JP2012189086A - 薬液送給装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ノズル装置に薬液を送給する薬液送給路の途中に設けられる主ポンプ及び副ポンプからなり、該主ポンプ及び該副ポンプは、立ち上がり時の送給流量が、主ポンプ≦副ポンプ、の関係で始まり、定常送給時の送給流量が、主ポンプ>副ポンプ、の関係にある。前記主ポンプと前記副ポンプは内容積の膨らみ量が、主ポンプ>副ポンプ、の関係にあり、立ち上がり時の前記副ポンプの送給流量Aと、立ち上がり時の前記主ポンプの内容積の膨らみ量と該薬液送給路の内容積の増加量の和Bが、A≧B、の関係にある。
【選択図】図1
Description
12 ノズル装置
14 薬液送給配管
14a 供給側配管部
14b 吐出側配管部
16 開閉バルブ
18 ポンプ
20 開閉バルブ
22 制御装置
24 可撓性チューブ
26 ベローズ
26a 大型ベローズ部
26b 小型ベローズ部
28 ポンプ室
30 作動ディスク部
32 往復機構
34 モータ
40 主ポンプ
42 副ポンプ
44 バルブ本体
46 ダイヤフラム
48 ピストンロッド
50 ピストン
52 第一空気室
54 第二空気室
56 シリンダチューブ
58 スプリング
Claims (4)
- 薬液送給路の薬液容器側に設けられる薬液供給側の開閉バルブと、薬液送給路のノズル装置側に設けられる薬液吐出側の開閉バルブと、前記薬液供給側の開閉バルブと前記薬液吐出側の開閉バルブとの間に設けられる主ポンプと、前記薬液供給側の開閉バルブと前記薬液吐出側の開閉バルブとの間に設けられ前記主ポンプに直列に設けられる副ポンプとからなる薬液送給装置において、前記薬液供給側の開閉バルブを閉状態とし前記薬液吐出側の開閉バルブを開状態として薬液を吐出する吐出動作の立ち上がり時に薬液送給圧力によって変形が生じている場合の主ポンプの内容積と吐出動作の立ち上がり時に変形が生じていない場合の主ポンプの内容積の差である主ポンプの膨らみ量と、吐出動作の立ち上がり時に薬液送給圧力によって変形が生じている場合の副ポンプの内容積と吐出動作の立ち上がり時に変形が生じていない場合の副ポンプの内容積の差である副ポンプの膨らみ量が、主ポンプ>副ポンプ、の関係にあり、薬液の送給を前記副ポンプの吐出動作に続いて又は同時に前記主ポンプが吐出動作を行うことを特徴とする薬液送給装置。
- 前記立ち上がり時の前記副ポンプの送給流量Aと、前記立ち上がり時の前記主ポンプの内容積の膨らみ量と前記薬液送給路の内容積の増加量の和Bが、A≧B、の関係にあることを特徴とする請求項1に記載の薬液送給装置。
- 薬液送給路の薬液容器側に設けられる薬液供給側の開閉バルブと、薬液送給路のノズル装置側に設けられる薬液吐出側の開閉バルブと、前記薬液供給側の開閉バルブと前記薬液吐出側の開閉バルブとの間に設けられる主ポンプと、前記薬液供給側の開閉バルブと前記薬液吐出側の開閉バルブとの間に設けられ前記主ポンプに並列に設けられる副ポンプとからなる薬液送給装置において、前記薬液供給側の開閉バルブを閉状態とし前記薬液吐出側の開閉バルブを開状態として薬液を吐出する吐出動作の立ち上がり時における前記主ポンプと前記副ポンプによる薬液の送給が、主ポンプ≦副ポンプの送給流量の関係で始まることを特徴とする薬液送給装置。
- 薬液送給路の薬液容器側に設けられる薬液供給側の開閉バルブと、薬液送給路のノズル装置側に設けられる薬液吐出側の開閉バルブと、前記薬液供給側の開閉バルブと前記薬液吐出側の開閉バルブとの間に設けられる主ポンプと、前記薬液供給側の開閉バルブと前記薬液吐出側の開閉バルブとの間に設けられ前記主ポンプに直列に設けられる副ポンプとからなる薬液送給装置において、前記薬液供給側の開閉バルブを閉状態とし前記薬液吐出側の開閉バルブを開状態として薬液を吐出する吐出動作の立ち上がり時における前記主ポンプと前記副ポンプによる薬液の送給が、主ポンプ≦副ポンプの送給流量の関係で始まることを特徴とする薬液送給装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7440585B2 (ja) | 2021-08-31 | 2024-02-28 | セメス カンパニー,リミテッド | トーションポンプ、薬液供給ユニット及び基板処理装置 |
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2012
- 2012-06-08 JP JP2012130919A patent/JP5394538B2/ja not_active Expired - Fee Related
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