である。このトリクロロシランは酸素の存在下で燃焼反応が生じ、また、水の存在下で加水分解により水素が発生する。また、いずれの場合も固体のシリカが発生する。水素は着火エネルギーが低く、着火し易い。
この種の可燃性を有する流体を取り扱う設備においては、上記特許文献に示される構造よりさらに安全な着火防止対策が望まれる。
By the way, trichlorosilane handled in a polycrystalline silicon manufacturing plant is a flammable fluid having a boiling point of 31 ° C., a flash point of −28 ° C., and an ignition point of 185 ° C. This trichlorosilane undergoes a combustion reaction in the presence of oxygen, and hydrogen is generated by hydrolysis in the presence of water. In either case, solid silica is generated. Hydrogen has low ignition energy and is easy to ignite.
In facilities that handle this type of flammable fluid, a safer ignition prevention measure is desired than the structure disclosed in the above patent document.
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、高温環境下において着火する危険性が高い可燃性を有する流体を取り扱う設備における着火防止構造として、より安全性を高めた構造を提供する。 The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a structure with higher safety as an ignition prevention structure in a facility that handles a flammable fluid having a high risk of ignition under a high temperature environment. .
本発明は、可燃性を有する流体を取り扱う設備の着火防止構造であって、高温物体の外面を断熱材で被覆するとともに、この断熱材の外面を金属メッシュで覆い、この金属メッシュの外側をさらに外装部材で覆ったことを特徴とする。 The present invention is an ignition prevention structure for a facility that handles flammable fluid, and covers the outer surface of a high-temperature object with a heat insulating material, covers the outer surface of the heat insulating material with a metal mesh, and further covers the outside of the metal mesh. It is characterized by being covered with an exterior member.
このように高温物体の外面を断熱材で被覆した上で外装部材で覆ったことにより、可燃性を有する流体と高温物体との直接の接触を防止するとともに、外装部材の外面の温度を低下させ、可燃性を有する流体が付近に存在した場合の着火を防止する。また、仮に外装材や断熱材の隙間等を経由して流体と高温物体とが接触することにより着火した場合であっても、その火炎が、断熱材の外面を覆う金属メッシュの隙間を伝播することができず、外部への延焼が阻止される。
高温物体としては、反応容器、配管、タンク、電気設備等の各種設備において、可燃性を有する流体の着火点以上の高温になる物体である。
Thus, by covering the outer surface of the high-temperature object with a heat insulating material and then covering it with the exterior member, it prevents direct contact between the flammable fluid and the high-temperature object and reduces the temperature of the outer surface of the exterior member. This prevents ignition when a flammable fluid is present in the vicinity. In addition, even when the fluid and a high-temperature object come into contact with each other through a gap between the exterior material and the heat insulating material, the flame propagates through the gap between the metal mesh covering the outer surface of the heat insulating material. It is not possible to prevent the spread of fire to the outside.
The high-temperature object is an object that reaches a temperature higher than the ignition point of a flammable fluid in various facilities such as reaction vessels, piping, tanks, and electrical equipment.
また、本発明において、前記金属メッシュの目開きは、0.25mmより小さい隙間に形成されているとよい。
金属メッシュの目開きが0.25mm以下の隙間であると、最も火炎が伝播し易い可燃性を有する流体の代表である水素に対しても良好な延焼阻止機能を発揮することができる。
In the present invention, the mesh of the metal mesh is preferably formed in a gap smaller than 0.25 mm.
When the mesh opening of the metal mesh is a gap of 0.25 mm or less, a good fire spread prevention function can be exhibited even for hydrogen, which is a representative of flammable fluids through which flames most easily propagate.
また、本発明において、前記外装部材の内側の空間にパージガスを供給するパージガス供給管を設けるとよい。 In the present invention, it is preferable to provide a purge gas supply pipe for supplying purge gas to the space inside the exterior member.
パージガス供給管を介して外装部材の内側空間をパージすることにより、この外装部材の内側空間の圧力を外部の圧力よりも高くし、外装部材内への外部流体の侵入を防止することができ、これにより、流体の着火を回避することができる。また、パージガスが外装部材内でメッシュを貫通して流通することにより、メッシュの目詰まりを防止し、例えばトリクロロシランのような固体の発生を伴う可燃性を有する流体に対してもメッシュの延焼阻止機能を良好に維持した状態とすることができる。 By purging the inner space of the exterior member via the purge gas supply pipe, the pressure of the inner space of the exterior member can be made higher than the external pressure, and the intrusion of external fluid into the exterior member can be prevented. Thereby, the ignition of the fluid can be avoided. In addition, the purge gas flows through the mesh in the exterior member to prevent clogging of the mesh, and also prevents the mesh from spreading to flammable fluids such as trichlorosilane that accompany the generation of solids. It can be set as the state which maintained the function favorably.
本発明によれば、高温物体を覆う断熱材により外装部材の表面温度を低下させて、可燃性を有する流体が接触しても着火が抑制され、また万一、断熱材の隙間等を経由して高温物体に直接接触して着火した場合でも、断熱材の外面を覆う金属メッシュにより熱が吸収されるとともに、火炎の伝播が防止される。したがって、高温環境下において着火する危険性が高い可燃性を有する流体を取り扱う設備における着火防止構造として、安全性を高めることができる。
また、金属メッシュの外側を外装部材で覆ってパージガスを供給することにより、外部からの流体の侵入を防止することができ、また、金属メッシュの目詰まりも防止して、その健全性を維持することができ、より安全性を高めることができる。
According to the present invention, the surface temperature of the exterior member is lowered by the heat insulating material that covers the high-temperature object, and even if a flammable fluid comes into contact, ignition is suppressed. Thus, even when ignited by direct contact with a high-temperature object, heat is absorbed by the metal mesh covering the outer surface of the heat insulating material and flame propagation is prevented. Therefore, safety can be enhanced as an ignition prevention structure in a facility that handles a flammable fluid with a high risk of ignition under a high temperature environment.
In addition, by supplying purge gas while covering the outside of the metal mesh with an exterior member, it is possible to prevent the intrusion of fluid from the outside, and also prevent clogging of the metal mesh and maintain its soundness. It is possible to increase safety.
以下、本発明に係る可燃性を有する流体を取り扱う設備の着火防止構造の一実施形態を図面を参照しながら説明する。
この実施形態の着火防止構造は、多結晶シリコン製造設備に適用され、可燃性を有する流体としてトリクロロシラン、水素等を対象としている。
図1においては、高温物体1として、高温流体が流通する配管の継手部付近の着火防止構造を示しており、図2には、その高温物体(配管)1に対する断熱材2、金属メッシュ3、外装部材4の被覆構造を示している。
Hereinafter, an embodiment of an ignition prevention structure for facilities handling flammable fluid according to the present invention will be described with reference to the drawings.
The ignition prevention structure of this embodiment is applied to a polycrystalline silicon manufacturing facility, and targets trichlorosilane, hydrogen, and the like as flammable fluids.
In FIG. 1, an ignition prevention structure in the vicinity of a joint portion of a pipe through which a high-temperature fluid flows is shown as a high-temperature object 1. In FIG. 2, a
この実施形態の着火防止構造においては、高温物体1の外面1aが断熱材2で被覆されるとともに、この断熱材2の外面2aがさらに金属メッシュ3で覆われ、更に、この金属メッシュ3の外側が、外装部材4で覆われている。
In the ignition preventing structure of this embodiment, the
高温物体1は、図示例では高温流体が流通する配管であるが、その他、例えば、タンク、電気設備等の各種設備で、例えば表面温度が500℃以上の高温になる物体に適用される。また、図1においては、高温物体1にはシール部材5を介してフランジ6を突き合わせてなる継手部7が設けられている。
The high-temperature object 1 is a pipe through which a high-temperature fluid circulates in the illustrated example. However, the high-temperature object 1 is applied to an object that has a surface temperature of 500 ° C. or higher, for example, in various facilities such as a tank and an electric facility. In FIG. 1, a high-temperature object 1 is provided with a
断熱材2は、グラスウール、ロックウール等の繊維系材料が好適に用いられるが、一般に使用されている各種の材料を用いることができる。この断熱材2は、円弧板状のセグメントに形成され、これらが高温物体1の周方向及び長さ方向に複数組み合わせられることにより、配管としての高温物体1の外周面全面を被覆しており、断熱材2の外面温度をトリクロロシランが着火する可能性がある最低表面温度(185℃)未満に保持している。断熱材2は継手部7の両面及び外周面にも設けられる。
As the
金属メッシュ3は、伝熱性を有する金属材料によって形成され、断熱材2の外周面に巻き付けられるように設けられ、配管としての高温物体1の長さ方向に沿って複数設けられることにより、高温物体1の外側の断熱材2の全面を覆っている。この場合、図2に示すように、断熱材2に巻き付けた金属メッシュ3の両端部は重ねられ、また、長さ方向に複数設けられる各金属メッシュ3も相互に端部どうしが重ねられており、金属メッシュ3間に隙間が生じないような構成とされている。継手部7の周囲に設けた断熱材2の外面も金属メッシュ3により覆われている。また、金属メッシュ3と断熱材2とは密着させないで、金属メッシュ3のフレームアレスタとしての機能を有効に発揮させるために、若干の隙間を設けた方がよい。
この金属メッシュ3の材料としては燃えない金属材料であれば各種の材料を用いることができ、金属メッシュ3の金属線8どうしにより形成されるメッシュの目開き9は、後述するように水素を想定して0.25mm以下とされる。
The
As the material of the
外装部材4は、例えば金属板などの適宜の材料よりなり、金属メッシュ3の外周面に巻き付けられるように設けられるとともに、高温物体1の長さ方向に沿って複数設けられることにより、金属メッシュ3の外側を全面的に覆っている。また、金属メッシュ3の場合と同様に、外装部材4の端部どうしが重ねられることにより、外装部材4間に隙間が生じないようにされている。継手部7の周囲にも金属メッシュ3を覆うように外装部材4が設けられる。この場合も、金属メッシュ3と外装部材4とは密着させないで、若干の隙間を設けた方がよい。
The
この外装部材4には、外装部材4により囲まれた内側空間11にパージガスを供給するパージガス供給管12が取り付けられており、このパージガスにより、外装部材4の内側空間11が大気圧よりも高く維持されることにより、外装部材4に常に内圧が作用するようになっている。パージガスとしては、例えば、空気、窒素ガス、二酸化炭素ガスなどの各種ガスを用いることができる。
A purge
このように構成した着火防止構造においては、高温物体1の外面1aが断熱材2で被覆されているので、その外側表面の温度が低く抑えられており、付近に可燃性を有する流体が存在した場合でも断熱材2の外側での着火が防止される。また、断熱材2の外面2aがさらに金属メッシュ3で覆われ、その金属メッシュ3の外側が外装部材4で覆われていることにより、高温物体1は三重に覆われており、可燃性を有する流体が外装部材4間の隙間から内部に侵入して、金属メッシュ3の目を通り、かつ断熱材2の隙間を経由して高温物体1に接触することは極めて少なく、高い安全性を有している。
In the ignition prevention structure configured in this way, the
また、仮に、可燃性を有する流体が、これら外装部材4間の隙間から侵入して、金属メッシュ3、断熱材2の隙間を経由して高温物体1に接触することにより着火したとしても、その火炎は、金属メッシュ3に接触することにより、金属メッシュ3の金属線8に熱を奪われるとともに、その金属メッシュ3の目開き9が0.25mmより小さいことから、この目を通過する火炎の伝播が抑制され、外部への延焼が阻止される。
Moreover, even if a flammable fluid enters through the gap between the
以上のような着火防止構造を、多結晶シリコン製造設備の各種機器や配管、炉などに適用することにより、トリクロロシラン等のクロロシラン類や水素などの可燃性を有する流体が高圧物体1に接近した場合でも、着火を防止し、また万一着火した場合でも延焼を阻止することができる。
この場合、特に、トリクロロシランの加水分解等により生じる水素は、他のガスと比較して火炎速度が速く、小さな開口部を通過伝播しやすく、空気中の濃度が最小4%から最大75%までの広い燃焼範囲を有しており、水素による火炎を抑制することは特に難しい。上記実施形態においては、金属メッシュ3の最大安全隙間(金属線8の目開き9)を0.25mmよりも小さく形成していることにより、万一の高温物体1と流体との直接の接触により流体が着火したとしても、この隙間の金属メッシュ3により、延焼を確実に阻止することができる。
By applying the ignition prevention structure as described above to various devices, piping, furnaces, etc. of polycrystalline silicon manufacturing facilities, flammable fluids such as chlorosilanes such as trichlorosilane and hydrogen approached the high-pressure object 1. Even in this case, it is possible to prevent ignition, and even in the event of ignition, it is possible to prevent the spread of fire.
In this case, in particular, hydrogen generated by hydrolysis of trichlorosilane has a high flame speed compared to other gases, easily propagates through small openings, and the concentration in air is from a minimum of 4% to a maximum of 75%. It is particularly difficult to suppress the flame caused by hydrogen. In the above-described embodiment, the maximum safety gap (the opening 9 of the metal wire 8) of the
更に、金属メッシュ3を外装部材4で覆い、この外装部材4の内側空間11にパージガス供給管12を介してパージガスを供給しているので、外装部材4の内側空間11の圧力を外側空間の圧力(大気圧)より高めて、外側から外装部材3内へのガス等の侵入を防止することができる。また、クロロシラン類が酸素又は水と反応してシリカ(SiO2)が生成すると、固形物として堆積し易いが、パージガスが外装部材4の内側空間11から外側に向けて流通するので、金属メッシュ3を通過するパージガスの流れにより、金属メッシュ3にシリカ等が付着して目詰まりが生じることが防止され、常に最大安全隙間を確保して、延焼阻止機能を健全に維持することができる。さらに、パージガスにより高温物体1の表面温度を低下させ、可燃性を有する流体が接触したときの着火の阻止または着火の可能性をより低くする効果もある。
Further, since the
本発明の着火防止構造は、上述した多結晶シリコン製造設備以外にも、四塩化珪素からトリクロロシランへの転換設備、トリクロロシランを使用したエピタキシャル設備等にも適用でき、また、エチレンガスやプロパンガス等の可燃性流体やその他の可燃性を有する流体を取り扱う化学プラント一般などにも広く適用できる。
なお、本発明の具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
The ignition prevention structure of the present invention can be applied not only to the above-described polycrystalline silicon production equipment, but also to equipment for converting silicon tetrachloride to trichlorosilane, epitaxial equipment using trichlorosilane, etc., and ethylene gas or propane gas. It can be widely applied to chemical plants in general that handle flammable fluids such as the above and other flammable fluids.
It should be noted that the specific configuration of the present invention is not limited to this embodiment, and includes design changes and the like that do not depart from the gist of the present invention.
1 高温物体
2 断熱材
3 金属メッシュ
4 外装部材
5 シール部材
6 フランジ
7 継手部
8 金属線
9 目開き
11 内側空間
12 パージガス供給管
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