JP2012189400A - 電子顕微鏡用試料の製造方法および電子顕微鏡用試料の製造装置 - Google Patents
電子顕微鏡用試料の製造方法および電子顕微鏡用試料の製造装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】一端34が他端より膜厚の小さい先細り形状の支持台の前記一端に、前記一端側から前記他端側をみて、試料の正面がみえるように前記試料を前記一端に搭載する工程と、前記試料の正面から、前記試料に集束イオンビームを照射する工程と、前記試料の背面から、前記試料の前記支持台の膜厚方向の面である上面44a、44bにイオンビーム82を照射することにより、前記上面をイオンミリングする工程と、を備えることを特徴とする電子顕微鏡用試料の製造方法。
【選択図】図12
Description
付記1:一端が他端より膜厚の小さい先細り形状の支持台の前記一端に、前記一端側から前記他端側をみて、試料の正面がみえるように前記試料を前記一端に搭載する工程と、前記試料の正面から、前記試料に集束イオンビームを照射する工程と、前記試料の背面から、前記試料の前記支持台の膜厚方向の面である上面にイオンビームを照射することにより、前記上面をイオンミリングする工程と、を備えることを特徴とする電子顕微鏡用試料の製造方法。
付記2:前記支持台は、前記他端から前記一端にかけて膜厚が小さくなる階段状またはテーパ状であることを特徴とする付記1記載の電子顕微鏡用試料の製造方法。
付記3:前記イオンビームは、前記試料の前記上面に対し20°以下の入射角度で前記試料に照射することを特徴とする付記1または2記載の電子顕微鏡用試料の製造方法。
付記4:前記イオンビームを、走査または揺動させることにより、前記試料の前記上面に対する入射角度を調整することを特徴とする付記1から3のいずれか一項記載の電子顕微鏡用試料の製造方法。
付記5:前記イオンビームは希ガスイオンビームであることを特徴とする付記1から4のいずれか一項に記載の電子顕微鏡用試料の製造方法。
付記6:前記イオンビームの加速エネルギーは前記集束イオンビームより小さいことを特徴とする付記1から5のいずれか一項に記載の電子顕微鏡用試料の製造方法。
付記7:一端が他端より膜厚の小さい先細り形状であり、前記一端に、前記一端側から前記他端側をみて試料の正面がみえるように前記試料を搭載する支持台と、前記試料の正面から、前記試料に集束イオンビームを照射する第1照射機構と、前記試料の背面から、前記試料の前記支持台の膜厚方向の面である上面をイオンミリングする第2照射機構と、を備えることを特徴とする電子顕微鏡用試料の製造装置。
34 一端
35 他端
40 試料
44a、44b 上面
80 集束イオンビーム
82 イオンビーム
90 第1照射機構
92 第2照射機構
Claims (5)
- 一端が他端より膜厚の小さい先細り形状の支持台の前記一端に、前記一端側から前記他端側をみて、試料の正面がみえるように前記試料を前記一端に搭載する工程と、
前記試料の正面から、前記試料に集束イオンビームを照射する工程と、
前記試料の背面から、前記試料の前記支持台の膜厚方向の面である上面にイオンビームを照射することにより、前記上面をイオンミリングする工程と、
を備えることを特徴とする電子顕微鏡用試料の製造方法。 - 前記支持台は、前記他端から前記一端にかけて膜厚が小さくなる階段状またはテーパ状であることを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡用試料の製造方法。
- 前記イオンビームは、前記試料の前記上面に対し20°以下の入射角度で前記試料に照射することを特徴とする請求項1または2記載の電子顕微鏡用試料の製造方法。
- 前記イオンビームを、走査または揺動させることにより、前記試料の前記上面に対する入射角度を調整することを特徴とする1から3のいずれか一項記載の電子顕微鏡用試料の製造方法。
- 一端が他端より膜厚の小さい先細り形状であり、前記一端に、前記一端側から前記他端側をみて試料の正面がみえるように前記試料を搭載する支持台と、
前記試料の正面から、前記試料に集束イオンビームを照射する第1照射機構と、
前記試料の背面から、前記試料の前記支持台の膜厚方向の面である上面をイオンミリングする第2照射機構と、
を備えることを特徴とする電子顕微鏡用試料の製造装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014202756A (ja) * | 2013-04-04 | 2014-10-27 | フラウンホーファー−ゲゼルシャフト ツール フエルデルング デア アンゲヴァンテン フォルシュング エー.ファオ. | 微小構造材診断用サンプルの製造方法および製造用構造体とそのサンプル |
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2011
- 2011-03-09 JP JP2011052217A patent/JP2012189400A/ja active Pending
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